JP3013999B2 - Corrosion-resistant aluminum nitride sintered compact for molten aluminum and method for producing the same - Google Patents

Corrosion-resistant aluminum nitride sintered compact for molten aluminum and method for producing the same

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JP3013999B2
JP3013999B2 JP2032592A JP3259290A JP3013999B2 JP 3013999 B2 JP3013999 B2 JP 3013999B2 JP 2032592 A JP2032592 A JP 2032592A JP 3259290 A JP3259290 A JP 3259290A JP 3013999 B2 JP3013999 B2 JP 3013999B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、アルミニウム及びアルミニウム合金溶湯を
取扱う装置(以下、単に「溶湯処理装置」という。)の
部材として適用される耐食窒化アルミニウム焼結成形体
に関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a corrosion-resistant aluminum nitride sintered compact which is used as a member of a device for handling molten aluminum and aluminum alloy (hereinafter, simply referred to as “molten metal treatment device”). It is.

従来技術 溶湯処理装置には、浸漬ヒータ用保護管、脱ガス用ガ
ス吹込み管、溶湯攪拌部材、連続鋳造用鋳型、或いはル
ツボ、溶解炉や保持炉等があり、それらに種々の形状や
構造でセラミックス焼結成形体が近年適用されている。
2. Description of the Related Art A molten metal processing apparatus includes a protective tube for an immersion heater, a gas injection tube for degassing, a molten metal stirring member, a mold for continuous casting, a crucible, a melting furnace and a holding furnace, and the like. In recent years, ceramic sintered compacts have been applied.

この種のセラミックス焼結成形体は、所望の形状にそ
のまま成形し焼結されたもの、焼結ブロックを所望の形
状に配列し目地止めされたもの等が色々の付属部材と共
に種々の形態で使用され、高温のアルミニウム溶湯と接
触することになる。
This type of ceramic sintered compact is molded in a desired shape and sintered, and a sintered block arranged in a desired shape and sealed is used in various forms together with various accessory members. In contact with the high-temperature aluminum melt.

その場合、その使用目的に対応して種々の特性を保有
することが必要とするが、共通してアルミニウム溶湯に
対する溶湯焼付き性・溶湯汚染性等を包括する耐食性を
保有することが必要とされる。
In that case, it is necessary to have various properties corresponding to the purpose of use, but it is also necessary to have corrosion resistance that includes the seizure of the molten metal and the pollution of the molten metal in common with the molten aluminum. You.

例えば、溶製炉などで溶湯が炉壁に焼付くと、別の種
類のアルミニウム合金を溶製したい場合に、その焼付い
たものが新しく投入される溶湯の汚染を招くことにな
る。また、測温計の保護管に焼付いたりすると正確な温
度データが得られない。そこで焼付いたものを除去しよ
うとして機械加工すると、そのときクラックが発生して
破損を招くことがある。また、溶湯と反応するとその表
面が腐食されるばかりか腐食生成物が溶出し溶湯汚染を
招くことになる。これらから明らかなようにセラミック
ス焼結成形体が耐食性を保有しない場合には、装置の保
全作業が煩雑になりその装置寿命が短くなると共に、ア
ルミニウム溶湯との反応生成物による溶湯汚染を招来す
るなどの不都合が生じることになる。
For example, when the molten metal is baked on the furnace wall in a smelting furnace or the like, if another type of aluminum alloy is to be smelted, the baked metal causes contamination of the newly poured molten metal. In addition, accurate temperature data cannot be obtained if the thermometer is seized on the protective tube. Therefore, if machining is performed to remove seizure, cracks may occur at that time, which may cause damage. In addition, when reacting with the molten metal, not only its surface is corroded, but also corrosion products are eluted, which causes contamination of the molten metal. As is clear from these, when the ceramic sintered compact does not have corrosion resistance, the maintenance work of the apparatus becomes complicated, the life of the apparatus is shortened, and the molten metal is contaminated by a reaction product with the molten aluminum. Inconvenience will occur.

一般に、セラミックス焼結成形体として天然材料をベ
ースとするものから、合成セラミックスをベースとする
ものに転換している。例えば、窒化けい素質のもの、炭
化けい素質のもの或いはそれらに窒化硼素や窒化アルミ
ニウムを添加した複合系のもの等が提案されており、特
開昭61−205671号公報などに見られる。また、それらを
改良する方法として、溶湯と接触する表層に窒化アルミ
ニウム層を形成したものが、特開昭63−238950号公報な
どに提案されている。
Generally, ceramic sintered compacts have been converted from those based on natural materials to those based on synthetic ceramics. For example, silicon nitride-based materials, silicon carbide-based materials, or composite materials obtained by adding boron nitride or aluminum nitride to the above materials have been proposed, and can be found in JP-A-61-205671. Further, as a method for improving these, a method in which an aluminum nitride layer is formed on a surface layer in contact with a molten metal is proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-238950.

更に、特開昭63−288966号公報などに溶融銅メタル用
として窒化アルミニウム製のものが提案されるように至
っている。
Furthermore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-288966 and the like have proposed aluminum nitride products for molten copper metal.

従来技術の問題点 前述のように、窒化アルミニウム焼結体をアルミニウ
ム溶湯に適用する試みも為されているが、経時劣化が見
られ高純度アルミニウム溶湯の汚染なども生じている。
2. Problems of the Related Art As described above, attempts have been made to apply an aluminum nitride sintered body to molten aluminum, but deterioration with time has been observed, and contamination of the high-purity molten aluminum has occurred.

その他、その原因を検討したところ、アルミニウム溶
湯に対する濡れ性と反応性を改善することによって経時
劣化を防止し耐食性を向上し得ることを見い出した。
In addition, when the cause was examined, it was found that by improving the wettability and the reactivity with the molten aluminum, deterioration over time could be prevented and the corrosion resistance could be improved.

そこで、窒化アルミニウム焼結体の溶湯アルミニウム
に対する接触角について検討したところ、110度以上と
なれば耐食性を改善し得ることを見出したが、製造条件
によってバラツキがあることが分った。
Then, when the contact angle of the aluminum nitride sintered body with the molten aluminum was examined, it was found that the corrosion resistance could be improved if the contact angle was 110 degrees or more, but it was found that there was variation depending on the manufacturing conditions.

即ち、窒化アルミニウム焼結体の製造方法には、窒化
アルミニウム粉末に焼結助剤を添加して窒素雰囲気中で
焼結させる方法や焼結助剤を用いずにホットプレスによ
る加圧下で焼結させるホットプレス焼結法が汎用されて
いる。
In other words, a method for producing an aluminum nitride sintered body includes a method of adding a sintering aid to aluminum nitride powder and sintering in a nitrogen atmosphere, or a method of sintering under pressure by a hot press without using a sintering aid. Hot press sintering is widely used.

これらの焼結体には、例えばイットリウム(Y)−ア
ルミニウム(Al)−酸素(O)の化合物の粒界相やサイ
アロンや窒化アルミニウムポリタイプ等の化合物が存在
したり、極表面部に例えばイットリウム化合物の表面へ
の移動、還元窒化による窒化イットリウムと窒化アルミ
ニウムの混合物などの表面層が存在することが分った。
In these sintered bodies, for example, a grain boundary phase of a compound of yttrium (Y) -aluminum (Al) -oxygen (O) or a compound such as sialon or aluminum nitride polytype exists, or, for example, yttrium It has been found that there is a surface layer such as a mixture of yttrium nitride and aluminum nitride due to migration of the compound to the surface and reduction nitridation.

これらが存在すると、アルミニウム溶湯と反応し、溶
湯中に溶出した溶湯汚染を招いたり、窒化アルミニウム
よりも濡れ性の大きな酸化アルミニウム層が形成されア
ルミニウム溶湯が付着或いは、焼付き易くなることが分
った。従って、これらの点を解決したものは、窒化アル
ミニウムの耐食性を安定的に改善し得ることが分った。
If these are present, they react with the molten aluminum and cause the contamination of the molten metal eluted in the molten metal, or an aluminum oxide layer having a higher wettability than aluminum nitride is formed, and the molten aluminum is easily attached or seized. Was. Therefore, it has been found that a solution to these problems can stably improve the corrosion resistance of aluminum nitride.

発明の構成 本発明は、溶融アルミニウムに対する接触角が110度
以上で少なくとも表層に粒界相と表面層が存在しない窒
化アルミニウム焼結体から成ることを特徴とするアルミ
ニウム溶湯用耐食窒化アルミニウム焼結成形体である。
The present invention provides a corrosion-resistant aluminum nitride sintered compact for molten aluminum, comprising a sintered aluminum nitride having a contact angle to molten aluminum of 110 ° or more and having at least a surface layer without a grain boundary phase and a surface layer. It is.

ここで溶融アルミニウムに対する接触角は、吉見直人
等が日本金属学会誌第52巻第12号(1988年)第1179頁〜
第1186頁に発表されている「溶融AのMgO表面でのぬ
れ」の論文中で記述されている測定法に準じて測定し
た。
Here, the contact angle for molten aluminum was determined by Naoto Yoshimi et al., Journal of the Japan Institute of Metals, Vol. 52, No. 12, (1988), p. 1179-
The measurement was carried out according to the measurement method described in the article of "Wetting of molten A on MgO surface" published on page 1186.

即ち、窒化アルミニウム焼結体から切出した試料(30
mmφ)の表面を炭化けい素耐水研磨紙で研磨した後、ダ
イヤモンドバフによって表面粗度Ra<0.3μmの鏡面仕
上げをし、アセトン中で超音波洗浄してた後、測定炉内
に装着した。
That is, a sample cut from an aluminum nitride sintered body (30
mmφ) surface was polished with silicon carbide water-resistant abrasive paper, mirror-finished with a surface roughness R a <0.3 μm using a diamond buff, ultrasonically cleaned in acetone, and mounted in a measuring furnace. .

測定雰囲気をヘリウム97Vol%、水素3Vol%とするた
め、800℃に加熱したスポンジチタン炉と液体窒素トラ
ップを通過させてガス中に含まれる酸素と水とを除去
し、測定ガスとする。
In order to make the measurement atmosphere 97 vol% of helium and 3 vol% of hydrogen, oxygen and water contained in the gas are removed by passing through a sponge titanium furnace heated to 800 ° C. and a liquid nitrogen trap to obtain a measurement gas.

測定に使用するアルミニウム溶湯は、99.99%純度の
純アルミニウム片70mgをふっ化水素水溶液で表面の酸化
物を除去し、測定雰囲気と同じ雰囲気とした高純度アル
ミナ管中で溶融させ、1100℃に保持した真空炉に配置し
た。
The aluminum melt used for the measurement is prepared by melting 70 mg of pure 99.99% pure aluminum pieces in a high-purity alumina tube that has the same atmosphere as the measurement atmosphere, removing oxides on the surface with an aqueous solution of hydrogen fluoride, and maintaining the temperature at 1100 ° C. And placed in a vacuum furnace.

次いで、測定炉内を約10-5Torrまで真空排気し、約20
分間空焼きした後、炉内圧を1.15気圧になるよう前述の
測定ガスを導入した。試料の窒化アルミニウム焼結体の
温度が1100℃に達した後、前述のアルミナ管の先端に形
成した1mmφの穴から溶融アルミニウムを滴下し、マク
ロ望遠レンズ付35mmカメラで窒化アルミニウム焼結体上
の液滴を撮影した。
Then, the inside of the measuring furnace was evacuated to about 10 -5 Torr,
After baking for one minute, the above-described measurement gas was introduced so that the furnace pressure became 1.15 atm. After the temperature of the aluminum nitride sintered body of the sample reached 1100 ° C, molten aluminum was dropped from the 1 mmφ hole formed at the tip of the above-mentioned alumina tube, and the aluminum nitride sintered body was placed on the aluminum nitride sintered body with a 35 mm camera with a macro telephoto lens. The droplet was photographed.

撮影したフィルムを回転角度目盛り付万能投影機によ
り50倍に拡大投影して接触角を測定した。
The contact angle was measured by projecting the photographed film to a magnification of 50 times with a universal projector equipped with a rotation angle scale.

接触角が90度以上の場合はBashforth and Adamsの表
を用いて接触角を計算し、90度以下の場合は直読した。
When the contact angle was 90 degrees or more, the contact angle was calculated using the table of Bashforth and Adams, and when the contact angle was 90 degrees or less, it was read directly.

以上の測定法による溶融アルミニウムに対する接触角
が110度以上、好ましくは120〜130度にあるものであれ
ば、アルミニウム溶湯に対する耐食性が実用的なレベル
にあり耐溶湯焼付き性も良好である。しかし、接触角が
110度以下であると、陽イオン不純物の溶出による溶湯
汚染や表層とアルミニウム溶湯との反応の発生による窒
化アルミニウム表面の粗面化を生じ、溶湯の食い込みや
焼付を適切に防止出来ない。
If the contact angle with the molten aluminum by the above measurement method is 110 degrees or more, preferably 120 to 130 degrees, the corrosion resistance to the molten aluminum is at a practical level and the seizure resistance to the molten metal is also good. But the contact angle is
If the temperature is less than 110 degrees, the contamination of the molten metal due to the elution of the cation impurities and the roughening of the aluminum nitride surface due to the reaction between the surface layer and the molten aluminum occur, and it is not possible to appropriately prevent the bite and seizure of the molten metal.

更に、窒化アルミニウム焼結成形体の表面、特に少な
くとも溶湯との接触面である表層に粒界相と表面層が、
好ましくは少なくとも表面から100μm以上の深さまで
存在することのないものとすることによって、耐食性の
経時劣化を防止するものである。この場合、表層を直接
計測してもよいが、簡便法としてその表層に於ける酸素
濃度が0.05重量%以下、全陽イオン不純物濃度が0.3重
量%以下であれば、本発明でいう“粒界相と表面層が実
質的に存在しない状態”と判断し得る。
Furthermore, the surface of the aluminum nitride sintered compact, particularly at least the surface layer which is the contact surface with the molten metal, has a grain boundary phase and a surface layer,
Preferably, at least a depth of 100 μm or more from the surface does not exist, thereby preventing deterioration of corrosion resistance with time. In this case, the surface layer may be directly measured. However, as a simple method, if the oxygen concentration in the surface layer is 0.05% by weight or less and the total cationic impurity concentration is 0.3% by weight or less, the “grain boundary” in the present invention is used. It can be determined that "the state where the phase and the surface layer are substantially absent".

なお、後述のようにカーボンガスの存在する窒化ガス
還元雰囲気中で焼成した場合、中心部から粒界相が表面
側へ拡散するため、表層側に酸素及び全陽イオン不純物
が濃縮される濃度勾配を有する状態が生じる。その場
合、表面層が無く粒界相が存在するときには、炭素濃度
が0.2重量%以上、金属イオン不純物濃度が0.5重量%以
上になることが多い。又、粒界相が無く表面層が存在す
るときには、酸素濃度が0.05重量%以上、全陽イオン不
純物濃度が0,5重量%以上となることが多い。なお、焼
成条件によっては、これらの中間的状態もあり得るもの
である。
When firing in a nitriding gas reducing atmosphere in which a carbon gas is present as described later, the concentration gradient in which oxygen and all cationic impurities are concentrated on the surface layer side because the grain boundary phase diffuses from the center to the surface side. Occurs. In that case, when there is no surface layer and a grain boundary phase is present, the carbon concentration is often 0.2% by weight or more and the metal ion impurity concentration is often 0.5% by weight or more. When there is no grain boundary phase and a surface layer exists, the oxygen concentration is often 0.05% by weight or more and the total cation impurity concentration is often 0.5% by weight or more. Depending on the firing conditions, there may be intermediate states between these.

粒界相及び表面層を除去及び存在させない具体的な手
段としては、次の手段を採り得る。
The following means can be used as a specific means for removing and excluding the grain boundary phase and the surface layer.

即ち、原料窒化アルミニウム粉末及び焼結助剤の純度
及び添加量を、焼結後の窒化アルミニウム焼結成形体中
の酸素含有量が0.01〜0.1重量%で、全陽イオン不純物
(焼結助剤と使用される化合物元素も含み、元素量で表
示する)が0.001〜0.3重量%となるように、焼結条件も
勘案して総合調整する。
That is, the purity and the amount of the raw aluminum nitride powder and the sintering aid are adjusted so that the oxygen content in the sintered aluminum nitride sintered compact is 0.01 to 0.1% by weight, The total adjustment is made in consideration of the sintering conditions so that the compound element to be used (including the compound element and expressed by the amount of the element) is 0.001 to 0.3% by weight.

この場合、酸素含有量とされる“酸素”は、窒化アル
ミニウム粉末自体の不純物として含有される酸素成分と
焼結助剤から混入する酸素成分とから由来するものを包
含する。又、陽イオン不純物とは、窒化アルミニウム粉
末自体の不純物として含有される金属不純物と焼結助剤
として添加される金属化合物に起因する金属不純物とか
ら由来するものを包含する。
In this case, "oxygen" as the oxygen content includes those derived from the oxygen component contained as an impurity of the aluminum nitride powder itself and the oxygen component mixed in from the sintering aid. The cationic impurities include those derived from metal impurities contained as impurities in the aluminum nitride powder itself and metal impurities caused by the metal compound added as a sintering aid.

従って、焼結助剤の仕様を制限することによって容易
に対応し得るが、焼結助剤が不足すると焼結が十分に起
こらなかったり、窒化アルミニウム結晶内に酸素が固溶
し窒化アルミニウムポリタイプ等が生成する。また、そ
の使用効果上、一定以下の添加量とすることが出来ない
場合には、焼成時間を十分な長時間とすることによって
揮散除去することが出来る。或いは、原料窒化アルミニ
ウム粉末中の酸素含有量が多い場合には、焼結助剤の添
加量を多くし且つ長時間の焼成を行なうことによって、
相互の成分を低減させることが出来る。
Therefore, it can be easily dealt with by limiting the specification of the sintering aid, but if the sintering aid is insufficient, sintering does not occur sufficiently or oxygen is dissolved in the aluminum nitride crystal and aluminum nitride polytype Etc. are generated. In addition, when the amount of addition cannot be reduced below a certain level due to the effect of use, volatilization and removal can be performed by setting the firing time to a sufficiently long time. Alternatively, when the oxygen content in the raw material aluminum nitride powder is large, by increasing the amount of the sintering aid and performing firing for a long time,
Mutual components can be reduced.

焼結助剤としては、カルシウム系化合物及びイットリ
ウム系化合物が適用されるが、後者の方が好ましい。
As the sintering aid, a calcium compound and an yttrium compound are applied, and the latter is more preferable.

イットリウム系化合物として、酸化イットリウム(Y2
O3)、フッ化イットリウム(YF3)、硝酸イットリウム
(Y(NO3・6H2O)が適用されるが、これらの化合
物を適用すると、カーボンガス存在下の窒素ガス雰囲気
で焼成することにより焼成時にY−A−O化合物が粒
界を移動して表面に容易に拡散し、表面付近で還元窒素
され窒化イットリウムとなり焼結炉内に揮散するし、窒
化イットリウムの新生表面層が極表面に形成されても後
工程で水に浸漬することなどによって容易に加水分解さ
せ除去することが出来るので最適である。
As an yttrium compound, yttrium oxide (Y 2
O 3 ), yttrium fluoride (YF 3 ), and yttrium nitrate (Y (NO 3 ) 3 .6H 2 O) are applied. When these compounds are applied, firing is performed in a nitrogen gas atmosphere in the presence of carbon gas. As a result, during firing, the Y-A-O compound moves along the grain boundaries and easily diffuses to the surface, is reduced in the vicinity of the surface, becomes yttrium nitride, and volatilizes in the sintering furnace. Even if it is formed on the surface, it can be easily hydrolyzed and removed by immersing it in water in a later step, so that it is optimal.

成分調整された0.1〜2μmの窒化アルミニウム粉末
に有機バインダー、例えばステアリン酸、ポリビニルブ
チラール等を加えて、ナイロンボール、ナイロン被覆ボ
ールミルで混練し、更に200〜400μmに造粒した後、金
型プレス法や静水圧プレスなどによって所望の溶湯処理
装置としての形状に形成しグリーン成形体を得る。
An organic binder, for example, stearic acid, polyvinyl butyral, etc., was added to the adjusted aluminum nitride powder of 0.1 to 2 μm, kneaded with a nylon ball or nylon-coated ball mill, and further granulated to 200 to 400 μm. Or a hydrostatic press to form a desired molten metal processing apparatus to obtain a green molded body.

グリーン成形体は、常法通り脱脂後、常圧焼結法によ
って、焼成温度に対応する蒸気圧相当のレベル、例えば
7.0×10-8〜8.0×10-6mmHg程度のカーボンガスが存在す
る窒素ガス還元雰囲気中で1700〜2000℃で5〜50時間焼
結・焼成させる。これによって粒界相を除去することが
出来る。以下、その製法の一例を述べる。
The green molded body, after degreasing as usual, is subjected to a normal pressure sintering method, at a level corresponding to the vapor pressure corresponding to the firing temperature, for example,
Sintering and firing at 1700 to 2000 ° C. for 5 to 50 hours in a nitrogen gas reducing atmosphere containing about 7.0 × 10 −8 to 8.0 × 10 −6 mmHg of carbon gas. Thereby, the grain boundary phase can be removed. Hereinafter, an example of the manufacturing method will be described.

即ち、グリーン成形体を窒化硼素製又は窒化アルミニ
ウム製の蓋付容器中に入れ、まず0.9〜1.1気圧の窒素ガ
ス雰囲気炉中で1700〜1900℃にて1〜10時間加熱・焼結
させ、グリーン成形体中の酸素を粒界相にトラップさせ
て、粒界相を生成させる。次いで、得られた一段焼結体
をカーボン容器中またはカーボン板製グリル上に載置す
るか、焼成炉の炉壁材がカーボン製か黒鉛製から成る炉
に於いて窒化アルミニウム板製グリル上に載置すると
か、或いは炉内にカーボン粒を配置する等の手段の下
に、カーボンガスが存在する窒素ガス還元雰囲気中で18
50〜2000℃で5〜40時間焼成させる。これによって一段
焼結時に生成した粒界相が中心部から表面に移動し還元
窒化され、窒化イットリウムが生成し、その一部は窒素
ガス雰囲気炉中に揮散する。また、一部の窒化イットリ
ウムは新生表面層として窒化アルミニウム焼結体に生成
する。
That is, the green compact is placed in a container with a lid made of boron nitride or aluminum nitride, and first heated and sintered at 1700 to 1900 ° C. for 1 to 10 hours in a nitrogen gas atmosphere furnace of 0.9 to 1.1 atm. Oxygen in the compact is trapped in the grain boundary phase to generate a grain boundary phase. Next, the obtained one-stage sintered body is placed in a carbon container or on a grill made of carbon plate, or placed on a grill made of aluminum nitride plate in a furnace in which the furnace wall material of the firing furnace is made of carbon or graphite. Under a nitrogen gas reducing atmosphere where carbon gas is present,
Bake at 50-2000 ° C for 5-40 hours. As a result, the grain boundary phase generated during the one-step sintering moves from the center to the surface and is reduced and nitrided to produce yttrium nitride, part of which is volatilized in a nitrogen gas atmosphere furnace. Some yttrium nitride is generated as a new surface layer in the aluminum nitride sintered body.

この生成窒化イットリウムは、焼結炉から搬出した
後、大気中又は加湿した雰囲気中に放置すること、或い
は水中に浸漬することによって容易に加水分解し、酸化
イットリウムに転換し焼結表面から容易に除去される。
After the produced yttrium nitride is carried out of the sintering furnace, it is easily hydrolyzed by leaving it in the air or a humidified atmosphere, or by immersing it in water, converted to yttrium oxide and easily from the sintered surface. Removed.

そこで焼結処理を完了した窒化アルミニウム焼結成形
体は、焼結炉から200℃以下に降温した時に搬出した
後、例えば10〜30時間水槽中に浸漬し、水洗することに
よって新生表面層を除去することが出来る。
Therefore, the aluminum nitride sintered compact after the sintering process is removed from the sintering furnace when the temperature is lowered to 200 ° C. or less, and then, for example, immersed in a water tank for 10 to 30 hours, and washed to remove the new surface layer. I can do it.

実施例 以下に、実施例と比較例を示し、本発明による焼結成
形体の優位性を示す。
Examples Hereinafter, Examples and Comparative Examples will be shown to show the superiority of the sintered compact according to the present invention.

実施例 1 窒化アルミニウム粉末(日本軽金属(株)製商品名日
軽サーマルトップES6:酸素含有量1.6重量%、陽イオン
不純物0.03重量%、平均粒径0.8μm、BET比表面積5.5m
2/g)100重量部に対して、焼結助剤として酸化イットリ
ウム粉末(純度99.9重量%、平均粒径0.4μm、BET比表
面積22m2/g)5重量部、ステアリン酸1重量部、ポリビ
ニルブチラール3重量部をn−ブチルアルコールを溶媒
としてナイロンボール・ナイロンポットを使って24時間
混練し、得たスラリーを風乾させ塊状物とした。
Example 1 Aluminum nitride powder (Nikko Thermal Top ES6 manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd .: oxygen content 1.6% by weight, cation impurity 0.03% by weight, average particle size 0.8 μm, BET specific surface area 5.5 m)
2 / g) 100 parts by weight, 5 parts by weight of yttrium oxide powder (purity 99.9% by weight, average particle diameter 0.4 μm, BET specific surface area 22 m 2 / g) as a sintering aid, 1 part by weight of stearic acid, polyvinyl Butyral (3 parts by weight) was kneaded with n-butyl alcohol as a solvent using a nylon ball / nylon pot for 24 hours, and the obtained slurry was air-dried to give a lump.

次いで塊状物を粉砕して200〜400μmの粉末とし、80
0kg/cm2の圧力で一軸加圧成形して縦100mm、横200mm、
厚さ10mmのタイル状のグリーン成形体とした。
The mass is then crushed to a powder of 200-400 μm,
Vertical 100 mm, horizontal 200mm by uniaxial pressing at a pressure of 0 kg / cm 2,
A 10 mm-thick tile-shaped green molded body was obtained.

このグリーン成形体を空気中で室温から10℃/時間の
昇温速度で500℃まで昇温した後、500℃・10時間加熱保
持して脱脂処理し、窒化硼素製密閉容器中に収納し、黒
鉛ヒーター炉(日本軽金属株式会社製雰囲気焼結炉:商
品名「ニカフ」)に入れ、1気圧の窒素ガスを1.5/
分の流量で流しつつ、1800℃で2時間保持し焼結処理し
た。
After raising the temperature of this green molded body from room temperature to 500 ° C. at a rate of 10 ° C./hour in air, the green molded body is heated at 500 ° C. for 10 hours, degreased, and housed in a sealed boron nitride container. Put into a graphite heater furnace (atmosphere sintering furnace made by Nippon Light Metal Co., Ltd .: trade name "Nikafu") and supply 1 atmosphere of nitrogen gas at 1.5 /
While flowing at a flow rate of 1 minute, it was held at 1800 ° C. for 2 hours and sintered.

次に、この焼結体を窒化アルミニウム板製グリル上に
載置し、カーボンガスの存在する窒素ガス還元雰囲気
(炉壁材からカーボンガスが発生)の黒鉛ヒーター炉に
て1900℃30時間の焼成処理を行なった。200℃に降温し
た後、黒鉛ヒーター炉から搬出し、室内に放置し、表面
に生成した窒化イットリウムを加水分解させた後、エア
ーガンで空気吹付けして清浄化させた。
Next, the sintered body is placed on an aluminum nitride plate grill and fired at 1900 ° C. for 30 hours in a graphite heater furnace in a nitrogen gas reducing atmosphere (carbon gas is generated from the furnace wall material) in the presence of carbon gas. Processing was performed. After the temperature was lowered to 200 ° C., it was taken out of the graphite heater furnace, left in a room, and after hydrolyzing the yttrium nitride formed on the surface, it was cleaned by blowing air with an air gun.

得られた窒化アルミニウム焼結体から前述した測定用
試料を切出し組成分析を行なうと共に、前述の接触角測
定法によって測定開始時と3時間後の接触角の測定を行
なった。
The sample for measurement described above was cut out from the obtained aluminum nitride sintered body, and the composition was analyzed, and the contact angle was measured at the start of measurement and after 3 hours by the contact angle measurement method described above.

又、3時間後の接触角を測定した試料を顕微鏡観察用
樹脂に浸漬し硬化させてから切断し、切断側面をダイヤ
モンドパウダーで鏡面研磨し、その研磨面を偏光顕微鏡
(700倍)で観察して窒化アルミニウム焼結体と金属ア
ルミニウムとの界面に生成した反応層の厚さを求めた。
The sample whose contact angle was measured after 3 hours was immersed in a resin for microscopic observation, cured, cut, and the cut side was mirror-polished with diamond powder, and the polished surface was observed with a polarizing microscope (× 700). The thickness of the reaction layer formed at the interface between the aluminum nitride sintered body and the metallic aluminum was determined.

以上の測定結果を、まとめて表1に示す。 Table 1 summarizes the above measurement results.

実施例 2 窒化アルミニウム粉体(日本軽金属(株)製商品名日
軽サーマルトップST;酸素含有量0.8重量%、陽イオン不
純物0.03重量%、平均粒径2.5μm、BET比表面積2.4m2/
g)100重量部に対して酸化イットリウム3重量部(実施
例1と同一のもの)を添加した以外は、実施例1と全く
同様に混練し、成形・脱脂し、二段焼結及び加水分解処
理した。得られた焼結体について実施例1と同様な測定
を行ない、その結果を表1に示す。
Example 2 Aluminum Nitride Powder (Nikko Thermal Top ST, trade name, manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd .; oxygen content 0.8% by weight, cation impurity 0.03% by weight, average particle size 2.5 μm, BET specific surface area 2.4 m 2 /
g) Except for adding 3 parts by weight of yttrium oxide to 100 parts by weight (the same as in Example 1), kneading, molding, degreasing, two-stage sintering and hydrolysis in exactly the same manner as in Example 1. Processed. The same measurement as in Example 1 was performed on the obtained sintered body, and the results are shown in Table 1.

実施例 3 窒化アルミニウム粉末(日本軽金属(株)製商品名日
軽サーマルトップHD;酸素含有量1.0重量%、陽イオン不
純物0.03重量%、平均粒径2.4μm、BET比表面積3.0m2/
g)100重量部に酸化イットリウム3重量部(実施例1と
同一のもの)を添加した以外は、実施例1と全く同様に
二段焼結及び加水分解処理まで行なった。その特性の測
定結果を表1に示す。
Example 3 Aluminum Nitride Powder (trade name: Nikko Thermal Top HD, manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd .; oxygen content: 1.0% by weight, cation impurity: 0.03% by weight, average particle size: 2.4 μm, BET specific surface area: 3.0 m 2 /
g) Two-stage sintering and hydrolysis were carried out in exactly the same manner as in Example 1 except that 3 parts by weight of yttrium oxide (the same as in Example 1) was added to 100 parts by weight. Table 1 shows the measurement results of the characteristics.

比較例 1〜3 実施例1・2・3に於いて焼結処理を単に第一段目の
1800℃2時間の焼結のみに止め、第二段目のカーボンガ
スの存在する窒素ガス還元雰囲気での焼成処理及び加水
分解処理を行なわなかったものを比較例とし、その特性
測定を行なった。表1に示す通り粒界相の存在が耐食性
の経時劣化を招くことが示されている。
Comparative Examples 1 to 3 In Examples 1, 2, and 3, the sintering process was simply performed in the first stage.
The characteristics were measured for a comparative example in which only sintering at 1800 ° C. for 2 hours was performed, and the calcination treatment and the hydrolysis treatment in the nitrogen gas reducing atmosphere where the second stage carbon gas was present were not performed. As shown in Table 1, it is shown that the presence of the grain boundary phase causes deterioration with time of the corrosion resistance.

実施例 4〜6 実施例1・2・3で調製した粉末を用い、実施例1と
同様に成形・脱脂したグリーン成形体をカーボン容器
(加熱時にカーボン容器からカーボンガスが発生)中に
入れ、窒素ガス雰囲気の黒鉛ヒーター炉にて1850℃で20
時間保持する一段の焼結・焼成処理を行なった。次い
で、大気中に48時間放置して表面に生成した窒化イット
リウムを加水分解させ、空気吹付けにより清浄化した。
Examples 4 to 6 Using the powders prepared in Examples 1, 2, and 3, a green molded body molded and degreased in the same manner as in Example 1 was placed in a carbon container (a carbon gas was generated from the carbon container during heating). 20 at 1850 ° C in a graphite heater furnace in a nitrogen gas atmosphere
A one-stage sintering / firing treatment for holding for a time was performed. Then, it was left in the atmosphere for 48 hours to hydrolyze the yttrium nitride formed on the surface, and was cleaned by air blowing.

得られた焼結体につき実施例1と同様にその特性を測
定した結果を表1に示す。
Table 1 shows the results of measuring the characteristics of the obtained sintered body in the same manner as in Example 1.

比較例4・5 実施例4・5に於いて黒鉛ヒーター炉での焼結・焼成
条件を1850℃2時間の短時間処理とした以外は、同一条
件の処理を行なったものを比較例とし、同様な特性測定
を行なった。その結果を表1に示すが、粒界相の除去が
不十分であるために耐食性が低くなっており、溶湯汚染
も招いている。
Comparative Examples 4 and 5 Comparative examples were performed under the same conditions except that the sintering and firing conditions in the graphite heater furnace were changed to a short-time treatment of 1850 ° C. for 2 hours in Examples 4 and 5. Similar characteristics were measured. The results are shown in Table 1. As shown in Table 1, the corrosion resistance is low due to insufficient removal of the grain boundary phase, and the contamination of the molten metal is also caused.

比較例 6 窒化アルミニウム粉末(実施例3で用いたものと同一
の品種のもの)100重量部に酸化イットリウム粉末1.5重
量部(実施例1と同一のもの)を添加した以外は、実施
例1と同一条件で混練・成形・脱脂処理を行なった。
Comparative Example 6 Example 1 was repeated except that 1.5 parts by weight of yttrium oxide powder (the same as in Example 1) was added to 100 parts by weight of aluminum nitride powder (of the same type as that used in Example 3). Kneading, molding, and degreasing were performed under the same conditions.

グリーン成形体をカーボン容器中に入れ、窒素ガス雰
囲気の黒鉛ヒーター炉で1850℃で10時間の焼結・焼成処
理を行なった。窒化アルミニウム焼結体表面に生成した
窒化イットリウムを加水分解して除去した後、得られた
焼結体の特性測定を行なったが、未だ焼成効果が不十分
のため耐食性の劣化が見られた。
The green compact was placed in a carbon container and sintered and fired at 1850 ° C. for 10 hours in a graphite heater furnace in a nitrogen gas atmosphere. After the yttrium nitride formed on the surface of the aluminum nitride sintered body was hydrolyzed and removed, the characteristics of the obtained sintered body were measured. However, deterioration of the corrosion resistance was observed because the firing effect was still insufficient.

比較例 7 実施例1に於いて焼結助剤の酸化イットリウムを添加
しないで、混練・成形・脱脂まで同一条件で処理し、得
られたグリーン成形体を窒化硼素製密閉容器中に収納
し、窒素ガス雰囲気の黒鉛ヒーター炉で1950℃・5時間
の焼結・焼成処理を行なった。得られた焼結体の特性を
測定した結果を表1に示すが、溶湯汚染は発生しないが
溶湯の焼付きが見られた。
Comparative Example 7 In Example 1, without adding the sintering aid yttrium oxide, the mixture was treated under the same conditions until kneading, molding, and degreasing, and the obtained green molded body was stored in a sealed container made of boron nitride. The sintering and firing treatment was performed at 1950 ° C. for 5 hours in a graphite heater furnace in a nitrogen gas atmosphere. The results of measuring the properties of the obtained sintered body are shown in Table 1. As a result, no contamination of the molten metal occurred, but seizure of the molten metal was observed.

実施例 7 窒化アルミニウム粉末(実施例2で用いたものと同一
のもの)100重量部に対して酸化イットリウム4重量
部、ステアリン酸1重量部、フタル酸ジブチル1重量
部、ポリビニルブチラール1重量部をエタノールを溶媒
としてナイロンボール、ナイロンポットを使用して24時
間ボールミル混合した。
Example 7 4 parts by weight of yttrium oxide, 1 part by weight of stearic acid, 1 part by weight of dibutyl phthalate, and 1 part by weight of polyvinyl butyral were added to 100 parts by weight of aluminum nitride powder (the same one used in Example 2). Using ethanol as a solvent, ball mill mixing was performed for 24 hours using a nylon ball and a nylon pot.

更にエタノールを加えてスラリーの粘度を300センチ
ポイズに調整し、窒素ガス循環型スプレードライヤーで
50〜70μmに造粒した。造粒物をラバープレスで1Ton/c
m2で成形し、130mmφ×150mm深さのルツボ形状に加工
し、続いて室温から500℃まで5℃/時間の速さで昇温
し、500℃で20時間保持する脱脂処理を行なった。
Further adjust the viscosity of the slurry to 300 centipoise by adding ethanol and use a nitrogen gas circulation type spray dryer.
Granulated to 50-70 μm. 1ton / c of granulated material by rubber press
molded m 2, and the processed into the crucible shape of 130mmφ × 150mm depth, followed by heated at a rate of 5 ° C. / time to 500 ° C. from room temperature, was subjected to degreasing treatment for holding at 500 ° C. 20 hours.

成形体を窒化硼素製容器内に収納し、窒素雰囲気の黒
鉛ヒーター炉で1800℃・5時間の焼成処理を行なった。
次いで窒化アルミニウム板製グリル上にルツボ成形体を
起き、窒素ガス雰囲気の黒鉛ヒーター炉で1850℃で6時
間焼成処理した。
The molded body was housed in a container made of boron nitride and fired at 1800 ° C. for 5 hours in a graphite heater furnace in a nitrogen atmosphere.
Next, a crucible compact was formed on an aluminum nitride plate grill, and calcined at 1850 ° C. for 6 hours in a graphite heater furnace in a nitrogen gas atmosphere.

得られた焼結体は、水に50時間浸漬して表層の窒化イ
ットリウムを加水分解させ、水洗し清浄化させた。
The obtained sintered body was immersed in water for 50 hours to hydrolyze the surface yttrium nitride, washed with water, and cleaned.

得られた窒化アルミニウム製ルツボを使用して真空溶
解鋳造を行なった。純度99.999重量%の超高純度アルミ
ニウムを1〜3×10-4Torrの真空中で780℃に加熱して
ルツボ中で溶解した。
Vacuum melting casting was performed using the obtained aluminum nitride crucible. Ultra-high-purity aluminum having a purity of 99.999% by weight was melted in a crucible by heating to 780 ° C. in a vacuum of 1 to 3 × 10 −4 Torr.

