JP2993094B2 - Muffle tube type heating furnace - Google Patents

Muffle tube type heating furnace

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JP2993094B2 JP2275586A JP27558690A JP2993094B2 JP 2993094 B2 JP2993094 B2 JP 2993094B2 JP 2275586 A JP2275586 A JP 2275586A JP 27558690 A JP27558690 A JP 27558690A JP 2993094 B2 JP2993094 B2 JP 2993094B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はマッフルチューブタイプ加熱炉に関する。The present invention relates to a muffle tube type heating furnace.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

マッフルチューブタイプ加熱炉は内部に加熱手段を備
える中空の炉体内に、支持体によって支えられたマッフ
ルチューブを貫通させて構成されている。
The muffle tube type heating furnace is configured by penetrating a muffle tube supported by a support into a hollow furnace body having a heating means therein.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

このようなマッフルチューブタイプ加熱炉では、マッ
フルチューブの昇温時にはマッフルチューブは熱膨張に
よって軸芯方向に向けて大きく伸長しようとする。マッ
フルチューブの伸長の場合、マッフルチューブはそれを
支える複数の支持体との間の摩擦抵抗を受ける為、軸芯
方向に向けては真直ぐに伸長し得ず湾曲する。従って、
繰り返しの操業に伴ないマッフルチューブの昇温、降温
が繰り返されると、マッフルチューブには湾曲の繰り返
しによる大きな疲労が生じ、短期のうちに変形や割れを
生じて使用不能となってしまう問題点があった。
In such a muffle tube type heating furnace, when the temperature of the muffle tube rises, the muffle tube tends to largely expand in the axial direction due to thermal expansion. In the case of extension of the muffle tube, the muffle tube receives a frictional resistance between a plurality of supports that support the muffle tube, so that the muffle tube cannot be straightly extended in the axial direction and is curved. Therefore,
If the temperature of the muffle tube rises and falls repeatedly due to repeated operations, the muffle tube will be repeatedly fatigued due to repeated bending, causing deformation and cracking within a short period of time, making it unusable. there were.

本願発明は上記従来技術の問題点(技術的課題)を解
決する為になされたもので、マッフルチューブに引張力
を加えることにより、マッフルチューブの膨張時にはそ
れをその軸芯方向に真直ぐに伸長させることができるよ
うにして、上記従来技術の如き湾曲の繰り返しによる疲
労を防止できて長寿命化を可能にできるようにしたマッ
フルチューブタイプ加熱炉を提供することを目的として
いる。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems (technical problems) of the prior art, and by applying a tensile force to a muffle tube, when the muffle tube is expanded, it is straightened in the axial direction thereof. It is an object of the present invention to provide a muffle tube type heating furnace capable of preventing fatigue due to repetition of bending as in the above-mentioned prior art and enabling a longer life.

〔課題を解決する為の手段〕[Means for solving the problem]

本願発明におけるマッフルチューブタイプ加熱炉は、
内部に加熱手段を備える中空の炉体内に、支持体によっ
て支えられたマッフルチューブを貫通させてあるマッフ
ルチューブタイプ加熱炉において、上記マッフルチュー
ブにはその軸芯方向に引張力を加えるようにした引張装
置を付設すると共に、上記炉体内の温度を検出するよう
にした温度検出器と、上記引張装置を作動させて上記引
張力を発生させる為の引張装置作動制御用の切替弁とを
備えさせ、上記温度検出器によって検出される温度が炉
内温度の昇温過程にあるときには上記切替弁を制御して
引張装置を作動させマッフルチューブに対して上記引張
力を加えるようにしたものである。
The muffle tube type heating furnace in the present invention,
In a muffle tube type heating furnace in which a muffle tube supported by a support is penetrated into a hollow furnace body having a heating means therein, a tension force is applied to the muffle tube in the axial direction thereof. Attaching a device, a temperature detector adapted to detect the temperature in the furnace, and a switching valve for tension device operation control for generating the tensile force by operating the tension device, comprising: When the temperature detected by the temperature detector is in the process of increasing the furnace temperature, the switching valve is controlled to operate the tension device to apply the tension to the muffle tube.

