JP3003124U - 移動体への冷媒移送管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 移動しながら検出する検出機器へ簡単に冷却
冷媒を移送できる可撓性のある移送管を提供する。 【構成】 シリコンゴム製外装管(７)の内側にシリコン
ゴム製内装管(６)を内装管(６)の外周面と外装管(７)の
内周面との間に小間隙(10)を持たせて挿嵌する。小間隙
(10)内に４フッ化エチレン樹脂製螺旋体(11)や高分子被
覆コイルスプリング等の嵌挿体を配置する。この嵌挿体
(11)の内径側周面を内装管(６)の外周面に当接させると
ともに、嵌挿体(11)の外径側周面を外装管(７)の内周面
に当接させて小間隙(11)内にスパイラル状の通路に形成
する。内装管(６)内を冷却冷媒の流通路に形成し、小間
隙(11)内を乾燥ガスの流通路に形成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、蛍光Ｘ線、電子顕微鏡等の分析器での半導体センサー(検出素子)を 冷却するために使用する冷媒の移送管に関し、特に、検出素子を動かして検出作 動を行なう検出機器での移動体への冷媒移送管の改良に関する。

【０００２】

【従来技術】

蛍光Ｘ線、電子顕微鏡等の分析器では、元素分析用として半導体センサー(検 出素子)が使用されている。この半導体センサーは感度特性により、液体窒素等 の液化ガスからなる冷却冷媒で常時冷却されており、また、計測中は常時微駆動 されている。そして、この種の検出機器では、数日間にわたって連続測定するこ とがある。このため、従来の検出機器では、冷却冷媒貯蔵容器から半導体センサ ー等の検出素子を導出し、この冷却冷媒貯蔵容器を検出機器収容室内に移動可能 に配置している。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、出力の大きい分析器では、冷却冷媒(液化ガス)は１日当たり数リッ トルの蒸発があり、冷却冷媒の補充時には測定作業を一時中断し、検出機器収容 室内に配置した冷却冷媒貯蔵容器に冷却冷媒を増し入れする必要がある。ところ が、この種の検出機器では検出作業部を作業しやすい高さに配置し、冷却冷媒貯 蔵容器は検出作業部よりも高い位置に配置されることから、その補給口はより高 い位置に開口することになり、この補給口から液体窒素を増し入れする場合、重 い補給容器を持ち上げなければならず補給作業が重労働になるうえ、液体窒素の 飛散や、結露による水分が滴下して周辺機器類を汚染する等の問題があった。

【０００４】 また、一般的な液化ガスの移送方式として、トランスファーチューブを用いる ものもあるが、この場合、トランスファーチューブは断熱した剛体で構成されて いることから、トランスファーチューブを用いる技術を受け取り容器が移動する 検出機器での冷却冷媒の移送に直接適用することはできなかった。 本考案は、このような点に着目して、移動しながら検出作動する冷却冷媒貯蔵 容器へ簡単に冷却冷媒を移送することができる可撓性のある移送管を提供するこ とを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上述の目的を達成するために本考案は、液体窒素等の冷却冷媒を移送する移送 管を、シリコンゴム製外装管の内側にシリコンゴム製内装管を内装管の外周面と 外装管の内周面との間に小間隙を持たせて挿嵌し、この小間隙内に４フッ化エチ レン樹脂製螺旋体を配置し、この４フッ化エチレン樹脂製螺旋体の内径側周面を 内装管の外周面に当接させるとともに、４フッ化エチレン樹脂製螺旋体の外径側 周面を外装管の内周面に当接させて小間隙内にスパイラル状の通路を形成し、内 装管内を冷却冷媒の流通路に形成するとともに、小間隙内を乾燥ガスの流通路に 形成したことを特徴としている。

【０００６】

【作用】

本考案では、液体窒素等の冷却冷媒を移送する移送管を、シリコンゴム製外装 管の内側にシリコンゴム製内装管を内装管の外周面と外装管の内周面との間に小 間隙を持たせて挿嵌し、この小間隙内に４フッ化エチレン樹脂製螺旋体または高 分子被覆コイルスプリングを配置し、この４フッ化エチレン樹脂製螺旋体の内径 側周面を内装管の外周面に当接させるとともに、４フッ化エチレン樹脂製螺旋体 の外径側周面を外装管の内周面に当接させて小間隙内にスパイラル状の通路を形 成し、内装管内を冷却冷媒の流通路に形成するとともに、小間隙内を乾燥ガスの 流通路に形成しているので、内・外装管の間の間隙が熱侵入の緩衝領域となり、 内装管内を流れる冷却冷媒への外部からの入熱を抑制できるうえ、外装管表面で の結露を防止することができる。また、可撓性復旧が迅速となり、検出素子の移 動に十分対応することができる。

