JP2933116B2 - Cleaning container for disc-shaped articles and mounting jig thereof - Google Patents

Cleaning container for disc-shaped articles and mounting jig thereof

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JP2933116B2
JP2933116B2 JP16579594A JP16579594A JP2933116B2 JP 2933116 B2 JP2933116 B2 JP 2933116B2 JP 16579594 A JP16579594 A JP 16579594A JP 16579594 A JP16579594 A JP 16579594A JP 2933116 B2 JP2933116 B2 JP 2933116B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、洗浄装置におけるデ
ィスク状物品の洗浄用容器と、この容器用の載置治具に
かかり、特に、洗浄槽内において超音波洗浄等を行う場
合に用いられる洗浄用容器であって、ハードディスク等
の超音波洗浄等に適した洗浄用容器と載置治具に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a container for cleaning a disk-shaped article in a cleaning apparatus and a mounting jig for the container, and is used particularly when ultrasonic cleaning is performed in a cleaning tank. The present invention relates to a cleaning container and a mounting jig suitable for ultrasonic cleaning of a hard disk or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハードディスク等の物品の洗浄に際して
は洗浄溶剤を物品の周りで十分に流動させることが不可
欠であるが、また、洗浄時間等の制約からハードディス
ク等の物品を個別に洗浄することも不可能である。この
ため、ハードディスク等の洗浄に際しては、通常、搬入
コンベア等により搬送容器に収納された状態で搬入され
る物品を洗浄用容器に移し替え、この洗浄用容器をトロ
リコンベア等で吊り下げて洗浄槽内を通過させ、洗浄槽
内において洗浄用容器に収容された状態で物品を洗浄す
る。この後、洗浄槽から出た洗浄用容器から洗浄済の物
品を搬出コンベア上の搬送容器に移し替え、次の工程等
に搬送している。
2. Description of the Related Art When washing articles such as hard disks, it is essential to allow a cleaning solvent to flow sufficiently around the articles. However, it is also necessary to wash articles such as hard disks individually due to restrictions on washing time and the like. Impossible. For this reason, when cleaning a hard disk or the like, an article carried in a state of being stored in a transport container by a carry-in conveyor or the like is usually transferred to a cleaning container, and the cleaning container is suspended by a trolley conveyor or the like. Then, the articles are washed while being housed in a washing container in the washing tank. Thereafter, the cleaned articles are transferred from the cleaning container that has come out of the cleaning tank to a transport container on a carry-out conveyor, and transported to the next step or the like.

【0003】従来、上述した洗浄用容器としては金網等
から構成したバケット状の容器が用いられ、そして、搬
入コンベアで搬入される搬送容器内の物品は作業者が手
作業でバケット状の容器に移し替えて洗浄槽内に送り出
し、また、洗浄槽から送り出される容器内の物品は作業
者が手作業で搬出コンベア上の搬送容器に移し替えてい
た。
Conventionally, a bucket-shaped container made of wire mesh or the like has been used as the above-mentioned cleaning container, and the articles in the transport container carried in by the carry-in conveyor are manually transferred to the bucket-shaped container by an operator. Workers manually transfer the articles in the containers that are transferred and sent out into the washing tank, and are sent out of the washing tanks to the transfer containers on the carry-out conveyor.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の洗浄用容器にあっては、ハードディスク等のデ
ィスク状の物品を洗浄する場合、収容できる物品の数が
少なく、効率的に洗浄できないという問題があった。す
なわち、容器に物品を収容する場合は物品の全面を確実
に洗浄するため物品を重なり合わないように収容しなけ
ればならないが、ハードディスク等の物品の形状がディ
スク状で、また、容器がバケット状であるため収容でき
る物品の数が限られ、多数の物品を効率的に洗浄するこ
とができない。
However, the conventional cleaning container described above has a problem that when cleaning disk-shaped articles such as hard disks, the number of articles that can be accommodated is small and cleaning cannot be performed efficiently. was there. In other words, when articles are stored in a container, they must be stored so that they do not overlap in order to ensure that the entire surface of the article is washed.However, the shape of an article such as a hard disk is a disk, and the container is a bucket. Therefore, the number of articles that can be stored is limited, and many articles cannot be efficiently cleaned.

【0005】また、上述した洗浄装置にあっては、搬入
コンベアで搬入される搬送用容器内の物品を作業者が手
作業で洗浄用容器に移し替えなければならないため、洗
浄に要する工数が大きく、作業者の作業負担も大きいと
いう問題があった。この発明は、上記問題に鑑みてなさ
れたもので、多くのディスク状物品を収容して効率的に
洗浄することができる洗浄用容器、また、搬送用容器か
ら洗浄用容器への物品の移し替えを作業者によること無
く自動的に行える洗浄装置を提供することを目的とす
る。
Further, in the above-described cleaning apparatus, since the operator must manually transfer the articles in the transport container carried in by the carry-in conveyor to the cleaning container, the number of steps required for cleaning is large. However, there is a problem that the work load of the worker is large. The present invention has been made in view of the above problems, and has a cleaning container capable of accommodating a large number of disk-shaped articles for efficient cleaning, and a transfer of an article from a transport container to a cleaning container. It is an object of the present invention to provide a cleaning device that can automatically perform the cleaning without an operator.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、複数のディスク状物品を収
容して洗浄槽内を搬送される洗浄用容器であって、一対
の側板と、これら側板間に所定間隔を隔て平行に架設さ
れた少なくとも2本の下部保持棒および中央部保持棒
と、前記一対の側板間に前記中央部保持棒の上方位置で
該各保持棒と平行に該中央部保持棒の内側位置と外側位
置との間を前記ディスク状物品の径寸法に対応した距離
を斜め上下方向に平行移動可能に架設された上部保持棒
とを備え、前記各保持棒にそれぞれ前記ディスク状物品
の外周部が遊合可能な複数の溝を長手方向に同一の間隔
で形成した。
According to one aspect of the present invention, there is provided a cleaning container for accommodating a plurality of disk-shaped articles and transported in a cleaning tank, comprising a pair of side plates. And at least two lower holding rods and a central holding rod erected in parallel at predetermined intervals between these side plates, and between the pair of side plates, at a position above the central holding rod and in parallel with each of the holding rods. An upper holding rod erected so as to be able to move parallel to a distance corresponding to the diameter of the disc-shaped article in an oblique vertical direction between an inner position and an outer position of the central holding rod, Each of the plurality of grooves was formed at the same interval in the longitudinal direction so that the outer peripheral portion of the disk-shaped article could be loosely fitted.

