JP3028167B2 - Lead frame manufacturing method and lead frame manufacturing apparatus - Google Patents

Lead frame manufacturing method and lead frame manufacturing apparatus

Info

Publication number
JP3028167B2
JP3028167B2 JP8480793A JP8480793A JP3028167B2 JP 3028167 B2 JP3028167 B2 JP 3028167B2 JP 8480793 A JP8480793 A JP 8480793A JP 8480793 A JP8480793 A JP 8480793A JP 3028167 B2 JP3028167 B2 JP 3028167B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
strip
reel
mold
lead frame
winding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP8480793A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06302739A (en
Inventor
勝房 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui High Tech Inc
Original Assignee
Mitsui High Tech Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui High Tech Inc filed Critical Mitsui High Tech Inc
Priority to JP8480793A priority Critical patent/JP3028167B2/en
Publication of JPH06302739A publication Critical patent/JPH06302739A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3028167B2 publication Critical patent/JP3028167B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Punching Or Piercing (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームの製造
方法およびこれに用いられる金型装置に係り、特にその
金型構成に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a lead frame and a mold apparatus used for the method, and more particularly to a mold structure thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置の小形化および高集積化に伴
い、半導体装置の組み立てに用いられるリードフレーム
においても200ピンを越えるリード数をもつものが提
案されてきている。
2. Description of the Related Art Along with miniaturization and high integration of a semiconductor device, a lead frame used for assembling the semiconductor device having a lead number exceeding 200 pins has been proposed.

【0003】このような多ピンリードフレームを打ち抜
くための金型装置では、打ち抜きステーションが多くな
り、またプレスの荷重も大きくなるため、金型装置を数
ステーション毎に2分割し、2台のプレスを経由して順
次加工されている。
In such a die apparatus for punching a multi-pin lead frame, the number of punching stations is increased, and the load of the press is also increased. Are sequentially processed via

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多品種
少量生産の今日では、高価な金型装置もその寿命に達す
る前に必要なリードフレームの生産が終わってしまい、
製品1個あたりの金型価格が高くなり、よって製品価格
が高騰するという問題があった。
However, in today's high-mix low-volume production, the production of the lead frame required for the expensive mold apparatus before the end of its life is completed.
There has been a problem that the mold price per product is high, and the product price is soaring.

【0005】この問題を解決するため、リードフレーム
をその平面形状を有する対称軸で分割し、それぞれ分割
された部分を同じ金型を用いて形成する方法も提案され
ている(特公昭62−35270号)。この方法では、
部分毎に打ち抜かれることになるため、局所的に応力が
かかり、歪や変形が生じ易く、殊に高密度パターンの場
合には、これが深刻な問題となっている。特にピン数の
増大に伴い、インナーリードのリード間ピッチが小さく
なり、製作技術も難しくなり、インナーリード先端の変
形が生じ易くまたインナーリード先端と半導体チップと
の距離も長くなるため、ボンディングワイヤがモールド
時に変形し短絡したりするという問題もある。
In order to solve this problem, a method has been proposed in which a lead frame is divided by a symmetrical axis having its planar shape, and each divided portion is formed using the same mold (Japanese Patent Publication No. 62-35270). issue). in this way,
Since each portion is punched, stress is locally applied, and distortion and deformation are likely to occur. This is a serious problem particularly in the case of a high-density pattern. In particular, as the number of pins increases, the pitch between the inner leads becomes smaller, the manufacturing technique becomes more difficult, the tip of the inner lead is more likely to be deformed, and the distance between the inner lead tip and the semiconductor chip becomes longer. There is also a problem that it is deformed and short-circuited during molding.

【0006】本発明は、前記実情に鑑みてなされたもの
で、歪や変形を生じにくく、安価で信頼性の高いリード
フレームの製造方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a low-cost and highly reliable manufacturing method of a lead frame which hardly causes distortion or deformation.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】そこで本発明の方法で
は、1リードフレーム単位パターン内のインナーリード
をほぼ1本おきに形成するように構成された金型内に、
条材供給部に設置された第1のリールから条材を供給
し、条材巻取部に設置された第2のリールに巻き取りな
がら第1グループの打ち抜きを順次行い、条材を巻き取
った後、再度第2のリールを前記条材供給部に設置し前
記金型内に前記条材を供給し、条材巻取部に設置された
第3のリールに巻き取りながら第2グループの打ち抜き
を順次行うようにしたことを特徴とする。
Therefore, according to the method of the present invention, a mold configured to form almost every other inner lead in one lead frame unit pattern is placed in a mold.
The strip material is supplied from a first reel installed in the strip material supply unit, and the first group is sequentially punched while being wound on a second reel installed in the strip material winding unit, and the strip material is wound. After that, the second reel is installed again in the strip material supply section, the strip material is supplied into the mold, and the second reel is taken up by the third reel installed in the strip material winding section. The punching is performed sequentially.

