JP3001856U - Crystal oscillator - Google Patents

Crystal oscillator

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JP3001856U
JP3001856U JP1994003185U JP318594U JP3001856U JP 3001856 U JP3001856 U JP 3001856U JP 1994003185 U JP1994003185 U JP 1994003185U JP 318594 U JP318594 U JP 318594U JP 3001856 U JP3001856 U JP 3001856U
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JP
Japan
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crystal
electrode
oxide film
plate
crystal resonator
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原 実 石
子 喜 代 仁 原
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 [目的] 容器内に残存する酸素等の活性な気体と電極
を構成する金属との化学的な反応を阻止することによっ
て長期間、安定な共振特性を維持することができる水晶
振動子を提供する。 [構成] 所定の形状に成形した水晶板1の板面に電極
2を形成し、この電極の上に酸化膜3を被着したことを
特徴とする水晶振動子、およびこの水晶振動子において
電極2は銀またはアルミを蒸着して形成したこと、さら
にこの水晶振動子において酸化膜3はスパッタリングに
よって形成したことを特徴とする。
(57) [Summary] [Purpose] Stable resonance characteristics can be maintained for a long period of time by blocking the chemical reaction between the active gas such as oxygen remaining in the container and the metal forming the electrode. Provide a crystal unit. [Structure] A crystal resonator in which an electrode 2 is formed on a plate surface of a crystal plate 1 formed into a predetermined shape, and an oxide film 3 is deposited on the electrode, and an electrode in the crystal resonator. 2 is characterized in that it is formed by vapor deposition of silver or aluminum, and that the oxide film 3 is formed by sputtering in this crystal unit.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、振動特性の安定な水晶振動子に関する。 The present invention relates to a crystal unit having stable vibration characteristics.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

近時、種々の電子機器では周波数、時間等の基準として圧電振動子が用いられ ている。特に圧電体として水晶を用いた水晶振動子は、電気的な特性も良好で高 性能な割に価格も安価であり、多くの電子機器に用いられている。 このような水晶振動子の構造としては、たとえばベースに植設した一対の端子 の先端部で水晶片を保持するようにしている。この水晶片は、人工水晶の結晶を 結晶軸に対して所定の角度に切断して短冊型、丸板状等に成形し、表裏板面にア ルミ、銀等を蒸着して電極を形成したものである。 Recently, piezoelectric vibrators have been used as a reference for frequency, time, etc. in various electronic devices. In particular, crystal oscillators that use quartz as a piezoelectric body have good electrical characteristics and high performance, but are inexpensive, and are used in many electronic devices. As a structure of such a crystal unit, for example, the crystal pieces are held by the tip portions of a pair of terminals implanted in the base. This crystal piece was formed by cutting artificial quartz crystal at a predetermined angle with respect to the crystal axis to form a strip shape, a round plate shape, etc., and forming electrodes by evaporating aluminum, silver, etc. on the front and back plate surfaces. It is a thing.

【0003】 そして、この水晶片を上記端子で保持するとともに板面に形成した電極を上記 端子を介して外部へ導出するようにしている。 そしてベースに下面に開口を有する筒状の金属カバーをかぶせて、開口縁部を ベースの外周縁部に半田付け、抵抗溶接等を行って気密に封止するようにしてい る。Then, the crystal piece is held by the terminals, and the electrodes formed on the plate surface are led out to the outside through the terminals. Then, the base is covered with a cylindrical metal cover having an opening on the lower surface, the opening edge is soldered to the outer peripheral edge of the base, and resistance welding is performed to hermetically seal the base.

【0004】 しかしてこのような水晶振動子では、ベースとカバーで密封した容器内を安定 な状態に維持するために、たとえば容器内に不活性ガスを封入したり、真空状態 にすることが行われている。 しかしながら容器内の気体を、完全に不活性ガスに置き換えることは困難なた めに若干の不純物の混入は避けられないし、また完全に不活性ガスに置き換える ことができたとしても、不活性ガス自体に微量の不純物、たとえば活性な酸素が 含まれることは避けられない。However, in such a crystal oscillator, in order to maintain a stable state inside the container sealed by the base and the cover, for example, an inert gas may be filled in the container or a vacuum state may be set. It is being appreciated. However, since it is difficult to completely replace the gas in the container with an inert gas, it is inevitable that some impurities will be mixed in. Even if the gas can be completely replaced with an inert gas, the inert gas itself It is unavoidable that impurities contain trace amounts of impurities such as active oxygen.

