JP3057968B2 - Multilayer piezoelectric element - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、積層型圧電体素子に
関し、詳しくは、圧電体層と内部電極との積層体の外側
に、該内部電極と導通する外部電極を配設してなる積層
型圧電体素子に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-layer piezoelectric element, and more particularly, to a multi-layer piezoelectric element in which an external electrode which is electrically connected to an internal electrode is disposed outside a laminated body of a piezoelectric layer and an internal electrode. The present invention relates to a piezoelectric element.
【０００２】[0002]
【従来の技術】圧電体を利用した積層型圧電アクチュエ
ータとしては、例えば、図４に示すように、複数の圧電
体層５１の間に部分電極構造を有する内部電極５２を配
設するとともに、圧電体層５１と内部電極５２からなる
積層体５３の、内部電極５２が引き出された側面からそ
の上・下面に回り込むように外部電極５４を配設してな
る積層型圧電体素子５５を、金属板５６を介して複数個
積み重ね、所定の金属板５６をリード線５７により接続
するとともに、ばね圧により固定した構造の積層型圧電
アクチュエータが提案されている。2. Description of the Related Art As a laminated piezoelectric actuator using a piezoelectric material, for example, as shown in FIG. 4, an internal electrode 52 having a partial electrode structure is disposed between a plurality of piezoelectric A laminated piezoelectric element 55 in which an external electrode 54 is provided so that a laminated body 53 composed of a body layer 51 and an internal electrode 52 extends from the side surface from which the internal electrode 52 is drawn to the upper and lower surfaces thereof, A plurality of stacked piezoelectric actuators have been proposed in which a plurality of stacked piezoelectric actuators are connected via a lead 56, and a predetermined metal plate 56 is connected by a lead wire 57 and fixed by spring pressure.
【０００３】なお、上記の積層型圧電アクチュエータを
構成する積層型圧電体素子５５においては、内部電極５
２は、図５に示すように、一層おきに逆側の側面の外部
電極５４（図４）と導通するように交互に逆側の端部に
引き出されている。[0003] In the multilayer piezoelectric element 55 constituting the above-described multilayer piezoelectric actuator, the internal electrodes 5 are provided.
As shown in FIG. 5, 2 is alternately drawn to the opposite end so as to be electrically connected to the external electrode 54 (FIG. 4) on the opposite side every other layer.
【０００４】また、外部電極５４としては、内部電極５
２との導通の確実性を考慮して厚膜電極が用いられてい
る。The external electrodes 54 include the internal electrodes 5.
A thick-film electrode is used in consideration of the reliability of conduction with the second electrode.
【０００５】そして、この積層型圧電アクチュエータに
おいては、各積層型圧電体素子５５の間に挿入された金
属板５６と各積層型圧電体素子５５の上・下面にまで回
り込むように形成された外部電極５４とを接触させるだ
けで、内部電極５２と金属板５６との導通が得られると
いう長所がある。[0005] In this laminated piezoelectric actuator, a metal plate 56 inserted between the laminated piezoelectric elements 55 and an external formed so as to extend to the upper and lower surfaces of each laminated piezoelectric element 55. There is an advantage that continuity between the internal electrode 52 and the metal plate 56 can be obtained only by contacting the electrode 54.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の積層型
圧電アクチュエータにおいては、積層型圧電体素子５５
の外部電極５４が積層体５３の側面から上・下面にまで
回り込むように形成されている（例えば、上・下面に厚
膜電極を印刷して、側面に形成された厚膜電極に直接に
接続させるなどの方法により外部電極５４が形成され
る）ため、図６に示すように、積層体５３の角部におい
て外部電極５４に盛上り（こぶ）５８が発生し、積層型
圧電体素子５５の上・下面の平坦性が損われる。そのた
め、複数の積層型圧電体素子５５を金属板５６を介して
積み重ねた場合に、積重ね状態（連結固定状態）が不安
定になり、確実に固定することができなかったり、積層
型圧電アクチュエータとして使用した場合に、外力によ
って破壊が生じたりするというような問題点がある。However, in the above-described multilayer piezoelectric actuator, the multilayer piezoelectric element 55
Are formed so as to extend from the side surfaces of the stacked body 53 to the upper and lower surfaces (for example, thick film electrodes are printed on the upper and lower surfaces and directly connected to the thick film electrodes formed on the side surfaces). The external electrodes 54 are formed by a method such as the above-described method. Therefore, as shown in FIG. The flatness of the upper and lower surfaces is impaired. Therefore, when a plurality of stacked piezoelectric elements 55 are stacked via the metal plate 56, the stacked state (connected and fixed state) becomes unstable, and the stacked state cannot be reliably fixed. When used, there is a problem that destruction is caused by an external force.
