JP3023926B2 - Manufacturing method of firing tool materials - Google Patents
Manufacturing method of firing tool materialsInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、焼成用道具材の製造方
法に関する。具体的に言うと、本発明に係る焼成用道具
材は、電子部品用セラミック素子の焼成工程に用いられ
るアルミナ質もしくはアルミナ／ジルコニア質炉材の表
面にジルコニアコーティング層を形成されたものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a firing tool. Specifically, the firing tool material according to the present invention is obtained by forming a zirconia coating layer on the surface of an alumina or alumina / zirconia furnace material used in a firing step of a ceramic element for an electronic component.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電子部品用のセラミック素子を焼成する
場合、炉材の表面にセラミック素子の成形体を並べ、所
定の温度でセラミック素子を焼成する。このための焼成
用炉材としては、一般的にアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）質、ア
ルミナ／ジルコニア（Ａｌ2Ｏ3／ＺｒＯ2）質もしくは
ジルコニア質の各炉材が使用されている。また、近年で
は耐熱衝撃性が高く、かつ低熱容量を目的に軽量化され
た各組成の炉材も使用されている。2. Description of the Related Art When firing a ceramic element for an electronic component, a molded body of the ceramic element is arranged on the surface of a furnace material, and the ceramic element is fired at a predetermined temperature. In general, alumina (Al 2 O 3 ), alumina / zirconia (Al 2 O 3 / ZrO 2 ) or zirconia-based furnace materials are used as firing furnace materials for this purpose. In recent years, furnace materials of various compositions having high thermal shock resistance and reduced weight for the purpose of low heat capacity have been used.
【０００３】しかし、焼成用炉材としてアルミナ質もし
くはアルミナ／ジルコニア質の炉材を使用する場合、こ
れらの炉材の表面に直接セラミック素子の成形体を並べ
て所定温度で焼成すると、セラミック素子が炉材と反応
を生じる。このため、アルミナ質もしくはアルミナ／ジ
ルコニア質炉材を用いる場合には、炉材の上にジルコニ
ア質のセッターを敷き、その上にセラミック素子を並べ
て焼成し、セラミック素子と炉材との反応を防止してい
る。[0003] However, when alumina or alumina / zirconia furnace materials are used as the furnace material for firing, a ceramic element compact is arranged directly on the surface of these furnace materials and fired at a predetermined temperature. Reacts with material. For this reason, when using an alumina or alumina / zirconia furnace material, a zirconia setter is laid on the furnace material, and ceramic elements are arranged and fired thereon to prevent the reaction between the ceramic element and the furnace material. are doing.
【０００４】また、別途セッターを用いることなくセラ
ミック素子と炉材との反応を防止するため、図２に示す
ように、アルミナ質もしくはアルミナ／ジルコニア質炉
材１１の表面に適当な厚さにジルコニアをコーティング
して焼き付けてジルコニアコーティング層１２を形成
し、このジルコニアコーティング層１２の上にセラミッ
ク素子を並べて焼成することにより、セラミック素子と
炉材１１のアルミナ質との反応を防止するようにしたも
のもある。このアルミナ質もしくはアルミナ／ジルコニ
ア質炉材１１にジルコニアをコーティングする方法とし
ては、従来にあっては、焼成された炉材１１の表面にジ
ルコニアスラリーをハケ塗り、ディッピングあるいはス
プレー噴霧等の方法によって塗布し、ジルコニアスラリ
ーを乾燥させた後、炉材焼成温度よりも低い温度でジル
コニアコーティング層１２を炉材１１に焼き付けてい
る。In order to prevent a reaction between the ceramic element and the furnace material without using a separate setter, as shown in FIG. 2, the surface of the alumina or alumina / zirconia furnace material 11 is made to have a suitable thickness of zirconia. Is coated and baked to form a zirconia coating layer 12, and a ceramic element is arranged on the zirconia coating layer 12 and fired to prevent a reaction between the ceramic element and the alumina material of the furnace material 11. There is also. As a method for coating the alumina or alumina / zirconia furnace material 11 with zirconia, conventionally, a zirconia slurry is applied to the surface of the fired furnace material 11 by brushing, dipping or spraying. After drying the zirconia slurry, the zirconia coating layer 12 is baked on the furnace material 11 at a temperature lower than the furnace material firing temperature.