【０００７】

【実施例】 図は本考案の実施例を示し、図１は移送管の縦断面図、図２は使用状態の概略 図である。 図中符号(１)は半導体センサー(２)を連出した液体窒素貯蔵容器、(３)は液体 窒素製造装置であり、半導体センサー(２)や液体窒素貯蔵容器(１)は透明壁で囲 われた分析機器収容室(４)内に配設され、液体窒素製造装置(３)は分析機器収容 室(４)外に配設してある。そして、液体窒素貯蔵容器(１)は半導体センサー(２) と同行移動するようにしてある。

【０００８】 液体窒素貯蔵容器(１)と液体窒素生成槽(４)とは、シリコンゴムで形成した移 送管(５)で接続されている。この移送管(５)はシリコンゴム製内装管(６)の外周 に小間隙へだててシリコンゴム製外装管(７)を挿嵌させた二重管で構成してあり 、内装管(６)の外周面(８)と外装管(７)の内周面(９)との間の間隙(10)に４フッ 化エチレン樹脂製ロッドで形成した螺旋体(11)が配置してある。この螺旋体(11) はその内径側周面を内装管(６)の外周面に当接させるとともに、外径側周面を外 装管(７)の内周面に当接させて、内・外装管(６)(７)間の間隙(10)をスパイラル 状の通路に形成してある。なお、この螺旋体(11)を高分子で被覆したコイルスプ リングで形成してもよい。

【０００９】 内・外装管(６)(７)間に形成された間隙(10)の両端部は３フッ化１塩化エチレ ン樹脂製のプラグ(11)でそれぞれ閉塞されており、各プラグ(11)にはガス通路(1 2)が挿通形成されている。

【００１０】 液体窒素製造装置(３)は空気分離装置(13)と、この空気分離装置(13)で分離生 成された窒素を液化する液化装置(14)とで構成してあり、液化装置(14)は断熱容 器(15)とこの断熱容器(15)の上面開口部からコールドヘッド(16)を突入する状態 で配置した極低温冷凍機(17)とで構成してある。

【００１１】 そして、断熱容器(15)から導出した過剰窒素ガス導出路(18)を移送管(５)にお ける分析機器収容室(４)外に位置するプラグ(11)のガス通路(12)に連通接続して ある。また、移送管(５)における他方のプラグ(11)に形成したガス通路(12)は分 析機器収容室(４)内に開口している。

【００１２】 このように構成した本考案の移送管(５)は、二重管を構成している内装管(６) と外装管(７)とを低温での可撓性に優れたシリコンゴムで形成し、かつ内・外装 管(６)(７)間に４フッ化エチレン樹脂製の螺旋ロッドを配置して内・外装管(６) (７)間に一定の間隙(10)を維持するようにしてあるから、この間隙(10)の存在で 内・外装管(６)(７)の直接接触による伝導伝熱が抑制される。この結果、内装管 (６)内を流れる液体窒素からの冷熱放出が少なくなる。

【００１３】 しかも、内装管(６)と外装管(７)の間に螺旋体でスパイラル状のガス通路を形 成し、このガス通路に液体窒素製造装置(３)の常温余剰窒素ガスを供給して流通 させるようにしていることから、内装管(６)からガス通路に伝達された冷熱はこ のガス通路を流れる常温余剰窒素ガスに吸収されることになる。したがって、外 装管(７)が断熱され外装管表面の結露が防止できる。

【００１４】 また、移送管(５)の間隙(10)を流れた常温窒素ガスは分析機器収容室側プラグ (11)から分析機器収容室(４)内に流れ込むが、この低温窒素ガスは乾燥ガスであ ることから、分析機器収容室(４)内が乾燥雰囲気になり結露や水分滴下を防止す ることができる。

【００１５】 上記実施例では、冷却冷媒として空気分離で得られた窒素を液化した液体窒素 を使用するものについて説明したが、ボンベに収容されている窒素ガスを液化し て使用するようにしてもよい。

【００１６】

【考案の効果】

本考案では、液体窒素等の冷却冷媒を移送する移送管を、シリコンゴム製外装 管の内側にシリコンゴム製内装管を内装管の外周面と外装管の内周面との間に小 間隙を持たせて挿嵌し、この小間隙内に４フッ化エチレン樹脂製螺旋体や高分子 被覆コイルスプリングを配置し、この４フッ化エチレン樹脂製螺旋体や高分子被 覆コイルスプリングの内径側周面を内装管の外周面に当接させるとともに、４フ ッ化エチレン樹脂製螺旋体や高分子被覆コイルスプリングの外径側周面を外装管 の内周面に当接させているので、移送管の可撓性復旧が早くなるという利点があ る。さらに、内装管と外装管との間に形成したスパイラル空間を乾燥ガスの流通 路に形成しているので、内・外装管の間の間隙を熱侵入の緩衝領域とすることが でき、内装管内を流れる冷却冷媒への外部からの入熱を抑制できるうえ、外装管 表面での結露を防止することができる。

【００１７】 さらに、内装管と外装管との間の小間隙のガス排出口を検出機器収容室に開口 した場合には、検出機器収容室内を乾燥ガスでパージする状態となり、検出機器 収容室内での結露や水分滴下を防止でき、検出機器収容室内に収容した検出機器 を水分による悪影響を防止することができる。

【提出日】平成６年４月１９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】 液体窒素貯蔵容器(１)と液体窒素製造装置(３)とは、シリコンゴムで形成した 移送管(５)で接続されている。この移送管(５)はシリコンゴム製内装管(６)の外 周に小間隙へだててシリコンゴム製外装管(７)を挿嵌させた二重管で構成してあ り、内装管(６)の外周面(８)と外装管(７)の内周面(９)との間の間隙(10)に４フ ッ化エチレン樹脂製ロッドで形成した螺旋体(11)が配置してある。この螺旋体(1 1)はその内径側周面を内装管(６)の外周面に当接させるとともに、外径側周面を 外装管(７)の内周面に当接させて、内・外装管(６)(７)間の間隙(10)をスパイラ ル状の通路に形成してある。なお、この螺旋体(11)を高分子で被覆したコイルス プリングで形成してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】移送管の縦断面図である。

【図２】使用状態の概略図である。

【符号の説明】

６…シリコンゴム製内装管、７…シリコンゴム製外装
管、10…小間隙、11…４フッ化エチレン樹脂製螺旋体。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 冷却した検出素子を移動させて検出作動
   を行なう検出機器と冷却冷媒の供給槽とを接続する冷媒
   移送管であって、 シリコンゴム製外装管(７)の内側にシリコンゴム製内装
   管(６)を内装管(６)の外周面と外装管(７)の内周面との
   間に小間隙(10)を持たせて挿嵌し、この小間隙(10)内に
   ４フッ化エチレン樹脂製螺旋体(11)または高分子被覆コ
   イルスプリングを配置し、この４フッ化エチレン樹脂製
   螺旋体(11)の内径側周面を内装管(６)の外周面に当接さ
   せるとともに、４フッ化エチレン樹脂製螺旋体(11)の外
   径側周面を外装管(７)の内周面に当接させて小間隙(10)
   内にスパイラル状の通路に形成し、内装管(６)内を冷却
   冷媒の流通路に形成するとともに、小間隙(10)内を乾燥
   ガスの流通路に形成したことを特徴とする移動体への冷
   媒移送管。
2. 【請求項２】 冷却冷媒が液体窒素であり、乾燥ガスが
   乾燥窒素ガスである請求項１に記載の移動体への冷媒移
   送管。
3. 【請求項３】 冷却冷媒が空気から分離された窒素ガス
   を冷却液化した液体窒素であり、乾燥ガスが液体窒素製
   造装置から流出する窒素ガスである請求項１に記載の移
   動体への冷媒移送管。
4. 【請求項４】 移送管(５)に形成した小間隙(10)のガス
   排出口を検出機器収容室(４)内に開口した請求項１に記
   載の移動体への冷媒移送管。