JP3020688B2 - Oxygen sensor element - Google Patents

Oxygen sensor element

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JP3020688B2
JP3020688B2 JP3294387A JP29438791A JP3020688B2 JP 3020688 B2 JP3020688 B2 JP 3020688B2 JP 3294387 A JP3294387 A JP 3294387A JP 29438791 A JP29438791 A JP 29438791A JP 3020688 B2 JP3020688 B2 JP 3020688B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、酸素濃度検出器に関す
るものであり、特に、固体電解質に対する電極の付着力
の向上及び、電極の焼結防止をねらって開発された、白
金とセラミックスとからなるサーメット電極を用いた酸
素濃度検出器に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oxygen concentration detector and, more particularly, to platinum and ceramics developed for the purpose of improving the adhesion of an electrode to a solid electrolyte and preventing sintering of the electrode. The present invention relates to an oxygen concentration detector using a cermet electrode.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、自動車用内燃機関等から発生
する排気ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサとし
て、酸素イオン伝導性固体電解質であるジルコニア磁器
に一対の電極を設け、酸素濃淡電池の原理を利用して酸
素濃度を検出するように構成した酸素センサが知られて
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an oxygen sensor for detecting the concentration of oxygen in exhaust gas generated from an internal combustion engine for automobiles, a pair of electrodes is provided on a zirconia porcelain, which is an oxygen ion conductive solid electrolyte, to provide an oxygen concentration battery. There is known an oxygen sensor configured to detect the oxygen concentration using the principle.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このような酸素センサ
では、無電解メッキ、スパッタリングなどの手法で、白
金薄膜をジルコニア磁器に付着させて電極を形成する方
法が知られている。このようにしてシルコニア磁器に取
り付けられた電極は、低温下における活性は優れている
が、磁器との付着力が弱く耐久性に乏しいという欠点が
あった。
In such an oxygen sensor, a method of forming an electrode by attaching a platinum thin film to zirconia porcelain by a technique such as electroless plating or sputtering is known. The electrodes attached to the zirconia porcelain in this way have excellent activity at low temperatures, but have the drawback of poor adhesion to porcelain and poor durability.

【0004】電極取り付けの他の方法として、サーメッ
ト材料を高温で焼き付けて、固体電解質との接着力を高
くする方法がある。しかしながら、この方法では、高温
で焼成しているため、電極の焼結が進み、電極としての
活性化が低下してしまうという欠点があった。また、こ
のようにして取り付けた電極は低温活性が悪く、素子温
度が低い条件で使用するとセンサとして十分に作動しな
いこともあった。更に、エンジンの空燃比の制御点は、
このような酸素センサを用いて決定するのであるが、高
温で焼き付けてサーメット電極を取り付けた酸素センサ
を排気ガス中で長時間使用すると、サーメット電極の活
性が徐々に高められてしまうため、時間が経つと共に空
燃比の制御点が変化してしまう場合が生じるという欠点
もあった。
[0004] As another method of attaching electrodes, there is a method of baking a cermet material at a high temperature to increase the adhesive strength with a solid electrolyte. However, this method has a drawback that the electrode is sintered at a high temperature, so that the sintering of the electrode proceeds and the activation as the electrode is reduced. Further, the electrode attached in this manner has poor low-temperature activity, and may not operate sufficiently as a sensor when used under conditions where the element temperature is low. Furthermore, the control point of the air-fuel ratio of the engine is
The determination is made using such an oxygen sensor.However, if the oxygen sensor with the cermet electrode attached by baking at high temperature is used for a long time in the exhaust gas, the activity of the cermet electrode is gradually increased. There is also a disadvantage that the control point of the air-fuel ratio may change with the passage of time.