【０００７】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、上・下面の平坦性を損うことなく、上・下面に形
成された外部電極と側面に形成された外部電極とが確実
に接続された積層型圧電体素子を提供することを目的と
する。The present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and it is possible to surely make the external electrodes formed on the upper and lower surfaces and the external electrodes formed on the side surfaces without impairing the flatness of the upper and lower surfaces. It is an object of the present invention to provide a connected laminated piezoelectric element.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層
と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引
き出された側面、及び上・下面に形成された外部電極と
を備えてなる積層型圧電体素子において、圧電体層と内
部電極の積層体の上・下面の外部電極を、前記内部電極
が引き出された側面との境界をなす稜線部にまで至らな
いように形成し、かつ、前記積層体の、前記内部電極が
引き出された側面に、積層体の上・下面の少なくとも一
方に達する溝を形成し、該溝の内部に導通用電極を配設
するとともに、積層体の側面に、前記溝の内部の導通用
電極と導通するように外部電極を形成し、該導通用電極
を介して、積層体の側面に形成された外部電極を、上・
下面に形成された外部電極の少なくとも一方に導通させ
るようにしたことを特徴とする。In order to achieve the above object, a laminated piezoelectric element of the present invention comprises a plurality of piezoelectric layers, an internal electrode disposed between the piezoelectric layers, and an internal electrode extending from the piezoelectric layer. Layered piezoelectric element comprising a pair of side surfaces and external electrodes formed on the upper and lower surfaces, the piezoelectric layer and the inner layer
The external electrodes on the upper and lower surfaces of the laminate
To the ridgeline that borders the side from which
Strangely formed, and, of the laminate, on the side the internal electrode is drawn out, at least one reach the grooves of the upper and lower surface to form the laminate, arranging a conductive electrode to the inside of the groove
And for conduction inside the groove on the side surface of the laminate
An external electrode is formed so as to be electrically connected to the electrode, and the external electrode formed on the side surface of the multilayer body is connected to the upper electrode through the conductive electrode.
It is characterized in that it is electrically connected to at least one of the external electrodes formed on the lower surface.
【０００９】なお、この発明は、側面に形成された電極
を上・下面の外部電極の両方に接続する場合に限らず、
上・下面の外部電極のいずれか一方にのみ接続する場合
をも含むものである。It should be noted that the present invention is not limited to the case where the electrodes formed on the side surfaces are connected to both the upper and lower external electrodes.
This includes the case where only one of the upper and lower external electrodes is connected.
【００１０】[0010]
【作用】この発明の積層型圧電体素子においては、溝の
内部に配設された導通用電極を介して、積層体の上・下
面の外部電極と側面の外部電極とが導通するため、従来
の積層型圧電体素子のように、側面の外部電極を、積層
体の角部（稜線部）を経て上・下面にまで回り込ませる
ことが不要になる。In the multilayer piezoelectric element of the present invention, the external electrodes on the upper and lower surfaces of the multilayer body and the external electrodes on the side surfaces are electrically connected via the conductive electrodes provided inside the grooves. It is not necessary to wrap the external electrodes on the side surfaces to the upper and lower surfaces via the corners (ridges) of the laminated body as in the laminated piezoelectric element of (1) .
