JP2992062B2 - Ultrasonic motor - Google Patents

Ultrasonic motor

Info

Publication number
JP2992062B2
JP2992062B2 JP2223193A JP22319390A JP2992062B2 JP 2992062 B2 JP2992062 B2 JP 2992062B2 JP 2223193 A JP2223193 A JP 2223193A JP 22319390 A JP22319390 A JP 22319390A JP 2992062 B2 JP2992062 B2 JP 2992062B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
stator
holder
diameter portion
disc spring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2223193A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04105573A (en
Inventor
睦朗 青山
千明 梅村
武司 野田
明美 大川
信治 相良
恒二 小野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fukoku KK
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
Fukoku KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aisin Seiki Co Ltd, Fukoku KK filed Critical Aisin Seiki Co Ltd
Priority to JP2223193A priority Critical patent/JP2992062B2/en
Publication of JPH04105573A publication Critical patent/JPH04105573A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2992062B2 publication Critical patent/JP2992062B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明はステータに発生する振動を駆動源とした超音
波モータに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial application field) The present invention relates to an ultrasonic motor using a vibration generated in a stator as a driving source.

(従来の技術) 従来よりステータに発生する振動エネルギーを利用し
てロータを回転させる超音波モータが知られている。こ
の種の超音波モータでは、ステータに発生した振動エネ
ルギーが摩擦力によつてロータに伝達され、ロータが回
転する構成となつている。このような構成の超音波モー
タは、例えば特開昭63−73887号公報等に提案されたも
のがある。
(Prior Art) Conventionally, an ultrasonic motor that rotates a rotor by using vibration energy generated in a stator is known. In this type of ultrasonic motor, vibration energy generated in the stator is transmitted to the rotor by frictional force, and the rotor rotates. An ultrasonic motor having such a configuration has been proposed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-73887.

以下、第3図を参照して、従来の超音波モータについ
て説明する。
Hereinafter, a conventional ultrasonic motor will be described with reference to FIG.

ベース1にはリング状のステータ2の内孔が嵌合し、
皿ねじ3を介してステータの内周側が振動不可能となる
ように固着されている。ステータ2の一面にはリング状
の圧電セラミクス4が振動を伝えるように接着されてい
る。ステータ2の表面には多数の突部2aが形成されてい
る。
An inner hole of a ring-shaped stator 2 is fitted to the base 1,
The inner peripheral side of the stator is fixed via the countersunk screw 3 so as not to vibrate. A ring-shaped piezoelectric ceramic 4 is adhered to one surface of the stator 2 so as to transmit vibration. A large number of protrusions 2a are formed on the surface of the stator 2.

圧電セラミクス4に互いに位相が異なる一対の交流電
圧を印加することにより、圧電セラミクス4が伸縮し、
ステータ2に進行波振動が生起される。
By applying a pair of AC voltages having phases different from each other to the piezoelectric ceramics 4, the piezoelectric ceramics 4 expands and contracts,
Traveling wave vibration is generated in the stator 2.

ロータ6は皿バネ7の加圧力によりステータ2に常時
圧接されている。ロータ6には摩擦材6aが接着されてお
り、摩擦材6aがステータ2に接触する。また、皿バネ7
とロータ6の間にはゴムシート8が挟まれている。
The rotor 6 is constantly pressed against the stator 2 by the pressing force of the disc spring 7. A friction material 6 a is adhered to the rotor 6, and the friction material 6 a contacts the stator 2. Also, the disc spring 7
A rubber sheet 8 is sandwiched between the rotor and the rotor 6.

皿バネ7はホルダ部10により保持されている。ロータ
6の駆動力は皿バネ7、ホルダ部10を通して回転軸12に
伝達される。回転軸12はベース1に固定された軸受13と
ハウジング5に固定されたベアリング9によつて回転自
在に支持される。
The disc spring 7 is held by a holder 10. The driving force of the rotor 6 is transmitted to the rotating shaft 12 through the disc spring 7 and the holder 10. The rotating shaft 12 is rotatably supported by a bearing 13 fixed to the base 1 and a bearing 9 fixed to the housing 5.

