JP2957170B1 - Optical fiber preform, optical fiber preform, and methods for producing them - Google Patents

Optical fiber preform, optical fiber preform, and methods for producing them

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JP2957170B1 JP10228689A JP22868998A JP2957170B1 JP 2957170 B1 JP2957170 B1 JP 2957170B1 JP 10228689 A JP10228689 A JP 10228689A JP 22868998 A JP22868998 A JP 22868998A JP 2957170 B1 JP2957170 B1 JP 2957170B1
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  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

【要約】 【課題】 生産能力の向上及び製造コスト低下へ大きく
寄与する1バッチ当たりのガラス微粉末堆積重量を向上
させた光ファイバ多孔質母材を得る。 【解決手段】 中心部材の周囲にガラス微粉末を堆積し
た光ファイバ多孔質母材おいて、該堆積物はその細孔径
が制御されたものであることを特徴とする光ファイバ多
孔質母材、及び中心部材を回転させながらその周囲にガ
ラス微粉末を堆積して光ファイバー多孔質母材を製造す
る方法において、ガラス微粉末の堆積物の細孔径を制御
することを特徴とする光ファイバ多孔質母材の製造方
法。
The present invention provides an optical fiber porous preform having an improved glass fine powder deposition weight per batch which greatly contributes to an improvement in production capacity and a reduction in manufacturing cost. SOLUTION: A porous optical fiber preform in which glass fine powder is deposited around a center member, wherein the deposit has a controlled pore diameter. And a method for producing a porous optical fiber preform by depositing a glass fine powder around the center member while rotating the central member, wherein the pore diameter of the deposit of the glass fine powder is controlled. The method of manufacturing the material.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ多孔質
母材、光ファイバ母材及びそれらの製造方法に関する。
特に、部材周辺上のガラス微粉末堆積重量を向上させた
光ファイバ多孔質母材、それから得られる光ファイバ母
材及びその製造方法に関する。
The present invention relates to a porous optical fiber preform, an optical fiber preform, and a method for producing the same.
In particular, the present invention relates to an optical fiber porous preform having an improved weight of glass fine powder deposited on the periphery of a member, an optical fiber preform obtained therefrom, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光ファイバ多孔質母材は、例えば
外付法等のように、光ファイバー多孔質母材の部材を軸
回転させながらその周囲にガラス微粉末を堆積して製造
される。上記部材の周囲にガラス微粉末を堆積させるに
は、例えば部材をチャンバといわれる当該部材の軸方向
の両端を囲う装置の中に置き、当該チャンバの前部に位
置された火炎バーナから、燃料ガスや原料ガスを噴出さ
せて、火炎内でガラス微粉末を部材の周囲に生成させ、
これを堆積させるとともに、チャンバの上記火炎バーナ
とは反対側の排気口から、未反応のガスや反応生成ガ
ス、未堆積のガラス微粉末などを排気させる機構を取っ
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an optical fiber porous preform is manufactured by depositing a glass fine powder around a member of the optical fiber porous preform while rotating the member of the optical fiber porous preform, for example, by an external method. In order to deposit the glass fine powder around the above-mentioned member, for example, the member is placed in a device called a chamber which surrounds both ends in the axial direction of the member, and a fuel gas is supplied from a flame burner located at the front of the chamber. Or raw material gas to generate fine glass powder around the member in the flame,
A mechanism is provided for depositing this gas and exhausting unreacted gas, reaction product gas, undeposited glass fine powder, and the like from an exhaust port of the chamber opposite to the flame burner.