【0007】そして、請求項2記載の発明の洗浄用容器
は、前記下部保持棒を左右2本とし、前記中央部保持棒
を左右および中央の3本とし、前記上部保持棒の両端を
ガイド部当接案内部とするとともに、一対の側板の上方
部外方に掛止ピンを突設するとともに、該側板下方部を
連結棒で定着して構成される。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a cleaning container, wherein the lower holding rod has two right and left, the central holding rod has three right, left and center, and both ends of the upper holding rod are guide portions. with the contact guide portion, while projecting the locking pin upward outer side of the pair of side plates, constructed by fixing the side plate lower portion by a connecting rod.

【0008】また、請求項3記載の発明は、前記下部保
持棒および前記上部保持棒の溝を断面略逆台形状で、底
面に前記ディスク状物品の外周縁が遊合可能な凹部を有
するように成形して構成される。
According to a third aspect of the present invention, the grooves of the lower holding bar and the upper holding bar have a substantially inverted trapezoidal cross section, and the bottom surface has a recess in which the outer peripheral edge of the disk-shaped article can fit. Formed.

【0009】そして、請求項4記載の発明は、前記洗浄
用容器にディスク状物品の収容、取出に際して該洗浄用
容器を載置するための載置治具であって、基板上に、前
記洗浄用容器の連結棒の位置決めブロックを設けるとと
もに、前記上部保持ガイド部当接案内部をガイドす
ガイド板を設けた。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a mounting jig for mounting the cleaning container when accommodating and removing the disk-shaped article from the cleaning container, the cleaning jig being provided on a substrate. In addition to providing a positioning block for the connecting rod of the container for use, a guide plate for guiding the guide contacting guide of the upper holding rod was provided.

【0010】[0010]

【作用】請求項1および請求項2記載の発明にかかる洗
浄用容器によれば、ディスク状の物品を上部保持棒およ
び下部保持棒の溝に外周部を遊合させて起立状態で一定
の間隔を隔てて収納できるため多数のディスク状物品を
互いが接触することが無く、また、これらディスク状物
品は上部保持棒により上方から押さえられるため脱落が
防止でき安定的に収容できる。そして、物品を収容する
場合や物品を取り出す場合には、上部保持棒を平行移動
させることで物品の収容や取出が上部保持棒と干渉する
こと無く容易に行える。
According to the cleaning container according to the first and second aspects of the present invention, the disk-shaped article is fitted with the outer peripheral portion in the grooves of the upper holding rod and the lower holding rod, and is fixed at a constant interval in an upright state. The disk-shaped articles can be stowed apart from each other, so that many disk-shaped articles do not come into contact with each other. Further, since these disk-shaped articles are pressed from above by the upper holding rod, they can be prevented from falling off and stably stored. Then, when the articles are stored or the articles are taken out, the upper holding rod is moved in parallel, so that the articles can be easily stored or removed without interfering with the upper holding rod.

【0011】そして、請求項3記載の発明にかかる洗浄
用容器によれば、溝が断面略逆台形状で底部に凹部を有
するため、ディスク状物品を収容する際にはディスク状
物品の外周周縁部を断面逆台形状の溝の側面を滑らせて
底面の凹部に遊合させることができ、ディスク状物品を
確実に収容することができる。
In the cleaning container according to the third aspect of the present invention, the groove has a substantially inverted trapezoidal cross section and a concave portion at the bottom. The portion can slide on the side surface of the groove having the inverted trapezoidal cross section to fit into the concave portion on the bottom surface, so that the disk-shaped article can be securely accommodated.

【0012】また、請求項4記載の発明にかかる載置治
具によれば、洗浄用容器にディスク状の物品を受け部材
上に載置して上部が上部保持により押さえられた状態
で収納できるため、ディスク状物品を洗浄用容器に安定
した状態で収納できる。そして、洗浄用容器が載置され
と、洗浄用容器は上部保持(当接案内部)が載置治具
ガイド板と係合して受け部材上方から離脱するように
平行移動するため、洗浄用容器へのディスク状物品の収
容や取出もディスク状物品が上部保持と干渉すること
無く容易に行える。また、前記洗浄用容器の位置決め用
位置決めブロックが設けられているため、載置治具に
対する洗浄用容器の変位が規制され、載置治具上に洗浄
用容器を安定して載置でき、ディスク状物品の収納や取
出が確実かつ容易に行える。
Further, according to the mounting jig according to the fourth aspect of the present invention, the disk-shaped article is mounted on the receiving member in the cleaning container and stored in a state where the upper portion is pressed by the upper holding rod. Therefore, the disk-shaped article can be stably stored in the cleaning container. Then, when the washing container is placed, the washing container moves in parallel so that the upper holding rod (contact guide portion) engages with the guide plate of the placing jig and separates from above the receiving member. The storage and removal of the disc-shaped article from the washing container can be easily performed without the disc-shaped article interfering with the upper holding rod . Further, since the positioning block for positioning the cleaning container is provided, the displacement of the cleaning container with respect to the mounting jig is regulated, and the cleaning container can be stably mounted on the mounting jig, Storage and removal of the disk-shaped article can be performed reliably and easily.

【0013】[0013]

【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図1から図13はこの発明の一実施例にかかる
洗浄用容器と洗浄装置を表し、図1が洗浄装置の模式全
体平面図、図2が搬送用容器とロボットハンドとを示す
斜視図、図3がロボットハンドの側面図、図4が同ロボ
ットハンドの横断面図、図5が同ロボットハンドの一部
拡大側面図、図6が載置治具の正面図、図7が同載置治
具の平面図、図8が同載置治具の側面図、図9が洗浄用
容器の正面図、図10が同洗浄用容器の一部を断面した
側面図、図11が同洗浄用容器の平面図、図12が同洗
浄用容器の一部拡大平面図、図13が作用説明図であ
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 13 show a cleaning container and a cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a schematic overall plan view of the cleaning apparatus, and FIG. 2 is a perspective view showing a transfer container and a robot hand. 3 is a side view of the robot hand, FIG. 4 is a cross-sectional view of the robot hand, FIG. 5 is a partially enlarged side view of the robot hand, FIG. 6 is a front view of a mounting jig, and FIG. 8 is a side view of the mounting jig, FIG. 9 is a front view of the cleaning container, FIG. 10 is a side view of a part of the cleaning container, and FIG. 11 is the cleaning container. 12 is a partially enlarged plan view of the washing container, and FIG. 13 is an operation explanatory view.

