JP3038275B2 - Resin sealing method and resin sealing device - Google Patents

Resin sealing method and resin sealing device

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JP3038275B2
JP3038275B2 JP4107769A JP10776992A JP3038275B2 JP 3038275 B2 JP3038275 B2 JP 3038275B2 JP 4107769 A JP4107769 A JP 4107769A JP 10776992 A JP10776992 A JP 10776992A JP 3038275 B2 JP3038275 B2 JP 3038275B2
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resin
gate
mold
injection
cavity
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隆 関場
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株式会社富士通宮城エレクトロニクス
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/02Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity
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    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/26Moulds
    • B29C45/27Sprue channels ; Runner channels or runner nozzles
    • B29C45/2701Details not specific to hot or cold runner channels
    • B29C45/2708Gates

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、IC,電子部品等のモ
ールド樹脂封止を行うための樹脂封止方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin sealing method for sealing a molded resin of an IC, an electronic component or the like.

【0002】近年、半導体装置(IC)等のモールド樹
脂の封止はトランスファ成形金型が用いられているが、
成形品の種類により、モールド樹脂の種類も異なって樹
脂注入時の粘性が変化する。そのため、樹脂注入の速
度、時間等の条件を樹脂に応じて設定する必要があり、
容易に設定できることが望まれている。
In recent years, transfer molding dies have been used for sealing a molding resin for a semiconductor device (IC) or the like.
Depending on the type of molded product, the type of mold resin also differs, and the viscosity at the time of resin injection changes. Therefore, it is necessary to set conditions such as resin injection speed and time according to the resin,
It is desired that it can be easily set.

【0003】[0003]

【従来の技術】図3に、従来の樹脂封止装置の構成図を
示す。図3(A)は樹脂封止装置が備える金型のうち、
下金型の概略図であり、図3(B)は上金型のポット部
分を示したものである。
2. Description of the Related Art FIG. 3 shows a configuration diagram of a conventional resin sealing device. FIG. 3A shows a mold included in the resin sealing device.
FIG. 3B is a schematic view of a lower mold, and FIG. 3B shows a pot portion of the upper mold.

【0004】図3において、下金型11aには、カル1
2及びカル12に連通する複数のランナ13aが形成さ
れる。また下金型11aには複数の溝14が形成され、
この溝14に、複数のキャビティ15がゲート16(図
4参照)を介して連通されるランナ13bが形成された
モールド部17がそれぞれ嵌合する。このモールド部1
7は、嵌合時にランナ13aとモールド部17のランナ
13bとが連通するように位置合わせがされている。
In FIG. 3, a lower mold 11a has a cull 1
A plurality of runners 13 a communicating with the cull 2 and the cull 12 are formed. A plurality of grooves 14 are formed in the lower mold 11a,
A mold portion 17 having a runner 13b formed therein through which a plurality of cavities 15 communicate with each other via a gate 16 (see FIG. 4) is fitted into the groove 14. This mold part 1
7 is positioned so that the runner 13a and the runner 13b of the mold portion 17 communicate with each other at the time of fitting.

【0005】一方、下金型11aに対応する上金型11
bには、下金型11aのカル12に連通するポット18
が形成され、このポット18にタブレット状のモールド
樹脂19が挿入される。
On the other hand, the upper mold 11 corresponding to the lower mold 11a
b, a pot 18 communicating with the cull 12 of the lower mold 11a.
Is formed, and a tablet-shaped mold resin 19 is inserted into the pot 18.

【0006】なお、上金型11b及び下金型11aは加
熱手段(図示せず)により加熱されるもので、ポット1
8内に挿入されたモールド樹脂19を溶融させる。
The upper mold 11b and the lower mold 11a are heated by heating means (not shown).
The mold resin 19 inserted in the mold 8 is melted.

【0007】ここで、図4に、図3のゲート部を説明す
るための図を示す。図4(A)は、モールド部17の一
部分を示したもので、モールド部17に形成されたラン
ナ13bよりゲート16を介してキャビティ15が連通
されたものである。この場合、図4(B)に示すよう
に、ゲート16とキャビティ15との間には、下方に埋
設したゲートインサートピン20が具備されており、そ
の先端がゲート口16aの役割を果たす。また、ゲート
口16aの寸法は、キャビティ15の容量、モールド樹
脂19の粘性、ゲートブレーク性を考慮して設定され、
固定寸法とされる。
FIG. 4 is a diagram for explaining the gate portion shown in FIG. FIG. 4A shows a part of the mold part 17, in which a cavity 15 is communicated via a gate 16 with a runner 13 b formed in the mold part 17. In this case, as shown in FIG. 4 (B), a gate insert pin 20 buried below is provided between the gate 16 and the cavity 15, and its tip serves as a gate port 16a. The dimensions of the gate opening 16a are set in consideration of the capacity of the cavity 15, the viscosity of the mold resin 19, and the gate breakability.
Fixed dimensions.