【０００５】このようにして形成されたジルコニアコー
ティング層１２は、炉材１１中のアルミナと一部反応す
るが、大部分は図２に示すように炉材１１の表面の凹凸
部へジルコニアコーティング層が食い込むことによっ
て、ジルコニアコーティング層１２の剥離強度が保たれ
ている。このため、従来のようなジルコニアコーティン
グ層１２の形成方法では、十分な剥離強度を得ることが
できず、この炉材を用いてセラミック素子を焼成した場
合、温度サイクルの繰り返しによりジルコニアコーティ
ング層１２が剥がれて使用できなくなり、寿命の低下を
招くという問題があった。The zirconia coating layer 12 formed in this way partially reacts with the alumina in the furnace material 11, but most of the zirconia coating layer 12 is applied to the irregularities on the surface of the furnace material 11 as shown in FIG. As a result, the peel strength of the zirconia coating layer 12 is maintained. For this reason, in the conventional method of forming the zirconia coating layer 12, it is not possible to obtain a sufficient peel strength, and when firing the ceramic element using this furnace material, the zirconia coating layer 12 is repetitively subjected to a temperature cycle. There has been a problem that it cannot be used because it is peeled off, and the life is shortened.
【０００６】また、別なジルコニア層の形成方法として
は、炉材ベースの表面に熔射によってジルコニア層を形
成する方法もあるが、コストが高くついていた。As another method of forming a zirconia layer, there is a method of forming a zirconia layer on the surface of a furnace material base by spraying, but the cost is high.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、叙上の従来
例の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とする
ところは、アルミナ質もしくはアルミナ／ジルコニア質
炉材の上に形成されたジルコニアコーティング層の剥離
強度を高めることにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks of the prior art, and has as its object to form on an alumina or alumina / zirconia furnace material. To increase the peel strength of the zirconia coating layer.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の焼成用炉材の製
造方法は、アルミナ質もしくはアルミナ／ジルコニア質
原料を主材として炉材原料を調製し、この炉材原料を成
形して炉材成形体を形成し、炉材成形体の表面をジルコ
ニアスラリーでコーティングしてジルコニアコーティン
グ層を形成した後、炉材成形体とジルコニアコーティン
グ層とを所定の炉材焼成温度で同時焼成することを特徴
としている。According to the method of the present invention, a furnace material is prepared by using an alumina or alumina / zirconia material as a main material, and the furnace material is formed by molding the furnace material. After forming a molded body and coating the surface of the furnace material molded body with a zirconia slurry to form a zirconia coating layer, the furnace material molded body and the zirconia coating layer are simultaneously fired at a predetermined furnace material firing temperature. And
【０００９】[0009]
【作用】ジルコニアコーティング層は、アルミナもしく
はアルミナ／ジルコニア炉材の表面の凹凸に食い込んで
炉材表面に固着している。さらに、本発明にあっては、
アルミナ質もしくはアルミナ／ジルコニア質原料からな
る炉材成形体とジルコニアコーティング層とを所定の焼
成温度で同時焼成する時、炉材中のアルミナとジルコニ
アコーティング層との境界面で両層の拡散反応が起こ
り、ジルコニア拡散層が形成され、これにより炉材の表
面に剥離強度の大きなジルコニアコーティング層が形成
される。The zirconia coating layer cuts into the irregularities on the surface of the alumina or alumina / zirconia furnace material and is fixed to the furnace material surface. Further, in the present invention,
When a furnace material formed of alumina or alumina / zirconia raw material and a zirconia coating layer are simultaneously fired at a predetermined firing temperature, a diffusion reaction of both layers occurs at an interface between the alumina and zirconia coating layer in the furnace material. As a result, a zirconia diffusion layer is formed, thereby forming a zirconia coating layer having high peel strength on the surface of the furnace material.
【００１０】また、ジルコニアコーティング層を同時焼
成することにより、焼成用道具材の表面を平滑にするこ
とができた。Further, by simultaneously firing the zirconia coating layer, the surface of the firing tool material could be made smooth.