【0005】本発明はこのような欠点を克服して、固体
電解質からなる基板との付着力が強く、かつ活性の高い
サーメット電極を具える酸素濃度検出器を提供すること
を目的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an oxygen concentration detector having a cermet electrode having a high activity and a high adhesion to a substrate made of a solid electrolyte, overcoming the above-mentioned drawbacks. is there.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段及び作用】上記課題を解決
するために、本発明の酸素濃度検出器は、酸素イオン伝
導性固体電解質からなる基板と、この基板に設けた一対
のサーメット電極とを具える酸素濃度検出器において、
前記サーメット電極の少なくとも一方の表面に電解メッ
キにより形成された白金層が設けられていることを特徴
とするものである。
In order to solve the above problems, an oxygen concentration detector of the present invention comprises a substrate made of an oxygen ion conductive solid electrolyte and a pair of cermet electrodes provided on the substrate. In the equipped oxygen concentration detector,
At least one surface of the cermet electrode is provided with a platinum layer formed by electrolytic plating.

【0007】このように、本発明の酸素濃度検出器で
は、サーメット電極表面に、例えば電解メッキ等の手段
により、白金層を形成するようにしているため、サーメ
ット電極の有する固体電解質からなる基板との強い付着
力を維持したまま、電極表面に形成された白金層によっ
て電極の活性の高めることができる。したがって低温活
性と耐久性とを両立した酸素濃度検出器を提供すること
ができる。
As described above, in the oxygen concentration detector of the present invention, since the platinum layer is formed on the surface of the cermet electrode by, for example, electrolytic plating or the like, the substrate made of the solid electrolyte of the cermet electrode can be used. The activity of the electrode can be enhanced by the platinum layer formed on the electrode surface while maintaining the strong adhesive force of the electrode. Therefore, it is possible to provide an oxygen concentration detector having both low-temperature activity and durability.

【0008】本発明では、酸素濃度検出器を構成する素
子本体の材料である酸素イオン伝導性の固体電解質とし
て、ジルコニアに所定の安定化剤を配合した、安定化ジ
ルコニアもしくは部分安定化ジルコニア材料が好適に用
いられる。安定化剤としては、例えば、イットリア(Y
2 3 )、カルシア(CaO)、マグネシア(Mg
O)、イッテルビア(Yb23)等を好適に用いるこ
とができる。
In the present invention, a stabilized zirconia or a partially stabilized zirconia material obtained by mixing zirconia with a predetermined stabilizer is used as an oxygen ion conductive solid electrolyte which is a material of an element body constituting an oxygen concentration detector. It is preferably used. As the stabilizer, for example, yttria (Y
2 O 3 ), calcia (CaO), magnesia (Mg
O), ytterbia (Yb 2 O 3 ) and the like can be suitably used.

【0009】また、公知のごとく、例えばカオリン等
や、SiO2 ,Al2 3 等の焼結助剤を適宜配合す
る。
As is well known, for example, sintering aids such as kaolin and SiO 2 and Al 2 O 3 are appropriately blended.

【0010】上記の固体電解質材料中から選択された材
料を用いて、酸素センサ素子の本体となる有底円形状あ
るいは、有底板状の成型体を、公知のラバープレス法等
の加圧成形法、あるいは、厚膜法と多層積層法を組み合
わせた手法を用いて形成する。このようにして形成した
成型体表面に、焼成に先立って電極を形成する。電極
は、被測定ガスにさらされる測定電極と、所定の基準酸
素濃度をもつ基準ガスにさらされる基準電極とを形成す
る。これらの電極は、例えば、白金、ルテニウム、イリ
ジウム、ロジウム、パラジウム等の所定の白金族金属、
あるいはこのような白金族金属を主体とする導電性材料
からなる膜状のものである。特に、測定電極については
白金を主成分とする導体を用いるのが好ましい。より具
体的には、このような電極に用いる金属材料の粉末、セ
ラミックス、樹脂、溶剤とを混合して形成したペースト
を、スクリーン印刷等の手法を用いて、成型体表面に塗
布し、成型体と一体焼成して酸素センサ素子を形成す
る。電極の耐久性の向上を図るために、更に、多孔質セ
ラミックスシートを電極上に積層したり、通常のプラズ
マ溶射法、あるいは、フレーム溶射法によって、セラミ
ックスコーティング層を形成する。
Using a material selected from the above-mentioned solid electrolyte materials, a bottomed circular or plate-like molded body serving as the main body of the oxygen sensor element is formed by a pressure molding method such as a known rubber pressing method. Alternatively, it is formed using a method combining a thick film method and a multilayer laminating method. An electrode is formed on the surface of the formed body prior to firing. The electrodes form a measurement electrode that is exposed to the gas to be measured and a reference electrode that is exposed to a reference gas having a predetermined reference oxygen concentration. These electrodes, for example, platinum, ruthenium, iridium, rhodium, a predetermined platinum group metal such as palladium,
Alternatively, it is a film made of a conductive material mainly composed of such a platinum group metal. In particular, it is preferable to use a conductor containing platinum as a main component for the measurement electrode. More specifically, a paste formed by mixing powder of a metal material used for such an electrode, ceramics, resin, and a solvent is applied to the surface of the molded body by using a method such as screen printing, and the molded body is coated. To form an oxygen sensor element. In order to improve the durability of the electrode, a porous ceramic sheet is further laminated on the electrode, or a ceramic coating layer is formed by a usual plasma spraying method or a frame spraying method.