【0008】そこで、図5にモールドを説明するための
図を示す。図5(A)において、下金型11aにおける
モールド部17上に、例えば樹脂モールドされる半導体
装置のチップが搭載されたリードフレーム21が載置さ
れ、上金型11bによりクランプされる。
FIG. 5 is a view for explaining the mold. In FIG. 5A, for example, a lead frame 21 on which a chip of a semiconductor device to be resin-molded is mounted is placed on a mold portion 17 of a lower mold 11a, and clamped by an upper mold 11b.

【0009】そして、ポット18にタブレット状のモー
ルド樹脂19を挿入し、加熱して溶融させる。続いて、
圧力を印加して押し込むと、ランナ13a,13bを通
り、ゲート16(ゲート口16a)を介してキャビティ
15に溶融したモールド樹脂19を注入して樹脂封止を
行うものである。
Then, a tablet-shaped mold resin 19 is inserted into the pot 18 and is heated and melted. continue,
When pressure is applied and pushed in, molten resin 19 is injected into cavity 15 through gates 16 (gate openings 16a) through runners 13a and 13b to perform resin sealing.

【0010】この場合、ゲート口16aの寸法が固定さ
れていることから、モールド樹脂19の粘性、注入圧を
微妙にコントロールしながら注入成形を行っている。ま
た、キャビティ15への数万回もの樹脂注入が行われる
ことから、ゲート口16aが磨耗し、初期のゲート寸法
より大きくなり、樹脂注入条件を変化させて行うもので
ある。
In this case, since the dimensions of the gate opening 16a are fixed, the injection molding is performed while the viscosity of the molding resin 19 and the injection pressure are delicately controlled. Further, since the resin is injected into the cavity 15 several tens of times, the gate opening 16a becomes worn and becomes larger than the initial gate size, and the resin injection condition is changed.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかし、ゲート口16
aの寸法固定により樹脂注入条件をその都度微妙に設定
することは煩雑であり、また、ゲート口16aが磨耗に
より大径になるとゲートブレーク性が悪化し、かつパッ
ケージ外観を損ねて品質、歩留りの低下を招くという問
題がある。
However, the gate port 16
It is complicated to finely set the resin injection conditions each time by fixing the dimension of a, and when the gate opening 16a becomes large due to wear, the gate breakability deteriorates, and the appearance of the package is impaired, resulting in poor quality and yield. There is a problem of causing a decrease.

【0012】また、ゲート口磨耗によりゲートインサー
トピン20を定期的に交換しなければならず、多くの工
程、多額の費用及び長期間を要し、生産効率が低下する
という問題がある。
In addition, the gate insert pins 20 must be periodically replaced due to abrasion of the gate opening, which requires many steps, a large amount of cost and a long time, and lowers production efficiency.

【0013】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、ゲート磨耗による交換を減少させると共に、良
好な樹脂注入条件を設定する樹脂封止方法を提供するこ
とを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above problems, and has as its object to provide a resin sealing method for reducing replacement due to gate wear and setting good resin injection conditions.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記課題は、所定数の被
成形物を、連設されたキャビティ内に位置させて樹脂封
止する樹脂封止方法において、溶融している樹脂を、前
記キャビティに連通するゲートを介して注入し、該ゲー
トからの注入に際し、該樹脂の注入圧力に応じて該ゲー
トを開閉して該キャビティへの注入量を制御することに
より解決される。
SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide a resin sealing method in which a predetermined number of molding objects are placed in a cavity provided in series and sealed with a resin. This is solved by controlling the amount of injection into the cavity by opening and closing the gate according to the injection pressure of the resin when injecting from the gate.

【0015】[0015]

【作用】上述のように、ゲートを介して溶融している樹
脂をキャビティに注入するに際し、樹脂の注入圧力に応
じて注入量を制御している。従って、樹脂の種類等の樹
脂注入条件ごとに注入圧力を制御することが不要とな
る。
As described above, when the molten resin is injected into the cavity through the gate, the injection amount is controlled according to the injection pressure of the resin. Therefore, it is not necessary to control the injection pressure for each resin injection condition such as the type of resin.