【００１１】さらに、ジルコニアコーティング層を炉材
と同時焼成しているので、ジルコニアコーティング層の
焼き付けコストが不必要になる。Further, since the zirconia coating layer is fired simultaneously with the furnace material, the cost of baking the zirconia coating layer becomes unnecessary.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図に基づいて詳
述する。本発明の一実施例に係る製造方法を説明する。
まず、所定の組成のアルミナ質もしくはアルミナ／ジル
コニア質原料を主材とする炉材原料を粉末成形法又は鋳
込成形法により所定形状に成形して炉材成形体を作る。
また、前記アルミナ質もしくはアルミナ／ジルコニア質
の原料には、焼成によって消失してしまう樹脂粒子等の
有機物を混合させてもよい。ついで、この炉材成形体の
表面にジルコニアスラリーをハケ塗り、ディッピング、
又はスプレー噴霧等の方法によって塗布してジルコニア
コーティング層を形成する。この後、表面にジルコニア
コーティング層を形成されたアルミナ質もしくはアルミ
ナ／ジルコニア質の炉材成形体を所定の炉材焼成温度で
同時焼成し、図１に示すように、アルミナ質もしくはア
ルミナ／ジルコニア質炉材１の表面にジルコニアコーテ
ィング層２を焼き付ける。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. A manufacturing method according to one embodiment of the present invention will be described.
First, a furnace material raw material mainly composed of an alumina or alumina / zirconia material having a predetermined composition is formed into a predetermined shape by a powder molding method or a casting method to produce a furnace material molded body.
The alumina-based or alumina / zirconia-based raw material may be mixed with an organic substance such as resin particles which disappear by firing. Next, zirconia slurry is brush-coated on the surface of the furnace material compact, dipped,
Alternatively, a zirconia coating layer is formed by coating by a method such as spraying. Thereafter, an alumina or alumina / zirconia furnace material compact having a zirconia coating layer formed on its surface is simultaneously fired at a predetermined furnace material firing temperature, and as shown in FIG. The zirconia coating layer 2 is baked on the surface of the furnace material 1.
【００１３】このようにして焼成すると、炉材焼成温度
で炉材１中のアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）とジルコニアコーテ
ィング層２のジルコニア（ＺｒＯ2）とが境界面で拡散
反応を起こしてジルコニア拡散層（Ａｌ2Ｏ3−ＺｒＯ2
層）３が形成される。これによりジルコニアコーティン
グ層２が炉材１の表面に強固に形成される。従って、ジ
ルコニアコーティング層２が炉材１の表面の凹凸に食い
込むこととあいまって、ジルコニアコーティング層２が
大きな剥離強度を持つことになる。When sintering is performed in this manner, the alumina (Al 2 O 3 ) in the furnace material 1 and the zirconia (ZrO 2 ) in the zirconia coating layer 2 cause a diffusion reaction at the interface at the furnace material sintering temperature to cause zirconia diffusion. layer (Al 2 O 3 -ZrO 2
Layer 3 is formed. Thereby, the zirconia coating layer 2 is firmly formed on the surface of the furnace material 1. Therefore, in combination with the fact that the zirconia coating layer 2 digs into the irregularities on the surface of the furnace material 1, the zirconia coating layer 2 has a large peel strength.
【００１４】さらに、炉材成形体に焼成によって焼失す
る樹脂粒子等の有機物を混入させてあると、焼成時に当
該有機物が焼失して気孔が形成されるので、軽量の焼成
用道具材を製作することができる。また、この気孔内に
ジルコニアコーティング層が食い込むので、ジルコニア
コーティング層の剥離強度をより高めることができる。Further, if an organic matter such as resin particles which are burned off by firing is mixed in the furnace material compact, the organic matter is burned off during firing and pores are formed. Therefore, a lightweight firing tool material is manufactured. be able to. Further, since the zirconia coating layer penetrates into the pores, the peel strength of the zirconia coating layer can be further increased.
【００１５】このようにして製作された焼成用道具材
は、セラミック素子の焼成時や温度サイクルでのジルコ
ニアコーティング層の剥離がほとんどなく、実用ライフ
が大巾に向上する。同時に、ジルコニアコーティング層
によりセラミック素子とアルミナとの反応もほとんど生
じない。The sintering tool material manufactured in this manner hardly peels off the zirconia coating layer during sintering of the ceramic element or during a temperature cycle, so that the practical life is greatly improved. At the same time, the reaction between the ceramic element and alumina hardly occurs due to the zirconia coating layer.
【００１６】次に、本発明の具体的な実施例について説
明する。まず、下記のようにして本発明の方法によって
サンプル１〜４を製造した。また、従来方法によってサ
ンプル５を製造した。Next, a specific embodiment of the present invention will be described. First, Samples 1 to 4 were produced by the method of the present invention as described below. Sample 5 was manufactured by a conventional method.
