JP3007490B2 - Cleaning method for electronic parts or precision parts - Google Patents

Cleaning method for electronic parts or precision parts

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JP3007490B2
JP3007490B2 JP4252845A JP25284592A JP3007490B2 JP 3007490 B2 JP3007490 B2 JP 3007490B2 JP 4252845 A JP4252845 A JP 4252845A JP 25284592 A JP25284592 A JP 25284592A JP 3007490 B2 JP3007490 B2 JP 3007490B2
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rotating shaft
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利照 小松
勝 坂田
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品又は精密部品
類の洗浄方法、詳しくは、油脂、機械油、切削油、グリ
ース、液晶及びフラックス等の汚染物質が付着した電子
部品又は精密部品類の洗浄方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for cleaning electronic parts or precision parts, and more particularly to electronic parts or precision parts to which contaminants such as oils and fats, machine oil, cutting oil, grease, liquid crystal and flux are adhered. A cleaning method.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
精密部品又は治工具類等の固体表面に存在する、油脂、
機械油、切削油、グリース、液晶及びフラックス等の有
機物を主体とする汚れの除去には、ケロシン、ベンゼ
ン、キシレン等の炭化水素系溶剤;トリクロロエチレ
ン、テトラクロロエチレン等の塩素系溶剤;トリクロロ
トリフルオロエタン等のフロン系溶剤;界面活性剤やビ
ルダーを配合した水系の洗浄液等が使用されている。特
に、電子、電気、機械等の部品には、その高洗浄性、難
燃性という特性を生かしてフロン系溶剤又は塩素系溶剤
が使用されてきた。
2. Description of the Related Art
Oils and fats on solid surfaces such as precision parts or tools
For removing dirt mainly composed of organic substances such as machine oil, cutting oil, grease, liquid crystal and flux, hydrocarbon solvents such as kerosene, benzene and xylene; chlorine solvents such as trichloroethylene and tetrachloroethylene; trichlorotrifluoroethane and the like A chlorofluorocarbon-based solvent; an aqueous cleaning solution containing a surfactant or a builder is used. In particular, fluorocarbon-based solvents or chlorine-based solvents have been used for components such as electronics, electricity, and machines, taking advantage of their high detergency and flame retardancy.

【0003】しかしながら、上記塩素系溶剤及びフロン
系溶剤を用いる洗浄液は、安全性、毒性、環境汚染性等
に大きな問題を有していることが明らかにされ、国際レ
ベルでその廃止が進められている。
[0003] However, it has been revealed that cleaning solutions using the above-mentioned chlorinated solvents and chlorofluorocarbon-based solvents have serious problems in safety, toxicity, environmental pollution, etc., and their abolition has been promoted on an international level. I have.

【0004】この様な背景から塩素系溶剤やフロン系溶
剤に替わる洗浄液として、テルペン系溶剤、炭化水素系
溶剤、アルコール系溶剤等の溶剤系代替洗浄液や界面活
性剤等を含有する水系の洗浄液が開発され、これらの洗
浄液を用いた洗浄方法は、通常、被洗浄物を洗浄液中に
浸漬すること又はシャワーノズルを用いて洗浄液を被洗
浄物に噴射すること等による洗浄工程とこれらの洗浄工
程と同様にして実施されるすすぎ工程とを有する。
[0004] From such a background, a solvent-based alternative cleaning solution such as a terpene-based solvent, a hydrocarbon-based solvent, or an alcohol-based solvent, or an aqueous-based cleaning solution containing a surfactant or the like, is used as a cleaning solution in place of a chlorine-based solvent or a fluorocarbon-based solvent. Cleaning methods using these cleaning liquids have been developed.These cleaning steps are usually performed by immersing the cleaning target in the cleaning liquid or spraying the cleaning liquid onto the cleaning target using a shower nozzle. And a rinsing step performed in the same manner.

【0005】上記の被洗浄物を洗浄液中に浸漬すること
による洗浄工程又はすすぎ工程において適用される洗浄
方法としては、超音波振動法、揺動法、液中シャワー法
及び液中回転法等が挙げられる。また、シャワーノズル
を用いて洗浄液又はすすぎ液を被洗浄物に噴射すること
等による洗浄工程又はすすぎ工程において適用される洗
浄方法としては、シャワーノズルとして回転ノズルを用
いる方法及び被洗浄物を回転させながら洗浄液又はすす
ぎ液を被洗浄物に噴射する方法等が挙げられる。
As a cleaning method applied in the cleaning step or the rinsing step by immersing the object to be cleaned in a cleaning liquid, an ultrasonic vibration method, an oscillating method, a submerged shower method, a submerged rotation method, and the like are used. No. Further, as a cleaning method applied in a cleaning step or a rinsing step by spraying a cleaning liquid or a rinsing liquid onto the object to be cleaned using a shower nozzle, a method using a rotating nozzle as a shower nozzle and rotating the object to be cleaned are used. A method of injecting the cleaning liquid or the rinsing liquid onto the object to be cleaned while rinsing is used.

【0006】しかし、上記超音波振動法は、被洗浄物自
体が破損する場合があるという問題があり、上記揺動
法、上記液中シャワー法、及び上記シャワーノズルを用
いて洗浄液を被洗浄物に噴射すること等による方法は、
被洗浄物が単数の場合には効果的であるが、治具に複数
の被洗浄物がセットされた場合には全ての被洗浄物を効
率よく均一に洗浄することが困難となるという問題があ
った。また、上記液中回転法(実開昭61−10913
6号公報参照)は、上記の問題を解決する比較的良好な
手段であるが、この場合にも治具に複数の被洗浄物がセ
ットされた場合には被洗浄物間の液が共回りすることに
よって被洗浄物周辺の液の更新が行われ難いため、洗浄
性が低下するという問題があった。
[0006] However, the ultrasonic vibration method has a problem that the object to be cleaned may be damaged, and the cleaning liquid is applied to the object to be cleaned using the swinging method, the submerged shower method, and the shower nozzle. The method by injecting into
This is effective when the object to be cleaned is a single object.However, when a plurality of objects to be cleaned are set in a jig, it is difficult to efficiently and uniformly clean all the objects to be cleaned. there were. In addition, the above-mentioned liquid rotation method (Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 61-10913)
No. 6) is a relatively good means for solving the above problem, but also in this case, when a plurality of objects to be cleaned are set in the jig, the liquid between the objects to be cleaned rotates together. This makes it difficult for the liquid around the object to be renewed to be renewed.

【0007】従って、本発明の目的は、被洗浄物を破損
することなく、簡便にかつ短時間で効率よく複数の被洗
浄物を洗浄することが可能な電子部品又は精密部品類の
洗浄方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for cleaning a plurality of objects to be cleaned which can be simply and efficiently cleaned in a short time without damaging the objects to be cleaned. To provide.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成すべく鋭意研究した結果、被洗浄物を洗浄槽内の
液相(洗浄液又はすすぎ液)と気相とを交互に通過させ
るように回転させることにより、被洗浄物周辺の液の更
新が、確実に且つ効率よく行われ、複数の被洗浄物を効
率よく洗浄できることを知見した。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, an object to be cleaned has been alternately passed through a liquid phase (cleaning liquid or rinsing liquid) and a gas phase in a cleaning tank. It has been found that by rotating the cleaning object, the liquid around the object to be cleaned is renewed reliably and efficiently, and a plurality of objects to be cleaned can be efficiently cleaned.

【0009】本発明は、上記知見に基づいてなされたも
ので、洗浄液による一回以上の洗浄工程及び/又はすす
ぎ液による一回以上のすすぎ工程を有する、電子部品又
は精密部品類の洗浄方法において、上記洗浄液又は上記
すすぎ液を仕込んだ洗浄槽に、被洗浄物保持治具を装備
した回転軸を上記洗浄槽中の液相に対して略水平に配設
し、被洗浄物を上記被洗浄物保持治具により保持し、該
被洗浄物を、上記回転軸を回転させることにより上記液
相中と気相中とを交互に繰り返し通過させて洗浄するこ
とを特徴とする電子部品又は精密部品類の洗浄方法を提
供するものである。
[0009] The present invention has been made based on the above findings, and is directed to a method for cleaning electronic parts or precision parts having one or more cleaning steps with a cleaning liquid and / or one or more rinsing steps with a rinsing liquid. A rotating shaft equipped with a jig for holding an object to be cleaned is disposed substantially horizontally with respect to the liquid phase in the cleaning tank, and the object to be cleaned is cleaned in the cleaning tank charged with the cleaning liquid or the rinsing liquid. An electronic component or a precision component, wherein the electronic component or the precision component is held by an object holding jig, and the object to be cleaned is washed by alternately and repeatedly passing through the liquid phase and the gas phase by rotating the rotating shaft. Cleaning methods are provided.