【0016】また、ゲートのゲート口に磨耗を生じても
影響を受けずに樹脂の注入量を制御することにより、樹
脂注入の条件を幅広く設定することが可能になり、製品
の成形品質の向上を図ることが可能となる。
Further, by controlling the resin injection amount without being affected even if the gate opening of the gate is worn, it becomes possible to set a wide range of resin injection conditions, thereby improving the molding quality of the product. Can be achieved.

【0017】[0017]

【実施例】図1に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図1(A)は本発明の樹脂封止装置が備える金型のう
ち、下金型の概略図であり、図1(B)は上金型のポッ
ト部を示した図、図1(C)はゲート部分を示した図で
ある。なお、図3〜図5と同一構成部分には同一符号を
付す。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
FIG. 1A is a schematic view of a lower mold among the molds provided in the resin sealing device of the present invention, and FIG. 1B is a view showing a pot portion of an upper mold, and FIG. () Is a diagram showing a gate portion. The same components as those in FIGS. 3 to 5 are denoted by the same reference numerals.

【0018】図1(A)〜(C)において、図3と同様
に、下金型11aには、カル12及びカル12に連通す
る複数のランナ13aが形成される。また、下金型11
aには複数の溝14が形成され、この溝14に、複数の
キャビティ15がゲート16を介して連通されるランナ
13bが形成されたモールド部17がそれぞれ嵌合す
る。このモールド部17は、嵌合時にランナ13aとモ
ールド部17のランナ13bとが連通するように位置合
わせがされている。
1A to 1C, similarly to FIG. 3, a lower mold 11a is formed with a cull 12 and a plurality of runners 13a communicating with the cull 12. Also, the lower mold 11
A plurality of grooves 14 are formed in a, and a mold portion 17 in which a runner 13b in which a plurality of cavities 15 are communicated via a gate 16 is fitted into each of the grooves 14. The position of the mold section 17 is adjusted so that the runner 13a and the runner 13b of the mold section 17 communicate with each other at the time of fitting.

【0019】ここで、図1(C)に示すように、モール
ド部17はキャビティ15がランナ13bよりゲート1
6を介して連通される。また、キャビティ15へのゲー
ト16のゲート口16aは穴部16b(図2参照)が形
成されており、この穴部16bより制御機構31の開閉
部であるゲートインサートピン32の先端が出入りす
る。このゲートインサートピン32の先端はゲート16
側よりキャビティ15側に向って高くなるようにテーパ
部32aが形成され、弾性部材であるバネ33によって
上下動してゲート16(ゲート口16a)を開閉する。
Here, as shown in FIG. 1 (C), the cavity 15 of the mold portion 17 is
6 is communicated. A hole 16b (see FIG. 2) is formed in the gate opening 16a of the gate 16 to the cavity 15, and the tip of a gate insert pin 32, which is an opening / closing part of the control mechanism 31, enters and exits through the hole 16b. The tip of the gate insert pin 32 is
A taper portion 32a is formed so as to be higher toward the cavity 15 side than the side, and moves up and down by a spring 33 which is an elastic member to open and close the gate 16 (gate port 16a).

【0020】一方、下金型11aに対応する上金型11
bには、下金型11aのカル12に連通するポット18
が形成され、このポット18にタブレット状のモールド
樹脂19が挿入される。なお、上金型11b及び下金型
11aは加熱手段(図示せず)により加熱されるもの
で、ポット18内に挿入されたモールド樹脂19を溶融
する。
On the other hand, the upper mold 11 corresponding to the lower mold 11a
b, a pot 18 communicating with the cull 12 of the lower mold 11a.
Is formed, and a tablet-shaped mold resin 19 is inserted into the pot 18. The upper mold 11b and the lower mold 11a are heated by heating means (not shown), and melt the mold resin 19 inserted into the pot 18.

【0021】次に、図2に、本発明のモールドを説明す
るための図を示す。図2(A)において、下金型11a
におけるモールド部17上に、例えば樹脂モールドされ
る半導体装置のチップが搭載されたリードフレーム21
が載置され、上金型11bによりクランプされる。
Next, FIG. 2 shows a diagram for explaining the mold of the present invention. In FIG. 2A, the lower mold 11a
Frame 21 on which a chip of a semiconductor device to be resin-molded, for example, is mounted
Is placed and clamped by the upper mold 11b.

