JP2985333B2 - Position detection sensor - Google Patents

Position detection sensor

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JP2985333B2
JP2985333B2 JP3061136A JP6113691A JP2985333B2 JP 2985333 B2 JP2985333 B2 JP 2985333B2 JP 3061136 A JP3061136 A JP 3061136A JP 6113691 A JP6113691 A JP 6113691A JP 2985333 B2 JP2985333 B2 JP 2985333B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は物体の複数の位置を検出
するための位置検出センサに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position detecting sensor for detecting a plurality of positions of an object.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来例えば図7に示すように、移動テー
ブル101上に加工ツール102が保持され、矢印方向
に沿って一定区間移動自在に構成されており、加工ツー
ル102を矢印方向に移動することによって被加工物1
03、例えばエンジン等を加工するようにした加工装置
が用いられる。このような加工装置では移動テーブル1
01が前進位置及び後進位置に到来したことを検出する
必要がある。そのために移動テーブル101の検出セン
サに対向する位置に検出体であるいわゆるドグ106を
設け、位置検出センサ104及び105によってこのド
グ106が近接したときにテーブルが所定位置に移動し
たことを検出するように構成される。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in, for example, FIG. 7, a processing tool 102 is held on a moving table 101 and is configured to be movable for a predetermined section along an arrow direction, and moves the processing tool 102 in an arrow direction. Workpiece 1
03, a processing device for processing an engine or the like is used. In such a processing apparatus, the moving table 1
It is necessary to detect that 01 has arrived at the forward position and the reverse position. For this purpose, a so-called dog 106, which is a detection object, is provided at a position facing the detection sensor of the moving table 101, and the position detection sensors 104 and 105 detect that the table has moved to a predetermined position when the dog 106 approaches. It is composed of

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかるにこのような従
来の位置検出センサでは、一定範囲を摺動するテーブル
にドグを設けており、そのドグを2つの位置検出センサ
で検出しているため、検出センサが複数必要であるとい
う欠点があった。そのため1つの検出センサを用いる場
合に比べてセンサ数が増加し、各センサはトラブルの発
生源となるため信頼性が低くなるという欠点があった。
又位置検出センサを取付けるための価格も上昇するとい
う欠点があった。又検出スイッチのヘッド周辺にアルミ
の切粉等が付着した場合には、誤動作を生じ易いという
欠点があった。
However, in such a conventional position detecting sensor, a dog is provided on a table which slides in a predetermined range, and the dog is detected by the two position detecting sensors. There is a disadvantage that a plurality of sensors are required. As a result, the number of sensors increases as compared with the case where one detection sensor is used, and each sensor is a source of trouble, resulting in a low reliability.
Further, there is a disadvantage that the price for mounting the position detection sensor also increases. In addition, when aluminum chips or the like adhere to the periphery of the head of the detection switch, there is a disadvantage that malfunction is likely to occur.

【0004】本発明はこのような従来の位置検出センサ
の問題点に鑑みてなされたものであって、1つの検出セ
ンサで物体の相異なる位置を検出すると共に、アルミの
切粉等によって悪影響を受けずに正常に検出できるよう
にすることを技術的課題とする。
The present invention has been made in view of such a problem of the conventional position detecting sensor, and a single detecting sensor detects different positions of an object, and has an adverse effect due to aluminum chips and the like. It is a technical problem to enable normal detection without receiving it.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は検出物体の相異
なった位置に取付けられ強磁性体材料及び非磁性体材料
から成る複数のドグと、一定周期の基本パルスに基づい
て周期的に周波数を連続して変化する信号を発生するス
イープ発振器と、検出コイルを含み、スイープ発振器の
出力が与えられスイープ発振器の発振周波数間に共振周
波数を有する共振回路と、共振回路の出力電圧を検波す
る検波回路と、検波回路の出力を所定のレベルで弁別す
るレベル弁別器と、レベル弁別器による弁別位相出力及
びスイープ発振器の基本パルスの位相差に基づいて共振
回路の共振周波数の正方向及び負方向への変化を検出す
る位相弁別手段と、を具備することを特徴とするもので
ある。
According to the present invention, a plurality of dogs made of a ferromagnetic material and a non-magnetic material, which are attached to different positions on a detection object, and a frequency is periodically determined based on a basic pulse having a constant period. A sweep circuit that generates a signal that continuously changes, a resonance circuit that includes a detection coil, is provided with the output of the sweep oscillator, and has a resonance frequency between the oscillation frequencies of the sweep oscillator, and a detection circuit that detects an output voltage of the resonance circuit. Circuit, a level discriminator for discriminating the output of the detection circuit at a predetermined level, and a positive and negative direction of the resonance frequency of the resonance circuit based on the discrimination phase output by the level discriminator and the phase difference of the basic pulse of the sweep oscillator. And a phase discriminating means for detecting a change in the phase difference.

【0006】[0006]

【作用】このような特徴を有する本発明によれば、スイ
ープ発振器によって共振回路の共振周波数を含む周波数
で連続的に周波数が変化する。そして発振出力を共振回
路に与えることによって、検出コイルの近傍に磁性材料
又は非磁性材料から成るドグが近接したときに、その共
振周波数が低くなる方向及び高くなる方向に夫々変化す
る。従って検波回路によって共振回路の電圧を検出し、
レベル弁別回路でその電圧を弁別すると共に、スイープ
発振器の基本パルスとの位相差に基づいて共振周波数の
正方向及び負方向の変化を検出して磁性材料又は非磁性
材料から成るドグの位置を示す物体検知信号を出力する
ようにしている。
According to the present invention having such features, the sweep oscillator changes the frequency continuously at a frequency including the resonance frequency of the resonance circuit. By applying the oscillation output to the resonance circuit, when a dog made of a magnetic material or a non-magnetic material approaches the detection coil, the resonance frequency changes in a direction of decreasing and in a direction of increasing. Therefore, the voltage of the resonance circuit is detected by the detection circuit,
The level discrimination circuit discriminates the voltage, and detects a positive or negative change in the resonance frequency based on the phase difference from the fundamental pulse of the sweep oscillator to indicate the position of a dog made of a magnetic material or a non-magnetic material. An object detection signal is output.

【0007】[0007]

【実施例】図1は本発明の一実施例による位置検出セン
サの構造を示すブロック図である。本図に示すようにこ
の位置検出センサはスイープ発振器1を有している。ス
イープ発振器1は一定の周期Tの基本パルスを発生する
パルス発生回路2、その基本パルスが与えられるのこぎ
り波発生回路3、及びのこぎり波発生回路3の電圧によ
って発振周波数を変化させる電圧制御発振器(以下VC
Oという)4が設けられる。VCO4の出力は検出コイ
ルL及びコンデンサCから成る共振回路5に与えられ
る。そしてこの共振回路5の一端は検波・増幅回路6に
接続される。検波・増幅回路6は共振回路5の信号を検
波し増幅するものであって、その出力はレベル弁別器7
に与えられる。レベル弁別器7は増幅出力を一定の閾値
で弁別して二値信号を位相弁別器8に与えるものであ
る。位相弁別器8はパルス発生回路2から与えられる基
本パルスと弁別された出力とに基づいて、正方向又は負
方向への位相の変化を検出する位相弁別手段であって、
検知出力は出力回路9及び10を介して外部に出力され
る。ここで検出物体の異なった位置には磁性材料、例え
ばフェライト等から成る強磁性体の磁性材料から成るド
グ24と、アルミニウム等の非磁性体のドグ25のいず
れかが選択的に近接するものとする。そして共振回路5
の共振周波数f0はスイープ発振器1の発振周波数f1とf2
のほぼ中央の周波数に設定しておくものとする。
FIG. 1 is a block diagram showing the structure of a position detecting sensor according to an embodiment of the present invention. As shown in this figure, this position detection sensor has a sweep oscillator 1. The sweep oscillator 1 includes a pulse generation circuit 2 that generates a basic pulse having a constant period T, a sawtooth wave generation circuit 3 to which the basic pulse is applied, and a voltage controlled oscillator (hereinafter, referred to as a “oscillation frequency”) that changes the oscillation frequency by the voltage of the sawtooth wave generation circuit 3. VC
O) 4 is provided. The output of the VCO 4 is provided to a resonance circuit 5 including a detection coil L and a capacitor C. One end of the resonance circuit 5 is connected to the detection / amplification circuit 6. The detection / amplification circuit 6 detects and amplifies the signal of the resonance circuit 5, and its output is a level discriminator 7.
Given to. The level discriminator 7 discriminates the amplified output with a fixed threshold and supplies a binary signal to the phase discriminator 8. The phase discriminator 8 is phase discriminating means for detecting a change in the phase in the positive direction or the negative direction based on the basic pulse supplied from the pulse generation circuit 2 and the discriminated output,
The detection output is output to the outside via output circuits 9 and 10. Here, a dog 24 made of a ferromagnetic material such as ferrite or a dog 25 made of a non-magnetic material such as aluminum is selectively located at different positions on the detection object. I do. And the resonance circuit 5
Are the oscillation frequencies f1 and f2 of the sweep oscillator 1.
Is set to a frequency substantially at the center of.

【0008】次に位相弁別器8の詳細な構成について図
2を参照して説明する。位相弁別器8はレベル弁別器7
の出力によって一定時間動作する単安定マルチバイブレ
ータ(以下MMという)から成る入力パルス発生回路1
1、及び基本パルスによって一定時間動作するMMから
成る比較パルス発生回路12を有している。これらのパ
ルス発生回路11,12の出力はアンド回路13に与え
られる。アンド回路13はその論理積出力をフリップフ
ロップ14にリセット信号として与えるものである。又
基本パルスはRSフリップフロップ14にセット信号と
して与えられ、そのQ出力がアンド回路15,16に与
えられる。又入力パルス発生回路11の出力はその出力
をTH 時間だけ遅延させる遅延回路17を介してアンド
回路15に与えられる。アンド回路15はこれらの論理
積を位相の進み出力として出力回路9に与えるものであ
る。又アンド回路15はフリップフロップ14と比較パ
ルス発生回路12との出力との論理積をとって出力回路
10に与えるものである。
Next, a detailed configuration of the phase discriminator 8 will be described with reference to FIG. The phase discriminator 8 is a level discriminator 7
Input pulse generating circuit 1 comprising a monostable multivibrator (hereinafter referred to as MM) which operates for a fixed time by the output of
1 and a comparison pulse generation circuit 12 composed of an MM that operates for a predetermined time by the basic pulse. Outputs of these pulse generation circuits 11 and 12 are applied to an AND circuit 13. The AND circuit 13 supplies the logical product output to the flip-flop 14 as a reset signal. The basic pulse is supplied to the RS flip-flop 14 as a set signal, and its Q output is supplied to AND circuits 15 and 16. The output of the input pulse generation circuit 11 is applied to an AND circuit 15 via a delay circuit 17 for delaying the output by the time T H. The AND circuit 15 supplies these logical products to the output circuit 9 as advanced phase outputs. The AND circuit 15 calculates the logical product of the output of the flip-flop 14 and the output of the comparison pulse generation circuit 12 and supplies the result to the output circuit 10.

【0009】図3は本実施例による位置検出センサ20
の使用状態を示す斜視図である。本実施例においても前
述した従来例と同様に、一定範囲を往復する移動テーブ
ル21の位置を検出するセンサとして用いた例を示して
いる。本図において移動テーブル21上には加工ツール
22が設けられ、その側方に被加工物であるエンジン2
3が設けられる。さて移動テーブル21の側方には図示
のように一対のドグ24,25を設ける。ここでドグ2
4はフェライト材料等の強磁性体材料によって構成さ
れ、ドグ25は非磁性体のアルミ材料によって構成され
るものとする。
FIG. 3 shows a position detecting sensor 20 according to this embodiment.
It is a perspective view which shows the use condition of. In this embodiment, as in the above-described conventional example, an example is shown in which the sensor is used as a sensor for detecting the position of the moving table 21 reciprocating in a certain range. In this figure, a processing tool 22 is provided on a moving table 21, and an engine 2 which is a workpiece
3 are provided. A pair of dogs 24 and 25 are provided on the side of the moving table 21 as shown. Here dog 2
4 is made of a ferromagnetic material such as a ferrite material, and the dog 25 is made of a non-magnetic aluminum material.

【0010】次に本実施例の動作についてタイムチャー
トを参照しつつ説明する。図4はこれらのドグ24,2
5が検出コイルLに近接していないときの各部の動作を
示すタイムチャートであり、(a)〜(j)は図1,図
2のa〜jの各部の波形に対応している。図4(a)は
基本パルスを発生するパルス発生回路2の出力を示して
おり、その出力はのこぎり波発生回路3及び位相弁別器
8に与えられる。従ってVCO4よりのこぎり波の最も
低いレベルでは周波数f1, 最も高いレベルで周波数f2,
中間のレベルでは周波数f1とf2の中間の周波数f0で発振
する。ここで共振回路5の共振周波数も周波数f0である
ので、共振回路5の端子電圧e0 としてのこぎり波の中
央部で最も高いレベルの波形が得られることとなる。そ
してこの信号を検波・増幅回路6によって増幅し、検波
することにより図4(c)に示す信号が得られ、図中に
一点鎖線で示す閾値で弁別することによってレベル弁別
器7より図4(d)に示す信号が得られることとなる。
さて位相弁別器8内では図4(e)に示すように、レベ
ル弁別器7の出力と同期して時刻t2,──に立上り、一
定の動作時間を持ってLレベルとなる信号が入力パルス
発生回路11より得られる。入力パルス発生回路11は
図4(c)に示す検波波形が一定周期T内で終了しない
ときに信号処理を行えるようにしたものである。さてこ
の信号は遅延回路17に与えられ、図4(f)に示すよ
うに一定の遅延時間TH をもって時刻t3から立上る信号
としてアンド回路15に与えられる。ここで比較パルス
発生回路12は基本パルスの立上り時刻t1,t5──から
一定時間後に動作し、図4(e)及び(f)に示す2つ
の信号の中間の時点t4,──で立上るように設定される
ものとする。この場合には時刻t4にフリップフロップ1
4がリセットされるため、フリップフロップ14のQ出
力は図4(h)に示すものとなる。従ってアンド回路1
5,16による論理積条件が成立しないため、図4
(i),(j)に示すように出力は得られない。
Next, the operation of this embodiment will be described with reference to a time chart. FIG. 4 shows these dogs 24, 2
5 is a time chart showing the operation of each unit when the detection unit 5 is not close to the detection coil L, and (a) to (j) correspond to the waveforms of each unit a to j in FIGS. FIG. 4A shows an output of the pulse generation circuit 2 for generating a basic pulse, and the output is supplied to the saw-tooth wave generation circuit 3 and the phase discriminator 8. Therefore, the frequency f1 is at the lowest level of the sawtooth wave from the VCO 4, and the frequency f2 is at the highest level.
At an intermediate level, oscillation occurs at an intermediate frequency f0 between the frequencies f1 and f2. Since at this time it is the resonance frequency also frequency f0 of the resonant circuit 5, so that the highest level of the waveform at the center of the sawtooth wave is obtained as a terminal voltage e 0 of the resonant circuit 5. This signal is amplified by a detection / amplification circuit 6 and detected to obtain a signal shown in FIG. 4C. The signal is discriminated by a threshold value indicated by a dashed line in FIG. The signal shown in d) is obtained.
In the phase discriminator 8, as shown in FIG. 4 (e), a signal which rises at time t 2 , 同期 in synchronization with the output of the level discriminator 7 and which becomes L level with a certain operation time is input. It is obtained from the pulse generation circuit 11. The input pulse generation circuit 11 can perform signal processing when the detection waveform shown in FIG. 4C does not end within a certain period T. Well This signal is applied to the delay circuit 17, it is supplied to the AND circuit 15 as a stand rise signal from the time t 3 with a predetermined delay time T H as shown in FIG. 4 (f). Here, the comparison pulse generation circuit 12 operates after a fixed time from the rising times t 1 , t 5 } of the basic pulse, and the intermediate time points t 4 , の between the two signals shown in FIGS. Shall be set to rise. In this case, the flip-flop 1 at time t 4
4 is reset, the Q output of the flip-flop 14 is as shown in FIG. Therefore AND circuit 1
Since the AND condition by 5 and 16 is not satisfied, FIG.
No output is obtained as shown in (i) and (j).

【0011】次に強磁性体のドグ24が検出コイルLに
近接した場合には、検出コイルのインダクタンス成分に
着目すればそのインダクタンスが大きくなる。従って共
振回路5の共振周波数は例えばf0−Δfa となって低下
する。従って共振回路5の端子電圧のピーク位置も掃引
周期Tの前半側となる。この場合には図5(c)に示す
ようにピーク値がのこぎり波の前方に移動するため、こ
れに対応してレベル弁別器7の出力も図5(d)に示す
ように時刻t12 から立上る信号となる。従って位相弁別
器8内の入力パルス発生回路11及び遅延回路17の出
力は、図5(e),(f)に示すものとなる。ここで比
較パルス発生回路12の出力は図4と同じく時刻t14
立上るため、図5(g),(h)に示すようにフリップ
フロップ14の出力も同一である。従って時刻t13 より
t14 の間でアンド回路15による論理積条件が成立し、
図5(i)に示すように出力回路9に信号が出力され
る。従って強磁性体のドグ24が検出され、出力回路9
より外部にドグ24の検知信号が出力される。
Next, when the ferromagnetic dog 24 comes close to the detection coil L, the inductance increases if attention is paid to the inductance component of the detection coil. Thus the resonant frequency of the resonant circuit 5 is reduced becomes example f0-Δf a. Therefore, the peak position of the terminal voltage of the resonance circuit 5 is also in the first half of the sweep period T. Since the peak value as shown in FIG. 5 (c) in this case moves to the front of the saw-tooth wave, from the time t 12 as shown in the output also FIG 5 (d) of the level discriminator 7 Correspondingly It becomes a rising signal. Therefore, the outputs of the input pulse generation circuit 11 and the delay circuit 17 in the phase discriminator 8 are as shown in FIGS. The output of the comparison pulse generating circuit 12 in this case because the standing climb again time t 14 of FIG. 4, FIG. 5 (g), the identical the output of flip-flop 14 as shown in (h). Therefore, from time t 13
logical product condition is satisfied by the AND circuit 15 between t 14,
A signal is output to the output circuit 9 as shown in FIG. Accordingly, the ferromagnetic dog 24 is detected and the output circuit 9
A detection signal of the dog 24 is output to the outside.

【0012】次にアルミニウム材料から成るドグ25が
近接した場合には、検出コイルLのインダクタンス成分
に着目すればインダクタンスは小さくなる。従って共振
回路5の共振周波数はf0より高く (f0+Δfb )、共振
回路5の端子電圧のピーク位置も掃引周期Tの後半側と
なる。この場合には検波・増幅回路6のの出力は図6
(c)に示すものとなる。従って信号をレベル弁別器7
で弁別することによって図6(d)に示すように時刻t
22 で立上る信号が得られる。従って入力パルス発生回
路11に与えられる信号は図4の場合に比べてその位相
が遅れ、これによって遅延回路17の出力も遅れる。一
方比較パルス発生回路12の出力は一定であり、フリッ
プフロップ14の出力は図6(h)に示すものとなるた
め、アンド回路16の論理積条件が成立し出力回路10
に信号が出力される。従って出力回路10より外部にド
グ25の検出信号が出力される。このように本発明では
強磁性体と非磁性体のドグを1つの検出スイッチによっ
て検出することができる。又検出コイルLの周辺にアル
ミ切粉が付着蓄積したときには、コイルの損失抵抗が増
加するが、サセプタンス成分の変化は極めてわずかであ
ることが認められる。従ってアルミの切粉等が付着して
も誤動作を生じることはなくなる。
Next, when the dog 25 made of an aluminum material approaches, the inductance becomes small if attention is paid to the inductance component of the detection coil L. Therefore, the resonance frequency of the resonance circuit 5 is higher than f0 (f0 + Δf b ), and the peak position of the terminal voltage of the resonance circuit 5 is also in the latter half of the sweep period T. In this case, the output of the detection / amplification circuit 6 is shown in FIG.
(C) is obtained. Therefore, the signal is output to the level discriminator 7.
At the time t as shown in FIG.
A signal rising at 22 is obtained. Therefore, the phase of the signal supplied to the input pulse generation circuit 11 is delayed as compared with the case of FIG. 4, and the output of the delay circuit 17 is also delayed. On the other hand, the output of the comparison pulse generating circuit 12 is constant, and the output of the flip-flop 14 is as shown in FIG. 6 (h).
The signal is output to Therefore, the detection signal of the dog 25 is output from the output circuit 10 to the outside. As described above, in the present invention, the dog of the ferromagnetic material and the dog of the non-magnetic material can be detected by one detection switch. When the aluminum chips accumulate around the detection coil L, the loss resistance of the coil increases, but the change in the susceptance component is very small. Therefore, malfunction does not occur even if aluminum chips are attached.

【0013】ここで遅延回路17の遅延時間TH の大き
さにより検出する位相の大きさを調整することができ
る。これによってドグの動作距離の調整が可能となる。
又前述した実施例では比較パルス発生回路12の出力の
立上り時点をドグがないときの入力パルス発生回路11
と遅延回路17の出力との中間位置になるように設定し
たが、これを前後に変化させることによって2つのドグ
の動作距離を変化させることができる。尚本実施例では
強磁性体及び非磁性体のドグとしてフェライト材料及び
アルミニウム材料のドグを用いているが、これに限らず
強磁性体及び非磁性体の種々の材料を用いてドグとする
ことができることはいうまでもない。
Here, the magnitude of the detected phase can be adjusted by the magnitude of the delay time T H of the delay circuit 17. This makes it possible to adjust the operating distance of the dog.
Further, in the above-described embodiment, the input pulse generation circuit 11 when there is no dog at the rising time of the output of the comparison pulse generation circuit 12
And the output of the delay circuit 17, the operating distance between the two dogs can be changed by changing this forward and backward. In this embodiment, ferrite and aluminum dogs are used as ferromagnetic and non-magnetic dogs. However, the present invention is not limited thereto, and various ferromagnetic and non-magnetic dogs may be used. It goes without saying that you can do it.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、物体の複数の位置に強磁性体及び非磁性体のドグを
設け、これらのドグを検出することによって1つの位置
検出センサによって物体の複数の位置を検出することが
できる。従ってセンサ数を減少させることができ、位置
検出装置自体の価格も低減させることが可能となる。又
検出コイルに非磁性体の金属粉等が付着した場合にも、
共振回路の検出コイルの損失抵抗が増加するだけでサセ
プタンス成分は変化しないため、ほとんど誤動作を生じ
ることがなく、非磁性体のドグを識別することが可能で
ある。
As described above in detail, according to the present invention, ferromagnetic and non-magnetic dogs are provided at a plurality of positions of an object, and these dogs are detected, whereby one position detection sensor is used. Multiple positions of the object can be detected. Therefore, the number of sensors can be reduced, and the price of the position detection device itself can be reduced. Also, when non-magnetic metal powder or the like adheres to the detection coil,
Since the susceptance component does not change merely by increasing the loss resistance of the detection coil of the resonance circuit, it is possible to identify a dog of a non-magnetic material with almost no malfunction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例による位置検出センサの構成
を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a position detection sensor according to one embodiment of the present invention.

【図2】本実施例による位相弁別器の構成の一例を示す
ブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of a configuration of a phase discriminator according to the embodiment.

【図3】本実施例が使用される移動テーブルと位置検知
センサの配置状態を示す概略図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing an arrangement state of a moving table and a position detection sensor in which the present embodiment is used.

【図4】本実施例において検出コイルにドグが近接しな
い状態の各部の動作を示すタイムチャートである。
FIG. 4 is a time chart illustrating an operation of each unit in a state where the dog does not approach the detection coil in the embodiment.

【図5】本実施例において強磁性体のドグが近接した場
合の動作を示すタイムチャートである。
FIG. 5 is a time chart illustrating an operation when a dog of a ferromagnetic material approaches in this embodiment.

【図6】本実施例において非磁性体のドグが近接した場
合の動作を示すタイムチャートである。
FIG. 6 is a time chart illustrating an operation when a dog of a non-magnetic material approaches in the embodiment.

【図7】従来の移動テーブルと位置検知センサの配置状
態を示す概略図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing the arrangement of a conventional moving table and position detection sensors.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 スイープ発振器 2 パルス発生回路 3 のこぎり波発生回路 4 電圧制御発振器(VCO) 5 共振回路 6 検波・増幅回路 7 レベル弁別器 8 位相弁別器 9,10 出力回路 11 入力パルス発生回路 12 比較パルス発生回路 13,15,16 アンド回路 14 フリップフロップ 17 遅延回路 REFERENCE SIGNS LIST 1 sweep oscillator 2 pulse generation circuit 3 sawtooth wave generation circuit 4 voltage controlled oscillator (VCO) 5 resonance circuit 6 detection and amplification circuit 7 level discriminator 8 phase discriminator 9, 10 output circuit 11 input pulse generation circuit 12 comparison pulse generation circuit 13, 15, 16 AND circuit 14 Flip-flop 17 Delay circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−42202(JP,A) 特開 昭56−125602(JP,A) 特開 平2−19713(JP,A) 特開 昭49−104661(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 7/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-2-42202 (JP, A) JP-A-56-125602 (JP, A) JP-A-2-19713 (JP, A) JP-A 49-125 104661 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G01B 7/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 検出物体の相異なった位置に取付けられ
強磁性体材料及び非磁性体材料から成る複数のドグと、
一定周期の基本パルスに基づいて周期的に周波数を連続
して変化する信号を発生するスイープ発振器と、検出コ
イルを含み、前記スイープ発振器の出力が与えられ前記
スイープ発振器の発振周波数間に共振周波数を有する共
振回路と、前記共振回路の出力電圧を検波する検波回路
と、前記検波回路の出力を所定のレベルで弁別するレベ
ル弁別器と、前記レベル弁別器による弁別位相出力及び
前記スイープ発振器の基本パルスの位相差に基づいて前
記共振回路の共振周波数の正方向及び負方向への変化を
検出する位相弁別手段と、を具備することを特徴とする
位置検出センサ。
A plurality of dogs attached to different positions of a detection object, the dogs being made of a ferromagnetic material and a non-magnetic material;
A sweep oscillator for generating a signal whose frequency continuously changes based on a basic pulse having a constant period, and a detection coil, wherein an output of the sweep oscillator is provided and a resonance frequency is set between the oscillation frequencies of the sweep oscillator. A resonance circuit, a detection circuit for detecting an output voltage of the resonance circuit, a level discriminator for discriminating an output of the detection circuit at a predetermined level, a discrimination phase output by the level discrimination device, and a basic pulse of the sweep oscillator. And a phase discriminating means for detecting a change in the resonance frequency of the resonance circuit in the positive direction and the negative direction based on the phase difference.
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