JP3028272B2 - Liquid crystal display - Google Patents

Liquid crystal display

Info

Publication number
JP3028272B2
JP3028272B2 JP34593893A JP34593893A JP3028272B2 JP 3028272 B2 JP3028272 B2 JP 3028272B2 JP 34593893 A JP34593893 A JP 34593893A JP 34593893 A JP34593893 A JP 34593893A JP 3028272 B2 JP3028272 B2 JP 3028272B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
light
crystal display
substrate
display device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP34593893A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07181471A (en
Inventor
正義 村田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP34593893A priority Critical patent/JP3028272B2/en
Publication of JPH07181471A publication Critical patent/JPH07181471A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3028272B2 publication Critical patent/JP3028272B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、トランジスタ等の電気
的素子を含む薄膜面部を有する液晶パネルを用いた液晶
表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device using a liquid crystal panel having a thin film surface including electric elements such as transistors.

【0002】[0002]

【従来の技術】トランジスタ等の電気的素子を含む薄膜
を有する基板の一部を除去し、前記薄膜のみの透明化さ
れた薄膜面部が形成された素子基板を用いて液晶表示装
置を作製する方法は、例えば特開平3−194115号
公報等で開示されている。
2. Description of the Related Art A method of manufacturing a liquid crystal display device by removing a part of a substrate having a thin film including an electric element such as a transistor and using an element substrate having a thin film surface portion made transparent only of the thin film. Is disclosed, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-194115.

【0003】かかる液晶表示装置は従来、単結晶シリコ
ンSOI基板上にトランジスタ等からなる駆動回路等を
形成し、該シリコン基板と透明基板を用いて液晶セルを
形成した後、該シリコン基板の表示部となるべき部分の
みの裏面エッチングを行い不透明なシリコン部分を除去
し、前記回路等を含む大略透明な薄膜を成すことによっ
て、透過表示が可能な装置構成としていた。
[0003] In such a liquid crystal display device, a driving circuit including transistors and the like is formed on a single crystal silicon SOI substrate, and a liquid crystal cell is formed using the silicon substrate and the transparent substrate. The device configuration capable of transmissive display has been provided by etching the back surface only of the portion to be formed to remove the opaque silicon portion and forming a substantially transparent thin film including the circuit and the like.

【0004】単結晶Si薄膜に半導体素子を形成した上
記の透過光型の液晶表示装置は、多結晶Siによる素子
を形成したものよりも極めて高速動作を可能としてい
る。
The above-mentioned transmission light type liquid crystal display device in which a semiconductor element is formed on a single-crystal Si thin film can operate at a much higher speed than a device in which an element made of polycrystalline Si is formed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記従来例の装置は、
図5に示されるよう、カラーフィルター層2及び共通電
極3を有する透明基板1と、電気的素子を含む薄膜7を
有するシリコンSOI基板6を用いて液晶パネル9を構
成し、この後面に位置するバックライト光源51と、前
面に位置する保護ガラスまたは接眼レンズ52にて構成
されている。
The above-mentioned prior art device is
As shown in FIG. 5, a liquid crystal panel 9 is constituted by using a transparent substrate 1 having a color filter layer 2 and a common electrode 3 and a silicon SOI substrate 6 having a thin film 7 including an electric element, and located on the rear surface. It comprises a backlight light source 51 and a protective glass or eyepiece 52 located on the front surface.

【0006】しかしながら、シリコン基板がエッチング
除去されて、薄膜面部7aが形成された表示部8より液
晶画像を視認する場合、シリコン基板のエッチング除去
面6aが一定の傾斜を有するために、目視側からの一部
の入射光53が該エッチング除去面6aで反射し、目視
側に反射光54として到達する。これにより、液晶画像
が著しく見にくくなってしまうという問題があった。
However, when the silicon substrate is etched away and the liquid crystal image is viewed from the display section 8 on which the thin film surface section 7a is formed, the etched side 6a of the silicon substrate has a constant inclination, so that it is viewed from the visual side. Part of the incident light 53 is reflected by the etching removal surface 6a, and reaches the viewing side as reflected light. As a result, there is a problem that the liquid crystal image becomes extremely difficult to see.