【0014】図1において、10は超音波式の洗浄槽で
あり、洗浄槽10は、特開平1−304089号公報等
に周知の構成を有し、内部に洗浄溶剤が貯留されてい
る。図示および詳細な説明は割愛するが、この洗浄槽1
0には内部に被洗浄物入口と出口との間でチェーンコン
ベア19が延設され、このチェーンコンベア19がフッ
クに被洗浄物であるハードディスク(本発明のディスク
状物品に相当)Dが収容された洗浄用容器20を吊り下
げて洗浄槽10内部を入口から出口に向かって搬送す
る。そして、このチェーンコンベア19により搬送され
る洗浄用容器20内のハードディスクDは洗浄槽10内
を搬送される間に洗浄溶剤中に浸漬されて洗浄される。
なお、周知のように、ハードディスクDは円板状をな
し、中央に内孔Daが形成される。
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes an ultrasonic cleaning tank. The cleaning tank 10 has a well-known structure in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-304089 and the like, and contains a cleaning solvent therein. Although illustration and detailed description are omitted, this cleaning tank 1
0, a chain conveyor 19 is internally provided between the inlet and outlet of the object to be washed, and the chain conveyor 19 has a hook on the hard disk (the disk of the present invention ) which is the object to be washed.
The washing container 20 containing D is suspended and the inside of the washing tank 10 is transported from the inlet to the outlet. The hard disk D in the cleaning container 20 conveyed by the chain conveyor 19 is immersed in a cleaning solvent and cleaned while being conveyed in the cleaning tank 10.
As is well known, the hard disk D has a disk shape and has an inner hole Da at the center.

【0015】洗浄用容器20は、図9から図12に示す
ように、複数のハードディスクDを同芯状に2列に配列
して収容する。この洗浄用容器20は、略W形状の一対
の側板21L,21R間に2本の連結ロッド22a,2
2b、3本の中央部保持ロッド23a,23b,23c
および2本の下部保持ロッド29a,29bを架設し、
また、側板21L,21R間に各下部保持ロッド29
a,29bの上方で上部保持ロッド24a,24bを橋
架して構成される。なお、この洗浄用容器20の側板2
1L,21R、連結ロッド22a,22b、中央部保持
ロッド23a,23b,23cおよび下部保持ロッド2
9a,29b等は同一の構成であるため、以下の説明で
は、必要に応じて添字の無い番号で代表し、また、各部
品の対応する部分に同一の符号を付して説明する。
As shown in FIGS. 9 to 12, the cleaning container 20 contains a plurality of hard disks D arranged in two rows concentrically. The cleaning container 20 includes two connecting rods 22a, 22 between a pair of substantially W-shaped side plates 21L, 21R.
2b, three central holding rods 23a, 23b, 23c
And two lower holding rods 29a and 29b are erected,
Each lower holding rod 29 is located between the side plates 21L and 21R.
The upper holding rods 24a and 24b are bridged over the upper parts a and 29b. The side plate 2 of the cleaning container 20
1L, 21R, connecting rods 22a, 22b, central holding rods 23a, 23b, 23c and lower holding rod 2
Since 9a, 29b, etc. have the same configuration, in the following description, they will be represented by numbers without suffixes as necessary, and corresponding parts of respective parts will be denoted by the same reference numerals.

【0016】側板21には、上方に向かって開口し底部
(下部)両側に半円状の凸部21cで区画される半円状
の一対の凹部21bを有する切欠21aが中央に、この
切欠21aの両側に長穴21dが形成され、また、上部
両側にそれぞれ掛止ピン25がネジにより固設されてい
る。上述した凹部21bは収容されるハードディスクD
と同芯に位置するように形成され、また、長穴21dは
凹部21bの中心を指向して収容されるハードディスク
Dの外径に等しい位置まで延在し、掛止ピン25は上述
したチェーンコンベア19のフックに引掛可能に設けら
れる。
The side plate 21 has a notch 21a having a pair of semicircular concave portions 21b which are open upward and are divided by semicircular convex portions 21c on both sides of the bottom (lower). 21d are formed on both sides, and locking pins 25 are fixedly provided on both upper sides by screws. The above-mentioned concave portion 21b is used for storing the hard disk D
The elongated hole 21d extends to a position equal to the outer diameter of the hard disk D accommodated in the recess 21b and is oriented in the center of the concave portion 21b. A hook is provided so as to be hooked.

【0017】連結ロッド22は、側板21の下部両側位
置で平行に架設され、端部がネジにより側板21に固定
される。各下部保持ロッド29および中央部保持ロッド
23は側板21に凹部21bの中心を中心としてハード
ディスクDの外径と等しい位置で端部をネジにより止着
される。これら中央部保持ロッド23は水平な面内に、
また、下部保持ロッド29は中央部保持ロッド23の配
置面よりも下方の水平な面内に配置される。上部保持ロ
ッド24は、両端部が側板21の長穴21d内に摺動自
在に挿通され(図9中、矢印)、端部(当接案内部に相
当)24aが長穴21dを貫通して所定寸法外側へ延出
する。この上部保持ロッド24は、後述するように、洗
浄用容器20が載置治具に載置されると側板21から延
出した端部24aが載置治具のカム面に係合して長穴2
1d内を上方へ平行移動し、また、洗浄用容器20が載
置治具から外されると自重により下方に移動する。な
お、この洗浄用容器20には上述した上部保持ロッド2
4を下方に付勢するスプリング等を設けることも可能で
ある。
The connecting rods 22 are installed in parallel on both sides of the lower portion of the side plate 21 and their ends are fixed to the side plate 21 by screws. Each of the lower holding rod 29 and the center holding rod 23 is fixed to the side plate 21 at a position centered on the center of the concave portion 21b by a screw at a position equal to the outer diameter of the hard disk D. These central holding rods 23 are in a horizontal plane,
Further, the lower holding rod 29 is arranged in a horizontal plane below the arrangement surface of the central holding rod 23. Both ends of the upper holding rod 24 are slidably inserted into the elongated holes 21d of the side plate 21 (arrows in FIG. 9), and ends (corresponding to contact guide portions) 24a pass through the elongated holes 21d. Extend outside the specified dimension. As will be described later, when the cleaning container 20 is placed on the mounting jig, the upper holding rod 24 has an end 24a extending from the side plate 21 and engages with the cam surface of the mounting jig. Hole 2
The inside of 1d is translated upward, and when the washing container 20 is removed from the mounting jig, it moves downward by its own weight. The washing container 20 includes the upper holding rod 2 described above.
It is also possible to provide a spring or the like that urges 4 downward.