【００１１】したがって、積層体の側面に形成された外
部電極を上・下面にまで回り込ませた場合に見られるよ
うな、積層体の角部における外部電極（厚膜電極）の盛
上り（こぶ）の発生を防止して、上・下面の平坦性を確
保しつつ、側面の外部電極と上・下面の外部電極とを確
実に導通させることが可能になる。なお、溝内の導通 用
電極の上端と上・下面の外部電極とは角部で接続される
ことになるが、その位置が積層体の側面から後退してい
ること、及び、溝と上・下面の境界部である稜線部（角
部）の距離が、側面と上・下面との境界部である稜線部
（角部）に比べて、大幅に短いことから、溝と上・下面
の角部において外部電極（厚膜電極）の盛上り（こぶ）
が発生したとしても、それによる悪影響は大幅に軽減さ
れる。 Therefore, the external electrodes (thick film electrodes) at the corners of the laminate are raised, as seen when the external electrodes formed on the side surfaces of the laminate are wrapped around the upper and lower surfaces. It is possible to prevent the occurrence of the occurrence and to ensure the electrical conduction between the external electrodes on the side surfaces and the external electrodes on the upper and lower surfaces while ensuring the flatness of the upper and lower surfaces. Incidentally, for the conduction of the groove
The upper end of the electrode and the upper and lower external electrodes are connected at the corners
However, the position is set back from the side of the laminate.
And the ridge line (corner) that is the boundary between the groove and the upper and lower surfaces
Part) distance is the ridgeline, which is the boundary between the side surface and the upper and lower surfaces
Groove and upper / lower surface because it is much shorter than (corner)
Of the external electrode (thick film electrode) at the corner of
If there is, the adverse effects are greatly reduced.
It is.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、この発明の実施例を示してその特徴と
するところをさらに詳しく説明する。図１は、この発明
の一実施例にかかる積層型圧電体素子を示す図であり、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は要部を示す平面図、（ｃ）は
断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The features of the present invention will be described in more detail with reference to the embodiments of the present invention. FIG. 1 is a diagram showing a laminated piezoelectric element according to one embodiment of the present invention,
(A) is a perspective view, (b) is a plan view showing a main part, and (c) is a cross-sectional view.
【００１３】この実施例の積層型圧電体素子５において
は、複数の圧電体層（例えばチタン酸ジルコン酸鉛系材
料からなる圧電体層）１の間に、一層おきに相対向する
２つの側面に引き出されるように内部電極２ａ，２ｂを
配設することにより積層体３が形成されている。In the multi-layer piezoelectric element 5 of this embodiment, two side surfaces opposed to each other are disposed between a plurality of piezoelectric layers (for example, a piezoelectric layer made of a lead zirconate titanate-based material). The laminated body 3 is formed by disposing the internal electrodes 2a and 2b so as to be drawn out.
【００１４】そして、積層体３の内部電極２ａ，２ｂが
引き出された側面３ｃ，３ｄには、内部電極２ａ，２ｂ
と導通する外部電極（側面外部電極）４ａ，４ｂが形成
されている。また、積層体３の側面３ｃ，３ｄの中央部
には、積層体３の上面３ａから下面３ｂにまで達する溝
（スリット）６ａ，６ｂが縦方向に形成されており、こ
の溝６ａ，６ｂ内にも、側面外部電極４ａ，４ｂの一部
を構成する電極（導通用電極）４ａ1，４ｂ1が配設され
ている。On the side surfaces 3c and 3d of the laminate 3 from which the internal electrodes 2a and 2b are drawn, the internal electrodes 2a and 2b
External electrodes (side surface external electrodes) 4a and 4b are formed to be electrically connected to each other. Further, grooves (slits) 6a, 6b extending from the upper surface 3a to the lower surface 3b of the multilayer body 3 are formed in the center of the side surfaces 3c, 3d of the multilayer body 3 in the vertical direction. Also, electrodes (conduction electrodes) 4a 1 and 4b 1 that constitute a part of the side surface external electrodes 4a and 4b are provided.