【0007】本発明の目的は、シリコン基板の画像表示
部に対応する部分を除去して透過光型とした液晶表示装
置における上述の問題点を解消することにある。
An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned problems in a liquid crystal display device of a transmission light type by removing a portion corresponding to an image display portion of a silicon substrate.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段及び作用】上記目的を達成
するために本発明において講じられた手段は、
In order to achieve the above object, the measures taken in the present invention are as follows:

【0009】電気的素子を含む薄膜が形成されたシリコ
ン基板の画像表示部に対応する部分を除去して形成した
薄膜面部を有する液晶パネルを用いた液晶表示装置にお
いて、
In a liquid crystal display device using a liquid crystal panel having a thin film surface portion formed by removing a portion corresponding to an image display portion of a silicon substrate on which a thin film including an electric element is formed,

【0010】上記薄膜面部の前面に、画像表示部領域と
同じ若しくは画像表示部領域より小さい開口部を有する
遮光板を設けたものである。
A light shielding plate having an opening which is the same as or smaller than the image display area is provided on the front surface of the thin film surface.

【0011】本発明によれば、液晶パネルの前面(目視
側)からの入射光が、画像表示部周辺のシリコン基板除
去面に照射されることが無く、画像表示部周辺が光って
しまうことが防止されるため、液晶画像の視認性が著し
く向上される。
According to the present invention, incident light from the front side (viewing side) of the liquid crystal panel is not irradiated on the silicon substrate removed surface around the image display unit, and the periphery of the image display unit may shine. This prevents the visibility of the liquid crystal image from being significantly improved.

【0012】本発明に係る遮光板としては、例えば、前
記のような開口部を有する非透光性基板や、透光性基板
上に前記のような開口部を有する遮光層を形成したもの
などを用いることができる。
As the light-shielding plate according to the present invention, for example, a non-light-transmitting substrate having the above-mentioned opening or a light-shielding layer having the above-mentioned opening formed on a light-transmitting substrate, etc. Can be used.

【0013】上記の遮光層は、非透光性材料を用いて、
印刷あるいは塗布等により形成することができる。
The light shielding layer is made of a non-translucent material,
It can be formed by printing or coating.

【0014】また、遮光板は絶縁性あるいは導電性どち
らでもかまわないが、導電性を有する場合には、シリコ
ン基板と接続することにより、シリコン基板の裏面電位
が制御でき好ましい。更には、接眼レンズ自体を遮光板
として兼用させてもよい。
The light-shielding plate may be either insulating or conductive. If it has conductivity, it is preferable to connect the light-shielding plate to a silicon substrate because the back potential of the silicon substrate can be controlled. Further, the eyepiece itself may be used also as a light shielding plate.

【0015】[0015]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to embodiments.

【0016】実施例1 図1は本実施例の液晶表示装置における液晶パネルと遮
光板を示したものであり、これ以外のバックライト光源
等は省略している。尚、図1(a)は側断面図であり、
図1(b)はパネル前面(目視側)から見た図である。
Embodiment 1 FIG. 1 shows a liquid crystal panel and a light shielding plate in a liquid crystal display device of this embodiment, and other components such as a backlight light source are omitted. FIG. 1A is a side sectional view,
FIG. 1B is a diagram viewed from the front of the panel (viewing side).

【0017】図1(a)において、1は透明基板、2は
カラーフィルター層と画素間を遮光する遮光層、3は液
晶に電圧を印加するための共通電極、4は液晶シール領
域、5は液晶であり、シール領域4は液晶5の膜厚も規
定する。6は画像表示部領域が除去され、透光性となっ
たシリコンSOI基板、6aはシリコン基板の除去面、
7は画素ごとに液晶に電圧を印加する電極やトランジス
タや駆動回路が設けられた薄膜であり、7aは画像表示
部8に位置する薄膜面部である。これらのよって液晶パ
ネル9が構成されている。10は本発明を特徴づける液
晶パネルの前面に設けられた遮光板であり、図1(b)
に示されるように画像表示部8の領域より若干小さい開
口部11を有している。
In FIG. 1A, 1 is a transparent substrate, 2 is a light-shielding layer for shielding light between a color filter layer and a pixel, 3 is a common electrode for applying a voltage to a liquid crystal, 4 is a liquid crystal sealing area, and 5 is a liquid crystal sealing area. It is a liquid crystal, and the sealing region 4 also defines the thickness of the liquid crystal 5. 6 is a silicon SOI substrate whose image display area has been removed and has become transparent, 6a is a removed surface of the silicon substrate,
Reference numeral 7 denotes a thin film provided with an electrode for applying a voltage to the liquid crystal, a transistor, and a driving circuit for each pixel. Reference numeral 7a denotes a thin film surface portion located on the image display unit 8. The liquid crystal panel 9 is constituted by these. Reference numeral 10 denotes a light-shielding plate provided on the front surface of the liquid crystal panel, which characterizes the present invention.
Has an opening 11 slightly smaller than the area of the image display section 8 as shown in FIG.

