JP2984199B2 - Magnetic disk substrate holding member and magnetic disk device - Google Patents

Magnetic disk substrate holding member and magnetic disk device

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JP2984199B2
JP2984199B2 JP7173485A JP17348595A JP2984199B2 JP 2984199 B2 JP2984199 B2 JP 2984199B2 JP 7173485 A JP7173485 A JP 7173485A JP 17348595 A JP17348595 A JP 17348595A JP 2984199 B2 JP2984199 B2 JP 2984199B2
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magnetic disk
disk substrate
holding member
glass
thermal expansion
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雅弘 奥村
新一 山口
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  • Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク基板を所
定位置に保持するためのスペーサ、シム、クランプなど
の保持部材およびこれらの保持部材によりガラス製の磁
気ディスク基板を保持してなる磁気ディスク装置に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a holding member such as a spacer, a shim or a clamp for holding a magnetic disk substrate at a predetermined position, and a magnetic disk having a glass magnetic disk substrate held by these holding members. It concerns the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、磁気ディスク装置は、図4に示す
ように、回転軸13に固定されたハブ14に、複数枚の
磁気ディスク基板15とスペーサ11とを交互に挿入
し、最後にシム10およびクランプ12で押さえ付け、
ネジ16で締め付けることにより固定するようになって
いた。そして、上記回転軸13の回転により磁気ディス
ク基板15を回転させながら、磁気ヘッド17が磁気デ
ィスク基板15の表面上を非接触状態で移動することに
より、磁気ディスク基板15の所定位置で情報の書き込
みや読み取りを行うようになっていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 4, in a magnetic disk drive, a plurality of magnetic disk substrates 15 and spacers 11 are alternately inserted into a hub 14 fixed to a rotating shaft 13, and finally a shim is provided. 10 and clamp 12
It was fixed by tightening with the screw 16. The magnetic head 17 moves on the surface of the magnetic disk substrate 15 in a non-contact state while rotating the magnetic disk substrate 15 by the rotation of the rotation shaft 13, so that information can be written at a predetermined position on the magnetic disk substrate 15. And read.

【0003】また、近年、このような磁気ディスク装置
50は情報が高密度で大容量化するに伴って、磁気ヘッ
ド17と磁気ディスク基板15との距離の極小化、磁気
ディスク基板15のより高度な平面化と表面の平滑化等
が要求されており、その為、磁気ディスク基板15を表
面強度および平滑面化が極めて効果的に得られるガラス
を用いた磁気ディスク基板15が提案されており、該磁
気ディスク基板15を固定・保持するスペーサ11、シ
ム10、およびクランプ12などの保持部材は熱膨張差
に伴う磁気ディスク基板15の歪みを防止するために、
セラミックスやガラスで形成したものがあった(特公平
5−80745号公報、特開昭61−148667号公
報)。
In recent years, with the increase in the density and capacity of information in such a magnetic disk device 50, the distance between the magnetic head 17 and the magnetic disk substrate 15 has been minimized, and Therefore, there has been a demand for a magnetic disk substrate 15 using glass that can obtain a magnetic disk substrate 15 with extremely effective surface strength and smooth surface. The holding members such as the spacer 11, the shim 10, and the clamp 12 for fixing and holding the magnetic disk substrate 15 are used to prevent the magnetic disk substrate 15 from being distorted due to a difference in thermal expansion.
Some were formed of ceramics or glass (Japanese Patent Publication No. 5-80745, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-148667).

【0004】しかしながら、上記保持部材を構成するセ
ラミックスやガラスは一般的に絶縁性材料であるため、
これらの保持部材で磁気ディスク基板15を保持する
と、磁気ディスク基板15が帯電し、情報の読み込みや
書き込みの際にノイズが発生して、記録内容を破壊して
しまう恐れがあることが近年知られており、その為、磁
気ディスク基板15との当接面にアルミニウムや亜鉛等
の金属膜を被覆した保持部材やそれ自体がアルミナなど
に導電材を添加した導電性セラミックスからなる保持部
材を用いて、磁気ディスク基板15の帯電を防止するよ
うにしたものがあった(特開平2−226566号公
報)。
However, since ceramics and glass constituting the holding member are generally insulating materials,
It has been known in recent years that when the magnetic disk substrate 15 is held by these holding members, the magnetic disk substrate 15 is charged, and noise may be generated at the time of reading or writing information, thereby destroying recorded contents. Therefore, a holding member in which a metal film such as aluminum or zinc is coated on a contact surface with the magnetic disk substrate 15 or a holding member made of conductive ceramics in which a conductive material is added to alumina or the like is used. In some cases, the magnetic disk substrate 15 is prevented from being charged (JP-A-2-226566).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、当接面に金
属膜を被覆した保持部材では、基体をなすセラミックス
やガラスと金属膜との間の熱膨張差が大きいことから、
当接面の平坦度が損なわれるといった課題あった。その
為、この保持部材を用いて磁気ディスク装置50を構成
すると、磁気ディスク基板15に歪みを生じ、また、磁
気ディスク基板15間の平行度が損なわれるために、磁
気ヘッド17の浮上量を小さくすることができず、場合
によっては磁気ヘッド17が磁気ディスク基板15と接
触して傷損させてしまうといった恐れがあった。
However, in the case of a holding member having a contact surface coated with a metal film, the difference in thermal expansion between the ceramic or glass forming the base and the metal film is large.
There is a problem that the flatness of the contact surface is impaired. Therefore, when the magnetic disk device 50 is configured using this holding member, the magnetic disk substrate 15 is distorted, and the parallelism between the magnetic disk substrates 15 is impaired, so that the flying height of the magnetic head 17 is reduced. In some cases, the magnetic head 17 may come into contact with the magnetic disk substrate 15 to cause damage.

【0006】しかも、セラミックスやガラスとの熱膨張
差により被覆した金属膜が剥がれる恐れもあり、磁気デ
ィスク基板15に帯電する静電気を逃がすことができな
くなるといった課題もあった。
In addition, there is a risk that the coated metal film may be peeled off due to a difference in thermal expansion between the ceramic and glass, and there is another problem that static electricity charged on the magnetic disk substrate 15 cannot be released.

【0007】また、上記金属膜は当接面の平坦度を損な
わないようにするために薄膜状に被覆してあるが、高速
回転に伴い磁気ディスク基板15と保持部材との間に若
干の摺動が発生して硬度の小さい金属膜が摩耗したり剥
がれるために、磁気ディスク基板15に帯電する静電気
を逃がすことができないといった恐れもあった。
The metal film is coated in a thin film so as not to impair the flatness of the contact surface. However, the metal film slightly slides between the magnetic disk substrate 15 and the holding member with high-speed rotation. Since the metal film having low hardness is worn out or peeled off due to the movement, there is a fear that static electricity charged on the magnetic disk substrate 15 cannot be released.

【0008】一方、導電性セラミックスからなる保持部
材にあっては、ガラス製の磁気ディスク基板15との間
に2〜5×10-6/℃程度の熱膨張差があるため、磁気
ディスク基板15に歪みが生じたり、磁気ディスク基板
15間の平行度が損なわれるといった課題があった。
On the other hand, the holding member made of conductive ceramic has a thermal expansion difference of about 2 to 5 × 10 −6 / ° C. with the magnetic disk substrate 15 made of glass. There is a problem that distortion occurs and the parallelism between the magnetic disk substrates 15 is impaired.

【0009】そして、より高密度で大容量化が要求され
ている磁気ディスク装置50において、上記保持部材を
用いたものにあっては、未だ充分満足のいく装置50が
得られていなかった。
In the magnetic disk device 50 which is required to have a higher density and a larger capacity, the device 50 using the above-mentioned holding member has not been able to obtain a satisfactory device 50 yet.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、シム、スペーサ、およびクランプなどの磁気
ディスク基板用保持部材を、内部にMgFe2 3 およ
び/またはFe3 4の結晶を有する体積固有抵抗値が
107 Ω・cm未満のフォルステライト質セラミックス
により形成したことを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention provides a magnetic disk substrate holding member such as a shim, a spacer, and a clamp, in which a MgFe 2 O 3 and / or Fe 3 O 4 crystal is provided. And formed of a forsterite ceramic having a volume resistivity of less than 10 7 Ω · cm.

【0011】また、本発明は、上記保持部材とガラス製
の磁気ディスク基板とを導電性材料からなるハブに順次
挿入固定して磁気ディスク装置を構成したものである。
Further, according to the present invention, a magnetic disk device is constituted by sequentially inserting and fixing the holding member and a magnetic disk substrate made of glass into a hub made of a conductive material.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明実施例を説明する。Embodiments of the present invention will be described below.

【0013】図1〜図3は本発明に係る保持部材を示す
図であり、図1(a)はスペーサ11の斜視図、(b)
はその断面図、図2(a)はシム10の斜視図、(b)
はその断面図、図3(a)はクランプ12’の斜視図、
(b)はその断面図である。まず、図1に示すスペーサ
11は、体積固有抵抗値が107 Ω・cm未満の導電性
を有するフォルステライト質セラミックスからなるリン
グ体112であって、その内外のエッジ部113a,1
13bには欠けを防止するためにC面あるいはR面を形
成してある。
1 to 3 are views showing a holding member according to the present invention. FIG. 1A is a perspective view of a spacer 11, and FIG.
2 is a cross-sectional view thereof, FIG. 2A is a perspective view of the shim 10, and FIG.
Is a sectional view thereof, FIG. 3A is a perspective view of a clamp 12 ′,
(B) is a sectional view thereof. First, a spacer 11 shown in FIG. 1 is a ring body 112 made of a forsterite ceramic having conductivity having a volume resistivity of less than 10 7 Ω · cm, and has inner and outer edge portions 113a, 1a.
A C-plane or an R-plane is formed on 13b to prevent chipping.

【0014】また、当接面113は固定した磁気ディス
ク基板が高速回転に伴って回動しないようにするために
中心線平均粗さ(Ra)で0.2〜2.0μmの面粗さ
とするとともに、固定した際に磁気ディスク基板に歪み
を生じさせないようにするために当接面113の平坦度
を3μm以下としてあり、さらに磁気ディスク基板を所
定の間隔に保持するために上下の当接面113の平行度
を5μm以下としてある。なお、シム10は図2に示す
ように、上記スペーサ11と同じ形状で、やや薄型のも
のである。
The contact surface 113 has a center line average roughness (Ra) of 0.2 to 2.0 μm in order to prevent the fixed magnetic disk substrate from rotating with high-speed rotation. In addition, the flatness of the contact surface 113 is set to 3 μm or less in order to prevent the magnetic disk substrate from being distorted when fixed, and the upper and lower contact surfaces are used to hold the magnetic disk substrate at a predetermined interval. The parallelism of 113 is set to 5 μm or less. As shown in FIG. 2, the shim 10 has the same shape as the spacer 11 and is slightly thinner.

【0015】また、図3に示すクランプ12’は、体積
固有抵抗値が107 Ω・cm未満の導電性を有するフォ
ルステライト質セラミックスからなる円板状をした板状
体122’であって、その当接面123’はスペーサ1
1と同様に磁気ディスク基板の歪みを防止するととも
に、回動しないようにするために中心線平均粗さ(R
a)で0.2〜2.0μmの面粗さとするとともに、平
坦度を3μm以下としてある。また、当接面123’の
中央にはハブの先端部分と係合する凹部124’とハブ
に固定するためのネジ穴125’を設けてあり、板状体
122’の内外のエッジ部123’a,123’bには
C面あるいはR面を形成してある。
The clamp 12 'shown in FIG. 3 is a disk-shaped plate-shaped body 122' made of forsterite ceramics having a conductivity of less than 10 7 Ω · cm. The contact surface 123 'is the spacer 1
In order to prevent the magnetic disk substrate from being distorted and prevent the disk from rotating, the center line average roughness (R
In a), the surface roughness is set to 0.2 to 2.0 μm, and the flatness is set to 3 μm or less. In the center of the contact surface 123 ', there is provided a concave portion 124' for engaging with the tip of the hub and a screw hole 125 'for fixing to the hub. C and R surfaces are formed on a and 123'b.

【0016】このように、本発明は、シム10、スペー
サ11、およびクランプ12’などの保持部材を107
Ω・cm未満の体積固有抵抗値を有するフォルステライ
ト質セラミックスで形成したことにより、磁気ディスク
基板に帯電する静電気を効率良く逃がすことができる。
しかも、保持部材を構成するフォルステライト質セラミ
ックスはガラス製の磁気ディスク基板の熱膨張係数
(8.0〜10.0×10-6/℃)と同じあるいは近似
しているため、熱膨張差に伴う磁気ディスク基板の歪み
を防止し、非常に高い精度でもって磁気ディスク基板を
保持することができる。
[0016] Thus, the present invention is shim 10, spacers 11, and 10 7 holding member such as a clamp 12 '
By forming the forsterite ceramic having a volume resistivity of less than Ω · cm, static electricity charged on the magnetic disk substrate can be efficiently released.
In addition, the forsterite ceramic constituting the holding member has the same or similar thermal expansion coefficient (8.0 to 10.0 × 10 −6 / ° C.) as that of the magnetic disk substrate made of glass. The accompanying distortion of the magnetic disk substrate can be prevented, and the magnetic disk substrate can be held with extremely high accuracy.

【0017】次に、上記保持部材により表面に磁性膜を
備えたガラス製の磁気ディスク基板15を保持した磁気
ディスク装置50を図4に示す。
Next, FIG. 4 shows a magnetic disk device 50 in which a glass magnetic disk substrate 15 having a magnetic film on the surface is held by the holding member.

【0018】回転軸13にフランジ部14aを備えた金
属製の略円筒体をしたハブ14を固定し、該ハブ14の
フランジ部14aに、磁気ディスク基板15と図1に示
したスペーサ11とを交互に複数個挿入し、最後に図2
に示したシム10を挿入したあと金属またはアルミナな
どのセラミックスからなるクランプ12で押さえ付け、
ネジ16でもってクランプ12をハブ14に締め付ける
ことで磁気ディスク基板15を固定するようにしてあ
る。
A hub 14 having a substantially cylindrical body made of metal and having a flange 14a is fixed to the rotating shaft 13. A magnetic disk substrate 15 and the spacer 11 shown in FIG. Insert multiple pieces alternately, and finally Figure 2
After inserting the shim 10 shown in (1), press down with the clamp 12 made of metal or ceramics such as alumina,
The magnetic disk substrate 15 is fixed by fastening the clamp 12 to the hub 14 with screws 16.

【0019】本発明に係る磁気ディスク装置50は、磁
気ディスク基板15と保持部材(スペーサ11,シム1
0)の熱膨張係数が同じあるいは近似しているため、高
速回転時に高温になっても熱膨張差に伴う不都合を生じ
ることがない。従って、磁気ヘッド17の磁気ディスク
基板15に対する浮上量を極めて小さくすることがで
き、情報記録密度を高くすることが可能となる。しか
も、上記保持部材(スペーサ11,シム10)は導電性
を有しているため、磁気ディスク基板15に帯電した静
電気を金属製のハブ14および回転軸13を介して逃が
すことができ、記録内容が破壊されることを防止するこ
とができる。
The magnetic disk drive 50 according to the present invention comprises a magnetic disk substrate 15 and a holding member (spacer 11, shim 1).
Since the thermal expansion coefficients of 0) are the same or close to each other, there is no inconvenience caused by the difference in thermal expansion even when the temperature becomes high during high-speed rotation. Therefore, the flying height of the magnetic head 17 with respect to the magnetic disk substrate 15 can be extremely reduced, and the information recording density can be increased. In addition, since the holding members (spacers 11 and shims 10) have conductivity, static electricity charged on the magnetic disk substrate 15 can be released via the metal hub 14 and the rotating shaft 13, and the recorded contents can be recorded. Can be prevented from being destroyed.

【0020】なお、上記磁気ディスク基板15としては
ガラス基板以外に、セラミック基板の表面にガラスグレ
ーズ層を形成し、その上に磁性膜を被覆したものであっ
ても構わない。
In addition to the glass substrate, the magnetic disk substrate 15 may be a ceramic substrate in which a glass glaze layer is formed on the surface and a magnetic film is coated thereon.

【0021】また、図4に示す磁気ディスク装置50で
は、最上部の磁気ディスク基板15とクランプ12との
間にシム10を介して保持させてあるが、他の実施例と
してクランプ12を最上部の磁気ディスク基板15と直
接当接させて保持する構造としても良く、この場合には
図3に示すクランプ12’を用いれば、精度良く磁気デ
ィスク基板15を保持することができるとともに、最上
部の磁気ディスク基板15に帯電する静電気を効果的に
逃がすことができる。
In the magnetic disk drive 50 shown in FIG. 4, the shim 10 is held between the uppermost magnetic disk substrate 15 and the clamp 12, but as another embodiment, the clamp 12 is held at the uppermost position. The magnetic disk substrate 15 may be held in direct contact with the magnetic disk substrate 15. In this case, the use of the clamp 12 ′ shown in FIG. The static electricity charged on the magnetic disk substrate 15 can be effectively released.

【0022】さらに、磁気ディスク装置50の他の例と
して、ハブ14のフランジ部14aと磁気ディスク基板
15との間に配置するスペーサ11を取り除き直接当接
させて保持したものでも良く、この場合、磁気ディスク
基板15との熱膨張差をなくすためにハブ14も導電性
セラミックス、特に導電性を有するフォルステライト質
セラミックスで形成することが好ましい。
Further, as another example of the magnetic disk device 50, the magnetic disk device 50 may be one in which the spacer 11 disposed between the flange portion 14a of the hub 14 and the magnetic disk substrate 15 is removed and held directly in contact with the magnetic disk device 50. In order to eliminate the difference in thermal expansion from the magnetic disk substrate 15, the hub 14 is also preferably formed of conductive ceramics, particularly conductive forsterite ceramics.

【0023】ところで、上記スペーサ11、シム10、
およびクランプ12’などの保持部材を構成する導電性
をもったフォルステライト質セラミックスは、フォルス
テライト(2MgO・SiO2 )を主成分とし、導電材
として金属化合物を添加したものであり、特に金属化合
物として酸化鉄(FeO,Fe2 3 )、四酸化三鉄
(Fe3 4 )、酸化水酸化鉄(FeO(OH))など
の鉄系化合物を添加したものが好適である。
By the way, the spacer 11, the shim 10,
The conductive forsterite ceramic constituting the holding member such as the clamp 12 'and the like has forsterite (2MgO.SiO 2 ) as a main component and a metal compound added as a conductive material. It is preferable to add iron-based compounds such as iron oxide (FeO, Fe 2 O 3 ), triiron tetroxide (Fe 3 O 4 ), and iron oxide hydroxide (FeO (OH)).

【0024】即ち、本件発明者らは、体積固有抵抗値が
107 Ω・cm未満の導電性を有するとともに、ガラス
製の磁気ディク基板15の熱膨張係数と同じあるいは近
似した材料について鋭意研究を重ねた結果、フォルステ
ライトに、ある範囲で酸化鉄、四酸化三鉄、酸化水酸化
鉄などの鉄系化合物を添加すれば、機械的特性を殆ど損
なわずに、導電性を持たせることができることを見出し
た。しかも、鉄系化合物を含有したフォルステライト質
セラミックスにあっては、絶縁性のフォルステライト質
セラミックスに比べチッピングを生じ難く、エッジ部
(103a,103b,113a,113b,123’
a,123’b)のC面あるいはR面量を少なくするこ
とができる。その為、磁気ディスク基板15との当接面
(103,113,123’)の接触面積率を大きくす
ることができるため、磁気ディスク基板15の歪みを抑
制することができる。
That is, the present inventors have conducted intensive studies on a material having a volume resistivity of less than 10 7 Ω · cm, and having the same or similar thermal expansion coefficient as that of the magnetic disk substrate 15 made of glass. As a result of the superposition, if iron compounds such as iron oxide, triiron tetroxide, and iron oxide hydroxide are added to forsterite within a certain range, it can be made conductive without substantially impairing the mechanical properties. Was found. Moreover, in the forsterite-based ceramics containing an iron-based compound, chipping is less likely to occur than in the insulating forsterite-based ceramics, and the edge portions (103a, 103b, 113a, 113b, 123 ').
a, 123'b) The C-plane or R-plane amount can be reduced. Therefore, the contact area ratio of the contact surfaces (103, 113, 123 ') with the magnetic disk substrate 15 can be increased, and the distortion of the magnetic disk substrate 15 can be suppressed.

【0025】上記鉄系化合物の好ましい添加量としては
全体に対し20〜60重量%の範囲で添加することが良
い。これは、添加量が20重量%より少なくなると、体
積固有抵抗値が107 以上となり絶縁性が強くなるため
に、磁気ディスク基板15の帯電を防止できなくなるか
らであり、逆に、添加量が60重量%より多くなると機
械的特性(ヤング率、曲げ強度)が大きく低下するため
に、各保持部材の当接面103,113,123’の平
坦度が維持できなくなるとともに、熱膨張係数も低下す
るため、ガラス製の磁気ディスク基板15との熱膨張差
が大きくなり、磁気ディスク基板15に歪みを生じてし
まうからである。
It is preferable that the iron-based compound be added in a preferable amount in the range of 20 to 60% by weight based on the whole. This is because if the addition amount is less than 20% by weight, the volume specific resistance value becomes 10 7 or more and the insulating property becomes strong, so that it becomes impossible to prevent the magnetic disk substrate 15 from being charged. If it exceeds 60% by weight, the mechanical properties (Young's modulus, bending strength) are greatly reduced, so that the flatness of the contact surfaces 103, 113, 123 'of the holding members cannot be maintained, and the thermal expansion coefficient also decreases. Therefore, the difference in thermal expansion from the magnetic disk substrate 15 made of glass increases, and the magnetic disk substrate 15 is distorted.

【0026】一方、本発明に係る保持部材を製造するに
は、まず、MgOとSiO2 を50:50の比率で混合
したセラミック原料を湿式状態で混合粉砕し、乾燥させ
て微細かつMgOとSiO2 が均一分散した造粒体を作
製したあと、焼成することにより2MgO・SiO2
よび/またはMgSiO3 からなる結晶構造を有するセ
ラミック粒子を形成する。
On the other hand, in order to manufacture the holding member according to the present invention, first, a ceramic raw material in which MgO and SiO 2 are mixed at a ratio of 50:50 is wet-mixed and pulverized, and dried to obtain fine and MgO and SiO 2. After preparing a granule in which 2 is uniformly dispersed, firing is performed to form ceramic particles having a crystal structure of 2MgO.SiO 2 and / or MgSiO 3 .

【0027】次に、このセラミック粒子40〜80重量
%に対し、酸化鉄(FeO,Fe23 )、四酸化三鉄
(Fe3 4 )、酸化水酸化鉄(FeO(OH))のう
ち少なくとも1種以上を全体に対して20〜60重量%
の範囲でバインダーとともに添加し、混練乾燥させたあ
とメカプレスによりリング状、あるいは円板状をした所
望形状の成形体とし、大気雰囲気中にて1200〜13
00℃の焼成温度で1〜2時間焼成することにより、本
発明に係る保持部材を得ることができる。
Next, iron oxide (FeO, Fe 2 O 3 ), triiron tetroxide (Fe 3 O 4 ), and iron oxide hydroxide (FeO (OH)) were added to 40 to 80% by weight of the ceramic particles. 20 to 60% by weight of at least one of them based on the whole
The mixture was added together with a binder in the range described above, kneaded and dried, and then formed into a ring-shaped or disk-shaped formed body having a desired shape by a mechanical press.
By firing at a firing temperature of 00 ° C. for 1 to 2 hours, the holding member according to the present invention can be obtained.

【0028】このようにして得られたセラミックスは、
フォルステライト成分として2MgO・SiO2 および
/またはMgSiO3 の結晶が存在し、かつ鉄系化合物
成分としてMgFe2 3 、Fe3 4 のうち一種以上
の結晶が存在していることが好ましい。なお、これらの
結晶が存在するとは、X線回折による分析により、各結
晶のピークが存在することを言う。
The ceramic thus obtained is
It is preferable that crystals of 2MgO.SiO 2 and / or MgSiO 3 exist as the forsterite component, and at least one crystal of MgFe 2 O 3 or Fe 3 O 4 exists as the iron-based compound component. The presence of these crystals means that the peaks of the respective crystals are present by analysis by X-ray diffraction.

【0029】また、上記フォルステライト質セラミック
ス中には、全体に対し15重量%以下の範囲でTi
2 、CaOなどの不純物を含有していても良い。
In the above forsterite ceramics, Ti is contained in an amount of 15% by weight or less based on the whole.
It may contain impurities such as O 2 and CaO.

【0030】このようにして得た導電性を有するフォル
ステライト質セラミックスからなる保持部材は、体積固
有抵抗値が107 Ω・cm未満で、熱膨張係数が9〜1
1×10-6/℃の範囲にあり、かつヤング率100〜1
40GPa、曲げ強度10〜14kg/mm2を有している。
The holding member made of conductive forsteritic ceramic obtained in this manner has a volume resistivity of less than 10 7 Ω · cm and a coefficient of thermal expansion of 9 to 1.
In the range of 1 × 10 −6 / ° C. and a Young's modulus of 100 to 1
It has a flexural strength of 40 to 14 kg / mm 2 .

【0031】以上のように本発明に係る保持部材は、磁
気ディスク基板の熱膨張係数と同じあるいは近似させる
ことができるとともに、導電性を有しているため、高速
回転時に高温になっても熱膨張差に伴う不都合を生じる
ことがなく、また、磁気ディスク基板15に帯電した静
電気を逃がすことができる。しかも、上記保持部材を用
いてガラス製の磁気ディスク基板を保持させた本発明に
係る磁気ディスク装置を用いれば、磁気ヘッド17の磁
気ディスク基板に対する浮上量を極めて小さくすること
ができ、高密度記録を実現できるとともに、磁気ディス
ク基板15が帯電することに伴う記録内容の破壊を防止
することができる。
As described above, the holding member according to the present invention can have the same or similar thermal expansion coefficient as that of the magnetic disk substrate, and has conductivity, so that the holding member has high thermal expansion during high-speed rotation. Inconvenience due to the difference in expansion does not occur, and static electricity charged on the magnetic disk substrate 15 can be released. In addition, if the magnetic disk drive according to the present invention, in which the glass magnetic disk substrate is held by using the above-mentioned holding member, is used, the flying height of the magnetic head 17 with respect to the magnetic disk substrate can be extremely reduced, and high-density recording can be performed. And the destruction of recorded contents due to the electrification of the magnetic disk substrate 15 can be prevented.

【0032】(実験例)ここで、本発明に係る保持部材
を構成するフォルステライトのうち、鉄系化合物(酸化
鉄(FeO,Fe2 3 )、四酸化三鉄(Fe
3 4 ))の添加量を変化させた時の体積固有抵抗値、
ヤング率、曲げ強度、熱膨張係数についてそれぞれ測定
した。
(Experimental Example) Here, among the forsterites constituting the holding member according to the present invention, iron-based compounds (iron oxide (FeO, Fe 2 O 3 ), triiron tetroxide (Fe
Volume resistivity when the amount of 3 O 4 )) is changed,
The Young's modulus, bending strength, and coefficient of thermal expansion were measured.

【0033】また、本実験における評価基準は、保持部
材として要求されている体積固有抵抗値107 Ω・cm
未満、ヤング率100GPa以上、曲げ強度10kg/mm2
以上で、かつ熱膨張係数が9〜11×10-6/℃の範囲
にあるものを優れているとした。
The evaluation criterion in this experiment is that the volume specific resistance required for the holding member is 10 7 Ω · cm.
Less, Young's modulus 100 GPa or more, bending strength 10 kg / mm 2
Those having a coefficient of thermal expansion in the range of 9 to 11 × 10 -6 / ° C.

【0034】それぞれの結果は、表1〜表3に示す通り
である。
The results are as shown in Tables 1 to 3.

【0035】[0035]

【表1】 [Table 1]

【0036】[0036]

【表2】 [Table 2]

【0037】[0037]

【表3】 [Table 3]

【0038】この結果、試料1,2,11,21では鉄
系化合物(酸化鉄(FeO,Fe23 )、四酸化三鉄
(Fe3 4 ))の添加量が20重量%未満であるた
め、体積固有抵抗値が107 Ω・cm以上と、保持部材
に必要な導電性を持たせることができなかった。
As a result, in Samples 1, 2, 11, and 21, the amount of the iron-based compound (iron oxide (FeO, Fe 2 O 3 ), triiron tetroxide (Fe 3 O 4 )) was less than 20% by weight. For this reason, the holding member could not have the necessary conductivity when the volume specific resistance was 10 7 Ω · cm or more.

【0039】また、試料9,18では鉄系化合物(酸化
鉄(FeO,Fe2 3 )、四酸化三鉄(Fe
3 4 ))の添加量が60重量%より多いため、体積固
有抵抗値は107 Ω・cm未満であったものの、ヤング
率、曲げ強度、熱膨張係数が基準値を満足しなかった。
In samples 9 and 18, iron compounds (iron oxide (FeO, Fe 2 O 3 ), triiron tetroxide (Fe
Since the added amount of 3 O 4 )) was more than 60% by weight, the volume resistivity was less than 10 7 Ω · cm, but the Young's modulus, bending strength, and thermal expansion coefficient did not satisfy the reference values.

【0040】これに対し、本発明に係る試料3〜8,1
2〜17,22〜27は、鉄系化合物(酸化鉄(Fe
O,Fe2 3 )、四酸化三鉄(Fe3 4 ))の添加
量が20〜60重量%の範囲にあるため、体積固有抵抗
値107 Ω・cm未満、ヤング率100GPa以上、曲
げ強度10kg/mm2以上で、かつ熱膨張係数が9〜11×
10-6/℃の範囲にあり、基準値を満足することができ
た。
On the other hand, Samples 3 to 8,1 according to the present invention
2 to 17, 22 to 27 are iron compounds (iron oxide (Fe
O, Fe 2 O 3 ) and triiron tetroxide (Fe 3 O 4 )) are in the range of 20 to 60% by weight, so that the volume resistivity is less than 10 7 Ω · cm, the Young's modulus is 100 GPa or more, Flexural strength of 10 kg / mm 2 or more and thermal expansion coefficient of 9-11 ×
It was in the range of 10 −6 / ° C., and the standard value could be satisfied.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、シム、
スペーサ、およびクランプなどの磁気ディスク基板用保
持部材を、内部にMgFe2 3 および/またはFe3
4 の結晶を有する体積固有抵抗値が107 Ω・cm未
満のフォルステライト質セラミックスにより形成したこ
とにより、磁気ディスク基板の熱膨張係数と同じあるい
は近似させることができ、高速回転時に高温になっても
熱膨張差に伴う不都合を生じることがなく、また、磁気
ディスク基板に帯電した静電気を効率良く逃がすことが
できる。
As described above, according to the present invention, the shim,
A holding member for a magnetic disk substrate such as a spacer and a clamp is internally provided with MgFe 2 O 3 and / or Fe 3
Since it is made of a forsterite ceramic having an O 4 crystal and having a volume resistivity of less than 10 7 Ω · cm, the coefficient of thermal expansion can be made equal to or close to the coefficient of thermal expansion of the magnetic disk substrate. However, there is no inconvenience caused by the difference in thermal expansion, and static electricity charged on the magnetic disk substrate can be efficiently released.

【0042】また、本発明は、上記保持部材を用いてガ
ラス製の磁気ディスキ基板を導電性材料からなるハブに
順次挿入固定して磁気ディスク装置を構成したことによ
り、磁気ヘッドの磁気ディスク基板に対する浮上量を極
めて小さくすることができ、高密度記録(大容量化)を
実現できるとともに、磁気ディスク基板に帯電する静電
気を保持部材、ハブを介して効率良く逃がすことができ
るため、記録内容の破壊を防止することができる。
Further, according to the present invention, a magnetic disk drive is constructed by sequentially inserting and fixing a glass magnetic disk substrate to a hub made of a conductive material using the above-mentioned holding member, thereby providing a magnetic head with respect to the magnetic disk substrate. The flying height can be made extremely small, and high-density recording (large capacity) can be realized, and static electricity charged on the magnetic disk substrate can be efficiently released through the holding member and the hub. Can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る保持部材の一例であるスペーサを
示す図であり、(a)は斜視図、(b)は断面図であ
る。
FIGS. 1A and 1B are views showing a spacer which is an example of a holding member according to the present invention, wherein FIG. 1A is a perspective view and FIG.

【図2】本発明に係る保持部材の一例であるシムを示す
図であり、(a)は斜視図、(b)は断面図である。
FIGS. 2A and 2B are views showing a shim as an example of a holding member according to the present invention, wherein FIG. 2A is a perspective view and FIG.

【図3】本発明に係る保持部材の一例であるクランプを
示す図であり、(a)は斜視図、(b)は断面図であ
る。
3A and 3B are views showing a clamp as an example of a holding member according to the present invention, wherein FIG. 3A is a perspective view and FIG. 3B is a cross-sectional view.

【図4】本発明に係る磁気ディスク装置を示す縦断面図
である。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a magnetic disk drive according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10:シム 102:リング体 103:当接面 11:スペーサ 112:リング体 113:当接面 12’:クランプ 122’:板状体 123’:当接面 13:回転軸 14:ハブ 15:磁気ディスク基板 17:磁気ヘッド 10: Shim 102: Ring body 103: Contact surface 11: Spacer 112: Ring body 113: Contact surface 12 ': Clamp 122': Plate 123 ': Contact surface 13: Rotating shaft 14: Hub 15: Magnetic Disk substrate 17: Magnetic head

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ガラス製の磁気ディスク基板を所定位置に
保持する保持部材を、内部にMgFe 2 3 および/ま
たはFe 3 4 の結晶を有する体積固有抵抗値が107
Ω・cm未満のフォルステライト質セラミックスにより
形成したことを特徴とする磁気ディスク基板用保持部
材。
A holding member for holding a magnetic disk substrate made of glass at a predetermined position has MgFe 2 O 3 and / or
Or a volume resistivity value having Fe 3 O 4 crystal of 10 7
Holding member for a magnetic disk substrate characterized by being formed by off Orusuteraito ceramics under Omega · cm.
【請求項2】導電性材料からなるハブに、ガラス製の磁
気ディスク基板と、MgFe 2 3 および/またはFe
3 4 の結晶を有する体積固有抵抗値が107Ω・cm
未満のフォルステライト質セラミックスらなる磁気デ
ィスク基板用保持部材とを順次挿入して固定したことを
特徴とする磁気ディスク装置。
2. A hub made of a conductive material, a magnetic disk substrate made of glass, MgFe 2 O 3 and / or Fe
Volume resistivity value having a crystal of 3 O 4 is 10 7 Ω · cm
Magnetic disk apparatus characterized by sequentially inserted and fixed a less than full Orusuteraito ceramics or Ranaru magnetic disc substrate holding member.
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