JP2938126B2 - Color filter surface inspection device - Google Patents
Color filter surface inspection deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば、液晶ディスプレイ等に組み込まれ
るカラーフィルタの表面検査装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a surface inspection device for a color filter incorporated in a liquid crystal display or the like, for example.
〔従来の技術〕 第２図はカラーフィルタを備えた液晶ディスプレイの
断面図である。同図に示されるように、液晶ディスプレ
イは、ガラス基板21上に背面電極22と配向膜23とを備え
た背面板24に、ガラス基板25にカラーフィルタ26と透明
電極27と配向膜28とを備えた前面板（カラーフィルタ基
板）29を対向させ、これらの間に液晶層30を形成した構
造を持つ。そして、液晶層30をTNモード又はSTNモード
でブラックシャッタとして動作させ、液晶層30に重なる
カラーフィルタ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の透過光
を制御してカラー表示をする。FIG. 2 is a cross-sectional view of a liquid crystal display provided with a color filter. As shown in the figure, the liquid crystal display has a color filter 26, a transparent electrode 27, and an alignment film 28 on a glass substrate 25 on a back plate 24 having a back electrode 22 and an alignment film 23 on a glass substrate 21. A front plate (color filter substrate) 29 provided is opposed to the liquid crystal layer 30, and a liquid crystal layer 30 is formed between them. Then, the liquid crystal layer 30 is operated as a black shutter in the TN mode or the STN mode, and color display is performed by controlling the transmitted light of the color filters red (R), green (G), and blue (B) overlapping the liquid crystal layer 30. .
ところで、液晶ディスプレイにおいては、液晶層の厚
さによりコントラストが大きく変わる。第３図はTNモー
ドにより液晶層をブラックシャッタとして動作させたと
きの液晶層の厚さ（セル間隔）とコントラスト比との関
係を示す図である。By the way, in a liquid crystal display, contrast greatly changes depending on the thickness of a liquid crystal layer. FIG. 3 is a diagram showing a relationship between the thickness (cell interval) of the liquid crystal layer and the contrast ratio when the liquid crystal layer is operated as a black shutter in the TN mode.
従って、カラーフィルタの表面に異物の付着や傷等に
よる凹凸が生じると液晶層の厚さが不均一になり、この
ためブラックシャッタの特性が不均一になってコントラ
スト比にむらが生じ、結果的に液晶ディスプレイの表示
品質が低下する。特に、大画面ディスプレイ用の大面積
のカラーフィルタにあってはこのような不具合の発生が
多く、このためカラーフィルタの検査は極めて重要であ
る。ところで、基板を撮像して得られたデータを処理し
て基板上の部品実装状態を検査する基板の検査方法につ
いての発明が、特開昭63−111405号公報に開示されてい
る。このような従来のパターン検査装置を用いることに
よって、基板を撮像した撮像管における水平／垂直走査
位置と基板を移動させるＸ−Ｙテーブルの移動位置とか
ら、基板上にマウントした各種チップ部品の位置等を算
出することができる。Therefore, if irregularities due to the attachment of foreign matter or scratches occur on the surface of the color filter, the thickness of the liquid crystal layer becomes non-uniform, and the characteristics of the black shutter become non-uniform, resulting in an uneven contrast ratio. In addition, the display quality of the liquid crystal display deteriorates. In particular, large-area color filters for large-screen displays often suffer from such inconveniences. Therefore, color filter inspection is extremely important. Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-111405 discloses an invention of a board inspection method for processing data obtained by imaging a board and inspecting a component mounting state on the board. By using such a conventional pattern inspection apparatus, the positions of various chip components mounted on the substrate can be determined from the horizontal / vertical scanning position in the image pickup tube for imaging the substrate and the moving position of the XY table for moving the substrate. Etc. can be calculated.
しかし、異なる色のフィルタを配列したカラーフィル
タは、その色により反射又は透過する波長領域が異なる
ため、検査対象の色の違いを考慮していない従来のパタ
ーン検査用の装置を用いて微少な凹凸に起因するカラー
フィルタの欠陥の有無を判断するための信号を出力する
ことはできなかった。このため従来は暗室内において強
い光をカラーフィルタに照射し目視により表面検査を行
っていた。However, a color filter in which filters of different colors are arrayed has different wavelength regions to be reflected or transmitted depending on the color, and therefore, a fine pattern using a conventional pattern inspection apparatus that does not consider the difference in the color of the inspection object. However, it was not possible to output a signal for judging the presence or absence of a color filter defect caused by the above. For this reason, in the related art, intense light was applied to a color filter in a dark room to visually inspect the surface.
しかしながら、目視検査により検出できる欠陥は、熟
練者であっても20μｍ程度までであり、また、セル間隔
に影響を与える欠陥は５μｍ以上であることから、５〜
20μｍ程度の欠陥を検出できないという問題があった。However, defects that can be detected by visual inspection are up to about 20 μm even for a skilled person, and defects that affect the cell spacing are 5 μm or more.
There is a problem that a defect of about 20 μm cannot be detected.
また、目視検査では習熟した作業者であっても疲労等
の人的要因による検査ミスが生じることがあり、最終的
には液晶ディスプレイの歩留まりの低下を招くという問
題があった。そして、この問題は検査する基板が大型化
するほど顕著であった。Further, in the visual inspection, even a skilled worker may cause an inspection error due to human factors such as fatigue, which eventually causes a problem of lowering the yield of the liquid crystal display. This problem becomes more remarkable as the size of the substrate to be inspected increases.
そこで、本発明は上記したような従来技術の課題を解
決するためになされたものであり、その目的とするとこ
ろは、カラーフィルタの欠陥の有無及びその位置を正確
に検出できる信頼性の高いカラーフィルタの表面検査装
置を提供することにある。Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a highly reliable color filter capable of accurately detecting the presence or absence of a color filter defect and its position. An object of the present invention is to provide a filter surface inspection device.