【0011】上記のようにして得られた酸素センサ素子
を、例えば、スルファミン酸、硫酸、リン酸アンモニウ
ム等の若干の伝導塩を含む、塩化白金酸、アミノ亜硝酸
塩、テトラクロロアンモニウム塩等の白金塩中に浸して
メッキ浴を行う。その後、サーメット電極を負極に、板
状あるいはワイヤ状の白金、もしくはグラファイトを陽
極にして、直流電源につないで電解メッキを行い、電極
表面に白金層を形成する。メッキ浴の温度は、メッキ浴
液に用いる白金塩の種類によって異なるが、50〜90
℃の範囲が適当である。また、直流電源から流れる電流
の電流密度は0.01〜10A/dm2 程度が好まし
い。
[0011] The oxygen sensor element obtained as described above can be used, for example, in the presence of platinum such as chloroplatinic acid, amino nitrite, tetrachloroammonium salt and the like, including some conductive salts such as sulfamic acid, sulfuric acid and ammonium phosphate. Perform plating bath by immersing in salt. Thereafter, using a cermet electrode as a negative electrode and plate or wire-shaped platinum or graphite as an anode, a DC power source is connected to perform electrolytic plating to form a platinum layer on the electrode surface. The temperature of the plating bath varies depending on the type of the platinum salt used for the plating bath solution.
A range of ° C is appropriate. The current density of the current flowing from the DC power supply is preferably about 0.01 to 10 A / dm 2 .

【0012】なお、電解メッキを行う前に、前処理とし
て、酸素センサ素子のサーメット電極部をHF溶液ある
いはHBF4 溶液中に浸したり、あるいは、電解エッチ
ングを行うなどして、電極のフレッシュな白金表面を露
出させ、この白金表面上に電解メッキにより、白金層を
形成するようにすれば、低温作動性をより一層改善する
ことができる。
Before performing the electrolytic plating, as a pretreatment, the cermet electrode portion of the oxygen sensor element is immersed in an HF solution or an HBF 4 solution, or is subjected to electrolytic etching to obtain a fresh platinum electrode. If the surface is exposed and a platinum layer is formed on the platinum surface by electrolytic plating, the low-temperature operability can be further improved.

【0013】更に、電解メッキを行う前に、酸素イオン
伝導性固体電解質粉末の懸濁液、あるいは熱処理を施す
ことによって酸素イオン伝導性固体電解質を生じ得る金
属塩化化合物の溶液をサーメット電極層の空隙中に含浸
させた後、熱処理を行うようにしても、低温作動性の改
善効果を高めることができる。なお、この場合の熱処理
の温度は、基板を焼成するときの焼成温度よりも低温で
行うようにする。
Further, before performing the electroplating, a suspension of the oxygen ion conductive solid electrolyte powder or a solution of a metal chloride compound capable of forming an oxygen ion conductive solid electrolyte by performing a heat treatment is applied to the gap of the cermet electrode layer. Even if heat treatment is performed after the impregnation, the effect of improving low-temperature operability can be enhanced. Note that the temperature of the heat treatment in this case is lower than the firing temperature at the time of firing the substrate.