【0003】上記のようにして部材の周囲にガラス微粉
末を堆積させて得られる光ファイバ多孔質母材は、純
度、その他の種々の品質に優れるものが得られる。この
ように、昨今、光ファイバ多孔質母材の製造技術は品質
面において、著しい進歩があった。
As described above, an optical fiber porous preform obtained by depositing a glass fine powder around a member can be excellent in purity and other various qualities. As described above, in recent years, the manufacturing technology of the optical fiber porous preform has made remarkable progress in quality.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
に種々の優れた品質を有する光ファイバ多孔質母材を更
に改良し、生産能力の向上及び製造コスト低下へ大きく
寄与する1バッチ当たりの上記ガラス微粉末堆積重量を
向上させた母材を得ることを目的とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides a porous optical fiber preform having various excellent qualities as described above, which further improves the production capacity and lowers the production cost. It is an object of the present invention to obtain a base material having an improved weight of the above-mentioned glass fine powder.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者等は上記目的を
達成するため鋭意検討した結果、ガラス微粉末の部材上
への堆積重量を向上させるには、部材の強度の向上は言
うまでもなく、部材に堆積させるに際しこのガラス微粉
末堆積物自身の強度も向上させる必要があることが判っ
た。即ち、ガラス微粉末堆積重量を向上するにあたり、
部材の強度はこれを太くすることで対応可能であるが、
ガラス微粉末堆積物に関しては単に堆積物を増やしたの
ではどうしても次工程に渡す際のハンドリングで割れて
しまう。即ち、ガラス微粉末堆積物を次工程へ渡すとき
は、例えばクッションを介した台車に載せ移動するが、
クッションを用いているとはいえ、自重でガラス微粉末
堆積物の下部が割れてしまう。そこで、ガラス微粉末堆
積物自身の強度向上が要求されるのである。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, in order to increase the weight of glass fine powder deposited on a member, it goes without saying that the strength of the member is improved. It has been found that it is necessary to improve the strength of the glass fine powder deposit itself when depositing on the member. That is, in improving the glass fine powder deposition weight,
The strength of the member can be accommodated by making it thicker,
Regarding the glass fine powder deposit, if the deposit is simply increased, it will be broken by handling when the deposit is passed to the next step. That is, when passing the glass fine powder deposit to the next process, for example, it is placed on a cart via a cushion and moved,
Despite the use of the cushion, the lower part of the glass fine powder deposit is broken by its own weight. Therefore, it is required to improve the strength of the glass fine powder deposit itself.

【0006】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、請求項1記載の発明は、部材の周囲にガラ
ス微粉末を堆積した光ファイバ多孔質母材おいて、該堆
積物はその細孔径が制御されたものであることを特徴と
する光ファイバ多孔質母材である。このように、ガラス
微粉末堆積物の細孔径を制御することにより、ガラス微
粉末堆積物の強度を向上することができ、従って部材上
へのガラス微粉末堆積重量を向上させることができる。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and the invention according to claim 1 is an optical fiber porous preform in which glass fine powder is deposited around a member. An optical fiber porous preform characterized in that its pore diameter is controlled. As described above, by controlling the pore diameter of the glass fine powder deposit, the strength of the glass fine powder deposit can be improved, and therefore, the weight of the glass fine powder deposited on the member can be improved.

【0007】また、本発明の請求項2に記載した発明
は、ガラス微粉末堆積物はその細孔径のメジアンが0.
1〜1μmに制御されたものである光ファイバ多孔質母
材である。このように、細孔径を上記範囲に制御した光
ファイバ多孔質母材は、特に長尺、大口径、即ちより重
量の重いガラス微粉末を堆積したものであって且つ光学
的に優れた光ファイバとすることができるものである。
According to the invention described in claim 2 of the present invention, the fine glass powder deposit has a median pore diameter of 0.1.
This is an optical fiber porous preform controlled to be 1 to 1 μm. As described above, the optical fiber porous preform in which the pore diameter is controlled in the above range is particularly long, large-diameter, that is, an optical fiber in which heavier glass fine powder is deposited and which is optically superior. It can be.

【0008】また、請求項3に記載した発明は、上記光
ファイバ多孔質母材を溶融ガラス化した光ファイバ母材
である。上記光ファイバ多孔質母材をガラス化すること
で、長尺、大口径の光ファイバ母材を製造でき、従って
光学的に優れた光ファイバにすることができる。
[0008] The invention described in claim 3 is an optical fiber preform obtained by fusing the above optical fiber porous preform. By vitrifying the porous optical fiber preform, a long and large-diameter optical fiber preform can be manufactured, and thus an optical fiber having excellent optical properties can be obtained.

【0009】また、請求項4に記載した発明は、部材を
回転させながらその周囲にガラス微粉末を堆積して光フ
ァイバー多孔質母材を製造する方法において、ガラス微
粉末の堆積物の細孔径を制御することを特徴とする光フ
ァイバ多孔質母材の製造方法である。このように、ガラ
ス微粉末の堆積物の細孔径を制御することにより、ガラ
ス微粉末堆積物の強度を向上させることができ、その結
果長尺、大口径、即ちより重量の重いガラス微粉末を堆
積した光ファイバ多孔質母材を製造することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a porous optical fiber preform by depositing a glass fine powder around a member while rotating the member. A method for producing a porous optical fiber preform characterized by controlling. As described above, by controlling the pore diameter of the glass fine powder deposit, the strength of the glass fine powder deposit can be improved, and as a result, a long, large-diameter, ie, heavier, glass fine powder can be obtained. A deposited optical fiber porous preform can be produced.

【0010】また、請求項5に記載した発明は、ガラス
微粉末の堆積物の細孔径のメジアンを0.1〜1μmに
制御する光ファイバ多孔質母材の製造方法である。この
ように、ガラス微粉末の堆積物の細孔径のメジアンを
0.1〜1μmに制御することにより、特に長尺、大口
径、即ちより重量の重いガラス微粉末を堆積した光ファ
イバ多孔質母材を製造でき且つこれより光学的に優れた
光ファイバを製造することができる。
The invention described in claim 5 is a method for producing a porous optical fiber preform in which the median pore diameter of a deposit of fine glass powder is controlled to 0.1 to 1 μm. As described above, by controlling the median of the pore diameter of the deposit of the glass fine powder to 0.1 to 1 μm, particularly, a long and large-diameter optical fiber porous mother on which a heavier glass fine powder is deposited. A material can be manufactured, and an optical fiber superior in optical quality can be manufactured.

【0011】また、請求項6に記載した発明は、ガラス
微粉末用原料ガス及び燃料ガスの流量を制御することに
よりガラス微粉末の堆積物の細孔径を制御することを特
徴とする請求項4または請求項5に記載の光ファイバ多
孔質母材の製造方法である。このように、ガラス微粉末
の堆積物の細孔径を制御するには、例えばガラス微粉末
用原料ガス及び燃焼ガスの流量を制御することにより行
うことができる。
The invention described in claim 6 is characterized in that the pore diameter of the deposit of glass fine powder is controlled by controlling the flow rates of the raw material gas for glass fine powder and the fuel gas. Or a method for producing a porous optical fiber preform according to claim 5. As described above, the pore diameter of the deposit of the glass fine powder can be controlled, for example, by controlling the flow rates of the raw material gas for the glass fine powder and the combustion gas.

【0012】また、請求項7に記載した発明は、上記い
ずれかの製造方法で製造された光ファイバ多孔質母材を
溶融ガラス化して製造する光ファイバ母材の製造方法で
ある。このように、本発明の光ファイバ多孔質母材を使
用することにより、長尺、大口径の光ファイバ母材を製
造することができ且つこれより光学的に優れた光ファイ
バを大量に製造することができる。
Further, the invention according to claim 7 is a method for manufacturing an optical fiber preform, wherein the optical fiber porous preform manufactured by any one of the above manufacturing methods is melt-vitrified and manufactured. As described above, by using the porous optical fiber preform of the present invention, a long, large-diameter optical fiber preform can be manufactured, and a large number of optical fibers superior in optical quality can be manufactured. be able to.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を用いて説明するが、本発明はこれらに限定されな
い。図1は、ターゲット1上にスート6を堆積している
ところを示す。本発明の光ファイバ多孔質母材において
は、図1に示すように部材(以下、「ターゲット」とい
う場合がある。)1の周囲にガラス微粉末6が堆積され
ている。上記ターゲット1は、光ファイバ用コアとなる
もので、具体的には石英ガラス棒等である。本発明によ
れば、長尺、大口径、即ちより重量の重いガラス微粉末
6を堆積した光ファイバ多孔質母材を得ることができ
る。従って、そのような高重量の母材を支持するため
に、使用するターゲット1は、例えば長さ200mm以
上、直径30mm以上のものが使用され、その強度を確
保するようにしている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. FIG. 1 shows a soot 6 being deposited on a target 1. In the porous optical fiber preform of the present invention, as shown in FIG. 1, a glass fine powder 6 is deposited around a member (hereinafter sometimes referred to as a “target”) 1. The target 1 serves as an optical fiber core, and is specifically a quartz glass rod or the like. According to the present invention, it is possible to obtain an optical fiber porous preform on which a long, large-diameter, ie, heavier, glass fine powder 6 is deposited. Therefore, in order to support such a high-weight base material, the target 1 to be used is, for example, one having a length of 200 mm or more and a diameter of 30 mm or more, and ensuring its strength.

【0014】本発明の光ファイバ多孔質母材において
は、ガラス微粉末6が上記強度を高めたターゲット1の
周囲上に堆積してある(以下、この堆積物を「スート」
という場合がある。)。本発明の光ファイバ多孔質母材
は、大重量のスートを堆積しても、割れを起こすことの
ないものである。具体的には本発明の光ファイバ多孔質
母材においては、スートを例えば80kg以上、ターゲ
ット上に堆積しても割れを起こすことなくハンドリング
可能なものとすることができる。
In the optical fiber porous preform of the present invention, the glass fine powder 6 is deposited on the periphery of the target 1 having the above-mentioned increased strength (hereinafter, this deposit is referred to as “sooting”).
There is a case. ). The porous optical fiber preform of the present invention does not cause cracking even when heavy soot is deposited. Specifically, in the porous optical fiber preform of the present invention, the soot can be handled without cracking even if the soot is deposited on a target, for example, 80 kg or more.

【0015】すなわち、本発明においては、スート6の
細孔径を制御しているところに特徴を有する。このよう
に、スートの細孔径を制御することによりスートの強度
を向上させ、その結果大重量のスートをスートが割れを
起こすことなくターゲット上に堆積することができると
ともに、その後のハンドリングでもスートに割れを起こ
すようなことがないものとすることができる。スート6
の細孔径は、そのメジアンを0.1〜1μm、特に0.
2〜0.6μmに制御したものが好ましい。メジアンが
0.1μm未満だと、次工程において光ファイバ多孔質
母材を塩素等の雰囲気中にて溶融ガラス化する際に、シ
リカ粒子表面のOH基が塩素が十分拡散しないために除
去されず、OH基が残留することがあるからである。ま
た、メジアンが1μmを越える場合、スート強度が劣化
しスート割れを起こす場合があるからである。
That is, the present invention is characterized in that the pore size of the soot 6 is controlled. In this way, by controlling the pore size of the soot, the strength of the soot is improved, and as a result, a large amount of soot can be deposited on the target without causing the soot to crack. Cracking can be prevented. Suit 6
Has a median of 0.1 to 1 μm, particularly 0.1 μm.
Those controlled to 2 to 0.6 μm are preferred. If the median is less than 0.1 μm, when the optical fiber porous preform is melted and vitrified in an atmosphere such as chlorine in the next step, the OH groups on the silica particle surface are not removed because chlorine is not sufficiently diffused. , OH groups may remain. Also, if the median exceeds 1 μm, the soot strength may be degraded and soot cracking may occur.

【0016】本発明の光ファイバ母材は、上記本発明の
光ファイバ多孔質母材を溶融ガラス化したものである。
上記本発明の光ファイバ多孔質母材を使用することによ
り、長尺、大口径の光ファイバ母材とすることができ
る。更に、これより得られる光ファイバは、OH基など
が残留せず、従ってこれによる光学的吸収や散乱損失等
が殆どなく、伝送損失の非常に小さいものである。
The optical fiber preform of the present invention is obtained by melt-vitrifying the above-mentioned optical fiber porous preform of the present invention.
By using the optical fiber porous preform of the present invention, a long and large-diameter optical fiber preform can be obtained. Further, the optical fiber obtained therefrom has no OH group and the like, and therefore has little optical absorption and scattering loss due to the OH group and has very small transmission loss.

【0017】本発明の光ファイバ多孔質母材の製造法に
おいては、ターゲットを回転させながらその周囲にスー
トを堆積する。ターゲット1を回転させることによりス
ート6を均一に堆積させることができる。回転速度は、
適宜選択されるが、例えば10〜50rpmであってよ
い。図1及び図2において、ターゲット1はチャンバ2
内に回転自在に収納されるとともに、その両端は、チャ
ック3などで保持されている。そしてターゲット1を回
転させながら且つ火炎バーナ4を一定速度で往復運動さ
せながら、バーナ4からの炎5をターゲット1の周囲に
吹き付ける。その結果、ターゲット1の周囲にガラス微
粉末(スート)6が均一に堆積される。
In the method for producing a porous optical fiber preform according to the present invention, soot is deposited around the target while rotating the target. By rotating the target 1, the soot 6 can be uniformly deposited. The rotation speed is
It is appropriately selected, but may be, for example, 10 to 50 rpm. 1 and 2, a target 1 is a chamber 2
It is rotatably housed inside, and both ends thereof are held by a chuck 3 or the like. Then, a flame 5 from the burner 4 is blown around the target 1 while rotating the target 1 and reciprocating the flame burner 4 at a constant speed. As a result, the glass fine powder (soot) 6 is uniformly deposited around the target 1.

【0018】即ち上記火炎バーナ4からは、スート用原
料ガス(例えば、SiCl4 等の珪素化合物)、及び燃
料ガス(例えば、H2 、O2 等)などが供給される。そ
して、酸水素火炎中にて上記原料ガスが加水分解しガラ
ス微粉末が生成し、この生成ガラス微粉末がターゲット
1の周囲に吹き付けられて堆積する。尚、ターゲット1
の設置は、上下に立てる機構も横に置く機構も適用でき
る。
That is, from the flame burner 4, a soot raw material gas (eg, a silicon compound such as SiCl 4 ), a fuel gas (eg, H 2 , O 2, etc.) are supplied. Then, the raw material gas is hydrolyzed in the oxyhydrogen flame to generate glass fine powder, and the generated glass fine powder is sprayed around the target 1 and deposited. In addition, target 1
Can be applied both upright and sideways.

【0019】上記チャンバ2は、図2に示す光ファイバ
多孔質母材製造装置の全体構成概略図から明らかなよう
に、通常ターゲット1の一方端を覆うチャック部覆い2
aとターゲット1の他方端を覆うチャック部覆い2bを
有し、火炎バーナ4は、このチャンバ2の開口部2cに
沿って、部材の軸方向に平行に往復運動するようになっ
ている。一方、チャンバ2の後部側(図中右側)には、
未反応ガスや反応生成ガス、未堆積のガラス微粉末など
を排気するための排気口2dが例えば複数(1個も可)
設けてある。この排気口2dは排気管路7と接続してあ
って、この排気管路7の途中などに組み込んだ排気手段
8、例えば吸引ポンプによって、チャンバ2内を所定の
吸引力(排気引圧)で吸引して、排気するようになって
いる。
The chamber 2 usually has a chuck cover 2 that covers one end of the target 1 as is apparent from the schematic diagram of the entire structure of the optical fiber porous preform manufacturing apparatus shown in FIG.
a, and a chuck cover 2b for covering the other end of the target 1. The flame burner 4 reciprocates along the opening 2c of the chamber 2 in parallel with the axial direction of the member. On the other hand, on the rear side (right side in the figure) of the chamber 2,
For example, a plurality (one or more) of exhaust ports 2d for exhausting unreacted gas, reaction product gas, undeposited glass fine powder, and the like are provided.
It is provided. The exhaust port 2d is connected to the exhaust pipe 7, and the inside of the chamber 2 is given a predetermined suction force (exhaust suction pressure) by an exhaust means 8, for example, a suction pump incorporated in the exhaust pipe 7 or the like. It sucks and exhausts.

【0020】本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法
においては、ガラス微粉末の堆積物の細孔径を制御する
ことを特徴とする。細孔径としては、前述のように例え
ばメジアンが0.1〜1μm、特に0.2〜0.6μm
に制御されたものが好ましい。
The method for producing a porous optical fiber preform according to the present invention is characterized in that the pore diameter of the glass fine powder deposit is controlled. As described above, for example, the median is 0.1 to 1 μm, particularly 0.2 to 0.6 μm as described above.
Is preferably controlled.

【0021】上記細孔径の制御は、具体的には上記火炎
バーナ4からのガラス微粉末用原料ガス及び燃料ガスの
流量を制御することにより行う。即ち、上記細孔径に直
接関係があると考えられる燃焼エネルギーに相当する燃
料ガス中の水素ガスと酸素ガスの流量を原料ガスに対し
制御することで細孔径を制御できる。例えば、原料ガス
に対し燃料ガスの流量を多くして水素ガス及び酸素ガス
を多く流せば、細孔径は小さくなる。逆に、原料ガスに
対し燃料ガスの流量を少なくすれば細孔径は大きくな
る。
Specifically, the control of the pore diameter is performed by controlling the flow rates of the raw material gas for glass fine powder and the fuel gas from the flame burner 4. That is, the pore diameter can be controlled by controlling the flow rates of the hydrogen gas and the oxygen gas in the fuel gas corresponding to the combustion energy considered to be directly related to the pore diameter with respect to the raw material gas. For example, if the flow rate of the fuel gas is increased relative to the source gas and the flow rate of the hydrogen gas and the oxygen gas is increased, the pore diameter becomes smaller. Conversely, the smaller the flow rate of the fuel gas with respect to the source gas, the larger the pore diameter.

【0022】具体的には、例えばSiCl4 原料ガスの
流量が10〜30L/分である場合、燃料ガス中の水素
ガス100〜600L/分及び酸素ガス100〜300
L/分等であってよい。その他、ターゲットの回転数等
を制御することにより更に細孔径の制御を行うこともで
きる。
Specifically, for example, when the flow rate of the SiCl 4 raw material gas is 10 to 30 L / min, the hydrogen gas in the fuel gas is 100 to 600 L / min and the oxygen gas is 100 to 300 L / min.
L / min or the like. In addition, the pore diameter can be further controlled by controlling the number of revolutions of the target and the like.

【0023】本発明の光ファイバ母材の製造方法におい
ては、上記本発明の光ファイバ多孔質母材を溶融ガラス
化して製造する。具体的には、上記光ファイバ多孔質母
材を例えば電気炉内等に入れ、必要に応じ塩素ガス等に
より脱水工程を行いつつ、例えば1300〜1700℃
に加熱することにより、前記本発明の光ファイバ母材を
得る。
In the method of manufacturing an optical fiber preform of the present invention, the optical fiber porous preform of the present invention is manufactured by melting and vitrifying. Specifically, the optical fiber porous preform is placed in, for example, an electric furnace and the like.
To obtain the optical fiber preform of the present invention.

【0024】その後上記のようにして製造される本発明
の光ファイバ母材を、通常の方法、例えば溶融延伸等し
て光ファイバとすることができる。このようにして製造
された光ファイバは、OH基などが残留せず、従ってこ
れによる光学的吸収や散乱損失等が殆どなく、伝送損失
の非常に小さい光学的に非常に優れたものである。
Thereafter, the optical fiber preform of the present invention produced as described above can be made into an optical fiber by a usual method, for example, melt drawing. The optical fiber manufactured in this manner has no OH group and the like, and thus has little optical absorption and scattering loss due to the OH group, and is optically very excellent with very small transmission loss.

【0025】[0025]

【実施例】以下、実施例で本発明を具体的に説明する。 (実施例1〜3並びに比較例1及び2)図1及び図2に
示す製造装置を使用して光ファイバ多孔質母材を製造し
た。即ち、チャンバ2内に直径40mmのターゲット1
を装着し、回転数を30rpmに統一し、表1に示す各
条件下、スート6を堆積させた。その際、ガス導入は、
火炎バーナ4より原料であるSiCl4 、及び燃料であ
るH2 とO2 を噴出させ、加水分解後、SiO2 をガラ
ス微粉末としてスート6を堆積させ、スート重量を70
〜80kgとした。
The present invention will be specifically described below with reference to examples. (Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2) A porous optical fiber preform was manufactured using the manufacturing apparatus shown in FIGS. That is, a target 1 having a diameter of 40 mm
Was mounted, the number of revolutions was unified to 30 rpm, and soot 6 was deposited under the conditions shown in Table 1. At that time, gas introduction
The raw material SiCl 4 and the fuels H 2 and O 2 are jetted from the flame burner 4, and after hydrolysis, soot 6 is deposited using SiO 2 as a glass fine powder, and the soot weight is reduced to 70.
8080 kg.

【0026】得られた各光ファイバ多孔質母材の細孔径
メジアン、及びスート割れの有無、更には塩素処理後の
OH基の残留量を表1に示す。尚、細孔径の測定は、ス
ートを1cm角のブロックに切り出し、これを水銀圧入
ポロシメータにて測定して行った。
Table 1 shows the pore diameter median of each of the obtained optical fiber porous preforms, the presence or absence of soot cracks, and the residual amount of OH groups after chlorination. In addition, the measurement of the pore diameter was performed by cutting a soot into a block of 1 cm square and measuring this with a mercury intrusion porosimeter.

【0027】[0027]

【表1】 [Table 1]

【0028】表1から明らかなように、原料ガスに対し
燃料ガスが多いと細孔径メジアンは小さくなり、その結
果OH基の残留量が多くなる。逆に原料ガスに対し燃料
ガスが少ないと細孔径メジアンは大きくなり、その結果
スートが割れを起こすようになることが判る。
As is evident from Table 1, when the amount of the fuel gas is larger than the amount of the raw material gas, the median pore diameter becomes smaller, and as a result, the residual amount of OH groups increases. Conversely, it can be seen that if the fuel gas is less than the source gas, the median pore diameter increases, and as a result, the soot cracks.

【0029】尚、本発明は、上記実施形態に限定される
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
The present invention is not limited to the above embodiment. The above embodiment is an exemplification, and has substantially the same configuration as the technical idea described in the scope of the claims of the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

【0030】[0030]

【発明の効果】本発明により、スートの強度が大きな光
ファイバ多孔質母材を製造することができる。そのた
め、長尺且つ大口径、即ち大重量のスートを堆積した光
ファイバ多孔質母材とすることがてきる。その結果、光
ファイバ多孔質母材を製造するにあたり、生産能力を向
上させることができ、コストダウンを図ることができ
る。
According to the present invention, an optical fiber porous preform having a high soot strength can be manufactured. Therefore, an optical fiber porous preform on which a long and large-diameter, ie, heavy, soot is deposited can be obtained. As a result, in manufacturing the porous optical fiber preform, the production capacity can be improved, and the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、ターゲット上にスートを堆積している
ところを示す光ファイバ多孔質母材製造装置の部分拡大
概略図である。
FIG. 1 is a partially enlarged schematic view of an apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform, showing a soot being deposited on a target.

【図2】図2は、光ファイバ多孔質母材製造装置の全体
構成概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram of the entire configuration of an optical fiber porous preform manufacturing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ターゲット(部材)、2…チャンバ、2a及び2b
…チャック部覆い、2c…開口部、2d…排気口、3…
チャック、4…火炎バーナ、5…炎、6…スート、7…
排気管路、8…排気手段。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Target (member), 2 ... Chamber, 2a and 2b
... Cover part cover, 2c ... Opening, 2d ... Exhaust port, 3 ...
Chuck, 4 ... flame burner, 5 ... flame, 6 ... suit, 7 ...
Exhaust pipe, 8 ... Exhaust means.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 平5−116980(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C03B 37/00 - 37/16 C03B 8/04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Hideo Hirasawa 2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Precision Functional Materials Research Laboratory (56) References JP-A-5-116980 (JP) , A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) C03B 37/00-37/16 C03B 8/04

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 部材の周囲にガラス微粉末を堆積した光
ファイバ多孔質母材おいて、該堆積物はその細孔径が制
御されたものであることを特徴とする光ファイバ多孔質
母材。
1. A porous optical fiber preform in which glass fine powder is deposited around a member, wherein the deposit has a controlled pore diameter.
【請求項2】 前記堆積物はその細孔径のメジアンが
0.1〜1μmに制御されたものであることを特徴とす
る請求項1に記載の光ファイバ多孔質母材。
2. The optical fiber preform according to claim 1, wherein the deposit has a median pore diameter controlled to 0.1 to 1 μm.
【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の光ファ
イバ多孔質母材を溶融ガラス化した光ファイバ母材。
3. An optical fiber preform obtained by melt-vitrifying the porous optical fiber preform according to claim 1.
【請求項4】 部材を回転させながらその周囲にガラス
微粉末を堆積して光ファイバー多孔質母材を製造する方
法において、ガラス微粉末の堆積物の細孔径を制御する
ことを特徴とする光ファイバ多孔質母材の製造方法。
4. A method for producing a porous optical fiber preform by depositing glass fine powder around a member while rotating the member, wherein the diameter of the pores of the deposit of glass fine powder is controlled. A method for producing a porous base material.
【請求項5】 ガラス微粉末の堆積物の細孔径のメジア
ンを0.1〜1μmに制御することを特徴とする請求項
4記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。
5. The method for producing a porous optical fiber preform according to claim 4, wherein the median of the pore diameter of the deposit of the glass fine powder is controlled to 0.1 to 1 μm.
【請求項6】 ガラス微粉末用原料ガス及び燃料ガスの
流量を制御することによりガラス微粉末の堆積物の細孔
径を制御することを特徴とする請求項4または請求項5
に記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。
6. The method according to claim 4, wherein the flow rate of the raw material gas for the glass fine powder and the flow rate of the fuel gas are controlled to control the pore diameter of the deposit of the glass fine powder.
3. The method for producing a porous optical fiber preform according to item 1.
【請求項7】 請求項4乃至請求項6のいずれか1項に
記載の製造方法で製造された光ファイバ多孔質母材を溶
融ガラス化して製造することを特徴とする光ファイバ母
材の製造方法。
7. A method for producing an optical fiber preform, wherein the optical fiber porous preform produced by the production method according to claim 4 is melt-vitrified. Method.
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