本発明（第一の発明）に係るカラーフィルタの表面検
査装置は、カラーフィルタの表面に光を照射する光源
と、上記光源により光照射された上記カラーフィルタの
表面を撮影し映像信号を出力するテレビカメラと、上記
カラーフィルタを載せ、上記テレビカメラで撮影される
上記カラーフィルタの位置を変えるステージと、上記ス
テージの動作を制御するステージ駆動手段と、上記テレ
ビカメラが出力する映像信号から輝度信号を分離する輝
度信号分離手段と、上記輝度信号分離手段からの輝度信
号の強度を基準信号と比較することによってカラーフィ
ルタの欠陥の有無を判断するための信号を出力するコン
パレータと、上記テレビカメラが出力する映像信号から
水平同期信号と垂直同期信号とを分離する同期信号分離
手段と、上記カラーフィルタの欠陥を検出した場合に、
その座標を上記水平同期信号、上記垂直同期信号及び上
記ステージ上のカラーフィルタ位置に基づいて検出する
欠陥座標検出手段とを有することによって構成される。A color filter surface inspection apparatus according to the present invention (first invention) provides a light source for irradiating light to the surface of a color filter, and images a surface of the color filter illuminated by the light source to output a video signal. A television camera, a stage on which the color filter is mounted and the position of the color filter photographed by the television camera is changed, stage driving means for controlling the operation of the stage, and a luminance signal from a video signal output by the television camera A comparator for outputting a signal for determining the presence or absence of a color filter defect by comparing the intensity of the luminance signal from the luminance signal separating unit with a reference signal, and the television camera Synchronizing signal separating means for separating a horizontal synchronizing signal and a vertical synchronizing signal from a video signal to be output; If you detect a defect of the filter,
Defect coordinate detecting means for detecting the coordinates based on the horizontal synchronization signal, the vertical synchronization signal, and the color filter position on the stage.
また、他の発明（第二の発明）は、上記第一の発明を
ストライプパターンのカラーフィルタに適用したもの
で、光源により光照射されたカラーフィルタの表面を、
水平走査線が上記カラーフィルタのストライプパターン
を横切るように撮影し映像信号を出力するよう構成され
ている。Further, another invention (second invention) is one in which the first invention is applied to a color filter having a stripe pattern.
The apparatus is configured so that a horizontal scanning line is photographed so as to cross the stripe pattern of the color filter and a video signal is output.
さらに、他の発明（第三の発明）は、上記第一の発明
をストライプパターンのカラーフィルタに適用したもの
で、カラーフィルタの表面にほぼ垂直に光を照射すると
共に、上記カラーフィルタの表面に斜めの横方向から光
を照射する光源を備え、この光源により光照射されたカ
ラーフィルタの表面を、水平走査線がカラーフィルタの
ストライプパターンを横切るようにテレビカメラで撮影
し映像信号を出力するよう構成されている。Further, another invention (third invention) is an application of the first invention to a color filter having a stripe pattern, which irradiates light substantially perpendicularly to the surface of the color filter and also applies light to the surface of the color filter. A light source for irradiating light from an oblique lateral direction is provided. The surface of the color filter illuminated by the light source is photographed by a television camera so that a horizontal scanning line crosses the stripe pattern of the color filter, and a video signal is output. It is configured.
また、さらに他の発明（第四の発明）は、上記第一の
発明をストライプパターンのカラーフィルタに適用した
もので、光源により光照射されたカラーフィルタの表面
を、水平走査線がカラーフィルタのストライプパターン
と平行になるようにテレビカメラで撮影し映像信号を出
力するよう構成されている。Further, still another invention (fourth invention) is an application of the first invention to a color filter having a stripe pattern, wherein the surface of the color filter illuminated by the light source has a horizontal scanning line of the color filter. It is configured to take a picture with a television camera and output a video signal so as to be parallel to the stripe pattern.
また、さらに他の発明（第五の発明）は、上記第一の
発明をストライプパターンのカラーフィルタに適用した
もので、カラーフィルタの表面にほぼ垂直に光を照射す
ると共に、上記カラーフィルタの表面に斜め上方向から
光を照射する光源を備え、この光源により光照射された
カラーフィルタの表面を、水平走査線がカラーフィルタ
のストライプパターンと平行になるようにテレビカメラ
で撮影し映像信号を出力するよう構成されている。Still another invention (fifth invention) is one in which the first invention is applied to a color filter having a stripe pattern, and the surface of the color filter is irradiated with light almost vertically, and the surface of the color filter is irradiated. A light source that irradiates light from an obliquely upward direction. The surface of the color filter illuminated by this light source is photographed with a television camera so that the horizontal scanning lines are parallel to the stripe pattern of the color filter, and video signals are output. It is configured to be.
〔作 用〕 上記第一乃至第五の発明においては、光源によりカラ
ーフィルタの表面に光を照射し、テレビカメラよりカラ
ーフィルタの表面を撮影して映像信号を出力し、この映
像信号から輝度信号を分離し、この輝度信号を基準信号
と比較し、この比較結果に基づいて欠陥の有無を判断し
ている。また、欠陥の位置（欠陥座標）は、カラーフィ
ルタを載せたステージ位置と、映像信号から分離された
水平同期信号と垂直同期信号とに基づいて欠陥座標検出
手段により検出される。[Operation] In the first to fifth aspects of the present invention, the surface of the color filter is irradiated with light from a light source, the surface of the color filter is photographed by a television camera, and a video signal is output. And the luminance signal is compared with a reference signal, and the presence or absence of a defect is determined based on the comparison result. Further, the position of the defect (defect coordinates) is detected by the defect coordinate detection means based on the stage position on which the color filter is mounted and the horizontal synchronization signal and the vertical synchronization signal separated from the video signal.
以下に、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to the illustrated embodiments.
第１図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置
の一実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a color filter surface inspection apparatus according to the present invention.
同図に示されるように、本実施例のカラーフィルタの
表面検査装置には、検査対象となるストライプパターン
を有するカラーフィルタＦを載せ、このカラーフィルタ
Ｆをｘ方向又はこれに直交するｙ方向に移動させること
ができるステージ１と、このステージ１の動作を制御す
るステージ駆動手段としてのステージ駆動回路２とが備
えられている。As shown in the figure, a color filter F having a stripe pattern to be inspected is placed on the surface inspection apparatus for a color filter of the present embodiment, and the color filter F is moved in the x direction or the y direction orthogonal to the x direction. A stage 1 that can be moved and a stage driving circuit 2 as stage driving means for controlling the operation of the stage 1 are provided.