【0010】以下、本発明の洗浄方法について詳細に説
明する。本発明の洗浄方法における洗浄工程は、洗浄液
により洗浄を行う工程である。上記洗浄工程における洗
浄方法としては、特に限定はなく、浸漬法(被洗浄物を
洗浄槽に浸漬させる方法)、例えば、超音波法、揺動
法、液中シャワー法、液中回転法等が挙げられ、又、シ
ャワー法(シャワーノズルを用いて洗浄液を被洗浄物に
噴射する方法)、例えば、シャワーノズルとして回転ノ
ズルを用いる方法、被洗浄物を回転させながら洗浄液を
被洗浄物に噴射する方法等が挙げられ、該洗浄工程は適
宜これらを組み合わせて実施される。
Hereinafter, the cleaning method of the present invention will be described in detail. The cleaning step in the cleaning method of the present invention is a step of performing cleaning with a cleaning liquid. The washing method in the washing step is not particularly limited, and includes an immersion method (a method of immersing an object to be cleaned in a washing tank), for example, an ultrasonic method, a rocking method, a submerged shower method, a submerged rotation method, and the like. Also, a shower method (a method of spraying a cleaning liquid onto an object to be cleaned using a shower nozzle), for example, a method using a rotating nozzle as a shower nozzle, or spraying a cleaning liquid onto an object to be cleaned while rotating the object to be cleaned The washing step is performed by appropriately combining them.

【0011】本発明の洗浄方法におけるすすぎ工程は、
すすぎ液により、被洗浄物表面に残留する洗浄液や汚染
物質等をすすぎ落とす工程である。上記すすぎ工程にお
けるすすぎ方法としては、特に限定はなく、上記洗浄工
程における洗浄方法と同様に、例えば、シャワー法、浸
漬法等が挙げられ、該すすぎ工程は、適宜これらを組み
合わせて実施される。
The rinsing step in the cleaning method of the present invention comprises:
This is a step of rinsing the cleaning liquid, contaminants, and the like remaining on the surface of the object to be cleaned with the rinsing liquid. The rinsing method in the rinsing step is not particularly limited, and includes, for example, a shower method, a dipping method, and the like, similar to the cleaning method in the cleaning step. The rinsing step is performed by appropriately combining these.

【0012】本発明の洗浄方法の実施に用いられる洗浄
装置としては、上記洗浄液又は上記すすぎ液を仕込んだ
洗浄槽に、被洗浄物保持治具を装備した回転軸を上記洗
浄槽中の液相に対して略水平に配設した洗浄装置が挙げ
られる。
A cleaning apparatus used for carrying out the cleaning method of the present invention includes a cleaning tank charged with the cleaning liquid or the rinsing liquid, and a rotating shaft equipped with a jig for holding an object to be cleaned. And a washing device disposed substantially horizontally with respect to the cleaning device.

【0013】上記洗浄槽としては、通常の浸漬法による
洗浄工程に用いられる洗浄槽が挙げられる。
As the above-mentioned washing tank, there is a washing tank used in a washing step by an ordinary immersion method.

【0014】上記回転軸に装備される上記被洗浄物保持
治具としては、被洗浄物を保持し、被洗浄物を、上記回
転軸を回転させることにより上記液相中と気相中とを交
互に通過させて洗浄することを可能にするものであれ
ば、特に制限されないが、好ましいものとしては、例え
ば、図1〜図4に示されるものが挙げられる。
As the jig for holding the object to be cleaned, which is provided on the rotating shaft, the object to be cleaned is held, and the object to be cleaned is rotated between the liquid phase and the gas phase by rotating the rotating shaft. There is no particular limitation as long as it allows washing by passing alternately, but preferred examples include those shown in FIGS. 1 to 4.

【0015】図1に示す被洗浄物保持治具3は、回転軸
2に鉛直に固定された2つの保持杆4と該保持杆4それ
ぞれの先端に設けられ被洗浄物1を挟持する保持部5と
からなり、該保持部5は、挟持用ネジ6を備えている。
上記被洗浄物保持治具3は、上記回転軸2の軸回り及び
軸方向に、適宜な数を設けることができる。尚、上記保
持杆4は、回転軸2に、実質的に鉛直に固定されておれ
ばよく、多少の傾きがあってもよい。図1に示す被洗浄
物保持治具による場合、上記被洗浄物1は、上記保持部
5に、上記挟持用ネジ6で該保持部5を締めつけること
により挟持される。
A cleaning object holding jig 3 shown in FIG. 1 includes two holding rods 4 vertically fixed to a rotating shaft 2 and holding portions provided at the respective ends of the holding rods 4 for holding the cleaning object 1. 5, and the holding portion 5 includes a holding screw 6.
An appropriate number of the cleaning object holding jigs 3 can be provided around the rotation shaft 2 and in the axial direction. The holding rod 4 may be fixed substantially vertically to the rotating shaft 2 and may have a slight inclination. In the case of the object-to-be-cleaned jig shown in FIG. 1, the object to be cleaned 1 is held by the holding portion 5 by tightening the holding portion 5 with the holding screw 6.

【0016】図2に示す被洗浄物保持治具13は、回転
軸2に直交させ且つ該回転軸2を貫通させて該回転軸2
に嵌装された保持板14と、該保持板14の外部に設け
られた被洗浄物1を保持する保持部15とを具備してい
る。尚、上記保持板14は、上記回転軸2に実質的に直
交しておればよく、多少の傾きがあってもよい。そし
て、該保持部15は、図2に示すように留め具16、留
め具固定棒17及び留め具固定ネジ18を備えており、
該留め具16、該留め具固定棒17及び該留め具固定ネ
ジ18により被洗浄物1を保持するようになしてある。
上記被洗浄物保持治具13は、上記回転軸2の軸方向
に、適宜な数を設けることができる。尚、上記留め具1
6及び上記保持板14には、上記被洗浄物1との接触部
に、該被洗浄物1を安定状態に保持するために該被洗浄
物1の形状に応じた凹部(図示せず)等を設けてある。
図2に示す被洗浄物保持治具13による場合、上記被洗
浄物1は、上記留め具16を上記回転軸2の中心方向に
移動させ、該留め具16と上記保持板14との間に上記
留め具固定ネジ18で締めつけることにより両側から把
持される。
The cleaning object holding jig 13 shown in FIG. 2 is perpendicular to the rotating shaft 2 and penetrates the rotating shaft 2 so that the rotating shaft 2
And a holding portion 15 provided outside the holding plate 14 for holding the object 1 to be cleaned. Note that the holding plate 14 may be substantially perpendicular to the rotation shaft 2 and may have a slight inclination. The holding portion 15 includes a fastener 16, a fastener fixing bar 17, and a fastener fixing screw 18, as shown in FIG.
The object to be cleaned 1 is held by the fastener 16, the fastener fixing bar 17, and the fastener fixing screw 18.
The cleaning object holding jig 13 can be provided in an appropriate number in the axial direction of the rotating shaft 2. In addition, the above-mentioned fastener 1
6 and the holding plate 14 are provided with a concave portion (not shown) corresponding to the shape of the object 1 to be cleaned in order to keep the object 1 to be cleaned in a contact portion with the object 1 to be cleaned. Is provided.
In the case of the cleaning object holding jig 13 shown in FIG. 2, the cleaning object 1 moves the fastener 16 toward the center of the rotation shaft 2, and moves the fastener 16 between the fastener 16 and the holding plate 14. It is gripped from both sides by tightening with the fastener fixing screw 18.

【0017】図3に示す被洗浄物保持治具23は、回転
軸2に直交させ且つ該回転軸2を貫通させて該回転軸2
に嵌装された保持板24と、該保持板24の内部に設け
られた被洗浄物1を保持する保持部25とを具備してい
る。尚、上記保持板24は、上記回転軸2に実質的に直
交しておればよく、多少の傾きがあってもよい。上記保
持部25は、図3に示すように、保持板24の内部に、
保持する被洗浄物1の形状に合わせて移動可能に設けら
れている。即ち、上記保持部25は、上記回転軸2の半
径方向外側25aを固定し、上記回転軸2の半径方向内
側25bを可動とし、スプリング(図示せず)を用いて
被洗浄物1を締めつけるようになしてある。上記保持板
24としては、円板、矩形板又はその他の形状の板状体
が挙げられ、上記被洗浄物保持治具23は、上記回転軸
2の軸方向に、適宜な数を設けることができる。図3に
示す被洗浄物保持治具23による場合、上記被洗浄物1
は、上記保持部25により、各頂点部分を固定されて保
持される。
The jig 23 for holding an object to be cleaned shown in FIG. 3 is orthogonal to the rotating shaft 2 and penetrates the rotating shaft 2 so that the rotating shaft 2
And a holding portion 25 provided inside the holding plate 24 for holding the object 1 to be cleaned. Note that the holding plate 24 may be substantially perpendicular to the rotating shaft 2 and may have a slight inclination. As shown in FIG. 3, the holding portion 25 is provided inside the holding plate 24,
It is provided movably in accordance with the shape of the object 1 to be held. That is, the holding portion 25 fixes the radially outer side 25a of the rotary shaft 2 and makes the radially inner side 25b of the rotary shaft 2 movable, and tightens the object 1 to be cleaned using a spring (not shown). It has been done. Examples of the holding plate 24 include a disk, a rectangular plate, and a plate-like body having another shape. The jig 23 for holding an object to be cleaned may be provided in an appropriate number in the axial direction of the rotating shaft 2. it can. In the case of the cleaning object holding jig 23 shown in FIG.
Is fixedly held by the holding unit 25 at each vertex.

【0018】図4(a)に示す被洗浄物保持治具33
は、回転軸2が断続されており、上記回転軸2に直交さ
せて上記断続部に嵌装された一対の保持板34と該保持
板34,34間に架装された2本の保持杆35とからな
り、該保持杆35に上記被洗浄物1を保持する複数の保
持部36を設けてあり、該保持部36は、図4(a)に
示すように、上記保持杆35の内側に、該被洗浄物1が
嵌合するように設けた凹部からなる。尚、上記保持板3
4は上記回転軸2に実質的に直交しておればよく、多少
の傾きを有していてもよい。上記保持杆35は、上記保
持板34,34間に、2本架装されており、また、上記
保持部(凹部)36は、上記回転軸2の軸方向に多数設
けてある。また、上記保持杆35は、スプリング(図示
せず)によって上記回転軸2の中心方向に締まるような
構造となしてある。尚、上記保持杆35は、3本以上設
けることもできる。図4(a)に示す被洗浄物保持治具
33による場合、被洗浄物1は、2本の保持杆35の保
持部36に嵌挿され、保持杆35を2ヶ所の端部から中
心方向にスプリング(図示せず)により締めつけること
により固定される。
A jig 33 for holding an object to be cleaned shown in FIG.
Has a pair of holding plates 34 fitted to the intermittent portions at right angles to the rotating shaft 2 and two holding rods mounted between the holding plates 34, 34. The holding rod 35 is provided with a plurality of holding portions 36 for holding the object 1 to be cleaned, and the holding portion 36 is provided inside the holding rod 35 as shown in FIG. And a concave portion provided so as to fit the object 1 to be cleaned. The holding plate 3
4 may be substantially perpendicular to the rotation axis 2 and may have a slight inclination. Two of the holding rods 35 are mounted between the holding plates 34, 34, and a large number of the holding portions (recesses) 36 are provided in the axial direction of the rotating shaft 2. Further, the holding rod 35 is structured so as to be fastened toward the center of the rotary shaft 2 by a spring (not shown). Note that three or more holding rods 35 can be provided. In the case of the cleaning object holding jig 33 shown in FIG. 4A, the cleaning object 1 is inserted into the holding portions 36 of the two holding rods 35, and the holding rods 35 are moved from two ends toward the center. Is fixed by tightening it with a spring (not shown).

【0019】また、図4(b)に示す被洗浄物保持治具
43は、回転軸2に直交させ且つ該回転軸2を貫通させ
て該回転軸2に嵌装された一対の保持板44と該保持板
44,44間に架装された4本の保持杆45とからな
り、該保持杆45に上記被洗浄物1を保持する複数の保
持部46を設けてあり、該保持部46は、図4(b)に
示すように、上記保持杆45の内側に該被洗浄物1が嵌
合するように設けた凹部からなる。尚、上記保持板44
は上記回転軸2に実質的に直交しておればよく、多少の
傾きを有していてもよい。上記保持杆45は、上記保持
板44,44間に4本架装されており、また、上記保持
部46(凹部)は、上記回転軸2の軸方向に多数設けて
ある。また、上記保持杆45は、外側が固定され内側が
スプリング(図示せず)によって上記回転軸2から外側
に向かって締まるような構造となしてある。尚、図4
(b)に示す被洗浄物保持治具43においては、上記保
持杆45は被洗浄物1に対して2本設けてあるが、3本
以上設けることもできる。図4(b)に示す被洗浄物保
持治具43による場合、被洗浄物1は、2本の保持杆4
5の保持部46に嵌挿され、保持杆45の内側を外側に
向かってスプリング(図示せず)により締めつけること
により固定される。
A jig 43 for holding an object to be cleaned shown in FIG. 4B is a pair of holding plates 44 which are orthogonal to the rotating shaft 2 and penetrate the rotating shaft 2 and are fitted to the rotating shaft 2. And four holding rods 45 mounted between the holding plates 44, 44. The holding rod 45 is provided with a plurality of holding portions 46 for holding the object 1 to be cleaned. As shown in FIG. 4 (b), it comprises a concave portion provided so that the object to be cleaned 1 is fitted inside the holding rod 45. The holding plate 44
May be substantially perpendicular to the rotation axis 2 and may have a slight inclination. The four holding rods 45 are mounted between the holding plates 44, 44, and a large number of the holding portions 46 (concave portions) are provided in the axial direction of the rotary shaft 2. The holding rod 45 has a structure in which the outside is fixed and the inside is tightened outward from the rotation shaft 2 by a spring (not shown). FIG.
In the cleaning object holding jig 43 shown in (b), two holding rods 45 are provided for the cleaning object 1, but three or more holding rods may be provided. In the case of the cleaning object holding jig 43 shown in FIG.
5 and is fixed by tightening the inside of the holding rod 45 outward with a spring (not shown).

【0020】本発明の洗浄方法においては、上述したよ
うに、被洗浄物1を回転軸2の軸方向に沿って複数個保
持し、同時に複数の被洗浄物1を洗浄する場合に特に有
効である。
As described above, the cleaning method of the present invention is particularly effective when a plurality of objects to be cleaned 1 are held along the axial direction of the rotary shaft 2 and a plurality of objects to be cleaned 1 are simultaneously cleaned. is there.

【0021】本発明において用いられる上記回転軸の回
転方法としては、回転軸の一方の端をモーター等を駆動
源とする回転駆動装置に接続させる方法等が挙げられ
る。この場合、安定のため回転軸の他方の端をベアリン
グ等の機構で保持することが好ましい。
As a method of rotating the rotary shaft used in the present invention, a method of connecting one end of the rotary shaft to a rotary drive device using a motor or the like as a drive source can be used. In this case, it is preferable to hold the other end of the rotating shaft with a mechanism such as a bearing for stability.

【0022】上記回転軸の回転速度は、被洗浄物の大き
さ及び形状等により異なるが、被洗浄物の中心における
速度(線速度)が、好ましくは0.1m/s〜30m/
s、さらに好ましくは1m/s〜30m/sとなるよう
な回転速度とすればよい。上記被洗浄物の中心における
速度(線速度)が0.1m/s未満であると、洗浄効果
が小さく、30m/s超とするには操作上の問題があ
り、また、動力面において経済的に不利である。
The rotation speed of the rotating shaft varies depending on the size and shape of the object to be cleaned, but the speed (linear velocity) at the center of the object to be cleaned is preferably 0.1 m / s to 30 m / s.
s, more preferably 1 m / s to 30 m / s. If the velocity (linear velocity) at the center of the object to be cleaned is less than 0.1 m / s, the cleaning effect is small, and if it exceeds 30 m / s, there is a problem in operation and economical in terms of power. Disadvantageous.

【0023】尚、上記回転速度は、被洗浄物の中心を基
準とせずに、例えば、部品を搭載したプリント配線基板
等であれば、その部品の位置を基準としてもよく、ま
た、特に汚れを落としたい部位を基準にするなど、目的
に合わせて適宜な部位を基準として設定すればよい(例
えば被洗浄物保持治具が図4(a)に示す形式である場
合)。
The rotational speed may be determined not based on the center of the object to be cleaned, but on the position of the component if the component is mounted on a printed wiring board or the like. It may be set based on an appropriate part according to the purpose, such as based on a part to be dropped (for example, when the object to be cleaned is in the form shown in FIG. 4A).

【0024】また、上記洗浄槽内の液相の液面の高さ
は、回転軸を回転させることにより、被洗浄物が液相中
と気相中とを交互に通過するような高さであればよい
が、該回転軸近傍が望ましい。このようにして被洗浄物
を回転させることは、洗浄性及び/又はすすぎ性の向上
と処理能力の向上に効果的である。
The height of the liquid surface of the liquid phase in the cleaning tank is such that the object to be cleaned passes alternately through the liquid phase and the gas phase by rotating the rotating shaft. However, the vicinity of the rotation axis is desirable. Rotating the object to be cleaned in this manner is effective for improving the cleaning property and / or rinsing property and improving the processing capacity.

【0025】また、該回転軸の回転方向は、一方向のみ
でもよく、所定時間ごとに反転させてもよく、被洗浄物
の形状及び汚れの性状により適宜選択すればよい。
The direction of rotation of the rotating shaft may be only one direction, or may be reversed at predetermined time intervals, and may be appropriately selected depending on the shape of the object to be cleaned and the nature of dirt.

【0026】本発明の洗浄方法に使用される洗浄液とし
ては、特に限定はないが、動植物から得られるd−リモ
ネン等のテルペン類を有効成分とするテルペン系溶剤、
ケロシン、ベンゼン、キシレン等の炭化水素を有効成分
とする炭化水素系溶剤、イソプロピルアルコール、エチ
ルアルコール、メチルアルコール等の低級アルコールを
有効成分とするアルコール系溶剤等の溶剤系代替洗浄
液、界面活性剤、及び水酸化ナトリウム、オルソケイ酸
ナトリウム等のアルカリ剤を含有する水系代替洗浄液あ
るいはこれらの希釈液があげられる。
The washing solution used in the washing method of the present invention is not particularly limited, but a terpene solvent containing a terpene such as d-limonene obtained from animals and plants as an active ingredient,
Kerosene, benzene, hydrocarbon-based solvents containing hydrocarbons as active ingredients such as xylene, isopropyl alcohol, ethyl alcohol, solvent-based alternative cleaning liquids such as alcohol solvents containing lower alcohols such as methyl alcohol as active ingredients, surfactants, And an aqueous alternative washing liquid containing an alkaline agent such as sodium hydroxide and sodium orthosilicate, or a diluent thereof.

【0027】上記界面活性剤としては、アニオン性、カ
チオン性、両イオン性、非イオン性界面活性剤等が用い
られるが電子部品等の部材への影響を考慮すると非イオ
ン性界面活性剤が好ましく、例えばアルキルエーテル
型、アルキルアリルエーテル型、アルキルチオエーテル
型等のエーテル型;アルキルエステル型、ソルビタンア
ルキルエステル型等のエステル型;ポリオキシアルキレ
ンアルキルアミン等のアミンとの縮合型;ポリオキシア
ルキレンアルキルアマイド等のアミドとの縮合型;ポリ
オキシエチレンとポリオキシプロピレンをランダム又は
ブロック縮合させたプルロニック又はテトロニック型;
ポリエチレンイミン系等の界面活性剤が挙げられる。こ
れらのうち、特に炭素数4〜22の炭化水素基を有する
ものが好ましい。
As the above-mentioned surfactant, anionic, cationic, amphoteric, nonionic surfactants and the like are used, but in consideration of the influence on members such as electronic parts, nonionic surfactants are preferable. Ether type such as alkyl ether type, alkyl allyl ether type and alkyl thioether type; ester type such as alkyl ester type and sorbitan alkyl ester type; condensed type with amine such as polyoxyalkylene alkylamine; polyoxyalkylene alkyl amide A polyurethane or tetronic type obtained by random or block condensation of polyoxyethylene and polyoxypropylene;
A surfactant such as a polyethyleneimine-based surfactant may be used. Among them, those having a hydrocarbon group having 4 to 22 carbon atoms are particularly preferable.

【0028】上述のような非イオン性界面活性剤を含有
する洗浄液組成物は、これが混入したすすぎ洗い後のす
すぎ廃液が明瞭な曇点を示し、すすぎ廃液中の油状汚れ
及び洗浄液等の有機物を容易に分離除去することができ
るので排水処理の負荷が軽減され、排水処理性が特に良
好である。
In the cleaning liquid composition containing a nonionic surfactant as described above, the rinse waste liquid after the rinsing mixed with the nonionic surfactant shows a clear cloud point, and removes oily stains and organic substances such as the cleaning liquid in the rinse waste liquid. Since it can be easily separated and removed, the load of wastewater treatment is reduced, and wastewater treatment properties are particularly good.

【0029】また、上記水系代替洗浄液としては、界面
活性剤と、炭化水素化合物、難水溶性のアルキルエステ
ル類及びアルキルケトン類から選ばれる化合物とを含有
する洗浄液等も用いることができる。
As the water-based alternative cleaning solution, a cleaning solution containing a surfactant and a compound selected from a hydrocarbon compound, a poorly water-soluble alkyl ester and an alkyl ketone can be used.

【0030】上記炭化水素化合物としては、例えば洗浄
又はリンス工程の温度で液状である炭素数6〜30の直
鎖又は分岐鎖の飽和又は不飽和結合を有するパラフィン
類、オレフィン類、あるいは芳香族炭化水素、脂環式炭
化水素を含む炭化水素化合物が挙げられる。上記アルキ
ルエステル類としては、例えば、洗浄又はリンス工程の
温度で液状である炭素数6〜40のモノエステル、ジエ
ステル、トリエステルが挙げられ、特に炭素数6〜18
の高級脂肪酸と炭素数1〜18のアルコールのエステ
ル;炭素数6〜18の高級脂肪酸と炭素数2〜8のジオ
ール又はトリオールとのエステル;炭素数1〜18のア
ルコールと炭素数2〜8のジカルボン酸又はトリカルボ
ン酸とのエステルが好ましい。また、上記アルキルケト
ン類としては、炭素数6〜40のジアルキルケトンが好
ましい。
Examples of the hydrocarbon compound include paraffins, olefins, and aromatic hydrocarbons which are liquid at the temperature of the washing or rinsing step and have linear or branched saturated or unsaturated bonds having 6 to 30 carbon atoms. Hydrocarbon compounds including hydrogen and alicyclic hydrocarbons are exemplified. Examples of the alkyl esters include monoesters, diesters, and triesters having 6 to 40 carbon atoms which are liquid at the temperature of the washing or rinsing step, and particularly include 6 to 18 carbon atoms.
Esters of higher fatty acids and alcohols having 1 to 18 carbon atoms; esters of higher fatty acids having 6 to 18 carbon atoms and diols or triols having 2 to 8 carbon atoms; alcohols having 1 to 18 carbon atoms and 2 to 8 carbon atoms Esters with dicarboxylic or tricarboxylic acids are preferred. Further, as the alkyl ketones, dialkyl ketones having 6 to 40 carbon atoms are preferable.

【0031】本発明の洗浄方法に用いられる洗浄液(洗
浄液組成物)としては、上記の成分のほか、必要に応じ
てビルダー、キレート剤、防錆剤、消泡剤等を含有する
ものを使用することもでき、また、上記の様な化合物を
用途に応じて任意に2種以上組み合わせて使用してもよ
い。
As the cleaning liquid (cleaning liquid composition) used in the cleaning method of the present invention, a liquid containing a builder, a chelating agent, a rust preventive, an antifoaming agent and the like, if necessary, in addition to the above components, is used. Alternatively, two or more of the above compounds may be used in combination depending on the application.

【0032】尚、被洗浄物の汚れが、水道水、脱イオン
水、純水等により除去可能な性質の汚れである場合に
は、これらの水を洗浄液として使用してもよい。
In the case where the stain on the object to be washed is a stain having a property that can be removed with tap water, deionized water, pure water or the like, such water may be used as the washing liquid.

【0033】また、本発明の洗浄方法に使用されるすす
ぎ液は、被洗浄物上の汚れ及び/又は洗浄液組成物をす
すぎ洗うための液である。上記すすぎ液としては、特に
制限はないが、例えば、水道水、脱イオン水、純水ある
いは数%程度洗浄液を含む液が用途に応じて用いられ
る。上記すすぎ液は、浄化処理をした後、放流又は再利
用される。上記浄化処理は、例えば凝集沈殿、加圧浮
上、活性汚泥、活性炭、イオン交換、膜処理方法等の一
般的な排水処理法を単独あるいは適宜組み合わせて行う
ことができる。
The rinsing liquid used in the cleaning method of the present invention is a liquid for rinsing dirt and / or a cleaning liquid composition on an object to be cleaned. The rinsing liquid is not particularly limited. For example, tap water, deionized water, pure water, or a liquid containing several percent of a cleaning liquid is used depending on the application. The rinsing liquid is discharged or reused after purifying. The above-mentioned purification treatment can be performed by a general wastewater treatment method such as coagulation sedimentation, pressure flotation, activated sludge, activated carbon, ion exchange, and a membrane treatment method alone or in an appropriate combination.

【0034】本発明による洗浄の対象となる電子部品又
は精密部品類としては、電子部品又は精密部品類の組
立、加工又は洗浄時の保持に使用される治工具(治具)
等を包含する。
The electronic parts or precision parts to be cleaned according to the present invention include jigs (jigs) used for assembling, processing, or holding the electronic parts or precision parts during cleaning.
And the like.

【0035】上記電子部品としては、例えば、電算機及
びその周辺機器、家電機器、通信機器、OA機器、その
他電子応用機器等に用いられるプリント配線基板;IC
リードフレーム、抵抗器、コンデンサー、リレー等接点
部材に用いられるフープ材;OA機器、時計、電算機
器、玩具、家電機器等に用いられる液晶表示器(液晶表
示デバイス);映像・音声記録/再生部品、その関連部
品等に用いられる磁気記録部品;シリコンやセラミック
スのウェハ等の半導体材料;水晶振動子等の電歪用部
品;CD、PD、複写機器、光記録機器等に用いられる
光電変換部品等が挙げられる。
Examples of the electronic component include a printed circuit board used for a computer and its peripheral devices, a home appliance, a communication device, an OA device, and other electronic applied devices;
Hoop materials used for contact members such as lead frames, resistors, capacitors, relays; Liquid crystal displays (liquid crystal display devices) used for OA equipment, clocks, computer equipment, toys, home appliances, etc .; Video / audio recording / reproduction parts And magnetic recording parts used for related parts; semiconductor materials such as silicon and ceramic wafers; parts for electrostriction such as quartz oscillators; photoelectric conversion parts used for CD, PD, copying equipment, optical recording equipment, etc. Is mentioned.

【0036】上記精密部品類としては、例えば、電機部
品、精密機械部品、樹脂加工部品、光学部品等が挙げら
れる。上記電機部品としては、例えば、ブラシ、ロー
タ、ステータ、ハウジング等の電動機部品;販売機や各
種機器に用いられる発券用部品;販売機、キャッシュデ
ィスペンサ等に用いられる貨幣検査用部品などが挙げら
れる。上記精密機械部品としては、例えば、精密駆動機
器、ビデオレコーダー等に用いられるベアリング;超硬
チップ等の加工用部品などが挙げられる。上記樹脂加工
部品としては、例えば、カメラ、自動車等に用いられる
精密樹脂加工部品などが挙げられる。更に、上記光学部
品としては、例えば、カメラ、眼鏡、光学機器等に用い
られるレンズ等が挙げられ、その他、上記精密部品とし
て、例えばメガネフレーム、時計ケース、時計ベルト等
が挙げられる。
Examples of the precision parts include electric parts, precision machine parts, resin processed parts, and optical parts. Examples of the electric components include motor components such as brushes, rotors, stators, and housings; ticketing components used in vending machines and various devices; and currency inspection components used in vending machines and cash dispensers. Examples of the precision machine parts include bearings used for precision drive equipment, video recorders, and the like; machining parts such as carbide tips and the like. Examples of the resin processed parts include precision resin processed parts used for cameras, automobiles and the like. Further, examples of the optical components include lenses used for cameras, glasses, optical devices, and the like, and examples of the precision components include eyeglass frames, watch cases, watch belts, and the like.

【0037】また、上記治工具類としては、上述の各種
部品例で示したような電子部品又は精密部品類の製造、
成形、加工、組立、仕上げ等を行う各種工程において取
り扱う治具、工具の他、これらの電子部品又は精密部品
類を取り扱う各種機器、その部品等が挙げられる。
As the above jigs and tools, there are electronic parts or precision parts as shown in the above-mentioned various parts.
In addition to jigs and tools handled in various processes for forming, processing, assembling, finishing, and the like, various devices handling these electronic components or precision components, components thereof, and the like are included.

【0038】本発明の洗浄方法は、上述の電子部品又は
精密部品類の中で、特に、フラックスの残存したプリン
ト配線基板やガラス基板に付着した液晶等の洗浄時に好
適な性能を発揮する。尚、本発明の対象となる電子部品
又は精密部品類は、これらの例に限定されるものではな
く、組立加工工程において各種の加工油やフラックス等
の後の工程の妨害物質、又は製品の特性を低下させる各
種の油性汚染物質が付着している電子部品又は精密部品
類であれば、本発明の洗浄方法を適用することができ
る。
The cleaning method of the present invention exhibits a suitable performance when cleaning liquid crystal and the like adhered to a printed wiring board or a glass substrate in which the flux remains, among the above electronic parts or precision parts. The electronic parts or precision parts to be covered by the present invention are not limited to these examples, but may be various processing oils, fluxes, and other interfering substances in the subsequent steps in the assembling processing step, or characteristics of the products. The cleaning method of the present invention can be applied to electronic parts or precision parts to which various types of oily contaminants that reduce the contamination are attached.

【0039】更に、本発明の洗浄方法は、上記汚染物質
が、例えば、油脂、機械油、切削油、グリース、液晶、
ロジン系フラックス等の、主として有機成分の汚れであ
る場合、本発明の洗浄方法の特徴が特に発揮され、これ
らに金属粉、無機物粉等が混入した汚染物質であっても
有効である。
Further, in the cleaning method of the present invention, the contaminants may be, for example, oils and fats, machine oil, cutting oil, grease, liquid crystal,
In the case of mainly organic components such as rosin flux, the characteristics of the cleaning method of the present invention are particularly exhibited, and the present invention is effective even for contaminants in which metal powder, inorganic powder and the like are mixed.

【0040】本発明の洗浄方法は、上述のように被洗浄
物の形状には制限されないが、プリント配線基板のよう
な板状体の洗浄方法として特に有効である。
Although the cleaning method of the present invention is not limited to the shape of the object to be cleaned as described above, it is particularly effective as a method for cleaning a plate-like body such as a printed wiring board.

【0041】以下に、本発明の洗浄方法を、一実施態様
に基づいて説明する。初めに、被洗浄物を前述のような
回転軸に装備した被洗浄物保持治具を介して保持する。
上記被洗浄物保持治具により被洗浄物を保持する際の向
きとしては、通常、被洗浄物が板状体の場合には、該板
状体の面が、上記回転軸に対して垂直になるような向き
とする。次に、被洗浄物を、上記回転軸を回転させるこ
とにより液相中と気相中とを交互に通過させて洗浄する
洗浄方法で洗浄工程を行った後、被洗浄物が液相に浸漬
しない状態にして回転による液切りを行う。被洗浄物が
液相に浸漬しない状態にする方法としては、回転軸の回
転駆動装置及び回転軸を上方に移動させる方法、及び液
相を槽底部等から排除する方法などが挙げられる。
Hereinafter, the cleaning method of the present invention will be described based on one embodiment. First, the object to be cleaned is held via the object to be cleaned holding jig provided on the rotating shaft as described above.
As the direction when holding the object to be cleaned by the object to be cleaned holding jig, usually, when the object to be cleaned is a plate, the surface of the plate is perpendicular to the rotation axis. Orientation. Next, the object to be cleaned is subjected to a cleaning process by a cleaning method in which the rotating shaft is rotated so that the object is alternately passed through a liquid phase and a gas phase, and then the object to be cleaned is immersed in the liquid phase. The liquid is drained by rotation without turning. Examples of a method for preventing the object to be cleaned from being immersed in the liquid phase include a method of moving the rotation drive device and the rotation axis of the rotating shaft upward, a method of removing the liquid phase from the bottom of the tank, and the like.

【0042】次に、上記洗浄工程と同様にしてすすぎ工
程を行った後、すすぎ液に浸漬しない状態にして回転に
よる液切りを行う。すすぎ工程は、通常、1回以上行わ
れるが、洗浄工程のみの場合もある。このように、被洗
浄物を液相に浸漬しない状態で回転させることによる液
切りは、排水負荷の低減に効果的であり、また最終すす
ぎ終了後には被洗浄物の乾燥にも効果的である。
Next, after the rinsing step is performed in the same manner as the above-mentioned washing step, the liquid is removed by rotation without being immersed in the rinsing liquid. The rinsing step is usually performed one or more times, but may include only the washing step. Thus, draining by rotating the object to be cleaned in a state where it is not immersed in the liquid phase is effective in reducing the drainage load, and also effective in drying the object to be cleaned after the final rinsing. .

【0043】更に、本発明の洗浄方法は、空気等の気体
を被洗浄物に吹き付ける方法等の、周知の液切り促進方
法を併用することができる。
Further, in the cleaning method of the present invention, a well-known liquid drainage promoting method such as a method of blowing a gas such as air onto the object to be cleaned can be used together.

【0044】本発明の電子部品又は精密部品類の洗浄方
法の上述した以外の洗浄方法としては、通常の方法と同
じ洗浄方法を適宜採用することができる。
As a cleaning method other than the above-mentioned cleaning method for the electronic parts or precision parts of the present invention, the same cleaning method as a usual method can be appropriately adopted.

【0045】[0045]

【作用】被洗浄物を上記被洗浄物保持治具により保持
し、上記回転軸を回転させることにより液相中と気相中
とを交互に通過させて洗浄する場合において、該被洗浄
物が気相中から洗浄槽中の液相の液面を通過する際、該
液面から抵抗を受けて該被洗浄物に対して剪断力が作用
する。この剪断力により、洗浄効果又はすすぎ効果が向
上する。また、上記被洗浄物上の汚れ物質や残存洗浄液
等に、回転による遠心力が作用するため、該被洗浄物に
部品等が搭載されている場合にも洗浄又はすすぎが有効
に行われる。
In the case where the object to be cleaned is held by the jig for holding the object to be cleaned and the rotary shaft is rotated, the object to be cleaned is alternately passed through the liquid phase and the gaseous phase. When passing through the liquid surface of the liquid phase in the cleaning tank from the gas phase, a shear force acts on the object to be cleaned due to resistance from the liquid surface. This shearing force improves the cleaning effect or the rinsing effect. In addition, since the centrifugal force due to rotation acts on the contaminated substances and the remaining cleaning liquid on the object to be cleaned, the cleaning or rinsing is effectively performed even when components or the like are mounted on the object to be cleaned.

【0046】次に上記被洗浄物が上記液相中から上記気
相中へ入ると、被洗浄物表面に付着した液(洗浄液又は
すすぎ液)に遠心力が作用するため、該液が該被洗浄物
表面から飛散することにより液切りが行われる。従っ
て、上記被洗浄物周辺の液が該被洗浄物表面に残留して
いても、上記被洗浄物を回転により液相中と気相中とを
交互に通過させることにより、該被洗浄物表面に残留し
た液は気相中で該被洗浄物と分離されるため、該被洗浄
物が再び液相中に入ったときには被洗浄物周辺に新しい
液が存在する。このため、上記被洗浄物周辺の液は、確
実に且つ効率よく更新される。
Next, when the object to be washed enters the gaseous phase from the liquid phase, a centrifugal force acts on the liquid (washing liquid or rinsing liquid) attached to the surface of the object to be cleaned. Flushing is performed by scattering from the surface of the cleaning object. Therefore, even if the liquid around the object to be cleaned remains on the surface of the object to be cleaned, the object to be cleaned is alternately passed through the liquid phase and the gaseous phase by rotation, whereby the surface of the object to be cleaned is rotated. Is separated from the object to be cleaned in the gas phase, so that when the object to be cleaned enters the liquid phase again, a new liquid exists around the object to be cleaned. Therefore, the liquid around the object to be cleaned is reliably and efficiently renewed.

【0047】上述のように、本発明の洗浄方法において
は、被洗浄物を、上記回転軸を回転させることにより上
記液相中と気相中とを交互に通過させて洗浄するため、
被洗浄物が複数で、且つその保持間隔が狭い場合でも洗
浄性及び/又はすすぎ性が低下することなく、効率良く
行える。
As described above, in the cleaning method of the present invention, the object to be cleaned is washed by rotating the rotating shaft so as to alternately pass through the liquid phase and the gas phase.
Even when there are a plurality of objects to be cleaned and the holding interval is narrow, cleaning can be performed efficiently without lowering the cleaning performance and / or rinsing performance.

【0048】[0048]

【実施例】次に、実施例を比較例と共に挙げて本発明の
洗浄方法を更に詳細に説明するが、本発明は、これらの
実施例に限定されるものではない。
Next, the cleaning method of the present invention will be described in more detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0049】実施例1 図5に示すような大きさ30mm×50mm、厚さ2m
mのガラスエポキシ樹脂51上に大きさ25mm×25
mm、厚さ1mmのガラス52を、そのクリアランスが
100μmとなるように該ガラスの中心部53を接着剤
により該ガラスエポキシ樹脂上に一点で保持するように
固定し、その隙間に汚れ物質として、フラックス54
(日本はんだRX363−207Bテトラヒドロフラン
抽出分)を充填した試料(被洗浄物)55を作製した。
Example 1 A size of 30 mm × 50 mm and a thickness of 2 m as shown in FIG.
25mm × 25 on glass epoxy resin 51m
A glass 52 having a thickness of 1 mm and a thickness of 1 mm is fixed so that the central portion 53 of the glass is held at a single point on the glass epoxy resin with an adhesive so that the clearance becomes 100 μm. Flux 54
(Sample to be cleaned) 55 filled with (Nippon Solder RX363-207B extracted with tetrahydrofuran) was prepared.

【0050】上記試料(被洗浄物)を、図1に示す被洗
浄物保持治具で保持し、図1に示す如く保持し、被洗浄
物間の間隔が5mmの状態で回転軸が洗浄液液面の高さ
を回転軸に接する高さに設定し、該被洗浄物が液面に対
して垂直になるようにセットして、該回転軸を、被洗浄
物のガラス中心部において2m/sとなるように回転さ
せて60℃で10分間洗浄を行った。また、洗浄液とし
ては、非イオン界面活性剤40wt%、C14オレフィ
ン40wt%、水20wt%の混合物を用いた。洗浄後
の試料におけるフラックス除去率を下記〔表1〕に示
す。
The sample (the object to be cleaned) is held by a jig for holding the object to be cleaned as shown in FIG. 1 and held as shown in FIG. The height of the surface is set to a height in contact with the rotation axis, the object to be cleaned is set to be perpendicular to the liquid surface, and the rotation axis is set at 2 m / s at the center of the glass of the object to be cleaned. And washing was performed at 60 ° C. for 10 minutes. In addition, a mixture of 40 wt% of a nonionic surfactant, 40 wt% of C14 olefin, and 20 wt% of water was used as the cleaning liquid. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0051】実施例2 各被洗浄物の間隔(回転軸の軸方向に沿った方向の間
隔)を9mmとした他は、実施例1と同様にして洗浄を
行った。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下記
〔表1〕に示す。
Example 2 Cleaning was performed in the same manner as in Example 1 except that the distance between the objects to be cleaned (the distance along the rotation axis) was 9 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0052】実施例3各被洗浄物の間隔(回転軸の軸方
向に沿った方向の間隔)を14mmとした他は、実施例
1と同様にして洗浄を行った。洗浄後の試料におけるフ
ラックス除去率を下記〔表1〕に示す。
Example 3 Cleaning was performed in the same manner as in Example 1 except that the distance between the objects to be cleaned (the distance along the axis of the rotating shaft) was 14 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0053】比較例1 被洗浄物保持治具を装備した回転軸を、洗浄槽中の液相
に対して略垂直に配設し、被洗浄物が常時液中に存在す
るようにした以外は、実施例1と同様にして洗浄を行っ
た。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下記〔表
1〕に示す。
Comparative Example 1 A rotating shaft equipped with a jig for holding an object to be cleaned was arranged substantially perpendicular to the liquid phase in the cleaning tank so that the object to be cleaned was always present in the liquid. The cleaning was performed in the same manner as in Example 1. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0054】比較例2 各被洗浄物の間隔(回転軸の軸方向に沿った方向の間
隔)を9mmとした他は、比較例1と同様にして洗浄を
行った。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下記
〔表1〕に示す。
Comparative Example 2 Cleaning was performed in the same manner as in Comparative Example 1 except that the distance between the objects to be cleaned (the distance along the axis of the rotating shaft) was 9 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0055】比較例3 各被洗浄物の間隔(回転軸の軸方向に沿った方向の間
隔)を14mmとした他は、比較例1と同様にして洗浄
を行った。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下
記〔表1〕に示す。
Comparative Example 3 Cleaning was performed in the same manner as in Comparative Example 1, except that the distance between the objects to be cleaned (the distance along the axis of the rotating shaft) was 14 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0056】上記実施例1〜3及び比較例1〜3におけ
るフラックス除去率の被洗浄物間隔に対する依存性を表
すグラフを図6に示した。
FIG. 6 is a graph showing the dependence of the flux removal rate on the distance between the objects to be cleaned in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3.

【0057】実施例4 回転軸が中央部に垂直に通る大きさ140mm×100
mm、厚さ2mmのガラスエポキシ樹脂の保持板に、実
施例1と同様な試料(被洗浄物)を、図3に示す如く保
持し、各保持板の間隔(回転軸の軸方向に沿った方向の
間隔)を5mmとし、洗浄槽内の液相の液面の高さを回
転軸に接する高さに設定し、該回転軸を、被洗浄物のガ
ラス中心点(ガラスとガラスエポキシ樹脂との接着部)
における速度(線速度)が2m/sとなるように回転さ
せて60℃で10分間洗浄を行った。洗浄液としては、
実施例1と同じものを用いた。洗浄後の試料におけるフ
ラックスの除去率を下記〔表1〕に示す。
Example 4 Size of 140 mm × 100 with the rotation axis passing perpendicularly to the center
A sample (substrate to be cleaned) similar to that of Example 1 was held on a glass epoxy resin holding plate having a thickness of 2 mm and a thickness of 2 mm as shown in FIG. 3, and the distance between the holding plates (along the rotation axis). Direction is set to 5 mm, the height of the liquid surface of the liquid phase in the cleaning tank is set to a height in contact with the rotating shaft, and the rotating shaft is set at the glass center point (glass and glass epoxy resin) of the object to be cleaned. Adhesive part)
The cleaning was performed at 60 ° C. for 10 minutes while rotating at a speed (linear speed) of 2 m / s. As a cleaning solution,
The same one as in Example 1 was used. The removal rate of the flux in the sample after washing is shown in the following [Table 1].

【0058】実施例5 各被洗浄物の間隔(回転軸の軸方向に沿った方向の間
隔)を9mmとした他は、実施例4と同様にして洗浄を
行った。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下記
〔表1〕に示す。
Example 5 Cleaning was carried out in the same manner as in Example 4, except that the distance between the objects to be cleaned (the distance along the axis of the rotating shaft) was 9 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0059】実施例6 各被洗浄物の間隔(回転軸の軸方向に沿った方向の間
隔)を14mmとした他は、実施例4と同様にして洗浄
を行った。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下
記〔表1〕に示す。
Example 6 Cleaning was carried out in the same manner as in Example 4, except that the distance between the objects to be cleaned (the distance along the axis of the rotating shaft) was 14 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0060】比較例4 被洗浄物保持治具を装着した回転軸を、該洗浄槽中の液
相に対して略垂直に配設し、被洗浄物が常時液中に存在
するようにした以外は、実施例4と同様にして洗浄を行
った。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下記
〔表1〕に示す。
COMPARATIVE EXAMPLE 4 A rotating shaft equipped with a jig for holding an object to be cleaned was arranged substantially perpendicular to the liquid phase in the cleaning tank so that the object to be cleaned was always present in the liquid. Was washed in the same manner as in Example 4. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0061】比較例5 各被洗浄物の間隔(回転軸の軸方向に沿った方向の間
隔)を9mmとした他は、比較例4と同様にして洗浄を
行った。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下記
〔表1〕に示す。
Comparative Example 5 Cleaning was carried out in the same manner as in Comparative Example 4, except that the distance between the objects to be cleaned (the distance along the axis of the rotating shaft) was 9 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0062】比較例6 各被洗浄物の間隔(回転軸の軸方向に沿った方向の間
隔)を14mmとした他は、比較例4と同様にして洗浄
を行った。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下
記〔表1〕に示す。
Comparative Example 6 Cleaning was performed in the same manner as in Comparative Example 4, except that the distance between the objects to be cleaned (the distance along the axis of the rotating shaft) was 14 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0063】上記実施例4〜6及び比較例4〜6におけ
るフラックス除去率の被洗浄物間隔に対する依存性を表
すグラフを図7に示した。
FIG. 7 is a graph showing the dependence of the flux removal rate on the distance between the objects to be cleaned in Examples 4 to 6 and Comparative Examples 4 to 6.

【0064】実施例7 実施例1と同様な試料を、図4(a)に示す被洗浄物保
持治具で図4(a)に示す如く保持し、各被洗浄物の間
隔(回転軸の軸方向に沿った方向の間隔)を5mmと
し、洗浄槽内の液相の液面の高さを回転軸に接する高さ
に設定し、該回転軸を、被洗浄物のガラス中心点(ガラ
スとガラスエポキシ樹脂との接着部)における速度(線
速度)が2m/sとなるように回転させて60℃で10
分間洗浄を行った。洗浄後の試料におけるフラックスの
除去率を下記〔表1〕に示す。
Example 7 A sample similar to that of Example 1 was held as shown in FIG. 4A by a jig for holding an object to be cleaned as shown in FIG. The height of the liquid surface of the liquid phase in the cleaning tank is set to a height in contact with the rotating shaft, and the rotating shaft is set at the glass center point (glass) of the object to be cleaned. At a temperature of 60 ° C. and at a speed (linear velocity) of 2 m / s.
Washing was performed for minutes. The removal rate of the flux in the sample after washing is shown in the following [Table 1].

【0065】実施例8 被洗浄物の間隔を9mmとした他は、実施例7と同様に
して洗浄を行った。洗浄後の試料におけるフラックス除
去率を下記〔表1〕に示す。
Example 8 Cleaning was performed in the same manner as in Example 7, except that the distance between the objects to be cleaned was 9 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0066】実施例9 被洗浄物の間隔を14mmとした他は、実施例7と同様
にして洗浄を行った。洗浄後の試料におけるフラックス
除去率を下記〔表1〕に示す。
Example 9 Cleaning was performed in the same manner as in Example 7, except that the distance between the objects to be cleaned was 14 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0067】比較例7 被洗浄物保持治具を装着した回転軸を、該洗浄槽中の液
相に対して略垂直に配設し、被洗浄物が常時液中に存在
するようにした以外は、実施例7と同様にして洗浄を行
った。洗浄後の試料におけるフラックス除去率を下記
〔表1〕に示す。
COMPARATIVE EXAMPLE 7 A rotating shaft equipped with a jig for holding an object to be cleaned was disposed substantially perpendicular to the liquid phase in the cleaning tank, so that the object to be cleaned was always present in the liquid. Was washed in the same manner as in Example 7. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0068】比較例8 被洗浄物の間隔を9mmとした他は、比較例7と同様に
して洗浄を行った。洗浄後の試料におけるフラックス除
去率を下記〔表1〕に示す。
Comparative Example 8 Cleaning was performed in the same manner as in Comparative Example 7, except that the distance between the objects to be cleaned was 9 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0069】比較例9 被洗浄物の間隔を14mmとした他は、比較例7と同様
にして洗浄を行った。洗浄後の試料におけるフラックス
除去率を下記〔表1〕に示す。
Comparative Example 9 Cleaning was performed in the same manner as in Comparative Example 7, except that the distance between the objects to be cleaned was 14 mm. The following Table 1 shows the flux removal rate of the washed sample.

【0070】上記実施例7〜9及び比較例7〜9におけ
るフラックス除去率の被洗浄物間隔に対する依存性を表
すグラフを図8に示した。
FIG. 8 is a graph showing the dependence of the flux removal rate on the distance between the objects to be cleaned in Examples 7 to 9 and Comparative Examples 7 to 9.

【0071】[0071]

【表1】 [Table 1]

【0072】尚、上記フラックス除去率は、洗浄前のフ
ラックス充填部分の面積に対する、洗浄後のフラックス
の除去されていた部分の面積の比として算出した。
The flux removal rate was calculated as the ratio of the area of the flux-removed portion after cleaning to the area of the flux-filled portion before cleaning.

【0073】上記〔表1〕及び図6〜8からわかるよう
に、実施例1〜9は、被洗浄物を常時液中に浸したまま
回転させて洗浄した比較例1〜9に比べてフラックス除
去率が大きい。従って、実施例1〜9は、比較例1〜9
に比べて洗浄性が高く、しかも被洗浄物又は保持板間隔
が狭い場合にも液の共回りによる洗浄性の低下は起こら
ない。このため、本発明の洗浄方法によれば、その高洗
浄性により時間短縮がなされ、更に同一空間内で処理で
きる被洗浄物の数を多くできるため生産性の向上が期待
できる。
As can be seen from Table 1 and FIGS. 6 to 8, the fluxes of Examples 1 to 9 are higher than those of Comparative Examples 1 to 9 in which the object to be cleaned is rotated while being constantly immersed in the liquid. Large removal rate. Therefore, Examples 1 to 9 are comparative examples 1 to 9.
The cleaning performance is higher than that of the above, and even when the object to be cleaned or the spacing between the holding plates is narrow, the cleaning performance does not decrease due to the co-rotation of the liquid. For this reason, according to the cleaning method of the present invention, the time is reduced by the high cleaning property, and the number of objects to be cleaned that can be processed in the same space can be increased, so that an improvement in productivity can be expected.

【0074】実施例10 大きさ140mm×100mmのロジン系フラックスで
処理したプリント配線基板を、図1に示す被洗浄物保持
治具で図1に示す如く保持し、実施例1と同様にして洗
浄工程を実施した。次いで、水道水をすすぎ液として用
いて、洗浄工程と同様にしてすすぎ工程(予備すすぎ)
を実施し、最後に純水をすすぎ液として用いて洗浄工程
と同様にしてすすぎ工程(仕上げすすぎ)を実施した。
その後、洗浄の効果を調べるため、MIL−P−288
09に従って洗浄性試験を行い、オメガメータ(日本α
メタル製、600R−SC)により、イオン残渣の測定
を行った結果、その測定値は、0.5μg/in2 であ
り、本発明の洗浄方法は、イオン残渣の許容値14μg
/in2 をクリアする良好な洗浄性が発揮されたことが
わかった。
Example 10 A printed wiring board treated with a rosin flux having a size of 140 mm × 100 mm was held as shown in FIG. 1 by a jig for holding an object to be washed shown in FIG. The process was performed. Next, using tap water as a rinsing liquid, a rinsing step (preliminary rinsing) in the same manner as the washing step.
And finally, a rinsing step (finish rinsing) was performed in the same manner as the washing step using pure water as a rinsing liquid.
Then, to examine the effect of washing, MIL-P-288 was used.
09, and the omegameter (Japan α
As a result of measuring the ion residue using a metal (600R-SC), the measured value was 0.5 μg / in 2 , and the cleaning method of the present invention showed that the allowable value of the ion residue was 14 μg.
It was found that good detergency to clear / in 2 was exhibited.

【0075】[0075]

【発明の効果】本発明の電子部品又は精密部品類の洗浄
方法によれば、被洗浄物の汚れを短時間で、簡便に且つ
効率よく除去でき、また、多くの被洗浄物の処理が可能
である。更に洗浄工程またはすすぎ工程において効率よ
く簡便に液切りがなされるため、洗浄剤の使用量、排水
負荷の低減及び乾燥時間の短縮化を図ることができる。
従って、経済的且つ生産性の高い洗浄を行うことができ
る。
According to the method for cleaning electronic parts or precision parts of the present invention, dirt on the object to be cleaned can be easily and efficiently removed in a short time, and a large number of objects to be cleaned can be processed. It is. Furthermore, since the liquid is drained efficiently and simply in the washing step or the rinsing step, the amount of the detergent used, the drainage load and the drying time can be reduced.
Therefore, economical and highly productive cleaning can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、回転軸に鉛直に固定された保持杆と該
保持杆の先端に設けられ上記被洗浄物を挟持する保持部
とからなる被洗浄物保持治具の一例を示す斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a cleaning object holding jig including a holding rod fixed vertically to a rotation shaft and a holding portion provided at a tip of the holding rod and holding the cleaning object. FIG.

