JP3039356B2 - Method of fixing magnetic head slider - Google Patents

Method of fixing magnetic head slider

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JP3039356B2
JP3039356B2 JP8022997A JP2299796A JP3039356B2 JP 3039356 B2 JP3039356 B2 JP 3039356B2 JP 8022997 A JP8022997 A JP 8022997A JP 2299796 A JP2299796 A JP 2299796A JP 3039356 B2 JP3039356 B2 JP 3039356B2
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thermosetting adhesive
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク装
置等に用いられる浮動型磁気ヘッドスライダの固着方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for fixing a floating magnetic head slider used in a hard disk drive or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】浮動型
の磁気ヘッドスライダをその支持部材であるサスペンシ
ョンに接着固定する公知技術として、(1)熱硬化型接
着剤を用いる方法、(2)紫外線硬化型(UV)接着剤
を用いる方法、(3)熱硬化型接着剤及びUV接着剤の
両方を用いる方法、(4)半だリフロー又は溶接を用い
る方法が存在する。
2. Description of the Related Art Known techniques for adhering and fixing a floating magnetic head slider to a suspension which is a supporting member thereof include (1) a method using a thermosetting adhesive, and (2) ultraviolet rays. There are a method using a curable (UV) adhesive, (3) a method using both a thermosetting adhesive and a UV adhesive, and (4) a method using semi-reflow or welding.

【0003】(1)熱硬化型接着剤を用いる方法 例えば、特開平6−60346号公報に記載されている
方法である。図1に示すように、接着用の位置決め治具
10に熱硬化型接着剤12を塗布した磁気ヘッドスライ
ダ11とサスペンション13とを取り付けた後、この治
具ごと硬化用オーブンに入れて加熱することにより熱硬
化型接着剤12を硬化させて両者を接着する。なお、図
1において、14はスライダ11用のガイド、15はサ
スペンション13及びスライダ11の押え部材、16は
その押えばね、17はサスペンション13の押え部材、
18はその押えばね、19a及び19bはサスペンショ
ン13の基準孔及びベース部の取付孔に挿入される位置
出し用のピンをそれぞれ示している。
(1) Method using a thermosetting adhesive An example is a method described in JP-A-6-60346. As shown in FIG. 1, after attaching a magnetic head slider 11 coated with a thermosetting adhesive 12 and a suspension 13 to a positioning jig 10 for bonding, the jig is put into a curing oven and heated. Cures the thermosetting adhesive 12 to bond them. In FIG. 1, 14 is a guide for the slider 11, 15 is a holding member for the suspension 13 and the slider 11, 16 is a holding spring thereof, 17 is a holding member for the suspension 13,
Reference numeral 18 denotes a holding spring, and reference numerals 19a and 19b denote positioning pins inserted into a reference hole of the suspension 13 and a mounting hole of the base portion, respectively.

【0004】熱硬化型接着剤を用いて接着を行えば、接
着面積が小さくても十分な強度が得られるが、加熱硬化
時に位置決め接着用治具10ごとオーブン内に入れて処
理しなければならないため位置決め接着用治具の利用効
率が悪く、磁気ヘッドの生産量に対応した莫大な数の治
具が必要となる。このため、治具間の位置精度のばらつ
きも大きくなるのみならず位置精度の管理も煩雑とな
る。しかも、オーブン内での加熱によって治具の熱的な
経時変化が生じて位置決め機構が狂ってしまい、この点
からも位置精度の管理が非常に難しい。また、磁気ヘッ
ドスライダ及びサスペンション全体のみならず治具をも
加熱するため、加熱すべき熱容量が大きくなって加熱時
間が長くなってしまうと共に耐熱性の劣る部分の耐熱条
件によって全体の加熱条件が規定されてしまう。
When bonding is performed using a thermosetting adhesive, sufficient strength can be obtained even when the bonding area is small, but the positioning and bonding jig 10 must be put into an oven during heat curing for processing. Therefore, the use efficiency of the positioning and bonding jig is poor, and a huge number of jigs corresponding to the production amount of the magnetic head are required. For this reason, not only the variation in the positional accuracy between the jigs becomes large, but also the management of the positional accuracy becomes complicated. In addition, the heating in the oven causes the jig to thermally change with time, and the positioning mechanism is disturbed. From this point, it is very difficult to control the positional accuracy. In addition, since not only the magnetic head slider and the entire suspension but also the jig are heated, the heat capacity to be heated increases, the heating time becomes longer, and the overall heating conditions are determined by the heat resistance conditions of the portion having poor heat resistance. Will be done.

【0005】(2)UV接着剤を用いる方法 例えば、特開平5−325460号公報に記載されてい
る方法であり、磁気ヘッドスライダにUV接着剤を塗布
してサスペンションの所定位置に重ね合わせ、この状態
で紫外線を照射してこのUV接着剤を硬化させて接着す
る。
(2) Method using UV adhesive For example, a method described in JP-A-5-325460 is used. A UV adhesive is applied to a magnetic head slider and superposed on a predetermined position of a suspension. In this state, ultraviolet rays are irradiated to cure and bond the UV adhesive.

【0006】UV接着剤を用いて接着を行えば、接着用
治具をオーブン内に入れなくてよいので加熱による治具
の位置精度の狂いを防止できかつ上述した熱的な制約が
ない。しかしながら、紫外線の当らない部分は硬化しな
いことから、紫外線照射のみでは十分な接着強度が得ら
れない。特に、最も接着強度を必要とするスライダとフ
レクシャーとの界面には通常は紫外線が全く照射されな
いので接着強度が不足してしまう。また、接着面積が小
さい場合、UV接着剤のみでは、満足な接着強度を得る
ことが難しい。
If the bonding is performed using a UV adhesive, it is not necessary to put the bonding jig into the oven, so that the positional accuracy of the jig due to heating can be prevented from being deviated, and there is no thermal restriction described above. However, since the portions that are not exposed to ultraviolet light are not cured, a sufficient adhesive strength cannot be obtained only by ultraviolet irradiation. In particular, since the interface between the slider and the flexure, which requires the most adhesive strength, is not normally irradiated with ultraviolet light, the adhesive strength is insufficient. Further, when the bonding area is small, it is difficult to obtain a satisfactory bonding strength only with the UV adhesive.

【0007】特開平5−40927号公報には、紫外線
の非照射部分を少なくするために、フレクシャー部分を
紫外線を通す透明な樹脂で構成する技術が記載されてい
る。しかしながら、これは、特殊なフレクシャーを必要
とするのみならず、接着面積自体が小さい場合UV接着
剤のみでは十分な接着強度を得ることが難しい。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-40927 discloses a technique in which a flexure portion is made of a transparent resin that transmits ultraviolet light in order to reduce the portion not irradiated with ultraviolet light. However, this not only requires a special flexure, but it is difficult to obtain a sufficient adhesive strength only with a UV adhesive when the adhesive area itself is small.