また、本実施例には、カラーフィルタＦに光を照射す
るための光源３と、カラーフィルタＦの真上に配置され
ており光源３からの光を折り返してカラーフィルタＦに
垂直上方向から光照射するハーフミラー４と、このハー
フミラー４を通してカラーフィルタＦの表面を水平走査
線がカラーフィルタＦのストライプパターンを横切るよ
うに撮影してNTSC方式の映像信号を出力するテレビカメ
ラ５とが備えられている。尚、テレビカメラ５にはレン
ズ等の拡大光学系が備えられている。Further, in this embodiment, the light source 3 for irradiating the color filter F with light, and the light source 3 which is disposed right above the color filter F, folds the light from the light source 3 A half mirror 4 for irradiating, and a television camera 5 for photographing the surface of the color filter F through the half mirror 4 so that a horizontal scanning line crosses the stripe pattern of the color filter F and outputting an NTSC video signal are provided. ing. The television camera 5 is provided with a magnifying optical system such as a lens.
さらに、本実施例には、テレビカメラ５が出力する映
像信号から輝度信号Ｙを分離する輝度信号分離手段とし
ての輝度信号分離回路６と、この輝度信号Ｙの比較対象
となる基準信号Ｓを出力する基準信号発生手段としての
基準信号発生回路７と、この基準信号Ｓと輝度信号Ｙの
強度とを比較するコンパレータ８とが備えられている。
尚、コンパレータ８としては輝度信号Ｙの強度の上限SH
と下源SLの基準信号を任意に設定して、カラーフィルタ
の欠陥の有無を判断するための信号が出力可能なものを
用いる。Further, in this embodiment, a luminance signal separating circuit 6 as a luminance signal separating means for separating the luminance signal Y from the video signal output from the television camera 5 and a reference signal S to be compared with the luminance signal Y are output. A reference signal generating circuit 7 serving as a reference signal generating means for performing the operation, and a comparator 8 for comparing the intensity of the reference signal S with the intensity of the luminance signal Y are provided.
Incidentally, the intensity of the luminance signal Y as a comparator 8 upper S H
Arbitrarily set the reference signal of the lower source S L and a signal for determining the presence or absence of a defect of the color filter is used capable output.
また、本実施例には、テレビカメラ５が出力する映像
信号から水平同期信号Ｈと垂直同期信号Ｖとを分離する
同期信号分離手段としての同期信号分離回路９と、コン
パレータ８の出力からカラーフィルタＦの欠陥を検出
し、欠陥有りと判断されたときの欠陥の座標を水平同期
信号Ｈ、垂直同期信号Ｖ及びステージ１の位置に基づい
て検出する欠陥座標検出手段としての欠陥座標検出回路
10とを有する。Further, in the present embodiment, a synchronizing signal separating circuit 9 as a synchronizing signal separating means for separating the horizontal synchronizing signal H and the vertical synchronizing signal V from the video signal output from the television camera 5 and a color filter from the output of the comparator 8 A defect coordinate detecting circuit as defect coordinate detecting means for detecting the defect of the F and detecting the coordinates of the defect when it is determined that there is a defect based on the horizontal synchronization signal H, the vertical synchronization signal V and the position of the stage 1.
With 10.
そして、上記構成を有する本実施例は、コンピュータ
11の指令により以下のように動作する。The present embodiment having the above-described configuration is a computer.
It operates as follows by 11 commands.
先ず、映像信号の走査線方向とストライプパターンが
垂直になるようにステージ１に載せ、ステージ１をｘ方
向及びｙ方向に移動させてカラーフィルタＦの撮影位置
12を決める。ここで、第４図（ａ）は本実施例の撮影位
置12を示す説明図、同図（ｂ）はテレビカメラ５の水平
走査線方向Ａと赤、緑、青よりなるストライプパターン
FR,FG,FBの長手方向が垂直になっている場合を示す説明
図である。First, the stage 1 is mounted on the stage 1 so that the scanning line direction of the video signal and the stripe pattern are perpendicular to each other, and the stage 1 is moved in the x direction and the y direction to set the photographing position of the color filter F.
Decide 12. Here, FIG. 4 (a) is an explanatory view showing the photographing position 12 of the present embodiment, and FIG. 4 (b) is a horizontal scanning line direction A of the television camera 5 and a stripe pattern composed of red, green and blue.
F R, F G, the longitudinal direction of F B is an explanatory view showing the case that is perpendicular.
そして、ストライプパターンを有するカラーフィルタ
Ｆの撮影位置12にハーフミラー４を介して光源３の光を
垂直に照射し、この光照射されたカラーフィルタＦの撮
影位置12をテレビカメラ５により撮影する。このときの
映像信号から輝度信号分離回路６により輝度信号Ｙを分
離し、この輝度信号Ｙの強度をコンパレータ８により基
準信号Ｓと比較し、この比較結果に基づいて欠陥の有無
を判断する。ここで、第５図（ａ）乃至（ｃ）はカラー
フィルタＦの欠陥の有無判断の仕方を説明するためのも
のであり、ガラス基板13上のカラーフィルタＦの断面形
状と輝度信号Ｙの大きさを示す図である。Then, the light of the light source 3 is vertically irradiated to the photographing position 12 of the color filter F having the stripe pattern via the half mirror 4, and the photographing position 12 of the color filter F irradiated with the light is photographed by the television camera 5. The luminance signal Y is separated from the video signal at this time by the luminance signal separation circuit 6, the intensity of the luminance signal Y is compared with the reference signal S by the comparator 8, and the presence or absence of a defect is determined based on the comparison result. Here, FIGS. 5A to 5C are for explaining a method of judging the presence / absence of a defect in the color filter F, and show the sectional shape of the color filter F on the glass substrate 13 and the magnitude of the luminance signal Y. FIG.
第５図（ａ）乃至（ｃ）に基づいて、カラーフィルタ
Ｆの欠陥の有無判断の仕方を説明すると、先ず、同図
（ａ）に示される正常な表面のカラーフィルタＦを水平
走査方向Ａに走査した場合には、輝度信号Ｙの強度はカ
ラーフィルタＦのストライプパターンの境界部分で僅か
に低下するが、基準信号SL以下（又は基準信号SH以上）
とはならず、欠陥なしの判断をする。ところが、同図
（ｂ）に示されるようにカラーフィルタＦの表面に部分
的に凹部がある場合、又は、同図（ｃ）に示されるよう
にカラーフィルタＦの表面に部分的に凸部がある場合に
は、輝度信号Ｙの強度は凹部又は凸部で大きく変化して
基準信号SL以下となり欠陥ありの判断をする。The method of determining the presence / absence of a defect in the color filter F will be described with reference to FIGS. 5A to 5C. First, the color filter F having a normal surface shown in FIG. when scanned, although the intensity of the luminance signal Y is slightly reduced at the boundary of the stripe pattern of the color filter F, the reference signal S L or less (or the reference signal S H above)
It is judged that there is no defect. However, when the concave portion is partially present on the surface of the color filter F as shown in FIG. 3B, or the convex portion is partially present on the surface of the color filter F as shown in FIG. in some cases, the intensity of the luminance signal Y is a judgment of Yes defects becomes less than the reference signal S L changes greatly with recesses or projections.
欠陥位置検出回路10は、欠陥ありの判断がなされたと
きの水平同期信号Ｈと垂直同期信号Ｖとから画面内での
異常箇所の位置を求め、ステージ１位置よりカラーフィ
ルタＦ内での座標をコンピュータ11により計算し、記憶
する。The defect position detection circuit 10 determines the position of the abnormal part in the screen from the horizontal synchronization signal H and the vertical synchronization signal V when the determination of the presence of the defect is made, and calculates the coordinates in the color filter F from the stage 1 position. Calculated and stored by computer 11.
但し、第５図（ｂ）及び（ｃ）に示されるように欠陥
が１個であっても輝度変化が複数回発生することがある
ので、輝度変化の発生時点より換算されたカラーフィル
タＦ上の実距離が一定値（例えば、100μｍ）以下であ
れば１個の欠陥と判定する。However, as shown in FIGS. 5 (b) and 5 (c), even if there is only one defect, the luminance change may occur a plurality of times. If the actual distance is less than or equal to a certain value (for example, 100 μm), it is determined that one defect exists.
上記のような一画面の検査が終了すると、ステージ１
が一画面分の距離だけ移動し、次の画面について同様に
検査を行う。そして、カラーフィルタＦのすべてのスト
ライプパターンを検査し終えた後、全欠陥位置情報をコ
ンピュータ11から出力する。When the inspection of one screen as described above is completed, stage 1
Moves by the distance of one screen, and the same inspection is performed on the next screen. After all the stripe patterns of the color filter F have been inspected, the computer 11 outputs all defect position information.
以上に述べたように、本実施例によれば、ストライプ
パターンを有するカラーフィルタＦの表面形状の異常の
有無を映像信号の輝度信号Ｙから検出するので、目視検
査で検出できなかった５〜20μｍの欠陥も検出可能とな
った。また、検査において、人的要因を排除したので、
信頼性の高い検査が可能になった。また、欠陥位置の検
出もでき、且つ、高速処理が可能となった。As described above, according to the present embodiment, the presence or absence of an abnormality in the surface shape of the color filter F having a stripe pattern is detected from the luminance signal Y of the video signal. Defects can also be detected. In addition, since human factors were excluded in the inspection,
Reliable inspection has become possible. Further, a defect position can be detected, and high-speed processing can be performed.
第６図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置
の他の実施例を示す構成図である。同図において、第１
図の実施例と同一の構成部分には同一の符号を付して説
明すると、第６図の実施例はカラーフィルタＦに垂直方
向に光照射するための光源３の他にカラーフィルタＦに
斜め横方向から光照射する光源3aを備えている点が第１
図の実施例と相違する。そして、この第６図の実施例に
おいては、第１図の実施例と同様にカラーフィルタＦの
撮影位置12の設定し、この撮影位置12をテレビカメラ５
により撮影し、このときの映像信号に基づく輝度信号Ｙ
より欠陥の有無を判断する。FIG. 6 is a block diagram showing another embodiment of the color filter surface inspection apparatus according to the present invention. In FIG.
The same components as those of the embodiment shown in the figure are denoted by the same reference numerals. The embodiment shown in FIG. The first point is that a light source 3a for irradiating light from the lateral direction is provided.
This is different from the embodiment shown in FIG. In the embodiment shown in FIG. 6, the photographing position 12 of the color filter F is set as in the embodiment shown in FIG.
And a luminance signal Y based on the video signal at this time.
More defects are determined.
ここで、第７図（ａ）乃至（ｃ）は第６図の実施例に
よるカラーフィルタＦの欠陥の有無判断の仕方を説明す
るためのものであり、ガラス基板13上のカラーフィルタ
Ｆの断面形状と輝度信号Ｙの大きさを示す図である。同
図（ａ）乃至（ｃ）に基づいて、カラーフィルタＦの欠
陥の有無判断の仕方を説明すると、先ず、同図（ａ）に
示される正常な表面のカラーフィルタＦを水平走査方向
Ａに走査して得られた輝度信号Ｙの強度はカラーフィル
タＦのストライプパターンの境界部分で僅かに上下する
が、基準信号SL以下又は基準信号SH以上とはならず、欠
陥なしの判断をする。ところが、同図（ｂ）に示される
ようにカラーフィルタＦの表面に部分的に凹部がある場
合、又は、同図（ｃ）に示されるようにカラーフィルタ
Ｆの表面に部分的に凸部がある場合には、輝度信号Ｙの
強度は凹部又は凸部で大きく変化して基準信号SL以下又
は基準信号SH以上となる。すると、欠陥位置検出回路10
で欠陥ありの判断がなされ、このときの水平同期信号Ｈ
と垂直同期信号Ｖとから画面内での異常箇所の位置を求
め、ステージ１位置よりカラーフィルタＦ内での座標を
コンピュータ11により計算し、記憶する。Here, FIGS. 7A to 7C are for explaining a method of judging the presence or absence of a defect of the color filter F according to the embodiment of FIG. FIG. 4 is a diagram illustrating a shape and a magnitude of a luminance signal Y. How to determine the presence / absence of a defect in the color filter F will be described with reference to FIGS. 7A to 7C. First, the color filter F having a normal surface shown in FIG. the intensity of the luminance signal Y obtained by scanning is slightly vertically at the boundary of the stripe pattern of the color filter F, not the reference signal S L or less, or the reference signal S H above, the no defect decision . However, when the concave portion is partially present on the surface of the color filter F as shown in FIG. 3B, or the convex portion is partially present on the surface of the color filter F as shown in FIG. in some cases, the intensity of the luminance signal Y becomes a reference signal S L or less, or the reference signal S H or significantly changed by recesses or projections. Then, the defect position detection circuit 10
Is determined to be defective, and the horizontal synchronization signal H at this time is determined.
The position of the abnormal point in the screen is obtained from the vertical synchronizing signal V and the coordinates in the color filter F are calculated from the position of the stage 1 by the computer 11 and stored.
尚、第６図の実施例において垂直方向からの照明だけ
でなく水平に近い横方向からのより強い照明を行うの
は、カラーフィルタＦの表面形状及び材質によっては、
垂直方向からの照明だけでは凹凸があっても大きな輝度
差が得られない場合があるので、より欠陥を検出し易く
するためである。また、上記以外の構成及び作用は上記
第１図の実施例と同一なのでその説明を省略する。In the embodiment of FIG. 6, not only the illumination from the vertical direction but also the stronger illumination from the horizontal direction is performed depending on the surface shape and material of the color filter F.
This is because a large luminance difference may not be obtained even if there is unevenness only by illumination in the vertical direction, so that defects can be more easily detected. In addition, the configuration and operation other than those described above are the same as those of the embodiment shown in FIG. 1, and a description thereof will be omitted.
第８図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置
のさらに他の実施例を示す構成図である。同図におい
て、第１図の実施例と同一の構成部分には同一の符号を
付して説明すると、第８図の実施例はカラーフィルタＦ
のストライプパターンの長手方向に平行な方向に水平走
査して撮影を行っている点が第１図の実施例と相違す
る。ここで、第９図（ａ）はこの実施例の撮影位置12を
示す説明図、同図（ｂ）はテレビカメラ５の走査線方向
Ｂと赤、緑、青よりなるストライプパターンFR,FG,FBの
長手方向が平行になっている場合を説明図である。FIG. 8 is a configuration diagram showing still another embodiment of the color filter surface inspection apparatus according to the present invention. 8, the same components as those in the embodiment shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. The embodiment shown in FIG.
This embodiment differs from the embodiment shown in FIG. 1 in that photographing is performed by performing horizontal scanning in a direction parallel to the longitudinal direction of the stripe pattern. Here, FIG. 9 (a) is an explanatory diagram showing the photographing position 12 of this embodiment, and FIG. 9 (b) is a scanning line direction B of the television camera 5 and stripe patterns F R , F composed of red, green and blue. G, is an explanatory diagram of the case where the longitudinal direction of F B are parallel.
そして、この第８図の実施例においては、第１図の実
施例と同様にカラーフィルタＦの撮影位置12の設定を
し、この撮影位置12をテレビカメラ５により撮影し、こ
のときの映像信号に基づく輝度信号Ｙより欠陥の有無を
判断する。ここで、第10図（ａ）乃至（ｃ）は第８図の
実施例によるカラーフィルタＦの欠陥の有無判断の仕方
を説明するためのものであり、ガラス基板13上のカラー
フィルタＦの断面形状と輝度信号Ｙの大きさを示す図で
ある。同図（ａ）乃至（ｃ）に基づいてカラーフィルタ
Ｆの欠陥の有無判断の仕方を説明すると、先ず、同図
（ａ）に示される正常な表面のカラーフィルタＦをその
ストライプパターンの長手方向に平行な水平走査方向Ｂ
（紙面に垂直な方向）に走査して得られた輝度信号Ｙの
強度は一定しており基準信号SL以下（又は基準信号SH以
上）とはならず、欠陥なしの判断をする。ところが、同
図（ｂ）に示されるようにカラーフィルタＦの表面に部
分的に凹部がある場合、又は、同図（ｃ）に示されるよ
うにカラーフィルタＦの表面に部分的に凸部がある場合
には、輝度信号Ｙの強度は凹部又は凸部で大きく変化し
て基準信号SL以下となる。尚、同図（ｂ）及び（ｃ）の
L1,L2,L3,L4は走査位置を示しており、これらの位置を
紙面に垂直方向Ｂに走査した場合の輝度信号Ｙの強度の
変化の様子がそれぞれY1,Y2,Y3,Y4で示されている。欠
陥位置検出回路10で欠陥ありの判断がなされたときの水
平同期信号Ｈと垂直同期信号Ｖとから画面内での異常箇
所の位置を求め、ステージ１位置よりカラーフィルタＦ
内での座標をコンピュータ11により計算し、記憶する。In the embodiment of FIG. 8, the photographing position 12 of the color filter F is set similarly to the embodiment of FIG. 1, and the photographing position 12 is photographed by the television camera 5, and the video signal at this time is set. The presence or absence of a defect is determined based on the luminance signal Y based on. Here, FIGS. 10 (a) to 10 (c) are for explaining the method of judging the presence or absence of a defect of the color filter F according to the embodiment of FIG. FIG. 4 is a diagram illustrating a shape and a magnitude of a luminance signal Y. The method of determining the presence or absence of a defect in the color filter F will be described with reference to FIGS. 7A to 7C. First, the color filter F having a normal surface shown in FIG. Horizontal scanning direction B parallel to
The intensity of the luminance signal Y obtained by scanning (direction perpendicular to the paper surface) is not constant to which the reference signal S L or less (or the reference signal S H above), the no defect decision. However, when the concave portion is partially present on the surface of the color filter F as shown in FIG. 3B, or the convex portion is partially present on the surface of the color filter F as shown in FIG. in some cases, the intensity of the luminance signal Y is equal to or less than the reference signal S L changes greatly with recesses or projections. It is to be noted that FIGS.
L 1 , L 2 , L 3 , and L 4 indicate scanning positions, and changes in the intensity of the luminance signal Y when these positions are scanned in the direction B perpendicular to the paper are Y 1 , Y 2 , This is indicated by Y 3 and Y 4 . The position of the abnormal part in the screen is obtained from the horizontal synchronizing signal H and the vertical synchronizing signal V when the defect position detecting circuit 10 judges that there is a defect, and the color filter F is obtained from the stage 1 position.
The coordinates within are calculated by the computer 11 and stored.
尚、上記以外の構成及び作用は上記第１図の実施例と
同一なのでその説明を省略する。The configuration and operation other than those described above are the same as those of the embodiment shown in FIG. 1, and a description thereof will be omitted.
第11図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置
のさらに他の実施例を示す構成図である。同図におい
て、第８図の実施例と同一の構成部分には同一の符号を
付して説明すると、第11図の実施例はカラーフィルタＦ
に垂直方向に光照射するための光源３の他にカラーフィ
ルタＦに斜め横方向から光照射する光源3aを備えている
点が第８図の実施例と相違する。そして、この第11図の
実施例においては、第８図の実施例と同様にカラーフィ
ルタＦの撮影位置12の設定をし、この撮影位置12をテレ
ビカメラ５により撮影し、このときの映像信号に基づく
輝度信号Ｙより欠陥の有無を判断する。FIG. 11 is a configuration diagram showing still another embodiment of the color filter surface inspection apparatus according to the present invention. 11, the same components as those of the embodiment of FIG. 8 are denoted by the same reference numerals. The embodiment of FIG.
8 is different from the embodiment of FIG. 8 in that a light source 3a for irradiating the color filter F with light obliquely from the lateral direction is provided in addition to the light source 3 for irradiating light to the vertical direction. In the embodiment of FIG. 11, the photographing position 12 of the color filter F is set in the same manner as in the embodiment of FIG. 8, and the photographing position 12 is photographed by the television camera 5, and the video signal at this time is set. The presence or absence of a defect is determined based on the luminance signal Y based on.
ここで、第12図（ａ）乃至（ｃ）は第11図の実施例に
よるカラーフィルタＦの欠陥の有無判断の仕方を説明す
るためのものであり、ガラス基板13上のカラーフィルタ
Ｆの断面形状とこのとき輝度信号Ｙの大きさを示す図で
ある。同図（ａ）乃至（ｃ）に基づいて、カラーフィル
タＦの欠陥の有無判断の仕方を説明すると、先ず、同図
（ａ）に示される正常な表面のカラーフィルタＦを水平
走査方向Ｂに走査して得られた輝度信号Ｙの強度はカラ
ーフィルタＦのストライプパターンの境界部分で僅かに
低下するが、基準信号SL以下（又は基準信号SH以上）と
はならず、欠陥なしの判断をする。ところが、同図
（ｂ）に示されるようにカラーフィルタＦの表面に部分
的に凹部がある場合、又は、同図（ｃ）に示されるよう
にカラーフィルタＦの表面に部分的に凸部がある場合に
は、輝度信号の強度は凹部又は凸部で大きく変化して基
準信号S1以下又は基準信号SH以上となる。尚、同図
（ｂ）及び（ｃ）のL5,L6,L7,L8は走査位置を示してお
り、これらの位置を紙面に垂直方向Ｂに走査した場合の
輝度信号Ｙの強度の変化の様子がそれぞれY5,Y6,Y7,Y8
で示されている。そして、欠陥位置検出回路10で欠陥あ
りの判断がなされたときの水平同期信号Ｈと垂直同期信
号Ｖとから画面内での異常箇所の位置を求め、ステージ
１位置よりカラーフィルタＦ内での座標をコンピュータ
11により計算し、記憶する。Here, FIGS. 12 (a) to 12 (c) are for explaining a method of judging the presence or absence of a defect of the color filter F according to the embodiment of FIG. It is a figure which shows a shape and the magnitude | size of the luminance signal Y at this time. The method of determining the presence or absence of a defect in the color filter F will be described with reference to FIGS. 7A to 7C. First, the color filter F having a normal surface shown in FIG. the intensity of the luminance signal Y obtained by scanning is slightly reduced at the boundary of the stripe pattern of the color filter F, the following reference signal S L (or reference signal S H above) and should not, without defect decision do. However, when the concave portion is partially present on the surface of the color filter F as shown in FIG. 3B, or the convex portion is partially present on the surface of the color filter F as shown in FIG. in some cases, the intensity of the luminance signal becomes the reference signals S 1 or less or the reference signal S H or significantly changed by recesses or projections. Incidentally, L 5, L 6, L 7, L 8 indicates the scanning position, the intensity of the luminance signal Y when these positions scanned in the direction perpendicular to the plane of the paper B of FIG. (B) and (c) Changes of Y 5 , Y 6 , Y 7 , Y 8
Indicated by Then, the position of the abnormal part in the screen is obtained from the horizontal synchronizing signal H and the vertical synchronizing signal V when the defect position detection circuit 10 judges that there is a defect, and the coordinates in the color filter F are obtained from the stage 1 position. The computer
Calculate by 11 and store.
尚、第11図の実施例において垂直方向からの照明だけ
でなく水平に近い横方向からのよい強い照明を行うの
は、カラーフィルタＦの表面形状及び材質によっては、
垂直方向からの照明だけでは凹凸がっても大きな輝度が
得られない場合があるのでより欠陥を検出し易くするた
めである。また、上記以外の構成及び作用は上記第８図
の実施例と同一なのでその説明を省略する。In the embodiment of FIG. 11, not only the illumination from the vertical direction but also the strong illumination from the horizontal direction close to the horizontal direction is performed depending on the surface shape and the material of the color filter F.
This is because a large luminance may not be obtained even if the projections and depressions are formed only by illumination in the vertical direction, so that defects can be more easily detected. Since the configuration and operation other than those described above are the same as those of the embodiment of FIG. 8, their description will be omitted.
さらに、上記実施例ではストライプパターンを有する
カラーフィルタについて説明したが上記発明はこれには
限定されない。ここで、第13図（ａ），（ｂ）は上記実
施例により検査可能なカラーフィルタＦの配色パターン
の他の例を示すものあり、同図（ａ）はモザイク配置、
同図（ｂ）はデルタ配置を示す。但し、このパターンを
検査するためには必ず水平走査線Ａがカラーフィルタの
境界に交差するので、第１図及び第６図の実施例に適用
できる。Further, in the above embodiment, the color filter having the stripe pattern has been described, but the present invention is not limited to this. 13 (a) and 13 (b) show another example of a color arrangement pattern of the color filter F which can be inspected according to the above embodiment. FIG. 13 (a) shows a mosaic arrangement,
FIG. 2B shows a delta arrangement. However, in order to inspect this pattern, since the horizontal scanning line A always crosses the boundary of the color filter, it can be applied to the embodiment of FIGS. 1 and 6.
以上説明したように、本発明のカラーフィルタの表面
検査装置では、テレビカメラにより撮影した映像信号の
輝度信号の強度変化に基づいて、カラー液晶フィルタ表
面の微少な凹凸を検出することによって、表面形状の異
常の有無を検出することができるので、従来の目視検査
では発見できなかった微少な凹凸に起因するカラーフィ
ルタの欠陥が検出可能となった。また、検査において、
人的要因を排除したので、信頼性の高い検査が可能にな
った。また、欠陥位置の検出もでき、且つ、高速処理が
可能となった。As described above, the color filter surface inspection apparatus of the present invention detects minute irregularities on the surface of a color liquid crystal filter based on a change in the intensity of a luminance signal of a video signal captured by a television camera, thereby obtaining a surface shape. Since the presence or absence of an abnormality can be detected, it is possible to detect a defect of a color filter caused by minute unevenness that could not be found by a conventional visual inspection. In the inspection,
Since human factors were eliminated, highly reliable inspection became possible. Further, a defect position can be detected, and high-speed processing can be performed.
第１図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置の
一実施例を示す構成図、 第２図は従来のカラーフィルタを備えた液晶ディスプレ
イの断面図、 第３図はTNモードにより液晶層をブラックシャッタとし
て動作させたときの液晶層の厚さ（セル間隔）とコント
ラスト比との関係を示す図、 第４図（ａ）、（ｂ）はテレビカメラの走査線方向Ａと
ストライプパターンの長手方向が垂直になっている場合
を示す説明図、 第５図（ａ）乃至（ｃ）はそれぞれカラーフィルタの断
面形状とこのとき第１図の実施例により検出された輝度
信号の大きさを示す図、 第６図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置の
他の実施例を示す構成図、 第７図（ａ）乃至（ｃ）はそれぞれカラーフィルタの断
面形状と第６図の実施例により検出された輝度信号の大
きさを示す図、 第８図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置の
さらに他の実施例を示す構成図、 第９図（ａ）、（ｂ）は撮影位置を示す説明図とテレビ
カメラ５の走査線方向Ｂとストライプパターンを説明
図、 第10図（ａ）乃至（ｃ）はそれぞれカラーフィルタの断
面形状と第６図の実施例により検出された輝度信号の大
きさを示す図、 第11図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置の
さらに他の実施例を示す構成図、 第12図（ａ）乃至（ｃ）はそれぞれカラーフィルタの断
面形状と第11図の実施例により検出された輝度信号の大
きさを示す図、 第13図（ａ）、（ｂ）は検査可能なカラーフィルタＦの
他の例を示す図である。 １……ステージ ２……ステージ駆動回路 ３……光源 ４……ハーフミラー ５……テレビカメラ ６……輝度信号分離回路 ７……基準信号発生回路 ８……コンパレータ ９……同期信号分離回路 10……欠陥座標検出回路 11……コンピュータ 12……撮影位置 A,B……水平走査方向 Ｆ……カラーフィルタ Ｙ……輝度信号 Ｈ……水平同期信号 Ｖ……垂直同期信号FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a color filter surface inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of a liquid crystal display having a conventional color filter, and FIG. 4A and 4B show the relationship between the thickness of the liquid crystal layer (cell interval) and the contrast ratio when operated as a black shutter. FIGS. 4A and 4B show the scanning line direction A of the television camera and the length of the stripe pattern. FIG. 5 (a) to FIG. 5 (c) show the cross-sectional shape of the color filter and the magnitude of the luminance signal detected by the embodiment of FIG. 1 at this time. FIG. 6 is a block diagram showing another embodiment of the color filter surface inspection apparatus according to the present invention. FIGS. 7 (a) to 7 (c) show the cross-sectional shape of the color filter and the embodiment of FIG. 6, respectively. Brightness detected by FIG. 8 is a configuration diagram showing still another embodiment of the color filter surface inspection apparatus according to the present invention, and FIGS. 9 (a) and 9 (b) are explanatory diagrams showing shooting positions. 10 (a) to 10 (c) show the scanning line direction B and the stripe pattern of the television camera 5, respectively. FIGS. FIG. 11 is a block diagram showing still another embodiment of the color filter surface inspection apparatus according to the present invention, and FIGS. 12 (a) to 12 (c) are sectional views of the color filter and FIG. 13 (a) and 13 (b) are diagrams showing another example of a color filter F which can be inspected. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Stage 2 ... Stage drive circuit 3 ... Light source 4 ... Half mirror 5 ... TV camera 6 ... Luminance signal separation circuit 7 ... Reference signal generation circuit 8 ... Comparator 9 ... Synchronization signal separation circuit 10 ... Defect coordinate detection circuit 11... Computer 12... Shooting position A, B... Horizontal scanning direction F... Color filter Y... Luminance signal H... Horizontal synchronization signal V.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関戸 睦弘 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電 気工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−111405（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−265440（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−159739（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−35305（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−144092（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−176838（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−266443（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−36544（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/88 G01B 11/30 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Inventor Mutsuhiro Sekido 1-7-12 Toranomon, Minato-ku, Tokyo Oki Electric Industry Co., Ltd. (56) References JP-A-63-111405 (JP, A) JP-A-63-265440 (JP, A) JP-A-63-159739 (JP, A) JP-A-2-35305 (JP, A) JP-A 1-144092 (JP, A) JP-A-61-176838 (JP, A) JP-A-62-266443 (JP, A) JP-A-62-36544 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G01N 21/88 G01B 11/30
Claims (5)
と、 上記光源により光照射された上記カラーフィルタの表面
を撮影し映像信号を出力するテレビカメラと、 上記カラーフィルタを載せ、上記テレビカメラで撮影さ
れる上記カラーフィルタの位置を変えるステージと、 上記ステージの動作を制御するステージ駆動手段と、 上記テレビカメラが出力する映像信号から輝度信号を分
離する輝度信号分離手段と、 上記輝度信号分離手段からの輝度信号の強度を基準信号
と比較することによってカラーフィルタの欠陥の有無を
判断するための信号を出力するコンパレータと、 上記テレビカメラが出力する映像信号から水平同期信号
と垂直同期信号とを分離する同期信号分離手段と、 上記カラーフィルタの欠陥を検出した場合に、その座標
を上記水平同期信号、上記垂直同期信号及び上記ステー
ジ上のカラーフィルタ位置に基づいて検出する欠陥座標
検出手段と を有することを特徴とするカラーフィルタの表面検査装
置。A light source for irradiating light to the surface of the color filter; a television camera for photographing the surface of the color filter illuminated by the light source and outputting a video signal; and a television camera on which the color filter is mounted. A stage that changes the position of the color filter that is photographed in; a stage driving unit that controls the operation of the stage; a luminance signal separating unit that separates a luminance signal from a video signal output by the television camera; A comparator that outputs a signal for determining the presence or absence of a color filter defect by comparing the intensity of the luminance signal from the means with a reference signal; and a horizontal synchronization signal and a vertical synchronization signal from the video signal output by the television camera. A synchronizing signal separating means for separating the color filter, and when detecting a defect of the color filter, the coordinate thereof is increased. A surface inspection apparatus for a color filter, comprising: defect coordinate detecting means for detecting based on the horizontal synchronizing signal, the vertical synchronizing signal, and the color filter position on the stage.
タの表面にほぼ垂直に光を照射する光源と、 上記光源により光照射された上記カラーフィルタの表面
を、水平走査線が上記カラーフィルタのストライプパタ
ーンを横切るように撮影し映像信号を出力するテレビカ
メラと、 上記カラーフィルタを載せ、上記テレビカメラで撮影さ
れる上記カラーフィルタの位置を変えるステージと、 上記ステージの動作を制御するステージ駆動手段と、 上記テレビカメラが出力する映像信号から輝度信号を分
離する輝度信号分離手段と、 上記輝度信号分離手段からの輝度信号の強度を基準信号
と比較することによってカラーフィルタの欠陥の有無を
判断するための信号を出力するコンパレータと、 上記テレビカメラが出力する映像信号から水平同期信号
と垂直同期信号とを分離する同期信号分離手段と、 上記カラーフィルタの欠陥を検出した場合に、その座標
を上記水平同期信号、上記垂直同期信号及び上記ステー
ジ上のカラーフィルタ位置に基づいて検出する欠陥座標
検出手段と を有することを特徴とするカラーフィルタの表面検査装
置。2. A light source for irradiating light substantially perpendicularly to a surface of a color filter comprising a stripe pattern, and a horizontal scanning line traversing the stripe pattern of the color filter on a surface of the color filter illuminated by the light source. Camera that shoots and outputs a video signal, a stage that mounts the color filter and changes the position of the color filter that is shot by the TV camera, stage driving means that controls the operation of the stage, and the television A luminance signal separating unit that separates a luminance signal from a video signal output by the camera; and a signal for determining the presence or absence of a color filter defect by comparing the intensity of the luminance signal from the luminance signal separating unit with a reference signal. And a horizontal synchronization signal from the video signal output by the TV camera. Synchronizing signal separating means for separating the color filter from the vertical synchronizing signal, and detecting a defect of the color filter based on the horizontal synchronizing signal, the vertical synchronizing signal and the position of the color filter on the stage. A surface inspection apparatus for a color filter, comprising: defect coordinate detection means.
上記カラーフィルタの表面にほぼ垂直に光を照射すると
共に、上記カラーフィルタの表面に斜め横方向から光を
照射することを特徴とする請求項２記載のカラーフィル
タの表面検査装置。3. The light source according to claim 2, wherein the light source irradiates light substantially perpendicularly to the surface of the color filter formed of a stripe pattern, and irradiates light obliquely to the surface of the color filter. A surface inspection device for a color filter as described in the above.
タの表面にほぼ垂直に光を照射する光源と、 上記光源により光照射された上記カラーフィルタの表面
を、水平走査線が上記カラーフィルタのストライプパタ
ーンと平行になるように撮影し映像信号を出力するテレ
ビカメラと、 上記カラーフィルタを載せ、上記テレビカメラで撮影さ
れる上記カラーフィルタの位置を変えるステージと、 上記ステージの動作を制御するステージ駆動手段と、 上記テレビカメラが出力する映像信号から輝度信号を分
離する輝度信号分離手段と、 上記輝度信号分離手段からの輝度信号の強度を基準信号
と比較することによってカラーフィルタの欠陥の有無を
判断するための信号を出力するコンパレータと、 上記テレビカメラが出力する映像信号から水平同期信号
と垂直同期信号とを分離する同期信号分離手段と、 上記カラーフィルタの欠陥を検出した場合に、その座標
を上記水平同期信号、上記垂直同期信号及び上記ステー
ジ上のカラーフィルタ位置に基づいて検出する欠陥座標
検出手段と を有することを特徴とするカラーフィルタの表面検査装
置。4. A light source for irradiating light substantially perpendicularly to a surface of a color filter comprising a stripe pattern, and a surface of the color filter illuminated by the light source, wherein a horizontal scanning line is parallel to the stripe pattern of the color filter. A television camera that outputs a video signal by shooting so that the color filter is mounted, a stage that changes the position of the color filter that is shot by the television camera, and a stage driving unit that controls the operation of the stage. A luminance signal separating unit that separates a luminance signal from a video signal output by the television camera, and a luminance signal separating unit that compares the intensity of the luminance signal from the luminance signal separating unit with a reference signal to determine whether a color filter is defective. A video signal output from the TV camera and a comparator for outputting a video signal. A synchronizing signal separating unit for separating a signal and a vertical synchronizing signal; and detecting a defect of the color filter based on the horizontal synchronizing signal, the vertical synchronizing signal, and the color filter position on the stage. 1. A color filter surface inspection apparatus comprising:
上記カラーフィルタの表面にほぼ垂直に光を照射すると
共に、上記カラーフィルタの表面に斜め横方向から光を
照射することを特徴とする請求項４記載のカラーフィル
タの表面検査装置。5. The light source according to claim 4, wherein the light source irradiates light substantially perpendicularly to the surface of the color filter formed of a stripe pattern and irradiates light obliquely to the surface of the color filter. A surface inspection device for a color filter as described in the above.
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