【0008】また本発明の方法では、1リードフレーム
単位パターン内のインナーリードをほぼ全体にわたって
均一となるように複数本おきに形成するように構成され
た金型内に、条材供給部に設置された第1のリールから
条材を供給し、条材巻取部に設置された第2のリールに
巻き取りながら第1グループの打ち抜きを順次行い、条
材を巻き取った後、再度第2のリールを前記条材供給部
に設置し前記金型内に前記条材を供給し、条材巻取部に
設置された第3のリールに巻き取りながら第2グループ
の打ち抜きを順次行い、続いて所定の角度だけ金型を回
転し、再度前記第3リールを前記条材供給部に設置し前
記金型内に前記条材を供給し、条材巻取部に設置された
第3のリールに巻き取りながら第3グループの打ち抜き
を順次行う…というように順次所定回の打ち抜きを行う
ようにしたことを特徴とする。
Further, in the method of the present invention, the inner leads in one lead frame unit pattern are installed at the strip material supply portion in a mold configured so as to be formed at intervals of a plurality of leads so as to be substantially uniform over the whole. The first group is supplied from the set first reel, and the first group is sequentially punched while being wound on the second reel provided in the strip winding section. After the first group is wound, the second group is wound again. Is installed in the strip supply section, the strip is supplied into the mold, and the second group is sequentially punched while being wound on a third reel installed in the strip winding section. Rotating the mold by a predetermined angle, installing the third reel again in the strip supply section, supplying the strip in the mold, and setting the third reel in the strip winding section. The third group is punched sequentially while being wound up. Characterized in that so as to sequentially perform a predetermined times of punching as.

【0009】また、本発明のリードフレーム製造装置で
は、1リードフレーム単位パターン内のインナーリード
をほぼ1本おきに形成するように構成された金型と、条
材供給部に設置された第1のリールから条材を供給し、
条材巻取部に設置された第2のリールに巻き取りながら
第1グループの打ち抜きを順次行い、条材を巻き取った
後、再度第2のリールを前記条材供給部に設置し前記金
型内に前記条材を供給し、条材巻取部に設置された第3
のリールに巻き取りながら第2グループの打ち抜きを順
次行うように構成された条材供給機構とを具備したこと
を特徴とする。さらにまた、本発明のリードフレーム製
造装置では、1リードフレーム単位パターン内のインナ
ーリードを、ほぼ均等に回転対称となるように複数のグ
ループに分け、この1グループ分のインナーリードを形
成するように構成された金型と、前記金型を回転対称と
なる角度だけ回転させる金型回転機構と、条材供給部に
設置された第1のリールから条材を供給し、条材巻取部
に設置された第2のリールに巻き取りながら第1グルー
プの打ち抜きを順次行い、条材を巻き取った後、再度第
2のリールを前記条材供給部に設置し前記金型内に前記
条材を供給し、条材巻取部に設置された第3のリールに
巻き取りながら第2グループの打ち抜きを順次行うよう
に構成された条材供給機構とを具備したことを特徴とす
る。
Further, in the lead frame manufacturing apparatus of the present invention, a die configured to form almost every other inner lead in one lead frame unit pattern, and a first die installed in a strip material supply section. From the reel of
The first group is sequentially punched while being wound on a second reel installed in the strip winding section, and after winding the strip, the second reel is installed again in the strip supply section and the gold is removed. Supplying the strip into the mold, and installing the third strip at the strip winding section
And a strip material supply mechanism configured to sequentially perform punching of the second group while winding on a reel. Furthermore, in the lead frame manufacturing apparatus of the present invention, the inner leads in one lead frame unit pattern are divided into a plurality of groups so as to be substantially equally rotationally symmetric, and the inner leads for one group are formed. A configured die, a die rotation mechanism for rotating the die by an angle that is rotationally symmetric, and a strip supplied from a first reel installed in the strip supply unit, and fed to a strip winding unit. The first group is sequentially punched out while being wound on a second reel installed, and after winding the strip, the second reel is installed again in the strip supply section and the strip is placed in the mold. And a strip supply mechanism configured to sequentially perform punching of the second group while winding on a third reel installed in the strip winding section.

