JP3002710B2 - Low particle-containing polyimide precursor, polyimide solution and method for producing the same - Google Patents

Low particle-containing polyimide precursor, polyimide solution and method for producing the same

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JP3002710B2
JP3002710B2 JP4145555A JP14555592A JP3002710B2 JP 3002710 B2 JP3002710 B2 JP 3002710B2 JP 4145555 A JP4145555 A JP 4145555A JP 14555592 A JP14555592 A JP 14555592A JP 3002710 B2 JP3002710 B2 JP 3002710B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ポリイミド前駆体ある
いはポリイミド溶液に係わり、特にパーティクル含有量
が少なく、光学材料として好適な耐熱性樹脂が得られる
ポリイミド前駆体あるいはポリイミド溶液に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polyimide precursor or a polyimide solution, and more particularly to a polyimide precursor or a polyimide solution having a low particle content and capable of obtaining a heat-resistant resin suitable as an optical material.

【0002】[0002]

【従来技術】従来、ポリイミドは優れた耐熱性樹脂とし
て電子材料分野で広範囲に使用されており、その特性お
よび蓄積された加工技術から光学材料としての応用評価
がなされている(Jornal of Lightwave Technology,vo
l.6,1034(1988))。光学材料としての適用に際しては、
光損失の低減は用途により重要な課題であり、その要因
としては吸収と散乱がある。
2. Description of the Related Art Hitherto, polyimide has been widely used in the field of electronic materials as an excellent heat-resistant resin, and its application as an optical material has been evaluated based on its properties and accumulated processing techniques (Jornal of Lightwave Technology, vo
l. 6,1034 (1988)). When applying as an optical material,
Reduction of light loss is an important issue depending on the application, and its factors include absorption and scattering.

【0003】ポリイミド樹脂は一般に黄色ないし褐色に
着色していることが多く、これは可視光の吸収損失の原
因となり光学用途への応用上問題となる場合が有るが、
これに対しては、可視光領域においても透明な含フッ素
ポリイミド樹脂の開発がすでになされており、光吸収に
因ずく損失は改善されてきている。
In general, polyimide resins are often colored yellow or brown, which causes absorption loss of visible light and may cause a problem in application to optical applications.
In response to this, development of a fluorine-containing polyimide resin that is transparent even in the visible light region has already been made, and the loss due to light absorption has been improved.

【0004】一方ボイドあるいはパーティクルは光散乱
損失の原因となり、その影響についてボイドについては
評価されているが、パーティクルに関しては電子材料グ
レード(孔径0.2μmフィルター処理)以上の評価は
なされていない(SPIE Vol.682 Molecular and Polymer
ic Optoelectronic Materials:Fundamentals and Appli
cations 191(1986))。
[0004] On the other hand, voids or particles cause light scattering loss, and the effect is evaluated for voids, but particles are not evaluated for electronic material grade (pore size 0.2 µm filter treatment) or higher (SPIE). Vol.682 Molecular and Polymer
ic Optoelectronic Materials: Fundamentals and Appli
cations 191 (1986)).

【0005】電子材料分野で使用されている比較的薄い
膜をコーティングする低粘度ワニスは、通常孔径0.2
μmのフィルター処理が施されており、5μm程度以上
の厚膜コーティングに適当な高粘度ワニスは、通常孔径
1μmのフィルター処理が施されている。これらのワニ
スにおけるパーティクルの含有量を測定したところ、
0.3μm以上のパーティクルが通常10000〜20
000個/g以上含まれており、1μm以上のパーティ
クルについては、低粘度ワニスでは通常10個/g以下
であるが、特に高粘度ワニスにおいては、50〜100
個/g以上含有されるものであった。
[0005] Low viscosity varnishes for coating relatively thin films used in the field of electronic materials usually have a pore size of 0.2.
A high-viscosity varnish suitable for thick film coating of about 5 μm or more, which has been subjected to a filter treatment with a pore size of 1 μm. When measuring the content of particles in these varnishes,
Particles of 0.3 μm or more are usually 10,000 to 20
000 particles / g or more, and particles having a particle size of 1 μm or more are usually 10 particles / g or less in a low-viscosity varnish.
Pcs / g or more.

【0006】ろ過処理により溶液中のパーティクルの含
有量を減少させることは、より孔径の小さなフィルター
によるろ過を、より多数回繰り返すことで達成される。
しかしながら、このような条件での処理にはより長時間
を要することは明らかであり、フィルター処理における
被処理液のろ過流量とその粘度とのあいだには一般に対
数反比例の関係があることから、高粘度ワニスの製造を
目的とする場合には、この問題点は特に顕著となる。
[0006] The reduction of the content of particles in a solution by a filtration treatment is achieved by repeating the filtration with a filter having a smaller pore diameter more times.
However, it is clear that the treatment under such conditions requires a longer time, and since there is generally a logarithmic inverse relationship between the filtration flow rate of the liquid to be treated in the filter treatment and the viscosity thereof, a high This problem is particularly pronounced when the purpose is to produce a viscosity varnish.

【0007】処理時間を短縮するためのろ過流量の増加
は、ろ過面積を増大すること、あるいはろ過流量と対数
比例の関係にあるろ過差圧を増大するすることにより可
能であるが、前者は経済的でなく、後者はフィルター使
用における最大圧力の限界による制限を受ける。また同
時に、処理時間の延長はポリイミド前駆体溶液の室温に
おける品質安定性の面から好ましいことではない。すな
わち、ポリイミド前駆体溶液は室温においても粘度が経
時的に変化するため、品質の一定な高粘度溶液を安定に
得ることはできない。
[0007] Increasing the filtration flow rate in order to shorten the processing time can be achieved by increasing the filtration area or increasing the filtration pressure difference which is logarithmically proportional to the filtration flow rate. Rather, the latter is limited by the maximum pressure limit in filter use. At the same time, extension of the treatment time is not preferable from the viewpoint of the quality stability of the polyimide precursor solution at room temperature. That is, since the viscosity of the polyimide precursor solution changes with time even at room temperature, a high-viscosity solution of constant quality cannot be stably obtained.

【0008】ポリイミド樹脂は、高耐熱性絶縁材料とし
て電子機器分野で広範囲に利用されているにも拘わら
ず、上述の様に、通常高粘度ワニスは0.3μm以上の
パーティクルが10000から20000個/g以上の
パーティクルを含有するため、光学材料への適用には必
ずしも十分なものとは言えなかった。
Although the polyimide resin is widely used in the field of electronic equipment as a high heat-resistant insulating material, as described above, a high-viscosity varnish usually has 10,000 to 20,000 particles of 0.3 μm or more per particle. Since it contains particles of g or more, it was not always sufficient for application to optical materials.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、耐熱性に優れたポリイミド樹脂を光学材料とし
て使用するに際し、とくに5μ程度以上の厚膜コーティ
ングに適当な高粘度のポリイミド前駆体溶液において、
光学材料として好ましくない光損失の要因の一つである
光散乱の原因であるパーティクルの問題を実質的に改善
した、ポリイミド、あるいはポリイミド前駆体溶液を提
供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a high-viscosity polyimide precursor solution suitable for coating a thick film of about 5 μ or more, especially when a polyimide resin having excellent heat resistance is used as an optical material. At
An object of the present invention is to provide a polyimide or a polyimide precursor solution which substantially improves the problem of particles that cause light scattering, which is one of the causes of undesired light loss as an optical material.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的は、ポリアミッ
ク酸、その誘導体、あるいはポリイミドを含んでなる溶
液中のパーティクル含有量において、0.3μm以上の
パーティクル含有量が10000個/g以下であること
により達成できることを見出し、本発明の完成に至っ
た。
An object of the present invention is to provide a solution containing a polyamic acid, a derivative thereof, or a polyimide, wherein the content of particles having a particle size of 0.3 μm or more is 10000 particles / g or less. And found that the present invention was completed.

【0011】すなわち、ポリイミドまたはポリイミド前
駆体溶液に含まれるパーティクルの数と光散乱にもとず
く損失の関係を調べたところ、予想されるように、パー
ティクル含有量が多いと測定データのバラツキも大きく
散乱損失は大きかった。パーティクル含有量を低減させ
るに伴い、散乱損失は低下の傾向を示したが、特に0.
3μm以上のパーティクルが10000個/g以下、さ
らに良好には5000個/g以下になると測定データの
バラツキは十分に小さくなり、それとともに散乱損失は
少なく、パーティクルによる散乱損失の影響を実質的に
改善できることを見出した。
That is, when the relationship between the number of particles contained in the polyimide or the polyimide precursor solution and the loss based on the light scattering was examined, as expected, the dispersion of the measured data was large when the particle content was large. The scattering loss was large. As the particle content was reduced, the scattering loss tended to decrease.
When the number of particles having a size of 3 μm or more becomes 10,000 particles / g or less, and more preferably 5000 particles / g or less, the dispersion of the measurement data becomes sufficiently small, and the scattering loss is small, and the influence of the particle scattering loss is substantially improved. I found what I could do.