【0014】[0014]

【実施例】図1は、本発明の酸素濃度検出器本体を示す
断面図である。例えば、96mol%のジルコニアと、
4mol%のイットリアとからなる固体電解質原料に対
して、焼結助剤として、1.2wt%のAl2 3
0.5wt%のSiO2 を加え、湿式粉砕を30時間行
った後、乾燥させた粉末にバインダと溶液を混合して、
スラリ状とし、ドクターブレード等を用いてテープ状の
ジルコニア材料1を成形した。このテープ状のジルコニ
ア材料を切断して板状シート1を作る。
FIG. 1 is a sectional view showing an oxygen concentration detector main body according to the present invention. For example, 96 mol% of zirconia and
As a sintering aid, 1.2 wt% of Al 2 O 3 ,
After adding 0.5 wt% of SiO 2 and performing wet pulverization for 30 hours, a binder and a solution are mixed with the dried powder,
The zirconia material 1 in the form of a slurry was tape-shaped using a doctor blade or the like. The zirconia material in the form of a tape is cut to produce a sheet 1.

【0015】電極材料としては、白金、ロジウム、イリ
ジウ、パラジウム等の耐熱金属と、セラミックス粒子と
の混合物を用いた。これらの金属の粉末を、樹脂及び溶
剤と混合して、サーメットペーストを作り、スクリーニ
ング印刷等の手段を用いて上記板状シート1の表裏両面
の所定の部分にサーメットペーストを塗布した後、保護
層5、ヒータ層4を積層し、同時焼成によって酸素セン
サ素子を完成させる。
As the electrode material, a mixture of a heat-resistant metal such as platinum, rhodium, iridium and palladium and ceramic particles was used. These metal powders are mixed with a resin and a solvent to form a cermet paste, and the cermet paste is applied to predetermined portions of the front and back surfaces of the plate-like sheet 1 by means of screening printing or the like. 5. The heater layer 4 is stacked, and the oxygen sensor element is completed by simultaneous firing.

【0016】図2は、本発明の酸素センサ素子を製造す
るための電解メッキ装置の一例を示す図である。メッキ
槽10にPtメッキ液11を満たし、ヒータ12でメッ
キ液11を約70℃に加熱する。メッキ液11の中に定
電流装置13のプラス電極に接続した陽極14及びマイ
ナス電極に接続した酸素センサ素子15(陰極)を浸漬
させて直流電流を流しメッキ処理を施した。後述の表1
に示すように、本発明の実験例として1〜7までの7つ
のサンプルについて、電流密度を0.01A/dm2
0.5A/dm2 ,0.8A/dm2 ,10A/d
2 ,50A/dm 2 と変化させ、またメッキ時間を2
〜60分の間で変化させてメッキ処理を行った酸素セン
サ素子を用意した。また比較例としてメッキ処理を行わ
ない未処理品を用意した。電極材料としては、PtとZ
rO2 を65:35vol%の割合で混合したものを用
いた。なお、実験例3〜7のサンプル及び未処理品(比
較例1)については、0.5%のHF溶液中で前処理を
行っている。1〜7までのサンプルについては、メッキ
処理を行った後、イオン交換水で洗浄した後、120℃
の温度で2時間乾燥させ、金属ケースに組み付けて酸素
センサを完成させ、性能評価を実施した。未処理品につ
いては、何も処理を行う事なく金属ケースに組み付けて
酸素センサを完成させ、同様に性能評価を実施した。性
能評価は、これらの酸素センサをC3H8 560cc/min 、エ
ア14.25l/min 、λ=1.065 の燃焼ガスにCO 45cc /mi
n を添加してλ=1.059 となったガス温250 ℃の非平衡
ガス中で、酸素センサ素子温度を350 ℃に保ってセンサ
出力を測定して特性評価を行った。
FIG. 2 shows a method of manufacturing an oxygen sensor element according to the present invention.
FIG. 1 is a diagram showing an example of an electrolytic plating apparatus for performing the above. plating
The tank 10 is filled with a Pt plating solution 11 and the heater 12
Heat solution 11 to about 70 ° C. Set in plating solution 11
The anode 14 connected to the positive electrode of the current device 13 and the
Immerse oxygen sensor element 15 (cathode) connected to eggplant electrode
Then, a direct current was passed to perform plating. Table 1 below
As shown in FIG.
The current density was 0.01 A / dmTwo,
0.5A / dmTwo, 0.8A / dmTwo, 10A / d
mTwo, 50A / dm TwoAnd change the plating time to 2
Oxygen sensor that has been plated for
A device was prepared. Plating was performed as a comparative example.
Not available unprocessed products. Pt and Z are used as electrode materials.
rOTwoUsed at a ratio of 65:35 vol%
Was. In addition, the samples of Experimental Examples 3 to 7 and untreated products (ratio
For Comparative Example 1), pretreatment was performed in a 0.5% HF solution.
Is going. For samples 1 to 7, plating
After the treatment, washing with ion-exchanged water, 120 ° C
Dry for 2 hours at the temperature of
The sensor was completed and its performance was evaluated. About unprocessed products
And assemble it into a metal case without any processing
The oxygen sensor was completed, and the performance was evaluated similarly. sex
Evaluation of these oxygen sensorsThreeH8 560cc / min, d
A: For combustion gas of 14.25 l / min, λ = 1.065, CO 45cc / mi
Non-equilibrium at 250 ° C gas temperature where λ = 1.059 by adding n
Keep the oxygen sensor element temperature at 350 ° C in gas
The output was measured and characteristics were evaluated.