【0010】なお、ここでインナーリードをほぼ1本お
きにとしたのは、原則として1本おきであるが、対称と
なるようにする関係上、1本おきになっていない領域が
あってもよいという意味である。
[0010] Here, the reason that the inner leads are arranged approximately every other line is, in principle, every other line. However, due to the symmetry, even if there is a region that is not every other line, It means good.

【0011】[0011]

【作用】上記方法によれば、配列が対称となるように、
インナーリードをほぼ1本おきに形成するように2つの
グループに分割し、その1方のグループを形成するよう
に構成された金型を用いて、順次打ち抜くようになって
いるため、部分毎に打ち抜かれる場合のような、局所的
な応力はかからず均一な力がかかるため、歪や変形を生
じること無く、低コストで高密度パターンの形成を行う
ことが可能となる。ここでは、金型のパターン密度は、
完成品としてのリードフレームパターンのパターン密度
の半分でよいため、金型の形成が容易でかつ低コストと
なる。また、金型を動かすこと無く、通常の巻取工程を
2回繰り返すのみで形成でき、極めて形成が容易であ
る。
According to the above method, the sequence is symmetrical,
The inner leads are divided into two groups so as to be formed almost every other line, and are punched out sequentially using a mold configured to form the other group. Since a uniform force is applied without applying local stress as in the case of punching, a high-density pattern can be formed at low cost without causing distortion or deformation. Here, the pattern density of the mold is
Since only half the pattern density of the lead frame pattern as a finished product is required, the formation of the mold is easy and the cost is low. In addition, it can be formed only by repeating a normal winding process twice without moving the mold, and is extremely easy to form.

【0012】また上記第2の方法によれば、時間はかか
るがより歪や変形が少ないリードフレームの形成が可能
となり、またさらに金型が低コストとなる。
According to the second method, it is possible to form a lead frame which takes a long time but has less distortion and deformation, and furthermore, the cost of the mold is reduced.

【0013】装置については、低コストとなる。[0013] The equipment is low cost.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しつつ、詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0015】図1は、本発明実施例のリードフレームを
示す平面図、図2は同リードフレームの製造工程を示す
図、図3は本発明実施例のリードフレーム製造装置を示
す説明図である。
FIG. 1 is a plan view showing a lead frame of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing a manufacturing process of the lead frame, and FIG. 3 is an explanatory view showing a lead frame manufacturing apparatus of the embodiment of the present invention. .

【0016】このリードフレームは、ダイパッド1の周
りから放射状に延びる複数のインナーリード2と、各イ
ンナーリードに延設して一体的に形成されたアウターリ
ード3とを有する。4はサポートバー、5はタイバー、
6はサイドバーである。
The lead frame has a plurality of inner leads 2 extending radially from the periphery of the die pad 1 and outer leads 3 extending integrally from the inner leads and integrally formed. 4 is a support bar, 5 is a tie bar,
6 is a side bar.

【0017】またリードフレーム製造装置は、1リード
フレーム単位パターン内のインナーリードをほぼ1本お
きに形成するように構成されたダイおよびパンチからな
る金型装置100aと、インナーリード先端とダイパッ
ド1との間のキャビティ領域8を打ち抜くように形成さ
れたダイおよびパンチからなる金型装置100bと、条
材供給部200に設置された第1のリール201から条
材を供給し、条材巻取部300に設置された第2のリー
ル202に巻き取りながら第1グループの打ち抜きを順
次行い、条材を巻き取った後、再度第2のリール202
を前記条材供給部200に設置し前記金型装置100内
に前記条材を供給し、条材巻取部300に設置された第
3のリール203に巻き取りながら第2グループの打ち
抜きを順次行うように構成された条材供給制御装置40
0とから構成されている。
Further, the lead frame manufacturing apparatus includes a die apparatus 100a composed of a die and a punch configured to form almost every other inner lead in one lead frame unit pattern; The die material is supplied from a die device 100b formed of a die and a punch formed so as to punch out the cavity region 8 therebetween, and the first reel 201 installed in the material supply portion 200, and the material winding portion is provided. The first group is sequentially punched while being wound on the second reel 202 installed on the second reel 300, and after the strip is wound, the second reel 202 is again formed.
Is installed in the strip material supply unit 200, the strip material is supplied into the mold apparatus 100, and the second group is sequentially punched while being wound on a third reel 203 installed in the strip material winding unit 300. Strip supply control device 40 configured to perform
0.