【0008】(3)熱硬化型接着剤及びUV接着剤の両
方を用いる方法 特開平6−60346号公報に記載されている方法であ
り、紫外線照射の困難な箇所には熱硬化型接着剤を、紫
外線照射が可能な箇所にはUV接着剤を同時に使い分け
てスライダとフレクシャーとを両接着剤のそれぞれの硬
化条件で固着させている。
(3) A method using both a thermosetting adhesive and a UV adhesive This is a method described in JP-A-6-60346, and a thermosetting adhesive is used in places where ultraviolet irradiation is difficult. The slider and the flexure are fixed under the respective curing conditions of the two adhesives by simultaneously using the UV adhesive in the portions where the ultraviolet irradiation is possible.

【0009】しかしながら、2種類の接着剤を用いるこ
とは生産性向上の点で問題があり、また、UV接着剤は
エポキシ樹脂による熱硬化型接着剤の硬化を阻害する性
質を基本的に有しているので互いに接触しないように両
接着剤を使い分けしなければならず、その意味でも処理
が煩雑となる。
However, the use of two types of adhesives has a problem in terms of improving the productivity, and the UV adhesive basically has a property of inhibiting the curing of the thermosetting adhesive by the epoxy resin. Therefore, both adhesives must be used properly so that they do not come into contact with each other, and the processing becomes complicated in that sense.

【0010】(4)半だリフロー又は溶接を用いる方法 例えば特開昭59−63058号公報に記載されている
方法であり、スライダとそのサスペンションとを半だリ
フロー又は溶接を用いて接合する。
(4) Method using semi-reflow or welding For example, a method described in JP-A-59-63058, in which a slider and its suspension are joined using semi-reflow or welding.

【0011】磁気ヘッドスライダ及びサスペンション及
びこれらの位置決めを行う治具全体が半だリフロー耐熱
又は溶接耐熱を必要とし、しかも接着面に半だ用電極又
は溶接用電極を設けておく必要がある。
[0011] The magnetic head slider and the suspension and the entire jig for positioning them require heat resistance to reflow or welding, and a bonding electrode or welding electrode must be provided on the bonding surface.

【0012】本発明の第1の目的は、加熱硬化時の熱効
率が良く、硬化時間を短縮化できる磁気ヘッドスライダ
の固着方法を提供することにある。
A first object of the present invention is to provide a method of fixing a magnetic head slider, which has good thermal efficiency during heat curing and can shorten the curing time.

【0013】本発明の第2の目的は、従来技術の上述し
た問題点を解消し、加熱硬化時に接着用治具ごとオーブ
ン内に入れて処理する必要がなく、しかも1種類の接着
剤のみで接着を行って高い接着強度を得ることができる
磁気ヘッドスライダの固着方法を提供することにある。
A second object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, so that it is not necessary to put the jig for bonding in an oven at the time of heating and curing, and to use only one kind of adhesive. It is an object of the present invention to provide a method of fixing a magnetic head slider that can achieve high bonding strength by performing bonding.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、磁気ヘ
ッドスライダ及びスライダ支持部材を接着用治具に位置
決めして取り付けると共に磁気ヘッドスライダ及びスラ
イダ支持部材間に導電性熱硬化型接着剤を介在させ、こ
の導電性熱硬化型接着剤に電流を流し、ジュール熱によ
る自己発熱により導電性熱硬化型接着剤を硬化させるこ
とによって磁気ヘッドスライダをスライダ支持部材に仮
接着した後、仮接着された磁気ヘッドスライダ及びスラ
イダ支持部材を接着用治具から取り外し、導電性熱硬化
型接着剤をさらに硬化させて本接着を行う磁気ヘッドス
ライダの固着方法が提供される。
According to the present invention, a magnetic head slider and a slider supporting member are positioned and attached to a bonding jig, and a conductive thermosetting adhesive is provided between the magnetic head slider and the slider supporting member. The magnetic head slider is temporarily bonded to the slider support member by intervening, passing a current to the conductive thermosetting adhesive, and curing the conductive thermosetting adhesive by self-heating by Joule heat, and then temporarily bonded. The magnetic head slider and the slider supporting member are detached from the bonding jig, and the conductive thermosetting adhesive is further cured to perform the actual bonding, thereby providing a method of fixing the magnetic head slider.

【0015】導電性熱硬化型接着剤の電流によるジュー
ル熱によってこの接着剤自体を自己発熱させて硬化させ
るので、硬化に必要とする最小限の領域のみが局部的に
加熱され、しかも加熱源がその接着剤そのものであるの
で硬化に必要な熱を最も効率よく与えることができ、非
常に短時間にかつ簡便に硬化処理を行うことができる。
[0015] Since the adhesive itself is self-heated and cured by Joule heat due to the current of the conductive thermosetting adhesive, only the minimum area required for curing is locally heated, and the heating source is Since the adhesive itself is used, heat required for curing can be applied most efficiently, and the curing treatment can be performed in a very short time and easily.

【0016】仮接着工程では、磁気ヘッドスライダ及び
スライダ支持部材を接着用治具に取り付けた状態でジュ
ール熱によって自己発熱させて局部的に加熱することに
よりこの接着剤をゲル化させ、磁気ヘッドスライダとス
ライダ支持部材とが支えなしで接着している状態とす
る。本接着工程では、仮接着された磁気ヘッドスライダ
及びスライダ支持部材を接着用治具から取り外してオー
ブン内に入れ、さらに加熱して硬化させる。この方法に
よれば、接着用治具をオーブン内に入れる必要がなくか
つ仮接着に要する時間が短いため、多数の治具を用意す
る必要がなくなり、治具間の位置精度のばらつきを大幅
に低減できると共に治具の熱的な経時変化を完全に防止
することができる。しかも、UV接着剤を使用する場合
のように非照射部分への考慮が全く不要となり、また熱
硬化型接着剤を用いているので十分な接着強度が得られ
る。さらに1種類の接着剤のみを用いているので、接着
剤の使い分け等が不要となって作業性が非常に向上す
る。
In the temporary bonding step, the magnetic head slider and the slider supporting member are attached to a bonding jig and self-generated by Joule heat to locally heat the adhesive, thereby gelling the adhesive. And the slider support member are adhered without support. In the main bonding step, the magnetic head slider and the slider supporting member temporarily bonded are removed from the bonding jig, placed in an oven, and further heated and cured. According to this method, it is not necessary to put the bonding jig into the oven and the time required for the temporary bonding is short, so that it is not necessary to prepare a large number of jigs, and the positional accuracy among the jigs greatly varies. In addition, the jig can be completely prevented from being thermally changed with time. In addition, there is no need to consider a non-irradiated portion as in the case of using a UV adhesive, and a sufficient adhesive strength can be obtained because a thermosetting adhesive is used. Furthermore, since only one kind of adhesive is used, it is not necessary to use different adhesives, and the workability is greatly improved.