皿バネ7の加圧力は、スナツプリング14と軸受13の間
に挿入されたシム15の厚さや枚数を変えることによつて
調節される。皿バネ7はホルダ部10を通して回転軸12を
ハウジング5側(図示上方)へ付勢している。従つて、
スナツプリング14を取り外してシム15の厚さや枚数を増
すことにより、ホルダ部10をステータ2に近づけて加圧
力を増すことができる。また逆に、シム15の厚さや枚数
を減らすことにより、ホルダ部10をステータ2から遠ざ
けて加圧力を減らすことができる。
The pressing force of the disc spring 7 is adjusted by changing the thickness and the number of shims 15 inserted between the snap ring 14 and the bearing 13. The disc spring 7 urges the rotating shaft 12 through the holder portion 10 toward the housing 5 (upward in the figure). Therefore,
By removing the snap ring 14 and increasing the thickness and the number of shims 15, the holder 10 can be brought closer to the stator 2 to increase the pressing force. Conversely, by reducing the thickness and the number of shims 15, the holder 10 can be moved away from the stator 2 to reduce the pressing force.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、従来の超音波モータでは、回転軸12が
軸方向に移動し得る構造となつているので、回転軸12に
外力が作用するとホルダ部10が移動し、ロータ6とステ
ータ2の間に作用する加圧力が変化してしまう問題があ
つた。超音波モータは摩擦力によつてロータ6を回転さ
せるため、ロータ6とステータ2の間の加圧力が変化す
ると、モータから所定の駆動力が得られなくなつたり、
モータが異音を発生したりする。
(Problems to be Solved by the Invention) However, the conventional ultrasonic motor has a structure in which the rotating shaft 12 can move in the axial direction. Therefore, when an external force acts on the rotating shaft 12, the holder portion 10 moves, There is a problem that the pressing force acting between the rotor 6 and the stator 2 changes. Since the ultrasonic motor rotates the rotor 6 by the frictional force, when the pressure between the rotor 6 and the stator 2 changes, a predetermined driving force cannot be obtained from the motor,
The motor generates abnormal noise.

本発明は、このような従来装置の問題点を解消するた
めになされたもので、回転軸に加えられた外力がホルダ
へ作用しないようにすることを技術的課題とする。
The present invention has been made to solve such a problem of the conventional apparatus, and has as its technical object to prevent external force applied to a rotating shaft from acting on a holder.

〔発明の構成〕[Configuration of the invention]

(課題を解決するための手段) 前述した技術的課題を達成するために講じた技術的手
段は、圧電セラミクスが固定されたステータと、該ステ
ータ上に発生した進行波により回転するロータと、該ロ
ータに一端が係止され前記ロータを前記ステータに圧接
させる皿バネと、前記ステータが固定されたベースと、
該ベースに固定された軸受と、大径部と小径部を有した
段付状を呈し、前記小径部に前記大径部と前記小径部間
の段付部に係止されるように嵌合される前記軸受を介し
て前記ベースに回転自在に支持された回転軸と、該回転
軸の前記小径部に相対回転不能且つ軸方向に相対移動可
能に嵌合され、前記皿バネの他端を係止すると共に前記
ロータを相対回転不能且つ軸方向に相対移動可能に支持
するホルダと、前記軸受と前記ホルダの間に配設され前
記皿バネの加圧力を調整するシムと、前記回転軸の前記
小径部に固定され、前記段付部との間で前記軸受、前記
シムおよび前記ホルダを挟持する規制部材とを備えたこ
とである。
(Means for Solving the Problems) The technical measures taken to achieve the above-described technical problems include a stator on which piezoelectric ceramics are fixed, a rotor rotated by a traveling wave generated on the stator, and a rotor. A disc spring having one end locked to the rotor and pressing the rotor against the stator, a base to which the stator is fixed,
The bearing fixed to the base has a stepped shape having a large-diameter portion and a small-diameter portion, and is fitted to the small-diameter portion so as to be locked to a stepped portion between the large-diameter portion and the small-diameter portion. A rotating shaft rotatably supported by the base via the bearing, and a non-rotatable and axially movable relative to the small-diameter portion of the rotating shaft; A holder that locks and supports the rotor so as to be relatively non-rotatable and relatively movable in the axial direction; a shim disposed between the bearing and the holder to adjust a pressing force of the disc spring; A regulating member fixed to the small-diameter portion and holding the bearing, the shim, and the holder between itself and the stepped portion is provided.

(作用) 前述した技術的手段によれば、回転軸とホルダの間に
回転軸に設けられた段差部に係止され、回転軸に固定さ
れる規制部材によりホルダ、シムおよび軸受が挟持され
るので、回転面に加えられた外力は軸受とベースによっ
て受け止められ、ホルダには作用しない。
(Operation) According to the above-described technical means, the holder, the shim, and the bearing are held by the restricting member fixed to the rotating shaft, being locked to the step provided on the rotating shaft between the rotating shaft and the holder. Therefore, the external force applied to the rotating surface is received by the bearing and the base and does not act on the holder.

また、前述した技術的手段によれば、皿バネの加圧力
がシムの交換やシムの枚数の増減によつて容易に調整で
きる。
Further, according to the above-mentioned technical means, the pressing force of the disc spring can be easily adjusted by replacing the shim or increasing or decreasing the number of shims.

さらに、ロータとステータの間の加圧力が安定に保た
れるので、モータから所定の駆動力が得られる。また、
異音の発生も防止できる。
Further, since the pressing force between the rotor and the stator is kept stable, a predetermined driving force can be obtained from the motor. Also,
Generation of abnormal noise can also be prevented.

(実施例) 以下、添付図面を参照して本発明が適用された好まし
い超音波モータについて説明する。
Hereinafter, preferred ultrasonic motors to which the present invention is applied will be described with reference to the accompanying drawings.

第1図は本発明の第一実施例装置を描いた断面図であ
る。
FIG. 1 is a sectional view illustrating a device according to a first embodiment of the present invention.

ベース21にはハウジング37が固定されている。ハウジ
ング37の中には、ステータ22やロータ26が収容されてい
る。
A housing 37 is fixed to the base 21. The housing 37 houses the stator 22 and the rotor 26.

ベース21にはリング状のステータ22の内孔が嵌合し、
皿ねじ23を介してステータ22の内周側が振動不可能とな
るように固着されている。ステータ22の一面にはリング
状の圧電セラミクス24が振動を伝えるように接着されて
いる。ステータ22の表面には多数の突部22aが形成され
ている。
An inner hole of a ring-shaped stator 22 fits into the base 21,
The inner peripheral side of the stator 22 is fixed via a countersunk screw 23 so as not to vibrate. A ring-shaped piezoelectric ceramic 24 is adhered to one surface of the stator 22 so as to transmit vibration. A number of protrusions 22a are formed on the surface of the stator 22.

圧電セラミクス24に互いに位相が異なる一対の交流電
圧を印加することにより、圧電セラミクス24が伸縮し、
ステータ22に進行波振動が生起される。
By applying a pair of AC voltages having different phases to the piezoelectric ceramics 24, the piezoelectric ceramics 24 expands and contracts,
Traveling wave vibration is generated in the stator 22.

ロータ26は皿バネ27の加圧力によりステータ22に常時
圧接されている。ロータ26には摩擦材26aが接着されて
おり、摩擦材26aがステータ22に接触する。
The rotor 26 is constantly pressed against the stator 22 by the pressure of the disc spring 27. A friction material 26a is bonded to the rotor 26, and the friction material 26a contacts the stator 22.

皿バネ27はホルダ30により保持される。ホルダ30は回
転軸32の端部に固定され規制部材となるナツト34によつ
て回転軸32に固定される。
The disc spring 27 is held by the holder 30. The holder 30 is fixed to an end of the rotating shaft 32 and is fixed to the rotating shaft 32 by a nut 34 serving as a regulating member.

