JP2947675B2 - Method for treating wastewater containing fluorine ions and hydrogen peroxide - Google Patents

Method for treating wastewater containing fluorine ions and hydrogen peroxide

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JP2947675B2
JP2947675B2 JP4239359A JP23935992A JP2947675B2 JP 2947675 B2 JP2947675 B2 JP 2947675B2 JP 4239359 A JP4239359 A JP 4239359A JP 23935992 A JP23935992 A JP 23935992A JP 2947675 B2 JP2947675 B2 JP 2947675B2
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wastewater
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solid
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    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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    • C02F2101/10Inorganic compounds
    • C02F2101/12Halogens or halogen-containing compounds
    • C02F2101/14Fluorine or fluorine-containing compounds

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程におけ
るウエハープロセス排水等のフッ素イオン及び過酸化水
素を含有する排水の処理方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for treating wastewater containing fluorine ions and hydrogen peroxide such as wastewater from a wafer process in a semiconductor manufacturing process.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体製造工程のウエハープロセス排水
中には、各種の無機化合物や有機化合物が含まれている
が、特にフッ素イオンと過酸化水素が含まれていること
が特徴的である。
2. Description of the Related Art Various inorganic compounds and organic compounds are contained in the wastewater from a wafer process in a semiconductor manufacturing process, and it is particularly characterized that they contain fluorine ions and hydrogen peroxide.

【0003】半導体製造工程においては、ウエハーのエ
ッチング工程でフッ酸が用いられ、また殺菌漂白の目的
で過酸化水素が多量に使用されていることが、ウエハー
プロセスの排水中にフッ素イオンと未分解の過酸化水素
が含まれる原因となっている。
In the semiconductor manufacturing process, hydrofluoric acid is used in a wafer etching process, and a large amount of hydrogen peroxide is used for the purpose of sterilization and bleaching. Of hydrogen peroxide.

【0004】ウエハープロセスの排水中に含まれる過酸
化水素は、フッ素イオン等の凝集沈殿除去工程において
自然分解し、気体酸素を発生させる。過酸化水素の自然
分解による気体酸素は、凝集したフロックの内部空隙で
微少気泡となったり、フロックの表面に付着するため、
フロックが浮上流出してしまう。さらに、過酸化水素
は、それ自体が毒性を有するため、後の活性汚泥処理工
程や外環境に悪影響を与える。
[0004] Hydrogen peroxide contained in the wastewater of the wafer process is naturally decomposed in the step of removing coagulated sediment such as fluorine ions to generate gaseous oxygen. The gaseous oxygen resulting from the natural decomposition of hydrogen peroxide becomes microbubbles in the internal voids of the floc, or adheres to the surface of the floc.
Flock floats out. Further, hydrogen peroxide itself has toxicity, which adversely affects the subsequent activated sludge treatment step and the external environment.

【0005】このように後の工程や外環境に悪影響を与
える排水中の過酸化水素を分解除去する方法として、亜
硫酸ナトリウム、重亜硫酸ナトリウム、ヒドラジン等の
還元剤を用いて還元分解する方法が一般的に行われてい
る。
As a method for decomposing and removing hydrogen peroxide in wastewater which adversely affects the subsequent steps and the external environment, a method of reductive decomposition using a reducing agent such as sodium sulfite, sodium bisulfite, hydrazine or the like is generally used. It is being done.

【0006】しかし、過酸化水素を分解するためには、
これらの還元剤を過酸化水素と等量添加する必要があ
る。従って、排水中の過酸化水素濃度が高い場合は、多
量の還元剤を添加しなければならない。さらに還元剤が
過剰であると、還元剤自身の毒性等により環境に悪影響
を及ぼす。
However, in order to decompose hydrogen peroxide,
It is necessary to add these reducing agents in the same amount as hydrogen peroxide. Therefore, when the concentration of hydrogen peroxide in the wastewater is high, a large amount of a reducing agent must be added. Further, if the amount of the reducing agent is excessive, it has an adverse effect on the environment due to toxicity of the reducing agent itself.

【0007】近年になり、化学的還元法に代わり過酸化
水素を分解するカタラーゼを用いるウエハープロセス排
水の処理方法が提案されている(特開昭63−2705
95号)。すなわち、ウエハープロセス排水中に、アル
カリ性カルシウム含有化合物を添加してカタラーゼの触
媒毒となる排水中のフッ素イオンをフッ化カルシウムと
した後、pH5〜9において、カタラーゼを添加して、
過酸化水素を分解し、ついで、固液分離する方法であ
る。
In recent years, a method of treating wastewater from a wafer process using catalase, which decomposes hydrogen peroxide, has been proposed instead of the chemical reduction method (JP-A-63-2705).
No. 95). That is, in the wafer process wastewater, after adding an alkaline calcium-containing compound to convert the fluoride ions in the wastewater, which is a catalyst poison of catalase, into calcium fluoride, catalase was added at pH 5 to 9,
In this method, hydrogen peroxide is decomposed and then separated into solid and liquid.

【0008】カタラーゼは、生物体由来の酵素であるた
め安全であり、しかも触媒的に過酸化水素を分解するの
で、添加量は少量ですむという利点を有している。
Catalase is safe because it is an enzyme derived from a living organism, and has the advantage that it can be used in a small amount because it catalytically decomposes hydrogen peroxide.

【0009】しかし、このカタラーゼによる処理は過酸
化水素分解時に酸素を発生するために、フロック中で、
微細な酸素の気泡となり、フロックが浮上流出を起こし
て沈殿分離工程に不具合を生じてしまう。
[0009] However, this treatment with catalase generates oxygen during decomposition of hydrogen peroxide.
Fine oxygen bubbles are generated, and flocs are caused to float and flow out, causing a problem in the precipitation separation process.

【0010】カタラーゼの使用によるフロックの浮上流
出を防止する方法として、カタラーゼ添加後に固液分離
された汚泥をその固液分離する前の排水に返送して混合
し、凝集過程におけるフロックの絶対量を増加させるこ
とにより、カタラーゼによる過酸化水素分解の際に生ず
る酸素のフロックに対する影響を小さくする改良方法が
提案されている(特開平2−222773号)。
[0010] As a method for preventing the floating and outflow of flocs due to the use of catalase, the sludge that has been solid-liquid separated after the addition of catalase is returned to the wastewater before the solid-liquid separation and mixed, and the absolute amount of flocs in the coagulation process is determined. An improved method has been proposed in which the effect of oxygen on floc generated during the decomposition of hydrogen peroxide by catalase is reduced by increasing the amount (JP-A-2-222773).

【0011】しかし、この改良方法は、返送する汚泥の
濃度や量等を適当に管理しなければならないという技術
的な煩雑さを伴う難点がある。
[0011] However, this improved method has a drawback in that the concentration and amount of the sludge to be returned have to be appropriately controlled, which involves technical complexity.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】一般的にウエハープロ
セス排水の処理で、生成するフロックは粒径5mmφ以
上であり、フロックの再凝集等によりフロック内空隙率
の大きな場合が多い。そのため、見かけの比重が小さく
なるため僅かな水流により流動したり、フロック内の空
隙に気泡を保持しやすく固液分離における沈殿が十分に
達成できない場合がある。特に過酸化水素の分解による
気体酸素の発生や、温度変化等による水中溶存物質のガ
ス化によって、沈殿槽においてフロックの浮上流出が起
こる場合にそれは顕著である。従って、微細フロックを
形成させて見かけの比重を大きくすることがフロックの
浮上流出の防止に効果的である。
In general, flocs generated in the treatment of wastewater from a wafer process have a particle size of 5 mmφ or more, and the porosity in the flocs is often large due to flocculation of the flocs. For this reason, the apparent specific gravity becomes small, so that the fluid may flow due to a small amount of water flow, bubbles may be easily held in voids in the floc, and precipitation in solid-liquid separation may not be sufficiently achieved. This is remarkable particularly when the floc floats and flows out in the sedimentation tank due to generation of gaseous oxygen due to decomposition of hydrogen peroxide and gasification of dissolved substances in water due to temperature change or the like. Therefore, it is effective to form the fine flocs to increase the apparent specific gravity in order to prevent the floating outflow of the flocs.

【0013】さらに、カタラーゼのように気体酸素を生
成する反応を進行させる触媒物質を、固液分離工程以前
に添加することは、酸素の気泡がフロックに付着する原
因となり危険である。
Further, if a catalyst substance such as catalase which promotes a reaction for generating gaseous oxygen is added before the solid-liquid separation step, it is dangerous because oxygen bubbles are attached to the flocs.

【0014】本発明は、以上のような技術的背景のもと
に完成されたものであり、本発明の目的は、ウエハープ
ロセス排水等のフッ素イオン及び過酸化水素を含有する
排水処理において、フロックの浮上流出を防止し、効率
的にフッ素イオン及び過酸化水素を除去することのでき
る排水処理方法を提供することである。
The present invention has been completed based on the above technical background, and an object of the present invention is to provide a flocculant for treating wastewater containing fluorine ions and hydrogen peroxide such as wafer process wastewater. It is an object of the present invention to provide a wastewater treatment method capable of preventing the floating outflow of water and efficiently removing fluorine ions and hydrogen peroxide.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明はフッ
素イオン及び過酸化水素を含有する排水に、アルカリ性
カルシウム含有化合物を添加してフッ素イオンをフッ化
カルシウムとした後、コロイド当量値が−2.0ないし
−8.0meq/gのアニオン性高分子凝集剤を添加し
て微細フロックを生成させ、ついで固液分離した後にカ
タラーゼを添加して過酸化水素を分解することを特徴と
するフッ素イオン及び過酸化水素を含有する排水の処理
方法に関するものである。
That is, according to the present invention, an alkaline calcium-containing compound is added to waste water containing fluoride ions and hydrogen peroxide to convert the fluoride ions into calcium fluoride, and then the colloid equivalent value is -2. 0.0 to -8.0 meq / g of an anionic polymer flocculant to form fine flocs, followed by solid-liquid separation, followed by the addition of catalase to decompose hydrogen peroxide. And a method for treating wastewater containing hydrogen peroxide.

【0016】本発明の特徴は、微細フロックを形成する
ために特定のアニオン性高分子凝集剤を用い、さらに微
細フロックを固液分離した後にカタラーゼを添加して過
酸化水素を分解することにある。
A feature of the present invention is that a specific anionic polymer flocculant is used to form fine flocs, and further, catalase is added to solid-liquid separated fine flocs to decompose hydrogen peroxide. .

【0017】本発明の処理の対象となる排水は、フッ素
イオンと過酸化水素を含有する排水であり、代表的なも
のとしてウエハープロセス排水が挙げられるが、ウエハ
ープロセス排水に限定されるものではない。
The wastewater to be treated according to the present invention is wastewater containing fluorine ions and hydrogen peroxide. A typical example thereof is a wafer process wastewater, but is not limited to the wafer process wastewater. .

【0018】本発明において、微細フロックを形成する
ために用いられるアニオン性高分子凝集剤は、例えばア
クリル酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物、アク
リルアミドとアルリルアミドのスルホン化物との共重合
物、アクリルアミドとアクリル酸ナトリウムとアクリル
アミドのスルホン化物との共重合物などで、コロイド
量値が−2.0meq/g以下、好ましくは−2.0な
いし−8.0meq/gのものである。なお、コロイド
当量値が−2.0meq/g以上の場合はフロックが成
長しすぎて大きくなるため気泡の付着よりフロックの浮
上が起こりやすく、さらにコロイド当量値が−8.0m
eq/g以下の場合は逆にフロックが極微細となって固
液分解が困難となるので好ましくない。また、補助的に
ポリ塩化アルミニウム、硫酸アルミニウム及び/又はカ
チオン性高分子凝集剤を用いてもよい。
In the present invention, the anionic polymer flocculant used to form the fine floc is, for example, a copolymer of sodium acrylate and acrylamide, a copolymer of acrylamide and sulfonate of allylamide, and a copolymer of acrylamide and acrylic. copolymer of sodium and sulfonated acrylamide etc., colloidal those
The amount is -2.0 meq / g or less, preferably -2.0 to -8.0 meq / g. In addition, colloid
When the equivalent value is -2.0 meq / g or more, the floc grows excessively and becomes large, so that the floating of the floc easily occurs due to the adhesion of bubbles, and the colloid equivalent value is -8.0 m.
On the other hand, if it is less than eq / g, on the contrary, the floc becomes extremely fine, so that solid-liquid decomposition becomes difficult. Further, polyaluminum chloride, aluminum sulfate and / or a cationic polymer flocculant may be used as an auxiliary.

【0019】本発明における、微細フロックとは、フロ
ック粒径1〜2mmφで、フロック内空隙の少ないもの
をいう。粒径を小さくし、見かけの比重を上げることで
僅かな水流に影響されにくくなり、フロック内の空隙に
気泡を保持しにくくなるため、固液分離工程で沈降も十
分に達成することができる。
In the present invention, the fine floc refers to a fine floc having a floc particle size of 1 to 2 mmφ and a small void in the floc. By reducing the particle size and increasing the apparent specific gravity, the particles are less susceptible to a slight flow of water, and are less likely to hold bubbles in the voids in the flocs. Therefore, sedimentation can be sufficiently achieved in the solid-liquid separation step.

【0020】本発明において用いられる、アルカリ性カ
ルシウム含有化合物はフッ素イオンを難溶性のフッ化カ
ルシウムとするものであれば特に限定されないが、消石
灰、生石灰などがあげられる。
[0020] The alkaline calcium-containing compound used in the present invention is not particularly limited as long as the fluoride ion is hardly soluble calcium fluoride, and examples thereof include slaked lime and quick lime.

【0021】本発明において用いられるカタラーゼは、
嫌気性菌以外のほとんどすべての生物体に存在する酵素
であり、容易に入手することができ、その由来は特に限
定されない。カタラーゼの添加量は、触媒量で十分であ
り、例えば力価が50,000ユニットのカタラ−ゼを
用いる場合、排水中の過酸化水素水量に対して重量比で
1:1〜1:0.1(H22:カタラ−ゼ)の範囲が好
ましい。カタラーゼの酵素活性は中性付近で最大となる
ため、カタラーゼを添加する前に排水のpHを7〜8に
調整することが必要である。
The catalase used in the present invention is
It is an enzyme present in almost all living organisms other than anaerobic bacteria, can be easily obtained, and its origin is not particularly limited. The amount of catalase to be added is sufficient as a catalytic amount. For example, when using catalase having a titer of 50,000 units, the weight ratio to the amount of hydrogen peroxide in the waste water is 1: 1 to 1: 0. A range of 1 (H 2 O 2 : catalase) is preferred. Since the enzyme activity of catalase is maximized near neutrality, it is necessary to adjust the pH of the waste water to 7 to 8 before adding catalase.

【0022】本発明おいてカタラーゼの添加は、固液分
離工程以降に行うが、固液分離工程の処理水が、固液分
離工程以降において他系統の排水と合流するような場合
には、他系統からの排水の影響を少なくするため、カタ
ラ−ゼを沈殿槽直後で添加するのが好ましい。
In the present invention, catalase is added after the solid-liquid separation step. However, if the treated water in the solid-liquid separation step merges with the wastewater of another system after the solid-liquid separation step, In order to reduce the influence of drainage from the system, it is preferable to add catalase immediately after the precipitation tank.

【0023】[0023]

【実施例】以下に本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail based on embodiments.

【0024】実施例1 フッ素イオン及び過酸化水素を含む排水として表1に示
すウエハープロセス排水を、図1に示した排水処理装置
を用いて排水処理を行なった。
Example 1 As a wastewater containing fluorine ions and hydrogen peroxide, wastewater treatment was performed on wastewater from the wafer process shown in Table 1 using the wastewater treatment apparatus shown in FIG.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】原水槽1のウエハープロセス排水を第1反
応槽2に移送し、10重量%スラリーの水酸化カルシウ
ムを0.7m3/hr添加し(図1中のa)、排水中の
フッ素イオンを不溶性のフッ化カルシウムとした後、第
2反応槽に移送して35%塩酸でpHを7〜8に調整
し、さらに補助凝集剤として200mg/Lの硫酸バン
ドを加え(図1中のb)、凝集槽5に移送し、アクリル
酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物(コロイド
量値−2.9meq/g、添加量10mg/L)を添加
して(図1中のc)、フッ化カルシウムを凝集させた。
なお、図1において符号4は第1、第2反応槽及び凝集
槽の各槽に付設した攪拌機である。
The wastewater from the wafer process in the raw water tank 1 is transferred to the first reaction tank 2 and calcium hydroxide of 10% by weight slurry is added at 0.7 m 3 / hr (a in FIG. 1), and the fluorine ions in the wastewater are added. Was converted to insoluble calcium fluoride, transferred to a second reaction tank, adjusted to pH 7 to 8 with 35% hydrochloric acid, and a 200 mg / L sulfate band was added as an auxiliary flocculant (b in FIG. 1). ), transferred to a flocculation tank 5, a copolymer of sodium acrylate and acrylamide (colloidal those
(Amount of -2.9 meq / g, addition amount of 10 mg / L) was added (c in FIG. 1) to aggregate calcium fluoride.
In FIG. 1, reference numeral 4 denotes a stirrer attached to each of the first and second reaction tanks and the flocculation tank.

【0027】凝集後に、沈殿槽6に移送し固液分離を行
い、オーバーフロー水にカタラーゼ(酵素力価50,0
00unit/ml、添加量20mg/L)を添加し
(図1中のd)、その後、反応槽兼処理水槽7に導入し
て排水中の過酸化水素の分解反応を完了させた。なお、
図1において8は処理水移送ポンプ、9は反応槽兼処理
水槽7内に付設した隔壁を示している。沈殿槽で固液分
離されたフロックは、粒径1〜2mmの微細なフロック
であり、容易に固液分離され、フロックが浮上流出する
ことはなかった。
After coagulation, the mixture is transferred to the sedimentation tank 6 to perform solid-liquid separation, and the catalase (enzyme titer: 50, 0) is added to overflow water.
(00 unit / ml, addition amount: 20 mg / L) (d in FIG. 1), and then introduced into a reaction tank / treatment water tank to complete the decomposition reaction of hydrogen peroxide in the wastewater. In addition,
In FIG. 1, reference numeral 8 denotes a treatment water transfer pump, and reference numeral 9 denotes a partition wall provided inside the reaction tank / treatment water tank 7. The floc solid-liquid separated in the sedimentation tank was a fine floc having a particle size of 1 to 2 mm, was easily solid-liquid separated, and the floc did not float up or down.

【0028】過酸化水素濃度の推移と処理水中のSSと
評価を表2及び表3に示す。表2及び表3の結果から明
らかなように、本発明の排水処理方法は効率的に過酸化
水素を分解除去することができ、フロックの浮上流出を
防止する効果により処理水中のSS濃度を低く保つこと
ができ、処理水の評価も良好であった。
Tables 2 and 3 show changes in the concentration of hydrogen peroxide, SS in the treated water, and evaluation. As is clear from the results in Tables 2 and 3, the wastewater treatment method of the present invention can efficiently decompose and remove hydrogen peroxide and reduce the SS concentration in treated water by the effect of preventing the floating and outflow of flocs. It could be kept, and the evaluation of the treated water was good.

【0029】実施例2 コロイド当量値−5.0meq/gのアクリル酸ナトリ
ウムとアクリルアミドの共重合物を用いた他は、実施例
1に準じてウエハープロセス排水を処理した。過酸化水
素濃度の推移と処理水中のSSと評価を表2及び表3に
示す。表2及び表3の結果から明らかなように、実施例
1と同じく、処理水の評価は良好であった。
Example 2 The wastewater from the wafer process was treated in the same manner as in Example 1 except that a copolymer of sodium acrylate and acrylamide having a colloid equivalent value of -5.0 meq / g was used. Tables 2 and 3 show changes in the concentration of hydrogen peroxide, SS in the treated water, and evaluation. As is clear from the results in Tables 2 and 3, as in Example 1, the evaluation of the treated water was good.

【0030】比較例1 従来法(特開昭63−270595号)と比較するた
め、原水槽1のウエハープロセス排水を第1反応槽2に
移送し、10重量%スラリーの水酸化カルシウムを0.
7m3/hr添加し(図1中のa)、排水中のフッ素イ
オンを不溶性のフッ化カルシウムとした後、第2反応槽
に移送して35%塩酸でpHを7〜8に調整し、さらに
補助凝集剤として200mg/Lの硫酸バンドを加え
(図1中のb)、凝集槽5に移送し、カタラーゼ(酵素
力価50,000unit/ml,添加量20 mg/
L)を添加して過酸化水素を分解した後アクリル酸ナト
リウムとアクリルアミドの共重合物(コロイド当量値
2.9meq/g、0.1重量% 、添加量10mg/
L)を添加して(図1中のc)、沈殿槽6へ移送して固
液分離を行なった。沈殿槽6中のフロックは、過酸化水
素分解時の酸素の気泡を抱き込み、一部がオーバーフロ
ーした。
Comparative Example 1 For comparison with the conventional method (Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-270595), the wafer process wastewater from the raw water tank 1 was transferred to the first reaction tank 2 and 10% by weight slurry calcium hydroxide was added to 0.1 wt%.
After adding 7 m 3 / hr (a in FIG. 1) to convert the fluoride ions in the wastewater into insoluble calcium fluoride, the solution was transferred to the second reaction tank, and the pH was adjusted to 7 to 8 with 35% hydrochloric acid. Further, a sulfuric acid band of 200 mg / L was added as an auxiliary flocculant (b in FIG. 1), transferred to the flocculation tank 5, and catalase (enzyme titer: 50,000 unit / ml, added amount: 20 mg / l)
L) to decompose hydrogen peroxide, and then copolymerize sodium acrylate and acrylamide (colloid equivalent value-
2.9 meq / g, 0.1% by weight, added amount 10 mg / g
L) was added (c in FIG. 1) and transferred to the precipitation tank 6 to perform solid-liquid separation. The flocs in the sedimentation tank 6 contained oxygen bubbles during the decomposition of hydrogen peroxide, and some of them overflowed.

【0031】過酸化水素濃度の推移と処理水中のSSと
評価を表2及び表3に示す。表2及び表3の結果から、
過酸化水素の分解除去には有効であったが、フロックの
浮上流出により処理水中のSS濃度が上昇し、処理水の
評価は低いものであった。
Tables 2 and 3 show changes in the concentration of hydrogen peroxide, SS in the treated water, and evaluation. From the results in Tables 2 and 3,
Although effective in decomposing and removing hydrogen peroxide, the SS concentration in the treated water increased due to the floating and outflow of flocs, and the evaluation of the treated water was low.

【0032】比較例2 本発明の範囲外のコロイド当量値のアニオン性高分子凝
集剤と比較するため、コロイド当量値−1.0meq/
gのアクリル酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物
を用いた他は、実施例1に準じてウエハープロセス排水
を処理した。沈殿槽6中のフロックは、粒径が5〜6m
mであり、過酸化水素分解時の酸素の気泡を抱き込み、
一部がオーバーフローした。
Comparative Example 2 In order to compare with an anionic polymer flocculant having a colloid equivalent value outside the range of the present invention, a colloid equivalent value of -1.0 meq /
The wastewater from the wafer process was treated in the same manner as in Example 1, except that g of the copolymer of sodium acrylate and acrylamide was used. The floc in the settling tank 6 has a particle size of 5 to 6 m.
m, embracing oxygen bubbles during hydrogen peroxide decomposition,
Some overflowed.

【0033】過酸化水素濃度の推移、処理水中のSS及
び評価を表2及び表3に示す。表2及び表3の結果か
ら、過酸化水素の分解除去には有効であったが、フロッ
クの浮上流出により処理水中のSS濃度が上昇し、処理
水の評価は低いものであった。
Tables 2 and 3 show changes in the concentration of hydrogen peroxide, SS in the treated water, and evaluation. From the results shown in Tables 2 and 3, although effective for decomposing and removing hydrogen peroxide, the SS concentration in the treated water increased due to the floating outflow of flocs, and the evaluation of the treated water was low.

【0034】[0034]

【表2】 [Table 2]

【0035】[0035]

【表3】 [Table 3]

【0036】[0036]

【発明の効果】以上の実施例から明らかなように、本発
明の効果は以下のとおりである。
As is clear from the above embodiments, the effects of the present invention are as follows.

【0037】(1) 特定のアニオン性高分子凝集剤を
用いることにより、微細なフロックを形成することがで
き、フロックの見かけ比重を大きくすることが可能とな
り、フロックを容易に固液分離でき、フロックの浮上流
出の防止により処理水中のSS濃度を低くすることがで
きる。
(1) By using a specific anionic polymer flocculant, a fine floc can be formed, the apparent specific gravity of the floc can be increased, and the floc can be easily separated into solid and liquid. The SS concentration in the treated water can be reduced by preventing the floating and outflow of flocs.

【0038】(2) カタラーゼの添加を固液分離工程
の後にしたことにより、過酸化水素の分解により生ずる
酸素がフロックに付着することがなくなり、フロックの
浮上流出を防止することができる。
(2) Since the addition of catalase is performed after the solid-liquid separation step, oxygen generated by the decomposition of hydrogen peroxide does not adhere to the flocs, and the floating of the flocs can be prevented.

【0039】(3) カタラーゼを用いるため、安全に
過酸化水素を分解することができる。 (4) カタラ−ゼ添加後に固液分離された汚泥を、そ
の固液分離する前の排水に返送して混合する従来方法の
ような、煩雑な操作を必要としない。
(3) Since catalase is used, hydrogen peroxide can be safely decomposed. (4) There is no need for a complicated operation such as the conventional method of returning the sludge solid-liquid separated after the addition of catalase to the wastewater before the solid-liquid separation and mixing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】ウエハープロセス排水処理装置のフロー説明
図。
FIG. 1 is a flowchart illustrating the flow of a wafer process wastewater treatment apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…原水槽 2…第1反
応槽 3…第2反応槽 4…撹拌機 5…凝集槽 6…沈殿槽 7…反応槽兼処理水槽 8…放水ポ
ンプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Raw water tank 2 ... 1st reaction tank 3 ... 2nd reaction tank 4 ... Stirrer 5 ... Coagulation tank 6 ... Sedimentation tank 7 ... Reaction tank and treatment water tank 8 ... Water discharge pump

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 今濱 敏信 埼玉県戸田市川岸1丁目4番9号 オル ガノ株式会社総合研究所内 (56)参考文献 特開 平2−222773(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C02F 1/52 - 1/78 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Toshinobu Imahama 1-4-9, Kawagishi, Toda City, Saitama Prefecture Inside the Organo Research Institute (56) References JP-A-2-222773 (JP, A) ( 58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) C02F 1/52-1/78

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】(57) [Claims]
  1. 【請求項1】 フッ素イオン及び過酸化水素を含有する
    排水に、アルカリ性カルシウム含有化合物を添加してフ
    ッ素イオンをフッ化カルシウムとした後、コロイド当量
    が−2.0ないし−8.0meq/gのアニオン性高
    分子凝集剤を添加して微細フロックを生成させ、ついで
    固液分離した後にカタラーゼを添加して過酸化水素を分
    解することを特徴とするフッ素イオン及び過酸化水素を
    含有する排水の処理方法。
    1. A wastewater containing fluorine ions and hydrogen peroxide, to which an alkaline calcium-containing compound is added to convert the fluorine ions into calcium fluoride, and then a colloid equivalent
    A fine floc is formed by adding an anionic polymer flocculant having a value of -2.0 to -8.0 meq / g, followed by solid-liquid separation, followed by addition of catalase to decompose hydrogen peroxide. Of wastewater containing fluorine ions and hydrogen peroxide.
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