【００１５】また、積層体３の上・下面３ａ，３ｂに
は、外部電極（上・下面外部電極）１４ａ，１４ｂが形
成されている。そして、この外部電極１４ａ，１４ｂ
は、積層体３の上・下面３ａ，３ｂと、側面３ｃ，３ｄ
との境界をなす角部（稜線部）にまで至らないように、
稜線部からある程度後退した位置まで形成されている。 External electrodes (upper and lower external electrodes) 14a and 14b are formed on the upper and lower surfaces 3a and 3b of the laminate 3, respectively. The external electrodes 14a, 14b
Are upper and lower surfaces 3a, 3b of the laminate 3 and side surfaces 3c, 3d.
So that it does not reach the corner (ridge line) that forms the boundary with
It is formed up to a position retreated to some extent from the ridge.
【００１６】この実施例の積層型圧電体素子５において
は、上・下面外部電極１４ａ，１４ｂと側面外部電極４
ａ，４ｂは、そのいずれかが積層体３の角部（稜線部）
を経て上・下面３ａ，３ｂあるいは側面３ｃ，３ｄに回
り込むことにより導通しているのではなく、上記の溝６
ａ，６ｂ内に配設された導通用電極４ａ1，４ｂ1を介し
て導通している。In the multilayer piezoelectric element 5 of this embodiment, the upper and lower external electrodes 14a and 14b and the side external electrodes 4
a, 4b are either corners (ridges) of the laminate 3
Are not conducted by wrapping around the upper and lower surfaces 3a and 3b or the side surfaces 3c and 3d through the grooves 6a.
Conduction is achieved via conduction electrodes 4a 1 and 4b 1 disposed in the insides a and 6b.
【００１７】次に、上記実施例の積層型圧電体素子５の
製造方法について説明する。上記積層型圧電体素子５を
製造するにあたっては、まず、圧電体層（グリーンシー
ト）を製造するために、原料を秤量し、粉砕してバイン
ダとともに混合し、脱泡した後、シート状に成形し、所
定の形状に打抜く。それから、これに内部電極を印刷す
る。Next, a method for manufacturing the multilayer piezoelectric element 5 of the above embodiment will be described. In manufacturing the laminated piezoelectric element 5, first, in order to manufacture a piezoelectric layer (green sheet), the raw materials are weighed, pulverized, mixed with a binder, defoamed, and formed into a sheet. Then, punch into a predetermined shape. Then the internal electrodes are printed on this.
【００１８】次に、各圧電体層（グリーンシート）を積
層圧着し、所定の形状に切断した後、焼成して積層体を
得る。それから、得られた積層体の、内部電極が引き出
された側面に、ダイサーなどで、例えば、幅０．２mm，
深さ０．５mmの溝（スリット）を形成した後、導電ペー
ストを印刷する方法やディッピングなどの方法により、
側面外部電極（厚膜電極）４ａ，４ｂ（図１（ｃ））を
形成する。Next, each piezoelectric layer (green sheet) is laminated and pressed, cut into a predetermined shape, and fired to obtain a laminated body. Then, on the side surface from which the internal electrode was drawn out of the obtained laminated body, for example, a
After forming a groove (slit) with a depth of 0.5 mm, by a method such as printing a conductive paste or dipping,
Side surface external electrodes (thick film electrodes) 4a and 4b (FIG. 1C) are formed.
【００１９】そして、積層体３の上・下面３ａ，３ｂを
ラップして平坦にした後、導電ペーストを印刷する方法
やディッピングなどの方法により、上・下面外部電極
（厚膜電極）１４ａ，１４ｂを形成する。このとき、上
・下面外部電極１４ａ，１４ｂが、積層体３の上・下面
３ａ，３ｂにまで至るように形成された溝６ａ，６ｂの
内部の導通用電極４ａ1，４ｂ1と導通する位置までは達
するが、積層体３の上・下面３ａ，３ｂと、側面３ｃ，
３ｄとの角部（稜線部）にまでは達しないようにする。After the upper and lower surfaces 3a and 3b of the laminate 3 are wrapped and flattened, upper and lower external electrodes (thick film electrodes) 14a and 14b are formed by a method such as printing a conductive paste or dipping. To form At this time, the position where the upper and lower external electrodes 14a and 14b conduct with the conduction electrodes 4a 1 and 4b 1 inside the grooves 6a and 6b formed so as to reach the upper and lower surfaces 3a and 3b of the laminate 3. , But the upper and lower surfaces 3a, 3b and the side surfaces 3c,
Do not reach the corner (ridge line) with 3d.
