JP2984529B2 - IC tester - Google Patents
IC testerInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はＩＣテスタに関し、特に
クリーンルーム内の半導体製造工程に必要なＩＣテスタ
装置の冷却構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC tester, and more particularly to a cooling structure of an IC tester required for a semiconductor manufacturing process in a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のＩＣテスタは、図３に示すように
クリーンルームの空調を行う空調機１と、前記空調機１
で処理された空気を搬送するダクト２と、前記空気を吹
き出すＨＥＰＡフィルタ３と、二重床を構成しているア
クセスフロア４と、前記アクセスフロア４上に設置され
ているＩＣテスタ５と、前記ＩＣテスタ５の上部に内蔵
されているファン６を有している。2. Description of the Related Art A conventional IC tester comprises an air conditioner 1 for air-conditioning a clean room as shown in FIG.
A duct 2 for transporting the air treated in the above, an HEPA filter 3 for blowing the air, an access floor 4 forming a double floor, an IC tester 5 installed on the access floor 4, It has a fan 6 built in the upper part of the IC tester 5.
【０００３】この種のＩＣテスタは、冷却用のためにク
リーンルーム内の雰囲気（２５度Ｃ，４５％）を気流Ｃ
のように吸い込み、ＩＣテスタ５の内部発熱除去を目的
としてファン６より排熱として気流Ｈ（３２度Ｃ，３０
％）をクリーンルーム中に吹き出している。アクセスフ
ロア４の下にも気流Ｂが流れている。This type of IC tester uses an air flow (25 ° C., 45%) in a clean room for cooling.
And the air flow H (32 ° C., 30 ° C.)
%) In the clean room. Airflow B also flows below access floor 4.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】この従来のＩＣテスタ
では、排熱をそのままクリーンルームに放出しているた
め、同一空調エリアにおいて温度差が生じることで、同
一製品においても測定条件が異なり、信頼性や歩留まり
に影響が発生するという欠点があった。In this conventional IC tester, since the exhaust heat is directly discharged to a clean room, a temperature difference occurs in the same air-conditioning area. And the yield is affected.
【０００５】ここで前記欠点の原因について説明する。
同じ製品でも、「温度が低い所で測定した製品」と「温
度が高い所で測定した製品」とでは測定誤差が生じる。
従って、仮に検査合格となるべき製品が検査不合格とな
る可能性があることで、歩留まりに影響をあたえる。ま
た、逆に検査不合格となるべき製品が検査合格となる可
能性があり、ユーザに製品の信頼性を失わせる場合があ
る。Here, the cause of the above-mentioned disadvantage will be described.
Even with the same product, a measurement error occurs between a “product measured at a low temperature” and a “product measured at a high temperature”.
Therefore, a product that should pass the inspection may fail the inspection, thereby affecting the yield. Conversely, there is a possibility that a product that should fail the inspection may pass the inspection, which may cause the user to lose reliability of the product.
【０００６】また、熱負荷が大きいため、空調ランニン
グコストが高くなるという問題点もあった。Further, there is another problem that the air conditioning running cost is increased due to the large heat load.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣテスタは、
空気を冷やすコイルと、前記空気を送風するファンと、
前記空気を清浄にするフィルタとを有するファンコイル
ユニットを備え、前記ファンコイルユニットをＩＣテス
タの下部に設け且つＩＣテスタ冷却用空気取り入れ口に
直結して、流入空気を冷やすことを特徴とする。The IC tester of the present invention comprises:
A coil for cooling the air, and a fan for blowing the air,
Fan coil having a filter for purifying the air
Unit, and the fan coil unit is connected to an IC tester.
Installed at the bottom of the tester and as an air intake for cooling the IC tester
It is directly connected to cool the inflow air .
【０００８】本発明によれば、ＩＣテスタより排熱とし
て放出される空気をクリーンルームの雰囲気と同じ状態
で吹き出すことで、クリーンルーム内の熱源を実質的に
除去することができる。According to the present invention, by blowing out the air released as exhaust heat from the IC tester in the same state as the clean room atmosphere, the heat source in the clean room can be substantially removed.
【０００９】[0009]
【実施例】図１は本発明の実施例を示すブロック図であ
る。図１において、この実施例は、まずクリーンルーム
が、空調機１と、ＨＥＰＡフィルタ３と、前記空調機１
と前記ＨＥＰＡフィルタ３とを直結するダクト２と、二
重床を構成しているアクセスフロア４とで構成れてお
り、室温２５度Ｃ，湿度４５％で空調されている。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, in this embodiment, first, a clean room includes an air conditioner 1, a HEPA filter 3, and the air conditioner 1.
And the access floor 4 forming a double floor, and is air-conditioned at a room temperature of 25 ° C. and a humidity of 45%.
【００１０】ＩＣテスタ５の下部に設定されたファンコ
イルユニット７は、クリーンルーム中の雰囲気を気流Ｃ
（２５度Ｃ，４５％）のように取り入れ、コイル１１で
気流Ｄ（１８度Ｃ，７０％）に冷やす。その後、ファン
８，フィルタ９を通過した気流Ｅ（１８度Ｃ，７０％）
は、ＩＣテスタ５の冷却用空気として供給される。[0010] The fan coil unit 7 provided below the IC tester 5 controls the atmosphere in the clean room by airflow C.
(25 ° C., 45%) and cooled by the coil 11 to the airflow D (18 ° C., 70%). Thereafter, the airflow E that has passed through the fan 8 and the filter 9 (18 degrees C, 70%)
Is supplied as cooling air for the IC tester 5.
【００１１】その後、ＩＣテスタ排熱部であるファン６
より気流Ｆ（２５度Ｃ，４５％）としてクリーンルーム
中に吹き出される。Thereafter, the fan 6 serving as an IC tester heat-dissipating section
The air is blown out into the clean room as airflow F (25 ° C., 45%).
【００１２】図２は本発明に関連する技術を示すブロッ
ク図である。図２において、このクリーンルームの構成
は図１と共通するので、共通の参照数字で示すに留め、
説明をしない。FIG. 2 is a block diagram showing a technique related to the present invention. In FIG. 2, since the configuration of this clean room is common to that of FIG.
Don't explain.
【００１３】この図２のＩＣテスタ５は、クリーンルー
ム中の雰囲気を冷却用のために気流Ｃ（２５度Ｃ，４５
％）として取り入れる。その後、テスタ排熱部であるフ
ァン６より気流Ｈ（３２度Ｃ，３０％）として吹き出
す。気流Ｈは、ファンコイルユニット７と連結している
ダクト１３を通り、ファン８よりコイル１１へ送られ
る。コイル１１では気流Ｊ（２５度Ｃ，４５％）として
クリーンルーム中へ吹き出される。The IC tester 5 shown in FIG. 2 uses an air flow C (25 ° C., 45 ° C.) for cooling the atmosphere in the clean room for cooling.
%). Thereafter, the air is blown out as airflow H (32 ° C., 30%) from the fan 6 which is a tester heat exhausting portion. The airflow H passes through the duct 13 connected to the fan coil unit 7 and is sent from the fan 8 to the coil 11. In the coil 11, the air is blown into the clean room as an air flow J (25 ° C., 45%).
【００１４】また、図１，図２においても前記コイル１
１は配管１０及び配管１２と直結しており、冷媒の流れ
Ｇの方向に冷媒が流れ、熱交換を行う。1 and 2, the coil 1 shown in FIG.
1 is directly connected to the pipe 10 and the pipe 12, and the refrigerant flows in the direction of the flow G of the refrigerant to perform heat exchange.
【００１５】[0015]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ＩＣテ
スタ内に冷却手段を設置したことでＩＣテスタから排熱
される空気（３２度Ｃ，３０％）をクリーンルーム中の
雰囲気（２５度Ｃ，４５％）と略同じ状態で吹き出させ
るので、同一空調エリアにおいても温度差が生じないと
いう効果を有する。As described above, according to the present invention, the air (32 ° C., 30%) exhausted from the IC tester due to the provision of the cooling means in the IC tester allows the atmosphere (25 ° C.) , 45%), so that there is no temperature difference in the same air-conditioning area.
【００１６】[0016]
【図１】本発明の実施例のＩＣテスタを示すブロック図
である。FIG. 1 is a block diagram showing an IC tester according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明に関連する技術を示すブロック図であ
る。FIG. 2 is a block diagram showing a technique related to the present invention.
【図３】クリーンルーム内の従来のＩＣテスタを示すブ
ロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing a conventional IC tester in a clean room.
１ 空調機 ２，１３ ダクト ３ ＨＥＰＡフィルタ ４ アクセスフロア ５ テスタ ６，８ ファン ７ ファンコイルユニット ９ フィルタ １０，１２ 配管 １１ コイル Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｈ，Ｉ，Ｊ 気流 Ｇ 冷媒の流れ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Air conditioner 2,13 Duct 3 HEPA filter 4 Access floor 5 Tester 6,8 Fan 7 Fan coil unit 9 Filter 10,12 Piping 11 Coil A, B, C, D, E, F, H, I, J Air flow G Refrigerant flow
Claims (1)
するファンと、前記空気を清浄にするフィルタとを有す
るファンコイルユニットを備え、前記ファンコイルユニ
ットをＩＣテスタの下部に設け且つＩＣテスタ冷却用空
気取り入れ口に直結して、流入空気を冷やすことを特徴
とするＩＣテスタ。And 1. A coil to cool the air, and a fan for blowing the air includes a fan coil unit having a filter for the air to clean the fan coil Uni
Set the unit under the IC tester and use it to cool the IC tester.
An IC tester that is directly connected to the air intake and cools the incoming air .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5278782A JP2984529B2 (en) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | IC tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5278782A JP2984529B2 (en) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | IC tester |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07127880A JPH07127880A (en) | 1995-05-16 |
| JP2984529B2 true JP2984529B2 (en) | 1999-11-29 |
Family
ID=17602106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5278782A Expired - Fee Related JP2984529B2 (en) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | IC tester |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2984529B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4715154B2 (en) * | 2004-10-08 | 2011-07-06 | 富士電機システムズ株式会社 | Fan coil unit |
-
1993
- 1993-11-09 JP JP5278782A patent/JP2984529B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07127880A (en) | 1995-05-16 |
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