【0018】次に、このリードフレームの製造方法につ
いて説明する。
Next, a method of manufacturing the lead frame will be described.

【0019】まず、スタンピング法により、条材供給部
200に第1のリール201に巻回された銅合金からな
る帯状材料を設置し、金型装置100のダイおよびパン
チを設置して、1本おきにリード間領域7aを打ち抜き
ながら、第2のリール202に巻き取る。図2(a) はこ
の工程での打ち抜き領域を示す。
First, a strip material made of a copper alloy wound on a first reel 201 is set in a strip material supply section 200 by a stamping method, and a die and a punch of a mold apparatus 100 are set. It is wound around the second reel 202 while punching the inter-lead area 7a every other time. FIG. 2A shows a punched area in this step.

【0020】このようにして条材全長に亘って打ち抜き
を行い、第2のリール202に完全に巻き取られると、
この第2リール202を条材供給部200に設置し、再
び前記工程で用いた金型装置100のダイおよびパンチ
を、そのまま動かすことなく用いて、1本おきにリード
間領域7bを打ち抜きながら(図2(b)はこの工程での
打ち抜き領域を示す)、さらに下流側でインナーリード
先端とダイパッド1との間のキャビティ領域8を打ち抜
き(図2(a)はこの工程での打ち抜き領域を示す)、第
3のリール203に巻き取る。
In this manner, punching is performed over the entire length of the strip, and when the strip is completely wound on the second reel 202,
The second reel 202 is set on the strip material supply unit 200, and the die and the punch of the mold apparatus 100 used in the above step are again used without being moved, while punching the inter-lead region 7b every other ( FIG. 2 (b) shows a punched area in this step), and a cavity area 8 between the tip of the inner lead and the die pad 1 is punched further downstream (FIG. 2 (a) shows a punched area in this step). ), And take up the third reel 203.

【0021】このようにして形状加工のなされたリード
フレームに貴金属めっきなどの処理を行い、図1に示し
たようなリードフレームが得られる。
The lead frame thus shaped is subjected to a treatment such as noble metal plating to obtain a lead frame as shown in FIG.

【0022】そしてさらに半導体チップをこの半導体素
子搭載部であるダイパッド1上に固着し、ワイヤボンデ
ィング法により、リードフレーム本体部のインナーリー
ド2および半導体チップのボンディングパッドにワイヤ
を介して接続する。
Further, the semiconductor chip is fixed on the die pad 1 which is the semiconductor element mounting portion, and is connected to the inner lead 2 of the lead frame main body portion and the bonding pad of the semiconductor chip via a wire by a wire bonding method.

【0023】そしてこの後、モ−ルド工程、枠体の切除
工程、アウターリードを所望の形状に折りまげる成型工
程を経て、半導体装置が完成する。
Thereafter, a semiconductor device is completed through a molding step, a cutting step of the frame, and a molding step of folding the outer lead into a desired shape.

【0024】このリードフレームは、配列が対称となる
ように、インナーリードをほぼ1本おきに形成するよう
に2つのグループに分割し、その1方のグループを形成
するように構成された金型を用いて、順次打ち抜くよう
になっているため、部分毎に打ち抜かれる場合のよう
な、局所的な応力はかからず均一な力がかかるため、歪
や変形を生じること無く、低コストで高密度パターンの
形成を行うことが可能となる。ここでは、金型のパター
ン密度は、完成品としてのリードフレームパターンのパ
ターン密度の半分でよいため、金型のコストが大幅に低
減される。
This lead frame is divided into two groups so that the inner leads are formed almost every other so that the arrangement is symmetrical, and a mold configured to form one of the groups is formed. , So that a uniform force is applied without applying local stress as in the case of punching out every part, so that distortion and deformation do not occur, and low cost and high cost A density pattern can be formed. Here, since the pattern density of the mold may be half the pattern density of the lead frame pattern as a finished product, the cost of the mold is greatly reduced.

【0025】また、金型を動かすこと無く、通常の巻取
工程を2回繰り返すのみで形成でき、極めて形成が容易
である。
Further, it can be formed only by repeating the usual winding step twice without moving the mold, and the formation is extremely easy.