【0017】表1より明らかな通り、No.7のサンプ
ルを除いて、未処理品に比べてメッキ処理を行った本発
明の酸素センサの低温活性が向上していることがわか
る。
As is clear from Table 1, No. Except for the sample No. 7, it can be seen that the low-temperature activity of the oxygen sensor of the present invention, which has been subjected to the plating treatment, is improved as compared with the untreated product.

【0018】[0018]

【表1】 [Table 1]

【0019】更に、実験例4の条件の下で製作した酸素
センサ素子を100本用意し、これらの素子を先端から
約12mmのところで切断して、CO反応炉に入れて昇
温し、COガスを流し込んだ。反応炉から流出してくる
ガス成分をガスクロマトグラフィを用いて分析した。反
応炉に流し込むガスの組成は、CO:1%、O2 :1
%、He:98%とした。また、ガスの流量は100m
l/分とした。
Further, 100 oxygen sensor elements manufactured under the conditions of Experimental Example 4 were prepared, and these elements were cut at a distance of about 12 mm from the tip, placed in a CO reactor and heated to obtain CO gas. Was poured. Gas components flowing out of the reactor were analyzed using gas chromatography. The composition of the gas flowing into the reactor was: CO: 1%, O 2 : 1
%, He: 98%. The gas flow rate is 100m
1 / min.

【0020】表1から明らかな通り、電解メッキを施し
たサンプル(実験例4)は、未処理品に比べて、CO浄
化率が100%に達する温度が約40℃低温側にシフト
しており、低温活性が高められていることがわかる。
As is clear from Table 1, the temperature at which the CO purification rate reaches 100% in the sample subjected to electrolytic plating (Experimental Example 4) is shifted to the lower temperature side by about 40 ° C. as compared with the untreated product. It can be seen that the low-temperature activity was enhanced.

【0021】第2実施例として、電極に電解メッキ処理
を行う前に、前処理として10%のHCl水溶液中で、
電流密度0.01A/dm2 の電流を流して電解エッチ
ングを施したサンプル(実験例8)、及び、前処理とし
て0.5%のHF水溶液中でエッチングを行い、更に後
処理として、ZrOCl2 水溶液中にメッキ処理をした
素子を含浸させた後、1000℃の温度で10分間焼き
付け処理を行ったサンプル(実験例9)を用意し、CO
浄化率が100%に達する温度を調べた。比較例とし
て、上述の実施例1の実験例4(表1参照)と同様の条
件で作成した酸素センサ素子を用意し(比較例2)、同
様にCO浄化率が100%に達する温度を調べた。この
結果を表2に示す。電極の組成は第1実施例と同様であ
る。
As a second embodiment, before performing an electrolytic plating process on an electrode, a pretreatment is performed in a 10% HCl aqueous solution.
A sample (experimental example 8) subjected to electrolytic etching by passing a current of 0.01 A / dm 2 at a current density, and etching in a 0.5% HF aqueous solution as a pretreatment, and ZrOCl 2 as a post treatment After impregnating the plated element in an aqueous solution, a sample (Experimental Example 9) was prepared by baking at 1000 ° C. for 10 minutes.
The temperature at which the purification rate reached 100% was examined. As a comparative example, an oxygen sensor element prepared under the same conditions as in Experimental Example 4 of Example 1 (see Table 1) was prepared (Comparative Example 2), and the temperature at which the CO purification rate reached 100% was similarly examined. Was. Table 2 shows the results. The composition of the electrode is the same as in the first embodiment.