アルミニウム中のガスの放出によって真空度が低下し
たが、1〜3×10-3Torrを保持するようにしつつ6時間
そのまま保持した後、金型に鋳造しアルミニウムの不純
物分析を行なつた。同じ操作を60回繰返して行なった
が、アルミニウムメタルのルツボ表面への食込み、ルツ
ボ表面でのクラック等は発生しなかった。又、鋳造した
アルミニウム中にも窒化アルミニウム焼結体から溶出し
たと思われる不純物も検出されなかった。
Although the degree of vacuum decreased due to the release of gas in aluminum, the temperature was maintained for 6 hours while maintaining 1 to 3 × 10 −3 Torr, and then cast into a mold to analyze impurities of aluminum. The same operation was repeated 60 times, but no biting of the aluminum metal into the crucible surface and no cracks on the crucible surface occurred. Further, no impurities considered to have eluted from the aluminum nitride sintered body were detected in the cast aluminum.

発明の効果 本発明は、アルミニウム溶湯に対して耐食性が優れて
いる窒化アルミニウム焼結成形体に関するものである
が、溶融アルミニウムに対する接触角が110度以上であ
ると共に、少なくとも表層に粒界相と表面層が存在しな
い特性を保有するものとすることによって、 1)窒化アルミニウム焼結成形体に対してアルミニウム
及びアルミニウム合金溶湯が濡れにくくなり、焼結成形
体内部への溶湯の浸透が無くなると共に、溶湯の焼付き
を経た侵食も軽減される。
Effect of the Invention The present invention relates to an aluminum nitride sintered compact having excellent corrosion resistance to molten aluminum, having a contact angle with molten aluminum of 110 ° or more, and at least a surface layer having a grain boundary phase and a surface layer. 1) The molten aluminum and aluminum alloy are less likely to wet the aluminum nitride sintered compact, the penetration of the molten metal into the sintered compact is eliminated, and the seizure of the molten metal is prevented. The erosion that has passed through is also reduced.

即ち、溶湯の焼付きが発生すると、溶湯の生産ロット
毎に溶湯接触面の研磨などの清浄化操作が必要となり操
業管理が煩雑になる。
That is, when the seizure of the molten metal occurs, a cleaning operation such as polishing of the molten metal contact surface is required for each production lot of the molten metal, and the operation management becomes complicated.

又、浸透が発生すると操業時の加熱・冷却の熱サイク
ルによるクラックを誘因することになるので好ましくな
い。
In addition, if infiltration occurs, cracks due to heat cycles of heating and cooling during operation are induced, which is not preferable.

2)窒化アルミニウム焼結成形体表面の反応性が無くな
り、その表層からの溶出が防止され溶湯汚染も無くなる
と共に、溶湯との反応による酸化アルミニウム皮膜の形
成によって熱伝導度の低下や表面の二次的活性化を招い
て耐食性の悪化を生ずることが防止される。
2) The reactivity of the surface of the aluminum nitride sintered compact is lost, the elution from the surface layer is prevented, the contamination of the molten metal is eliminated, and the thermal conductivity is reduced due to the formation of an aluminum oxide film due to the reaction with the molten metal, and the surface is secondary. This prevents activation and deterioration of corrosion resistance.

今日、種々の用途で高純度アルミニウム材や合金材が
求められているので、溶湯処理装置側からの溶湯汚染原
因を少なくすることは極めて重要な課題となっており、
この課題を解決するものである。
Today, high-purity aluminum materials and alloy materials are required for various applications, and it is extremely important to reduce the cause of molten metal contamination from the molten metal processing equipment.
This problem is to be solved.

等の極めて顕著な実用的メリットを発揮し得るものであ
る。
And the like can exhibit extremely remarkable practical merits.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−40332(JP,A) 特開 平1−160873(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/58 104 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-51-40332 (JP, A) JP-A-1-160873 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C04B 35/58 104

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】溶融アルミニウムに対する接触角が110度
以上で、少なくとも溶湯と接触する表層に粒界相と表面
層が存在しない窒化アルミニウム焼結体から成ることを
特徴とするアルミニウム溶湯用耐食窒化アルミニウム焼
結成形体。
1. A corrosion-resistant aluminum nitride for molten aluminum, comprising a sintered aluminum nitride having a contact angle with molten aluminum of 110 degrees or more and having no grain boundary phase and no surface layer at least in a surface layer in contact with the molten metal. Sintered compact.
【請求項2】窒化アルミニウム焼結体の表層に於ける酸
素濃度が0.05重量%以下であって、全陽イオン不純物濃
度が0.3重量%以下である請求項1に記載のアルミニウ
ム溶湯用耐食窒化アルミニウム焼結成形体。
2. The corrosion-resistant aluminum nitride for molten aluminum according to claim 1, wherein the oxygen concentration in the surface layer of the aluminum nitride sintered body is 0.05% by weight or less and the total cation impurity concentration is 0.3% by weight or less. Sintered compact.
【請求項3】窒化アルミニウム粉末に焼結助剤として酸
化イットリウムを添加し、有機バインダーの存在下に混
練し、造粒し、成形して得られたグリーン成形体を、焼
成温度に対応する蒸気圧相当のカーボンガスが存在する
窒素ガス還元雰囲気中、1700〜2000℃で5〜50時間焼成
し、溶融アルミニウムに対する接触角が110度以下で、
少なくとも溶湯と接触する表層に粒界相と表面層が存在
しない窒化アルミニウム焼結体を得ることを特徴とする
アルミニウム溶湯用耐食窒化アルミニウム焼結成形体の
製造方法。
3. A green compact obtained by adding yttrium oxide as a sintering aid to aluminum nitride powder, kneading it in the presence of an organic binder, granulating and forming a green compact, In a nitrogen gas reducing atmosphere in which a carbon gas equivalent to pressure exists, baking is performed at 1700 to 2000 ° C. for 5 to 50 hours, and the contact angle to molten aluminum is 110 ° or less,
A method for producing a corrosion-resistant aluminum nitride sintered compact for molten aluminum, comprising obtaining an aluminum nitride sintered body having no grain boundary phase and no surface layer at least in a surface layer in contact with the molten metal.
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