【0005】 このような酸素は水晶片の板面に形成した電極を構成する、アルミ、銀等と反 応して化学的に変質して水晶振動子の共振周波数等の共振特性を変化させて長期 安定性を損なう問題がある。 特に最近の高安定、高精度の水晶振動子では、容器内に残存する僅かな酸素等 の働きで電極が変質して共振特性が変化しても重大な問題となる。Such oxygen reacts with aluminum, silver, etc., which composes the electrode formed on the plate surface of the crystal piece, and is chemically altered to change the resonance characteristics such as the resonance frequency of the crystal unit. There is a problem that impairs long-term stability. Particularly in recent high-stability, high-precision quartz oscillators, even if the resonance characteristics change due to the deterioration of the electrodes due to the action of a slight amount of oxygen remaining in the container, it becomes a serious problem.

【0006】[0006]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

本考案は上記の事情に鑑みてなされたもので、容器内に残存する酸素等の活性 な気体と電極を構成する金属との化学的な反応を阻止することによって長期間、 安定な共振特性を維持することができる水晶振動子を提供することを目的とする ものである。 The present invention has been made in view of the above circumstances and provides stable resonance characteristics for a long period of time by preventing a chemical reaction between an active gas such as oxygen remaining in the container and a metal forming the electrode. The object is to provide a crystal unit that can be maintained.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案は、所定の形状に成形した水晶板の板面に電極を形成し、この電極の上 に酸化膜を被着したことを特徴とする水晶振動子、およびこの水晶振動子におい て電極は銀またはアルミを蒸着し、またはスパッタにて形成したこと、さらにこ の水晶振動子において酸化膜はスパッタリングによって形成したことを特徴とす るものである。 According to the present invention, a crystal resonator characterized in that an electrode is formed on a plate surface of a crystal plate molded into a predetermined shape, and an oxide film is deposited on the electrode, and the electrode in this crystal resonator is It is characterized in that silver or aluminum is vapor-deposited or formed by sputtering, and that in this crystal unit, the oxide film is formed by sputtering.

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

以下、本考案の一実施例を図1に示す水晶片の断面図、図2に示す水晶片の平 面図を参照して詳細に説明する。 図中1は水晶板である。この水晶板1は、人工水晶の結晶を結晶軸に対して所 定の角度に切断して板状に成形し、さらに外形形状を短冊型、丸板状等に成形し 、両側板面を所望の共振周波数に応じた厚みに研磨したものである。 そして水晶板1の両側板面に、たとえば真空蒸着によって電極2を形成してい る。この電極2は、たとえば丸板状の水晶板1に形成する場合であれば、両側板 面の中央部に相対面して形成し、さらに各電極2を互いに反対方向へ縁端部まで 導出するようにしている。 An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the sectional view of the crystal piece shown in FIG. 1 and the plan view of the crystal piece shown in FIG. In the figure, 1 is a crystal plate. This crystal plate 1 is formed by cutting artificial quartz crystal at a predetermined angle with respect to the crystal axis to form a plate shape, and further forming the external shape into a strip shape, a round plate shape, or the like, with both side plate surfaces being desired. It is ground to a thickness corresponding to the resonance frequency of. Then, the electrodes 2 are formed on both sides of the crystal plate 1 by, for example, vacuum vapor deposition. When the electrodes 2 are formed on the crystal plate 1 having a round plate shape, for example, the electrodes 2 are formed so as to face the central portions of both side plate surfaces, and the electrodes 2 are led out in opposite directions to the edges. I am trying.

【0009】 また電極2を真空蒸着によって形成する場合は、たとえば真空雰囲気中でアル ミ、銀等の金属を加熱して金属蒸気を発生させる。そして前面に所定の形状のマ スクを配設した水晶板1を金属蒸気に曝して、該金属を板面に蒸着させて電極2 を形成するようにしている。 そして電極2の上に、これを覆うように酸化膜3を形成している。なお酸化膜 3を構成する酸化物は一般に高融点のために電極2と同様の手段で、たとえば電 気的な抵抗を利用した抵抗加熱を行って酸化物の蒸気を得ることは困難なことが 多い。このような場合は、たとえばスパッタによって電極2を覆うように酸化物 を被着させることによって容易に酸化膜3を形成することができる。When the electrode 2 is formed by vacuum vapor deposition, metal such as aluminum or silver is heated in a vacuum atmosphere to generate metal vapor. Then, the quartz plate 1 having a mask of a predetermined shape arranged on the front surface is exposed to metal vapor, and the metal is vapor-deposited on the plate surface to form the electrode 2. Then, an oxide film 3 is formed on the electrode 2 so as to cover it. Since the oxide forming the oxide film 3 generally has a high melting point, it is difficult to obtain the vapor of the oxide by means of resistance heating utilizing electric resistance, for example, by the same means as the electrode 2. Many. In such a case, the oxide film 3 can be easily formed by depositing an oxide so as to cover the electrode 2 by sputtering, for example.