【0022】[0022]

【表2】 [Table 2]

【0023】表2から分かるように、前処理として0.
5%のHF水溶液中でエッチングを行っただけの比較例
2に比べて、前処理として電解エッチングを行った実験
例8の酸素センサ素子、および前処理として0.5%の
HF水溶液中でエッチングを行い、更に後処理として後
に焼き付けを行った実験例9の酸素センサ素子のほう
が、CO浄化率が100%に達する温度が約10〜15
℃低くなっている。このことから、前処理として、電解
エッチングを行ったり、後処理としてZrOCl 2 水溶
液中に浸すことによって、触媒の活性をより高めること
ができることがわかる。
As can be seen from Table 2, 0.
Comparative example in which etching was performed only in a 5% HF aqueous solution
Experiment in which electrolytic etching was performed as a pretreatment compared to 2
The oxygen sensor element of Example 8 and 0.5% as pretreatment
Etching in HF aqueous solution and post-processing
Oxygen sensor element of Experimental Example 9 in which
However, the temperature at which the CO purification rate reaches 100% is about 10 to 15
° C lower. From this, as a pretreatment, electrolytic
Etching or ZrOCl as post-processing TwoWater soluble
Improve the activity of the catalyst by immersing it in liquid
You can see that you can do it.

【0024】[0024]

【発明の効果】上述した通り、本発明の酸素センサ素子
では、電解メッキを施してサーメット電極の表面に白金
層を形成するようにしているため、サーメット電極のも
つ、酸素イオン伝導性固体電解質に対する付着性の良さ
を保ちながら、電極の触媒活性を良好に維持することが
できる。したがって、使用初期から長期にわたって使用
した後までも、低温活性が良好な酸素センサ素子を提供
することができる。このような酸素センサ素子を、エン
ジンの空燃比の制御に使用した場合、制御点のバラツキ
を小さく押さえることができ、しかも、センサとしての
経時変化も極めて小さく押さえることが可能となる。
As described above, in the oxygen sensor element of the present invention, since the platinum layer is formed on the surface of the cermet electrode by performing the electrolytic plating, the oxygen sensor element with respect to the oxygen ion conductive solid electrolyte of the cermet electrode is formed. The catalytic activity of the electrode can be favorably maintained while maintaining good adhesion. Therefore, it is possible to provide an oxygen sensor element having good low-temperature activity even from the initial use to after use for a long time. When such an oxygen sensor element is used for controlling the air-fuel ratio of an engine, it is possible to suppress the variation of the control points to a small extent, and also to minimize the temporal change as a sensor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の酸素センサ素子の構成を説明するため
の断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view for explaining a configuration of an oxygen sensor element of the present invention.

【図2】本発明の電解メッキ処理装置の構成を示す図で
ある。
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of an electrolytic plating apparatus of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 センサ本体 2、3 電極 4 ヒータ 5 保護層 10 メッキ槽 11 メッキ液 12 ヒータ 13 定電流装置 14 陽極 15 酸素センサ素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor main body 2, 3 electrode 4 Heater 5 Protective layer 10 Plating tank 11 Plating solution 12 Heater 13 Constant current device 14 Anode 15 Oxygen sensor element

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 酸素イオン伝導性固体電解質からなる基
板と、この基板に設けた一対のサーメット電極とを具え
る酸素濃度検出器において、前記サーメット電極の少な
くとも一方の表面に電解メッキにより形成された白金層
が設けられていることを特徴とする酸素濃度検出器。
1. An oxygen concentration detector comprising a substrate made of an oxygen ion conductive solid electrolyte and a pair of cermet electrodes provided on the substrate, wherein at least one surface of the cermet electrode is formed by electrolytic plating. An oxygen concentration detector provided with a platinum layer.
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