【0026】次に本発明の第2の実施例として、1リー
ドフレーム単位パターン内のリードをほぼ3本おきに形
成するようにリード間領域を形成し、4回の打ち抜きに
よってリードフレームを完成させるようにした例につい
て説明する。
Next, as a second embodiment of the present invention, an inter-lead area is formed so as to form approximately every third lead in one lead frame unit pattern, and the lead frame is completed by punching four times. An example will be described.

【0027】この例では図4に示すように、リードをほ
ぼ3本おきに形成するようにリード間領域を形成するよ
うに打ち抜きを行い、金型はそのままで巻き取ったリー
ルを再び条材供給部に設置し、点対称位置のリード間領
域の打ち抜きを行った後、金型を90度回転し、再度巻
き取ったリールを再び条材供給部に設置し、90度回転
した位置のリード間領域の打ち抜きを行い、金型はその
ままで巻き取ったリールを再び条材供給部に設置し、点
対称位置のリード間領域の打ち抜きを行うことにより、
金型とは4倍の密度のリード間隔をもつリードフレーム
を形成する。
In this example, as shown in FIG. 4, punching is performed so as to form a lead-to-lead area so that almost every third lead is formed. After punching out the area between the leads at the point symmetrical position, the die is rotated by 90 degrees, the reel that has been wound up again is placed on the strip supply section, and the lead is rotated by 90 degrees. By punching the area, setting the reel wound up with the mold as it is again in the strip supply section, and punching the area between the leads at the point symmetric position,
A lead frame having a lead spacing of four times the density with the mold is formed.

【0028】ここで用いられるリードフレーム製造装置
を図5に示す。装置としては、金型のパターンが異なる
点と、回転装置500が付加されている以外は図2に示
したものと同様である。
FIG. 5 shows a lead frame manufacturing apparatus used here. The device is the same as that shown in FIG. 2 except that the pattern of the mold is different and a rotating device 500 is added.

【0029】この装置では、1リードフレーム単位パタ
ーン内のインナーリードをほぼ3本おきに形成するよう
に構成されたダイおよびパンチからなる金型装置100
cと、インナーリード先端とダイパッド1との間のキャ
ビティ領域8を打ち抜くように形成されたダイおよびパ
ンチからなる金型装置100bと、条材供給部200に
設置された第1のリール201から条材を供給し、条材
巻取部300に設置された第2のリール202に巻き取
りながら第1グループの打ち抜きを順次行い、条材を巻
き取った後、再度第2のリール202を前記条材供給部
200に設置し前記金型装置100内に前記条材を供給
し、条材巻取部300に設置された第3のリール203
に巻き取りながら第2グループの打ち抜きを順次行うよ
うに構成された条材供給制御装置400と、金型回転装
置500と構成されている。
In this apparatus, a die apparatus 100 composed of a die and a punch, which is formed so that inner leads in one lead frame unit pattern are formed approximately every third lead.
c, a die apparatus 100b formed of a die and a punch formed so as to punch out the cavity region 8 between the tip of the inner lead and the die pad 1, and a first reel 201 installed in the strip material supply unit 200. The material is supplied, the first group is sequentially punched while being wound on the second reel 202 provided on the strip winding section 300, and after the strip is wound, the second reel 202 is again moved to the strip. The third reel 203 installed in the material supply unit 200 and supplies the strip material into the mold apparatus 100, and the third reel 203 installed in the strip material winding unit 300.
A strip material supply control device 400 configured to sequentially perform the punching of the second group while being wound up, and a mold rotating device 500.

【0030】次に、このリードフレームの製造方法につ
いて説明する。
Next, a method of manufacturing the lead frame will be described.

【0031】まず、スタンピング法により、条材供給部
200に第1のリール201にまかれた銅合金からなる
帯状材料を設置し、金型装置100のダイおよびパンチ
を設置して、3本おきにリード間領域17aを打ち抜き
ながら、第2のリール202に巻き取る。図4(a) はこ
の工程での打ち抜き領域を示す。
First, a strip-shaped material made of a copper alloy spread on the first reel 201 is set in the strip material supply section 200 by a stamping method, and a die and a punch of the mold apparatus 100 are set and every three pieces are set. The first reel 202 is wound around the second reel 202 while punching the inter-lead area 17a. FIG. 4A shows a punched area in this step.