【００２０】このように、上記実施例の積層型圧電体素
子５においては、積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成され
た外部電極４ａ，４ｂと、上・下面３ａ，３ｂに形成さ
れた外部電極１４ａ，１４ｂが、積層体３の角部を経て
上・下面３ａ，３ｂあるいは側面３ｃ，３ｄにまで回り
込んでいないため、積層体３の角部で外部電極の盛上り
（こぶ）が生じることを確実に防止して、上・下面の平
坦性を確保しつつ、上・下面外部電極１４ａ，１４ｂと
側面外部電極４ａ，４ｂとを確実に接続することができ
る。なお、上記実施例の積層型圧電体素子５において
は、上・下面電極１４ａ，１４ｂの盛上りを数μm以下
に抑制しつつ、上・下面外部電極１４ａ，１４ｂと側面
外部電極４ａ，４ｂとを１Ω以下の抵抗で導通させるこ
とができる。As described above, in the multilayer piezoelectric element 5 of the above embodiment, the external electrodes 4a and 4b formed on the side surfaces 3c and 3d of the multilayer body 3 and the external electrodes 4a and 4b formed on the upper and lower surfaces 3a and 3b. Since the electrodes 14a and 14b do not extend to the upper and lower surfaces 3a and 3b or the side surfaces 3c and 3d via the corners of the multilayer body 3, the external electrodes bulge at the corners of the multilayer body 3. That is, the upper and lower external electrodes 14a and 14b and the side external electrodes 4a and 4b can be reliably connected while ensuring the flatness of the upper and lower surfaces. In the multilayer piezoelectric element 5 of the above embodiment, the upper and lower external electrodes 14a and 14b and the side external electrodes 4a and 4b are connected to the upper and lower electrodes 14a and 14b while suppressing the rise of the upper and lower electrodes 14a and 14b to several μm or less. Can be conducted with a resistance of 1Ω or less.
【００２１】上述のように、この発明の積層型圧電体素
子は上・下面が平坦であるため、図２に示すように、複
数の積層型圧電体素子５を金属板７を介して積み重ね、
ばね圧などの機械的な力で固定することにより積層型圧
電アクチュエータを形成する場合、積層型圧電体素子５
を安定して積み重ねることができるため、接合の安定性
に優れ、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得る
ことができる。As described above, since the laminated piezoelectric element of the present invention has flat upper and lower surfaces, a plurality of laminated piezoelectric elements 5 are stacked via a metal plate 7 as shown in FIG.
When the laminated piezoelectric actuator is formed by fixing with a mechanical force such as a spring pressure, the laminated piezoelectric element 5
Can be stably stacked, so that a laminated piezoelectric actuator having excellent bonding stability and high reliability can be obtained.
【００２２】また、図３に示すように、積層型圧電体素
子５の上・下面に、溝６ａ，６ｂの内部に配設された導
通用電極４ａ1，４ｂ1を介して側面外部電極４ａ，４ｂ
と導通する２つの外部電極１４ａ，１５ａと１４ｂ，１
５ｂを形成し、接合面において互に対向する外部電極１
４ａと１４ｂ、及び１５ａと１５ｂを直接に接続すると
ともに、各積層型圧電体素子５を接着剤８により接着す
ることにより、金属板を配設したり、あるいは、リード
線を半田付けして側面に形成された外部電極を接続した
りすることを不要にして、積層型圧電アクチュエータの
構造及び製造方法を簡略化することができる。As shown in FIG. 3, the external electrodes 4a are formed on the upper and lower surfaces of the laminated piezoelectric element 5 through conduction electrodes 4a 1 and 4b 1 disposed inside the grooves 6a and 6b. , 4b
External electrodes 14a, 15a and 14b, 1
5b, and the external electrodes 1 facing each other on the joint surface
4a and 14b and 15a and 15b are directly connected, and the respective laminated piezoelectric elements 5 are bonded with an adhesive 8, so that a metal plate is provided or a lead wire is soldered to form a side surface. It is not necessary to connect external electrodes formed on the piezoelectric actuator, thereby simplifying the structure and manufacturing method of the multilayer piezoelectric actuator.