〔作用〕[Action]

加熱手段によりマッフルチューブが加熱され昇温す
る。被処理物はその昇温したマッフルチューブの中を通
され、マッフルチューブ内の雰囲気ガス中で加熱され
る。マッフルチューブが昇温により軸芯方向に熱膨張す
る場合、炉内温度は温度検出器で検出され、その検出に
基づき引張装置は作動され、マッフルチューブに加えら
れる引張装置からの軸芯方向の引張力によってマッフル
チューブはその軸芯方向に真直ぐに伸長する。
The muffle tube is heated by the heating means to increase the temperature. The object to be processed is passed through the heated muffle tube and heated in the atmosphere gas in the muffle tube. When the muffle tube thermally expands in the axial direction due to a rise in temperature, the furnace temperature is detected by a temperature detector, and based on the detection, the tension device is operated, and the tension in the axial direction from the tension device applied to the muffle tube is increased. The force causes the muffle tube to extend straight in its axial direction.

〔実施例〕〔Example〕

以下本願の実施例を示す図面について説明する。マッ
フルチューブを備えた熱処理装置の一例として黒化炉を
示す第1図において、1は第1加熱炉、2はその前段側
に設けられた導入部、3は第1加熱炉1の後段側に設け
られた第2加熱炉(尚第2加熱炉3はその内部の温度が
室温よりも高い為加熱炉であるが、黒化炉の場合その温
度は第1加熱炉1の内部の温度よりも低く、被処理物の
熱処理上は冷却保持炉である)、4は冷却装置、5は被
処理物を導入部2から第1加熱炉1、第2加熱炉3、冷
却装置4を通して搬送する為の搬送装置を示す。
Hereinafter, drawings showing an embodiment of the present application will be described. In FIG. 1 showing a blackening furnace as an example of a heat treatment apparatus provided with a muffle tube, reference numeral 1 denotes a first heating furnace, 2 denotes an introduction portion provided on the front side thereof, and 3 denotes a rear side of the first heating furnace 1. The second heating furnace provided (the second heating furnace 3 is a heating furnace because its internal temperature is higher than room temperature, but in the case of a blackening furnace, the temperature is higher than the internal temperature of the first heating furnace 1. It is a cooling and holding furnace for heat treatment of the object to be processed.) 4 is a cooling device, and 5 is for transferring the object to be processed from the introduction section 2 through the first heating furnace 1, the second heating furnace 3, and the cooling device 4. Is shown.

第1加熱炉1について第2図をも参照して説明する。
6は基枠、7は基枠上に設けられた中空の炉体、8は炉
体7の内部に備えられた加熱手段(ヒータ)、9は炉体
7内を貫通して設けられたマッフルチューブで、例えば
1.5m程度の間隔で配設された多数の支持体10によって支
えられている。マッフルチューブ9の断面形状は例えば
矩形で、その高さは例えば250mm、幅は800mmである。マ
ッフルチューブ9の長さは非常に長く例えば10m前後で
ある。9aはマッフルチューブ9における軸芯方向の一方
の端部を示し、炉体7に固定してある。尚図示はしない
が、該端部9aにはマッフルチューブ9内に雰囲気ガスを
送り込むようにした送気手段が周知の如く付設してあ
る。9bは他方の端部で、炉体7に対し軸芯方向への変位
が自在となっている。12は上記マッフルチューブ9に付
設した引張装置で、マッフルチューブ9に軸芯方向の引
張力を与えるようにしたものである。13は該装置におけ
るシリンダで、その本体は基枠6に固着した取付ベース
14に連結してある。又該シリンダにおけるピストンロッ
ド15は次に述べる支持枠18及び導入筒19を介して上記端
部9bに連結してある。上記シリンダ13としては、そのス
トロークがマッフルチューブ9の膨張長さ(例えば150m
m)よりも大きいものが用いられる。
The first heating furnace 1 will be described with reference to FIG.
Reference numeral 6 denotes a base frame, 7 denotes a hollow furnace body provided on the base frame, 8 denotes a heating means (heater) provided inside the furnace body 7, 9 denotes a muffle provided through the inside of the furnace body 7. In a tube, for example
It is supported by a large number of supports 10 arranged at intervals of about 1.5 m. The cross-sectional shape of the muffle tube 9 is, for example, rectangular, and its height is, for example, 250 mm and its width is 800 mm. The length of the muffle tube 9 is very long, for example, about 10 m. Reference numeral 9a denotes one end of the muffle tube 9 in the axial direction, which is fixed to the furnace body 7. Although not shown, an air supply means for supplying atmospheric gas into the muffle tube 9 is attached to the end 9a as is well known. 9b is the other end, which can be freely displaced in the axial direction with respect to the furnace body 7. Reference numeral 12 denotes a tensioning device attached to the muffle tube 9 for applying a tensile force to the muffle tube 9 in the axial direction. Reference numeral 13 denotes a cylinder of the apparatus, the main body of which is a mounting base fixed to the base frame 6.
Connected to 14. The piston rod 15 of the cylinder is connected to the end 9b through a support frame 18 and an introduction tube 19 described below. The cylinder 13 has a stroke corresponding to the expansion length of the muffle tube 9 (for example, 150 m).
Those larger than m) are used.