【0012】したがって、本発明は、パーティクルの含
有量と光損失の関係についての新たな知見にもとずきな
されたものであり、ポリイミドまたはその誘導体を固形
分濃度として3〜60%含有し、その溶液粘度が1〜1
200ポイズであり、0.3μm以上のパーティクルの
含有量が10000個/g以下であることを特徴とする
低パーティクル含有ポリイミド溶液であり、また、ポリ
イミドの前駆体であるポリアミック酸もしくはその誘導
体を固形分濃度として3〜60%含有し、その溶液粘度
が1〜3000ポイズであり、0.3μm以上のパーテ
ィクルの含有量が10000個/g以下であることを特
徴とする低パーティクル含有ポリイミド前駆体溶液であ
る。
Therefore, the present invention has been made based on new findings on the relationship between the content of particles and light loss, and contains polyimide or a derivative thereof at a solid concentration of 3 to 60%, The solution viscosity is 1 to 1
A low-particle-containing polyimide solution having a particle size of 200 poise and a content of particles of 0.3 μm or more of 10,000 particles / g or less, and a polyamic acid or a derivative thereof, which is a precursor of polyimide, is solidified. A low-particle-containing polyimide precursor solution containing 3 to 60% as a partial concentration, a solution viscosity of 1 to 3000 poise, and a content of particles of 0.3 μm or more of 10,000 or less. It is.

【0013】本明細書においては、ポリイミドとは次式
(1)で表される繰り返し単位を有する重合体をいい、
ポリアミック酸とは次式(2)で表される繰り返し単位
を有するポリアミド前駆体またはその誘導体をいい、ポ
リアミド前駆体とは次式(3)で表される繰り返し単位
を有するものをいい、いずれも特に限定しない限り共重
合体をも含むものとする。また、特に限定しない限り、
ジアミンとはその誘導体であるイソシアナートなどを、
テトラカルボン酸とはその誘導体である酸無水物、酸塩
化物、酸臭化物、低級アルキルエステルなどを含み、ジ
アミン成分とは1種類以上の異なったジアミンの混合物
をも意味し、テトラカルボン酸成分とは1種類以上の異
なったテトラカルボン酸の混合物をも意味する物とす
る。
In the present specification, a polyimide means a polymer having a repeating unit represented by the following formula (1):
The polyamic acid refers to a polyamide precursor having a repeating unit represented by the following formula (2) or a derivative thereof, and the polyamide precursor refers to a compound having a repeating unit represented by the following formula (3). Unless otherwise specified, copolymers are also included. Also, unless otherwise specified,
Diamine is a derivative thereof such as isocyanate,
Tetracarboxylic acid includes its derivatives such as acid anhydride, acid chloride, acid bromide, lower alkyl ester, etc., and diamine component also means a mixture of one or more different diamines. Means also a mixture of one or more different tetracarboxylic acids.

【0014】[0014]

【化1】 Embedded image

【0015】(式中、R1は2価の有機基、R2は4価の
有機基、R3は低級アルキル基を示す。)また、本発明
のより好ましい実施態様として、散乱による光損失の低
減のみならずもっとも利用範囲の広い可視光領域での吸
収による光損失が低いという特徴を併せ有する含フッ素
ポリアミック酸、その誘導体、あるいは含フッ素ポリイ
ミドの溶液が挙げられる。これらはジアミン成分あるい
はテトラカルボン酸成分のいずれかに含フッ素ジアミ
ン、含フッ素テトラカルボン酸を用いることにより得ら
れる。
(In the formula, R 1 represents a divalent organic group, R 2 represents a tetravalent organic group, and R 3 represents a lower alkyl group.) In a more preferred embodiment of the present invention, light loss due to scattering is provided. And a solution of a fluorinated polyamic acid, a derivative thereof, or a fluorinated polyimide, which has a feature of not only reducing the light loss but also reducing the light loss due to absorption in the visible light region having the widest use range. These can be obtained by using a fluorinated diamine or a fluorinated tetracarboxylic acid for either the diamine component or the tetracarboxylic acid component.

【0016】例えば、特開平1−71737号、特開平
1−201170号、特開平2−110498号各公報
に開示されている透明性に優れ、屈折率、誘電率、吸水
率が小さく、また共重合することにより熱膨張係数、屈
折率、誘電率等の特性を所望の値に調節可能な含フッ素
重合体を主成分とするものがある。
For example, JP-A-1-71737, JP-A-1-201170, and JP-A-2-110498 have excellent transparency, low refractive index, dielectric constant, and low water absorption. There is a polymer whose main component is a fluorine-containing polymer whose properties such as thermal expansion coefficient, refractive index and dielectric constant can be adjusted to desired values by polymerization.

【0017】本発明のポリイミドまたはポリイミド前駆
体溶液においては、所望の割合でジアミンおよびテトラ
カルボン酸を混合共重合させることにより、得られるポ
リイミドの特性を調節することが可能である。具体的に
は、物性上許容される範囲で、公知のジアミン、イソシ
アナート、テトラカルボン酸あるいはその誘導体の導入
により共重合変成することが可能であり、用途によって
はこの様なジアミン、イソシアナート、テトラカルボン
酸あるいはその誘導体を使用して変成することが必要か
つ好ましい。
In the polyimide or polyimide precursor solution of the present invention, the characteristics of the obtained polyimide can be adjusted by mixing and copolymerizing a diamine and a tetracarboxylic acid at a desired ratio. Specifically, as far as physical properties allow, known diamines, isocyanates, it is possible to copolymerize by introducing tetracarboxylic acids or derivatives thereof, and depending on the application, such diamines, isocyanates, It is necessary and preferable to carry out the modification using tetracarboxylic acid or a derivative thereof.

【0018】この様な目的に対する共重合ポリイミドま
たは共重合ポリイミド前駆体溶液においては、特性改善
を目的とするジアミンは50%以下、好ましくは20%
とするのが望ましい。
In the copolymerized polyimide or copolymerized polyimide precursor solution for such a purpose, the content of the diamine for the purpose of improving the properties is 50% or less, preferably 20% or less.
It is desirable that

【0019】合成反応は、一般的にはN−メチルピロリ
ドン、N,N−ジメルホルムアミド、N,N−ジメチル
アセトアミド、ジメチルスルホキシド、スルホラン、ブ
チルラクトン、フェノール、クレゾール、ハロゲン化フ
ェノール等の溶媒中、0〜250℃の範囲でおこなわ
れ、100℃以下室温付近の比較的低温で反応させるこ
とによりポリアミック酸あるいはその誘導体の溶液が得
られ、150℃以上溶媒の沸点付近の比較的高温で反応
させることによりポリイミド溶液を得ることができる。
ポリイミド溶液は、ポリアミック酸溶液に、酸無水物と
ピリジン等の有機塩基を作用させることによっても得ら
れる。この様にして得られるポリイミドまたはポリイミ
ド前駆体溶液は、反応溶媒をそのままワニスの溶剤とす
ることもでき、また、異なる溶媒に置き換えることも可
能である。
The synthesis reaction is generally carried out in a solvent such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimerformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, sulfolane, butyl lactone, phenol, cresol and halogenated phenol. The reaction is performed at a relatively low temperature around 100 ° C. or lower and around room temperature to obtain a solution of a polyamic acid or a derivative thereof, and is reacted at a relatively high temperature near 150 ° C. or higher near the boiling point of the solvent. Thus, a polyimide solution can be obtained.
The polyimide solution can also be obtained by allowing an acid anhydride and an organic base such as pyridine to act on a polyamic acid solution. In the polyimide or polyimide precursor solution thus obtained, the reaction solvent can be used as a varnish solvent as it is, or can be replaced with a different solvent.

【0020】また、ポリイミドあるいはポリイミド前駆
体はいずれも溶媒の留去あるいは貧溶媒の添加により析
出単離することができ、適当な溶媒に所望する割合ある
いは濃度で再度溶解して溶液とすることもでき、得られ
るポリイミドまたはポリイミド前駆体溶液の特性を調節
することが可能である。
Further, the polyimide or polyimide precursor can be precipitated and isolated by distilling off the solvent or adding a poor solvent, and can be dissolved again in a suitable solvent at a desired ratio or concentration to form a solution. It is possible to adjust the properties of the resulting polyimide or polyimide precursor solution.