【００２３】なお、この発明は、上記実施例に限定され
るものではなく、圧電体層を構成する材料の種類や組
成、あるいは圧電体層の具体的な形状や積層数、積層体
の側面に形成される溝の具体的形状、内部電極及び外部
電極の構成材料やそのパターンなどに関し、発明の要旨
の範囲内において、種々の応用、変形を加えることがで
きる。The present invention is not limited to the above embodiment, but may be applied to the type and composition of the material constituting the piezoelectric layer, the specific shape and the number of layers of the piezoelectric layer, and the side surfaces of the laminate. With regard to the specific shape of the groove to be formed, the constituent materials of the internal electrode and the external electrode, their patterns, and the like, various applications and modifications can be made within the scope of the invention.
【００２４】[0024]
【発明の効果】上述のように、この発明の積層型圧電体
素子は、圧電体層と内部電極との積層体の上・下面に、
側面との境界部である稜線部にまで至らないように外部
電極を形成するとともに、内部電極が引き出された側面
に、積層体の上・下面の少なくとも一方に達する溝を形
成してその内部に導通用電極を配設し、該導通用電極を
介して、積層体の側面に形成された外部電極を、積層体
の上・下面に形成された外部電極の少なくとも一方に導
通させるようにしているので、積層体の側面に形成され
た外部電極を上・下面にまで回り込ませた場合に見られ
るような、積層体の角部における外部電極（厚膜電極）
の盛上り（こぶ）の発生を防止して、上・下面の平坦性
に優れ、側面の外部電極と上・下面の外部電極とが確実
に導通した積層型圧電体素子を得ることができる。As described above, the laminated piezoelectric element of the present invention has a structure in which the laminated body of the piezoelectric layer and the internal electrode has upper and lower surfaces.
External so that it does not reach the ridgeline which is the boundary with the side
While forming the electrode, on the side from which the internal electrode is drawn out, a groove reaching at least one of the upper and lower surfaces of the laminate is formed, and a conduction electrode is provided therein, and the conduction electrode is interposed. The external electrode formed on the side of the laminate is
Since at least one of the external electrodes formed on the upper and lower surfaces is electrically connected, the external electrode formed on the side surface of the multilayer body is wrapped around the upper and lower surfaces. External electrode (thick film electrode) at the corner of
This prevents the occurrence of bulges (bumps), thereby obtaining a laminated piezoelectric element having excellent flatness on the upper and lower surfaces and having reliable conduction between the external electrodes on the side surfaces and the external electrodes on the upper and lower surfaces.
【００２５】したがって、この発明の積層型圧電体素子
を複数個積み重ねて積層型圧電アクチュエータを構成す
る場合に、積重ね（連結固定）の安定性に優れ、かつ外
力によって破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高
い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能になる。Therefore, when a multilayer piezoelectric actuator is formed by stacking a plurality of the multilayer piezoelectric elements of the present invention, the stability of the stack (connection and fixing) is excellent, and no destruction is caused by external force. Thus, a highly reliable laminated piezoelectric actuator can be obtained.
【図１】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は要部を示す
平面図、（ｃ）は断面図である。FIGS. 1A and 1B are views showing a laminated piezoelectric element according to an embodiment of the present invention, wherein FIG. 1A is a perspective view, FIG. 1B is a plan view showing a main part, and FIG.
【図２】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
を積み重ねて構成した積層型圧電アクチュエータの要部
を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a main part of a laminated piezoelectric actuator constituted by laminating laminated piezoelectric elements according to one embodiment of the present invention.
【図３】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
を積み重ねて構成した他の積層型圧電アクチュエータの
要部を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は図３
（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は側面図である。FIGS. 3A and 3B are views showing a main part of another multilayer piezoelectric actuator formed by stacking multilayer piezoelectric elements according to one embodiment of the present invention, wherein FIG. 3A is a plan view and FIG.