次に導入部2について説明する。17は基枠で、前記加
熱炉1の基枠6と一体に構成されている。18は基枠17上
に設けた支持枠で、基枠17に対し前記マッフルチューブ
9の軸芯方向への変位が自在となっている。19は支持枠
18に取付けた導入筒で、その一端は上記マッフルチュー
ブ9の端部9bに連結してある。
Next, the introduction unit 2 will be described. Reference numeral 17 denotes a base frame, which is integrally formed with the base frame 6 of the heating furnace 1. Reference numeral 18 denotes a support frame provided on the base frame 17, and the displacement of the muffle tube 9 in the axial direction with respect to the base frame 17 is free. 19 is a support frame
An introduction cylinder attached to 18 has one end connected to the end 9b of the muffle tube 9.

次に第2加熱炉3は第1加熱炉1と均等の構成であ
り、21は基枠、22は炉体、23は加熱手段(ヒータ)、24
はマッフルチューブ、24aはマッフルチューブ24におい
て炉体22に固定した端部で、前記マッフルチューブ9と
同様にマッフルチューブ24内に雰囲気ガスを送り込むよ
うにした送気手段が付設してある。24bは炉体22に対し
マッフルチューブ24の軸芯方向への変位が自在となって
いる端部、25は支持体を夫々示す。第3図に示される26
はマッフルチューブ24に付設した引張装置で、マッフル
チューブ24にその軸芯方向の引張力を加えるようにした
ものであり、前記引張装置12と均等に構成してある。即
ち、27はシリンダ、28は取付ベース、29はピストンロッ
ドである。30はピストンロッド29と上記端部24bとを連
結する連結枠で、マッフルチューブ24の軸芯方向と平行
な状態に設けられた縦枠31とその一端に取付けた張出枠
32とから構成され、縦枠31の他端が上記端部24bに連結
してあり、張出枠32の先端がピストンロッド29に連結し
てある。
Next, the second heating furnace 3 has a configuration equivalent to that of the first heating furnace 1, wherein 21 is a base frame, 22 is a furnace body, 23 is heating means (heater), 24
Is a muffle tube, and 24a is an end of the muffle tube 24 fixed to the furnace body 22. As with the muffle tube 9, an air supply means for feeding atmospheric gas into the muffle tube 24 is provided. Reference numeral 24b denotes an end of the muffle tube 24 which is freely displaceable in the axial direction with respect to the furnace body 22, and reference numeral 25 denotes a support. 26 shown in FIG.
Is a pulling device attached to the muffle tube 24, which applies a pulling force in the axial direction to the muffle tube 24, and is configured equally to the pulling device 12. That is, 27 is a cylinder, 28 is a mounting base, and 29 is a piston rod. Reference numeral 30 denotes a connection frame connecting the piston rod 29 and the end portion 24b, a vertical frame 31 provided in a state parallel to the axial direction of the muffle tube 24, and an extension frame attached to one end thereof.
The other end of the vertical frame 31 is connected to the end 24b, and the end of the overhang frame 32 is connected to the piston rod 29.

次に33はマッフルチューブ9の端部9aとマッフルチュ
ーブ24の端部24aとを繋ぐ中間マッフルで、仕切用ガス
をエアーカーテン状にマッフル34内に吹き込むことによ
って両マッフルチューブ9,24内の雰囲気ガス相互を仕切
るようにした雰囲気ガス仕切手段34が設けてある。
Next, reference numeral 33 denotes an intermediate muffle connecting the end 9a of the muffle tube 9 and the end 24a of the muffle tube 24. The gas in the muffle tubes 9, 24 is blown into the muffle 34 by blowing a partitioning gas into the muffle 34. Atmosphere gas partitioning means 34 for partitioning the gases is provided.