【0017】導電性熱硬化型接着剤の温度を検出し、こ
の検出した温度に応じて導電性熱硬化型接着剤に流す電
流を調整することが好ましい。これによって、導電性熱
硬化型接着剤の温度が正確にフィードバック制御され
る。
Preferably, the temperature of the conductive thermosetting adhesive is detected, and the current flowing through the conductive thermosetting adhesive is adjusted according to the detected temperature. As a result, the temperature of the conductive thermosetting adhesive is feedback-controlled accurately.

【0018】導電性熱硬化型接着剤が導電性フィラー入
りのエポキシ樹脂系接着剤であることが好ましく、さら
にこの導電性フィラーが銀フィラーであることが好まし
い。
The conductive thermosetting adhesive is preferably an epoxy resin-based adhesive containing a conductive filler, and more preferably the conductive filler is a silver filler.

【0019】導電性熱硬化型接着剤のエポキシ樹脂に対
する導電性フィラーの重量混合比が1対0.3〜0.9
であることが好ましい。この混合比の導電性熱硬化型接
着剤を用いることにより、樹脂応力を小さくしつつより
高い接着強度が得られる。
The weight ratio of the conductive filler to the epoxy resin of the conductive thermosetting adhesive is 1: 0.3 to 0.9.
It is preferred that By using the conductive thermosetting adhesive having this mixing ratio, higher adhesive strength can be obtained while reducing resin stress.

【0020】導電性熱硬化型接着剤に流す電流は、連続
する直流であってもよいし、間欠するパルス電流であっ
てもよい。
The current flowing through the conductive thermosetting adhesive may be a continuous direct current or an intermittent pulse current.

【0021】導電性熱硬化型接着剤に流す電流が連続す
る直流である場合、この接着剤の抵抗に応じて定電圧か
ら定電流に切り替えられて制御されることが好ましい。
When the current flowing through the conductive thermosetting adhesive is a continuous direct current, it is preferable to switch from a constant voltage to a constant current in accordance with the resistance of the adhesive and control it.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施形
態を詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0023】図2は本発明の一実施形態として磁気ヘッ
ドスライダをその支持部材に固着する固着治具を概略的
に示す側面図である。
FIG. 2 is a side view schematically showing a fixing jig for fixing a magnetic head slider to a support member thereof according to an embodiment of the present invention.

【0024】同図において、20は仮接着用治具を示し
ており、21は仮接着用治具20上の所定位置に位置決
めして載置された磁気ヘッドスライダをそれぞれ示して
いる。磁気ヘッドスライダ21の接着面(ABS面の反
対側面)には導電性熱硬化型接着剤22が塗布されてお
り、その上の所定位置にスライダ支持部材である金属製
(例えばステンレス製)のサスペンション23が載置さ
れている。サスペンション23の位置出しは、その基準
孔に接触挿入される位置出し用の導電性ピン24とベー
ス部の取付孔に挿入される位置出し用の電気絶縁性ピン
25によって行われる。なお、同図において、26は磁
気ヘッドスライダ21の側面に押し当てられた導電性ス
トッパ、27はその支点27aに枢着されかつばね28
によって付勢されるサスペンション23の押え部材であ
る。
In FIG. 1, reference numeral 20 denotes a temporary bonding jig, and reference numeral 21 denotes a magnetic head slider positioned and mounted at a predetermined position on the temporary bonding jig 20. A conductive thermosetting adhesive 22 is applied to an adhesive surface (the side opposite to the ABS surface) of the magnetic head slider 21, and a metal (for example, stainless steel) suspension serving as a slider support member is provided at a predetermined position thereon. 23 are placed. The positioning of the suspension 23 is performed by a conductive pin 24 for positioning which is inserted into contact with the reference hole and an electrically insulating pin 25 for positioning which is inserted into a mounting hole of the base portion. In the figure, reference numeral 26 denotes a conductive stopper pressed against the side surface of the magnetic head slider 21, and 27 denotes a spring which is pivotally attached to a fulcrum 27a thereof.
It is a pressing member of the suspension 23 biased by the.

【0025】導電性ピン24及び導電性ストッパ26間
には、レギュレータ付直流電源29a及びスイッチ29
bが直列に接続されている。直流電源29aは、例えば
菊水電子株式会社製のPAD 35−5Lであり、負荷
抵抗が高い場合は定電圧制御を行い、負荷抵抗が低下し
ていくと定電流制御に切り替わるレギュレータ付電源で
ある。なお、導電性ピン24及び導電性ストッパ26を
除く仮接着用治具20のほとんどの部分は電気絶縁性材
料で構成されている。また、磁気ヘッドスライダ21
は、導電性のアルティック(Al−TiC)で構成され
ており、絶縁保護膜で保護されているその磁気ヘッド素
子形成部21aを除いて導体である。さらに、サスペン
ション23も金属製であるから当然に導体である。
A DC power supply 29a with a regulator and a switch 29 are provided between the conductive pin 24 and the conductive stopper 26.
b are connected in series. The DC power supply 29a is, for example, a PAD 35-5L manufactured by Kikusui Electronics Co., Ltd., and is a power supply with a regulator that performs constant voltage control when the load resistance is high and switches to constant current control as the load resistance decreases. Note that most of the temporary bonding jig 20 except the conductive pins 24 and the conductive stoppers 26 is made of an electrically insulating material. Also, the magnetic head slider 21
Is a conductor made of conductive AlTiC (Al-TiC), except for the magnetic head element forming portion 21a protected by the insulating protective film. Further, since the suspension 23 is also made of metal, it is naturally a conductor.

【0026】従って、スイッチ29bを閉成すれば、直
流電源29aから導電性ストッパ26、磁気ヘッドスラ
イダ21、導電性熱硬化型接着剤22、サスペンション
23及び導電性ピン24のループで電流が流れ、これに
よって導電性熱硬化型接着剤22はジュール熱により自
己発熱して硬化する。なお、厳密に述べると、樹脂その
もののジュール熱による自己発熱のみならず、磁気ヘッ
ドスライダ21及びサスペンション23にも電流が流れ
ているため、これらも若干発熱して樹脂硬化に寄与す
る。
Therefore, when the switch 29b is closed, a current flows from the DC power supply 29a in a loop of the conductive stopper 26, the magnetic head slider 21, the conductive thermosetting adhesive 22, the suspension 23 and the conductive pin 24, As a result, the conductive thermosetting adhesive 22 self-heats and hardens due to Joule heat. Strictly speaking, not only self-heating due to the Joule heat of the resin itself, but also a current flowing through the magnetic head slider 21 and the suspension 23, these also slightly generate heat and contribute to the resin curing.

