JP2963772B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 発明の分野 本発明は印刷回路基板(以後、“PCB"という)の回路
設計用ドライフィルムフォトレジスト(dry film photo
resist)を製造するのに有用な感光性樹脂組成物に関す
るものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a dry film photoresist for circuit design of a printed circuit board (hereinafter referred to as “PCB”).
The present invention relates to a photosensitive resin composition useful for producing resist).

従来技術の記述 通常、ドライフィルムフォトレジストは、有機溶媒に
添加して混合した感光性樹脂組成物をベースフィルムに
コーティングしてから乾燥し、この乾燥されたフォトレ
ジストフィルム上に保護フィルムをラミネートさせて製
造する。PCBを製造するため、このようなドライフィル
ムフォトレジストはラミネーターを使用して銅箔が積層
されるか又は銅コーティングされたエポキシシートに均
一に被覆される。このような目的で、ドライフィルムフ
ォトレジストはまず保護フィルムを剥がした後、ベース
フィルムとともに銅層に付ける。所望の回路(フォトツ
ール(photo−tool))がベースフィルムに密着され、
紫外線で露光される。これにより、照射された部分が硬
化される一方で、露光されなかった部分は未硬化状態の
ままとなる。その後、ベースフィルムを除去し、現像溶
液を用いて、基板から未硬化部分が除去されると、硬化
部分は残存して回路を形成する。
Description of the Prior Art Usually, a dry film photoresist is formed by coating a base resin with a photosensitive resin composition mixed with an organic solvent and then drying, and then laminating a protective film on the dried photoresist film. Manufacturing. To manufacture PCBs, such dry film photoresists are laminated with copper foil using a laminator or uniformly coated on a copper-coated epoxy sheet. For this purpose, the dry film photoresist is first applied to the copper layer together with the base film after stripping off the protective film. A desired circuit (photo-tool) is adhered to the base film,
Exposure with UV light. As a result, the irradiated portion is cured, while the unexposed portion remains uncured. Thereafter, when the base film is removed and the uncured portion is removed from the substrate using a developing solution, the cured portion remains to form a circuit.

このようなドライフィルムフォトレジストに必要な主
要特性としては、速い現像速度、露光膜の柔軟性及び鍍
金薬品に対する耐薬品性がある。
The main characteristics required for such a dry film photoresist include a high developing speed, flexibility of an exposed film, and chemical resistance to plating chemicals.

感光性樹脂組成物を構成する成分のうち、光重合性モ
ノマーはこのような特性に非常に大きい影響を及ぼすの
で、その選定は大いに注意をするべきである。
Of the components constituting the photosensitive resin composition, the photopolymerizable monomer has a very large effect on such characteristics, and therefore, great care should be taken in selecting the photopolymerizable monomer.

感光性樹脂の硬化度を高くすると耐薬品性が向上する
ことがよく知られている。高い硬化度は低分子量の光重
合性モノマーを用いることにより達成し得る。低分子量
の光重合性モノマーの代表的な例としてはエチレングリ
コールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタ
クリレート、ペンタエリトリトールトリクリレート、ト
リメチロールプロパントリメタクリレート、エトキシル
化トリメチロールプロパントリメタクリレート、プロポ
キシル化トリメチロールプロパントリメタクリレート、
ヒドロキシジメタクリロキシプロパンのようなものがあ
る。
It is well known that increasing the degree of curing of a photosensitive resin improves chemical resistance. High degrees of cure can be achieved by using low molecular weight photopolymerizable monomers. Representative examples of low-molecular weight photopolymerizable monomers include ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, ethoxylated trimethylolpropane trimethacrylate, and propoxylated trimethylolpropane triacrylate. Methacrylate,
There are such things as hydroxydimethacryloxypropane.

低分子量のモノマーが多量に使用されるとモノマーの
反応性末端基の数が増加し、これにより感光性樹脂組成
物内に空間が多くなる。このような空間が増加するほど
現像液の浸透が容易になり、現像速度は速くなるが、反
応性末端基の増加による過大な硬化によって、膜が壊れ
やすい状態になり、膜の柔軟性が大きく低下する。
When a large amount of low molecular weight monomer is used, the number of reactive terminal groups of the monomer increases, thereby increasing the space in the photosensitive resin composition. The greater the space, the easier the developer penetrates and the faster the development speed.However, excessive curing due to an increase in the number of reactive terminal groups causes the film to become fragile, and the flexibility of the film increases. descend.

フェニル基を含有する光重合性モノマーは、光重合性
樹脂に良好な耐薬品性を付与するのに使用される。フェ
ニル基含有光重合性モノマーの典型的な例としては、2,
2−ビス[(4−アクリロキシジエトキシ)フェニル]
プロパン、2,2−ビス[(4−メタクリロキシジエトキ
シ)フェニル]プロパンのように、ビスフェノールAを
分子中に有しているものがある。このようなフェニル基
含有モノマーを多く使用した場合には、弱アルカリ水溶
液の浸透を遅延させて現像速度に悪影響を及ぼすことに
なる。
Photopolymerizable monomers containing phenyl groups are used to impart good chemical resistance to the photopolymerizable resin. Typical examples of phenyl group-containing photopolymerizable monomers include 2,2.
2-bis [(4-acryloxydiethoxy) phenyl]
Some have bisphenol A in the molecule, such as propane and 2,2-bis [(4-methacryloxydiethoxy) phenyl] propane. When such a phenyl group-containing monomer is used in a large amount, the penetration of the weak alkaline aqueous solution is delayed, which adversely affects the developing speed.

現像速度を速くするため、エチレングリコール単位を
随伴する光重合性モノマーを添加し得る。しかし、前述
したように、エチレングリコール単位の少ない低分子量
モノマーの使用は膜を壊れやすくする。その反面、エチ
レングリコール単位の多い光重合性モノマーは水に溶解
する特性を有し、これによって現像速度を速くし、硬化
密度も適正水準を維持して露光後の膜の靭性を高めるこ
とができるが、耐鍍金薬品性を著しく低下させる。後に
詳細に説明するように、耐鍍金薬品性はエチレングリコ
ールを随伴するモノマーとビスフェノールAを随伴する
モノマーとを組み合わせて使用することにより改善でき
るが、各モノマーのみでは十分でない。
In order to increase the development speed, a photopolymerizable monomer accompanied by an ethylene glycol unit may be added. However, as mentioned above, the use of low molecular weight monomers with low ethylene glycol units makes the membrane fragile. On the other hand, the photopolymerizable monomer having a large amount of ethylene glycol units has the property of dissolving in water, thereby increasing the developing speed, maintaining the proper curing density, and increasing the toughness of the film after exposure. However, the plating chemical resistance is significantly reduced. As will be described in detail later, plating chemical resistance can be improved by using a combination of a monomer accompanying ethylene glycol and a monomer accompanying bisphenol A, but each monomer alone is not sufficient.

露光後のドライフィルムの柔軟性は、硬化度及びモノ
マーの構造に大きく左右される。例えば、硬化し得るモ
ノマーが組成物中に多ければ硬化が大きく起こり、結果
的に柔軟性は不良になる。その反面、硬化可能なモノマ
ーの量が少なければ硬化が低く起こり、結果的として柔
軟性は増加するが、耐鍍金薬品性は不良になる。PCBの
製造において、露光により硬化された膜の柔軟性は、印
刷回路基板の製造時、現像後に硬化膜がホールを詰める
能力、つまりテンティング能(tentability)を大きく
左右する。柔軟性が良好であると、テンティング能が向
上し、結果として生産性が向上する。
The flexibility of the dry film after exposure largely depends on the degree of curing and the structure of the monomer. For example, if there are too many curable monomers in the composition, the curing will be large, resulting in poor flexibility. On the other hand, if the amount of the curable monomer is small, the curing will be low, and as a result flexibility will increase, but plating chemical resistance will be poor. In the manufacture of a PCB, the flexibility of a film cured by exposure greatly affects the ability of the cured film to fill holes after development in the manufacture of a printed circuit board, that is, tentability. If the flexibility is good, the tenting ability is improved, and as a result, the productivity is improved.

発明の要約 したがって、本発明の目的は先行技術の前記問題点を
解消し、現像速度が速く、非常に柔軟であり、耐鍍金薬
品性に優れたフォトレジストを製造する有用な感光性樹
脂組成物を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems in the prior art, and to provide a useful photosensitive resin composition for producing a photoresist having a high developing speed, being very flexible, and having excellent plating chemical resistance. Is to provide.

本発明によると、前記目的は、光重合性モノマー、熱
可塑性高分子結合剤及び光開始剤(photoinitiator)を
含有する感光性樹脂組成物において、前記光重合性モノ
マーが少なくとも1種の水溶性モノマーと少なくとも1
種の非水溶性モノマーを含有し、両者は不飽和反応基を
二つ以上有し、前記水溶性モノマーの含量が前記組成物
の固形分含量を基準として3〜15重量%であり、全体光
重合性モノマーの反応基は、次の式Iで計算するとき、
前記組成物の固形分1kg当たり0.5〜1.5モルであること
を特徴とする感光性樹脂組成物を提供することにより達
成し得る。
According to the present invention, the object is to provide a photosensitive resin composition containing a photopolymerizable monomer, a thermoplastic polymer binder and a photoinitiator, wherein the photopolymerizable monomer is at least one water-soluble monomer. And at least one
At least two unsaturated reactive groups, the content of the water-soluble monomer is 3 to 15% by weight based on the solid content of the composition, The reactive group of the polymerizable monomer is calculated by the following formula I:
This can be attained by providing a photosensitive resin composition characterized in that the content is 0.5 to 1.5 mol per 1 kg of the solid content of the composition.

ここで、#Mは前記組成物の固形分kg当たり前記反応
性基の総量であり、Miは前記組成物の固形分kg当たり光
重合性モノマーiのモル数であり、Niは光重合性モノマ
ーiの反応基の数であり、kは組成物中の光重合性モノ
マーの総数である。
Here, # M is the total amount of solids kg commonplace Symbol reactive groups of the composition, M i is the number of moles of solids per kg photopolymerizable monomer i in the composition, N i photopolymerization And k is the total number of photopolymerizable monomers in the composition.

発明の詳細な説明 本発明によると、エチレン基を随伴する水溶性光重合
性モノマーは硬化された部分の柔軟性を向上させるのに
用いられる。これらに限られるものではないが、水溶性
光重合性モノマーとしては、エチレングリコール反復単
位が25〜40である2,2−ビス[(4−アクリロキシポリ
エトキシ)フェニル]プロパン及び2,2−ビス[(4−
メタクリルオキシポリエトキシ)フェニル]プロパン
と、エチレングリコール反復単位が8〜15であるポリエ
チレングリコールジメタクリレートがよい特性を表す。
具体的には、エチレングリコール反復単位が多ければ水
溶性が増加するので、光重合性モノマーが増加すれば、
水溶性の面では改善されるが、鍍金薬品性は低下する。
その反面、エチレングリコール反復単位が少なくなれ
ば、鍍金薬品性が向上するが、現像性及び柔軟性が不良
になる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION According to the present invention, a water-soluble photopolymerizable monomer with an ethylene group is used to increase the flexibility of the cured part. Although not limited thereto, examples of the water-soluble photopolymerizable monomer include 2,2-bis [(4-acryloxypolyethoxy) phenyl] propane and 2,2-bis having 25 to 40 ethylene glycol repeating units. Screw [(4-
Methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane and polyethylene glycol dimethacrylate having 8 to 15 ethylene glycol repeating units exhibit good properties.
Specifically, if the number of ethylene glycol repeating units is large, the water solubility increases, so if the number of photopolymerizable monomers increases,
Although the water solubility is improved, the plating chemical property is reduced.
On the other hand, if the number of ethylene glycol repeating units is reduced, the plating chemical property is improved, but the developability and flexibility are poor.

本発明によると、非水溶性光重合性モノマーが使用で
きる。非水溶性光重合性モノマーの具体的な例として
は、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレン
グリコールジメタクリレート、トリエチレングリコール
ジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタク
リレート、ペンタエリトリトールトリメタクリレート、
トリメチロールプロパントリメタクリレート、エトキシ
ル化トリメチロールプロパントリメタクリレート、プロ
ポキシル化トリメチロールプロパントリメタクリレー
ト、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、ヒド
ロキシジメタクリレート、2,2−ビス[(4−アクリロ
キシジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス
[(4−アクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパ
ン、2,2−ビス[(4−メタクリロキシジエトキシ)フ
ェニル]プロパン、2,2−ビス[(4−メタクリロキシ
ポリエトキシ)フェニル]プロパン、又はこれらの2種
以上の混合物が挙げられる。もちろん、本発明はこのよ
うな化合物に制限されず、その類似体も使用できる。
According to the present invention, a water-insoluble photopolymerizable monomer can be used. Specific examples of the water-insoluble photopolymerizable monomer include ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate,
Trimethylolpropane trimethacrylate, ethoxylated trimethylolpropane trimethacrylate, propoxylated trimethylolpropane trimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, hydroxydimethacrylate, 2,2-bis [(4-acryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [(4-acryloxypolyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [(4-methacryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy) Phenyl] propane, or a mixture of two or more thereof. Of course, the invention is not limited to such compounds, and analogs thereof can be used.

ドライフィルムの柔軟性を高めるため、光重合性モノ
マーの反応性末端基の総量(#M)が、式Iを使用して
計算したとき、本発明の組成物の固形分含量基準として
0.5モル/kgないし1.5モル/kgの範囲、より好ましくは0.
8モル/kgないし1.2モル/kgの範囲内にあるべきである。
仮に#Mが0.5モル/kg未満であると、ドライフィルムは
弱い耐薬品性を表す。反面、#Mが1.5モル/kgを超える
と、ドライフィルムの柔軟性が低下してテンティング能
が低下することになる。
To increase the flexibility of the dry film, the total amount of reactive end groups (#M) of the photopolymerizable monomer, when calculated using Formula I, is based on the solids content of the composition of the present invention.
In the range of 0.5 mol / kg to 1.5 mol / kg, more preferably 0.
It should be in the range of 8 mol / kg to 1.2 mol / kg.
If #M is less than 0.5 mol / kg, the dry film exhibits weak chemical resistance. On the other hand, when #M exceeds 1.5 mol / kg, the flexibility of the dry film is reduced, and the tenting ability is reduced.

光重合性モノマー以外に、本ドライフィルムフォトレ
ジスト用感光性樹脂組成物には高分子結合子及び光開始
剤とその他の必須成分が包含されるべきである。場合に
よっては、密着促進剤、熱重合禁止剤、染料等のような
添加剤を配合することもできる。
In addition to the photopolymerizable monomer, the photosensitive resin composition for a dry film photoresist should include a polymer binder, a photoinitiator, and other essential components. In some cases, additives such as an adhesion promoter, a thermal polymerization inhibitor, a dye and the like can be added.

結合剤高分子としては、重量平均分子量(MW)が10,0
00〜400,000であり、ガラス転移温度(Tg)が40〜130℃
である熱可塑性線状高分子が適し、その好ましい含量は
本感光性樹脂組成物の固形分基準として50〜80重量%で
ある。
The binder polymer has a weight average molecular weight (M w ) of 10,000.
A 00~400,000, glass transition temperature (T g) 40 to 130 ° C.
The preferred content is 50 to 80% by weight based on the solid content of the photosensitive resin composition.

このような結合剤高分子は付加重合性モノマーから製
造でき、このような付加重合性モノマーとしては、メチ
ルアクリル酸、ブチルアクリル酸、メチルメタクリル酸
のようなアルキルアクリル酸、アルキルメタクリル酸類
とスチレン及びスチレン誘導体、アクリル酸エステル及
びメタクリル酸エステルのようなエステルを使用し得
る。アルカリ水溶液において、現像性を扶養するため、
アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、クロトン酸な
どのような酸成分を添加することが好ましい。
Such binder polymers can be made from addition polymerizable monomers, such as methyl acrylic acid, butyl acrylic acid, alkyl acrylic acids such as methyl methacrylic acid, alkyl methacrylic acids and styrene and Esters such as styrene derivatives, acrylates and methacrylates may be used. To support developability in aqueous alkaline solutions,
It is preferable to add an acid component such as acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, crotonic acid and the like.

本発明の組成物に適した光重合開始剤としては置換又
は非置換の多核キノン類として、例えば2−エチルアン
トラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、オクタメ
チルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3
−ベンズアントラキノン、2−フェニルアントラキノ
ン、2,3−ジフェニルアントラキノン、1−クロロアン
トラキノン、2−クロロアントラキノン、2−メチレア
ントラキノン、1,4−ナフタキノン、9,10−フェナント
ラキノン、1,2−ジメチルアントラキノンと、芳香族ケ
トン類として、例えばベンゾフェノン、ミヒラーケトン
(4,4−ビスジメチルアミノベンゾフェノン)、4,4−ビ
スジエチルアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4−
ビスジメチルアミノベンゾフェノンと、ベンゾイン及び
ベンゾインエテル類として、例えばベンゾインメチルエ
テル、ベンゾインエチルエテル、ベンゾインフェニルエ
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾインと、2,4,5
−トリアリールイミダゾール二量体などを使用し得る。
また、2−クロロチオキサントン、2,4−ジエチルチオ
キサントンのような置換又は非置換のチオキサントン類
と、メチルジエタノールアミンのような脂肪族3級アミ
ン又は芳香族3級アミンなども使用し得る。
Photopolymerization initiators suitable for the composition of the present invention include substituted or unsubstituted polynuclear quinones such as 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, Three
-Benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1,4-naphthaquinone, 9,10-phenanthraquinone, 1,2- Dimethylanthraquinone and aromatic ketones such as benzophenone, Michler's ketone (4,4-bisdimethylaminobenzophenone), 4,4-bisdiethylaminobenzophenone, 4-methoxy-4-
As bisdimethylaminobenzophenone, benzoin and benzoin ethers, for example, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, methyl benzoin, ethyl benzoin, and 2,4,5
-Triarylimidazole dimers and the like may be used.
Further, substituted or unsubstituted thioxanthones such as 2-chlorothioxanthone and 2,4-diethylthioxanthone, and aliphatic tertiary amines such as methyldiethanolamine or aromatic tertiary amines can also be used.

光により活性化されるこのような光開始剤は単独で又
は2種以上混合して使用し得る。このような光開始剤は
フォトレジスト組成物の固形分基準として0.5〜10重量
%を加えることがよい。仮に、余り少ない光開始剤が使
用されると、光により十分に硬化されない。仮に、光開
始剤が10重量%を超えると、光に過敏になって作業しに
くくなる。
Such photoinitiators activated by light may be used alone or in combination of two or more. Such a photoinitiator is preferably added in an amount of 0.5 to 10% by weight based on the solid content of the photoresist composition. If too little photoinitiator is used, it will not be sufficiently cured by light. If the amount of the photoinitiator exceeds 10% by weight, the photoinitiator becomes sensitive to light and becomes difficult to work.

その他にドライフィルムフォトレジストとして使用さ
れる感光性樹脂組成物に添加し得るものとして、銅板と
の密着力を増加させる密着促進剤、染料、熱重合禁止剤
がある。密着促進剤としてはベンゾトリアゾールなどを
使用することができ、染料としてはビクトリアブルー、
メチレンブルー、クリスタルバイオレット、マラカイト
グリーンなどを使用することができ、熱重合禁止剤とし
てはヒドロキノン、ヒドロキノンモノメチルエテル、t
−ブチルカテコールなどを使用することができる。
Other additives that can be added to the photosensitive resin composition used as a dry film photoresist include an adhesion promoter that increases the adhesion to the copper plate, a dye, and a thermal polymerization inhibitor. Benzotriazole or the like can be used as an adhesion promoter, and Victoria Blue,
Methylene blue, crystal violet, malachite green, and the like can be used. As the thermal polymerization inhibitor, hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, t
-Butyl catechol and the like can be used.

通常、ドライフィルムフォトレジストは有機溶媒と混
合された感光性樹脂組成物をベースフィルム上にコーテ
ィングしてから乾燥し、乾燥されたフォトレジスト層上
に保護フィルムを積層することにより製造される。
In general, a dry film photoresist is manufactured by coating a photosensitive resin composition mixed with an organic solvent on a base film, drying the coating, and laminating a protective film on the dried photoresist layer.

ベースフィルムは100℃以上で耐久性があり、透明で
あればよい。例えば、ポリエステルフィルム、ナイロン
フィルム、ポリイミドフィルム、ポリカーボネートフィ
ルムなどを使用することができ、特に好ましいものはポ
リエチレンテレフタレートフィルムである。
The base film may be durable at 100 ° C. or higher and transparent. For example, a polyester film, a nylon film, a polyimide film, a polycarbonate film and the like can be used, and a particularly preferable one is a polyethylene terephthalate film.

保護フィルムはフォトレジスト層を異物質から保護
し、ドライフィルムフォトレジストがロール状態に製造
されるとき、互いに引っ付かないようにするために使用
されるものである。主としてポリエチレン又はポリプロ
ピレンのようなポリオレフィン系統のフィルムが使用さ
れる。
The protective film is used to protect the photoresist layer from foreign substances and prevent the dry film photoresist from sticking to each other when manufactured in a roll state. Primarily, a polyolefin-based film such as polyethylene or polypropylene is used.

ドライフィルムフォトレジストは、印刷回路基板の製
造時、銅板(又は銅箔を被覆したエポキシ積層板)にラ
ミネーターを使用して均一に積層し得る。この際に、保
護フィルムは除去され、ベースフィルムとともにフォト
レジスト層が銅板に付いていることになる。ベースフィ
ルム上に所望回路(フォトツール)を置き密着させた
後、紫外線を照射すると、光を受けた部分(露光部)は
硬化され、そうでない部分は未硬化状態に残ることにな
る。これからベースフィルムを除去した後、現像液を基
板上に噴射すると、未硬化された部分が現像液により除
去され、硬化された部位はそのまま基板上に残って回路
が形成される。
The dry film photoresist can be uniformly laminated on a copper plate (or an epoxy laminate coated with copper foil) using a laminator during the manufacture of a printed circuit board. At this time, the protective film is removed, and the photoresist layer is attached to the copper plate together with the base film. When a desired circuit (phototool) is placed on and adhered to the base film and then irradiated with ultraviolet light, the light-receiving portion (exposed portion) is cured, and the other portion remains uncured. When the developer is sprayed onto the substrate after the base film is removed, the uncured portion is removed by the developer, and the cured portion remains on the substrate to form a circuit.

ドライフィルムフォトレジストを現像するため、1,1,
1−トリクロロエタンのような有機溶媒又は炭酸ナトリ
ウム水溶液のような弱アルカリ水溶液が使用される。最
近、弱アルカリ水溶液で現像可能なドライフィルムフォ
トレジストを使用することが一般的である。回路の形成
された基板は以後に鍍金又はエッチング、剥離工程を経
てPCBに製造される。弱アルカリ水溶液で現像可能な感
光性樹脂組成物は一般的な酸性銅鍍金液での耐鍍金薬品
性は良好であるが、ソルダ鍍金液での耐薬品性は組成に
よって大きい影響を受ける。
1,1, to develop dry film photoresist
An organic solvent such as 1-trichloroethane or a weak alkaline aqueous solution such as an aqueous sodium carbonate solution is used. Recently, it is common to use dry film photoresists that can be developed with weak alkaline aqueous solutions. The substrate on which the circuit is formed is then manufactured into a PCB through plating, etching, and peeling processes. A photosensitive resin composition that can be developed with a weak alkaline aqueous solution has good plating chemical resistance in a general acidic copper plating solution, but the chemical resistance in a solder plating solution is greatly affected by the composition.

以下、本発明を非限定的な実施例の方法に基づいてよ
り詳細に説明する。下記実施例及び比較例の組成成分に
おいて、表示*は水溶性光重合性モノマーを、表示**
は非水溶性光重合性モノマーをそれぞれ示す。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of non-limiting examples. In the composition components of the following Examples and Comparative Examples, * represents a water-soluble photopolymerizable monomer and ** represents
Represents a water-insoluble photopolymerizable monomer.

実施例1 感光性樹脂組成物 高分子結合剤として、メチルメタクリル酸(50%)/
エチルアクリル酸(30%)/メタクリル酸(20%)共重
合体が65重量部使用された。この高分子結合剤はGPC(w
ater,column:Shodex KF Series、標準試料:standard po
lystyrene、RI検出器)を使用して測定した重量平均分
子量(MW)が略70,000であった。光重合性モノマーとし
て分子量1,684、分子当たり平均エチレングリコール反
復単位数(以下、“▲▼”という)30である2,
2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキシ)フェニ
ル]プロパン12重量部、分子量330である**テトラエ
チレングリコールジメタクリレート8重量部及び分子量
428である**エトキシル化トリメチロールプロパント
リアクリレート7重量部を投入した。この混合物にベン
ゾフェノン4重量部、ミヒラーケトン0.5重量部、ビク
トリアブルー0.05重量部、ヒドロキノンモノメチルエテ
ル0.05重量部、ベンゾトリアゾール0.5重量部、メチル
エチルケトン100重量部を添加し均一に混合して、固形
分基準として反応性末端基の総量(#M)1.15モル/kg
である感光性樹脂組成物を製造した。
Example 1 Photosensitive resin composition Methyl methacrylic acid (50%) /
Ethyl acrylic acid (30%) / methacrylic acid (20%) copolymer was used in an amount of 65 parts by weight. This polymer binder is GPC (w
ater, column: Shodex KF Series, standard sample: standard po
Lystyrene, weight average molecular weight measured using a RI detector) (M W) was approximately 70,000. The photopolymerizable monomer has a molecular weight of 1,684 and an average number of ethylene glycol repeating units per molecule (hereinafter referred to as “▲ ▼”) of 30 * 2.
2- bis [(4-methacryloxy polyethoxy) phenyl] propane 12 parts by weight, 8 parts by weight of ** tetraethylene glycol dimethacrylate with a molecular weight 330 and molecular weight
** , 7 parts by weight of ethoxylated trimethylolpropane triacrylate. 4 parts by weight of benzophenone, 0.5 parts by weight of Michler's ketone, 0.05 parts by weight of Victoria Blue, 0.05 parts by weight of hydroquinone monomethyl ether, 0.5 parts by weight of benzotriazole, and 100 parts by weight of methyl ethyl ketone were added to the mixture, mixed uniformly, and reacted on a solid basis. Total number of functional end groups (#M) 1.15 mol / kg
Was produced.

収得した組成物を厚さ25μmのポリエチレンテレフタ
レートフィルム支持体上に塗布し、80℃で5分間乾燥し
て厚さ40μmの感光性フィルムを得た。ゴムロールを使
用して厚さ30μmのポリエチレンフィルムを感光性フィ
ルム上に積層した。
The obtained composition was applied on a 25 μm-thick polyethylene terephthalate film support and dried at 80 ° C. for 5 minutes to obtain a 40 μm-thick photosensitive film. A polyethylene film having a thickness of 30 μm was laminated on the photosensitive film using a rubber roll.

比較例I及びII 次のような光重合性モノマーを使用して実施例Iの手
順を繰り返した。
Comparative Examples I and II The procedure of Example I was repeated using the following photopolymerizable monomers.

比較例I:光重合性モノマーの組成 2,2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキシ)
フェニル]プロパン(Mw=1.684、NEG=30) 5重量部 **テトラエチレングリコールジメタクリレート(Mw
=330) 7重量部 **エトキシル化トリメチロールプロパントリアクリ
レート(Mw=428) 15重量部 反応性末端基の総量 1.58モル/kg 比較例II:光重合性モノマーの組成 2,2ビス[(4−メタクリロキシポリエトキシ)フ
ェニル]プロパン(Mw=1,684、NEG=30 15重量部 **2,2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキ
シ)フェニル]プロパン(Mw=804、NEG=10)12重量部 **ポリプロピレングリコールジアクリレート(Mw=
808) 7重量部 反応性末端基の総量(#M) 0.4モル/kg 実施例II 感光性樹脂組成物として、Mw=50,000であるメチルメ
タクリル酸(40%)/2−エチルヘキシルアクリル酸(20
%)/スチレン(20%)/メタクリル酸(10%)/アク
リル酸(10%)共重合体65重量部、分子量が1,684であ
り、NEGが30である2,2−ビス[(4−メタクリロキシ
エトキシ)フェニル]プロパン8重量部、分子量が804
であり、NEGが10である**2,2−ビス[(4−メタクリ
ロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン8重量部、Mw
=536である**ポリプロピレングリコールジアクリレ
ート8重量部、**ヒドロキシジメタクリロキシプロパ
ン3重量部、ベンゾフェノン4重量部、ミヒラーケトン
0.5重量部、ビクトリアブルー0.05重量部、ベンゾトリ
アゾール0.5重量部、ヒドロキノンメチルエテル0.05重
量部及びメチルエチルケトン100重量部から反応性末端
基の総量(#M)が0.88である感光性樹脂組成物を製造
して使用したことを除き実施例1と同手順を繰り返し
た。
Comparative Example I: Composition of photopolymerizable monomer * 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy)
Phenyl] propane (Mw = 1.684, N EG = 30) 5 parts by weight ** tetraethylene glycol dimethacrylate (Mw
= 330) 7 parts by weight ** Ethoxylated trimethylolpropane triacrylate (Mw = 428) 15 parts by weight Total amount of reactive terminal groups 1.58 mol / kg Comparative Example II: Composition of photopolymerizable monomer * 2,2 bis [( 4-methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (Mw = 1,684, N EG = 30 15 parts by weight ** 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (Mw = 804, N EG = 10 ) 12 parts by weight ** polypropylene glycol diacrylate (Mw =
808) 7 parts by weight Total amount of reactive terminal groups (#M) 0.4 mol / kg Example II As a photosensitive resin composition, methyl methacrylic acid (40%) / 2-ethylhexylacrylic acid (Mw = 50,000) (20
%) / Styrene (20%) / methacrylic acid (10%) / acrylic acid (10%) copolymer 65 parts by weight, molecular weight of 1,684, N EG is a 30 * 2,2-bis [(4 -Methacryloxyethoxy) phenyl] propane 8 parts by weight, molecular weight 804
And NEG is 10, ** 2 parts by weight of 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane, Mw
= 536 ** 8 parts by weight of polypropylene glycol diacrylate, ** 3 parts by weight of hydroxydimethacryloxypropane, 4 parts by weight of benzophenone, Michler's ketone
From 0.5 parts by weight, 0.05 parts by weight of Victoria Blue, 0.5 parts by weight of benzotriazole, 0.05 parts by weight of hydroquinone methyl ether and 100 parts by weight of methyl ethyl ketone, a photosensitive resin composition having a total reactive terminal group (#M) of 0.88 was produced. The same procedure as in Example 1 was repeated except that it was used.

比較例III 次のような光重合性モノマーを使用して実施例Iの手
順を繰り返した。
Comparative Example III The procedure of Example I was repeated using the following photopolymerizable monomer.

光重合性モノマーの組成 2,2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキシ)
フェニル]プロパン(Mw=1,684、NEG=30) 2重量部 **2,2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキ
シ)フェニル]プロパン(Mw=804、NEG=10)10重量部 **エトキシル化トリメチロールプロパントリアクリ
レート(Mw=428) 8重量部 **ポリプロピレングリコールジアクリレート(Mw=
808) 7重量部 反応性末端基の総量(#M) 1.04モル/kg 実施例III 次のような感光性樹脂組成物ヲ使用して実施例1の手
順を繰り返した。
Composition of photopolymerizable monomer * 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy)
Phenyl] propane (Mw = 1,684, NEG = 30) 2 parts by weight ** 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (Mw = 804, NEG = 10) 10 parts by weight ** Ethoxylated trimethylolpropane triacrylate (Mw = 428) 8 parts by weight ** polypropylene glycol diacrylate (Mw =
808) 7 parts by weight Total amount of reactive end groups (#M) 1.04 mol / kg Example III The procedure of Example 1 was repeated using the following photosensitive resin composition {}.

感光性樹脂組成物 メチルメタクリレート(40%)/フェノキシエチルア
クリル酸(40%)/メタクリル酸(10%)/アクリル酸
(10%)共重合体(Mw=80,000) 5重量部 2,2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキシ)
フェニル]プロパン(Mw=1,684、NEG=30) 8重量部 ポリエチレングリコールジメタクリレート(Mw=53
6、NEG=9) 5重量部 2,2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキシ)
フェニル]プロパン(Mw=804、NEG=10) 7重量部 **ポリプロピレングリコールジアクリレート(Mw=
536) 5重量部 **エコキシル化トリメチロールプロパントリアクリ
レート(Mw=428) 2重量部 ベンゾフェノン 4重量部 ミヒラーケトン 0.5 重量部 ダイヤモンドグリーンGH 0.05重量部 ベンゾトリアゾール0.5 重量部 ヒドロキノンモノメチルエテル 0.05重量部 メチルエチルケトン 100重量部 反応性末端基の総量(#M) 0.8モル/kg 実施例IV及びVと比較例IV及びV 次のような光重合性モノマーを使用して実施例3の手
順を繰り返した。
Photosensitive resin composition Methyl methacrylate (40%) / phenoxyethyl acrylic acid (40%) / methacrylic acid (10%) / acrylic acid (10%) copolymer (Mw = 80,000) 5 parts by weight * 2,2- Bis [(4-methacryloxypolyethoxy)
Phenyl] propane (Mw = 1,684, NEG = 30) 8 parts by weight * polyethylene glycol dimethacrylate (Mw = 53
6, N EG = 9) 5 parts by weight * 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy)
Phenyl] propane (Mw = 804, NEG = 10) 7 parts by weight ** polypropylene glycol diacrylate (Mw =
536) 5 parts by weight ** Ecoxylated trimethylolpropane triacrylate (Mw = 428) 2 parts by weight Benzophenone 4 parts by weight Michler ketone 0.5 parts by weight Diamond green GH 0.05 parts by weight Benzotriazole 0.5 parts by weight Hydroquinone monomethyl ether 0.05 parts by weight Methyl ethyl ketone 100 parts by weight Part Total amount of reactive end groups (#M) 0.8 mol / kg Examples IV and V and Comparative Examples IV and V The procedure of Example 3 was repeated using the following photopolymerizable monomers.

実施例IV:光重合性モノマーの組成 ポリエチレングリコールジメタクリレート(Mw=53
6、NEG=9) 12重量部 **ポリプロピレングリコールジアクリレート(Mw=
536) 8重量部 **エトキシル化トリメチロールプロパントリアクリ
レート(Mw=428) 7重量部 反応性末端基の総量(#M) 0.81モル/kg 実施例V:光重合性モノマーの組成 ポリエチレングリコールジメタクリレート(Mw=73
6、NEG=14) 10重量部 **プロポキシル化トリメチロールプロパントリアク
リレート(Mw=470) 7重量部 **2,2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキ
シ)フェニル]プロパン(Mw=804) 10重量部 反応性末端基の総量(#M) 1.0モル/kg 比較例IV:光重合性モノマーの組成 **2,2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキ
シ)フェニル]プロパン(Mw=804、NEG=10)12重量部 **テトラエチレングリコールジメタクリレート(Mw
=330) 5重量部 **プロポキシル化トリメチロールプロパントリアク
リレート(Mw=470) 10重量部 反応性末端基の総量(#M) 1.28モル/kg 比較例V:光重合性モノマーの組成 2,2−ビス[(4−メタクリロキシポリエトキシ)
フェニル]プロパン(Mw=1.684、NEG=30) 7重量部 ポリエチレングリコールジメタクリレート(Mw=73
6、NEG=14) 7重量部 **トリメチロールプロパントリアクリレート(Mw=
296) 8重量部 **1,6−ヘキサンジオルジメタクリレート(Mw=25
4) 5重量部 反応性末端基の総量(#M) 1.52モル/kg 分析 前記実施例及び比較例に対して現像速度、テンティン
グ性及び耐鍍金薬品性を次のような方法で測定した。測
定結果は下記表1に提示する。
Example IV: Composition of photopolymerizable monomer * polyethylene glycol dimethacrylate (Mw = 53
6, N EG = 9) 12 parts by weight ** polypropylene glycol diacrylate (Mw =
536) 8 parts by weight ** ethoxylated trimethylolpropane triacrylate (Mw = 428) 7 parts by weight Total amount of reactive terminal groups (#M) 0.81 mol / kg Example V: Composition of photopolymerizable monomer * polyethylene glycol di Methacrylate (Mw = 73
6, N EG = 14) 10 parts by weight ** propoxylated trimethylolpropane triacrylate (Mw = 470) 7 parts by weight ** 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (Mw = 804) 10 parts by weight Total amount of reactive terminal groups (#M) 1.0 mol / kg Comparative Example IV: Composition of Photopolymerizable Monomer ** 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (Mw = 804, N EG = 10) 12 parts by weight ** tetraethylene glycol dimethacrylate (Mw
= 330) 5 parts by weight ** Propoxylated trimethylolpropane triacrylate (Mw = 470) 10 parts by weight Total amount of reactive terminal groups (#M) 1.28 mol / kg Comparative Example V: Composition of photopolymerizable monomer * 2 , 2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy)
Phenyl] propane (Mw = 1.684, N EG = 30) 7 parts by weight * of polyethylene glycol dimethacrylate (Mw = 73
6, NEG = 14) 7 parts by weight ** trimethylolpropane triacrylate (Mw =
296) 8 parts by weight ** 1,6-hexanediol dimethacrylate (Mw = 25
4) 5 parts by weight Total amount of reactive end groups (#M) 1.52 mol / kg Analysis The developing speed, tenting property and plating chemical resistance of the above Examples and Comparative Examples were measured by the following methods. The measurement results are presented in Table 1 below.

1.現像速度 ブラシで研磨した銅板にラミネーターを使用して100
℃、1気圧の圧力及び分当たり1mの速度で感光フィルム
を積層した。これを15分間常温で維持して表面温度が常
温になった後、現像器を使用して現像時間を測定した。
使用されたラミネーターはウエスタンマグナム社の製品
(Western Magnum、XRL 240)であり、現像器はケムカ
ット社の製品(Chemcut.Model 413W)であった。現像液
は30℃に加温した炭酸ナトリウム1%水溶液が使用さ
れ、1.5atmの圧力でノズルから噴霧された。
1.Development speed Use a laminator on a copper plate polished with a brush.
The photosensitive film was laminated at a temperature of 1 ° C., a pressure of 1 atm and a speed of 1 m per minute. This was maintained at room temperature for 15 minutes, and after the surface temperature reached room temperature, the development time was measured using a developing device.
The laminator used was a product of Western Magnum (Western Magnum, XRL 240) and the developer was a product of Chemcut (Chemcut. Model 413W). The developing solution used was a 1% aqueous solution of sodium carbonate heated to 30 ° C., and was sprayed from a nozzle at a pressure of 1.5 atm.

2.テンティング性 膜の柔軟性の尺度であるテンティング性を試験するた
め、直径1、2、3、4、5、6、6.3mmの正孔がそれ
ぞれ48個ずつある銅板にラミネーターを使用して両面に
ドライフィルムを積層した。1個のサンプル当たり10個
の銅板を使用した。銅板を常温に冷やした後、露光器で
15秒間露光した。使用した露光器はコライト(Coligh
t)DMVL 1330であった。露光後、先に測定した現像時
間の2倍の時間の間に現像を2回繰り返した後、裂けた
正孔の数を数えた。
2. Tenting properties To test the tenting properties, which is a measure of the flexibility of the film, a laminator was used on a copper plate with 48 holes each with a diameter of 1, 2, 3, 4, 5, 6, and 6.3 mm. Then, dry films were laminated on both sides. Ten copper plates were used per sample. After cooling the copper plate to room temperature,
Exposure was for 15 seconds. The exposure equipment used was Colite (Coligh
t) DMVL 1330. After exposure, development was repeated twice for twice the development time measured previously, and the number of torn holes was counted.

3.耐鍍金薬品性 テンティング性の測定時と同方法で0.3mm間隔の回路
を銅板に形成させた後、次のように処理して、最終液
(4番液)内で銅板から剥離される時間を観察した。
3. Plating resistance After forming a circuit of 0.3mm interval on the copper plate by the same method as the measurement of the tenting property, it is processed as follows, and is peeled off from the copper plate in the final solution (4th solution). Time was observed.

i.硫酸処理:10%硫酸水溶液、常温で30分間浸漬 ii.水洗:常温、10秒ずつ5回洗浄 iii.フルオロ硼酸20%水溶液で30秒間浸漬、常温 iv.フルオロ硼酸40%、硼酸3%水溶液で浸漬、常温 比較例I及び比較例IIと比較するとき、実施例Iは現
像速度は対等であるが、テンティングホールの破壊率及
び耐鍍金薬品性で優秀である。
i. Sulfuric acid treatment: 10% sulfuric acid aqueous solution, immersion for 30 minutes at room temperature ii. Water washing: normal temperature, 5 times washing for 10 seconds each iii. Dipping with 20% aqueous solution of fluoroboric acid for 30 seconds, room temperature iv. Immersion in aqueous solution, normal temperature When compared with Comparative Example I and Comparative Example II, Example I has the same developing speed, but is superior in the breaking rate of the tenting hole and the plating chemical resistance.

比較例IIIは実施例IIに比べて現像速度が50%程度低
く、テンティングホールの破壊率も4%もなった。
In Comparative Example III, the developing speed was about 50% lower than that in Example II, and the breaking ratio of the tenting holes was as high as 4%.

前記表1から明らかに分かるように、本発明による組
成物は現像速度、柔軟性及び耐鍍金薬品性に優れたフォ
トレジストを製造するに有用である。
As can be clearly seen from Table 1, the composition according to the present invention is useful for preparing a photoresist having excellent development speed, flexibility and plating chemical resistance.

本発明は例示的な方法で記述され、使用された用語は
制限するためのものではなく説明するためのものにすぎ
ないことを理解すべきである。
It is to be understood that the present invention has been described in an illustrative manner and that the terms used are intended to be illustrative rather than restrictive.

前記技術から本発明を多様に修正及び変更し得る。し
たがって、添付する請求の範囲の領域内で本発明は具体
的に説明されたものとは異なる方法で実施できる。
The present invention can be variously modified and changed from the above-described technology. Thus, within the scope of the appended claims, the invention may be practiced otherwise than as specifically described.

フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H05K 3/06 H05K 3/06 H (72)発明者 パーク キエ―ジン 大韓民国614―054 ブサン ブサンジン ―ク ヤンジュン―4―ドン 107―18 (56)参考文献 特開 昭61−228007(JP,A) 特開 平1−159637(JP,A) 特開 平7−146550(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G03F 7/027 C08F 290/06 C08F 299/02,2/50 C08L 71/00 Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI H05K 3/06 H05K 3/06 H (72) Inventor Park Ki-Jin South Korea 614-054 Busan Busanjin-Kang Yangjun-4-Don 107-18 ( 56) References JP-A-61-228007 (JP, A) JP-A-1-159637 (JP, A) JP-A-7-146550 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , (DB name) G03F 7/027 C08F 290/06 C08F 299 / 02,2 / 50 C08L 71/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】光重合性モノマー、熱可塑性高分子結合剤
及び光開始剤を含有する感光性樹脂組成物において、 (1)前記光重合性モノマーは、少なくとも1種の水溶
性モノマーと、少なくとも1種の非水溶性モノマーと、
を含有し、 (2)両者は不飽和反応基を二つ以上有し、 (3)前記水溶性モノマーの含量が、前記組成物の固形
分含量を基準として3〜15重量%であり、 (4)全体の光重合性モノマーの反応基は、次の式Iで
計算するとき、前記組成物の固形分1kg当たり0.5〜1.5
モルであることを特徴とする感光性樹脂組成物。 ここで、#Mは前記組成物の固形分1kg当たり前記反応
性基の総量であり、Miは前記組成物の固形分1kg当たり
光重合性モノマーiのモル数であり、Niは光重合性モノ
マーiの反応基の数であり、kは組成物中の光重合性モ
ノマーの総数である。
1. A photosensitive resin composition containing a photopolymerizable monomer, a thermoplastic polymer binder and a photoinitiator, wherein (1) the photopolymerizable monomer comprises at least one water-soluble monomer, One water-insoluble monomer;
(2) both have two or more unsaturated reactive groups, (3) the content of the water-soluble monomer is 3 to 15% by weight based on the solid content of the composition, (4) The reactive group of the entire photopolymerizable monomer, when calculated by the following formula I, is 0.5 to 1.5 / kg of the solid content of the composition.
A photosensitive resin composition characterized in that it is a mole. Here, # M is the total amount of solids 1kg commonplace Symbol reactive groups of the composition, M i is the number of moles of solids 1kg per photopolymerizable monomer i in the composition, N i photopolymerization And k is the total number of photopolymerizable monomers in the composition.
【請求項2】請求項1において、前記水溶性光重合性モ
ノマーがエチレングリコール単位数が総25〜40個である
2,2−ビス[(4−アクリロキシポリエトキシ)フェニ
ル]プロパン又は2,2−ビス[(4−メタクリルオキシ
ポリエトキシ)フェニル]プロパンであることを特徴と
する感光性樹脂組成物。
2. The water-soluble photopolymerizable monomer according to claim 1, wherein the total number of ethylene glycol units is 25 to 40.
A photosensitive resin composition characterized by being 2,2-bis [(4-acryloxypolyethoxy) phenyl] propane or 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane.
【請求項3】請求項1において、前記水溶性光重合性モ
ノマーがエチレングリコール単位数が総25〜40個である
2,2−ビス[(4−アクリロキシポリエトキシ)フェニ
ル]プロパン又は2,2−ビス[(4−メタクリルオキシ
ポリエトキシ)フェニル]プロパンとエチレングリコー
ル単位数が8〜15であるポリエチレングリコールジアク
リレート又はポリエチレングリコールジメタクリレート
の混合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
3. The water-soluble photopolymerizable monomer according to claim 1, wherein the total number of ethylene glycol units is 25 to 40.
2,2-bis [(4-acryloxypolyethoxy) phenyl] propane or 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane and polyethylene glycol diacrylate having 8 to 15 ethylene glycol units Or a mixture of polyethylene glycol dimethacrylate.
【請求項4】請求項1において、非水溶性光重合性モノ
マーが、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチ
レングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコ
ールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメ
タクリレート、ペンタエリトリトールトリメタクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート、エト
キシル化トリメチロールプロパントリメタクリレート、
プロポキシル化トリメチロールプロパントリメタクリレ
ート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、ヒ
ドロキシジメタクリロキシプロパン、2,2−ビス[(4
−アクリロキシジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2
−ビス[(4−アクリロキシポリエトキシ)フェニル]
プロパン、2,2−ビス[(4−メタクリロキシジエトキ
シ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[(4−メタクリ
ロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン、又はこれら
の2種以上の混合物であることを特徴とする感光性樹脂
組成物。
4. The method according to claim 1, wherein the water-insoluble photopolymerizable monomer is ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate. , Ethoxylated trimethylolpropane trimethacrylate,
Propoxylated trimethylolpropane trimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, hydroxydimethacryloxypropane, 2,2-bis [(4
-Acryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2
-Bis [(4-acryloxypolyethoxy) phenyl]
Propane, 2,2-bis [(4-methacryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [(4-methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane, or a mixture of two or more thereof Characteristic photosensitive resin composition.
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