【0032】このようにして条材全長にわたって打ち抜
きを行い第2のリール202に完全に巻き取られると、
この第2のリールを条材供給部200に設置し、再び前
記工程で用いた金型装置100のダイおよびパンチをそ
のまま動かすことなく用いて、1本おきにリード間領域
17bを打ち抜きながら(図4(b) はこの工程での打ち
抜き領域を示す)、第3のリール203に巻き取る。
In this way, when the entire length of the strip is punched and completely wound on the second reel 202,
This second reel is set in the strip material supply unit 200, and the die and punch of the mold apparatus 100 used in the above step are again used without moving, and the inter-lead area 17b is punched out every other reel (FIG. 4 (b) shows a punched area in this step), and is wound around a third reel 203.

【0033】さらに回転装置500によって金型を90
度回転したのち、条材供給部200に第3のリール20
3にまかれた帯状材料を設置し、金型装置100のダイ
およびパンチを設置して、3本おきにリード間領域17
cを打ち抜きながら、第2のリール202に巻き取る
(図4(c) はこの工程での打ち抜き領域を示す)。
Further, the mold is moved to 90 by the rotating device 500.
After the rotation, the third reel 20 is
3 and the die and the punch of the mold apparatus 100 are installed, and the lead 17
While c is punched, it is wound around the second reel 202 (FIG. 4C shows a punched area in this step).

【0034】このようにして条材全長にわたって打ち抜
きを行い第2のリール202に完全に巻き取られると、
この第2のリールを条材供給部200に設置し、再び前
記工程で用いた金型装置100のダイおよびパンチをそ
のまま動かすことなく用いて、1本おきにリード間領域
17dを打ち抜きながら(図4(d) はこの工程での打ち
抜き領域を示す)、さらに下流側でインナーリード先端
とダイパッド1との間のキャビティ領域18を打ち抜き
(図4(e) はこの工程での打ち抜き領域を示す)、第3
のリール203に巻き取る。
In this way, when the entire length of the strip is punched and completely wound on the second reel 202,
This second reel is set in the strip material supply unit 200, and the die and punch of the mold apparatus 100 used in the above step are again used without moving, while punching the lead-to-lead area 17d every other (see FIG. 4 (d) shows the punched area in this step), and further punches the cavity area 18 between the tip of the inner lead and the die pad 1 on the downstream side (FIG. 4 (e) shows the punched area in this step). , Third
The reel 203 is wound up.

【0035】このようにして形状加工のなされたリード
フレームに貴金属めっきなどの処理を行い、実施例1と
同様、図1に示したようなリードフレームが得られる。
The lead frame thus shaped is subjected to a treatment such as precious metal plating to obtain a lead frame as shown in FIG.

【0036】このように複数回の打ち抜きによって形成
されるリードフレームのインナーリードは応力が低減さ
れ、変形はより少なくてすみ、またリ―ドフレ―ムへの
チップの実装に際してチップのボンディングパッドとイ
ンナ―リ―ドの先端とのワイヤボンディング工程におけ
る熱履歴によってもモ−ルド工程における熱履歴によっ
ても、インナーリード先端部は正しい位置に固定されて
いるため、接続不良を生じたりすることなく信頼性の高
い半導体装置を得ることが可能となる。
The inner lead of the lead frame formed by punching a plurality of times as described above has a reduced stress and requires less deformation. Further, when the chip is mounted on the lead frame, the bonding pad of the chip and the inner pad are not used. -Due to the heat history in the wire bonding process with the tip of the lead and the heat history in the molding process, the tip of the inner lead is fixed at the correct position, so there is no connection failure and reliability Semiconductor device with high reliability can be obtained.

【0037】なお、前記実施例では2回および4回の打
ち抜きを1つの金型で行う場合について説明したが、6
回、8回、とするなど適宜変更可能である。場合に応じ
て回転装置の回転角が選択される。
In the above-described embodiment, the case where the punching is performed twice and four times with one die has been described.
The number can be changed as appropriate, such as eight times. The rotation angle of the rotation device is selected depending on the case.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、低
コストで信頼性の高い半導体装置を提供することが可能
となる。
As described above, according to the present invention, a low-cost and highly reliable semiconductor device can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明実施例の方法で得られたリードフレーム
のリードフレームを示す図
FIG. 1 is a view showing a lead frame of a lead frame obtained by a method according to an embodiment of the present invention.

【図2】同リードフレーム製造装置FIG. 2 is a lead frame manufacturing apparatus.