【００１７】（サンプル１）市販の高純度アルミナ（純
度９９％以上）にカオリン粘土を０〜２．５重量部（好
適値１．５重量部）添加してスラリーを調製し、石膏型
を用いて鋳込成形して炉材成形体を形成し、離型し、さ
らに乾燥させた後、高純度安定化ジルコニア（純度９３
％以上、Ｙ2Ｏ3６％以上）のスラリーを炉材成形体の表
面にスプレー噴霧して０．２ｍｍ厚のジルコニアコーテ
ィング層を形成した。その後、１６００℃の温度に２時
間保持して焼成し、焼成用道具材（サンプル１）を製作
した。(Sample 1) A slurry is prepared by adding 0 to 2.5 parts by weight (preferable value: 1.5 parts by weight) of kaolin clay to commercially available high-purity alumina (purity: 99% or more) and using a gypsum mold. To form a furnace material molded product, release from the mold, and further dry the product to obtain high-purity stabilized zirconia (purity 93
% Or more, and Y 2 O 3 6% or more) was sprayed onto the surface of the furnace material compact to form a zirconia coating layer having a thickness of 0.2 mm. Then, it was baked while being held at a temperature of 1600 ° C. for 2 hours to produce a firing tool material (sample 1).
【００１８】（サンプル２）市販の高純度アルミナ（純
度９９％以上）と高純度ジルコニア（純度９９％以上）
を重量比で９０：１０の割合で混合し、これにカオリン
粘土を０〜２．５重量部（好適値１．５重量部）添加し
てスラリーを調製し、石膏型を用いて鋳込成形して炉材
成形体を形成し、離型し、さらに乾燥させた後、ジルコ
ニアスラリーを炉材成形体の表面にスプレー噴霧して
０．２ｍｍ厚のジルコニアコーティング層を形成した。
その後、１６００℃の温度に２時間保持して焼成し、焼
成用道具材（サンプル２）を製作した。(Sample 2) Commercially available high-purity alumina (purity 99% or more) and high-purity zirconia (purity 99% or more)
Was mixed at a weight ratio of 90:10, and kaolin clay was added to the mixture in an amount of 0 to 2.5 parts by weight (preferably 1.5 parts by weight) to prepare a slurry, which was cast using a gypsum mold. After forming a furnace material compact, releasing the mold, and further drying, a zirconia slurry was spray-sprayed on the surface of the furnace material compact to form a 0.2 mm thick zirconia coating layer.
Then, it was baked while being kept at a temperature of 1600 ° C. for 2 hours to produce a firing tool material (sample 2).
【００１９】（サンプル３）市販の高純度アルミナ（純
度９９％以上）にカオリン粘土を０〜２．５重量部（好
適値１．５重量部）添加して、スラリーを調製した。さ
らに、気孔を作る為に樹脂粒子を体積比で３８ｖｏｌ％
となるように石膏型に充填し、その中に上記アルミナス
ラリーを流し込んで鋳込成形し、炉材成形体を石膏型か
ら離型し、乾燥させた後、ジルコニアのスラリーを炉材
成形体の表面にスプレー噴霧して０．２ｍｍ厚のジルコ
ニアコーティング層を形成した。その後、１６００℃の
温度に２時間保持し、樹脂粒子を焼失させて気孔を形成
すると共に炉材成形体を焼成して軽量の焼成用道具材
（サンプル３）を製作した。(Sample 3) A slurry was prepared by adding 0 to 2.5 parts by weight (preferably 1.5 parts by weight) of kaolin clay to commercially available high-purity alumina (purity 99% or more). Further, in order to create pores, the resin particles are 38 vol% in volume ratio.
After filling into a gypsum mold, casting the above-mentioned alumina slurry into it and casting it, releasing the furnace material molded body from the gypsum mold and drying, and then converting the zirconia slurry to a furnace material molded body. The surface was sprayed to form a zirconia coating layer having a thickness of 0.2 mm. Thereafter, the temperature was maintained at 1600 ° C. for 2 hours to burn out the resin particles to form pores and fire the furnace material compact to produce a lightweight firing tool material (sample 3).
【００２０】（サンプル４）市販の高純度アルミナ（純
度９９％以上）と高純度ジルコニア（純度９９％以上）
を重量比で９０：１０の割合で混合し、これにカオリン
粘土を０〜２．５重量部（好適値１．５重量部）添加し
てスラリーを調製した。さらに、気孔を作る為に樹脂粒
子を体積比で３８ｖｏｌ％となるように石膏型に充填
し、その中に上記アルミナスラリーを流し込んで鋳込成
形し、炉材成形体を石膏型から離型し、さらに乾燥させ
た後、ジルコニアのスラリーを炉材成形体の表面にスプ
レー噴霧して０．２ｍｍ厚のジルコニアコーティング層
を形成した。その後、１６００℃の温度に２時間保持
し、樹脂粒子を焼失させて気孔を形成すると共に炉材成
形体を焼成して軽量の焼成用道具材（サンプル４）を製
作した。(Sample 4) Commercially available high-purity alumina (purity 99% or more) and high-purity zirconia (purity 99% or more)
Was mixed at a weight ratio of 90:10, and kaolin clay was added to the mixture in an amount of 0 to 2.5 parts by weight (preferably 1.5 parts by weight) to prepare a slurry. Further, in order to form pores, resin particles are filled in a gypsum mold so as to have a volume ratio of 38 vol%, the above-mentioned alumina slurry is poured into the gypsum mold and cast, and the furnace material molding is released from the gypsum mold. After further drying, a slurry of zirconia was sprayed onto the surface of the furnace material compact to form a zirconia coating layer having a thickness of 0.2 mm. Thereafter, the temperature was maintained at 1600 ° C. for 2 hours to burn off the resin particles to form pores and fire the furnace material compact to produce a lightweight firing tool material (sample 4).
【００２１】（サンプル５）市販の高純度アルミナ（純
度９９％以上）と高純度ジルコニア（純度９９％以上）
を重量比で９０：１０の割合で混合し、これにカオリン
粘土を０〜２．５重量部（好適値１．５重量部）添加し
てスラリーを調製した。さらに、気孔を作る為に樹脂粒
子を体積比で３８ｖｏｌ％となるように石膏型に充填
し、その中に上記アルミナスラリーを流し込んで鋳込成
形し、炉材成形体を石膏型から離型し、さらに乾燥させ
た。この後、炉材成形体を１６００℃の焼成温度で焼成
し、樹脂粒子を焼失させ、軽量の焼成用炉材を製作し
た。この焼成された炉材の表面にジルコニアのスラリー
を０．２ｍｍ厚にスプレー噴霧し、再び焼成して炉材の
表面にジルコニアコーティング層を形成した。(Sample 5) Commercially available high-purity alumina (purity 99% or more) and high-purity zirconia (purity 99% or more)
Was mixed at a weight ratio of 90:10, and kaolin clay was added to the mixture in an amount of 0 to 2.5 parts by weight (preferably 1.5 parts by weight) to prepare a slurry. Further, in order to form pores, resin particles are filled in a gypsum mold so as to have a volume ratio of 38 vol%, the above-mentioned alumina slurry is poured into the gypsum mold, and the furnace material molded body is released from the gypsum mold. And further dried. Thereafter, the furnace material compact was fired at a firing temperature of 1600 ° C. to burn off the resin particles, thereby producing a lightweight furnace material for firing. A zirconia slurry was spray-sprayed to a thickness of 0.2 mm on the surface of the fired furnace material, and fired again to form a zirconia coating layer on the surface of the furnace material.
【００２２】上記各方法によって製造されたサンプル１
〜４（本発明の実施例）及びサンプル５（従来例）の各
道具材の上にセラミックコンデンサーを積載し、１３５
０℃で焼成する工程を繰り返し行ない、炉材表面のジル
コニアコーティング層の剥離を確認した。この結果を表
１に示す。なお、ライフ（寿命）は、ジルコニアコーテ
ィング層に剥離が生じるまでの焼成回数を示している。Sample 1 manufactured by each of the above methods
A ceramic capacitor was mounted on each of the tool materials of Sample Nos. 4 to 4 (Examples of the present invention) and Sample 5 (Conventional Example),
The step of baking at 0 ° C. was repeated, and peeling of the zirconia coating layer on the surface of the furnace material was confirmed. Table 1 shows the results. In addition, the life (lifetime) indicates the number of firings until the zirconia coating layer is peeled off.
【００２３】[0023]
【表１】 [Table 1]
【００２４】表１から明らかなように、炉材成形体にジ
ルコニアコーティング層を形成した後、炉材成形体の焼
成温度で同時焼成したサンプル１〜４は、サンプル５と
比較して、大幅にジルコニアコーティング層の剥離強度
ないし寿命が大きくなっており、しかも炉材表面は平滑
となっている。As is clear from Table 1, Samples 1 to 4 which were formed by forming a zirconia coating layer on the furnace material molded body and then simultaneously firing at the firing temperature of the furnace material molded body were significantly larger than Sample 5. The peel strength or life of the zirconia coating layer is large, and the furnace material surface is smooth.
【００２５】[0025]
【発明の効果】本発明によれば、ジルコニアのコーティ
ング層をアルミナ質もしくはアルミナ／ジルコニア質炉
材と同時焼成しているので、ジルコニアコーテング層の
剥離強度を大幅に増大させることができ、焼成用道具材
の実用ライフが長くなる。また、ジルコニアコーティン
グ層を炉材と一体焼成することにより、ジルコニアコー
ティング層の表面状態を滑らかにすることができた。さ
らに、ジルコニアコーティング層を炉材と一体焼成する
ことにより、ジルコニアコーティング層の焼付けコスト
を不必要にでき、安価に焼成用道具材を製作することが
できる。According to the present invention, since the zirconia coating layer is fired simultaneously with the alumina or alumina / zirconia furnace material, the peel strength of the zirconia coating layer can be greatly increased. The practical life of the tool is extended. Further, by firing the zirconia coating layer integrally with the furnace material, the surface state of the zirconia coating layer could be smoothed. Furthermore, by firing the zirconia coating layer integrally with the furnace material, the firing cost of the zirconia coating layer can be made unnecessary, and the firing tool material can be manufactured at low cost.
【図１】本発明の方法によって製造された焼成用炉材を
示す拡大断面図である。FIG. 1 is an enlarged sectional view showing a firing furnace material manufactured by a method of the present invention.
【図２】従来の方法によって製造された焼成用炉材を示
す拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view showing a firing furnace material manufactured by a conventional method.
１ アルミナ質もしくはアルミナ／ジルコニア質炉材 ２ ジルコニアコーティング層 1 Alumina or alumina / zirconia furnace material 2 Zirconia coating layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 雲川 昂 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (56)参考文献 特開 昭57−75850（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/64 C04B 41/87 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takashi Kumogawa Murata Manufacturing Co., Ltd. 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto (56) References JP-A-57-75850 (JP, A) (58) ) Surveyed field (Int.Cl. 7 , DB name) C04B 35/64 C04B 41/87
Claims (1)
ア質原料を主材として炉材原料を調製し、この炉材原料
を成形して炉材成形体を形成し、炉材成形体の表面をジ
ルコニアスラリーでコーティングしてジルコニアコーテ
ィング層を形成した後、炉材成形体とジルコニアコーテ
ィング層とを所定の炉材焼成温度で同時焼成することを
特徴とする焼成用道具材の製造方法。1. A furnace material is prepared by using an alumina or alumina / zirconia material as a main material, and the furnace material is formed to form a furnace material compact, and the surface of the furnace material compact is coated with a zirconia slurry. A method for producing a firing tool material, comprising: simultaneously forming a furnace material compact and a zirconia coating layer at a predetermined furnace material firing temperature after coating to form a zirconia coating layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2413375A JP3023926B2 (en) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | Manufacturing method of firing tool materials |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2413375A JP3023926B2 (en) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | Manufacturing method of firing tool materials |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04224172A JPH04224172A (en) | 1992-08-13 |
| JP3023926B2 true JP3023926B2 (en) | 2000-03-21 |
Family
ID=18522038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2413375A Expired - Lifetime JP3023926B2 (en) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | Manufacturing method of firing tool materials |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3023926B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5603875A (en) * | 1993-06-11 | 1997-02-18 | Aerospace Coating Systems, Inc. | Method for producing ceramic-based components |
| JP3579155B2 (en) * | 1995-01-18 | 2004-10-20 | 東芝セラミックス株式会社 | Tools for firing |
-
1990
- 1990-12-20 JP JP2413375A patent/JP3023926B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04224172A (en) | 1992-08-13 |
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| Date | Code | Title | Description |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090121 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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