【0010】 なお電極2の上に酸化膜3を形成した水晶片は、従来周知のように、たとえば ベースに植接した一対の端子の先端部で挟持して、導電性接着剤等を塗布して固 着し、機械的に保持するとともに電極と端子との電気的な導通を図る。そして電 極の上に微量の金属を蒸着して共振周波数を正確に調整し、さらにベースにカバ ーをかぶせて気密に封止して水晶振動子が完成する。As is well known in the art, the crystal piece having the oxide film 3 formed on the electrode 2 is sandwiched by, for example, the tips of a pair of terminals planted in the base and coated with a conductive adhesive or the like. The electrode and the terminal are electrically connected. Then, a small amount of metal is vapor-deposited on the electrode to adjust the resonance frequency accurately, and then the base is covered with a cover and hermetically sealed to complete the crystal unit.

【0011】 このような構成であれば、電極2は表面を酸化膜3で覆っているので雰囲気の 気体に直接ふれることはない。しかして封止した容器内に酸素等の活性の強い気 体が残存していても電極2と反応することはなく、また酸化膜3は化学的に安定 であり、特に酸素とは反応しないので化学的に安定な状態を維持することができ る。 さらに電極2の表面を酸化膜3で覆っているために、機械的にも安定な状態を 維持することができる。 したがって上記水晶片を用いた水晶振動子は、長期間、安定な共振特性を維持 することができ良好な長期安定性を得ることができる。With such a configuration, the surface of the electrode 2 is covered with the oxide film 3, so that the electrode 2 does not come into direct contact with the atmosphere gas. However, even if a gas having a strong activity such as oxygen remains in the sealed container, it does not react with the electrode 2, and the oxide film 3 is chemically stable and does not particularly react with oxygen. It can maintain a chemically stable state. Furthermore, since the surface of the electrode 2 is covered with the oxide film 3, the mechanically stable state can be maintained. Therefore, the crystal resonator using the above crystal piece can maintain stable resonance characteristics for a long period of time and can obtain good long-term stability.

【0012】[0012]

【考案の効果】[Effect of device]

以上詳述したように本考案によれば、水晶板に形成した電極を化学的、物理的 に安定な状態に維持することができ、それによって長期間、安定かつ良好な共振 特性を得ることができる水晶振動子を提供することができる。 As described in detail above, according to the present invention, the electrodes formed on the quartz plate can be maintained in a chemically and physically stable state, and thereby stable and good resonance characteristics can be obtained for a long period of time. It is possible to provide a crystal unit that can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施例の水晶片の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a quartz piece according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す実施例の水晶片の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the crystal piece of the embodiment shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 水晶板 2 電極 3 酸化膜 1 Crystal plate 2 Electrode 3 Oxide film

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】所定の形状に成形した水晶板と、 この水晶板の板面に形成した電極と、 この電極の上に被着した酸化膜と、 を具備することを特徴とする水晶振動子。1. A crystal resonator comprising: a crystal plate formed into a predetermined shape; an electrode formed on a plate surface of the crystal plate; and an oxide film deposited on the electrode. . 【請求項2】請求項1に記載のものにおいて、電極は銀
またはアルミを蒸着して形成したことを特徴とする水晶
振動子。
2. The crystal resonator according to claim 1, wherein the electrodes are formed by vapor-depositing silver or aluminum.
【請求項3】請求項1または請求項2に記載のものにお
いて、酸化膜はスパッタリングによって形成したことを
特徴とする水晶振動子。
3. The crystal resonator according to claim 1, wherein the oxide film is formed by sputtering.
JP1994003185U 1994-03-09 1994-03-09 Crystal oscillator Expired - Lifetime JP3001856U (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0345444A (en) * 1989-07-12 1991-02-27 Honda Motor Co Ltd Terminal treatment structure of roof molding
JPH0326644U (en) * 1989-07-25 1991-03-18

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