【0018】本実施例では、遮光板10の材料としてA
BS樹脂製の黒色板を用いたが、他にもアクリル,PC
(ポリカーボネート),PPS等の樹脂製薄板や、塩化
ビニル,ポリエチレン等のフィルム、また紙等の非透光
性の材料を用いることができる。
In this embodiment, the light shielding plate 10 is made of A
A black plate made of BS resin was used.
(Polycarbonate), resin thin plates such as PPS, films such as vinyl chloride and polyethylene, and non-translucent materials such as paper can be used.

【0019】この遮光板10によって、画像表示部8周
辺のシリコン基板除去面6aへの目視側からの入射光を
遮光し、傾斜した除去面6aが光ってしまうことを防止
している。
The light-shielding plate 10 blocks incident light from the viewing side to the silicon substrate removal surface 6a around the image display section 8, and prevents the inclined removal surface 6a from shining.

【0020】尚、遮光板10の開口部11の大きさや形
状は、シリコン基板6との設置距離等を考慮して決めら
れるものである。
The size and shape of the opening 11 of the light-shielding plate 10 are determined in consideration of the installation distance from the silicon substrate 6 and the like.

【0021】本実施例では、画像表示部8を約14.2
mm×約10.6mmの角形とし、同一中心上に約1
3.9mm×約10.3mmの角形の開口部11を有す
る遮光板10を、シリコン基板6より約0.7mmだけ
離して設置することにより、液晶画像を明瞭に見ること
ができた。
In this embodiment, the image display section 8 is set to about 14.2.
mm × about 10.6 mm square, about 1 on the same center
By placing the light-shielding plate 10 having a square opening 11 of 3.9 mm × about 10.3 mm at a distance of about 0.7 mm from the silicon substrate 6, a liquid crystal image could be clearly seen.

【0022】実施例2 本実施例の液晶表示装置の構成を図2に示す。図2にお
いてもバックライト光源等は省略しており、また、図1
と同一符号で示したものは同等部材を表わしている。
Embodiment 2 FIG. 2 shows the configuration of the liquid crystal display device of this embodiment. In FIG. 2, the backlight light source and the like are omitted, and FIG.
Those indicated by the same reference numerals as those of the above indicate equivalent members.

【0023】本実施例は、開口部11を有する遮光板1
0をステンレス板の如き導電性基板あるいは導電性の表
面処理を施された基板とし、SOI基板6との間を導電
性接着層21を用いて電気的に接続し、かつ固定,位置
決めした例である。
In this embodiment, the light shielding plate 1 having the opening 11
Reference numeral 0 denotes an example in which a conductive substrate such as a stainless steel plate or a substrate subjected to a conductive surface treatment is used, and the SOI substrate 6 is electrically connected to the SOI substrate 6 using a conductive adhesive layer 21, and is fixed and positioned. is there.

【0024】このような構成であれば、外部よりSOI
基板電位を制御することが可能となる。
With such a configuration, the SOI
The substrate potential can be controlled.

【0025】これにより、画像表示部の薄膜面部7aの
周囲に形成されている駆動回路や周辺回路等を構成して
いるトランジスタの動作によるリーク電流を減少させ、
駆動回路等に用いた半導体装置のチャネル電位を安定さ
せることに役立つ。
Thus, the leakage current due to the operation of the transistors constituting the driving circuit and the peripheral circuit formed around the thin film surface portion 7a of the image display portion is reduced,
This is useful for stabilizing the channel potential of a semiconductor device used for a driver circuit or the like.

【0026】本実施例においても、実施例1と同様に液
晶画像を明瞭に見ることができた。
In this embodiment, the liquid crystal image was clearly seen as in the first embodiment.

【0027】実施例3 本実施例の液晶表示装置の構成を図3に示す。図3にお
いてもバックライト光源等は省略しており、また図1と
同一符号で示したものは同等部材を表わしている。
Embodiment 3 FIG. 3 shows the structure of the liquid crystal display device of this embodiment. Also in FIG. 3, the backlight light source and the like are omitted, and those denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 represent equivalent members.