ロータ26とホルダ30の間にはセレーシヨン(図示せ
ず)が形成されており、ロータ26とホルダ30が一体回転
するようになつている。ロータ26の駆動力はホルダ30を
通して回転軸32に伝達される。また、このセレーシヨン
によりホルダ30はロータ26の軸方向に摺動し得る。皿バ
ネ27の加圧力は、ホルダ30と軸受33の間に挿入されたシ
ム36の厚さを変えるか、または複数のシム36を積み重ね
ることによつて調節される。
A serration (not shown) is formed between the rotor 26 and the holder 30 so that the rotor 26 and the holder 30 rotate integrally. The driving force of the rotor 26 is transmitted to the rotating shaft 32 through the holder 30. Further, the holder 30 can slide in the axial direction of the rotor 26 by this serration. The pressing force of the disc spring 27 is adjusted by changing the thickness of the shim 36 inserted between the holder 30 and the bearing 33, or by stacking a plurality of shims 36.

なお、本実施例ではロータ26とホルダ30の間にセレー
シヨン(図示せず)を形成しているが、2面取り等を形
成しても良い。
In this embodiment, a serration (not shown) is formed between the rotor 26 and the holder 30, but a double chamfer or the like may be formed.

回転軸32は、大径部と小径部を有した段付状を呈し、
大径部と小径部により段付部32aが形成されており、段
付部32aとホルダ30の間にシム36と軸受33を挟むことに
よつてベース21に対して回転自在に、かつ軸方向に移動
不能に支持される。軸受33はベース21に固定されている
ので、回転軸32に外力が作用しても、作用した外力は軸
受33とベース21によつて受け止められ、ホルダ30や皿バ
ネ27には作用しない。
The rotating shaft 32 has a stepped shape having a large diameter portion and a small diameter portion,
A stepped portion 32a is formed by the large-diameter portion and the small-diameter portion, and the shim 36 and the bearing 33 are interposed between the stepped portion 32a and the holder 30 so that the shim 36 and the bearing 33 are rotatable relative to the base 21 and axially Is immovably supported. Since the bearing 33 is fixed to the base 21, even if an external force acts on the rotating shaft 32, the applied external force is received by the bearing 33 and the base 21, and does not act on the holder 30 or the disc spring 27.

以下、第2図を参照して第二実施例装置について説明
する。第2図は第二実施例装置の断面図である。
The second embodiment will be described below with reference to FIG. FIG. 2 is a sectional view of the second embodiment.

第二実施例装置では、皿バネ27の端面27aとロータ26
の間にスプリングカラー28が挟まれている。スプリング
カラー28は金属製のリングで、端面27aとロータ26の間
の厚みが全周にわたつて一定になつている。それゆえ
に、皿バネ27の端面27aの平面度が多少悪くても、皿バ
ネ27がロータ26の一部を強く押さえ付けることが無くな
り皿バネ27の加圧力がロータ26の周方向に均一に分布す
るようになる。
In the second embodiment, the end face 27a of the disc spring 27 and the rotor 26
A spring collar 28 is sandwiched between the two. The spring collar 28 is a metal ring, and the thickness between the end face 27a and the rotor 26 is constant over the entire circumference. Therefore, even if the flatness of the end face 27a of the disc spring 27 is somewhat poor, the disc spring 27 does not strongly press a part of the rotor 26, and the pressing force of the disc spring 27 is uniformly distributed in the circumferential direction of the rotor 26. I will be.

また、スプリングカラー28は皿バネ27の外周をロータ
26から持ち上げているので、皿バネ27がロータ26側に凸
になるまで皿バネ27の加圧力が増大できる。それゆえ
に、皿バネ27の加圧力調整範囲が広くなる。
The spring collar 28 has a rotor around the circumference of the disc spring 27.
Since it is lifted from 26, the pressing force of the disc spring 27 can be increased until the disc spring 27 projects toward the rotor 26 side. Therefore, the range of adjusting the pressing force of the disc spring 27 is widened.