【図3】本発明の第1の実施例のリードフレーム製造工
程を示す説明図
FIG. 3 is an explanatory view showing a lead frame manufacturing process according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施例のリードフレーム製造工
程を示す説明図
FIG. 4 is an explanatory view showing a lead frame manufacturing process according to a second embodiment of the present invention.

【図5】同リードフレーム製造装置FIG. 5 is a lead frame manufacturing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ダイパッド 2 インナーリード 3 アウターリード 4 サポートバー 5 タイバー 6 サイドバー 7a リード間打ち抜き領域 7b リード間打ち抜き領域 8 キャビテイ打ち抜き領域 100 金型装置 200 条材供給部 201 第1のリール 202 第2のリール 203 第3のリール 300 条材巻取部 400 条材供給制御装置 500 回転装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Die pad 2 Inner lead 3 Outer lead 4 Support bar 5 Tie bar 6 Side bar 7a Punching area between leads 7b Punching area between leads 8 Cavity punching area 100 Die apparatus 200 Strip supply section 201 First reel 202 Second reel 203 Third reel 300 strip take-up section 400 strip supply control device 500 rotating device

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 1リードフレーム単位パターン内のイン
ナーリードをほぼ1本おきに形成するように構成された
金型内に、条材供給部に設置された第1のリールから条
材を供給し、条材巻取部に設置された第2のリールに巻
き取りながら第1グループの打ち抜きを順次行う第1の
打ち抜き工程と、 前記条材を巻き取った、再度前記第2のリールを前記条
材供給部に設置して前記金型内に前記条材を供給し、条
材巻取部に設置された第3のリールに巻き取りながら第
2グループの打ち抜きを順次行う第2の打ち抜き工程と
を含むようにしたことを特徴とするリードフレームの製
造方法。
1. A strip material is supplied from a first reel installed in a strip material supply unit into a mold configured to form inner leads in one lead frame unit pattern approximately every other. A first punching step of sequentially punching a first group while winding the second reel provided on the strip winding section; and winding the second reel again on the strip after winding the strip. A second punching step of setting the material in the material supply unit, supplying the material into the mold, and sequentially punching a second group while winding the material on a third reel provided in the material take-up unit; A method for manufacturing a lead frame, comprising:
【請求項2】 1リードフレーム単位パターン内のイン
ナーリードをほぼ全体にわたって均一となるように複数
本おきに形成するように構成された金型内に条材供給部
に設置された第1のリールから条材を供給し、条材巻取
部に設置された第2のリールに巻き取りながら第1グル
ープの打ち抜きを行う第1の打ち抜き工程と前記条材を
巻き取った後、再度第2のリールを前記条材供給部に設
置し前記金型内に前記条材を供給し、条材巻取部に設置
された第3のリールに巻き取りながら第2グループの打
ち抜きを順次行う第2の打ち抜き工程と続いて所定の角
度だけ金型を回転する回転工程と再度前記第3リールを
前記条材供給部に設置し前記金型内に前記条材を供給
し、条材巻取部に設置された第3のリールに巻き取りな
がら第3グループの打ち抜きを順次行う第3の打ち抜き
工程とを含むことを特徴とするリードフレームの製造方
法。
2. A first reel mounted on a strip supply section in a mold configured to form inner leads in one lead frame unit pattern at intervals of a plurality of lines so as to be substantially uniform over the entirety. And a first punching step in which the first group is punched while the first group is being punched while being wound on a second reel provided in the strip winding section. A second reel, in which a reel is set in the strip supply section, the strip is supplied into the mold, and the second group is sequentially punched while being wound on a third reel installed in the strip winding section. A punching step and a rotation step of rotating the mold by a predetermined angle, and the third reel is again installed in the strip supply section, the strip is supplied into the mold, and installed in the strip winding section. The third group is driven while being wound on the third reel. And a third punching step of sequentially performing punching.
【請求項3】 1リードフレーム単位パターン内のイン
ナーリードをほぼ1本おきに形成するように構成された
金型と条材供給部と条材巻取部と前記条材供給部に設置
された第1のリールから条材を供給し、条材巻取部に設
置された第2のリールに巻き取りながら第1グループの
打ち抜きを順次行い、条材を巻き取った後、再度第2の
リールを前記条材供給部に設置して前記金型内に前記条
材を供給し、条材巻取部に設置された第3のリールに巻
き取りながら第2グループの打ち抜きを順次行うように
構成された条材供給機構とを具備したことを特徴とする
リードフレーム製造装置。
3. A die configured to form substantially every other inner lead in one lead frame unit pattern, a strip supply section, a strip take-up section, and a strip installed in the strip supply section. The strip is supplied from the first reel, and the first group is sequentially punched while being wound on the second reel provided in the strip winding section. After the strip is wound, the second reel is again taken up Is installed in the strip material supply section, the strip material is supplied into the mold, and the second group is sequentially punched while being wound on a third reel installed in the strip material winding section. A lead frame manufacturing apparatus, comprising:
【請求項4】 1リードフレーム単位パターン内のイン
ナーリードを、ほぼ均等に回転対称となるように複数の
グループに分け、この1グループ分のインナーリードを
形成するように構成された金型と、 前記金型を回転対称となる角度だけ回転させる金型回転
機構と、 前記条材供給部に設置された第1のリールから条材を供
給し、条材巻取部に設置された第2のリールに巻き取り
ながら第1グループの打ち抜きを行い、前記条材を巻き
取った後、再度第2のリールを前記条材供給部に設置し
前記金型内に前記条材を供給し、条材巻取部に設置され
た第3のリールに巻き取りながら第2グループの打ち抜
きを順次行うように構成された条材供給機構とを具備し
たことを特徴とするリードフレーム製造装置。
4. A mold configured to divide inner leads in one lead frame unit pattern into a plurality of groups so as to be substantially equally rotationally symmetric, and to form one group of inner leads. A mold rotating mechanism that rotates the mold by an angle that is rotationally symmetric; and a second material that supplies a material from a first reel installed in the material supply unit and is installed in a material winding unit. The first group is punched while being wound on a reel, and after winding the strip, the second reel is installed in the strip supply section again, and the strip is supplied into the mold. A lead frame manufacturing apparatus comprising: a strip material supply mechanism configured to sequentially perform punching of a second group while winding on a third reel installed in a winding unit.
JP8480793A 1993-04-12 1993-04-12 Lead frame manufacturing method and lead frame manufacturing apparatus Expired - Fee Related JP3028167B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8480793A JP3028167B2 (en) 1993-04-12 1993-04-12 Lead frame manufacturing method and lead frame manufacturing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8480793A JP3028167B2 (en) 1993-04-12 1993-04-12 Lead frame manufacturing method and lead frame manufacturing apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06302739A JPH06302739A (en) 1994-10-28
JP3028167B2 true JP3028167B2 (en) 2000-04-04