次に冷却装置4について説明する。35はマッフルチュ
ーブで、前記連結枠30に取付けられ、一端は前記マッフ
ルチューブ24の端部24bに連結してある。マッフルチュ
ーブ35の近傍には、圧送された冷却用の大気をマッフル
チューブ35に吹き付けるようにしたノズル37が設けてあ
る。
Next, the cooling device 4 will be described. A muffle tube 35 is attached to the connection frame 30 and has one end connected to the end 24b of the muffle tube 24. In the vicinity of the muffle tube 35, there is provided a nozzle 37 for blowing the pressure-fed cooling air to the muffle tube 35.

次に搬送装置5としてはメッシュベルトコンベアが用
いてある。39a〜39fは案内用或いは駆動用のロール、40
は搬送手段として示すメッシュベルトで、上記多数のロ
ール39a〜39fに掛けられて、導入筒19、マッフルチュー
ブ9,24、マッフルチューブ35の各底面上を順次移動し、
再び導入筒19に戻る経路で巡回するようになっている。
Next, a mesh belt conveyor is used as the transfer device 5. 39a to 39f are guide or drive rolls, 40
Is a mesh belt shown as a conveying means, is hung on the above-mentioned many rolls 39a to 39f, and sequentially moves on each bottom surface of the introduction cylinder 19, the muffle tubes 9, 24, and the muffle tube 35,
It recirculates on the route returning to the introduction cylinder 19 again.

次に第4図には上記引張装置12の制御系統が示され
る。41は炉体7内の温度を検出するようにした温度検出
器で、例えば熱電対が用いられる。42は温度調節計、43
はシリンダ13への作動用の圧縮空気の供給を切替え制御
するようにした切替弁としての切換電磁弁を夫々示す。
Next, FIG. 4 shows a control system of the tension device 12. Reference numeral 41 denotes a temperature detector for detecting the temperature inside the furnace 7, and for example, a thermocouple is used. 42 is a temperature controller, 43
Numerals indicate switching solenoid valves as switching valves for switching and controlling the supply of compressed air for operation to the cylinder 13.

上記構成の熱処理装置においては、第1及び第2加熱
炉1,3において夫々ヒータ8,23が発熱されてマッフルチ
ューブ9,24が昇温されると共に、各チューブの内部に雰
囲気ガスが夫々送入され、冷却装置4においてはノズル
37から冷却用の風が吹き出され、又搬送装置5が作動さ
れる。
In the heat treatment apparatus having the above configuration, the heaters 8 and 23 generate heat in the first and second heating furnaces 1 and 3, respectively, so that the muffle tubes 9 and 24 are heated, and the atmosphere gas is sent into each tube. And the cooling device 4
Cooling air is blown from 37, and the transport device 5 is operated.

この状態において被処理物例えばブラウン管のシャド
ウマスクが導入部2においてメッシュベルト40の上に置
かれる。その被処理物はベルト40の移動に伴い導入筒19
を通ってマッフルチューブ9内に入る。マッフルチュー
ブ9内において上記被処理物はチューブ9内の雰囲気ガ
ス中で所定の温度例えば600℃まで加熱される。次に上
記被処理物はマッフルチューブ24内に至り、そこの雰囲
気ガス中で例えば500℃まで冷却したのち保持される。
その後被処理物はマッフルチューブ35内に至り、そこで
略常温まで冷却される。上記のように被処理物がマッフ
ルチューブ9内とマッフルチューブ24内及びマッフルチ
ューブ35内を通ることにより、被処理物は所定の処理
(例えば黒化処理)が施される。
In this state, an object to be processed, for example, a shadow mask of a cathode ray tube, is placed on the mesh belt 40 in the introduction section 2. The material to be processed is introduced into the introduction cylinder 19 as the belt 40 moves.
Through the muffle tube 9. The object to be processed in the muffle tube 9 is heated to a predetermined temperature, for example, 600 ° C. in the atmosphere gas in the tube 9. Next, the object to be processed reaches the inside of the muffle tube 24, where it is cooled to, for example, 500.degree.
Thereafter, the object reaches the inside of the muffle tube 35, where it is cooled to approximately room temperature. As described above, the object passes through the muffle tube 9, the muffle tube 24, and the muffle tube 35, so that the object is subjected to a predetermined process (for example, a blackening process).

