JP2936880B2 - 偏光子およびそれを用いたデジタル変調器 - Google Patents

偏光子およびそれを用いたデジタル変調器

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JP2936880B2 JP8357392A JP8357392A JP2936880B2 JP 2936880 B2 JP2936880 B2 JP 2936880B2 JP 8357392 A JP8357392 A JP 8357392A JP 8357392 A JP8357392 A JP 8357392A JP 2936880 B2 JP2936880 B2 JP 2936880B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電界制御により任意の
偏光状態の光を無変換状態と直線偏光変換状態の2態を
制御する光通信・光センサ・光演算器等に利用される偏
光子およびそれを用いた光デジタル変調器に関する。
【0002】
【従来の技術】グリッド偏光器としては、例えば図7に
示すように、絶縁基板1上にピッチdの間隔で、金属線
16を平行に設けた構造を有している。ここで、dは入
射光の波長よりも短い幅(数百nm)であり、金属線の
幅aは数nm程度である。ここで、光路8上の方向4に
進む無偏波入射光19(TE波6とTM波7からなる)
が入射した場合、入射光19は、金属線16に平行なT
E波6に対しては金属線内部の自由電子が散乱光を放出
し透過光と散乱光が干渉してその電磁波エネルギーをほ
ぼ100%流さないのに対し、金属線16に対して垂直
なTM波7に対しては金属線内部の自由電子は動けない
ため電磁波はほぼ100%透過する。このような原理か
ら、グリッド偏光器を利用することにより直線偏光23
(TM波7)を得ることができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、グリッド偏光
器通過後の光は強度の差はあるが常に直線偏光の1つの
モードであるため、容易に入射光に対して、無変換(入
射光のまま)と直線偏光変換の選択ができない。
【0004】この発明は、従来のものがもつ上記のよう
な課題を解決させ、可動部のない簡単な方法で、しかも
液晶とは異なり偏光特性変換に対して応答速度が格段に
速い偏光子を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明は、光路に対する垂直面上に屈折率に近い絶縁体
と半導体の接合面をお互いが平行になるように複数に配
置し、無電界の時は入射光の偏光特性を変化させず、電
界印加の時はMOS形トランジスタの原理と同様に、絶
縁体と半導体の接合面に反転層が生じ接合面に沿ってグ
リッド偏光器の金属線に相当する2次元良電導体が現わ
れグリッド偏光器と等価な効果をもつこと利用して、電
界の制御により偏光状態を操作すること特徴とする偏光
子である。
【0006】
【作用】上記のような偏光子を使用すると、電界の制御
のみで入射光の偏光状態を操作でき、液晶とは異なりM
OS形トランジスタの応答速度(GHz程度)で偏光状
態の制御ができる。
【0007】
【実施例】(実施例1) 以下、具体例について詳細に述べる。図1に本偏光子の
第1の実施例の概要図を示し、図2(a)、(b)、
(c)にその原理説明図を示す。絶縁体基板1、例えば
SiO2基板の表面近傍にストライプ状のp形半導体部
分2を絶縁基板上に形成する。具体的なプロセスとし
ては、サファイヤ(Al23)基板上に真性Si半導体
層を形成し、ストライプ上にp形半導体形成し、残り
を熱酸化等により絶縁体SiO2を形成する。絶縁体基
(サファイヤとSiO2をまとめての呼び方)表
上の絶縁体基板1の面とp形半導体2の面は、必ずしも
揃っている必要はない。ただし、絶縁体基板1とp形半
導体2の接合面3’はお互いが平行になるように構成
し、p形半導体2の幅ds(図中番号10)は数百n
m、絶縁体基板1の幅di(図中番号9)はdi<<d
sとして、p形半導体幅dsと絶縁体幅diの合計(d
i+ds)が従来例に示したグリッド偏光器の金属線ピ
ッチd(18)と同程度になるようにする。また、絶縁
基板1の屈折率とp形半導体2の屈折率は同程度が望
ましいが、di<<dsの状態で偏光状態だけを問題に
するのであれば必ずしも同程度にする必要もない。配置
については、方向4に沿って進む任意の偏光状態(無偏
光状態)の光19の光路8上に消光する直線偏光成分方
向に対して前記絶縁体基板1とp形半導体2の接合面
3’が平行になるようにし、前記接合面3’に対して垂
直に各接合面3’において絶縁体基板1側がp形半導体
2よりも高電位になるように外部電界を加える。この外
部電界は、絶縁体基板1の両端に電極を設けるなどし、
外部から制御可能なものとする。
【0008】次に、本実施例の原理を図2を使って説明
する。図2(a)は上記で説明した偏光子を接合面3’
に垂直(電界5に平行)に切った場合の垂直断面図およ
び接合面3’近傍の拡大図である。p形半導体2は絶縁
体基板1内に接合面3’が絶縁体基板1にほぼ垂直にな
るように形成される。このような構造では、電子の振舞
いは、MOS形トランジスタのゲート下の絶縁体とp形
半導体の接合面でのそれと同様になる。すなわち、電界
5が零の場合、接合面3’近傍のバンド状態は図2
(b)に示す通り、p形半導体2のバンドギャプの中
線13はフェルミ準位14よりもエネルギーレベルが高
く接合面3’近傍には電荷は現われない。しかし、各接
合面3’近傍において絶縁体基板1がp形半導体2より
も高電位側になるように電界を加えると、接合面3’近
傍のバンド状態は図2(c)に示す通り、p形半導体2
のバンドギャプの中線13は電界方向5と逆方向に傾
き、空乏層11’が生じる反面接合面3’に近い所では
フェルミ準位14よりもエネルギーレベルが低くなり反
転層11ができ接合面3’近傍には電子層が接合面3’
に沿って現われる。一方、入射波19は、電気双極子に
よる平面電磁波が接合面3’に平行に垂直入射するTE
波6と前記電気双極子と同じ方向に振動する磁気双極子
による垂直入射のTM波7の合成と考えることができ
る。この入射光19が本第1の実施例の偏光子に垂直入
射した場合、無電界の場合は偏光子は全く絶縁体と同様
にTE波6およびTM波7の両者に対して相互作用する
電気双極子および磁気双極子を持たないため、入射波1
9は偏光状態を変えずそのまま素通りする。それに対
し、電界を印加した場合は反転層3に生じた電子は従来
例のグリッド偏光子の金属線16内の自由電子と同様に
振舞い、TE波6はほぼ100%透過できないのに対し
TM波7波ほぼ100%透過する。このように、電界の
有無によって入射光19の偏光特性が簡単に制御でき
る。
【0009】(実施例2)次に、第1の実施例に示した
構造・原理を用いた偏光子の応用例を述べる。従って、
基本的な構造および原理は第1の実施例と同様なので、
以下の説明では、異なる部分だけを説明することとす
る。
【0010】まず、電界印加方法を検討した偏光子の第
2の実施例を説明する。その概要図を図3に示す。各接
合面3’に対し同一の電界5で対応した第1実施例とは
異なり、ここでは図3に示すように各p形半導体2に電
極を設け各p形半導体2をコンデンサ21等の静電容量
を介して接続し、両端のコンデンサの両端に電位方向に
注意して直列接続のスイッチ21’’と電源21’をつ
なぐ。ただし、最も高電位のp形半導体に対しては、そ
れが入射光19のおよぶ範囲であれば、更に高電位側に
電極板20を設けそれを端としてコンデンサ21を接続
し、入射光19のおよぶ範囲外の時は、電極板20の必
要性はない。このような構成で、スイッチ21’’が常
にON状態であれば、出射光23の偏光状態は第1実施
例と同様、電源21’がOFFでは無変換で、ONでは
直線偏光となる。次に、最初スイッチ21’’と電源2
1’がON状態で、少なくともスイッチ21’’の1つ
をOFFにすると各コンデンサ21は電位差を保持した
状態を保つため、電源をOFFにした状態でも偏光特性
を保持する。また、偏光子を無変換状態に戻すには、ス
イッチ21’’をONにする等コンデンサ21の電荷を
消電あるいは放電すればよい。このように、電位保持機
構を設けると、偏光状態を記憶でき、メモリとしても利
用できる。
【0011】その他、接合面3’に電界を印加する方法
としては、各接合面3’の両側の絶縁体1とp形半導体
2に電極を設けそれに電圧を加える方法もある。
【0012】(実施例3)次に、本発明の偏光子を複数
使用する例として、本発明の偏光子を2個、縦列した偏
光子について図4の概要図を使用して説明する。図4に
示すように第1実施例の偏光子を2個各々消光する直線
偏光方向が垂直になるように配置した場合、1個の偏光
子のON(電界印加状態)とOFF(無電界状態)によ
り2種類の偏光状態の制御ができるのに対し、2個の偏
光子のONとOFFの組合せにより、出射光23として
無変換状態、2種類の直線偏光状態、消光状態(出射光
無し状態)の4種類の偏光状態を制御することができ
る。
【0013】なお、複数の偏光子の消光する直線偏光方
向を同一にすると、偏光子の消光比が向上し、良質の偏
光特性が得られる。
【0014】また、本発明の偏光子を複数使用する構
しては、図5の第4実施例と図6第5実施例の2例
を示す。
【0015】(実施例4)第4実施例は、図5に示すよ
うに、同一絶縁体基板1の両面に第一実施例と同様のp
形半導体2を形成する例で、複数の偏光子の一体化ある
いは部品点数の低減を狙ったものである。各面に形成す
るp形半導体2のパターンは、消光する直線偏光方向が
垂直の場合と同一の場合がある。また、この偏光子を複
数使用することも可能である。
【0016】(実施例5)第5実施例は、図6に示すよ
うに格子状にp形半導体2を形成し、同一p形半導体に
おいて少なくとも2つの接合面がお互いに直交し、各接
合面が同一方向に向く構造で、お互いに垂直な方向の電
界により接合面に沿ったL字形の反転層ができ、これは
絶縁体基板1の片面で実質的に第三実施例の偏光子と同
じ効果を提供する。更に、この偏光子を第3実施例のよ
うに複数使用したり、第4実施例に示すように絶縁体基
板1の両面に第1実施例の格子状のp形半導体を形成す
ることもできる。
【0017】以上は、絶縁体基板表面にp形半導体を形
成する方法を示したが、板状絶縁体と板状p形半導体を
平行に積層して各接合面に電界を加えても同じ効果が得
られる。
【0018】また、上記のp形半導体をn形半導体に置
き換えて加える電界の方向をp形半導体の場合とは正反
対にしても同様の効果が得られる。
【0019】なお、印加する電界は、各接合面において
必ずしも等しくする必要もなく、各接合面別に電界を個
別に制御することも可能である。また、電界そのものに
ついては、それを信号として使い、電気信号を光量信号
あるいは、偏光状態に変換する変調器としても応用でき
る。
【0020】(実施例6)次に上記の本発明の偏光子を
用いて、デジタル信号を作る光デジタル変調器を構成し
た実施例を示す。
【0021】光を使ってデジタル信号をつくる方法とし
ては、図11のように入射光19の光路8上に進行方向
4に向かって順番に偏光特性不変偏光子1120(以下
静的偏光子と呼ぶ)、上記実施例1に示した本発明の偏
光子801(以下動的偏光子と呼ぶ)、光検出器821
を配置したものが考えられる。ただし、静的偏光子11
20と動的偏光子801の消光可能な直線偏光成分方向
は独立(直交)である。ここで、無偏波入射光19(静
的偏光子1120が消光する偏光成分と動的偏光子80
1が消光する偏光成分により構成)は静的偏光子112
0により直線偏光に変わり、動的偏光子801において
外部の制御に応じて前記直線偏光が消光するか消光しな
いかの2種類の信号(例えば2進法と同様に前者を0、
後者を1とするなど)に変換され、最終的にその光は光
検出器821において検出される。
【0022】以上本実施例によれば、単数の入射光から
無駄なく複数ビットのデジタル信号を作ることができ、
集積度も飛躍的に上げることができる。
【0023】(実施例7)図8に本デジタル変調器の第
7の実施例の概要図を示し、図9にそのビットパターン
を示す。上記の本発明の動的偏光子を2枚、その消光可
能な偏光方向が互いに垂直となるように縦列し、入射側
から動的偏光子801、動的偏光子802とする。そし
て、その後ろに動的偏光子801の消光可能な偏光方向
7’が異常光方向、動的偏光子802の消光可能な偏光
方向7が常光方向となるように複屈折材料803(例え
ばルチル等)を配置し、最後に分離された異常光809
を検知する部分811と常光810を検知する部分81
2を有する検知器813(例えばPinフォトダイオー
ドなどO/E変換機能を有するもの)を設ける。ここ
で、無偏波入射光19を入射すると、異常光成分7’は
動的偏光子801によりその消光比を制御され、一方常
光成分7は動的偏光子802によりその消光比を制御さ
れる。例えば、図8の様に動的偏光子801がON状態
(電界5によりグリッド偏光子を同じの効果を表わす)
で、動的偏光子802がOFF状態(外部制御の電界が
零のため絶縁体816とp形半導体815の接合面に反
転層ができずグリッド偏光子の効果を表わさない)だ
と、常光成分7は消光されず、一方異常光成分7’は動
的偏光子801で消光され、結局複屈折材料803に入
射するのは常光成分810のみとなる。この場合、異常
光検知部分811は図8に黒く塗った様に光は届かず、
常光検知部分812には光が届くため検知器813に検
知されるのは常光成分7だけである。ここで、例えば光
が届いた場合を1、届かない場合を0とすると、常光成
分1、異常光成分0の2進法2ビットのデジタル信号と
なり、偏光状態を区別することにより各偏光成分で一つ
のデジタル信号、すなわち偏光成分の数だけのビット数
のデジタル信号が単数の入射光で作ることができる。た
だし、動的偏光子は、外部からの制御でその偏光子とし
ての消光比を制御できるものならば任意のものでよい。
また、常光、異常光として相異なる偏光成分を分離する
複屈折材料803は、常光、異常光の関係に拘らず前記
相異なる偏光成分を分離できるものであれば任意のもの
でよく、例えばビームスプリッターも利用可能である。
ただし、ビームスプリッターの場合は分離方向に注意す
る必要がある。光検知器813は、異常光検知部分81
1と常光検知部分812の2つのO/E変換部を有して
いるが、これを一つの異常光と常光の共有O/E変換部
に置き換えて異常光と常光に重みを付けて和をとって4
値の値を区別して4進1ビットのようにする事もでき
る。例えば、前記重みをO/E変換部の位置の関数と
し、前記常光と異常光の共有O/E変換部の位置を例え
ば常光を検知した場合と異常光を検知した場合の強度を
それぞれ2と1にすれば、O/E変換部は0,1,2,
3の4値を出力する。
【0024】なお、各偏光成分の有無を検知する方法と
しては、上記の様にO/E変換部で電気信号に変換する
必要はなく、複屈折材料803以後は光のままの状態で
光演算等に利用することもできる。
【0025】次に図8の2進法2ビットデジタル変調器
のビットパッターンを図9を使って説明する。動的偏光
子801の動作状態を2ビットの上位ビット、動的偏光
子802の動作状態を下位ビットとし、ON状態(電界
によりグリッド偏光子の効果を表わす)を1で、OFF
状態(グリッド偏光子の効果を表わさない)を0で表わ
すと、各動的偏光子の電界の有無により図9に示す4種
類のビットパターンが得られる。ただし、動的偏光子の
ON状態は、ビットパターンの0に、OFF状態はビッ
トパターンの1に対応している。なお、以上は異常光成
分と常光成分のデジタル信号の順列でビットパターンを
表わしたが、前記デジタル信号の組合せでビットパター
ンを作ることもできる。組合せの場合は、ちょうど順列
の場合のビットパターンの1と0の和をとる場合と同等
で、この場合は、図9の(2)と(3)は同値となり3
進法1ビットすなわち0、1、2の3値をとる。
【0026】(実施例8)今度は、図10に本デジタル
変調器の第8の実施例の概要図を示し、単数の入射光で
より多くのデジタル信号を作る例を説明する。図10
は、ちょうど第7の実施例の2進2ビットのデジタル変
調器を4個入射光に対して並列に並べた構成で、複屈折
材料803は各2進2ビットのデジタル変調器について
共通である。ただし、図10に示した動的偏光子は上記
の実施例を使い、本デジタル変調器の第7実施例の動的
偏光子801と動的偏光子802を一体化したものであ
る。いま、入射光を平行光と考えると、入射光は4つの
動的偏光子対に対して各々に無偏波を入射した場合と同
等に扱ってもよく、各デジタル変調器内部での光の振舞
いは、第7実施例に説明した場合と等価である。以下、
第7実施例と同様にビットパターンを読むと、図9の場
合は(0,0)、(0,1)、(1,0)、(1,1)
の2進法8ビットのデジタル信号が得られる。ただし、
各動的偏光子のON/OFF状態は、図9で黒く塗った
筋が反転層でON状態を表わし、逆に黒く塗っていない
ものはOFF状態を示す。この場合も、デジタル信号の
組合せで考えると、3進法4ビットの12値となる。な
お、O/E変換部で電気信号に変換せず、複屈折材料8
03以後は光のままの状態で光演算等に利用すると、8
ビット光演算器も実現できる。このように、複数の2進
法2ビットのデジタル変調器を並列に並べることによ
り、多ビット光デジタル変調器あるいは多ビット光演算
器が容易にできる。
【0027】以上ように、本実施例によれば、単数の入
力光で複数のデジタル信号を作ることができ、光を使っ
たデジタル変調器の集積度を飛躍的に上げることができ
る。
【0028】
【発明の効果】以上ように、本発明は、電界の制御のみ
で入射光の偏光状態を操作でき、MOS形トランジスタ
の応答速度と同等の速度で偏光状態の制御ができる。
【0029】また、単数の入力光で複数のデジタル信号
を作ることができ、光を使ったデジタル変調器の集積度
を飛躍的に上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例における偏光子の概要図
【図2】本発明の第1の実施例における偏光子の原理説
明図
【図3】本発明の第2の実施例における偏光子の概要図
【図4】本発明の第3の実施例における偏光子の概要図
【図5】本発明の第4の実施例における偏光子の概要図
【図6】本発明の第5の実施例における偏光子の概要図
【図7】従来の偏光子の一例であるグリッド偏光器の概
要図
【図8】本発明の第7の実施例におけるデジタル変調器
の概要図
【図9】本発明の第7の実施例におけるデジタル変調器
のビットパターン
【図10】本発明の第8の実施例におけるデジタル変調
器の概要図
【図11】本発明の第6の実施例におけるデジタル変調
器の概要図
【符号の説明】
1 絶縁体基板 2 p形半導体 3 良導体部分(反転層) 4 光の進行方向 5 電界方向(TM波方向) 5’ 電界方向(常光消光偏光子用) 6 TE波 7 TM波 8 光路 9 絶縁体幅 10 p形半導体幅 11 良導体部分(反転層)の幅 11’ 空乏層 12 伝導帯 13 バンドギャップの中線 14 フェルミ準位 15 価電子帯 16 金属線 17 金属線幅 18 金属線間隔 19 入射光(無偏光状態:TE波+TM波) 20 平板電極 21 コンデンサ(静電容量) 21’ 電源(電圧発生器、電圧保持器) 21’’ スイッチ 22 電界方向(TE波方向) 23 出射光 24 TE波消光用偏光子 25 TM波消光用偏光子 26 偏光子入射側 27 偏光子出射側 801 動的偏光子(異常光消光用) 802 動的偏光子(常光消光用) 803 複屈折材料 809 異常光光路 810 常光光路 811 異常光検出器 812 常光検出器 813 光検出器 814 反転層 815 p形半導体 816 絶縁体部分 817 両面直交偏光子 818 共有複屈折材料 819 入射光 820 静的偏光子 821 光検出器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/015 JICSTファイル(JOIS)

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】絶縁体基板と、前記絶縁体基板の表面にあ
    って光の透過方向に対して垂直方向にストライプ状に形
    成された複数の半導体層と、前記半導体層に電圧を印加
    する電圧印加手段とを備えた事を特徴とする偏光子。
  2. 【請求項2】絶縁体基板上の光の透過方向に対して垂直
    な面に複数の半導体層をストライプ状に形成し、前記複
    数の半導体層に電圧を印加して前記複数の半導体層と前
    記絶縁体基板との接合面に自由電子移動領域を構成し、
    前記複数の半導体層に印加する電圧を制御して偏光特性
    を制御する偏光子。
  3. 【請求項3】半導体層に印加する電圧を、前記半導体層
    に印加する電界の制御により制御する事を特徴とする請
    求項1または2記載の偏光子。
  4. 【請求項4】半導体層に電極を設け、前記電極に電圧を
    印加する事を特徴とする請求項1または2記載の偏光
    子。
  5. 【請求項5】絶縁体基板と複数の半導体層の各接合面に
    加わっている電位差を保持するコンデンサーを具備し、
    状態を記憶する事を特徴とする請求項記載の偏光
    子。
  6. 【請求項6】基板の裏表に複数の半導体層を形成
    した事を特徴とする請求項1からのいれかに記載の
    偏光子。
  7. 【請求項7】光の進行方向に対して請求項1から6のい
    ずれかに記載の偏光子を複数縦列に配置する事を特徴と
    る偏光子。
  8. 【請求項8】絶縁体基板上に四角形の半導体層を複数個
    形成し、それぞれの前記四角形の各辺がそれぞれ平行に
    なるように構成し、前記複数の半導体層に電圧を印加し
    て、前記複数の半導体層と前記絶縁体基板との接合面に
    自由電子移動領域を構成し、前記複数の半導体層に印加
    する電圧を制御して、偏光特性を制御する偏光子。
  9. 【請求項9】互いに直交する電界を加えることにより2
    種類の直線偏光成分方向各々に対して偏特性をそれぞ
    れ制御する請求項記載の偏光子。
  10. 【請求項10】請求項に記載の偏子を用い、半導体
    層に印加する電界を信号として使用することにより、電
    気信号を光の偏光状態に変換して伝送する事を特徴とす
    る光変調器。
  11. 【請求項11】請求項1から9のいずれかに記載の偏光
    子と、光の到来方向側からみて前記偏光子の後方に設置
    され、前記偏光子により偏光された光を空間分離する空
    間分離手段と、前記空間分離手段の後方に設置され、前
    記空間分離された偏光成分の有無を検知する検知器を具
    備し、電気信号から光デジタル信号を作ることを特徴と
    する光デジタル変調器。
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