【0018】また、図12に拡大して示すように、各中
央部保持ロッド23および下部保持ロッド29には長手
方向に所定間隔で断面略逆台形状で底面に凹部27aを
有する複数の条溝27が形成され、同様に、上部保持ロ
ッド24にも断面略逆台形状で底面に凹部27aを有す
る複数の条溝27が長手方向に中央部保持ロッド23お
よび下部保持ロッド29と同一の間隔で形成される。こ
れら各保持ロッド23,24,29の条溝27は凹部2
7aの幅寸法がハードディスクDの外周部が遊合可能な
寸法を有し、ハードディスクDは収容に際して外周縁部
が条溝27の側面(斜面)を滑り凹部27aに遊合する
(図12参照)。
As shown in an enlarged manner in FIG. 12, each of the central holding rod 23 and the lower holding rod 29 has a plurality of grooves having a substantially inverted trapezoidal cross section at predetermined intervals in the longitudinal direction and having a concave portion 27a on the bottom surface. Similarly, a plurality of grooves 27 having a substantially inverted trapezoidal cross section and a concave portion 27a on the bottom surface are formed on the upper holding rod 24 at the same interval as the central holding rod 23 and the lower holding rod 29 in the longitudinal direction. It is formed. The grooves 27 of these holding rods 23, 24, 29 are
The width dimension of 7a is such that the outer peripheral portion of the hard disk D is playable, and the outer peripheral edge of the hard disk D slides on the side surface (slope) of the groove 27 and fits into the concave portion 27a during storage (see FIG. 12). .

【0019】また、洗浄槽10の周りには搬送コンベア
30が洗浄槽10の被洗浄物入口と出口とを結ぶ方向に
平行に延設されている。搬送コンベア30は、ベルトコ
ンベア等から構成され、洗浄槽10の入口側部分が搬入
コンベア(搬入コンベア部分30i)として、出口側の
部分が搬出コンベア(搬出コンベア部分30o)として
機能する。この搬送コンベア30は、搬入コンベア部分
30iで未洗浄のハードディスクDを搬送用容器31に
収納された状態で洗浄槽10の入口側に向けて搬送し、
また、搬出コンベア部分30oで洗浄済のハードディス
クDを搬送用容器31に収納して搬出する(搬送方向は
図1中の矢印)。
A conveyor 30 extends around the cleaning tank 10 in parallel with a direction connecting an inlet and an outlet of the object to be cleaned in the cleaning tank 10. The transport conveyor 30 is constituted by a belt conveyor or the like, and the inlet side portion of the cleaning tank 10 functions as a carry-in conveyor (a carry-in conveyor portion 30i), and the outlet side portion functions as a carry-out conveyor (a carry-out conveyor portion 30o). The transport conveyor 30 transports the uncleaned hard disk D in the carry-in conveyor portion 30i toward the entrance side of the cleaning tank 10 while being stored in the transport container 31.
Further, the hard disk D that has been washed at the unloading conveyor portion 30o is stored in the transport container 31 and is unloaded (the transport direction is an arrow in FIG. 1).

【0020】搬送用容器31は、図2に概略的に示すよ
うに、略箱状をなし、上部に上方が開口する半円柱状の
凹部を形成されている。この搬送用容器31は、凹部内
面に所定の間隔で部分円弧状の複数の条溝が形成され、
これら条溝に外周部を遊合させて複数のハードディスク
Dを同芯状に配列した状態で収容する。
As schematically shown in FIG. 2, the transport container 31 has a substantially box-like shape, and has a semi-cylindrical concave portion having an upper opening at the top. The transfer container 31 has a plurality of partially arc-shaped grooves formed at predetermined intervals on the inner surface of the concave portion,
A plurality of hard disks D are accommodated in a state of being arranged concentrically with their outer peripheral portions loosely fitted in these grooves.

【0021】さらに、洗浄槽10の周りには、洗浄槽1
0の被洗浄物入口に近接して洗浄用容器20を載置可能
な載置治具40iと洗浄用容器20が供給される容器供
給機構50iとが、同様に、洗浄槽10の出口に近接し
て洗浄用容器20を載置可能な載置治具40oと洗浄用
容器20を払い出すための容器受取機構50oとが配設
される。またさらに、この洗浄槽10の周りには、載置
治具40iと搬入コンベア部分30iとの間にロボット
70iが、載置治具40oと搬出コンベア30oとの間
にロボット70oが設けられている。なお、載置治具4
0i,40oおよびロボット70i,70oは同一の構
成であるため、以下、必要に応じ添字の無い番号で代表
して一方のみを説明する。
Further, the cleaning tank 1 is provided around the cleaning tank 10.
Similarly, the mounting jig 40i capable of mounting the cleaning container 20 in proximity to the cleaning object inlet and the container supply mechanism 50i to which the cleaning container 20 is supplied are also close to the outlet of the cleaning tank 10. A mounting jig 40o on which the cleaning container 20 can be mounted and a container receiving mechanism 50o for dispensing the cleaning container 20 are provided. Further, around the cleaning tank 10, a robot 70i is provided between the mounting jig 40i and the carry-in conveyor portion 30i, and a robot 70o is provided between the mounting jig 40o and the carry-out conveyor 30o. . The mounting jig 4
Since the robots 0i, 40o and the robots 70i, 70o have the same configuration, only one of them will be described below as a representative of the number without a subscript as needed.

【0022】載置治具40は、図6から図8に示すよう
に、装置フレーム等に設けられた平面視略矩形状の基板
41を有し、この基板41の4隅に支持板42がそれぞ
れボルトにより固定され、また、棒状の2つの位置決め
ブロック43が平行にボルトにより固定されている。支
持板42は、位置決めブロック43と平行に配置され、
上部に位置決めブロック43と平行な方向に対向するよ
うに延出する取付部42aが形成されている。これら支
持板42にはそれぞれ、取付部42aに第1のガイド板
44が2つのボルトにより固定され、また、取付部42
aの下方に第2のガイド板45がボルトにより固定され
ている。なお、49は基板41にその4隅で支持板42
と直角に固定された補強板であり、補強板49は支持板
42を補強する。
As shown in FIGS. 6 to 8, the mounting jig 40 has a substantially rectangular substrate 41 in plan view provided on an apparatus frame or the like. Each is fixed by bolts, and two rod-shaped positioning blocks 43 are fixed in parallel by bolts. The support plate 42 is arranged in parallel with the positioning block 43,
At the upper part, a mounting portion 42a is formed so as to extend in a direction parallel to the positioning block 43. Each of the support plates 42 has a first guide plate 44 fixed to a mounting portion 42a by two bolts.
A second guide plate 45 is fixed below bolt a by bolts. Reference numeral 49 denotes a support plate 42 at the four corners of the substrate 41.
The reinforcing plate 49 is fixed at a right angle to the reinforcing plate 49, and the reinforcing plate 49 reinforces the support plate 42.

【0023】第1のガイド板(案内カム部材に相当)4
4はそれぞれ上部に位置決めブロック43の延在方向外
方に斜め下方に向かって傾斜するカム面44aが形成さ
れ、このカム面44aに載置治具40に載置される洗浄
用容器20の上部保持ロッド24の両端部が係合する。
第2のガイド板45はそれぞれ、位置決めブロック43
と直交する方向内側にガイド面45aを有し、このガイ
ド面45aが対向するように配置される。この第2のガ
イド板45には載置治具40に載置される洗浄用容器2
0の側板21が係合する。位置決めブロック43にはそ
れぞれ両端側の表面にV字状の溝43aが長手方向同一
位置で形成されている。この位置決めブロック43には
載置治具40に載置された洗浄用容器20の連結ロッド
22が遊合する。
First guide plate (corresponding to a guide cam member) 4
4 has a cam surface 44a which is formed at an upper portion thereof and which is inclined obliquely downward toward the outside in the extending direction of the positioning block 43. The upper surface of the cleaning container 20 mounted on the mounting jig 40 is formed on the cam surface 44a. Both ends of the holding rod 24 are engaged.
Each of the second guide plates 45 is provided with a positioning block 43.
A guide surface 45a is provided on the inner side in a direction perpendicular to the direction, and the guide surface 45a is disposed so as to face the guide surface 45a. The second guide plate 45 has a cleaning container 2 mounted on the mounting jig 40.
0 side plate 21 is engaged. V-shaped grooves 43a are formed in the positioning block 43 at the same position in the longitudinal direction on the surfaces on both ends. The connecting rod 22 of the cleaning container 20 mounted on the mounting jig 40 is loosely engaged with the positioning block 43.

【0024】図1に概略的に示すように、容器供給機構
50iと容器受取機構50oとはコンベア59で連絡さ
れ、容器供給機構50iは供給部51iに空の洗浄用容
器20がコンベア59により搬入され、また、容器受取
機構50oは払出部51oに空の洗浄用容器20が移載
され、この洗浄容器20がコンベア59により容器供
給機構50iに搬送される。容器供給機構50iの供給
部51i上の洗浄用容器20はロボット70iにより載
置治具40i上に移載され、容器受取機構50oの払出
部51oにはロボット70oにより載置治具40oから
空の洗浄用容器20が移載される。
As schematically shown in FIG. 1, the container supply mechanism 50i and the container receiving mechanism 50o are connected by a conveyor 59, and the container supply mechanism 50i carries an empty washing container 20 into the supply section 51i by the conveyor 59. is also the container receiving mechanism 50o empty washing container 20 to the payout unit 51o is transferred, the washing container 20 is conveyed to the container supply mechanism 50i by the conveyor 59. The cleaning container 20 on the supply section 51i of the container supply mechanism 50i is transferred onto the mounting jig 40i by the robot 70i, and the discharging section 51o of the container receiving mechanism 50o is emptied from the mounting jig 40o by the robot 70o. The washing container 20 is transferred.

【0025】ロボット70は、図1に示すように、基台
71にメインアーム72を旋回可能に支持し、このメイ
ンアーム72の先端に旋回可能かつ上下動可能な揺動ア
ーム74を介してロボットハンド73を取り付けて構成
される。ロボットハンド73は、図2から図5に示すよ
うに、棒状をなし、上面に断面略V字状で底部が部分円
弧状をなす複数の溝73aが長手方向に所定の間隔で形
成されている。これら溝73aは、底部の曲率がハード
ディスクDの内孔Daの曲率と略等しい。
As shown in FIG. 1, the robot 70 supports a main arm 72 on a base 71 so as to be pivotable, and the robot 70 has a pivotable and vertically movable rocking arm 74 at the tip of the main arm 72. A hand 73 is attached. As shown in FIGS. 2 to 5, the robot hand 73 has a rod shape, and has a plurality of grooves 73a having a substantially V-shaped cross section and a partially arcuate bottom formed on the upper surface at predetermined intervals in the longitudinal direction. . These grooves 73a have a curvature at the bottom substantially equal to the curvature of the inner hole Da of the hard disk D.

【0026】なお、図示と詳細な説明は割愛するが、ロ
ボット70は収容用容器20を把持可能なロボットハン
ドも有する。そして、上述したように、ロボット70o
はロボットハンドで載置治具40o上の洗浄用容器20
を容器受取機構50oの払出部51oに移送し、また、
ロボット70iは容器供給機構50iの供給部51i上
の洗浄用容器20。を載置治具40iに移送する。
Although illustration and detailed description are omitted, the robot 70 also has a robot hand capable of holding the container 20. Then, as described above, the robot 70o
Is the cleaning container 20 on the mounting jig 40o by the robot hand.
To the dispensing section 51o of the container receiving mechanism 50o,
The robot 70i is the cleaning container 20 on the supply unit 51i of the container supply mechanism 50i. Is transferred to the mounting jig 40i.

【0027】この実施例にあっては、搬送用容器31に
収容されて複数のハードディスクDが搬送コンベア30
の搬入コンベア部分30iにより洗浄槽10の入口側に
搬入され、また、この搬送用容器31の搬送に合わせて
洗浄槽10の入口側の載置治具40i上に容器供給機構
50iの供給部51iから空の洗浄用容器20がロボッ
ト70iによって移載される。
In this embodiment, a plurality of hard disks D accommodated in a transport container 31
Of the container supply mechanism 50i on the placement jig 40i on the entrance side of the cleaning tank 10 in accordance with the transfer of the transfer container 31 by the carry-in conveyor portion 30i. The empty washing container 20 is transferred by the robot 70i.

【0028】ここで、図6に示すように、洗浄用容器2
0は載置治具40i上に載置されることで上部保持ロッ
24の端部が載置治具40iの第1のガイド板44の
カム面44aに係合して長穴21dを斜め外上方へ平
行移動するため後述するハードディスクDの収容に際し
てハードディスクDが上部保持ロッド24に干渉するこ
とがなく、ハードディスクDを円滑に収容することがで
きる。また、洗浄用容器20を載置治具40i上に載置
する場合も第2のガイド板45のガイド面45aが側板
21と係合して案内するため洗浄用容器20を一定の位
置に載置することができ、さらに、洗浄用容器20が載
置治具40i上に載置された状態では連結ロッド22が
位置決めブロック43の溝43aに遊合するため洗浄用
容器20の位置ずれも有効に防止できる。
Here, as shown in FIG.
The reference numeral 0 denotes that the end of the upper holding rod 24 is engaged with the cam surface 44a of the first guide plate 44 of the mounting jig 40i by being mounted on the mounting jig 40i, and the inside of the elongated hole 21d is inclined. Since the hard disk D moves outward and upward, the hard disk D does not interfere with the upper holding rod 24 when the hard disk D described later is housed, and the hard disk D can be housed smoothly. Also, when the washing container 20 is placed on the placing jig 40i, the guide surface 45a of the second guide plate 45 engages with the side plate 21 to guide the washing container 20, so that the washing container 20 is placed at a predetermined position. Further, when the cleaning container 20 is placed on the mounting jig 40i, the connecting rod 22 fits into the groove 43a of the positioning block 43, so that the positional deviation of the cleaning container 20 is also effective. Can be prevented.

【0029】そして、搬送コンベア30により搬送され
る搬送用容器31が所定位置に到達すると、ロボット7
0iがロボットハンド73を図13の矢印a,b,cの
順序で作動させてハードディスクDを移載する。すなわ
ち、先ず、ロボット70iは、ロボットハンド73を搬
送容器31内のハードディスクDの内孔に挿通させて上
昇させ(矢印a)、ハードディスクDを搬送容器31か
ら持ち上げる。ここで、搬送用容器31には複数のハー
ドディスクDが同芯状に所定間隔で整列された状態で収
容されているため、ハードディスクDはそれぞれが内孔
の周縁をロボットハンド73の溝73aに遊合させた状
態でロボットハンド73に掛止し、ハードディスクDは
ロボットハンド73の上昇で搬送用容器31の凹部から
持ち上げられる。
When the transport container 31 transported by the transport conveyor 30 reaches a predetermined position, the robot 7
0i operates the robot hand 73 in the order of arrows a, b, and c in FIG. 13 to transfer the hard disk D. That is, first, the robot 70i inserts the robot hand 73 into the inner hole of the hard disk D in the transfer container 31 and raises it (arrow a), and lifts the hard disk D from the transfer container 31. Here, since a plurality of hard disks D are accommodated in the transport container 31 in a state of being concentrically arranged at a predetermined interval, each of the hard disks D has a peripheral edge of the inner hole in the groove 73 a of the robot hand 73. In this state, the hard disk D is hung on the robot hand 73, and the hard disk D is lifted from the concave portion of the transport container 31 by raising the robot hand 73.

【0030】次いで、ロボット70iはメインアーム7
2と揺動アーム74とを揺動させ(矢印b)、載置治具
40i上の洗浄用容器20の上方でロボットハンド73
を下降させてロボットハンド73に掛止したハードディ
スクDを洗浄用容器20の下部保持軸23上に載置する
(矢印c)。この時、上述したように、載置治具40i
上に載置された洗浄用容器20は、上部保持ロッド24
が外側に移動した状態にあり、また、規定の位置に連結
ロッド22を位置決めブロック43の溝43aに遊合さ
せて位置するため、ハードディスクDの洗浄用容器20
への移載を確実に行える。また、ハードディスクDは内
孔の内周部をロボットハンド73の溝73aに遊合させ
て互いに所定間隔を隔て掛止し、また、洗浄用容器20
の各中央部および下部保持ロッド23,29には条溝2
7が形成されているため、各ハードディスクDは個々の
外周部を条溝27に遊合させて所定間隔を隔てた状態に
移載される。
Next, the robot 70i moves the main arm 7
2 and the swing arm 74 (arrow b), and the robot hand 73 above the washing container 20 on the mounting jig 40i.
Is lowered, and the hard disk D hooked on the robot hand 73 is placed on the lower holding shaft 23 of the cleaning container 20 (arrow c). At this time, as described above, the mounting jig 40i
The washing container 20 placed on the upper side holds the upper holding rod 24.
Are moved outward, and the connecting rod 22 is positioned at a specified position with the groove 43a of the positioning block 43 loosely fitted.
Transfer to the server can be performed reliably. The hard disk D has the inner peripheral portion of the inner hole loosely engaged with the groove 73a of the robot hand 73 and is locked at a predetermined interval from each other.
Each of the central and lower holding rods 23, 29 has a groove 2
Since the hard disk D is formed, each hard disk D is transferred in a state of being separated by a predetermined interval with its individual outer peripheral portion loosely fitted in the groove 27.

【0031】この後は、載置治具40i上の洗浄用容器
20は掛止ピン25にチェーンコンベアのフックが掛止
して載置治具40iの上方に吊り下げられ、チェーンコ
ンベアによって洗浄槽10内に導入される。ここで、洗
浄用容器20は載置治具40iの上方に持ち上げられる
ことで、上部保持ロッド24が自重により長穴21dを
その下端まで下方に平行移動する。このため、洗浄槽1
0内においてハードディスクDの脱落も有効に防止で
き、また、上述のようにハードディスクDは適宜な間隔
をもって洗浄用容器20に収容されるためハードディス
クDの洗浄も確実に行える。
Thereafter, the cleaning container 20 on the mounting jig 40i is hung above the mounting jig 40i by the hook of the chain conveyor being hooked on the locking pin 25, and the cleaning tank is moved by the chain conveyor. 10 is introduced. Here, the washing container 20 is lifted above the mounting jig 40i, so that the upper holding rod 24 moves in parallel to the lower end of the elongated hole 21d to its lower end by its own weight. Therefore, the cleaning tank 1
The falling of the hard disk D can be effectively prevented within 0, and the hard disk D can be reliably washed because the hard disk D is stored in the cleaning container 20 at an appropriate interval as described above.

【0032】一方、洗浄後においては、ハードディスク
Dを収容した洗浄用容器20が洗浄槽10の出口から出
て載置治具40o上に載置される。そして、洗浄用容器
20は載置治具40o上に載置される際には、載置治具
40iに空の洗浄用容器20を載置する場合と同様に、
第2のガイド板45のガイド面45aにより側板21が
案内され、また、上部保持ロッド24の端部が第1のガ
イド板44のカム面44aに係合して上部保持ロッド2
4が長穴21d内を斜め外上方に平行移動し、さらに、
載置された状態では連結ロッド22が位置決めブロック
43の溝43aに遊合する。
On the other hand, after the cleaning, the cleaning container 20 containing the hard disk D comes out of the outlet of the cleaning tank 10 and is mounted on the mounting jig 40o. Then, when the washing container 20 is placed on the placing jig 40o, similarly to the case where the empty washing container 20 is placed on the placing jig 40i,
The side plate 21 is guided by the guide surface 45 a of the second guide plate 45, and the end of the upper holding rod 24 engages with the cam surface 44 a of the first guide plate 44, and the upper holding rod 2
4 moves obliquely outward and upward in the elongated hole 21d, and further,
In the mounted state, the connecting rod 22 fits into the groove 43 a of the positioning block 43.

【0033】この後、ロボット70oは上述した場合と
逆に矢印c’,b’,a’の順序で作動して洗浄済のハ
ードディスクDを搬送用容器31に移載する。すなわ
ち、ロボット70oは先ずロボットハンド73を洗浄用
容器20に整列状態で載置されたハードディスクdの内
孔に挿通させて持ち上げる(矢印c’)。したがって、
上述した場合と同様に、ハードディスクDは内孔の周辺
部をロボットハンド73の溝73aに遊合させた状態で
持ち上げられ、ハードディスクDが互いに当接すること
を防止できる。
Thereafter, the robot 70o operates in the order of arrows c ', b', and a 'to transfer the cleaned hard disk D to the transport container 31 in the reverse order to the above case. That is, the robot 70o first lifts the robot hand 73 by inserting the robot hand 73 through the inner hole of the hard disk d placed in alignment with the cleaning container 20 (arrow c '). Therefore,
As in the case described above, the hard disk D is lifted with the peripheral portion of the inner hole loosely fitted in the groove 73a of the robot hand 73, so that the hard disks D can be prevented from contacting each other.

【0034】次いで、ロボットハンド70oはメインア
ーム71等を揺動させ(矢印b’)、ロボットハンド7
3に掛止されたハードディスクDを搬送コンベア30の
搬出コンベア部分30o上の搬送用容器20の直上に位
置させた後に下降させ(矢印a’)、ハードディスクD
を搬送コンベア30上の搬送用容器30に移載する。こ
の時、ロボットハンド73に掛止したハードディスクD
は溝73aにより規定される間隔が隔てられているた
め、ハードディスクDを搬送用容器30に移載する際に
もハードディスクDが相互に当接することがなく、ま
た、搬送用容器30に所定の間隔をもって載置すること
ができる。
Next, the robot hand 70o swings the main arm 71 and the like (arrow b '), and
The hard disk D hung on the transport conveyor 3 is positioned immediately above the transport container 20 on the unloading conveyor portion 30o of the transport conveyor 30 and then lowered (arrow a ').
Is transferred to the transport container 30 on the transport conveyor 30. At this time, the hard disk D hooked on the robot hand 73
Are separated by the grooves 73a, so that the hard disks D do not come into contact with each other even when the hard disk D is transferred to the transport container 30. Can be placed.

【0035】なお、上述した実施例では、被洗浄物とし
てハードディスクDを例示するが、ハードディスクDに
限らず、種々の円板状の物品に適用することができる。
また、上述した実施例では、洗浄槽の具体的構造を記載
しないが、超音波式洗浄装置等、公知の種々の洗浄装置
に適用することができる。
In the above-described embodiment, the hard disk D is exemplified as the object to be cleaned. However, the present invention is not limited to the hard disk D, but can be applied to various disc-shaped articles.
In the above-described embodiments, the specific structure of the cleaning tank is not described, but the present invention can be applied to various known cleaning apparatuses such as an ultrasonic cleaning apparatus.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1および請
求項2記載のディスク状物品の洗浄用容器によれば、上
部保持棒、下部保持棒および中央部保持棒にそれぞれ長
手方向所定間隔で溝を形成し、下部および中央部保持棒
の溝にディスク状物品の外周縁部を遊合させてディスク
状物品を収容可能に構成するとともに、上部保持棒をデ
ィスク状物品の上方位置から離脱可能に設け、中央部お
よび下部保持棒に載置されたディスク状物品を上部保持
棒により押さえることができるようにしたため、ディス
ク状物品の脱落を確実に防止でき、また、ディスク状物
品の洗浄も確実に行えるという効果が得られる。
As described above, according to the disk-like article cleaning container of the first and second aspects, the upper holding rod, the lower holding rod, and the central holding rod are respectively provided at predetermined intervals in the longitudinal direction. A groove is formed, the outer peripheral edge of the disk-shaped article is loosely fitted in the groove of the lower and central holding rods, so that the disk-shaped article can be stored, and the upper holding rod can be detached from the upper position of the disk-shaped article The disk-shaped articles placed on the center and lower holding rods can be pressed by the upper holding rods, so that the disk-shaped articles can be securely prevented from falling off, and the disk-shaped articles can be reliably washed. The effect that can be performed is obtained.

【0037】そして、請求項3記載のディスク状物品の
洗浄用容器によれば、上部保持棒、中央部保持棒および
下部保持棒の溝をそれぞれ断面略台形状で底部にディス
ク状物品の外周縁部が遊合可能な凹部を形成したため、
ディスク状物品の収納を確実に行え、また、より確実に
保持することができる。
According to the third aspect of the present invention, the grooves of the upper holding rod, the center holding rod, and the lower holding rod are each substantially trapezoidal in cross section, and the outer peripheral edge of the disk-shaped article is provided at the bottom. Because the part formed a concave part that can play,
The disk-shaped article can be securely stored, and can be held more reliably.

【0038】また、請求項4記載の載置治具によれば、
受け部材の上方で上部保持を移動可能に構成して該上
部保持により受け部材上に載置されたディスク状物品
の上部を押さえることができるように構成された洗浄用
容器を載置する際に、ガイド板が洗浄用容器の上部保持
棒と係合して上部保持棒を受け部材の上方位置から離脱
する方向に移動させるため、洗浄用容器からのディスク
状物品の取出、洗浄用容器へのディスク状物品の収容が
容易に行えるという効果が得られる。
According to the mounting jig of the fourth aspect,
An upper holding rod is configured to be movable above the receiving member, and a cleaning container configured to be able to press the upper part of the disk-shaped article placed on the receiving member by the upper holding rod is placed. At this time, since the guide plate is engaged with the upper holding rod of the cleaning container and is moved in a direction in which the upper holding rod is disengaged from the position above the receiving member, removal of the disk-shaped article from the cleaning container and cleaning container An effect is obtained that the disk-shaped article can be easily stored in the disk.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例が適用される洗浄装置を模
式的に示す全体平面図である。
FIG. 1 is an overall plan view schematically showing a cleaning apparatus to which an embodiment of the present invention is applied.

【図2】同洗浄装置における洗浄用容器とロボットハン
ドとの状態を模式的示す斜視図ある。
FIG. 2 is a perspective view schematically showing a state of a cleaning container and a robot hand in the cleaning apparatus.

【図3】同ロボットハンドの側面図である。FIG. 3 is a side view of the robot hand.