Family

ID=13840997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8480793A Expired - Fee Related JP3028167B2 (en) 1993-04-12 1993-04-12 Lead frame manufacturing method and lead frame manufacturing apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3028167B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06302739A (en) 1994-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4994411A (en) Process of producing semiconductor device
US7019388B2 (en) Semiconductor device
JP3028167B2 (en) Lead frame manufacturing method and lead frame manufacturing apparatus
JP2011142337A (en) Method of manufacturing semiconductor device
JP2008113021A (en) Manufacturing method of semiconductor device
JPH0661401A (en) Lead frame and its manufacture
JPS6248053A (en) Manufacture of lead frame for semiconductor device
JP2524645B2 (en) Lead frame and manufacturing method thereof
JP2816757B2 (en) Method for manufacturing semiconductor device
JP2001015671A (en) Manufacture for lead frame
JP2520486B2 (en) Method for manufacturing lead frame for semiconductor device
JP2504860B2 (en) Manufacturing method of lead frame
JP2727251B2 (en) Lead frame and manufacturing method thereof
JP2923012B2 (en) Printed wiring board
JP2756857B2 (en) Lead frame manufacturing method
JP3284030B2 (en) Mold equipment for lead frame manufacturing
JPH0444255A (en) Manufacture of lead frame
JPS61201454A (en) Lead frame for integrated circuit
JPH08236674A (en) Manufacture of lead frame
JPH04340263A (en) Lead frame
JP2901217B2 (en) Lead frame for semiconductor device
JPH1022432A (en) Manufacture of lead frame
JPH03152962A (en) Facility for manufacturing semiconductor device lead frame
JP2005353780A (en) Manufacturing method for lead frame
JPH01133340A (en) Lead frame and manufacture thereof

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080204

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 9

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090204

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100204

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 10

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100204

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110204

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120204

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees