JP2943521B2 - テストベクトル生成方法およびテストベクトル生成装置 - Google Patents

テストベクトル生成方法およびテストベクトル生成装置

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JP2943521B2 JP4225594A JP22559492A JP2943521B2 JP 2943521 B2 JP2943521 B2 JP 2943521B2 JP 4225594 A JP4225594 A JP 4225594A JP 22559492 A JP22559492 A JP 22559492A JP 2943521 B2 JP2943521 B2 JP 2943521B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路の評価技
術に関し、特に半導体集積回路中に形成されたメモリの
アドレスまたはデータビット並びが物理配置と論理配置
で異なる配置をとるメモリについてのテストベクトル生
成方法およびテストベクトル生成装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体集積回路の高集積化、大容
量化に伴い集積回路評価のためのテストベクトルの作成
はますます重要視されてきている。従来の半導体集積回
路のテストベクトルの作成は集積回路上に作成されたト
ランジスタのON、OFFをどれだけ多くのトランジス
タについて検査できるのか、またどれだけ速く検査でき
るかに重点がおかれていた。そのため回路シミュレーシ
ョンにより内部回路トランジスタの動作率のチェック等
を行いトランジスタの動作数を多くするようなテストベ
クトルの作成を行っていた。
【0003】また従来のLSIメモリのテストにおいて
はレイアウトの作成者よりメモリのアドレス並びや、ビ
ット並び、その他電源(VDD)の配線、グランド(V
SS)の配線情報を直接なり書類なりの手段で情報を得
てから物理配置を理解し、それからその物理配置に対応
したテストパターンを作成して、その後前記テストパタ
ーンを論理アドレスの並びと対比させて論理アドレスの
データへと変換してテストベクトルを作成していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、半導体集積回路上に形成されたメモリの
テストにおいては、トランジスタのON、OFFのみの
テストしかできずメモリセルの周辺に配置された複数の
メモリセルの状態(ハイまたはロウ状態)によるメモリ
セルの動作チェックを行うことができなかった。また、
LSIメモリと同様に半導体集積回路上に形成されたメ
モリのテストを行なおうとすると、テストベクトルの作
成は物理レイアウト上におけるメモリセルの並びである
物理配置について着目してテストパターンを作成しなく
てはならない。前記のテストパターンについてレイアウ
ト上でのメモリセル並びに対応した物理アドレスとメモ
リ入出力データバスのビット並びに対応した論理アドレ
スとが同じ配置の場合はそのまま対応付ければテストベ
クトルを作成することができるが、物理アドレスと論理
アドレスとが異なる場合にはテストベクトルを作成する
のに、お互いのアドレスの対応関係を考慮して、テスト
パターンデータを物理配置から論理配置へ変換しなけれ
ばならず、この作業に多くの労力を必要とするという問
題点を有していた。
【0005】本発明は、上記問題点を解決するために半
導体集積回路上に形成されたメモリテストにおいて、物
理アドレスと論理アドレスとが異なる場合についてどの
ようなアドレス、ビット並びの対応関係があってもテス
トベクトルを効率良く作成することができ、メモリトラ
ンジスタの実動作により近いチェックを行えるテストベ
クトル生成方法およびテストベクトル生成装置を提供す
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、入出力データバスのビット番号並びとメモ
リブロックの物理レイアウトにおけるビット並びとが異
なる半導体集積回路中に形成されたメモリブロックの測
定において、入出力ピン情報を有するレイアウトデータ
を入力とし、アドレスおよびデータビットのメモリ内配
置順番データを出力とするレイアウト解析手段と、テス
トパターンデータを格納したテストベクトルデータベー
スと、前記メモリブロック内アドレスおよびデータビッ
トの配置順番データと前記テストパターンデータとを入
力し物理アドレスと論理アドレスとの対応を示す関係式
を用いてメモリデータバスの入出力時のビット並びに対
応したテストパターンを生成するテストパターン変換手
段とを有する。
【0007】
【作用】本発明は上記の方法および構成において、レイ
アウト解析手段は、入出力ピン情報を有するレイアウト
データを入力とし、アドレスおよびデータビットのメモ
リ内配置順番データを出力する。テストベクトルデータ
ベースは、格納しているテストパターンデータを出力す
る。テストパターン変換手段は、上記2つの出力を入力
とし、物理アドレスと論理アドレスとの対応を示す関係
式を用いて、メモリデータバスの入出力時のビット並び
に対応したテストパターンを生成するように作用するこ
ととなる。
【0008】
【実施例】
(実施例1)以下本発明の一実施例の物理アドレスと論
理アドレスとが異なる場合について図面を参照しながら
説明する。図1は本発明の構成を示すブロック図であ
る。図において、レイアウト情報1を入力とし、アドレ
スおよびデータビットのメモリ内配置順番データを出力
とするレイアウト解析手段2の出力と、テストパターン
データを格納したテストベクトルデータベース3から取
り出したテストパターンデータ4とはテストパターン変
換手段5に加えられる。このテストパターン変換手段5
は、後述の物理・論理関係式5−1とテンポラリメモリ
5−2とを含んでいる。
【0009】以上のように構成され、つぎにその動作を
説明すると、レイアウト解析手段2は、入出力ピン情報
を有するレイアウト情報(データ)1を入力とし、アド
レスおよびデータビットのメモリ内配置順番データを出
力する。一方テストベクトルデータベース3は格納して
いるテストパターンデータ4を出力する。テストパター
ン変換手段5は、上記2つの出力を入力とし、物理アド
レスと論理アドレスとの対応を示す後述の物理・論理関
係式5−1を用いて、メモリデータバスの入出力時のビ
ット並びに対応した論理配置テストパターン6を生成
し、テンポラリメモリ5−2に保存する。
【0010】図2は本発明におけるアドレス方向4ワー
ド、1ワード幅8ビットの物理配置のメモリについての
説明図である。図2(a)のwは各メモリセルの実際の
レイアウト上での並びに対応するビット番号を示し、m
はアドレス番号を示す。
【0011】このアドレスmは、メモリのデータバスか
ら入出力される時のアドレスに対応した論理アドレスを
nとすると、前記メモリの物理アドレスmの0に前記メ
モリの論理アドレスnの0とnの1が配置されており、
その並びは図2(b)のように論理アドレスnの0は物
理アドレスmの0のwが偶数であるビットを順番に取り
出したものであり、論理アドレスnの1は物理アドレス
mの0でwが奇数であるビットを順に取り出せば得られ
る対応になっている。
【0012】図2(a)では各アドレスごとにwの偶数
ビットを(e)で表し奇数ビットを(o)で表してい
る。本発明では、まず初めにレイアウト解析手段におい
てアドレスおよびビット情報を得るが、本実施例のメモ
リでは論理アドレスでのビット並びが前記したように偶
数、奇数の順に交互に配置されているため、各アドレス
のwが偶数であるビットには”0”を対応させ、奇数で
あるビットには”1”を対応させたアドレス情報および
ビット情報がレイアウト解析手段により出力されること
になる。
【0013】つぎにテストベクトルデータベース3から
出力された図2(c)のテストパターンとアドレス情報
およびビット情報であるアドレスm、ビットwとから論
理的配置に対応したテストパターンを生成することとな
るが、そのために本発明では図2(d)の物理配置と同
配置のアドレス空間を持つテンポラリメモリ5−2を用
意し、そこに図2(c)のテストパターンをこのテンポ
ラリメモリ5−2上に入力する。したがってテンポラリ
メモリ5−2上のテストパターンデータはすべて物理ア
ドレスに対応した位置に入っていることになる。
【0014】ここで前記アドレス、ビットの情報と物理
配置、論理配置との関係式を基にテンポラリメモリ5−
2上から論理アドレスに対応したデータを抽出する。実
際には、論理アドレスnの0について、テンポラリメモ
リ5−2のアドレスmの0のビットw中から物理レイア
ウトのデータが”0”であるビットのデータを抽出し
て”1010”を得、論理アドレスnの1は物理レイア
ウトのデータが”1”に対応したテンポラリメモリのデ
ータを抽出してくると”0000”となりテンポラリメ
モリ5−2を持つことによって論理アドレスのテストパ
ターンを生成することができる。
【0015】その時の関係式は、物理アドレスmが0の
時wが0から7までについて物理配置の配列であるA
(w,m)が0の時、論理配置のデータ配列E(m,
p)とテンポラリメモリ5−2の配列であるT(p,
m)を用いて表わすと(式1)のようになる。
【0016】 (式1) E(m×2,p)=T(w,m) また、A(w,m)が0以外(1)の時、論理配置のデ
ータ配列E(m,p)とテンポラリメモリ5−2の配列
であるT(p,m)を用いて表わすと(式2)のように
なる。
【0017】 (式2) E(m×2+1,p)=T(w,m) 同様に論理アドレスnの3、4、5、6、7について
も”0000”、”1010”、”0101”、”00
00”、”0000”、”0101”となり図2(e)
で示すような論理アドレス対応のテストパターンが生成
される。
【0018】なお、本実施例で用いたメモリサイズは、
アドレス幅mもビット幅wに対しても任意であり、どの
ようなメモリの場合にも簡単な関係式さえ指定すればよ
い。テストパターンデータとしては、全てのデータが”
0”、全てのデータが”1”であるものや、”0101
01・・・・0101”のように0と1が交互に任意の
数だけ並ぶパターンや、その0と1とが逆であるパター
ン”101010・・・・1010”その他に縦方向の
隣あうデータが同じにならないもの、横方向の隣あうデ
ータが同じにならないもの、さらに、一部だけ”1”に
したもの、”0”にしたものなどがあり、あらゆるパタ
ーンに対応できる。
【0019】(実施例2)以下本発明の第2の実施例の
物理アドレスと論理アドレスとが異なる場合の他の実施
例について図面を参照しながら説明する。図3は本発明
におけるアドレス方向2ワード、1ワード幅16ビット
の物理配置のメモリについての説明図である。図3
(a)のkは各メモリセルの実際のレイアウト上での並
びに対応するアドレス番号を示し、このアドレスを物理
アドレスとする。このアドレスkには、メモリのデータ
バスから入出力される時のアドレスに対応した論理アド
レスをjとすると、前記メモリの物理アドレスkの0に
前記メモリの論理アドレスjの0、1、2、3とが配置
されていてその並びは図3(b)のように論理アドレス
jの0は物理アドレスkの0のビットwの内偶数ビット
を順番に取り出し、それに対しその処理をもう一度行っ
たものとなり、論理アドレスjの1は物理アドレスkの
0のビットwの内偶数ビットを取り出しそれに対し今度
は、もう一度奇数ビットに対して抽出すればよい対応に
なっている。論理アドレスjの2は物理アドレスkの0
の奇数ビットを順番に取り出しその後にもう一度偶数ビ
ットに対して抽出すればよい対応になっていて、論理ア
ドレスjの3は物理アドレスkの0のビットwの内奇数
ビットを取り出しその後にもう一度奇数ビットに対して
抽出すればそれぞれの論理アドレスの対応になっていて
いるテストパターンを抽出することができる。
【0020】これを図3(a)では各アドレスごとに偶
数ビットを(e)で表し奇数ビットを(o)で表してあ
る。初めにレイアウト解析手段においてアドレスk、ビ
ットw情報を得るが、本実施例メモリでは論理アドレス
でのビット並びを各アドレスの(e)ビットには”0”
を対応させ、(o)ビットには”1”を対応させたアド
レス、ビット情報を持っている。つぎに図3(c)のテ
ストパターンをテストパターンデータベースから用意し
て来るがこのテストパターンはレイアウト解析手段から
得られたVDD、VSSの情報をもとにVDDのまわり
をONやOFFにすることで電源供給の影響の有無を見
るためのパターンを用いてある。
【0021】上記のアドレスk、ビットwデータとテス
トパターンデータとから論理的配置に対応したテストパ
ターンを作成するわけであるが、そのために図3(d)
の物理配置と同じ配置のアドレス空間を持つテンポラリ
メモリを用意し、そこに図3(c)のテストパターンを
このテンポラリメモリ上に入力する。したがって、テン
ポラリメモリ上にはテストパターンデータが物理アドレ
スに対応した位置に入ることになる。ここで前記アドレ
スk、ビットwの情報を基にテンポラリメモリ上から論
理アドレスに対応したデータを抽出する。
【0022】実際には論理アドレスjの0についてテン
ポラリメモリのアドレスkの0からビットw情報が”
0”であるビットに対応するのテンポラリメモリ上のの
データを抽出して”00101010”を得る。さらに
もう一度前記抽出で得られたデータに対し偶数に対応す
るビットを抜き出すと”0111”が得られる。また、
論理アドレスjの1は”0”のデータの抽出から奇数の
データを、jの2は”1”のデータの抽出から偶数のデ
ータを、jの3は”1”のデータの抽出から奇数のデー
タと抽出して得られる。
【0023】そのときの関係式は、物理アドレスkが0
の時wが0から15までについて物理配置の配列である
A(w,k)が0の時、論理配置のデータ配列E(j,
p)とテンポラリメモリの配列であるT(w,k)を用
いて表わすと(式3)のようになる。
【0024】 (式3) E(w×2,p)=T(w,k) また、A(w,k)が0以外(1)の時、論理配置のデ
ータ配列E(j,p)とテンポラリメモリの配列である
T(w,k)を用いて表わすと(式4)のようになる。
【0025】 (式4) E(w×2+1,p)=T(w,k) となり、その値をもう一度(式3)、(式4)に掛ける
と同様に論理アドレスjの3、4、5、6、7も”00
00”、”1010”、”0101”、”000
0”、”0000”、”0101”となり図3(e)で
示すような論理アドレスのテストパターンが生成され
る。
【0026】なお、本実施例で用いたメモリサイズは、
アドレス幅kもビット幅wに対しても任意であり、どの
ようなメモリの場合にも簡単な関係式さえ指定すればよ
い。テストパターンデータとしては、全てのデータが”
0”、全てのデータが”1”であるものや、”0101
01・・・・0101”のように0と1が交互に任意の
数だけ並ぶパターンや、その0と1とが逆であるパター
ン”101010・・・・1010”その他に縦方向の
隣あうデータが同じにならないもの、横方向の隣あうデ
ータが同じにならないもの、さらに、一部だけ”1”に
したもの、”0”にしたものなどがあり、あらゆるパタ
ーンに対応できる。
【0027】
【発明の効果】以上のように本発明のテストベクトル生
成方法およびテストベクトル生成装置は、メモリの入出
力データバスのビット並びである論理配置とメモリの物
理的レイアウト配置が異なるメモリにおいて、論理的な
メモリ配置を殆ど意識することなくメモリの物理配置の
各種要因に対して着目したテストパターンを作成しさえ
すれば、物理配置と論理配置とが複雑な対応をとってい
る場合に関しても上記テストパターンと物理レイアウト
データとから論理的並びのテストベクトルデータを容易
に生成することができる。また、従来LSIのテストベ
クトル生成のように、すべてのトランジスタのON、O
FFをいかに速く、いかに多くのトランジスタを調べら
れるかを主眼とするだけでなく、本発明はトランジスタ
のON、OFF以外にトランジスタとその周辺に配置さ
れたトランジスタのON、OFF状態の異なるテストベ
クトルを生成することによりトランジスタ動作時の相互
干渉チェックや目的とした位置の的確なチェックをより
素早く正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のテストベクトル生成方法お
よびテストベクトル生成装置のブロック図
【図2】同じくその第1の実施例における動作説明図
【図3】同じくその第2の実施例における動作説明図
【符号の説明】
1 レイアウト情報データベース 2 レイアウト解析手段 3 テストベクトルデータベース 4 テストパターンデータ 5 テストパターン変換手段 5−1 物理・論理配置関係式 5−2 テンポラリメモリ 6 論理配置テストパターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 31/28 G11C 29/00 657

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 その入出力データバスのビット番号並び
    とメモリブロックの物理レイアウトにおけるビット並び
    とが異なる半導体集積回路中に形成されたメモリブロッ
    クの測定において、入出力ピン情報を有するレイアウト
    データを入力とし、アドレスおよびデータビットのメモ
    リ内配置順番データを出力とするレイアウト解析手段
    と、テストパターンデータを格納したテストベクトルデ
    ータベースと、前記メモリブロック内アドレスおよびデ
    ータビットの配置順番データと前記テストパターンデー
    タとを入力し物理アドレスと論理アドレスとの対応を示
    す関係式を用いてメモリデータバスの入出力時のビット
    並びに対応したテストパターンを生成するテストパター
    ン変換手段とを有するテストベクトル生成方法。
  2. 【請求項2】 テストパターン変換手段は、テストパタ
    ーンを物理アドレスに対応した並びから論理アドレスに
    対応した並びに変換する際に物理レイアウトメモリと同
    じ配置のテンポラリメモリを有し、前記テンポラリメモ
    リにテストパターンを入力し、前記テンポラリメモリ上
    のテストパターンデータをアドレス情報、ピン情報、物
    理アドレスと論理アドレスとの関係式によって抽出する
    ことで論理配置のテストパターンを生成する請求項1記
    載のテストベクトル生成方法。
  3. 【請求項3】 その入出力データバスのビット番号並び
    とメモリブロックの物理レイアウトにおけるビット並び
    とが異なる半導体集積回路中に形成されたメモリブロッ
    クの測定において、入出力ピン情報を有するレイアウト
    データを入力とし、アドレスおよびデータビットのメモ
    リ内配置順番データを出力とするレイアウト解析手段
    と、テストパターンデータを格納したテストベクトルデ
    ータベースと、前記メモリブロック内アドレスおよびデ
    ータビットの配置順番データと前記テストパターンデー
    タとを入力し物理アドレスと論理アドレスとの対応を示
    す関係式を用いてメモリデータバスの入出力時のビット
    並びに対応したテストパターンを生成するテストパター
    ン変換手段とを有してなるテストベクトル生成装置。
  4. 【請求項4】テストパターン変換手段は、テストパター
    ンを物理アドレスに対応した並びから論理アドレスに対
    応した並びに変換する際に物理レイアウトメモリと同じ
    配置のテンポラリメモリを有し、前記テンポラリメモリ
    にテストパターンを入力し、前記テンポラリメモリ上の
    テストパターンデータをアドレス情報、ピン情報、物理
    アドレスと論理アドレスとの関係式によって抽出するこ
    とで論理配置のテストパターンを生成する請求項3記載
    のテストベクトル生成装置。
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