【0028】本実施例は、遮光板10として、ガラス等
の如き透光性基材31に非光透過性のエポキシ系,アク
リル系等の樹脂や塗料等の材料からなる遮光層32を設
けた基板を用い、SOI基板6と接着層33によって、
固定,位置決めした例である。
In this embodiment, as the light-shielding plate 10, a light-shielding layer 32 made of a material such as a non-light-transmitting epoxy or acrylic resin or paint is provided on a light-transmitting substrate 31 such as glass. Using a substrate, the SOI substrate 6 and the adhesive layer 33
This is an example of fixing and positioning.

【0029】尚、遮光層32には、画像表示部領域に対
応する部分に開口部が設けられている。
The light shielding layer 32 has an opening at a portion corresponding to the image display area.

【0030】本実施例においては、基板除去面6a及び
薄膜面部7aを保護し、外部からの異物の侵入を防止す
ることも可能となる。
In the present embodiment, it is possible to protect the substrate removal surface 6a and the thin film surface portion 7a and prevent foreign substances from entering from outside.

【0031】また、遮光層32にカーボンやAg粒子を
混入した導電性樹脂を用い、接着層33に導電性接着剤
を用いることによって、図2の構成と同様にSOI基板
6の電位制御が可能となる。
Also, by using a conductive resin mixed with carbon or Ag particles for the light-shielding layer 32 and using a conductive adhesive for the adhesive layer 33, the potential of the SOI substrate 6 can be controlled in the same manner as in the configuration of FIG. Becomes

【0032】尚、薄膜面部7aの補強のために、Si系
樹脂等の光透過性の充填材34を、SOI基板6と遮光
板10間の空間に充填することは好ましい。
In order to reinforce the thin film surface portion 7a, it is preferable to fill a space between the SOI substrate 6 and the light shielding plate 10 with a light transmissive filler 34 such as a Si-based resin.

【0033】本実施例においても、実施例1と同様に液
晶画像を明瞭に見ることができた。
In this embodiment, the liquid crystal image could be clearly seen as in the first embodiment.

【0034】実施例4 本実施例の液晶表示装置の構成を図4に示す。図4にお
いてもバックライト光源等は省略しており、また図1と
同一符号で示したものは同等部材を表わしている。
Embodiment 4 FIG. 4 shows the structure of the liquid crystal display device of this embodiment. Also in FIG. 4, the backlight light source and the like are omitted, and those denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 represent equivalent members.

【0035】本実施例は、遮光板10として、接眼レン
ズを兼ねるガラス等の如き透光性基材41に実施例3と
同様の非光透過性の遮光層32を設けており、遮光板1
0がレンズ効果を有することにより、光学的光路上での
他の部品を省くことができる例である。
In this embodiment, as the light-shielding plate 10, a non-light-transmitting light-shielding layer 32 similar to that of the third embodiment is provided on a light-transmitting base material 41 such as glass serving also as an eyepiece.
0 is an example in which other parts on the optical optical path can be omitted by having a lens effect.

【0036】本実施例においても、実施例1と同様に液
晶画像を明瞭に見ることができた。
Also in this embodiment, a liquid crystal image could be clearly seen as in the first embodiment.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液晶表示画像を視認する際に、画像表示部周辺の基板除
去面が、視認する側より入射した光で光ることが防止さ
れるため、液晶画像が非常に見やすくなる効果がある。
As described above, according to the present invention,
When the liquid crystal display image is visually recognized, the substrate removal surface around the image display unit is prevented from shining with the light incident from the viewing side, so that the liquid crystal image is very easy to see.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る液晶表示装置の概略構
成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a liquid crystal display device according to one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例の概略断面図である。FIG. 2 is a schematic sectional view of another embodiment of the present invention.

【図3】本発明の他の実施例の概略断面図である。FIG. 3 is a schematic sectional view of another embodiment of the present invention.

【図4】本発明の他の実施例の概略断面図である。FIG. 4 is a schematic sectional view of another embodiment of the present invention.

【図5】従来例の液晶表示装置の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a conventional liquid crystal display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明基板 2 カラーフィルタ層および画素間遮光層 3 共通電極 4 液晶シール領域 5 液晶 6 シリコンSOI基板 7 薄膜 7a 薄膜面部 8 画像表示部 8a シリコン基板除去面 9 液晶パネル 10 遮光板 11 開口部 21 導電性接着剤 31 透光性基板 32 遮光層 33 接着剤 34 充填剤 41 透光性基板 51 バックライト光源 52 保護ガラスまたは接眼レンズ 53 入射光 54 反射光 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent substrate 2 Color filter layer and inter-pixel light shielding layer 3 Common electrode 4 Liquid crystal sealing area 5 Liquid crystal 6 Silicon SOI substrate 7 Thin film 7a Thin film surface part 8 Image display part 8a Silicon substrate removal surface 9 Liquid crystal panel 10 Light shielding plate 11 Opening 21 Conduction Adhesive 31 translucent substrate 32 light-blocking layer 33 adhesive 34 filler 41 translucent substrate 51 backlight light source 52 protective glass or eyepiece 53 incident light 54 reflected light

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 電気的素子を含む薄膜が形成されたシリ
コン基板の画像表示部に対応する部分を除去して形成し
た薄膜面部を有する液晶パネルを用いた液晶表示装置に
おいて、 上記薄膜面部の前面に、画像表示部領域と同じ若しくは
画像表示部領域より小さい開口部を有する遮光板を設け
たことを特徴とする液晶表示装置。
1. A liquid crystal display device using a liquid crystal panel having a thin film surface portion formed by removing a portion corresponding to an image display portion of a silicon substrate on which a thin film including an electric element is formed, wherein: A liquid crystal display device, further comprising a light-shielding plate having an opening that is the same as or smaller than the image display area.
【請求項2】 前記遮光板は開口部を有する非透光性基
板である請求項1に記載の液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the light shielding plate is a non-translucent substrate having an opening.
【請求項3】 前記遮光板は透光性基板上に開口部を有
する遮光層を形成したものである請求項1に記載の液晶
表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the light shielding plate is formed by forming a light shielding layer having an opening on a light transmitting substrate.
【請求項4】 前記遮光板は導電性を有する請求項1〜
3いずれかに記載の液晶表示装置。
4. The light shielding plate has conductivity.
3. The liquid crystal display device according to any one of 3.
JP34593893A 1993-12-24 1993-12-24 Liquid crystal display Expired - Fee Related JP3028272B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34593893A JP3028272B2 (en) 1993-12-24 1993-12-24 Liquid crystal display

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34593893A JP3028272B2 (en) 1993-12-24 1993-12-24 Liquid crystal display

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07181471A JPH07181471A (en) 1995-07-21
JP3028272B2 true JP3028272B2 (en) 2000-04-04

Family

ID=18380025

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34593893A Expired - Fee Related JP3028272B2 (en) 1993-12-24 1993-12-24 Liquid crystal display

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3028272B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004334180A (en) * 2003-04-18 2004-11-25 Fuji Photo Film Co Ltd Light shielding film for display device, its manufacturing method, and composite for forming the film
JP6120064B2 (en) * 2013-04-09 2017-04-26 日本精機株式会社 Display device
JP6135382B2 (en) * 2013-08-06 2017-05-31 株式会社デンソー Instrument

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07181471A (en) 1995-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100295955B1 (en) LCD Display
US5155612A (en) Liquid crystal display device with light shield
US7019800B2 (en) Liquid crystal display device
KR970048817A (en) LCD Display
CN210835532U (en) Reflective display screen and reflective display device
JPH0980485A (en) Liquid crystal display device
JP3028272B2 (en) Liquid crystal display
EP0853254A3 (en) Liquid crystal display
JP2505046Y2 (en) Liquid crystal display
EP0827010B1 (en) In-plane type liquid crystal display apparatus with increased numerical aperture
JP2905498B2 (en) Liquid crystal display
JPH05100222A (en) Liquid crystal display device
JP2919092B2 (en) Transmissive liquid crystal display
JP2005017906A (en) Image display device and image display method
JPH07122716B2 (en) Liquid crystal display
JP3639411B2 (en) Projection type liquid crystal display device
JPH11109319A (en) Liquid crystal display device
JPH09244015A (en) Liquid crystal display panel
JP2000510968A (en) Optical switching element and camera equipped with such an optical element
JP2001305585A (en) Liquid crystal display device
KR101311605B1 (en) Liquid crystal panel, liquid crystal display device having the same and method of maunfacturing thereof
KR20050059967A (en) Protect film and method of exfoliating the same
KR100937711B1 (en) Liquid crystal display
JP3669385B2 (en) Light modulation display element and projection display device using the same
KR970048763A (en) LCD

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19991221

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080204

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090204

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100204

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100204

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110204

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120204

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130204

Year of fee payment: 13

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees