JP3003282B2 - Circuit inspection equipment - Google Patents
Circuit inspection equipmentInfo
- Publication number
- JP3003282B2 JP3003282B2 JP3156714A JP15671491A JP3003282B2 JP 3003282 B2 JP3003282 B2 JP 3003282B2 JP 3156714 A JP3156714 A JP 3156714A JP 15671491 A JP15671491 A JP 15671491A JP 3003282 B2 JP3003282 B2 JP 3003282B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- voltage
- diode bridge
- data
- module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えばＬＳＩ等の負荷
特性を検査する回路検査装置に関し、更に詳しくは、負
荷特性を精度よく測定することができる回路検査装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit inspection apparatus for inspecting a load characteristic of, for example, an LSI or the like, and more particularly, to a circuit inspection apparatus capable of accurately measuring a load characteristic.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図３は、従来の回路検査装置の構成ブロ
ック図である。図中、１０はリファレンス電圧発生器
で、アンプ２０を介してアクティブロ−ド３０に接続さ
れている。 アクティブロ−ド３０は、ダイオ−ドブリ
ッジ３１のアノ−ド側の共通接続点に第１の定電流源Ｃ
Ｃ1 が接続されていて、カソ−ド側の共通接続点に第２
の定電流源ＣＣ2 が接続されている。2. Description of the Related Art FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of a conventional circuit inspection apparatus. In the figure, reference numeral 10 denotes a reference voltage generator, which is connected to an active load 30 via an amplifier 20. The active load 30 has a first constant current source C at a common connection point on the anode side of the diode bridge 31.
C1 is connected and the second common connection point on the cathode side is
Is connected to the constant current source CC2.
【０００３】４０はアクティブロ−ド３０の出力端子に
接続された被検査対象物（以下、ＤＵＴという）であ
る。第１、第２の定電流源ＣＣ1,2 は、外部から印加さ
れる電圧によって電流値が制御できるようになってい
て、リファレンス電圧発生器１０がアクティブロ−ド３
０に印加するコミュテ−ション電圧ＶCOM に基づいて、
ＤＵＴ４０に電流ＩOLを供給したり、ＤＵＴ４０から電
流ＩOHを流出したりする。Reference numeral 40 denotes an object to be inspected (hereinafter referred to as a DUT) connected to an output terminal of the active load 30. The first and second constant current sources CC1 and CC2 have their current values controlled by an externally applied voltage.
Based on the commutation voltage VCOM applied to 0,
The current IOL is supplied to the DUT 40, and the current IOH flows out of the DUT 40.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】このような従来の回路
検査装置は、ダイオ−ドブリッジを構成するダイオ−ド
の特性にバラツキがあるために、ＤＵＴの負荷試験を行
う電圧ＶDUT とリファレンス電圧発生器から印加される
コミュテ−ション電圧ＶCOM との間に誤差を生じるとい
う問題点があった。In such a conventional circuit inspection apparatus, a voltage VDUT for performing a load test on a DUT and a reference voltage generator are used because the characteristics of the diodes constituting the diode bridge vary. However, there is a problem that an error occurs between the communication voltage VCOM and the commutation voltage VCOM.
【０００５】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、直流モジュ−ルによってダイオ−ドブリッジの
出力端子側から基準電圧を印加し、コミュテ−ション電
圧ＶCOM を補正するようにしたもので、ＤＵＴの負荷特
性を精度よく測定することができる回路検査装置を提供
すること目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has been made to correct a commutation voltage VCOM by applying a reference voltage from an output terminal side of a diode bridge by a DC module. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a circuit inspection device capable of accurately measuring a load characteristic of a DUT.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、ダイオ−ドブリッジのアノ−ド側
の共通接続点に第１の定電流源を接続するとともに、カ
ソ−ド側の共通接続点に第２の定電流源を接続し、前記
ダイオ−ドブリッジの出力端子に接続した被検査対象物
に一定電流を供給及び流出するアクティブロ−ドと、前
記ダイオ−ドブリッジの入力端子に、前記被検査対象物
に流す電流のスレッショルドとなるコミュテ−ション電
圧を印加する基準電圧発生器と、前記ダイオ−ドブリッ
ジの出力端子にスイッチ手段を介して接続され、任意の
電圧を設定するとともに、電流を測定することができる
直流モジュ−ルと、を設け、第１、第２の電流源の電流
値が等しい状態で、前記直流モジュ−ルが印加した電圧
に対し、前記直流モジュ−ルが検出する電流がゼロとな
るよう前記基準電圧発生器の電圧を可変し、この時のデ
−タに基づいてコミュテ−ション電圧の補正係数を求
め、正確なコミュテ−ション電圧で前記被検査対象物に
検査電流を供給及び流出することを特徴としている。In order to achieve the above object, according to the present invention, a first constant current source is connected to a common connection point on the anode side of a diode bridge, and a cathode is provided. A second constant current source is connected to the common connection point on the side, an active load for supplying and flowing a constant current to an object to be inspected connected to an output terminal of the diode bridge, and an input of the diode bridge. A reference voltage generator for applying a commutation voltage serving as a threshold of a current flowing to the object to be inspected to a terminal, and an output terminal of the diode bridge connected via a switch to set an arbitrary voltage. A DC module capable of measuring a current, wherein the DC current is applied to the voltage applied by the DC module while the current values of the first and second current sources are equal. The voltage of the reference voltage generator is varied so that the current detected by the joule becomes zero, and a correction coefficient of the commutation voltage is obtained based on the data at this time. The present invention is characterized in that an inspection current is supplied to and discharged from an object to be inspected.
【０００７】[0007]
【作用】本発明の回路検査装置は、ＤＣモジュ−ルから
アクティブロ−ドに印加した電圧に対し、コミュテ−シ
ョン電圧を変化させながらアクティブロ−ドのアンバラ
ンスを補正し、正確な電圧のもとで負荷特性が測定する
ことができる。The circuit inspection apparatus according to the present invention corrects the imbalance of the active load while changing the commutation voltage with respect to the voltage applied from the DC module to the active load, thereby obtaining an accurate voltage. The load characteristics can then be measured.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳細
に説明する。図１は、本発明の一実施例を示す回路検査
装置の構成ブロック図である。図中、図２と同一作用を
するものは同一符号を付けて説明する。以下、図面にお
いては同様とする。An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a circuit inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. In the figure, components having the same functions as those in FIG. 2 are described with the same reference numerals. Hereinafter, the same applies to the drawings.
【０００９】１１はアクティブロ−ド３０に設定するコ
ミュテ−ション電圧ＶCOM の電圧デ−タを補正するデ−
タ補正部である。デ−タ補正部１１において、１１1 は
ＣＰＵ５０にアドレスバス５１、デ−タバス５２を介し
て接続されているデ−タセレクタで、ＣＰＵ５０からコ
ミュテ−ション電圧ＶCOM の電圧デ−タＤＡ1 と、この
電圧デ−タＤＡ1 のゲイン及びオフセットを補正する補
正デ−タＤＡ2,3 が入力される。Reference numeral 11 denotes data for correcting the voltage data of the commutation voltage VCOM set in the active load 30.
Data correction unit. In the data correction section 11, reference numeral 111 denotes a data selector which is connected to the CPU 50 via an address bus 51 and a data bus 52. The data selector 11 receives the voltage data DA1 of the communication voltage VCOM from the CPU 50 and the voltage data DA1. -Correction data DA2,3 for correcting the gain and offset of the data DA1 are input.
【００１０】デ−タセレクタ１１1 は、電圧デ−タＤＡ
1 を第１のレジスタ１１2 に出力するとともに、ゲイン
補正デ−タＤＡ2 を第２のレジスタ１１3 に出力し、オ
フセット補正デ−タＤＡ3 を第３のレジスタ１１4 に出
力する。The data selector 111 is connected to the voltage data DA.
1 is output to the first register 112, the gain correction data DA2 is output to the second register 113, and the offset correction data DA3 is output to the third register 114.
【００１１】１１5 は各レジスタ１１1,2,3 から入力さ
れたデ−タＤ1,2,3 に基づいて補正演算を行う補正演算
器で、例えば、ＤＡ1 ＊ＤＡ2 ＋ＤＡ3 のような演算を
行いその結果をＤＡ変換器１２に出力する。ＤＡ変換器
１２は、アナログ変換したデ−タを増幅器１３を介して
ダイオ−ドブリッジ３１の入力端子ａにコミュテ−ショ
ン電圧ＶCOMとして印加する。１４は電流調節手段で、
アクティブロ−ド３０内の第１、第２の電流源ＣＣ1,2
が出力する電流ＩOL,OH の大きさを調節する。Reference numeral 115 denotes a correction calculator for performing a correction operation based on the data D1,2,3 inputted from each of the registers 111,2,3, for example, an operation such as DA1 * DA2 + DA3, and the result thereof is obtained. Is output to the DA converter 12. The DA converter 12 applies the analog-converted data to the input terminal a of the diode bridge 31 via the amplifier 13 as the communication voltage VCOM. 14 is a current regulating means.
First and second current sources CC1,2 in active load 30
Adjusts the magnitude of the current IOL, OH output by.
【００１２】６０は直流モジュ−ル（以下ＤＣモジュ−
ルと省略する）で、ＤＵＴ４０の負荷試験を行う電圧Ｖ
DUT とリファレンス電圧発生器１０から印加されるコミ
ュテ−ション電圧ＶCOM との間の誤差を補正するために
もので、リレ−６１を介してダイオ−ドブリッジ３１の
出力端子ｂに接続されている。ＤＣモジュ−ル６０は、
アドレスバス５１、デ−タバス５２を介してＣＰＵ５０
に接続されていて、ＣＰＵ５０の制御によって電圧ＶDC
を出力端子ｂに設定し、出力端子ｂ間に流れる電流測定
ＩDCを測定する。Reference numeral 60 denotes a DC module (hereinafter referred to as a DC module).
And the voltage V at which the load test of the DUT 40 is performed.
This is for correcting an error between the DUT and the commutation voltage VCOM applied from the reference voltage generator 10, and is connected to the output terminal b of the diode bridge 31 via the relay 61. The DC module 60 is
CPU 50 via address bus 51 and data bus 52
And the voltage VDC under the control of the CPU 50.
Is set to the output terminal b, and a current measurement IDC flowing between the output terminals b is measured.
【００１３】ＤＣモジュ−ル６０は、ＤＵＴ４０を切り
離した状態でリレ−６１がオンされると、ＣＰＵ５０の
命令に基づいて任意の電圧ＶDCを出力端子ｂ印加すると
ともに、入力端子ａに印加されるコミュテ−ション電圧
ＶCOMとの関係によって変化する電流値ＩDCを連続的に
測定する。ＣＰＵ５０は、このＤＣモジュ−ル６０が得
た電流値ＩDCに基づいて第２、３のレジスタ１１3,4 の
デ−タＤＡ2,3 を変化させて、コミュテ−ション電圧Ｖ
COM を補正する。When the relay 61 is turned on with the DUT 40 disconnected from the DC module 60, the DC module 60 applies an arbitrary voltage VDC to the output terminal b and to the input terminal a based on a command from the CPU 50. The current value IDC that changes according to the relationship with the commutation voltage VCOM is continuously measured. The CPU 50 changes the data DA2,3 of the second and third registers 113,4 based on the current value IDC obtained by the DC module 60, and
Correct COM.
【００１４】次に、このように構成された回路検査装置
の動作について説明する。先ず、検査するＤＵＴを取り
外した状態で、第１の定電流源ＣＣ1 と第２の定電流源
ＣＣ2 の電流値を等しい状態（ＩOL＝ＩOH）に設定し、
リレ−６１をオンにする。次に、ＣＰＵ５０は、ＤＣモ
ジュ−ル６０に０Ｖを印加する命令を与えるとともに、
コミュテ−ション電圧ＶCOM の補正にともなって変化す
る電流値ＩDCを測定する命令を与える。Next, the operation of the circuit inspection apparatus thus configured will be described. First, with the DUT to be inspected removed, the current values of the first constant current source CC1 and the second constant current source CC2 are set to the same state (IOL = IOH),
Turn on relay 61. Next, the CPU 50 gives a command to apply 0 V to the DC module 60,
An instruction to measure a current value IDC that changes with the correction of the commutation voltage VCOM is given.
【００１５】一方、ＣＰＵ５０は、第１のレジスタ１１
2 にコミュテ−ション電圧ＶCOM を実際に０Ｖするデ−
タＤＡ1 を設定するとともに、第２のレジスタ１１3 に
ゲイン×１となるデ−タＤＡ2 を設定する。そして、Ｄ
Ｃモジュ−ル６０の測定する電流値ＩDCが０ｍＡになる
ように第３のレジスタ１１4 のオフセットのデ−タＤＡ
3 の設定を変化させ、コミュテ−ション電圧ＶCOM を補
正する。そして、ＣＰＵ５０は、電流値ＩDCが０ｍＡに
なった時のオフセットのデ−タＤＡ3 をメモリに記憶す
る。On the other hand, the CPU 50
2 shows the data for actually setting the communication voltage VCOM to 0V.
The data DA1 is set, and the data DA2 having a gain of 1 is set in the second register 113. And D
The offset data DA of the third register 114 is set so that the current value IDC measured by the C module 60 becomes 0 mA.
Change the setting of 3 to correct the commutation voltage VCOM. Then, the CPU 50 stores the offset data DA3 when the current value IDC becomes 0 mA in the memory.
【００１６】オフセットの設定が完了すると、ＤＣモジ
ュ−ル６０は、ＣＰＵ５０の命令に基づいて、５Ｖの電
圧をダイオ−ドブリッジ３１の出力端子ｂに印加する。
次に、ＣＰＵ５０は、第１のレジスタ１１2 にコミュテ
−ション電圧ＶCOM を実際に５Ｖにするデ−タＤＡ1 を
設定するとともに、ＤＣモジュ−ル６０の測定する電流
値ＩDCが０ｍＡとなるように第２のレジスタ１１3 のゲ
インのデ−タＤＡ2 の設定を変化させる。そして、ＣＰ
Ｕ５０は、電流値Ｉが０ｍＡになった時のゲインのデ−
タＤＡ2をメモリに記憶する。When the setting of the offset is completed, the DC module 60 applies a voltage of 5 V to the output terminal b of the diode bridge 31 based on a command from the CPU 50.
Next, the CPU 50 sets the data DA1 for actually setting the commutation voltage VCOM to 5 V in the first register 112, and sets the current value IDC measured by the DC module 60 to 0 mA. The setting of the gain data DA2 of the second register 113 is changed. And CP
U50 is the gain data when the current value I becomes 0 mA.
Data DA2 is stored in the memory.
【００１７】以上のようにして得たゲイン及びオフセッ
トの補正デ−タＤ2,3 によって、ＣＰＵ５０は、例え
ば、０〜５Ｖの間のコミュテ−ション電圧ＶCOM を補正
し、アクティブロ−ド３０に出力する。尚、本実施例に
おいては、ゲインとオフセットデ−タＤＡ2,3 を求めて
コミュテ−ション電圧ＶCOM を補正するようにしている
が、ＤＵＴ４０の負荷試験を行う電圧ＶDUT 毎に補正を
行うこともできる。With the gain and offset correction data D2,3 obtained as described above, the CPU 50 corrects the commutation voltage VCOM between 0 and 5 V, for example, and outputs it to the active load 30. I do. In this embodiment, the gain and the offset data DA2,3 are obtained to correct the commutation voltage VCOM. However, the correction may be performed for each voltage VDUT for performing a load test of the DUT 40. .
【００１８】図２は、アクティブロ−ドを抽出して示し
た回路図で、第１の定電流源ＣＣ1と第２の定電流源Ｃ
Ｃ2 の電流値が等しい状態で補正することの妥当性につ
いてこの図を用いて説明する。図中、Ｄ1 〜4 はダイオ
−ドで、それぞれに流れる電流をＩ1 〜4 とすると、各
ダイオ−ドには次式（１）に示すような電流が流れる。
尚、ＩS はダイオ−ドの逆方向飽和電流、ｋはボルトマ
ン定数、ｑは電荷、ＶD はダイオ−ドに印加される順方
向の電圧である。FIG. 2 is a circuit diagram showing the active load extracted from the first constant current source CC1 and the second constant current source C.
The validity of the correction in the state where the current values of C2 are equal will be described with reference to FIG. In the drawing, D1 to D4 are diodes, and if currents flowing through the diodes are I1 to I4, a current shown by the following equation (1) flows through each diode.
IS is the reverse saturation current of the diode, k is the Boltman constant, q is the charge, and VD is the forward voltage applied to the diode.
【数１】 (Equation 1)
【００１９】第１、２の定電流源ＣＣ1,2 の電流値が等
しい場合（ＩOL＝ＩOH） ダイオ−ドＤ1 に流れる電流Ｉ1 とダイオ−ドＤ3 に流
れる電流Ｉ3 が等しく、ダイオ−ドＤ2 に流れる電流Ｉ
2 とダイオ−ドＤ4 に流れる電流Ｉ4 が等しくなる。 The current values of the first and second constant current sources CC1, 2 are equal.
(IOL = IOH) The current I1 flowing in the diode D1 is equal to the current I3 flowing in the diode D3, and the current I3 flowing in the diode D2 is equal.
2 and the current I4 flowing through the diode D4 become equal.
【数２】 それぞれの式の自然対数をとって、（２）式から（３）
式を減算すると（４）式が得られる。(Equation 2) Taking the natural logarithm of each expression, from expression (2) to expression (3)
When the expression is subtracted, the expression (4) is obtained.
【数３】 ＶDUT に加算されている部分がＩOL＝ＩOHの時のオフセ
ット電圧を示す項である。しかしながら、ＩOL、ＩOHの
一方が非常に大きな場合は、次のような結果になる。(Equation 3) The portion added to VDUT is a term indicating the offset voltage when IOL = IOH. However, when one of IOL and IOH is very large, the following result is obtained.
【００２０】第１の電流源ＣＣ1 の電流値ＩOLが第２の
電流源ＣＣ2 に対して非常に大きな場合（ＩOL》ＩOH） ダイオ−ドＤ3,4 に流れる電流は無視でき、ダイオ−ド
Ｄ1,2 には、次式（５）に示すような電流が流れること
になる。 The current value IOL of the first current source CC1 is
When the current is very large with respect to the current source CC2 (IOL >> IOH) , the current flowing in the diodes D3,4 can be ignored, and the current shown in the following equation (5) flows in the diodes D1,2. become.
【数４】 式（５）の自然対数をとってＶCOM について整理すると
次式（６）に示すようになる。(Equation 4) Taking the natural logarithm of equation (5) and rearranging VCOM results in the following equation (6).
【数５】 ＶDUT に加算されている部分がＩOL》ＩOHの時のオフセ
ット電圧を示す項である。(Equation 5) The portion added to VDUT is a term indicating the offset voltage when IOL >> IOH.
【００２１】第２の電流源ＣＣ2 の電流値ＩOHが第１の
電流源ＣＣ1 に対して非常に大きな場合（ＩOL《ＩOH） ダイオ−ドＤ1,2 に流れる電流は無視でき、ダイオ−ド
Ｄ3,4 には、次式（７）に示すような電流が流れること
になる。 The current value IOH of the second current source CC2 is
When the current source CC1 is very large (IOL << IOH) , the current flowing in the diodes D1,2 can be ignored, and the current shown in the following equation (7) flows in the diodes D3,4. become.
【数６】 式（７）の自然対数をとってＶCOM について整理すると
次式（８）に示すようになる。(Equation 6) When the natural logarithm of equation (7) is taken and VCOM is rearranged, the following equation (8) is obtained.
【数７】 ＶDUT に加算されている部分がＩOL《ＩOHの時のオフセ
ット電圧を示す項である。式（４）、（６）、（８）か
ら分かるように、式（４）で示されたオフセットは、式
（６）と（８）のオフセットの中心値であることが分か
る。以上のように、本発明の回路検査装置は、オフセッ
トが最大変化する範囲の中心でオフセットを補正するの
で、逆特性にならない限り補正誤差が小さいことが分か
る。(Equation 7) The portion added to VDUT is a term indicating the offset voltage when IOL << IOH. As can be seen from equations (4), (6) and (8), it can be seen that the offset shown in equation (4) is the center value of the offsets in equations (6) and (8). As described above, since the circuit inspection apparatus of the present invention corrects the offset at the center of the range where the offset changes maximum, it can be seen that the correction error is small as long as the characteristics are not reversed.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の回
路検査装置は、ＤＣモジュ−ルによってアクティブロ−
ドに印加した電圧に対し、第１、第２の電流源の電流値
が等しい状態で、コミュテ−ション電圧ＶCOM を変化さ
せながらアクティブロ−ドのアンバランスを補正するよ
うにしたものであるため補正誤差が少なく、精度よくＤ
ＵＴの負荷特性を測定することができる。As described in detail above, the circuit inspection apparatus of the present invention is active-low by a DC module.
In the state where the current values of the first and second current sources are equal to the voltage applied to the load, the imbalance of the active load is corrected while changing the communication voltage VCOM. Low correction error and accurate D
The load characteristics of the UT can be measured.
【図１】本発明の一実施例を示す回路検査装置の構成ブ
ロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a circuit inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】アクティブロ−ドを抽出して示した回路図であ
る。FIG. 2 is a circuit diagram showing an extracted active load.
【図３】従来の回路検査装置の構成ブロック図である。FIG. 3 is a configuration block diagram of a conventional circuit inspection device.
１０ リファレンス電圧発生器 ５０ ＣＰＵ ６０ ＤＣモジュ−ル 10 Reference voltage generator 50 CPU 60 DC module
Claims (1)
接続点に第１の定電流源を接続するとともに、カソ−ド
側の共通接続点に第２の定電流源を接続し、前記ダイオ
−ドブリッジの出力端子に接続した被検査対象物に一定
電流を供給及び流出するアクティブロ−ドと、前記ダイ
オ−ドブリッジの入力端子に、前記被検査対象物に流す
電流のスレッショルドとなるコミュテ−ション電圧を印
加する基準電圧発生器と、前記ダイオ−ドブリッジの出
力端子にスイッチ手段を介して接続され、任意の電圧を
設定するとともに、電流を測定することができる直流モ
ジュ−ルと、を設け、前記第１、第２の電流源の電流値
が等しい状態で、前記直流モジュ−ルが印加した電圧に
対し、前記直流モジュ−ルが検出する電流がゼロとなる
よう前記基準電圧発生器の電圧を可変し、この時のデ−
タに基づいてコミュテ−ション電圧の補正係数を求め、
正確なコミュテ−ション電圧で前記被検査対象物に検査
電流を供給及び流出する回路検査装置。A first constant current source connected to a common connection point on the anode side of a diode bridge; and a second constant current source connected to a common connection point on the cathode side of the diode bridge. An active load for supplying and flowing a constant current to and from an object to be inspected connected to an output terminal of the diode bridge, and a commutation serving as a threshold for a current flowing through the object to be inspected to an input terminal of the diode bridge. A reference voltage generator for applying a voltage, and a DC module connected to an output terminal of the diode bridge via switch means and capable of setting an arbitrary voltage and measuring a current, When the current values of the first and second current sources are equal to each other, the reference voltage generator generates the reference voltage so that the current detected by the DC module becomes zero with respect to the voltage applied by the DC module. The voltage of the creature is varied, and the data
The correction coefficient of the commutation voltage based on the
A circuit inspection device for supplying and flowing an inspection current to the inspection object with an accurate communication voltage.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3156714A JP3003282B2 (en) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | Circuit inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3156714A JP3003282B2 (en) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | Circuit inspection equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH055770A JPH055770A (en) | 1993-01-14 |
| JP3003282B2 true JP3003282B2 (en) | 2000-01-24 |
Family
ID=15633736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3156714A Expired - Fee Related JP3003282B2 (en) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | Circuit inspection equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3003282B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1491905B1 (en) * | 2003-06-27 | 2008-08-20 | Verigy (Singapore) Pte. Ltd. | Sampling active-load circuit |
-
1991
- 1991-06-27 JP JP3156714A patent/JP3003282B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH055770A (en) | 1993-01-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4119060B2 (en) | Test equipment | |
| US6566857B1 (en) | Testing of digital-to-analog converters | |
| US5448173A (en) | Triple-probe plasma measuring apparatus for correcting space potential errors | |
| JP3119335B2 (en) | IC test equipment | |
| JP3508489B2 (en) | Calibration device for programmable comparator | |
| JP3003282B2 (en) | Circuit inspection equipment | |
| US20160181797A1 (en) | Solar array simulation using common power supplies | |
| CN220693114U (en) | Multiple transconductance amplifier | |
| JPH05273299A (en) | Circuit inspection method | |
| CN110716503A (en) | High-precision thrust servo controller | |
| JP2015148472A (en) | Device for detecting element impedance of oxygen concentration sensor | |
| JP2001144614A (en) | Diagnostic method for digital/analog converter and analog output device | |
| CN220457382U (en) | Comparator circuit capable of being used for comparing large input common mode range with negative voltage | |
| JPH10227837A (en) | Apparatus and method for calibration of test voltage in semiconductor testing device | |
| JP2876844B2 (en) | Output voltage correction circuit for IC tester driver | |
| JPS60247119A (en) | Calibrating device for converter of electromagnetic flowmeter | |
| JPH04370769A (en) | Correction method of voltage and current signal by using a/d converter | |
| JP2001133519A (en) | Device for testing ic | |
| JP2624920B2 (en) | Vertical amplifier calibration system for multi-phenomenon oscilloscope | |
| JP2008096354A (en) | Semiconductor testing apparatus | |
| CN117040458A (en) | Multiple transconductance amplifier | |
| JPS6138469A (en) | Testing circuit for load of low-voltage current source | |
| JP2000304623A (en) | Junction temperature measuring circuit of ic and its measuring method | |
| WO2020137770A1 (en) | Contact resistance measurement device | |
| JP3461258B2 (en) | Apparatus for measuring conductivity or pH |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071119 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081119 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091119 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101119 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |