JP2963604B2 - ＲｅＢａ２Ｃｕ３Ｏｙ結晶を融液から作製する方法 - Google Patents
ＲｅＢａ２Ｃｕ３Ｏｙ結晶を融液から作製する方法Info
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N60/0268—Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＲｅＢａ 2 Ｃｕ 3 Ｏ y 結
晶を融液から作製する方法に関するものである。
晶を融液から作製する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｙ１２３型結晶構造を有した酸化
物結晶を融液から作製する際に用いる種は、単結晶マグ
ネシア、Ｓｍ１２３結晶、Ｙ１２３結晶などが用いられ
ていた。
物結晶を融液から作製する際に用いる種は、単結晶マグ
ネシア、Ｓｍ１２３結晶、Ｙ１２３結晶などが用いられ
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、単結晶
マグネシアを用いた場合には、成長するＹ１２３型結晶
構造を有する酸化物結晶は、多結晶体になる傾向があ
り、単結晶体が得られ難いと言う問題点があった。
マグネシアを用いた場合には、成長するＹ１２３型結晶
構造を有する酸化物結晶は、多結晶体になる傾向があ
り、単結晶体が得られ難いと言う問題点があった。
【０００４】また、種として、Ｙ１２３型結晶構造を有
する酸化物結晶を用いた場合には、融液が種を伝って上
方に這い上がり、シードホルダーと反応するという問題
があった。
する酸化物結晶を用いた場合には、融液が種を伝って上
方に這い上がり、シードホルダーと反応するという問題
があった。
【０００５】本発明は、前記問題点を解決するためにな
されたものであり、本発明の目的は、融液の這い上がり
を押さえ、単結晶を容易に得ることが可能な技術を提供
することにある。
されたものであり、本発明の目的は、融液の這い上がり
を押さえ、単結晶を容易に得ることが可能な技術を提供
することにある。
【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、基板上に１２３型結晶構造を有するＲｅ
Ｂａ2Ｃｕ3Ｏy（ＲｅはＹまたはランタノイドのうちい
ずれかの一種、ｙは酸素量である）の配向膜を積層した
構成からなる種を用いて、ＲｅＢａ 2 Ｃｕ 3 Ｏ y の結晶を
融液から作製する方法としたことを最も主要な特徴とす
る。
に、本発明は、基板上に１２３型結晶構造を有するＲｅ
Ｂａ2Ｃｕ3Ｏy（ＲｅはＹまたはランタノイドのうちい
ずれかの一種、ｙは酸素量である）の配向膜を積層した
構成からなる種を用いて、ＲｅＢａ 2 Ｃｕ 3 Ｏ y の結晶を
融液から作製する方法としたことを最も主要な特徴とす
る。
【０００８】前記基板は、アルカリ土類元素を構成元素
として含む酸化物であることが好ましい。
として含む酸化物であることが好ましい。
【０００９】前記基板は、バリウム-銅酸化物の融液に
濡れない材質のものであることが好ましい。具体的には
基板としてＭｇＯが最も好適である。
濡れない材質のものであることが好ましい。具体的には
基板としてＭｇＯが最も好適である。
【００１０】前記配向膜において、結晶軸の配向方向は
種々のものを採用できる。例えば、ｃ軸を基板面に垂直
に配向させたものや、ａ軸を基板面に垂直に配向させた
ものを採用できる。配向膜のａ軸が基板に垂直に配向し
ている場合には、液相から成長する結晶膜もａ軸が基板
に垂直に配向する。例えば、特性の良いＳＩＳ接合を作
るには、Ｉ層の厚さをＳ層のコヒーレンス長程度とする
必要があり、ａ軸配向膜においては、コヒーレンス長の
長いａ軸が立っていることから、Ｉ層の長さを厚くする
ことができ、より製造しやすいという技術的特徴があ
る。
種々のものを採用できる。例えば、ｃ軸を基板面に垂直
に配向させたものや、ａ軸を基板面に垂直に配向させた
ものを採用できる。配向膜のａ軸が基板に垂直に配向し
ている場合には、液相から成長する結晶膜もａ軸が基板
に垂直に配向する。例えば、特性の良いＳＩＳ接合を作
るには、Ｉ層の厚さをＳ層のコヒーレンス長程度とする
必要があり、ａ軸配向膜においては、コヒーレンス長の
長いａ軸が立っていることから、Ｉ層の長さを厚くする
ことができ、より製造しやすいという技術的特徴があ
る。
【００１１】前記配向膜の厚さは、０.０１〜１μｍの
範囲内であることが好ましい。Ｙ１２３型結晶膜の結晶
性は、配向膜の厚さに依存する傾向があり、配向膜の厚
さ１μｍを越える場合には、多結晶化して配向性が悪化
するおそれがあるので好ましくない。逆に、配向膜の厚
さが０.０１μｍより薄い場合にも，同様に多結晶化し
て配向性が低下するおそれがあるので好ましくない。
範囲内であることが好ましい。Ｙ１２３型結晶膜の結晶
性は、配向膜の厚さに依存する傾向があり、配向膜の厚
さ１μｍを越える場合には、多結晶化して配向性が悪化
するおそれがあるので好ましくない。逆に、配向膜の厚
さが０.０１μｍより薄い場合にも，同様に多結晶化し
て配向性が低下するおそれがあるので好ましくない。
【００１２】前記配向膜は、プラズマ蒸着法で積層する
のが好ましい。
のが好ましい。
【００１３】前記プラズマ蒸着法において、具体的に高
周波プラズマ中に、Ｙ-Ｂａ-Ｃｕ-Ｏの酸化物原料粉末
を送り込み、蒸発させ、基材表面上に蒸着させる。
周波プラズマ中に、Ｙ-Ｂａ-Ｃｕ-Ｏの酸化物原料粉末
を送り込み、蒸発させ、基材表面上に蒸着させる。
【００１４】前記配向膜上にＹ１２３型結晶構造を有す
る酸化物を積層させる方法としては、融液から膜のＹ１
２３型結晶が初晶で析出する条件で、配向膜上に結晶成
長させるのが好ましい。この場合、配向膜が必ずしも完
全に配向していないときでも良好な配向性を有する結晶
が得られる。
る酸化物を積層させる方法としては、融液から膜のＹ１
２３型結晶が初晶で析出する条件で、配向膜上に結晶成
長させるのが好ましい。この場合、配向膜が必ずしも完
全に配向していないときでも良好な配向性を有する結晶
が得られる。
【００１５】
【作用】前述した手段によれば、基板上に１２３型結晶
構造を有するＲｅＢａ2Ｃｕ3Ｏyの配向膜を積層したＲ
ｅＢａ2Ｃｕ3Ｏy結晶成長用の種であるので、融液の這
い上がりを押さえ、単結晶を容易に得ることができる。
構造を有するＲｅＢａ2Ｃｕ3Ｏyの配向膜を積層したＲ
ｅＢａ2Ｃｕ3Ｏy結晶成長用の種であるので、融液の這
い上がりを押さえ、単結晶を容易に得ることができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１７】本発明による一実施例のＹ１２３型結晶構
造を有する酸化物結晶を融液から作製する際に用いる種
は、図１に示すように、マグネシア単結晶の棒状ブロッ
ク（基板）１０１のへき界面上に、プラズマ蒸着によ
り、Ｙ１２３結晶の配向膜１０２を形成したものであ
る。
造を有する酸化物結晶を融液から作製する際に用いる種
は、図１に示すように、マグネシア単結晶の棒状ブロッ
ク（基板）１０１のへき界面上に、プラズマ蒸着によ
り、Ｙ１２３結晶の配向膜１０２を形成したものであ
る。
【００１８】本実施例の種は、次のようにして作製す
る。
る。
【００１９】まず、マグネシア単結晶の棒状ブロック
（基板）１０１を昇温した。該棒状ブロック１０１の蒸
着表面の温度は測定不可であるが、６００℃から１００
０℃までの温度範囲に入っているものと思われる。そし
て、プラズマ蒸着法により、Ｙ-Ｂａ-Ｃｕ-Ｏの酸化物
原料粉末を送り込み、１０分間蒸発させ、単結晶マグネ
シアの棒状ブロック１０１のへき界面上に蒸着を行っ
た。粉末供給速度は測定していない。その直後酸素雰囲
気中で大気圧及び３００℃程度まで冷却し大気中に取り
出してＹ１２３結晶の配向膜１０２を形成した。
（基板）１０１を昇温した。該棒状ブロック１０１の蒸
着表面の温度は測定不可であるが、６００℃から１００
０℃までの温度範囲に入っているものと思われる。そし
て、プラズマ蒸着法により、Ｙ-Ｂａ-Ｃｕ-Ｏの酸化物
原料粉末を送り込み、１０分間蒸発させ、単結晶マグネ
シアの棒状ブロック１０１のへき界面上に蒸着を行っ
た。粉末供給速度は測定していない。その直後酸素雰囲
気中で大気圧及び３００℃程度まで冷却し大気中に取り
出してＹ１２３結晶の配向膜１０２を形成した。
【００２０】前記蒸着における高周波プラズマ条件及び
粉末については、表１の通りである。
粉末については、表１の通りである。
【００２１】
【表１】
【００２２】図２に、このＹ１２３結晶の配向膜１０２
のＸ線回折パターンを示す。このパターンより、Ｙ１２
３結晶の配向膜１０２は、基板面に対してｃ軸が立つ方
向に配向していることが判った。しかしながら、他の方
向に向いたピークも同時に観測され、配向性は良くない
ことが判明した。
のＸ線回折パターンを示す。このパターンより、Ｙ１２
３結晶の配向膜１０２は、基板面に対してｃ軸が立つ方
向に配向していることが判った。しかしながら、他の方
向に向いたピークも同時に観測され、配向性は良くない
ことが判明した。
【００２３】この単結晶基板１０１上のＹ１２３結晶の
配向膜１０２を種として用い、ＢａＯとＣｕＯの混合融
液を用いて、液相から初晶でＹ１２３型結晶構造を有す
る酸化物結晶を成長させて作製した。
配向膜１０２を種として用い、ＢａＯとＣｕＯの混合融
液を用いて、液相から初晶でＹ１２３型結晶構造を有す
る酸化物結晶を成長させて作製した。
【００２４】前記液相から初晶でＹ１２３型結晶構造を
有する酸化物結晶を成長させる方法は、例えば、図３に
示すように、内径３０ｍｍ、高さ５０ｍｍのイットリア
るつぼ１１内に、溶質供給物質としてＹ2ＢａＣｕＯ
5（固相の沈澱）１２を下部に入れ、溶剤となるＢａＯ
とＣｕＯの混合融液として、ＢａとＣｕのモル比が３：
５となるように炭酸バリウムと酸化銅を混合し８８０℃
で４０時間仮焼した後の物質（液相）１３を上部に入れ
る。
有する酸化物結晶を成長させる方法は、例えば、図３に
示すように、内径３０ｍｍ、高さ５０ｍｍのイットリア
るつぼ１１内に、溶質供給物質としてＹ2ＢａＣｕＯ
5（固相の沈澱）１２を下部に入れ、溶剤となるＢａＯ
とＣｕＯの混合融液として、ＢａとＣｕのモル比が３：
５となるように炭酸バリウムと酸化銅を混合し８８０℃
で４０時間仮焼した後の物質（液相）１３を上部に入れ
る。
【００２５】図３において、１４はマグネシア単結晶の
棒状ブロック１０１のへき界面上に、プラズマ蒸着法に
より蒸着したＹ１２３結晶の配向膜１０２を設けたも
の、１５は種結晶棒（マグネシア単結晶の棒状ブロック
１０１）、１６は白金サセプタ、１７は加熱用高周波コ
イルである。
棒状ブロック１０１のへき界面上に、プラズマ蒸着法に
より蒸着したＹ１２３結晶の配向膜１０２を設けたも
の、１５は種結晶棒（マグネシア単結晶の棒状ブロック
１０１）、１６は白金サセプタ、１７は加熱用高周波コ
イルである。
【００２６】使用するるつぼ１１の材質は、イットリア
に限らず、マグネシア、アルミナ、安定化ジルコニア等
耐蝕性のある材質が使用できる。ＢａとＣｕのモル比
は、３：５に限らず３：５から３：８程度までの量比で
もよい。下部に入れた物質（液相）１３と上部に入れた
物質（固相の沈澱）１２の重量比は１：４である。この
重量比は１：２から１：１０程度でもよい。
に限らず、マグネシア、アルミナ、安定化ジルコニア等
耐蝕性のある材質が使用できる。ＢａとＣｕのモル比
は、３：５に限らず３：５から３：８程度までの量比で
もよい。下部に入れた物質（液相）１３と上部に入れた
物質（固相の沈澱）１２の重量比は１：４である。この
重量比は１：２から１：１０程度でもよい。
【００２７】これらの溶質と溶媒を入れたるつぼ１１を
約１０００℃に加熱し、溶剤を溶解させた。この段階
で、下部に溶質供給物質であるＹ2ＢａＣｕＯ5が沈殿し
ており、上部に溶媒であるＢａＯとＣｕＯの混合が液体
状態を保っていた。この状態の液相部分に種として、前
記マグネシア単結晶の棒状ブロック１０１上にプラズマ
蒸着により形成したＹ１２３結晶の配向膜１０２を積層
したものを接触させ、るつぼ１１の温度を２０℃程度低
下させ、毎分１００回転の回転数で、上方向に毎時０.
２ｍｍの速さで引き上げることによって、単結晶のＹ１
２３結晶１０３を作製することができた。
約１０００℃に加熱し、溶剤を溶解させた。この段階
で、下部に溶質供給物質であるＹ2ＢａＣｕＯ5が沈殿し
ており、上部に溶媒であるＢａＯとＣｕＯの混合が液体
状態を保っていた。この状態の液相部分に種として、前
記マグネシア単結晶の棒状ブロック１０１上にプラズマ
蒸着により形成したＹ１２３結晶の配向膜１０２を積層
したものを接触させ、るつぼ１１の温度を２０℃程度低
下させ、毎分１００回転の回転数で、上方向に毎時０.
２ｍｍの速さで引き上げることによって、単結晶のＹ１
２３結晶１０３を作製することができた。
【００２８】この単結晶のＹ１２３結晶１０３の表面
は、鏡面を有しており、偏光顕微鏡の観察により、双晶
壁は存在するが、粒界のない、結晶性の良い結晶である
ことが判明した。
は、鏡面を有しており、偏光顕微鏡の観察により、双晶
壁は存在するが、粒界のない、結晶性の良い結晶である
ことが判明した。
【００２９】配向性のＹ１２３型結晶構造を有する中間
層の作製が可能な方法であれば、プラズマ蒸着法に限ら
ず、膜形成の手段を問わない。
層の作製が可能な方法であれば、プラズマ蒸着法に限ら
ず、膜形成の手段を問わない。
【００３０】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
【００３１】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、Ｙ系１２３結晶構造を有する酸化物の単結晶を容易
に作製することができる。また、Ｙ系１２３結晶構造を
有する酸化物の良質結晶膜を得ることができる。
ば、Ｙ系１２３結晶構造を有する酸化物の単結晶を容易
に作製することができる。また、Ｙ系１２３結晶構造を
有する酸化物の良質結晶膜を得ることができる。
【図１】 本発明による一実施例のＹ１２３型結晶構造
を有する酸化物結晶を融液から作製する際に用いる種の
構成を示す模式構成図、
を有する酸化物結晶を融液から作製する際に用いる種の
構成を示す模式構成図、
【図２】 本実施例のＹ１２３結晶の配向膜のＸ線回折
パターンを示す図、
パターンを示す図、
【図３】 本実施例の種を使用したＹ１２３型結晶構造
を有する酸化物結晶膜の作製法を説明するための実施装
置の模式構成図。
を有する酸化物結晶膜の作製法を説明するための実施装
置の模式構成図。
１１…内径３０ｍｍ、高さ５０ｍｍのイットリアるつ
ぼ、１２…Ｙ2ＢａＣｕＯ5（固相の沈澱）、１３…炭酸
バリウムと酸化銅を混合し８８０℃で４０時間仮焼した
後の物質（液相）、１４…マグネシア単結晶の棒状ブロ
ックのへき界面上にＹ１２３結晶の配向膜を設けたも
の、１５…種結晶棒（マグネシア単結晶の棒状ブロッ
ク）、１６…白金サセプタ、１７…加熱用高周波コイ
ル、１０１…マグネシア単結晶の棒状ブロック、１０２
…Ｙ１２３結晶の配向膜、１０３…成長したＹ１２３結
晶膜、１０４…液相。
ぼ、１２…Ｙ2ＢａＣｕＯ5（固相の沈澱）、１３…炭酸
バリウムと酸化銅を混合し８８０℃で４０時間仮焼した
後の物質（液相）、１４…マグネシア単結晶の棒状ブロ
ックのへき界面上にＹ１２３結晶の配向膜を設けたも
の、１５…種結晶棒（マグネシア単結晶の棒状ブロッ
ク）、１６…白金サセプタ、１７…加熱用高周波コイ
ル、１０１…マグネシア単結晶の棒状ブロック、１０２
…Ｙ１２３結晶の配向膜、１０３…成長したＹ１２３結
晶膜、１０４…液相。
フロントページの続き (73)特許権者 000241957 北海道電力株式会社 北海道札幌市中央区大通東１丁目２番地 (73)特許権者 000164438 九州電力株式会社 福岡県福岡市中央区渡辺通２丁目１番82 号 (73)特許権者 000156938 関西電力株式会社 大阪府大阪市北区中之島３丁目３番22号 (73)特許権者 000000099 石川島播磨重工業株式会社 東京都千代田区大手町２丁目２番１号 (73)特許権者 000005186 株式会社フジクラ 東京都江東区木場１丁目５番１号 (72)発明者 山田 容士 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (72)発明者 中村 優 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (72)発明者 辰巳 憲之 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (72)発明者 辻野 二朗 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (72)発明者 大津 敢視 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (72)発明者 金森 康夫 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (72)発明者 田上 稔 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (72)発明者 久米 篤 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (72)発明者 塩原 融 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (72)発明者 田中 昭二 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法 人 国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所内 (56)参考文献 特開 平１−94683（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−122588（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C30B 28/00 - 35/00 ＣＡ（ＳＴＮ) ＥＰＡＴ（ＱＵＥＳＴＥＬ)
Claims (5)
- 【請求項１】 基板上に１２３型結晶構造を有するＲｅ
Ｂａ2Ｃｕ3Ｏy（ＲｅはＹまたはランタノイドのうちい
ずれかの一種、ｙは酸素量である）の配向膜を積層した
構成からなる種を用いて、ＲｅＢａ 2 Ｃｕ 3 Ｏ y 結晶を融
液から作製する方法。 - 【請求項２】 前記基板は、アルカリ土類元素を構成元
素として含む酸化物であることを特徴とする請求項１に
記載のＲｅＢａ 2 Ｃｕ 3 Ｏ y 結晶を融液から作製する方
法。 - 【請求項３】 前記基板は、バリウム-銅酸化物の融液
に濡れない材質のものであることを特徴とする請求項１
に記載のＲｅＢａ 2 Ｃｕ 3 Ｏ y 結晶を融液から作製する方
法。 - 【請求項４】 前記アルカリ土類元素はＭｇであること
を特徴とする請求項２に記載のＲｅＢａ2Ｃｕ3Ｏy結晶
を融液から作成する方法。 - 【請求項５】 前記配向膜は、プラズマ蒸着法で積層し
たものであることを特徴とした請求項１乃至４のうちい
ずれか１項に記載のＲｅＢａ 2 Ｃｕ 3 Ｏ y 結晶を融液から
作製する方法。
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|---|---|---|---|
| JP5184713A JP2963604B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | ＲｅＢａ２Ｃｕ３Ｏｙ結晶を融液から作製する方法 |
| EP94305541A EP0636715A1 (en) | 1993-07-27 | 1994-07-27 | Composite seed material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5184713A JP2963604B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | ＲｅＢａ２Ｃｕ３Ｏｙ結晶を融液から作製する方法 |
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|---|---|
| JPH0733589A JPH0733589A (ja) | 1995-02-03 |
| JP2963604B2 true JP2963604B2 (ja) | 1999-10-18 |
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ID=16158067
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP5184713A Expired - Fee Related JP2963604B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | ＲｅＢａ２Ｃｕ３Ｏｙ結晶を融液から作製する方法 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP2963604B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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- 1993-07-27 JP JP5184713A patent/JP2963604B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1994
- 1994-07-27 EP EP94305541A patent/EP0636715A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0733589A (ja) | 1995-02-03 |
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