【図4】同ロボットハンドの横断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of the robot hand.

【図5】同ロボットハンドの一部拡大側面図である。FIG. 5 is a partially enlarged side view of the robot hand.

【図6】同洗浄装置における載置治具の正面図である。FIG. 6 is a front view of a mounting jig in the cleaning device.

【図7】同載置治具の平面図である。FIG. 7 is a plan view of the mounting jig.

【図8】同載置治具の側面図である。FIG. 8 is a side view of the mounting jig.

【図9】同洗浄装置の洗浄用容器の正面図である。FIG. 9 is a front view of a cleaning container of the cleaning device.

【図10】同洗浄用容器の一部を断面した側面図であ
る。
FIG. 10 is a side view showing a cross section of a part of the cleaning container.

【図11】同洗浄用容器の平面図である。FIG. 11 is a plan view of the cleaning container.

【図12】同洗浄用容器の一部拡大平面図である。FIG. 12 is a partially enlarged plan view of the cleaning container.

【図13】同洗浄装置の搬送用容器と洗浄用容器との間
のディスク状物品の移載を示す作用説明図である。
FIG. 13 is an operation explanatory view showing transfer of a disk-shaped article between the transport container and the cleaning container of the cleaning device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 洗浄槽 19 チェーンコンベア 20 洗浄用容器 21L,21R 側板 21d 長穴 22a,22b 連結ロッド 23a,23b,23c 中央部保持ロッド 24a,24b 上部保持ロッド 25 掛止ピン 27 条溝 29a,29b 下部保持ロッド 30 搬送コンベア 30a 搬入コンベア部分 30b 搬出コンベア部分 31 搬送用容器 40i,40o 載置治具 41 基板 42 支持板 43 位置決めブロック 43a 溝 44 第1のガイド板 44a カム面 45 第2のガイド板 45a ガイド面 50i 容器供給機構 51i 供給部 50o 容器受取機構 51o 受取部 59 コンベア 70 ロボット 72 メインアーム 73 ロボットハンド 73a 溝 D ハードディスク(ディスク状物品) Da 内孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Cleaning tank 19 Chain conveyor 20 Cleaning container 21L, 21R Side plate 21d Long hole 22a, 22b Connecting rod 23a, 23b, 23c Central holding rod 24a, 24b Upper holding rod 25 Locking pin 27 Groove 29a, 29b Lower holding rod Reference Signs List 30 transport conveyor 30a carry-in conveyor part 30b carry-out conveyor part 31 transport containers 40i, 40o mounting jig 41 substrate 42 support plate 43 positioning block 43a groove 44 first guide plate 44a cam surface 45 second guide plate 45a guide surface 50i Container supply mechanism 51i Supply section 50o Container reception mechanism 51o Receiving section 59 Conveyor 70 Robot 72 Main arm 73 Robot hand 73a Groove D Hard disk (disk-shaped article) Da Inner hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−36832(JP,A) 特開 平1−241114(JP,A) 実開 昭62−193730(JP,U) 実開 昭61−158952(JP,U) 実開 昭64−30825(JP,U) 実開 平5−73938(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B08B 11/02 B65D 85/00 H01L 21/304 341 H01L 21/68 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-57-36832 (JP, A) JP-A-1-241114 (JP, A) Fully open 1987-193730 (JP, U) Really open 1986 158952 (JP, U) JP-A 64-30825 (JP, U) JP-A 5-73938 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) B08B 11/02 B65D 85 / 00 H01L 21/304 341 H01L 21/68

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 複数のディスク状物品を収容して洗浄槽
内を搬送される洗浄用容器であって、 一対の側板と、 これら側板間に所定間隔を隔て平行に架設された少なく
とも2本の下部保持棒および中央部保持棒と、 前記一対の側板間に前記中央部保持棒の上方位置で該各
保持棒と平行に該中央部保持棒の内側位置と外側位置と
の間を前記ディスク状物品の径寸法に対応した距離を斜
め上下方向に平行移動可能に架設された上部保持棒とを
備え、 前記各保持棒にそれぞれ前記ディスク状物品の外周部が
遊合可能な複数の溝を長手方向に同一の間隔で形成した
ことを特徴とするディスク状物品の洗浄用容器。
1. A cleaning container for accommodating a plurality of disk-shaped articles and transported in a cleaning tank, comprising: a pair of side plates; and at least two paired side plates arranged in parallel with a predetermined distance between the side plates. A lower holding rod and a central holding rod; and a disk-shaped space between the inner position and the outer position of the central holding rod in parallel with each of the holding rods at a position above the central holding rod between the pair of side plates. An upper holding rod installed so as to be able to move obliquely in a vertical direction at a distance corresponding to the diameter dimension of the article, and a plurality of grooves in which the outer peripheral portion of the disc-shaped article can be loosely fitted to each of the holding rods. A container for washing a disk-shaped article, formed at the same interval in the direction.
【請求項2】 前記下部保持棒を左右2本とし、前記中
央部保持棒を左右および中央の3本とし、前記上部保持
棒の両端をガイド部当接案内部とするとともに、一対の
側板の上方部外方に掛止ピンを突設するとともに、該
板下方部が連結棒で定着された請求項1記載のディスク
状物品の洗浄用容器。
2. The lower holding rod has two right and left rods, the central holding rod has three rods on the left and right and the center, and both ends of the upper holding rod have a guide portion contact guide portion. as well as projecting the locking pin upward outer side, the washing container of the disc-shaped article of claim 1 wherein said side <br/> plate lower part is fixed by a connecting rod.
【請求項3】 前記下部保持棒および前記上部保持棒の
溝は断面略逆台形状で、底面に前記ディスク状物品の外
周縁が遊合可能な凹部を有する請求項1または請求項2
記載の洗浄容器。
3. The groove of the lower holding rod and the upper holding rod has a substantially inverted trapezoidal cross section, and has a concave portion on the bottom surface in which an outer peripheral edge of the disk-shaped article can be loosely fitted.
Cleaning container described.
【請求項4】 前記洗浄用容器にディスク状物品の収
容、取出に際して該洗浄用容器を載置するための載置治
具であって、基板 上に、前記洗浄用容器の連結棒の位置決めブロック
を設けるとともに、前記上部保持ガイド部当接案内
をガイドするガイド板を設けたことを特徴とする載置
治具。
4. A mounting jig for mounting said cleaning container when accommodating and removing a disk-shaped article in said cleaning container, said positioning jig being provided on a substrate for positioning a connecting rod of said cleaning container. <br/> and guide of the upper holding rod in contact with the guide part
A mounting jig provided with a guide plate for guiding a part .
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