【0027】導電性熱硬化型接着剤22として、本実施
形態では、90℃、1時間の硬化条件が推奨されている
エポキシ樹脂に導電性フィラーを混練したものを使用し
ている。導電性フィラーとしてはフレーク状の銀フィラ
ー(例えば徳力化学社製のTCG7N)を使用してい
る。ただし、エポキシ樹脂及び導電性フィラーは、この
例に限定されるものではない。
In the present embodiment, as the conductive thermosetting adhesive 22, an epoxy resin recommended for curing at 90 ° C. for one hour is kneaded with a conductive filler. As the conductive filler, a flake-like silver filler (for example, TCG7N manufactured by Tokurika Chemical Co., Ltd.) is used. However, the epoxy resin and the conductive filler are not limited to this example.

【0028】次に、本実施形態の装置を用いた磁気ヘッ
ドスライダの固着動作を説明する。まず、仮接着用治具
20の所定位置に磁気ヘッドスライダ21を載置し、そ
の磁気ヘッドスライダ21の接着面に導電性熱硬化型接
着剤22を塗布した後、その上にサスペンション23を
位置出しして載置する。次いで、スイッチ29bを閉成
して導電性熱硬化型接着剤22の平面を貫く方向に連続
した直流電流を流し、この接着剤22自体を局部的に発
熱させることによりエポキシ樹脂のゲル化を行って磁気
ヘッドスライダ21とサスペンション23とを仮接着す
る。直流電流の供給時間は、導電性フィラーの内容によ
って異なるが40〜50秒程度であり、60秒を越えず
にゲル化が達成される。
Next, the fixing operation of the magnetic head slider using the apparatus of this embodiment will be described. First, the magnetic head slider 21 is placed at a predetermined position on the temporary bonding jig 20, a conductive thermosetting adhesive 22 is applied to the bonding surface of the magnetic head slider 21, and then the suspension 23 is positioned thereon. Put out and place. Next, the switch 29b is closed and a continuous direct current is passed in a direction penetrating the plane of the conductive thermosetting adhesive 22, and the adhesive 22 itself is locally heated to gel the epoxy resin. The magnetic head slider 21 and the suspension 23 are temporarily bonded. The DC current supply time varies depending on the content of the conductive filler, but is about 40 to 50 seconds, and gelation is achieved without exceeding 60 seconds.

【0029】このように仮接着された磁気ヘッドスライ
ダ21及びサスペンション23(ヘッドジンバルアセン
ブリ、HGA)を仮接着用治具20から取り外し、硬化
用のオーブン内に入れて例えば120℃、1時間の加熱
を行うことにより、上述のエポキシ樹脂22をさらに硬
化させて本接着を行う。
The magnetic head slider 21 and the suspension 23 (head gimbal assembly, HGA) temporarily bonded in this way are removed from the temporary bonding jig 20 and placed in a curing oven, for example, heated at 120 ° C. for one hour. Is performed, the epoxy resin 22 described above is further cured, and the actual bonding is performed.

【0030】エポキシ樹脂に対する導電性フィラーの混
合比(重量混合比)について次に説明する。この重量混
合比は、エポキシ樹脂「1」に対して導電性フィラー
「約0.7」であることが硬化後の接着剤の応力及び接
着強度に関して最も好ましいが、エポキシ樹脂「1」に
対して導電性フィラー「0.3〜0.9」の範囲であれ
ば、接着剤の応力が小さくかつ接着強度が大きく優れた
ものとなることが実験により確認されている。
Next, the mixing ratio (weight mixing ratio) of the conductive filler to the epoxy resin will be described. This weight mixing ratio is most preferably the conductive filler “about 0.7” with respect to the epoxy resin “1” with respect to the stress and adhesive strength of the adhesive after curing. It has been experimentally confirmed that, when the conductive filler is in the range of “0.3 to 0.9”, the stress of the adhesive is small and the adhesive strength is large and excellent.

【0031】以下、この重量混合比と接着後の導電性熱
硬化型接着剤の応力及び接着強度との実験方法及びその
結果について説明する。導電性エポキシ樹脂接着剤の応
力は、その接着剤で固着した部材のクラウン状の撓み量
の温度に応じた変化量で表わすことができる。従って、
導電性フィラーの重量混合比を変えた場合の導電性エポ
キシ樹脂接着剤の応力特性、さらに導電性フィラーの重
量混合比を変えた場合の接着強度特性を次のようにして
測定した。
Hereinafter, an experimental method of the weight mixing ratio and the stress and adhesive strength of the conductive thermosetting adhesive after bonding and the results thereof will be described. The stress of the conductive epoxy resin adhesive can be represented by the amount of change in the crown-like deflection of the member fixed by the adhesive in accordance with the temperature. Therefore,
The stress characteristics of the conductive epoxy resin adhesive when the weight mixing ratio of the conductive filler was changed, and the adhesive strength characteristics when the weight mixing ratio of the conductive filler was changed were measured as follows.

【0032】エポキシ樹脂対導電性フィラーがある重量
混合比である導電性接着剤、例えば1対0.3の重量混
合比である導電性接着剤を用意し、磁気ヘッドスライダ
21及びサスペンション23間にこの接着剤を塗布した
例えば5つのサンプルについて、図2に示した方法で電
流を印加し、仮接着を行った後、本接着を行った。仮接
着工程における硬化条件は、この例では、電流が0.3
Aの定電流制御、電圧が5.0Vリミットによる制御
(接着剤の抵抗により変動するものであり、定常時で2
〜3Vの実測値)であり、電流供給時間が40秒であ
る。本接着工程における硬化条件は、120℃、60分
である。このように接着を行った5つのサンプルに対し
て、室温(25℃)時のクラウン状撓み量、低温(5
℃)時のクラウン状撓み量、撓み量の温度に応じた変化
(両撓み量の差)、及びピール試験による接着強度を測
定した結果とそれらの5つのサンプルの平均値とが次の
表1に示されている。
A conductive adhesive having a weight mixing ratio of an epoxy resin to a conductive filler, for example, a conductive adhesive having a weight mixing ratio of 1: 0.3, is prepared. With respect to, for example, five samples to which the adhesive was applied, current was applied by the method shown in FIG. 2 and temporary bonding was performed, followed by final bonding. In this example, the curing conditions in the temporary bonding step are as follows.
A constant current control, voltage is controlled by 5.0V limit (it fluctuates by the resistance of the adhesive.
実 3 V), and the current supply time is 40 seconds. The curing conditions in the main bonding step are 120 ° C. and 60 minutes. For the five samples thus bonded, the amount of crown-like deflection at room temperature (25 ° C.) and the low-temperature (5
° C), the result of measuring the crown-like deflection amount, the change in the deflection amount depending on the temperature (difference between both deflection amounts), and the adhesive strength by the peel test, and the average value of the five samples are shown in Table 1 below. Is shown in