上記のような操業の場合、引張装置12が次のように作
動される。先ず操業の開始時において、ヒータ8の発熱
が開始されたばかりでマッフルチューブ9が昇温過程に
ある状態では、マッフルチューブ9はその熱膨張により
昇温と共に伸長する。この場合、温度検出器41によって
検出される上記炉内の昇温過程にある温度は操業温度
(調節計42の設定温度)に未だ達しない。従って、温度
調節計42によって切換電磁弁43は第4図に示される如き
状態にされる。この為、シリンダ13は伸長力を発生し、
その力によってマッフルチューブ9に引張力が加えられ
る。該引張力の大きさは、多数の支持体10とマッフルチ
ューブ9との間の摩擦抵抗の力と同程度がそれよりも僅
かに大きい程度の大きさにされる。このような引張力が
加えられる結果、マッフルチューブ9の伸長はその軸芯
方向に真直ぐに行われる。
In the operation described above, the tension device 12 is operated as follows. First, at the start of the operation, in a state where the heating of the heater 8 has just started and the muffle tube 9 is in the process of increasing the temperature, the muffle tube 9 expands with the increase in temperature due to its thermal expansion. In this case, the temperature in the process of raising the temperature in the furnace, which is detected by the temperature detector 41, has not yet reached the operating temperature (the set temperature of the controller 42). Accordingly, the switching solenoid valve 43 is brought into a state as shown in FIG. 4 by the temperature controller 42. For this reason, the cylinder 13 generates an extension force,
The tensile force is applied to the muffle tube 9 by the force. The magnitude of the pulling force is set to the same level as that of the frictional resistance between the plurality of supports 10 and the muffle tube 9 but slightly larger. As a result of such a tensile force being applied, the muffle tube 9 is straightened in the axial direction.

やがて炉体7内の温度が上昇しそれが操業温度に達し
た時には、マッフルチューブ9の熱膨張も完了してい
る。従ってその場合、即ち検出器41によって検出される
炉体内の温度が調節計42に設定された温度に達した場合
には、調節計42によって切換電磁弁43が図示の状態から
切り替えられ、シリンダ13はフリーの状態に成る。その
状態では上記マッフルチューブ9には何らの引張力も加
わらない。
When the temperature inside the furnace body 7 rises and reaches the operating temperature, the thermal expansion of the muffle tube 9 has been completed. Therefore, in that case, that is, when the temperature inside the furnace detected by the detector 41 reaches the temperature set in the controller 42, the switching solenoid valve 43 is switched from the illustrated state by the controller 42, and the cylinder 13 Becomes free. In this state, no tensile force is applied to the muffle tube 9.

一方、炉の操業が終了される場合において、ヒータ8
の発熱が停止された場合には、マッフルチューブ9は降
温し収縮する。この過程では、上記切換電磁弁43は上記
操業温度の場合と同様の状態に切り替わったままに保た
れ、シリンダ13はフリーの状態に保たれる。従ってマッ
フルチューブ9はその降温に伴い自体の収縮力によって
周知の如く収縮する。
On the other hand, when the operation of the furnace is terminated, the heater 8
Is stopped, the temperature of the muffle tube 9 decreases and contracts. In this process, the switching electromagnetic valve 43 is kept switched to the same state as in the case of the operating temperature, and the cylinder 13 is kept free. Therefore, the muffle tube 9 contracts in a well-known manner due to its own contraction force as the temperature falls.