【図2】図2は、上記回転軸に直交させ且つ上記回転軸
を貫通させて上記回転軸に嵌装された保持板と該保持板
の外部に設けられた上記被洗浄物を保持する保持部とを
具備する被洗浄物保持治具の一例を示す斜視図である。
FIG. 2 is a view showing a holding plate which is orthogonal to the rotating shaft and penetrates the rotating shaft and is fitted to the rotating shaft and a holding member provided outside the holding plate for holding the object to be cleaned; FIG. 6 is a perspective view showing an example of a jig for holding an object to be cleaned, comprising:

【図3】図3は、上記回転軸に直交させ且つ上記回転軸
を貫通させて上記回転軸に嵌装された保持板と該保持板
の内部に設けられた上記被洗浄物を保持する保持部とを
具備する被洗浄物保持治具の一例を示す斜視図である。
FIG. 3 is a view showing a holding plate which is orthogonal to the rotating shaft and penetrates the rotating shaft and is fitted to the rotating shaft and a holding member provided inside the holding plate for holding the object to be cleaned; FIG. 6 is a perspective view showing an example of a jig for holding an object to be cleaned, comprising:

【図4】図4(a)は、回転軸が断続されている場合に
おいて、該回転軸に直交させて回転軸の断続部に嵌装さ
れた一対の保持板と該保持板間に架装された複数の保持
杆とからなり、該保持杆に上記被洗浄物を保持する複数
の保持部を設けてなる被洗浄物保持治具の一例を示す斜
視図である。図4(b)は、上記回転軸に直交させ且つ
上記回転軸を貫通させて上記回転軸に嵌装された一対の
保持板と該保持板間に架装された複数の保持杆とからな
り、該保持杆に上記被洗浄物を保持する複数の保持部を
設けてなる被洗浄物保持治具の一例を示す斜視図であ
る。
FIG. 4 (a) shows a pair of holding plates which are fitted to intermittent portions of the rotating shaft at right angles to the rotating shaft when the rotating shaft is intermittent, and which are mounted between the holding plates. FIG. 5 is a perspective view showing an example of a jig for holding an object to be cleaned which includes a plurality of holding rods provided and a plurality of holding portions for holding the object to be cleaned provided on the holding rod. FIG. 4 (b) includes a pair of holding plates that are orthogonal to the rotating shaft and penetrate the rotating shaft and fitted to the rotating shaft, and a plurality of holding rods mounted between the holding plates. FIG. 4 is a perspective view showing an example of a jig for holding an object to be cleaned, in which the holding rod is provided with a plurality of holding portions for holding the object to be cleaned.

【図5】図5(a)は、実施例1〜9及び比較例1〜9
で用いた試料を示す平面図であり、図5(b)は、その
側面図である。
FIG. 5 (a) shows Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 9
FIG. 5B is a plan view showing the sample used in FIG. 5, and FIG. 5B is a side view thereof.

【図6】図6は、実施例1〜3及び比較例1〜3におけ
るフラックス除去率の被洗浄物間隔に対する依存性を表
すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing the dependence of the flux removal rate on the distance between objects to be cleaned in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3.

【図7】図7は、実施例4〜6及び比較例4〜6におけ
るフラックス除去率の保持板間隔に対する依存性を表す
グラフである。
FIG. 7 is a graph showing the dependence of the flux removal rate on the spacing between holding plates in Examples 4 to 6 and Comparative Examples 4 to 6.

【図8】図8は、実施例7〜9及び比較例7〜9におけ
るフラックス除去率の被洗浄物間隔に対する依存性を表
すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing the dependence of the flux removal rate on the distance between objects to be cleaned in Examples 7 to 9 and Comparative Examples 7 to 9.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被洗浄物 2 回転軸 3 被洗浄物保持治具 4 保持杆 5 保持部 6 挟持用ネジ 13 被洗浄物保持治具 14 保持板 15 保持部 16 留め具 17 留め具固定棒 18 留め具固定ネジ 23 被洗浄物保持治具 24 保持板 25a保持部 25b保持部 33 被洗浄物保持治具 34 保持板 35 保持杆 36 保持部 43 被洗浄物保持治具 44 保持板 45 保持杆 46 保持部 51 ガラスエポキシ樹脂 52 ガラス 53 中心部 54 フラックス 55 試料 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 To-be-cleaned object 2 Rotation axis 3 To-be-cleaned object holding jig 4 Holding rod 5 Holding part 6 Nipping screw 13 To-be-cleaned object holding jig 14 Holding plate 15 Holding part 16 Fastening 17 Fastening fixing rod 18 Fastening fixing screw 23 Cleaning object holding jig 24 Holding plate 25a holding section 25b holding section 33 Cleaning object holding jig 34 Holding plate 35 Holding rod 36 Holding section 43 Cleaning object holding jig 44 Holding plate 45 Holding rod 46 Holding section 51 Glass Epoxy resin 52 Glass 53 Central part 54 Flux 55 Sample

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭48−27876(JP,A) 特開 平4−197478(JP,A) 特開 昭63−221625(JP,A) 実開 昭61−191188(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B08B 3/04 - 3/12 H05K 3/26 H01L 21/304 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-48-27876 (JP, A) JP-A-4-197478 (JP, A) JP-A-63-221625 (JP, A) 191188 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B08B 3/04-3/12 H05K 3/26 H01L 21/304

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 洗浄液による一回以上の洗浄工程及び/
又はすすぎ液による一回以上のすすぎ工程を有する、電
子部品又は精密部品類の洗浄方法において、上記洗浄液
又は上記すすぎ液を仕込んだ洗浄槽に、被洗浄物保持治
具を装備した回転軸を上記洗浄槽中の液相に対して略水
平に配設し、被洗浄物を上記被洗浄物保持治具により保
持し、該被洗浄物を、上記回転軸を回転させることによ
り上記液相中と気相中とを交互に繰り返し通過させて洗
浄することを特徴とする電子部品又は精密部品類の洗浄
方法。
1. One or more cleaning steps with a cleaning liquid and / or
Or a method of cleaning electronic components or precision parts having one or more rinsing steps with a rinsing liquid, wherein the cleaning liquid or the cleaning tank charged with the rinsing liquid includes a rotating shaft equipped with a jig for holding an object to be cleaned. The cleaning object is disposed substantially horizontally with respect to the liquid phase in the cleaning tank, the object to be cleaned is held by the jig for holding the object to be cleaned, and the object to be cleaned is separated from the liquid phase by rotating the rotating shaft. A method for cleaning electronic parts or precision parts, characterized by alternately and repeatedly passing through a gaseous phase for cleaning.
【請求項2】 上記被洗浄物保持治具が、上記回転軸に
鉛直に固定された保持杆と該保持杆の先端に設けられ上
記被洗浄物を挟持する保持部とからなることを特徴とす
る請求項1記載の電子部品又は精密部品類の洗浄方法。
2. The object-to-be-cleaned holding jig comprises a holding rod vertically fixed to the rotating shaft and a holding portion provided at a tip of the holding rod and holding the object to be cleaned. The method for cleaning electronic parts or precision parts according to claim 1.
【請求項3】 上記被洗浄物保持治具が、上記回転軸に
直交させ且つ上記回転軸を貫通させて上記回転軸に嵌装
された保持板と該保持板の内部又は外部に設けられた上
記被洗浄物を保持する保持部とを具備することを特徴と
する請求項1記載の電子部品又は精密部品類の洗浄方
法。
3. The holding jig for holding an object to be cleaned is provided at right angles to the rotation axis and through the rotation axis so as to be fitted to the rotation axis and inside or outside the holding plate. The method for cleaning electronic components or precision components according to claim 1, further comprising a holding unit that holds the object to be cleaned.
【請求項4】 上記被洗浄物保持治具が、上記回転軸に
直交させて嵌装された一対の保持板と該保持板間に架装
された複数の保持杆とからなり、該保持杆に上記被洗浄
物を保持する複数の保持部を設けてなることを特徴とす
る請求項1記載の電子部品又は精密部品類の洗浄方法。
4. The jig for holding an object to be cleaned comprises a pair of holding plates fitted perpendicularly to the rotation axis and a plurality of holding bars mounted between the holding plates. 2. The method for cleaning electronic parts or precision parts according to claim 1, further comprising a plurality of holding portions for holding the object to be cleaned.
【請求項5】 被洗浄物が板状体である請求項1〜4の
何れか1項に記載の電子部品又は精密部品類の洗浄方
法。
5. The method for cleaning electronic components or precision components according to claim 1, wherein the object to be cleaned is a plate.
【請求項6】 板状体がプリント配線基板である請求項
5記載の電子部品又は精密部品類の洗浄方法。
6. The method for cleaning electronic parts or precision parts according to claim 5, wherein the plate is a printed wiring board.
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