【0033】[0033]

【表1】 [Table 1]

【0034】導電性フィラーの重量混合比を0、0.0
05、0.025、0.05、0.5、0.7、0.9
と変えた場合について同様の測定を行い、温度に応じた
撓み量の変化の平均値をそれぞれプロットしたものが、
図3に示す導電性フィラーの重量混合比に対する撓み量
の温度に応じた変化特性であり、これは導電性フィラー
の重量混合比に対する導電性エポキシ樹脂接着剤の応力
特性を表わしている。また、導電性フィラーの重量混合
比を変えた場合の接着強度の平均値をそれぞれプロット
したものが、図4に示す導電性フィラーの重量混合比に
対する導電性エポキシ樹脂接着剤の接着強度特性であ
る。両図から明らかのように、重量混合比がエポキシ樹
脂「1」に対して導電性フィラー「0.3〜0.9」の
範囲であれば、接着剤の応力が小さくかつ接着強度が大
きくなって好ましい。
The weight ratio of the conductive filler is 0, 0.0
05, 0.025, 0.05, 0.5, 0.7, 0.9
The same measurement was performed for the case of changing, and the average value of the change in the amount of deflection according to the temperature was plotted,
FIG. 3 shows a change characteristic of the amount of bending with respect to the weight mixing ratio of the conductive filler according to the temperature, which shows the stress characteristic of the conductive epoxy resin adhesive with respect to the weight mixing ratio of the conductive filler. In addition, the plot of the average value of the adhesive strength when the weight mixing ratio of the conductive filler is changed is the adhesive strength characteristic of the conductive epoxy resin adhesive with respect to the weight mixing ratio of the conductive filler shown in FIG. . As is apparent from both figures, when the weight mixing ratio is in the range of the conductive filler “0.3 to 0.9” with respect to the epoxy resin “1”, the stress of the adhesive is small and the adhesive strength is large. Preferred.

【0035】このように本実施形態によれば、電流を導
電性エポキシ樹脂に直接的に流しそのジュール熱により
自己発熱させて硬化させているため、非常に効率の良い
樹脂硬化が可能である。従って、60秒より短い時間で
仮接着が可能である。仮接着用治具をオーブン内に入れ
る必要がなく、しかも仮接着時間が短いため、多数の治
具を用意する必要がなくなり、治具間の位置精度のばら
つきを大幅に低減できると共に治具の熱的な経時変化を
完全に防止することができる。また、導電性エポキシ樹
脂自体が自己発熱するため、この部分以外の温度上昇を
最小限に抑えることができる。しかも、UV接着剤を使
用する場合のように非照射部分への考慮が全く不要とな
り、また熱硬化型のエポキシ樹脂を用いているので十分
な接着強度が得られる。しかも1種類の接着剤のみを用
いているので、接着剤の使い分け等が不要となって作業
性が非常に向上する。さらに、導電性熱硬化型接着剤2
2によって磁気ヘッドスライダ21とサスペンション2
3とが導通状態となっているため、両者間の導通手段を
固着後に付加的に設ける必要がなくなり、その分、製造
工程が簡易となる。
As described above, according to the present embodiment, the current is directly passed through the conductive epoxy resin, and the resin is self-heated and cured by the Joule heat. Therefore, the resin can be cured very efficiently. Therefore, temporary bonding can be performed in a time shorter than 60 seconds. There is no need to put the temporary bonding jig into the oven, and since the temporary bonding time is short, there is no need to prepare a large number of jigs. Thermal aging can be completely prevented. In addition, since the conductive epoxy resin itself generates heat, a rise in temperature other than this portion can be suppressed to a minimum. In addition, there is no need to consider a non-irradiated portion as in the case of using a UV adhesive, and a sufficient adhesive strength can be obtained because a thermosetting epoxy resin is used. In addition, since only one kind of adhesive is used, it is not necessary to use the adhesive properly and the workability is greatly improved. Further, the conductive thermosetting adhesive 2
2 and the magnetic head slider 21 and the suspension 2
3 is in a conductive state, so that it is not necessary to additionally provide a conductive means between the two after fixing, and the manufacturing process is simplified accordingly.

【0036】なお上述した実施形態においては、導電性
熱硬化型接着剤22に供給される電流が連続した直流電
流であるが、これは、例えばデューティー比が50%の
間欠するパルス電流であってもよい。
In the above-described embodiment, the current supplied to the conductive thermosetting adhesive 22 is a continuous DC current. This is, for example, a pulse current having a duty ratio of 50% intermittently. Is also good.

【0037】図5は本発明の他の実施形態として磁気ヘ
ッドスライダをその支持部材に固着する固着治具を概略
的に示す側面図である。
FIG. 5 is a side view schematically showing a fixing jig for fixing a magnetic head slider to its support member as another embodiment of the present invention.

【0038】同図において、50は仮接着用治具を示し
ており、51は仮接着用治具50上の所定位置に位置決
めして載置された磁気ヘッドスライダをそれぞれ示して
いる。磁気ヘッドスライダ51の接着面(ABS面の反
対側面)には導電性熱硬化型接着剤52が塗布されてお
り、その上の所定位置にスライダ支持部材である金属製
(例えばステンレス製)のサスペンション53が載置さ
れている。サスペンション53の位置出しは、その基準
孔に接触挿入される位置出し用の導電性ピン54とベー
ス部の取付孔に挿入される位置出し用の電気絶縁性ピン
55によって行われる。なお、同図において、56は磁
気ヘッドスライダ51の側面に押し当てられた導電性ス
トッパ、57はその支点57aに枢着されかつばね58
によって付勢されるサスペンション53の押え部材であ
る。
In the same figure, reference numeral 50 denotes a temporary bonding jig, and reference numeral 51 denotes a magnetic head slider positioned and mounted at a predetermined position on the temporary bonding jig 50. A conductive thermosetting adhesive 52 is applied to an adhesive surface (the side opposite to the ABS surface) of the magnetic head slider 51, and a metal (for example, stainless steel) suspension serving as a slider support member is provided at a predetermined position on the conductive thermosetting adhesive 52. 53 are placed. The positioning of the suspension 53 is performed by a conductive pin 54 for positioning which is inserted into contact with the reference hole and an electrically insulating pin 55 for positioning which is inserted into a mounting hole of the base portion. In the drawing, reference numeral 56 denotes a conductive stopper pressed against the side surface of the magnetic head slider 51, and 57 denotes a spring 58
The pressing member of the suspension 53 is urged by the suspension 53.

【0039】導電性ピン54及び導電性ストッパ56間
には、レギュレータ付直流電源59a及びスイッチ59
bが直列に接続されている。熱電対59cはスライダ5
1に接触せしめられており、導電性熱硬化型接着剤52
の実際の温度を検出している。この熱電対59cに電気
的に接続されているコントローラ59dは、この熱電対
59cからの温度検出信号を受け取り、直流電源59a
からの出力電流を温度検出信号に応じて制御する。
A DC power supply 59a with a regulator and a switch 59 are provided between the conductive pin 54 and the conductive stopper 56.
b are connected in series. Thermocouple 59c is slider 5
1 and a conductive thermosetting adhesive 52
Is detecting the actual temperature. The controller 59d electrically connected to the thermocouple 59c receives the temperature detection signal from the thermocouple 59c, and
Is controlled according to the temperature detection signal.

【0040】直流電源59aは、例えば菊水電子株式会
社製のPAD 35−5Lであり、負荷抵抗が高い場合
は定電圧制御を行い、負荷抵抗が低下していくと定電流
制御に切り替わるレギュレータ付電源である。
The DC power supply 59a is, for example, a PAD 35-5L manufactured by Kikusui Electronics Co., Ltd. The power supply with a regulator performs constant voltage control when the load resistance is high, and switches to constant current control when the load resistance decreases. It is.

【0041】なお、導電性ピン54及び導電性ストッパ
56を除く仮接着用治具50のほとんどの部分は電気絶
縁性材料で構成されている。また、磁気ヘッドスライダ
51は、導電性のアルティック(Al−TiC)で構成
されており、絶縁保護膜で保護されているその磁気ヘッ
ド素子形成部51aを除いて導体である。さらに、サス
ペンション53も金属製であるから当然に導体である。
Most of the temporary bonding jig 50 except the conductive pins 54 and the conductive stoppers 56 is made of an electrically insulating material. The magnetic head slider 51 is made of conductive AlTiC (Al-TiC), and is a conductor except for the magnetic head element forming portion 51a protected by an insulating protective film. Further, since the suspension 53 is also made of metal, it is naturally a conductor.

【0042】従って、スイッチ59bを閉成すれば、直
流電源59aから導電性ストッパ56、磁気ヘッドスラ
イダ51、導電性熱硬化型接着剤52、サスペンション
53及び導電性ピン54のループで電流が流れ、これに
よって導電性熱硬化型接着剤52はジュール熱により自
己発熱して硬化する。なお、厳密に述べると、樹脂その
もののジュール熱による自己発熱のみならず、磁気ヘッ
ドスライダ51及びサスペンション53にも電流が流れ
ているため、これらも若干発熱して樹脂硬化に寄与す
る。導電性熱硬化型接着剤52の温度は、熱電対59
c、コントローラ59d及び直流電源59aから構成さ
れるフィードバックループによって正確に制御される。
Accordingly, when the switch 59b is closed, a current flows from the DC power supply 59a through a loop of the conductive stopper 56, the magnetic head slider 51, the conductive thermosetting adhesive 52, the suspension 53 and the conductive pin 54, As a result, the conductive thermosetting adhesive 52 self-heats and hardens due to Joule heat. Strictly speaking, not only self-heating due to the Joule heat of the resin itself, but also a current flowing through the magnetic head slider 51 and the suspension 53, these also slightly generate heat and contribute to the resin curing. The temperature of the conductive thermosetting adhesive 52 is controlled by a thermocouple 59.
c, and is accurately controlled by a feedback loop composed of a controller 59d and a DC power supply 59a.

【0043】導電性熱硬化型接着剤52としては、図2
の実施形態と同様の導電性エポキシ樹脂が用いられる。
As the conductive thermosetting adhesive 52, FIG.
The same conductive epoxy resin as that of the embodiment is used.

【0044】熱電対を用いて温度検出を行いフィードバ
ック制御を行うことを除いて本実施形態における仮接着
工程及び本接着工程の構成、動作及び作用効果は、図2
の実施形態の場合とほぼ同様であるため、その説明は省
略する。
Except for performing temperature detection using a thermocouple and performing feedback control, the structure, operation, and effects of the temporary bonding step and the main bonding step in this embodiment are shown in FIG.
Since it is almost the same as that of the embodiment, the description thereof is omitted.

【0045】図6は、本発明による固着方法のさらに他
の実施形態の構成を概略的に説明する図である。
FIG. 6 is a diagram schematically illustrating the configuration of still another embodiment of the fixing method according to the present invention.

【0046】図2及び図5の実施形態では導電性熱硬化
型接着剤22及び52の平面を貫く方向に電流を流して
いるが、この実施形態では直流電流を導電性熱硬化型接
着剤62の平面に沿った方向に流している。即ち、磁気
ヘッドスライダ61の接着面(ABS面の反対側面)に
導電性熱硬化型接着剤62が塗布されており、その上の
所定位置にスライダ支持部材である金属製(例えばステ
ンレス製)のサスペンション63が載置されている。塗
布された導電性熱硬化型接着剤62の両端62a及び6
2b間には、レギュレータ付直流電源69が接続されて
いる。この直流電源69は、図2及び図5の場合と同様
に負荷抵抗が高い場合は定電圧制御を行い、負荷抵抗が
低下していくと定電流制御に切り替わるようにして連続
する直流電流を流すレギュレータ付電源であってもよい
し、間欠するパルス電流を流すパルス電源であってもよ
い。パルス電源の場合、例えばデューティー比が50
%、印加電圧が5V、電流制限が2Aに設定される。
In the embodiment shown in FIGS. 2 and 5, a current flows in a direction penetrating the planes of the conductive thermosetting adhesives 22 and 52. In this embodiment, a direct current is applied to the conductive thermosetting adhesive 62. In the direction along the plane. That is, a conductive thermosetting adhesive 62 is applied to the bonding surface (the side opposite to the ABS) of the magnetic head slider 61, and a metal (for example, stainless steel) serving as a slider supporting member is provided at a predetermined position on the conductive thermosetting adhesive. A suspension 63 is mounted. Both ends 62a and 6a of the applied conductive thermosetting adhesive 62
A DC power supply with regulator 69 is connected between 2b. The DC power supply 69 performs a constant voltage control when the load resistance is high, and switches to the constant current control as the load resistance decreases as in the case of FIGS. The power supply may be a power supply with a regulator or a pulsed power supply through which an intermittent pulse current flows. In the case of a pulse power supply, for example, the duty ratio is 50
%, The applied voltage is set to 5V, and the current limit is set to 2A.

【0047】導電性熱硬化型接着剤に対する直流電流の
印加方向を除いて本実施形態における仮接着工程及び本
接着工程の構成、動作及び作用効果は、図2及び図5の
実施形態の場合と全く同様であるため、その説明は省略
する。
Except for the direction in which the direct current is applied to the conductive thermosetting adhesive, the configuration, operation, and effect of the temporary bonding step and the main bonding step in this embodiment are the same as those in the embodiments of FIGS. The description is omitted because it is completely the same.