尚第2加熱炉3においても引張装置26が同様に制御さ
れ、マッフルチューブ24はその昇温時には軸芯方向の引
張力によって軸芯方向に真直ぐ伸長し、炉内が所定温度
に達してマッフルチューブ24の伸長が完了した状態では
上記引張力が取り除かれ、マッフルチューブ24の降温時
にはそれ自身の収縮力によって周知の如く収縮する。
In the second heating furnace 3 as well, the tension device 26 is similarly controlled, and the muffle tube 24 extends straight in the axial direction by the tensile force in the axial direction when the temperature rises, and the inside of the furnace reaches a predetermined temperature and the muffle tube When the elongation of the muffle tube 24 is completed, the above-described tensile force is removed, and when the temperature of the muffle tube 24 is lowered, the muffle tube 24 contracts as is well known by its own contraction force.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上のように本願発明にあっては、被処理物を加熱す
る場合、ヒータ8によりマッフルチューブ9を加熱して
昇温させると共にそのマッフルチューブ9内に被処理物
を通すことにより、被処理物をマッフルチューブ9内の
雰囲気ガス中で加熱できるは勿論のこと、 上記の如くマッフルチューブ9を昇温させることによ
りそれが熱膨張する場合には、その炉内温度を温度検出
器で検出し、その検出に基づき引張装置は作動され、マ
ッフルチューブ9に引張力が加えられることによってマ
ッフルチューブ9を、昇温時にその軸芯方向に真直ぐに
伸びさせることのできる特長がある。
As described above, according to the present invention, when the object to be processed is heated, the muffle tube 9 is heated by the heater 8 to raise the temperature, and the object to be processed is passed through the muffle tube 9. Can be heated in the atmosphere gas in the muffle tube 9, and if the muffle tube 9 is thermally expanded by raising the temperature as described above, the temperature in the furnace is detected by a temperature detector, Based on the detection, the pulling device is operated, and by applying a pulling force to the muffle tube 9, there is a feature that the muffle tube 9 can be stretched straight in the axial direction when the temperature is raised.

このことは、マッフルチューブの熱膨張時におけるマ
ッフルチューブの湾曲を防止できることであり、従って
マッフルチューブ9の昇温及び降温の繰り返しによりマ
ッフルチューブが伸び縮みを繰り返しても、その都度炉
内温度は温度検出器で検出されて上記のように対応され
るから、前記従来の如き湾曲の繰り返しによる疲労を防
止でき、長寿命利用を可能にできる有用性がある。
This means that the muffle tube can be prevented from bending during the thermal expansion of the muffle tube. Therefore, even if the muffle tube 9 repeatedly expands and contracts due to the repetition of heating and cooling of the muffle tube 9, the temperature in the furnace is kept constant every time. Since the detection is performed by the detector and the response is performed as described above, there is a utility that the fatigue due to the repetition of the bending as in the related art can be prevented and a long life can be used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図面は本願の実施例を示すもので、第1図は熱処理装置
の縦断面略示図、第2図は第1図の要部拡大図、第3図
は第2加熱炉における引張装置を示す平面図、第4図は
第1加熱炉における引張装置の制御系統を示す図。 7……炉体、9……マッフルチューブ、10……支持体、
12……引張装置。
The drawings show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view of a heat treatment apparatus, FIG. 2 is an enlarged view of a main part of FIG. 1, and FIG. 3 shows a tension device in a second heating furnace. FIG. 4 is a plan view, and FIG. 4 is a diagram showing a control system of a tension device in a first heating furnace. 7 ... furnace body, 9 ... muffle tube, 10 ... support,
12 ... Tensioning device.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】内部に加熱手段を備える中空の炉体内に、
支持体によって支えられたマッフルチューブを貫通させ
てあるマッフルチューブタイプ加熱炉において、上記マ
ッフルチューブにはその軸芯方向に引張力を加えるよう
にした引張装置を付設すると共に、上記炉体内の温度を
検出するようにした温度検出器と、上記引張装置を作動
させて上記引張力を発生させる為の引張装置作動制御用
の切替弁とを備えさせ、上記温度検出器によって検出さ
れる温度が炉内温度の昇温過程にあるときには上記切替
弁を制御して引張装置を作動させマッフルチューブに対
して上記引張力を加えるようにしたことを特徴とするマ
ッフルチューブタイプ加熱炉。
1. A hollow furnace having a heating means therein,
In a muffle tube type heating furnace in which a muffle tube supported by a support is penetrated, the muffle tube is provided with a tension device for applying a tensile force in the axial direction thereof, and the temperature in the furnace body is reduced. A temperature detector configured to detect the temperature, and a switching valve for controlling the operation of the tensioning device for generating the tensile force by operating the tensioning device, and the temperature detected by the temperature detector is detected in the furnace. A muffle tube type heating furnace wherein the switching valve is controlled to operate the tension device to apply the tension to the muffle tube when the temperature is in the process of increasing the temperature.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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