以上に述べた実施例装置では、回転軸32,42を支える
軸受33が一つである。従つて、回転軸を二つの軸受で支
える場合に比べて超音波モータを薄くすることができ
る。
In the embodiment device described above, there is one bearing 33 that supports the rotating shafts 32 and 42. Therefore, the thickness of the ultrasonic motor can be reduced as compared with the case where the rotating shaft is supported by two bearings.

また、超音波モータの構成部品が全てベース21上に組
み立てられるので、回転軸32、ステータ22、ホルダ30、
およびロータ26を同軸にし易い。それゆえに、ステータ
22とロータ26の間に均一な加圧力を作用させることがで
き、異音の発生や駆動力の変動が防止できる。
Also, since all the components of the ultrasonic motor are assembled on the base 21, the rotating shaft 32, the stator 22, the holder 30,
And it is easy to make the rotor 26 coaxial. Hence the stator
A uniform pressing force can be applied between the rotor 22 and the rotor 26, thereby preventing generation of abnormal noise and fluctuation of the driving force.

さらに、超音波モータの構成部品が全てベース21上に
組み立てられるので、ハウジング37の機械的強度や寸法
精度は低くても良い。従つて、ハウジング37を薄くした
り、軽量にすることができる。
Further, since all the components of the ultrasonic motor are assembled on the base 21, the mechanical strength and the dimensional accuracy of the housing 37 may be low. Therefore, the housing 37 can be made thinner and lighter.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、皿バネの加圧力がシムの交換やシム
の枚数の増減によつて容易に調整できる。
According to the present invention, the pressing force of the disc spring can be easily adjusted by replacing the shim or increasing or decreasing the number of shims.

また、本発明によれば、ロータとステータの間の加圧
力が安定に保たれるので、モータから所定の駆動力が得
られる。また、異音の発生も防止できる。
Further, according to the present invention, since the pressing force between the rotor and the stator is kept stable, a predetermined driving force can be obtained from the motor. Also, generation of abnormal noise can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の第一実施例を描いた断面図である。 第2図は本発明の第二実施例を描いた断面図である。 第3図は従来装置を描いた断面図である。 21……ベース、22……ステータ、23……ネジ、 24……圧電セラミクス、26……ロータ、 27……皿バネ、28……スプリングカラー、 30……ホルダ、32……回転軸、33……軸受、 34……ナツト、36……シム、 37……ハウジング、41……シム、42……回転軸。 FIG. 1 is a sectional view illustrating a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional view depicting a second embodiment of the present invention. FIG. 3 is a sectional view illustrating a conventional device. 21 ... Base, 22 ... Stator, 23 ... Screw, 24 ... Piezoelectric ceramics, 26 ... Rotor, 27 ... Disc spring, 28 ... Spring collar, 30 ... Holder, 32 ... Rotating shaft, 33 … Bearing, 34… Nut, 36… Shim, 37… Housing, 41… Shim, 42… Rotating shaft.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大川 明美 愛知県刈谷市朝日町2丁目1番地 アイ シン精機株式会社内 (72)発明者 相良 信治 埼玉県北本市二ツ家1―333 ハイデン ス2―325 (72)発明者 小野 恒二 埼玉県上尾市大字平方4641―12 審査官 下原 浩嗣 (56)参考文献 特開 平2−303377(JP,A) 特開 平4−222474(JP,A) 特開 昭63−73887(JP,A) 特開 平2−41677(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H02N 2/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Akemi Okawa 2-1-1 Asahi-cho, Kariya-shi, Aichi Aisin Seiki Co., Ltd. (72) Inventor Shinji Sagara 1-333 Nitsuya, Kitamoto-shi, Saitama 2-325 Hydens (72) Inventor Tsuneji Ono Large character square 4641-12 Ageo-shi, Saitama Examiner Hiroshi Shimohara (56) References JP-A-2-303377 (JP, A) JP-A 4-222474 (JP, A) JP-A-63-73887 (JP, A) JP-A-2-41677 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H02N 2/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】圧電セラミクスが固定されたステータと、 該ステータ上に発生した進行波により回転するロータ
と、 該ロータに一端が係止され前記ロータを前記ステータに
圧接させる皿バネと、 前記ステータが固定されたベースと、 該ベースに固定された軸受と、 大径部と小径部を有した段付状を呈し、前記小径部に前
記大径部と前記小径部間の段付部に係止されるように嵌
合される前記軸受を介して前記ベースに回転自在に支持
された回転軸と、 該回転軸の前記小径部に相対回転不能且つ軸方向に相対
移動可能に嵌合され、前記皿バネの他端を係止すると共
に前記ロータを相対回転不能且つ軸方向に相対移動可能
に支持するホルダと、 前記軸受と前記ホルダの間に配設され前記皿バネの加圧
力を調整するシムと、 前記回転軸の前記小径部に固定され、前記段付部との間
で前記軸受、前記シムおよび前記ホルダを挟持する規制
部材とを備えたことを特徴とした超音波モータ。
1. A stator to which piezoelectric ceramics are fixed, a rotor rotated by a traveling wave generated on the stator, a disc spring having one end locked to the rotor to press the rotor against the stator, and the stator. A base fixed to the base, a bearing fixed to the base, and a stepped shape having a large diameter portion and a small diameter portion, wherein the small diameter portion relates to a stepped portion between the large diameter portion and the small diameter portion. A rotating shaft rotatably supported by the base via the bearing fitted so as to be stopped, fitted to the small diameter portion of the rotating shaft so as to be relatively non-rotatable and relatively movable in the axial direction; A holder that locks the other end of the disc spring and supports the rotor so as to be relatively non-rotatable and relatively movable in the axial direction, and is disposed between the bearing and the holder to adjust a pressing force of the disc spring. A shim; and the small diameter of the rotating shaft. Is secured to, said between said stepped portion bearing, ultrasonic motor, characterized in that a regulating member for sandwiching said shim and the holder.
JP2223193A 1990-08-23 1990-08-23 Ultrasonic motor Expired - Lifetime JP2992062B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2223193A JP2992062B2 (en) 1990-08-23 1990-08-23 Ultrasonic motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2223193A JP2992062B2 (en) 1990-08-23 1990-08-23 Ultrasonic motor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04105573A JPH04105573A (en) 1992-04-07
JP2992062B2 true JP2992062B2 (en) 1999-12-20

Family

ID=16794261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2223193A Expired - Lifetime JP2992062B2 (en) 1990-08-23 1990-08-23 Ultrasonic motor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2992062B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115413146B (en) * 2022-10-27 2023-04-25 南京航达超控科技有限公司 Pressing device and pressing method for bonding ultrasonic motor stator elastomer and piezoelectric ceramic sheet

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04105573A (en) 1992-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5943184A (en) Disk drive with a flat annular spring clamp and components dimensioned to maintain disk flatness
KR100341720B1 (en) Vibration Drive
JP2992062B2 (en) Ultrasonic motor
US5091670A (en) Ultrasonic motor
JP3218945B2 (en) Ultrasonic motor
US5107163A (en) Ultrasonic motor
JP2903629B2 (en) Ultrasonic motor
JP4076836B2 (en) Double degree of freedom drive
JP3089323B2 (en) Ultrasonic motor
JP3492106B2 (en) Vibration wave motor
JPS622830A (en) Reversible type motor
JP2000184758A (en) Ultrasonic motor and rotor thereof
JP2001260009A (en) Polishing device for spherical body
JPH02303372A (en) Ultrasonic motor
JPH05211786A (en) Ultrasonic motor
JP4095301B2 (en) Vibration wave drive
JP2690887B2 (en) Ultrasonic motor
JPH0135559Y2 (en)
JP2001020946A5 (en)
JPH0628953Y2 (en) Ultrasonic motor
JPH02303377A (en) Ultrasonic motor
JP2004112923A (en) Vibration wave drive unit, and machining method of elastic member constituting vibrator thereof
JPS63143609A (en) Positioning device for moving body
JPH0787707B2 (en) Ultrasonic motor
JPH0512451U (en) Roller support structure

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071015

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081015

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091015

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091015

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101015

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term