【0048】図7は、固着方法の参照例の構成を概略的
に説明する図である。
FIG. 7 is a diagram schematically illustrating the configuration of a reference example of the fixing method.

【0049】図2、図5及び図6の実施形態では導電性
の熱硬化型接着剤22、52及び62を用い、これに直
接的に電流を流して発熱させているが、この参照例では
導電性を持たない熱硬化型接着剤72を用い、スライダ
支持部材であるサスペンション73の接着面に抵抗パタ
ーン74をあらかじめ形成しておき、この抵抗パターン
74に電流を流して局部的に発熱させることにより熱硬
化型接着剤72を硬化させている。即ち、磁気ヘッドス
ライダ71の接着面(ABS面の反対側面)に熱硬化型
接着剤72が塗布され、その上の所定位置に、接着面側
に抵抗パターン74があらかじめ形成されたサスペンシ
ョン73が載置される。この抵抗パターン74の両端7
4a及び74b間には、定電流の直流電源79が接続さ
れている。この直流電源79は、連続する直流電流を流
す電源であってもよいし、間欠するパルス電流を流すパ
ルス電源であってもよい。なお、抵抗パターン74は磁
気ヘッドスライダ71側の接着面に設けてもよい。
In the embodiments shown in FIGS. 2, 5, and 6, the conductive thermosetting adhesives 22, 52, and 62 are used, and current is directly applied to the adhesives to generate heat. A resistance pattern 74 is formed in advance on a bonding surface of a suspension 73 serving as a slider support member by using a thermosetting adhesive 72 having no conductivity, and a current is applied to the resistance pattern 74 to locally generate heat. This cures the thermosetting adhesive 72. That is, a thermosetting adhesive 72 is applied to the bonding surface (the side opposite to the ABS surface) of the magnetic head slider 71, and a suspension 73 having a resistance pattern 74 formed in advance on the bonding surface is mounted on a predetermined position thereon. Is placed. Both ends 7 of this resistance pattern 74
A constant current DC power supply 79 is connected between 4a and 74b. The DC power supply 79 may be a power supply for supplying a continuous DC current or a pulse power supply for supplying an intermittent pulse current. Note that the resistance pattern 74 may be provided on the bonding surface on the magnetic head slider 71 side.

【0050】このように、熱硬化型接着剤72側の面に
設けた抵抗パターンに流した電流によるジュール熱によ
ってこの接着剤を局部的に加熱して硬化させるので、硬
化に必要とする最小限の領域のみが局部的に加熱され、
熱を最も効率よく与えることができるので短時間で硬化
が行える。抵抗パターンに電流を流すことを除いてこの
参照例における仮接着工程及び本接着工程の構成、動作
及び作用効果は、図2、図5及び図6の実施形態の場合
とほぼ同様であるため、その説明は省略する。
As described above, since the adhesive is locally heated and cured by the Joule heat caused by the current flowing through the resistance pattern provided on the surface of the thermosetting adhesive 72, the minimum necessary for curing is obtained. Only the area of is locally heated,
Since heat can be applied most efficiently, curing can be performed in a short time. Except for passing a current through the resistance pattern, the configurations, operations, and effects of the temporary bonding step and the final bonding step in this reference example are almost the same as those in the embodiments of FIGS. 2, 5, and 6, and The description is omitted.

【0051】なお上述した実施形態は、磁気ヘッドスラ
イダをその支持部材に固着するものであるが、本発明の
固着方法が、磁気ヘッドスライダに限らず電子部品又は
その他の部材を他の部材に固着する場合に広く適用でき
ることは明らかである。
In the above-described embodiment, the magnetic head slider is fixed to the supporting member. However, the fixing method of the present invention is not limited to the magnetic head slider, and electronic components or other members are fixed to other members. Obviously, it can be widely applied in such cases.

【0052】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
The embodiments described above all show the present invention by way of example and not by way of limitation, and the present invention can be embodied in various other modified and modified forms. Therefore, the scope of the present invention is defined only by the appended claims and their equivalents.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、導電性熱硬化型接着剤の電流によるジュール熱によ
ってこの接着剤自体を自己発熱させて硬化させるので、
硬化に必要とする最小限の領域のみが局部的に加熱さ
れ、しかも加熱源がその接着剤そのものであるので硬化
に必要な熱を最も効率よく与えることができ、非常に短
時間にかつ簡便に硬化処理を行うことができる。
As described in detail above, according to the present invention, the adhesive itself is self-heated and cured by Joule heat caused by the current of the conductive thermosetting adhesive.
Only the minimum area required for curing is locally heated, and since the heating source is the adhesive itself, the heat required for curing can be applied most efficiently, and it can be done in a very short time and easily. A curing treatment can be performed.

【0054】磁気ヘッドスライダを固着する際の仮接着
工程で、磁気ヘッドスライダ及びスライダ支持部材を接
着用治具に取り付けた状態でジュール熱によって自己発
熱させることによりこの接着剤をゲル化させ、本接着工
程では、仮接着された磁気ヘッドスライダ及びスライダ
支持部材を接着用治具から取り外してオーブン内に入
れ、さらに加熱して硬化させる。この方法によれば、治
具をオーブン内に入れずにすみしかも仮接着時間が短い
ため、多数の治具を用意する必要がなくなり、治具間の
位置精度のばらつきを大幅に低減できると共に治具の熱
的な経時変化を完全に防止することができる。また、接
着剤自体が自己発熱するため、この部分以外の温度上昇
を最小限に抑えることができる。しかも、UV接着剤を
使用する場合のように非照射部分への考慮が全く不要と
なり、また熱硬化型接着剤を用いているので十分な接着
強度が得られる。しかも1種類の接着剤のみを用いてい
るので、接着剤の使い分け等が不要となって作業性が非
常に向上する。さらに、導電性熱硬化型接着剤によって
磁気ヘッドスライダとサスペンションとが導通状態とな
っているため、両者間の導通手段を固着後に付加的に設
ける必要がなくなり、その分、製造工程が簡易となる。
In the temporary bonding step when the magnetic head slider is fixed, the adhesive is gelled by causing self-heating by Joule heat while the magnetic head slider and the slider support member are mounted on the bonding jig. In the bonding step, the magnetic head slider and the slider support member temporarily bonded are removed from the bonding jig, placed in an oven, and further heated and cured. According to this method, the jig does not need to be put into the oven and the temporary bonding time is short, so that it is not necessary to prepare a large number of jigs. It is possible to completely prevent the heat from changing over time. In addition, since the adhesive itself generates heat, the temperature rise in other parts can be minimized. In addition, there is no need to consider a non-irradiated portion as in the case of using a UV adhesive, and a sufficient adhesive strength can be obtained because a thermosetting adhesive is used. In addition, since only one kind of adhesive is used, it is not necessary to use the adhesive properly and the workability is greatly improved. Further, since the magnetic head slider and the suspension are in a conductive state by the conductive thermosetting adhesive, there is no need to additionally provide a conductive means between the magnetic head slider and the suspension after fixing, and the manufacturing process is correspondingly simplified. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来の磁気ヘッドスライダの固着方法におい
て、治具に磁気ヘッドスライダ及びサスペンションを取
り付けた様子を示す側面図である。
FIG. 1 is a side view showing a state in which a magnetic head slider and a suspension are attached to a jig in a conventional magnetic head slider fixing method.

【図2】本発明の一実施形態として磁気ヘッドスライダ
をその支持部材に固着する固着治具を概略的に示す側面
図である。
FIG. 2 is a side view schematically showing a fixing jig for fixing a magnetic head slider to a support member thereof as one embodiment of the present invention.

【図3】図2の実施形態における導電性フィラーの重量
混合比に対する導電性エポキシ樹脂接着剤の応力特性図
である。
FIG. 3 is a graph showing stress characteristics of a conductive epoxy resin adhesive with respect to a weight mixing ratio of a conductive filler in the embodiment of FIG. 2;

【図4】図2の実施形態における導電性フィラーの重量
混合比に対する導電性エポキシ樹脂接着剤の接着強度特
性図である。
FIG. 4 is a graph showing an adhesive strength characteristic of a conductive epoxy resin adhesive with respect to a weight mixing ratio of a conductive filler in the embodiment of FIG. 2;

【図5】本発明の他の実施形態として磁気ヘッドスライ
ダをその支持部材に固着する固着治具を概略的に示す側
面図である。
FIG. 5 is a side view schematically showing a fixing jig for fixing a magnetic head slider to a supporting member as another embodiment of the present invention.

【図6】本発明による固着方法のさらに他の実施形態の
構成を概略的に説明する図である。
FIG. 6 is a diagram schematically illustrating a configuration of still another embodiment of the fixing method according to the present invention.

【図7】固着方法の参照例の構成を概略的に説明する図
である。
FIG. 7 is a diagram schematically illustrating a configuration of a reference example of a fixing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20、50 仮接着用治具 21、51、61、71 磁気ヘッドスライダ 22、52、62 導電性熱硬化型接着剤 23、53、63、73 サスペンション 24、54 導電性ピン 25、55 電気絶縁性ピン 26、56 導電性ストッパ 27、57 押え部材 29a、59a、69 レギュレータ付直流電源 29b、59b スイッチ 59c 熱電対 59d コントローラ 72 熱硬化型接着剤 74 抵抗パターン 79 直流電源 20, 50 Temporary bonding jig 21, 51, 61, 71 Magnetic head slider 22, 52, 62 Conductive thermosetting adhesive 23, 53, 63, 73 Suspension 24, 54 Conductive pin 25, 55 Electrical insulation Pins 26, 56 Conductive stoppers 27, 57 Holding members 29a, 59a, 69 DC power supply with regulator 29b, 59b Switch 59c Thermocouple 59d Controller 72 Thermosetting adhesive 74 Resistance pattern 79 DC power supply

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 磁気ヘッドスライダ及びスライダ支持部
材を接着用治具に位置決めして取り付けると共に該磁気
ヘッドスライダ及び該スライダ支持部材間に導電性熱硬
化型接着剤を介在させ、該導電性熱硬化型接着剤に電流
を流し、ジュール熱による自己発熱により前記導電性熱
硬化型接着剤を硬化させることによって該磁気ヘッドス
ライダを該スライダ支持部材に仮接着した後、該仮接着
された磁気ヘッドスライダ及びスライダ支持部材を前記
接着用治具から取り外し、前記導電性熱硬化型接着剤を
さらに硬化させて本接着を行うことを特徴とする磁気ヘ
ッドスライダの固着方法。
1. A magnetic head slider and a slider supporting member are positioned and attached to a bonding jig, and a conductive thermosetting adhesive is interposed between the magnetic head slider and the slider supporting member. Current is passed through the mold adhesive, and the conductive thermosetting adhesive is hardened by self-heating by Joule heat, thereby temporarily bonding the magnetic head slider to the slider support member, and then temporarily bonding the magnetic head slider. And removing the slider support member from the bonding jig, and further hardening the conductive thermosetting adhesive to perform final bonding.
【請求項2】 前記導電性熱硬化型接着剤の温度を検出
し、該検出した温度に応じて該導電性熱硬化型接着剤に
流す電流を調整することを特徴とする請求項1に記載の
方法。
2. The method according to claim 1, wherein a temperature of the conductive thermosetting adhesive is detected, and a current flowing through the conductive thermosetting adhesive is adjusted according to the detected temperature. the method of.
【請求項3】 前記導電性熱硬化型接着剤が導電性フィ
ラー入りのエポキシ樹脂系接着剤であることを特徴とす
る請求項1又は2に記載の方法。
3. The method according to claim 1, wherein the conductive thermosetting adhesive is an epoxy resin-based adhesive containing a conductive filler.
【請求項4】 前記導電性フィラーが銀フィラーである
ことを特徴とする請求項3に記載の方法。
4. The method according to claim 3, wherein said conductive filler is a silver filler.
【請求項5】 前記導電性熱硬化型接着剤のエポキシ樹
脂に対する導電性フィラーの重量混合比が1対0.3〜
0.9であることを特徴とする請求項3又は4に記載の
方法。
5. A weight mixing ratio of the conductive filler to the epoxy resin of the conductive thermosetting adhesive is 1: 0.3 to 0.3.
The method according to claim 3 or 4, wherein the value is 0.9.
【請求項6】 前記導電性熱硬化型接着剤に流す電流が
直流であることを特徴とする請求項1から5のいずれか
1項に記載の方法。
6. The method according to claim 1, wherein a current flowing through the conductive thermosetting adhesive is DC.
【請求項7】 前記導電性熱硬化型接着剤に流す電流が
該導電性熱硬化型接着剤の抵抗に応じて定電圧から定電
流に切り替えられて制御されることを特徴とする請求項
6に記載の方法。
7. The method according to claim 6, wherein a current flowing through the conductive thermosetting adhesive is controlled by switching from a constant voltage to a constant current according to the resistance of the conductive thermosetting adhesive. The method described in.
【請求項8】 前記導電性熱硬化型接着剤に流す電流が
間欠するパルス電流であることを特徴とする請求項1か
ら7のいずれか1項に記載の方法。
8. The method according to claim 1, wherein the current flowing through the conductive thermosetting adhesive is an intermittent pulse current.
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