(A) is a sectional view taken along the line bb, and (c) is a side view.
【図４】従来の積層型圧電アクチュエータを示す断面図
である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a conventional laminated piezoelectric actuator.
【図５】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積
層型圧電体素子の内部電極のパターンを示す分解斜視図
である。FIG. 5 is an exploded perspective view showing a pattern of an internal electrode of a multilayer piezoelectric element constituting a conventional multilayer piezoelectric actuator.
【図６】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積
層型圧電体素子の要部を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a main part of a multilayer piezoelectric element constituting a conventional multilayer piezoelectric actuator.
【符号の説明】 １ 圧電体層 ２ａ，２ｂ 内部電極 ３ 積層体 ３ａ，３ｂ 積層体の上・下面 ３ｃ，３ｄ 積層体の側面 ４ａ，４ｂ 側面に形成された外
部電極 ４ａ1，４ｂ1 導通用電極 ５ 積層型圧電体素子 ６ａ，６ｂ 溝 ７ 金属板 ８ 接着剤 １４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ 上・下面に形成さ
れた外部電極[Reference Numerals] 1 piezoelectric layer 2a, 2b internal electrode 3 laminate 3a, 3b laminate the upper and lower surface 3c, side 4a of the 3d stack, external electrodes 4a 1 formed 4b side, 4b 1 for conducting Electrode 5 Laminated piezoelectric element 6a, 6b Groove 7 Metal plate 8 Adhesive 14a, 14b, 15a, 15b External electrodes formed on upper and lower surfaces
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−56179（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−243173（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 41/083 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-4-56179 (JP, A) JP-A-4-243173 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01L 41/083
Claims (1)
た内部電極と、内部電極が引き出された側面、及び上・
下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体
素子において、圧電体層と内部電極の積層体の上・下面の外部電極を、
前記内部電極が引き出された側面との境界をなす稜線部
にまで至らないように 形成し、かつ、前記 積層体の、前記内部電極が引き出された側面に、積
層体の上・下面の少なくとも一方に達する溝を形成し、
該溝の内部に導通用電極を配設するとともに、積層体の
側面に、前記溝の内部の導通用電極と導通するように外
部電極を形成し、該導通用電極を介して、積層体の側面
に形成された外部電極を、上・下面に形成された外部電
極の少なくとも一方に導通させるようにしたことを特徴
とする積層型圧電体素子。A plurality of piezoelectric layers; an internal electrode disposed between the piezoelectric layers; a side surface from which the internal electrode is extended;
In a laminated piezoelectric element including an external electrode formed on the lower surface, the external electrodes on the upper and lower surfaces of the laminate of the piezoelectric layer and the internal electrode are
Ridge part forming a boundary with the side surface from which the internal electrode is drawn out
Formed so as not to reach up to, and, of the laminate, on the side the internal electrode is drawn out, to form at least one reach the groove of the upper and lower surface of the stack,
With arranging the conduction electrodes to the inside of the groove, the laminate
On the side surface, externally connect to the conductive electrode inside the groove so as to conduct.
Part electrode was formed, through the conductor-class electrodes, an external electrode formed on the side surface of the laminate, is characterized in that so as to conduct at least one external electrode formed on the upper and lower surface laminate Type piezoelectric element.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5195515A JP3057968B2 (en) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | Multilayer piezoelectric element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP5195515A JP3057968B2 (en) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | Multilayer piezoelectric element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0730164A JPH0730164A (en) | 1995-01-31 |
| JP3057968B2 true JP3057968B2 (en) | 2000-07-04 |
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ID=16342371
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3057968B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29609703U1 (en) * | 1996-05-31 | 1996-09-26 | Trw Repa Gmbh | Gas bag |
| JP5584066B2 (en) | 2010-09-14 | 2014-09-03 | 太陽誘電株式会社 | Multilayer piezoelectric structure |
| JP2015170848A (en) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | Piezoelectric element and piezoelectric vibrator having the same |
-
1993
- 1993-07-12 JP JP5195515A patent/JP3057968B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH0730164A (en) | 1995-01-31 |
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