【0021】本発明の溶液の1つの製造法は、予め孔径
0.2μm以下のフィルターでろ過処理した溶媒、ジア
ミン成分およびテトラカルボン酸成分を使用、重合反応
させて得られる、ポリアミック酸、その誘導体またはポ
リイミドを、固形分濃度として3〜60%含有し、その
溶液粘度が1〜1200ポイズであるポリイミド前駆体
またはポリイミド溶液を、孔径が0.2μm以下のメン
ブレンフィルターでさらにろ過処理することを特徴とす
る、ポリイミドまたはその誘導体を固形分濃度として3
〜60%含有し、その溶液粘度が1〜1200ポイズで
あり、0.3μm以上のパーティクルの含有量が100
00個/g以下であることを特徴とする低パーティクル
含有ポリイミド溶液またはポリイミド前駆体溶液の製造
方法(以下、製造法1という。)である。それに加うる
に、別の製造法はジアミン成分とテトラカルボン酸成分
またはその誘導体を溶媒中に溶解、重合反応させて得ら
れるポリイミド前駆体溶液において、重合反応による溶
液粘度の上昇が緩やかで、ジアミン成分とテトラカルボ
ン酸成分またはその誘導体の溶解時溶液粘度が30ポイ
ズ以下である、ジアミンとテトラカルボン酸またはその
誘導体の組み合わせからなるポリイミド前駆体溶液を、
その溶液粘度が30ポイズ以下である状態下に、孔径
0.2μm以下のメンブレンフィルターによるろ過処理
によりパーティクルを除去し、その後、重合反応を完結
させることにより30ポイズ以上の粘度を有するポリイ
ミド前駆体溶液として得ることを特徴とする、ポリイミ
ドの前駆体であるポリアミック酸もしくはその誘導体を
固形分濃度として3〜60%含有し、その溶液粘度が3
0〜3000ポイズであり、0.3μm以上のパーティ
クルの含有量が10000個/g以下であることを特徴
とする低パーティクル含有ポリイミド前駆体溶液の製造
法(以下、製造法2という。)である。
One method of producing the solution of the present invention is to use a solvent, a diamine component and a tetracarboxylic acid component, which have been previously filtered through a filter having a pore size of 0.2 μm or less, to obtain a polyamic acid or a derivative thereof obtained by a polymerization reaction. Alternatively, a polyimide precursor containing 3 to 60% of polyimide as a solid content and having a solution viscosity of 1 to 1200 poise is further subjected to a filtration treatment with a membrane filter having a pore size of 0.2 μm or less. And a polyimide or a derivative thereof as a solid content concentration of 3
6060%, the solution viscosity is 1-1200 poise, and the content of particles of 0.3 μm or more is 100
A method for producing a low-particle-containing polyimide solution or a polyimide precursor solution, which is not more than 00 particles / g (hereinafter referred to as Production Method 1). In addition, another manufacturing method is to dissolve a diamine component and a tetracarboxylic acid component or a derivative thereof in a solvent, and in a polyimide precursor solution obtained by a polymerization reaction, a rise in solution viscosity due to the polymerization reaction is moderate, The solution and the solution viscosity of the tetracarboxylic acid component or a derivative thereof when the component is 30 poise or less, a polyimide precursor solution comprising a combination of a diamine and a tetracarboxylic acid or a derivative thereof,
Under the condition that the solution viscosity is 30 poises or less, the particles are removed by a filtration treatment with a membrane filter having a pore size of 0.2 μm or less, and then a polyimide precursor solution having a viscosity of 30 poises or more is obtained by completing the polymerization reaction. Containing 3-60% as a solid concentration of a polyamic acid or a derivative thereof, which is a precursor of polyimide, and having a solution viscosity of 3%.
A method for producing a low-particle-containing polyimide precursor solution (hereinafter, referred to as Production Method 2), which has a particle size of 0 to 3000 poise and a content of particles of 0.3 μm or more is 10000 particles / g or less. .

【0022】代表的なポリイミド前駆体溶液のジアミン
である4,4’−オキシジアニリンなど、通常のジアミ
ン成分を用いるポリイミドまたはその前駆体溶液の合成
反応は、一般的に大きな発熱を伴う反応であり、溶液粘
度は比較的短時間のうちに上昇して最終粘度に到達す
る。したがって、この様なポリイミドまたはその前駆体
の溶液であって0.3μm以上のパーティクルを100
00個/g以下の溶液を調整するには、製品と同一の粘
度の溶液を孔径0.2μm以下のフィルターでろ過しな
ければならず、高粘度溶液の調整は非常に困難である。
The synthesis reaction of a polyimide or a precursor solution thereof using an ordinary diamine component such as 4,4'-oxydianiline which is a typical diamine of a polyimide precursor solution is a reaction which generates a large amount of heat. Yes, the solution viscosity rises in a relatively short time to reach the final viscosity. Therefore, particles of 0.3 μm or more in the solution of such a polyimide or its precursor are used for 100 μm.
In order to prepare a solution having a viscosity of 00 particles / g or less, a solution having the same viscosity as that of the product must be filtered through a filter having a pore size of 0.2 μm or less, and it is very difficult to prepare a high-viscosity solution.

【0023】そこで、本発明者らは、このろ過の負荷を
可能な限り低減することについて検討を加え、合成に使
用する溶媒、ジアミン成分およびテトラカルボン酸成分
を、予め孔径0.2μm以下のフィルターで処理したも
のを用いることで、工業的に適用し得る製造法1の発明
に到達した。また、孔径0.2μm以下のフィルター処
理を施す前に、孔径1μm以上のフィルターによる前処
理をおこなうことが、特に高粘度溶液の場合、ろ過の処
理速度の観点から好ましいことも見出した。
Therefore, the present inventors have studied to reduce the load of this filtration as much as possible, and prepared a solvent, a diamine component and a tetracarboxylic acid component used for the synthesis in advance using a filter having a pore size of 0.2 μm or less. Thus, the invention of the production method 1 which can be applied industrially has been achieved by using the product treated with. In addition, it has been found that it is preferable to perform a pretreatment with a filter having a pore size of 1 μm or more before performing a filter treatment with a pore size of 0.2 μm or less, particularly in the case of a high-viscosity solution, from the viewpoint of the filtration treatment speed.

【0024】この製造法1は、ポリイミドまたはその前
駆体溶液が最終粘度に達した後にろ過処理をするため、
得られた製品間の品質のバラツキが少ないという長所を
有し、比較的広範囲の種類のポリイミドまたはその前駆
体溶液に適用できるという特徴を有する方法である。
In the production method 1, since the polyimide or the precursor solution thereof is subjected to a filtration treatment after reaching the final viscosity,
This method is advantageous in that there is little variation in quality between the obtained products, and is characterized by being applicable to a relatively wide variety of polyimides or precursor solutions thereof.

【0025】ところで、本発明者らはさらに工業的に適
した低パーティクル含有ポリイミドまたはその前駆体溶
液の調整方法を求めて、種々のジアミンとテトラカルボ
ン酸との反応を検討したところ、ある種のジアミンとテ
トラカルボン酸の組合せにおいては、その重合反応は初
期の段階においても緩やかに進行し、しかも最終的には
重合度の大きい高粘度の溶液を与えることを見出し、製
造法2の発明に至った。
The present inventors have further searched for a method for preparing a low-particle-containing polyimide or a precursor solution thereof which is industrially suitable, and studied the reaction between various diamines and tetracarboxylic acid. In the combination of diamine and tetracarboxylic acid, it was found that the polymerization reaction proceeded slowly even in the initial stage, and finally gave a high-viscosity solution having a large degree of polymerization. Was.

【0026】すなわち、同一の芳香環にアミノ基および
ポリフルオロアルキル基もしくはポリフルオロアルコキ
シ基を置換基として有する芳香族ジアミンとテトラカル
ボン酸またはその誘導体を出発原料として、これらを溶
媒に溶解混合して得られるポリイミド前駆体溶液は、混
合後徐々に溶液粘度が上昇する為、フィルター処理に適
当な低粘度である期間が充分長く、したがって、フィル
ター処理の前後で品質に変化がなく、フィルター処理後
重合反応を完結させることで、均一かつ高粘度のポリイ
ミド前駆体溶液が得られることを見出した。
That is, an aromatic diamine having an amino group and a polyfluoroalkyl group or a polyfluoroalkoxy group as substituents on the same aromatic ring and a tetracarboxylic acid or a derivative thereof as starting materials are dissolved and mixed in a solvent. The resulting polyimide precursor solution gradually increases in solution viscosity after mixing, so that the period of low viscosity suitable for filter treatment is sufficiently long, and therefore, there is no change in quality before and after filter treatment, and polymerization after filter treatment is performed. It has been found that a uniform and high-viscosity polyimide precursor solution can be obtained by completing the reaction.

【0027】このように好ましい現象を示す理由は明確
ではないが、これらのジアミンはアミノ基の結合する芳
香環に電子吸引基であるポリフルオロアルキル基もしく
はポリフルオロアルコキシ基を有することから、芳香環
の電子密度が減少しアミノ基の反応性を低下させるため
と考えられる。なお、これらの置換基は得られるポリイ
ミドに吸湿性の改善、耐アルカリ性の改善等、好ましい
特性の改善効果も有する置換基である。
Although the reason why such a preferable phenomenon is exhibited is not clear, these diamines have a polyfluoroalkyl group or a polyfluoroalkoxy group which is an electron-withdrawing group on the aromatic ring to which the amino group is bonded. It is considered that the electron density of the compound decreases and the reactivity of the amino group decreases. In addition, these substituents are substituents which also have an advantageous effect of improving characteristics such as improvement of hygroscopicity and alkali resistance of the obtained polyimide.

【0028】製造法2においても、合成に使用する溶
媒、ジアミン成分およびテトラカルボン酸成分を、予め
孔径0.2μm以下のフィルターで処理したものを用い
ること、また、孔径0.2μm以下のフィルター処理を
施す前に、孔径1μm以上のフィルターによる前処理を
おこなうことが、ろ過の処理速度の観点から好ましい。
Also in the production method 2, a solvent, a diamine component and a tetracarboxylic acid component used in the synthesis, which have been previously treated with a filter having a pore size of 0.2 μm or less, are used. It is preferable to perform a pretreatment with a filter having a pore size of 1 μm or more before performing the treatment from the viewpoint of the filtration processing speed.

【0029】本発明の製造法は、ポリアミック酸、その
誘導体、あるいはポリイミドの溶液を、清浄な雰囲気下
で、孔径0.2μm以下のフィルター処理を施すことに
よりパーティクルを除去するものであるが、0.3μm
以上のパーティクルを10000個/g以下にするに
は、メンブレンフィルターによるろ過操作を連続循環処
理とすることが好ましい。特に製造法2においては、ろ
過操作により得られる低粘度の低パーティクル含有ポリ
イミド前駆体溶液は、その時点でクリーンボトルに小分
けし、クリーンボトル内で重合反応を完結させて所定の
粘度まで増粘させることがより効率的である。
In the production method of the present invention, particles are removed by subjecting a solution of a polyamic acid, a derivative thereof, or a polyimide to a filter treatment having a pore diameter of 0.2 μm or less in a clean atmosphere. 0.3 μm
In order to reduce the number of particles to 10000 particles / g or less, it is preferable that the filtration operation using a membrane filter is a continuous circulation treatment. In particular, in the production method 2, the low-particle-containing polyimide precursor solution having a low viscosity obtained by the filtration operation is subdivided into clean bottles at that time, and the polymerization reaction is completed in the clean bottle to increase the viscosity to a predetermined viscosity. Is more efficient.

【0030】本発明の低パーティクル含有ポリイミド溶
液またはその前駆体溶液において使用されるジアミンお
よびテトラカルボン酸またはこれらの誘導体は、特に限
定する必要はないが、ポリイミドまたは少なくともポリ
イミド前駆体が溶液として得られる物であれば良い。こ
れらのうち好ましいポリイミドを与えるジアミンとして
は、下記一般式
The diamine and tetracarboxylic acid or their derivatives used in the low-particle-containing polyimide solution or its precursor solution of the present invention need not be particularly limited, but the polyimide or at least the polyimide precursor is obtained as a solution. Anything is fine. Among these, as a diamine that gives a preferred polyimide, the following general formula

【0031】[0031]

【化2】 Embedded image

【0032】(式中、Rは炭素数1〜20の側鎖を有す
るかまたは有しないアルキル基またはアルコキシ基であ
り、それぞれその一部または全部がF、ClまたはBr
であることもある置換基である。各芳香環に結合するR
はそれぞれ同一でも異なってもよい。Xは単結合、−O
−、−CO−、−C(CH32−、−C(CF32−、
−S−、−SO−または−SO2−であり、各芳香環間
を結合するXはそれぞれ同一でも異なってもよい。nは
0または5以下の整数であり、各芳香環においてそれぞ
れ同一でも異なってもよい。lは0または10以下の整
数。)で示すことができ、特に好ましい具体例として
は、m−フェニレンジアミン、ジアミノトルエン、2,
5−ジアミノキシレン、ジアミノデュレン、2,5−ジ
アミノアニソール、2,5−ジアミノアセトフェノン、
2,5−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ
ベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、
2,5−ジアミノジフェニル、ベンジジン、1,1−ビ
ス(4−アミノフェニル)エタン、2,2−(4−アミ
ノフェニル)プロパン、2,2−(4−アミノフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ジメチル−
4,4’−ベンジジン、3,3’,5,5’−テトラメ
チルベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルメタ
ン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’
−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノ
ジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニル
スルホキシド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキ
シド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,
4’−オキシジアニリン、2,2−ビス(4−(4−ア
ミノフェノキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス
(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)ヘキサフル
オロプロパン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミ
ノジフェニルエーテル、3,3’−ジメチル−4,4’
−ジアミノジフェニルメタン、ジアミノベンゾトリフル
オライド、1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、4,4’−ビス(p−アミノフェノキシ)ビフェ
ニル、N,N−ビス(4−アミノフェニル)メチルアミ
ン、N,N−ビス(4−アミノフェニル)アミン、N,
N−ビス(4−アミノフェニル)−n−ブチルアミン、
4,4’−ジアミノアゾベンゼン、3,3’−ジアミノ
アゾベンゼン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレ
ンジアミン、2,5−ジアミノハロゲノベンゼン、2,
4−ジアミノペンタフルオロフェノキシベンゼン、ジア
ミノポリフルオロアルコキシベンゼン、3,3’−ジク
ロロ−4,4’−ベンジジン、オクタフルオロ−4,
4’−ベンジジン、ジアミノナフタレン、1,3−ビス
(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、4,
4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホ
ン、3,3’−ジメチル−4,4’−ベンジジン、ジメ
チルベンジジン、4,4’−ジアミノ−1,4−ターフ
ェニル、1,4−フェニレンジアミン、2−メチル−
1,4−フェニレンジアミン(2,5−ジアミノトルエ
ン)フェニレンジアミン、ジアミノトルエン、ジアミノ
キシレン、ジアミノジュレン、および下記に例示する製
造法2で好ましく適用できるジアミン類またはこれらの
イソシアナート化物が例示できる。
(Wherein, R is an alkyl group or an alkoxy group having or not having a side chain having 1 to 20 carbon atoms, and a part or all thereof is F, Cl or Br, respectively)
Is a substituent which may be R bonded to each aromatic ring
May be the same or different. X is a single bond, -O
-, - CO -, - C (CH 3) 2 -, - C (CF 3) 2 -,
—S—, —SO— or —SO 2 —, and the X bonding between the aromatic rings may be the same or different. n is 0 or an integer of 5 or less, and each aromatic ring may be the same or different. l is 0 or an integer of 10 or less. ), And particularly preferred specific examples are m-phenylenediamine, diaminotoluene,
5-diaminoxylene, diaminodulene, 2,5-diaminoanisole, 2,5-diaminoacetophenone,
2,5-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminobenzophenone, 3,4′-diaminobenzophenone,
2,5-diaminodiphenyl, benzidine, 1,1-bis (4-aminophenyl) ethane, 2,2- (4-aminophenyl) propane, 2,2- (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 2, 2'-dimethyl-
4,4'-benzidine, 3,3 ', 5,5'-tetramethylbenzidine, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'
-Diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulphoxide, 3,3'-diaminodiphenyl sulphoxide, 3,3'-diaminodiphenyl sulphone, 4,
4'-oxydianiline, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) hexafluoropropane, 3,3'- Dimethyl-4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-dimethyl-4,4 '
-Diaminodiphenylmethane, diaminobenzotrifluoride, 1,4-bis (p-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (p-aminophenoxy) biphenyl, N, N-bis (4-aminophenyl) methylamine, N, N-bis (4-aminophenyl) amine, N,
N-bis (4-aminophenyl) -n-butylamine,
4,4′-diaminoazobenzene, 3,3′-diaminoazobenzene, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,5-diaminohalogenobenzene, 2,
4-diaminopentafluorophenoxybenzene, diaminopolyfluoroalkoxybenzene, 3,3′-dichloro-4,4′-benzidine, octafluoro-4,
4′-benzidine, diaminonaphthalene, 1,3-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane,
4'-bis (4-aminophenoxy) diphenyl sulfone, 3,3'-dimethyl-4,4'-benzidine, dimethylbenzidine, 4,4'-diamino-1,4-terphenyl, 1,4-phenylenediamine , 2-methyl-
1,4-phenylenediamine (2,5-diaminotoluene) Examples thereof include phenylenediamine, diaminotoluene, diaminoxylene, diaminodulene, and diamines or isocyanate compounds thereof which can be preferably used in Production Method 2 described below. .

【0033】また特に製造法2を適用するのに適するジ
アミン成分は、一般式
The diamine component particularly suitable for applying the production method 2 is represented by the general formula:

【0034】[0034]

【化3】 Embedded image

【0035】(式中、Rは炭素数1〜20の側鎖を有す
るかまたは有しないアルキル基またはアルコキシ基であ
り、それぞれその一部または全部がF、ClまたはBr
であることもある置換基である。各芳香環に結合するR
はそれぞれ同一でも異なってもよい。但し、−NH2
結合する少なくとも1個の芳香環には少なくとも1個の
炭素数1〜20の側鎖を有するかまたは有しないフルオ
ロアルキル基またはフルオロアルコキシ基が結合してい
る。Xは単結合、−O−、−CO−、−C(CH 3
2−、−C(CF32−、−S−、−SO−または−S
2−であり、各芳香環間を結合するXはそれぞれ同一
でも異なってもよい。nは0または5以下の整数であ
り、各芳香環においてそれぞれ同一でも異なってもよ
い。lは0または10以下の整数。)で表されるもので
あり、具体的には、2−トリフルオロメチル−1,4−
フェニレンジアミン、5−トリフルオロメチル−1,3
−フェニレンジアミン(3,5−ジアミノベンゾトリフ
ルオリド)、ジアミノベンゾトリフルオリド、2−ペン
タフルオロエチル−1,4−フェニレンジアミン、2−
ナノフルオロブチル−1,4−フェニレンジアミン、5
−ペンタフルオロエチル−1,3−フェニレンジアミ
ン、5−ナノフルオロブチル−1,3−フェニレンジア
ミン、6−ナノフルオロブチル−1,3−フェニレンジ
アミン、ジアミノパーフルオロアルキルベンゼン、5−
(3,3,2,2−テトラフルオロプロピルオキシ)−
1,3−フェニレンジアミン、2−(4,4,4,3,
2,2−ヘキサフルオロブチルオキシ)−1,4−フェ
ニレンジアミン、5−(4,4,4,3,2,2−ヘキ
サフルオロブチルオキシ)−1,3−フェニレンジアミ
ン、6−(4,4,4,3,2,2−ヘキサフルオロブ
チルオキシ)−1,3−フェニレンジアミン、5−
(4,4,4,3,3,2,2−ヘプタフルオロブチル
オキシ)−1,3−フェニレンジアミン、6−(4,
4,4,3,3,2,2−ヘプタフルオロブチルオキ
シ)−1,3−フェニレンジアミン、ジアミノポリフル
オロアルコキシベンゼン、2,4−ジアミノペンタフル
オロフェノキシベンゼン、2,2−ビス(4−アミノフ
ェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(アミ
ノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ビス
(トリフルオロメチル)−4,4’−ベンジジン、3,
3’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ベンジ
ジン、ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、ビス
(パーフルオロアルキル)ベンジジン、2,2’−ビス
(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノジフェニ
ルエーテル、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)−
4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス(トリフ
ルオロメチル)ジアミノジフェニルエーテル、1,4−
ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキ
シ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノ−2−トリ
フルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス
(4−(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキ
シ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−(4−ア
ミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)フェニル)
ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−(アミノ
パーフルオロアルキルフェノキシ)フェニル)ヘキサフ
ルオロプロパン、1,3−ビス(2−(4−アミノ−2
−トリフルオロメチルフェノキシ)ヘキサフルオロ−2
−プロピル)ベンゼン、1,4−ビス(2−(4−アミ
ノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)ヘキサフルオ
ロ−2−プロピル)ベンゼン、またはこれらのイソシア
ナート化物などが例示できる。
(Wherein R has a side chain having 1 to 20 carbon atoms)
An alkyl group or an alkoxy group having or not having
And part or all of them are F, Cl or Br, respectively.
Is a substituent which may be R bonded to each aromatic ring
May be the same or different. However, -NHTwoof
At least one aromatic ring attached has at least one
Fluo having or not having a side chain having 1 to 20 carbon atoms
A loalkyl or fluoroalkoxy group is bonded.
You. X is a single bond, -O-, -CO-, -C (CH Three)
Two-, -C (CFThree)Two-, -S-, -SO- or -S
OTwoAnd X bonding between the aromatic rings is the same.
But it may be different. n is 0 or an integer of 5 or less
May be the same or different for each aromatic ring.
No. l is 0 or an integer of 10 or less. )
Yes, specifically, 2-trifluoromethyl-1,4-
Phenylenediamine, 5-trifluoromethyl-1,3
-Phenylenediamine (3,5-diaminobenzotrif
Rulide), diaminobenzotrifluoride, 2-pen
Tafluoroethyl-1,4-phenylenediamine, 2-
Nanofluorobutyl-1,4-phenylenediamine, 5
-Pentafluoroethyl-1,3-phenylenediamine
, 5-Nanofluorobutyl-1,3-phenylenediamine
Min, 6-nanofluorobutyl-1,3-phenylene
Amine, diaminoperfluoroalkylbenzene, 5-
(3,3,2,2-tetrafluoropropyloxy)-
1,3-phenylenediamine, 2- (4,4,4,3,
2,2-hexafluorobutyloxy) -1,4-fe
Nilendiamine, 5- (4,4,4,3,2,2-hex
Safluorobutyloxy) -1,3-phenylenediamine
6- (4,4,4,3,2,2-hexafluorobu
Tyloxy) -1,3-phenylenediamine, 5-
(4,4,4,3,3,2,2-heptafluorobutyl
Oxy) -1,3-phenylenediamine, 6- (4,
4,4,3,3,2,2-heptafluorobutyloxy
B) -1,3-phenylenediamine, diaminopolyfur
Oroalkoxybenzene, 2,4-diaminopentaful
Orophenoxybenzene, 2,2-bis (4-aminophen
Enyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (amido)
Nophenyl) hexafluoropropane, 2,2'-bis
(Trifluoromethyl) -4,4'-benzidine, 3,
3'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-benzyl
Gin, bis (trifluoromethyl) benzidine, bis
(Perfluoroalkyl) benzidine, 2,2'-bis
(Trifluoromethyl) -4,4'-diaminodiphenyl
Ether, 3,3'-bis (trifluoromethyl)-
4,4'-diaminodiphenyl ether, bis (trif
(Fluoromethyl) diaminodiphenyl ether, 1,4-
Bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy)
B) benzene, 4,4'-bis (4-amino-2-tri
Fluoromethylphenoxy) biphenyl, 2,2-bis
(4- (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy)
Phenyl) propane, 2,2-bis (4- (4-a
Mino-2-trifluoromethylphenoxy) phenyl)
Hexafluoropropane, 2,2-bis (4- (amino
Perfluoroalkylphenoxy) phenyl) hexaf
Fluoropropane, 1,3-bis (2- (4-amino-2
-Trifluoromethylphenoxy) hexafluoro-2
-Propyl) benzene, 1,4-bis (2- (4-amido)
No-2-trifluoromethylphenoxy) hexafluoro
B-2-Propyl) benzene or their isocyanates
Nartrate can be exemplified.

【0036】また、これらのジアミンを10%以上含有
するシアミン成分とテトラカルボン酸成分の組み合わせ
において、製造法2を適用できるものであるが、これら
のジアミン成分が30%以上にあっては特に好ましい。
In addition, the production method 2 can be applied to a combination of a diamine component containing 10% or more of these diamines and a tetracarboxylic acid component. It is particularly preferable that the content of these diamine components is 30% or more. .