【0022】この状態では、制御機構31のゲートイン
サートピン32はバネ33の付勢力により上方に押し上
げられ、先端のテーパ部32aはリードフレーム21に
当接した状態となる。すなわち、ゲート16のゲート口
16aをゲートインサートピン32により閉塞状態とな
っている。
In this state, the gate insert pin 32 of the control mechanism 31 is pushed upward by the urging force of the spring 33, and the tapered portion 32a at the tip comes into contact with the lead frame 21. That is, the gate port 16 a of the gate 16 is closed by the gate insert pin 32.

【0023】そこで、図2(B)において、ポット18
にタブレット状のモールド樹脂19を挿入し、加熱によ
り溶融させる。続いて、圧力を加えて押し込むと、溶融
したモールド樹脂19は、ランナ13a,13bを通
り、ゲート16のゲート口16aに到達する。この場
合、樹脂の注入圧力によりゲートインサートピン32は
下方に押し戻され、ゲート口16aが開放状態となって
キャビティ15に樹脂が注入される。このときのゲート
口16aの開放の度合いは樹脂の注入圧力に応じて拡大
され、注入速度及び注入時間がバネ33により自動的に
調整制御されるものである。
Therefore, in FIG.
The tablet-shaped mold resin 19 is inserted into the mold, and is melted by heating. Subsequently, when pressure is applied and pressed, the molten mold resin 19 reaches the gate port 16a of the gate 16 through the runners 13a and 13b. In this case, the gate insert pin 32 is pushed back downward by the injection pressure of the resin, the gate port 16a is opened, and the resin is injected into the cavity 15. At this time, the degree of opening of the gate port 16a is expanded in accordance with the injection pressure of the resin, and the injection speed and the injection time are automatically adjusted and controlled by the spring 33.

【0024】次に、図2(C)において、樹脂19がキ
ャビティ15内に充満して樹脂注入が完了すると、完了
後に注入圧を下げることにより、ゲートインサートピン
32はバネ33の付勢力により再び押し戻されゲート口
16aを閉塞させるものである。
Next, in FIG. 2C, when the resin 19 is filled in the cavity 15 and the resin injection is completed, the injection pressure is reduced after the completion, so that the gate insert pin 32 is re-energized by the urging force of the spring 33. It is pushed back to close the gate port 16a.

【0025】このように、制御機構31により、モール
ド樹脂19の粘性等の変化に対応して、樹脂注入の際の
微妙な注入速度、注入時間のコントロールを自動的に行
うことができる。
As described above, the control mechanism 31 can automatically control the delicate injection speed and injection time at the time of resin injection in response to a change in viscosity or the like of the mold resin 19.

【0026】従って、図1(A)に示すように、モール
ド部17のポット18より遠方にあるキャビティの制御
機構31におけるバネ33の弾性力を徐々に弱めること
により、一つのモールド部17内で複数のキャビティ1
5の樹脂注入を同一時間で行うことができ、製品の不良
発生を軽減することができる。これにより、品質の向上
を図ることができる。また、ゲートインサートピン32
により容易にゲートブレークを行うことができ、工数削
減を図ることができると共に、低コスト化を図ることが
できる。
Therefore, as shown in FIG. 1 (A), the elastic force of the spring 33 in the control mechanism 31 of the cavity located farther from the pot 18 of the mold portion 17 is gradually weakened, so that the inside of one mold portion 17 is reduced. Multiple cavities 1
The resin injection of No. 5 can be performed in the same time, and the occurrence of defective products can be reduced. Thereby, the quality can be improved. Also, the gate insert pin 32
As a result, the gate break can be easily performed, the number of steps can be reduced, and the cost can be reduced.

【0027】一方、モールド樹脂19によりゲートイン
サートピン32が磨耗しても、テーパ部32aが維持さ
れている限り、常に同様の制御を行うことができる。こ
れにより、制御機構31の磨耗による交換の頻度が大幅
に減少し、部品代、交換に要する工数、費用等を大幅に
削減することができる。
On the other hand, even if the gate insert pin 32 is worn by the mold resin 19, the same control can be always performed as long as the tapered portion 32a is maintained. As a result, the frequency of replacement due to wear of the control mechanism 31 is greatly reduced, and the cost of parts, the number of steps required for replacement, the cost, and the like can be significantly reduced.

【0028】なお、ゲートインサートピン32のテーパ
部32aにおいて、モールド樹脂19の粘度、注入圧の
条件によりゲート口16aを完全に塞がずに、先端で若
干の空隙を形成させ、又はテーパ部32aに溝等を形成
することにより、より範囲の広い条件設定で樹脂封止を
行うことができるものである。
In the tapered portion 32a of the gate insert pin 32, a slight gap is formed at the tip without completely closing the gate port 16a depending on the viscosity of the molding resin 19 and the conditions of the injection pressure. By forming grooves or the like, resin sealing can be performed under a wider range of conditions.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ゲートを
介して溶融している樹脂をキャビティに注入するに際
し、制御機構により樹脂の注入圧力に応じて注入量を制
御することにより、ゲート磨耗による交換を減少させる
と共に、良好な樹脂注入条件を設定することができ、製
造の低コスト化、成形品の品質向上を図ることができ
る。
As described above, according to the present invention, when the molten resin is injected into the cavity through the gate, the amount of injection is controlled by the control mechanism in accordance with the injection pressure of the resin. In addition to reducing replacement due to abrasion, good resin injection conditions can be set, and production cost can be reduced and the quality of molded products can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明のモールドを説明するための図である。FIG. 2 is a view for explaining a mold of the present invention.

【図3】従来の樹脂封止装置の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional resin sealing device.

【図4】図3のゲート部分を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a gate portion in FIG. 3;

【図5】図3のモールドを説明するための図である。FIG. 5 is a view for explaining the mold of FIG. 3;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11a 下金型 11b 上金型 12 カル 13a,13b ランナ 15 キャビティ 16 ゲート 17 モールド部 18 ポット 19 モールド樹脂 21 リードフレーム 31 制御機構 32 ゲートインサートピン(開閉部) 33 バネ 11a Lower mold 11b Upper mold 12 Cull 13a, 13b Runner 15 Cavity 16 Gate 17 Mold part 18 Pot 19 Mold resin 21 Lead frame 31 Control mechanism 32 Gate insert pin (opening / closing part) 33 Spring

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/56 B29C 45/14 B29C 45/26 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/56 B29C 45/14 B29C 45/26

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 所定数の被成形物を、連設されたキャビ
ティ内に位置させて樹脂封止する樹脂封止方法におい
て、 溶融している樹脂を、キャビティに連通するゲートを
介して注入する工程と、 該ゲートからの注入に際し、該樹脂の注入圧力に応じて
弾性部材の弾性力によって該ゲートを開閉して該キャビ
ティへの注入量を制御する工程と、 を含むことを特徴とする樹脂封止方法。
1. A resin sealing method for sealing a resin by positioning a predetermined number of molding objects in a cavity provided in series, wherein a molten resin is injected through a gate communicating with the cavity. And at the time of injection from the gate, according to the injection pressure of the resin.
Controlling the injection amount into the cavity by opening and closing the gate by the elastic force of the elastic member .
【請求項2】 所定数の被成形物を、連設されたキャビ
ティ内に位置させ、樹脂をそれぞれゲートを介して注入
する樹脂封止装置において、 それぞれのゲートに、キャビティに注入される樹脂
の注入圧力に応じて、注入量を制御する制御機構を設
該制御機構は、該ゲートの通路の開閉を行う開閉部と、
該開閉部を該樹脂の注入圧力に応じて開閉させる弾性部
材と、により構成され ることを特徴とする樹脂封止装
置。
2. A method according to claim 1, wherein a predetermined number of objects are molded in a continuous cavity.
And put resin through gates
Resin sealing deviceThe For each gate,TheResin injected into cavity
A control mechanism to control the injection volume according to the injection pressure
Ke, An opening / closing unit that opens and closes the passage of the gate;
Elastic part for opening and closing the opening and closing part according to the injection pressure of the resin
Material and Resin sealing device characterized by the fact that
Place.
【請求項3】 前記弾性部材の弾性力を、前記樹脂の注
入条件に応じて設定することを特徴とする請求項2記載
の樹脂封止装置。
3. The method according to claim 1 , wherein the elastic force of said elastic member is adjusted by injection of said resin.
3. The method according to claim 2, wherein the setting is made in accordance with input conditions.
Resin sealing device.
JP4107769A 1992-04-27 1992-04-27 Resin sealing method and resin sealing device Expired - Lifetime JP3038275B2 (en)

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