【0037】一方、これらのジアミンと組み合わせるべ
きテトラカルボン酸またはその誘導体は、一般式
On the other hand, tetracarboxylic acids or derivatives thereof to be combined with these diamines have the general formula

【0038】[0038]

【化4】 Embedded image

【0039】(式中、Yは2個の−COOH基、−CO
Cl基、−COBr基、−COOR基、−CONH2
または1個の−CO−O−CO−基を示す。Rは炭素数
1〜20の側鎖を有するかまたは有しないアルキル基ま
たはアルコキシ基であり、それぞれその一部または全部
がF、ClまたはBrであることもある置換基である。
各芳香環に結合するRはそれぞれ同一でも異なってもよ
い。Xは単結合、−O−、−CO−、−C(CH3
2−、−C(CF32−、−S−、−SO−または−S
2−であり、各芳香環間を結合するXはそれぞれ同一
でも異なってもよい。nは0または5以下の整数であ
り、各芳香環においてそれぞれ同一でも異なってもよ
い。lは0または10以下の整数。)で表されるもので
あり、具体的には、ピロメリット酸、トリフルオロメチ
ルピロメリット酸、ビス(トリフオロメチル)ピロメリ
ット酸、パーフルオロアルキルピロメリット酸、ビス
(パーフルオロアルキル)ピロメリット酸、ビフェニル
テトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、
2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサ
フルオロプロパン、テトラカルボキシジフェニルエーテ
ル、テトラカルボキシナフタレン、テトラカルボキシジ
フェニルスルホン、ターフェニルテトラカルボン酸、
2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパ
ン、2,2−ビス(4−(3,4−ジカルボキシフェル
キシフェニル))プロパン、2,2−ビス(4−(3,
4−ジカルボキシフェノキシフェニル))ヘキサフルオ
ロプロパン、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェ
ノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(3,4−ジカルボ
キシフェノキシ)ビフェニル等、およびその酸誘導体が
例示でき、酸誘導体としては、エステル、酸塩化物、酸
無水物が適用できる。
(Wherein Y represents two —COOH groups, —CO
Cl group, an -COBr group, -COOR group, -CONH 2 group, or one of -CO-O-CO- group. R is an alkyl group or an alkoxy group having or not having a side chain having 1 to 20 carbon atoms, and a part or the whole thereof is a substituent which may be F, Cl or Br.
R bonded to each aromatic ring may be the same or different. X is a single bond, -O -, - CO -, - C (CH 3)
2 -, - C (CF 3 ) 2 -, - S -, - SO- or -S
X which is O 2 — and bonds between the aromatic rings may be the same or different. n is 0 or an integer of 5 or less, and each aromatic ring may be the same or different. l is 0 or an integer of 10 or less. ), Specifically, pyromellitic acid, trifluoromethylpyromellitic acid, bis (trifluoromethyl) pyromellitic acid, perfluoroalkylpyromellitic acid, bis (perfluoroalkyl) pyromellitic Acid, biphenyltetracarboxylic acid, benzophenonetetracarboxylic acid,
2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane, tetracarboxydiphenyl ether, tetracarboxynaphthalene, tetracarboxydiphenylsulfone, terphenyltetracarboxylic acid,
2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (3,4-dicarboxyphenyloxyphenyl)) propane, 2,2-bis (4- (3,
4-dicarboxyphenoxyphenyl)) hexafluoropropane, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) biphenyl and the like, and acid derivatives thereof Examples of the acid derivative include esters, acid chlorides, and acid anhydrides.

【0040】また、以上に例示したジアミン、テトラカ
ルボン酸の他に、さらに別のものを添加共重合させるこ
とも有用である。そのようなものとして、ポリイミド膜
の基板への接着強度を高めるためにジアミノポリシロキ
サン類、ジアミノシラン類、テトラカルボキシポリシロ
キサン類、テトラカルボキシシラン類が挙げられる。具
体的には、一般式
Further, in addition to the diamines and tetracarboxylic acids exemplified above, it is also useful to add and copolymerize other components. Such materials include diaminopolysiloxanes, diaminosilanes, tetracarboxypolysiloxanes, and tetracarboxysilanes in order to increase the adhesive strength of the polyimide film to the substrate. Specifically, the general formula

【0041】[0041]

【化5】 Embedded image

【0042】(式中、Q1はメチル基、エチル基、プロ
ピル基、フェニル基その他の1価の有機基、Q2は炭素
数1〜10のアルキレン基、フェニレン基その他の2価
の有機基、pは0または正の整数。)で示されるもので
あり、例えば、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テ
トラメチルジシロキサン、1,4−ビス(3−アミノプ
ロピルジメチルシリル)ベンゼン、ビス(4−アミノフ
ェニル)ジエチルシラン、ビス(3,4−ジカルボキシ
フェニル)ジメチルシラン、1,3−ビス(3,4−ジ
カルボキシフェニル)テトラメチルジシロキサンなどが
挙げられる。
(Wherein Q 1 is a methyl, ethyl, propyl, phenyl or other monovalent organic group, Q 2 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, a phenylene group or another divalent organic group) , P is 0 or a positive integer.), For example, 1,3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane, 1,4-bis (3-aminopropyldimethylsilyl) benzene, Bis (4-aminophenyl) diethylsilane, bis (3,4-dicarboxyphenyl) dimethylsilane, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) tetramethyldisiloxane and the like can be mentioned.

【0043】ジアミン成分またはテトラカルボン酸成分
あるいはこれらの誘導体は、それぞれ2種類以上を組み
合わせて使用することも可能である。
The diamine component, the tetracarboxylic acid component or their derivatives can be used in combination of two or more kinds.

【0044】[0044]

【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明す
る。 実施例1 以下の操作は、クラス10000(測定値300以下)
のクリーンルーム内でおこない、必要に応じてクラス1
00(測定値10以下)のクリーンベンチおよびクリー
ンオーブンを使用した。
The present invention will be described below in detail with reference to examples. Example 1 The following operations were performed in class 10000 (measured value 300 or less)
Class 1 in a clean room as required
A clean bench and a clean oven of 00 (measured value 10 or less) were used.

【0045】ジアミン成分として、2,2’−ビス(ト
リフルオロメチル)−4,4’−ベンジジンをクロロホ
ルムに溶解し、孔径0.2μmのPTFE製メンブレン
フィルター(アドバンテック社製)を用い、乾燥窒素雰
囲気下で処理したのち、液体微粒子計数器(リオン社
製、KL−20−K)を用い、この溶液10ml中に含
まれるパーティクル数を測定したところ0.3μm以上
のパーティクル数は10個以下であった。フィルター処
理したジアミン溶液は、減圧下に溶媒を留去・乾燥し、
重合反応に使用した。
As a diamine component, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-benzidine was dissolved in chloroform, and a PTFE membrane filter (manufactured by Advantech) having a pore size of 0.2 μm was used. After treatment in an atmosphere, the number of particles contained in 10 ml of the solution was measured using a liquid particle counter (manufactured by Rion, KL-20-K). there were. Diamine solution filtered, solvent is distilled off under reduced pressure and dried,
Used for polymerization reaction.

【0046】テトラカルボン酸成分として、2,2−ビ
ス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパン二無水物をアセトンに溶解し、同様に処理・測定
したところ、この溶液10ml中に含まれる0.3μm
以上のパーティクル数は10個以下であった。フィルタ
ー処理したテトラカルボン酸無水物溶液は、減圧下に溶
媒を留去・乾燥し、重合反応に使用した。
As a tetracarboxylic acid component, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride was dissolved in acetone, and treated and measured in the same manner. 0.3 μm
The number of the above particles was 10 or less. The solvent of the filtered tetracarboxylic anhydride solution was distilled off and dried under reduced pressure, and used for the polymerization reaction.

【0047】溶媒としてN,N−ジメチルアセトアミド
を同様に処理し、10ml中に含まれる0.3μm以上
のパーティクル数10以下のN,N−ジメチルアセトア
ミドを得た。
N, N-dimethylacetamide was similarly treated as a solvent to obtain N, N-dimethylacetamide having a particle number of 0.3 μm or more and 10 or less contained in 10 ml.

【0048】上記のように、予めフィルター処理された
13.70gの2,2’−ビス(トリフルオロメチル)
−4,4’−ベンジジンと、19.05gの2,2−ビ
ス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパンを185gのN,N−ジメチルアセトアミドに溶
解し、窒素雰囲気下に約36時間反応させ、固形分15
%のポリアミック酸溶液を得た。25℃におけるこの溶
液の粘度は110ポイズ(フィジカ社製RHEOLAB
MC20を使用して、コーン・プレート法により測定
した。以下同様)であった。孔径0.2μmのPTFE
製メンブレンフィルター(アドバンテック社製)を用
い、乾燥窒素で2.7Kg/cm2 の加圧下に処理した
のち、液体微粒子計数器を用い、溶媒で希釈した溶液1
0ml中に含まれるパーティクル数を測定したところ、
0.3μm以上のパーティクル数は5330個であり、
ポリアミック酸溶液1g当たりに換算した0.3μm以
上のパーティクル含有量は8900個であった。
13.70 g of 2,2'-bis (trifluoromethyl) prefiltered as described above
-4,4'-benzidine and 19.05 g of 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane were dissolved in 185 g of N, N-dimethylacetamide, and the mixture was dissolved under a nitrogen atmosphere for about 36 hours. Reaction, solid content 15
% Polyamic acid solution was obtained. The viscosity of this solution at 25 ° C. was 110 poise (RHEOLAB manufactured by Physica).
The measurement was performed by the cone and plate method using MC20. The same applies hereinafter). PTFE with a pore size of 0.2 μm
The solution 1 was treated with dry nitrogen under a pressure of 2.7 kg / cm 2 using a membrane filter (manufactured by Advantech) and diluted with a solvent using a liquid fine particle counter.
When the number of particles contained in 0 ml was measured,
The number of particles of 0.3 μm or more is 5330,
The content of particles having a particle size of 0.3 μm or more in terms of 1 g of the polyamic acid solution was 8,900.

【0049】このポリアミック酸溶液を、シリコンウエ
ハー上にスピンコートし、70℃で2時間、160℃で
1時間、300℃で1時間保持して10μmのポリイミ
ド膜を形成した。
This polyamic acid solution was spin-coated on a silicon wafer and held at 70 ° C. for 2 hours, 160 ° C. for 1 hour, and 300 ° C. for 1 hour to form a 10 μm polyimide film.

【0050】1mWのHe−Neレーザーを用い、スト
リーク光法により光損失の測定をおこなったところ、こ
こで得られたポリイミド膜の光損失は0.7dB/cm
であった。
The light loss was measured by the streak light method using a 1 mW He-Ne laser. The light loss of the polyimide film obtained here was 0.7 dB / cm.
Met.

【0051】実施例2〜12 異なった条件で調整したポリイミド前駆体溶液を用いて
作成したポリイミド膜の光損失を、実施例1と同様の方
法で評価し、その結果を表1、表2に示した。
Examples 2 to 12 The light loss of a polyimide film prepared using a polyimide precursor solution adjusted under different conditions was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Tables 1 and 2. Indicated.

【0052】比較例1 使用するジアミン成分、テトラカルボン酸成分および溶
媒を予めフィルター処理しない点を除き実施例1と同様
に、一般的な操作によりポリアミック酸溶液を調整し、
乾燥窒素5Kg/cm2 の加圧下に、孔径0.2μmの
PTFE製メンブレンフィルター(アドバンテック社
製)で処理し、実施例1と同様に製膜したポリイミド膜
の光損失を測定した。この結果を表2に示した。
Comparative Example 1 A polyamic acid solution was prepared by a general operation in the same manner as in Example 1 except that the diamine component, the tetracarboxylic acid component and the solvent to be used were not subjected to a filter treatment in advance.
The film was treated with a PTFE membrane filter (manufactured by Advantech) having a pore size of 0.2 μm under a pressure of 5 kg / cm 2 of dry nitrogen, and the light loss of the polyimide film formed in the same manner as in Example 1 was measured. The results are shown in Table 2.

【0053】比較例2 異なった条件で調整したポリイミド前駆体溶液を用いて
作成したポリイミド膜の光損失を、実施例1と同様の方
法で評価し、その結果を表2に示した。
Comparative Example 2 Light loss of a polyimide film prepared using a polyimide precursor solution adjusted under different conditions was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 2.

【0054】[0054]

【表1】 [Table 1]

【0055】[0055]

【表2】 [Table 2]

【0056】以下の実施例および参考例においては、ジ
アミン成分、テトラカルボン酸成分、溶媒ともに予めフ
ィルター処理により低パーティクル化していないものを
使用した。
In the following Examples and Reference Examples, the diamine component, the tetracarboxylic acid component, and the solvent used were not previously reduced to particles by filter treatment.

【0057】実施例13 攪拌ばね、窒素導入管を備えた3Lの平底セパラブルフ
ラスコへ2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン二無水物100.0g(2
25.2mmol)、2,2’−ビストリフルオロメチ
ル−4,4’−ジアミノビフェニル72.1g(22
5.2mmol)を装入、窒素気雰囲気下とした。そこ
へN,N−ジメチルアセトアミド975.8gを添加、
モーター羽根で攪拌したところ、モノマーは25分間で
溶解し、この時の粘度は1ポイズであった。つぎにポン
プ(日本フィーダー社製SXW 1−822)により、孔
径0.1μmフィルター(日本ミリポア社製、F−16
WGFV)で15分間循環ろ過を行なったところ、溶
液中のパーティクル数は、0.3μm以上が500個/
gであり、この時の粘度は2ポイズであった。
Example 13 100.0 g of 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride was placed in a 3 L flat bottom separable flask equipped with a stirring spring and a nitrogen inlet tube.
25.2 mmol), 72.1 g of 2,2′-bistrifluoromethyl-4,4′-diaminobiphenyl (22
(5.2 mmol) was charged under a nitrogen atmosphere. 97,8 g of N, N-dimethylacetamide was added thereto,
Upon stirring with a motor blade, the monomer dissolved in 25 minutes, at which time the viscosity was 1 poise. Next, using a pump (SXW 1-822 manufactured by Nippon Feeder), a filter having a pore size of 0.1 μm (F-16 manufactured by Nippon Millipore, Inc.) was used.
WGV) for 15 minutes, the number of particles in the solution was 500 μm / 0.3 μm or more.
g, and the viscosity at this time was 2 poise.

【0058】つづいて100ccクリーンボトル10本
へ分注し、密栓後常温放置した。36時間後の溶液の粘
度は各ボトルとも1200ポイズと一定であり、0.3
μm以上のパーティクル数は、520個/gであった。
Subsequently, the mixture was dispensed into 10 100 cc clean bottles, sealed and allowed to stand at room temperature. The viscosity of the solution after 36 hours was constant at 1200 poise for each bottle, and 0.3
The number of particles of μm or more was 520 / g.

【0059】実施例14〜20 表3に示す原料組成を用いて、実施例13と同様の重合
反応、ろ過処理を行なった。結果を同じ表3に示す。
Examples 14 to 20 The same polymerization reaction and filtration as in Example 13 were carried out using the raw material compositions shown in Table 3. The results are shown in Table 3 above.

【0060】[0060]

【表3】 [Table 3]

【0061】参考例 1 攪拌ばね、窒素導入管を備えた1Lの平底セパラブルフ
ラスコへ、2,2−ビス(4−(4−(アミノフェノキ
シ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン80.3g(1
54.8mmol)、N,N−ジメチルアセトアミド4
56.1gを装入し、ピロメリット酸無水物33.8g
(154.8mmol)を30分間で添加した。モノマ
ーは添加終了後15分で溶解したが、この時の粘度はす
でに50ポイズ以上であって、実施例13と同様の循環
ろ過は実質的に不可能であり、製造法2によっては、低
パーティクル含有ポリイミド前駆体溶液は得られなかっ
た。
REFERENCE EXAMPLE 1 80.3 g (1,1) of 2,2-bis (4- (4- (aminophenoxy) phenyl) hexafluoropropane was placed in a 1 L flat bottom separable flask equipped with a stirring spring and a nitrogen inlet tube.
54.8 mmol), N, N-dimethylacetamide 4
56.1 g was charged, and pyromellitic anhydride 33.8 g
(154.8 mmol) was added over 30 minutes. The monomer was dissolved 15 minutes after the completion of the addition. At this time, the viscosity was already 50 poise or more, and circulating filtration similar to that in Example 13 was practically impossible. No containing polyimide precursor solution was obtained.

【0062】参考例2 攪拌ばね、窒素導入管を備えた2Lの平底セパラブルフ
ラスコへ、オキシジアニリン50.3g(248.5m
mol)、N,N−ジメチルアセトアミド938.9g
を装入し、PMDA54.2g(248.5mmol)
を30分間で添加した。モノマーは添加終了後25分で
溶解したが、この時の粘度はすでに50ポイズ以上であ
って、実施例13と同様の循環ろ過は実質的に不可能で
あり、製造法2によっては、低パーティクル含有ポリイ
ミド前駆体溶液は得られなかった。
REFERENCE EXAMPLE 2 50.3 g (248.5 m) of oxydianiline was charged into a 2 L flat bottom separable flask equipped with a stirring spring and a nitrogen inlet tube.
mol), 938.9 g of N, N-dimethylacetamide
And 54.2 g (248.5 mmol) of PMDA
Was added over 30 minutes. The monomer was dissolved 25 minutes after the completion of the addition, but the viscosity at this time was already 50 poise or more, and circulating filtration similar to that in Example 13 was practically impossible. No containing polyimide precursor solution was obtained.

【0063】参考例3 攪拌ばね、窒素導入管を備えた3Lの平底セパラブルフ
ラスコへ、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン二無水物の243.1g
(547.2mmol)、2,2’−ビストリフルオロ
メチル−4,4’−ジアミノビフェニルの175.3g
(547.5mmol)を装入、窒素雰囲気下とした。
そこへN,N−ジメチルアセトアミド2362.3gを
添加、モーター羽根で攪拌したところ、モノマーは25
分間で溶解した。36時間後の溶液の粘度は、260ポ
イズであった。得られた溶液を窒素加圧器で3.0Kg
/cm2 に加圧し、孔径0.1μmフィルター(日本ミ
リポア社製、F−16 WGFV)でろ過し、100c
cクリーンボトルに分注した。0.3μm以上のパーテ
ィクル数は、2000個/gと充分に低いパーティクル
数であったが、溶液粘度はボトル間で65〜220ポイ
ズのバラツキが生じ、ポリイミド膜作成にあたって極め
て不便であり、実用に耐えるものではなかった。
REFERENCE EXAMPLE 3 243.1 g of 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride was placed in a 3 L flat bottom separable flask equipped with a stirring spring and a nitrogen inlet tube.
(547.2 mmol), 175.3 g of 2,2′-bistrifluoromethyl-4,4′-diaminobiphenyl
(547.5 mmol) under a nitrogen atmosphere.
2362.3 g of N, N-dimethylacetamide was added thereto, and the mixture was stirred with a motor blade.
Dissolved in minutes. The viscosity of the solution after 36 hours was 260 poise. The obtained solution was 3.0 kg by a nitrogen pressurizer.
/ Cm 2 , and filtered through a 0.1 μm pore size filter (F-16 WGFV, manufactured by Nippon Millipore Co., Ltd.).
c Dispensed into clean bottles. Although the number of particles of 0.3 μm or more was a sufficiently low number of particles of 2000 particles / g, the solution viscosity varied from 65 to 220 poise between bottles, which was extremely inconvenient in preparing a polyimide film, and was not practical. It was not enduring.

【0064】[0064]

【発明の効果】本発明によれば、光学材料用途において
好ましくない光損失の要因である光散乱の原因となるパ
ーティクルの問題を実質的に改善することができる。特
に、含フッ素ポリイミド前駆体または含フッ素ポリイミ
ド溶液にあっては、それから形成されるポリイミド膜は
耐熱性、低吸湿性などの特徴を併せ有することから実用
上極めて有用である。
According to the present invention, it is possible to substantially improve the problem of particles that cause light scattering, which is a factor of undesired light loss in optical material applications. In particular, in the case of a fluorinated polyimide precursor or a fluorinated polyimide solution, a polyimide film formed therefrom is extremely useful in practice because it has characteristics such as heat resistance and low moisture absorption.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松浦 徹 東京都千代田区内幸町一丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (72)発明者 佐々木 重邦 東京都千代田区内幸町一丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−72528(JP,A) 特開 平4−288331(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08G 73/00 - 73/26 C08L 79/00 - 79/08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Toru Matsuura 1-1-6 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Nippon Telegraph and Telephone Corporation (72) Inventor Shigekuni Sasaki 1-1-6 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corporation (56) References JP-A-3-72528 (JP, A) JP-A-4-288331 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C08G 73/00-73/26 C08L 79/00-79/08

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ポリイミドまたはその誘導体を固形分濃度
として3〜60%含有し、その溶液粘度が1〜1200
ポイズであり、0.3μm以上のパーティクルの含有量
が10000個/g以下であることを特徴とする低パー
ティクル含有ポリイミド溶液。
1. A polyimide or a derivative thereof containing 3 to 60% as a solid concentration and having a solution viscosity of 1 to 1200%.
A low-particle-containing polyimide solution which is poise and has a content of particles of 0.3 μm or more of 10,000 particles / g or less.
【請求項2】ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸
もしくはその誘導体を固形分濃度として3〜60%含有
し、その溶液粘度が1〜1200ポイズであり、0.3
μm以上のパーティクルの含有量が10000個/g以
下であることを特徴とする低パーティクル含有ポリイミ
ド前駆体溶液。
2. A polyamic acid or a derivative thereof, which is a precursor of polyimide, is contained in a solid content concentration of 3 to 60%, and has a solution viscosity of 1 to 1200 poise.
A polyimide precursor solution having a low particle content, wherein the content of particles having a particle size of not less than 1 μm is 10000 particles / g or less.
【請求項3】ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸
もしくはその誘導体を固形分濃度として3〜60%含有
し、その溶液粘度が30〜3000ポイズであり、0.
3μm以上のパーティクルの含有量が10000個/g
以下であることを特徴とする低パーティクル含有ポリイ
ミド前駆体溶液。
3. A polyamic acid or a derivative thereof, which is a precursor of polyimide, is contained in a solid content of 3 to 60%, and the solution has a viscosity of 30 to 3000 poise.
The content of particles of 3 μm or more is 10,000 particles / g
A low particle-containing polyimide precursor solution characterized by the following.
【請求項4】予め孔径0.2μm以下のフィルターでろ
過処理した溶媒、ジアミン成分およびテトラカルボン酸
成分を使用し、重合反応させて得られる、ポリアミック
酸、その誘導体またはポリイミドを、固形分濃度として
3〜60%含有し、その溶液粘度が1〜1200ポイズ
であるポリイミド前駆体およびポリイミド溶液を、孔径
が0.2μm以下のメンブレンフィルターでさらにろ過
処理することを特徴とする請求項1または請求項2記載
の溶液の製造法。
4. A polyamic acid, a derivative thereof or a polyimide obtained by a polymerization reaction using a solvent, a diamine component and a tetracarboxylic acid component which have been filtered through a filter having a pore size of 0.2 μm or less in advance as a solid content concentration. The polyimide precursor containing 3 to 60% and having a solution viscosity of 1 to 1200 poise and a polyimide solution is further subjected to a filtration treatment with a membrane filter having a pore size of 0.2 µm or less. 2. The method for producing the solution according to 2.
【請求項5】ジアミン成分とテトラカルボン酸成分また
はその誘導体を溶媒中に溶解、重合反応させて得られる
ポリイミド前駆体溶液において、重合反応による溶液粘
度の上昇が緩やかで、ジアミンとテトラカルボン酸また
はその誘導体の溶解時溶液粘度が30ポイズ以下であ
る、ジアミンとテトラカルボン酸無水物またはその誘導
体の組み合わせからなるポリイミド前駆体溶液を、その
溶液粘度が30ポイズ以下である状態下に、孔径0.2
μm以下のメンブレンフィルターによるろ過処理により
パテーィクルを除去し、その後、重合反応を完結させる
ことにより30ポイズ以上の粘度を有するポリイミド前
駆体溶液を得ることを特徴とする、請求項3記載のポリ
イミド前駆体溶液の製造法。
5. A polyimide precursor solution obtained by dissolving a diamine component and a tetracarboxylic acid component or a derivative thereof in a solvent and performing a polymerization reaction, the solution viscosity of the polyimide precursor solution slowly increases due to the polymerization reaction, and the diamine and the tetracarboxylic acid or A polyimide precursor solution comprising a combination of a diamine and a tetracarboxylic anhydride or a derivative thereof having a solution viscosity of 30 poise or less at the time of dissolving the derivative is prepared under the condition that the solution viscosity is 30 poise or less. 2
4. The polyimide precursor according to claim 3, wherein the particles are removed by a filtration treatment with a membrane filter of not more than μm, and then the polymerization reaction is completed to obtain a polyimide precursor solution having a viscosity of 30 poise or more. The method for producing the solution.
【請求項6】ジアミン成分またはテトラカルボン酸成分
には少なくとも1種類のフッ素を含有するジアミンまた
はテトラカルボン酸またはそれらの誘導体が含まれてい
ることを特徴とする請求項1〜3記載の低パーティクル
含有溶液。
6. The low particle according to claim 1, wherein the diamine component or the tetracarboxylic acid component contains at least one kind of fluorine-containing diamine or tetracarboxylic acid or a derivative thereof. Containing solution.
【請求項7】同一の芳香環にアミノ基と炭素数1〜20
のフルオロアルキル基またフルオロアルコキシ基が結合
するジアミンを10%以上含有するジアミン成分を用い
る請求項5の製造法。
7. An amino group having 1 to 20 carbon atoms in the same aromatic ring.
6. The method according to claim 5, wherein a diamine component containing 10% or more of a diamine to which a fluoroalkyl group or a fluoroalkoxy group is bonded is used.
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