JP2932679B2 - Method for producing organic photoreceptor having surface protective layer - Google Patents

Method for producing organic photoreceptor having surface protective layer

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JP2932679B2
JP2932679B2 JP30500090A JP30500090A JP2932679B2 JP 2932679 B2 JP2932679 B2 JP 2932679B2 JP 30500090 A JP30500090 A JP 30500090A JP 30500090 A JP30500090 A JP 30500090A JP 2932679 B2 JP2932679 B2 JP 2932679B2
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【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は真空薄膜を表面保護層として有する有機系感
光体の製造方法に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing an organic photoconductor having a vacuum thin film as a surface protective layer.

従来技術および課題 近年、有機光導電性材料を粘着樹脂に配合した電子写
真感光体が広く用いられるにいたっている。
2. Related Art and Problems In recent years, electrophotographic photoconductors in which an organic photoconductive material is blended with an adhesive resin have been widely used.

この種の感光体はセレンや硫化カドミウム等を用いた
感光体に比較して衛生上の問題もなく、加工性に優れて
いる点で工業的生産性に優れるという利点がある。
This type of photoreceptor has no hygiene problems and is excellent in processability, and has excellent industrial productivity in comparison with photoreceptors using selenium or cadmium sulfide.

しかし、これらの有機系感光体は硬度に乏しく、繰り
返し使用における転写紙、クリーニング部材、現像剤等
との摩擦により感光体が削れ、傷付きやすい。
However, these organic photoconductors have poor hardness, and are liable to be scratched and damaged by friction with transfer paper, a cleaning member, a developer and the like in repeated use.

そこで、そのような問題を解消するために有機系感光
層の表面に、表面保護層を設ける技術がある。
In order to solve such a problem, there is a technique of providing a surface protective layer on the surface of the organic photosensitive layer.

かかる表面保護層の1種として適当な化合物の真空薄
膜が提案されている。
As one kind of such a surface protective layer, a vacuum thin film of an appropriate compound has been proposed.

真空薄膜は、高硬度のものを形成することも可能であ
り、そのような真空薄膜を有機系感光層の表面保護層と
して有する有機系感光体は、表面保護層を有しない有機
系感光体に比べ、耐久性に優れ、常温常湿下で、長期使
用に関しては充分な膜強度を有してはいるが、長期使用
後の耐湿性は充分とは言えず、繰り返し使用している
と、残留電位の上昇、並びに黒筋状の画像ノイズの発生
という問題が生じる。
It is also possible to form a vacuum thin film having a high hardness, and an organic photoreceptor having such a vacuum thin film as a surface protective layer of an organic photosensitive layer is an organic photoreceptor having no surface protective layer. In comparison, it has excellent durability and has sufficient film strength for long-term use under normal temperature and normal humidity, but its moisture resistance after long-term use cannot be said to be sufficient. A problem arises in that the potential rises and black streak-like image noise occurs.

一方、表面保護層は、理想的には、有機系感光層を形
成後、直ちにその表面に形成することが望ましいが、実
際には、製造工程の簡略化、装置上の問題より、有機系
感光層のみを敬したものを一度に多量に製造し、次に非
晶質炭素膜等の表面保護層形成工程に供せられるのが一
般的である。その間、有機系感光層は数日〜1ヶ月程度
保管される(該保管期間を「しかかり期間」という)こ
とが多い。
On the other hand, it is ideally desirable to form the surface protective layer on the surface immediately after the formation of the organic photosensitive layer. In general, a large amount of the layer only is manufactured at a time, and then subjected to a step of forming a surface protective layer such as an amorphous carbon film. During that time, the organic photosensitive layer is often stored for several days to about one month (the storage period is often referred to as “the initial period”).

有機系感光層表面は、形成後、時間経過と共に大気中
の酸素により表面が酸化されていく。このような酸化被
膜が形成された有機系感光層表面に真空薄膜たとえば非
晶質炭化水素膜を設けようとすると、酸化被膜面と真空
薄膜との間の接着性が悪いために表面保護層の剥離が発
生してしまう。本発明者らの経験では、塗布後一日経過
した有機系感光層では、既にこの現象が発生しやすい。
After formation, the surface of the organic photosensitive layer is oxidized by oxygen in the air over time. If a vacuum thin film, for example, an amorphous hydrocarbon film is to be provided on the surface of the organic photosensitive layer having such an oxide film formed thereon, the adhesion between the oxide film surface and the vacuum thin film is poor, so that the surface protective layer is not provided. Peeling occurs. According to the experience of the present inventors, this phenomenon is likely to occur in an organic photosensitive layer one day after coating.

発明が解決しようとする課題 本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、有機系
感光層表面上に真空薄膜を表面保護層として形成する前
に、該感光層表面の洗浄と粗面化を行うことにより上記
問題を解決しようとするものである。
Problem to be Solved by the Invention The present invention has been made in view of the above circumstances, and before forming a vacuum thin film as a surface protective layer on the surface of an organic photosensitive layer, cleaning and roughening the surface of the photosensitive layer are performed. This is intended to solve the above problem.

すなわち、本発明は、表面剥離、残留電位の上昇およ
び黒筋発生のない有機系感光体の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
That is, an object of the present invention is to provide a method for producing an organic photoreceptor free of surface peeling, increase in residual potential, and generation of black stripes.

課題を解決するための手段 本発明は有機系感光層表面の酸化被膜を除去する作用
を有する溶剤により有機系感光層を洗浄する工程と、該
有機系感光層表面を粗面化する工程とを経た後に、真空
薄膜を表面保護層として形成することを特徴とする有機
系感光体の製造方法に関する。
Means for Solving the Problems The present invention comprises a step of washing the organic photosensitive layer with a solvent having an action of removing an oxide film on the surface of the organic photosensitive layer, and a step of roughening the surface of the organic photosensitive layer. And forming a vacuum thin film as a surface protective layer after passing through the process.

本発明の感光体の製造方法は、まず有機系感光層を洗
浄する工程と、粗面化する工程からなる。
The method for producing a photoreceptor of the present invention comprises a step of first cleaning an organic photosensitive layer and a step of roughening the surface.

感光層は、自体公知の有機系感光層を導電性基板上に
設けたものであり、感光層の内部構造は、導電性基板上
に光導電性材料と電荷輸送材料を結着剤に配合した単層
型構成の感光層、導電性支持体上に電荷発生層と電荷輸
送層が順次形成されている機能分離型構成の感光層、あ
るいは導電性支持体上に電荷輸送層と電荷発生層が順次
形成されている機能分離型構成のいずれであってもよ
い。もっとも、電荷発生層としてはフタロシアニンの蒸
着膜のように、結着樹脂を用いず電荷発生物質自体のみ
からなるものも存在するが、このような電荷発生層で構
成されていても、その上に樹脂分散型の電荷輸送層が設
けられていれば本発明は有効である。
The photosensitive layer is a known organic photosensitive layer provided on a conductive substrate, and the internal structure of the photosensitive layer is obtained by mixing a photoconductive material and a charge transport material on a conductive substrate with a binder. A photosensitive layer having a single-layer structure, a photosensitive layer having a function-separated structure in which a charge generation layer and a charge transport layer are sequentially formed on a conductive support, or a charge transport layer and a charge generation layer on a conductive support. Any of the function-separated configurations formed sequentially may be used. However, as the charge generation layer, there is also a layer formed of only the charge generation substance itself without using a binder resin, such as a phthalocyanine vapor-deposited film. The present invention is effective if a resin dispersion type charge transport layer is provided.

また、表面保護層を設ける場合、その保護層の下の感
光層がプラズマ中における電子あるいはイオンの衝撃、
熱等で劣化しないように感光層の上に一旦、樹脂層を設
ける構成の感光体が提案されているが(例えば特開平01
−133063号公報等)、そのような構成の感光体の場合、
感光層が無機系、有機系いかなる種類のものであれ、本
発明を適用することにより耐久性、残留電位の上昇感度
低下(黒筋発生)が改善される。
When a surface protective layer is provided, the photosensitive layer below the protective layer may be bombarded by electrons or ions in plasma,
There has been proposed a photoreceptor having a structure in which a resin layer is temporarily provided on the photosensitive layer so as not to be deteriorated by heat or the like (see, for example,
In the case of a photoconductor having such a configuration,
Regardless of the type of the photosensitive layer, whether inorganic or organic, the application of the present invention improves the durability and the decrease in sensitivity to increase in residual potential (black streaks).

有機系感光層の洗浄は、感光層表面の酸化被膜を除去
できる作用を有すれば特に限定されるものではない。具
体的には有機系感光層の洗浄に使用できる溶剤として
は、たとえばn−ヘキサン、シクロヘキサン、ペンタ
ン、シクロペンタン、ヘプタン、オクタン、リグロイ
ン、石油エーテル、ベンジン、イソヘキサン、ネオヘキ
サン、1−ヘンセン等の飽和炭化水素類、メタノール、
エタノール、プロパノール、ブチルアルコール、アリル
アルコール、ベンジルアルコール等の炭化水素系アルコ
ール類、トルエン、キシレン、ヘミメリテン、プソイド
クメン、テトラリン等の芳香族炭化水素類、アセトン、
エチルメチルケトン、シクロヘキサノン、メチルビニル
ケトン等のケトン類、あるいは、エチルエーテル、メチ
ルエーテル等のエーテル類等を上げることができる。好
ましいものはn−ヘキサン、イソヘキサンである。
Washing of the organic photosensitive layer is not particularly limited as long as it has an action of removing an oxide film on the surface of the photosensitive layer. Specifically, examples of the solvent that can be used for washing the organic photosensitive layer include n-hexane, cyclohexane, pentane, cyclopentane, heptane, octane, ligroin, petroleum ether, benzene, isohexane, neohexane, 1-Hensen, and the like. Saturated hydrocarbons, methanol,
Ethanol, propanol, butyl alcohol, allyl alcohol, hydrocarbon alcohols such as benzyl alcohol, toluene, xylene, hemimelitene, pseudo cumene, aromatic hydrocarbons such as tetralin, acetone,
Ketones such as ethyl methyl ketone, cyclohexanone and methyl vinyl ketone, and ethers such as ethyl ether and methyl ether can be mentioned. Preferred are n-hexane and isohexane.

その他含ハロゲン原子溶剤も使用可能で、炭素数1〜
6の炭化水素系のアルコールの炭素原子に結合する水素
原子をフッ素原子に置換したもので、あらゆる異性体を
適用可能である。
In addition, solvents containing halogen atoms can be used.
The hydrogen atom bonded to the carbon atom of the hydrocarbon alcohol of No. 6 is substituted with a fluorine atom, and any isomer can be applied.

係る含フッ素アルコールとしてはフッ化メタノール、
フッ化エタノール、フッ化プロパノール、フッ化ブタノ
ール、フッ化ペンタノール、フッ化ヘキサノール、フッ
化ブタンジオール等を挙げることができる。好ましい含
フッ素アルコールは5−フッ化プロパノール、3−フッ
化プロパノール等であり、最も好ましいものは5−フッ
化プロパノール(あらゆる異性体を含む)である。
Such fluorinated alcohols include methanol fluoride,
Ethanol fluoride, propanol fluoride, butanol fluoride, pentanol fluoride, hexanol fluoride, butanediol fluoride and the like can be mentioned. Preferred fluorinated alcohols are 5-fluorinated propanol, 3-fluorinated propanol and the like, most preferred is 5-fluorinated propanol (including all isomers).

その他にも、1,1,2−トリクロロ−1,2,2−トリフルオ
ロエタン等も適用可能である。
Besides, 1,1,2-trichloro-1,2,2-trifluoroethane and the like are also applicable.

感光層を洗浄する方法としては、ディッピング法、シ
ャワー法、蒸気洗浄法等を適用すればよく、洗浄条件
は、感光体の型(単分散、機能分離型)、構成樹脂の種
類、使用する溶剤の種類等により、適宜選択設定すれば
よい。
As a method for cleaning the photosensitive layer, a dipping method, a shower method, a steam cleaning method, or the like may be applied. May be selected and set as appropriate depending on the type of the device.

ディッピング法が好ましく、この洗浄法では例えば、
感光層を20℃のヘキサン溶媒に60秒程度浸漬すれば十分
である。洗浄効果を上げるために、超音波振動を付与し
たり、溶媒を(精製)循環させたりしてもよい。
A dipping method is preferred. In this washing method, for example,
It is sufficient to immerse the photosensitive layer in a hexane solvent at 20 ° C. for about 60 seconds. In order to enhance the washing effect, ultrasonic vibration may be applied, or the solvent may be circulated (purified).

このように洗浄された感光体の表面には、例えば、プ
ラズマCVD法、光CVD法、熱CVD法、スパッタリング法、
蒸着法、イオンプレーティング法等種々の方法で表面保
護層(真空薄膜)を接着性よく形成することができる。
On the surface of the photoconductor thus cleaned, for example, a plasma CVD method, a photo CVD method, a thermal CVD method, a sputtering method,
The surface protective layer (vacuum thin film) can be formed with good adhesiveness by various methods such as a vapor deposition method and an ion plating method.

表面粗面化の方法は、特に限定されるものではない
が、例えば、天然繊維(羊毛、鹿毛、兎毛などの獣毛、
綿、麻等)、化学繊維(レーヨン、アセテート、ナイロ
ン、ポリプロピレン、アクリル、ポリエステル、テフロ
ン等)、ガラス繊維またはステンレススチール繊維等を
湿気、熱、圧力の作用で3次元的に絡めて、シート状に
したフエルト、またはそれらの繊維からなる布、ブラシ
を圧接して摺接させる機械的研摩手段(バフ研磨、ブラ
シ研磨等)を挙げることができる。
The method of surface roughening is not particularly limited. For example, natural fibers (animal hair such as wool, deer, rabbit hair,
Cotton, hemp, etc.), chemical fibers (rayon, acetate, nylon, polypropylene, acrylic, polyester, Teflon, etc.), glass fibers or stainless steel fibers, etc., are three-dimensionally entangled by the action of moisture, heat, and pressure to form a sheet. And mechanical polishing means (buff polishing, brush polishing, etc.) for pressing and sliding a cloth made of the above-mentioned felt, a cloth made of these fibers, and a brush.

このような機械的研磨手段を使用する場合、研磨剤
(樹脂あるいは無機物からなる粒子)を水、表面活性
剤、切削油等と共に存在させてもよいし、させなくても
よい。研磨剤を用いる場合は、研磨粒子を埋め込んだり
結合させたフエルト、布、ブラシを用いていもよい。
When such a mechanical polishing means is used, an abrasive (particles made of a resin or an inorganic substance) may or may not be present together with water, a surfactant, a cutting oil and the like. When an abrasive is used, a felt, a cloth, or a brush in which abrasive particles are embedded or bonded may be used.

表面粗さは、繊維の種類、大きさ、太さあるいは密
度、または、研磨粒子を用いる場合は、研磨粒子の種
類、大きさ、太さあるいは、密度、さらに研磨機の圧接
力、摺擦力により制御することができる。
The surface roughness is determined by the type, size, thickness or density of the fiber, or, if abrasive particles are used, the type, size, thickness or density of the abrasive particles, as well as the pressing force and rubbing force of the polishing machine. Can be controlled by

例えば、ウール製フエルトの内盤状バフ(直径20cm)
で直径80mm×長さ330mmの樹脂分散型の感光体ドラム研
磨により粗面化する場合、 純粋吐液 :1/分 ドラム回転数 :100〜240rpm バフ回転数 :50〜850rpm バフ送り :0.3〜1cm/秒 バフセンターずれ:4.5〜6cm バフ荷重 :2.5〜15kg の研磨条件下で、本発明に適した表面粗度とすることが
できる。もちろん上記条件は例示的なものであって、本
発明の表面粗度を達成する条件を何ら限定するものでは
ない。
For example, wool felt inner buff (20cm in diameter)
When the surface is roughened by polishing a resin-dispersed photosensitive drum with a diameter of 80 mm and a length of 330 mm, pure spouting liquid: 1 / min Drum rotation speed: 100 to 240 rpm Buff rotation speed: 50 to 850 rpm Buff feed: 0.3 to 1 cm Buff center deviation: 4.5 to 6 cm Buff load: Under polishing conditions of 2.5 to 15 kg, surface roughness suitable for the present invention can be obtained. Of course, the above conditions are illustrative, and do not limit the conditions for achieving the surface roughness of the present invention at all.

バフ研磨を行なう場合、第1図または第2図に示した
ように複数のバフを用いて処理してもよい。第3図に示
したようにドラムを排水行の状態にセットしバフ研磨を
行なってもよい。また第4図に示したようにバフを片当
てした状態で研磨処理を行なってもよい。
When buffing is performed, the processing may be performed using a plurality of buffs as shown in FIG. 1 or FIG. As shown in FIG. 3, the drum may be set in the state of a drain line and buffing may be performed. Further, as shown in FIG. 4, the polishing treatment may be performed in a state where the buff is put on one side.

さらに別の方法として、研磨粒子を感光層表面にぶつ
けるサンドブラスト法等も使用することができる。さら
に、有機感光層を、予めシリカ等の粉体粒子を添加した
塗布液を塗布して形成することにより、感光層表面を微
細に粗することも可能である。
As still another method, a sand blast method in which abrasive particles are hit on the surface of the photosensitive layer can be used. Further, the surface of the photosensitive layer can be finely roughened by forming the organic photosensitive layer by applying a coating solution to which powder particles such as silica are added in advance.

粗面化の程度としては、最大高さ(Rt)で表わして0.
05μm〜0.4μm、好ましくは0.08〜0.24μmであり、
かつ粗れの山と山の平均山間隔(Sm)で表わして、100
μm以下、好ましくは80μm以下となるように粗面化処
理する。
The degree of surface roughening is expressed as a maximum height (Rt) of 0.
05 μm to 0.4 μm, preferably 0.08 to 0.24 μm,
It is expressed as the average mountain interval (Sm) between rough peaks and 100
The surface is roughened so as to be not more than μm, preferably not more than 80 μm.

最大高さが0.05μmより小さく、平均山間隔が100μ
mより大きい感度低下、黒筋等の画像ノイズ、表面保護
層の接着性不良が生じる。最大高さ0.4μmより大きく
平均山間隔が100μmより大きいと、さらに膜欠損、ト
ナーのフィルミング等の問題が発生ずる。
Maximum height is less than 0.05μm, average peak interval is 100μ
m, image noise such as black stripes, and poor adhesion of the surface protective layer. If the maximum height is larger than 0.4 μm and the average peak interval is larger than 100 μm, problems such as film defects and toner filming will occur.

本発明による粗面化処理を施した感光層表面に真空薄
膜の表面保護層を形成すると、真空薄膜は膜ストレスを
内包することになり、該薄膜中に無数のクラックが膜厚
方向に入る。その結果、感光層表面は、無数の斑点が島
状にアイソレートされ、電荷の横流れ、残留電位の上昇
等が防止され、黒筋発生の問題が解消されるものと考え
られている。
When a surface protective layer of a vacuum thin film is formed on the surface of the photosensitive layer subjected to the surface roughening treatment according to the present invention, the vacuum thin film includes a film stress, and countless cracks enter the film in the thickness direction. As a result, it is considered that countless spots are isolated in the form of islands on the surface of the photosensitive layer, thereby preventing the horizontal flow of charges and the increase in residual potential, and the problem of black streak formation is eliminated.

なお、本発明において最大高さ(Rt)および平均山間
隔(Sm)とは、JIS BO601−1982に記載のものをいい、
そのJIS内にいう基準長さとして、2.5mmを使用してい
る。
In the present invention, the maximum height (Rt) and the average peak interval (Sm) refer to those described in JIS BO601-1982.
2.5mm is used as the standard length in the JIS.

洗浄工程と粗面化工程を施す順序は、洗浄工程→粗面
化工程の順序、または粗面化工程→洗浄工程の順序いず
れでもよい。好ましい順序は洗浄工程→粗面化工程であ
る。
The order of performing the cleaning step and the roughening step may be any of the order of the cleaning step → the roughening step or the order of the roughening step → the cleaning step. A preferred order is a washing step → a roughening step.

洗浄工程を施した後、粗面化工程を施す場合、洗浄処
理により、感光層表面の酸化被膜が取り除かれる。後の
粗面化処理により酸化被膜が形成されることはない。そ
のため、表面保護層としての真空薄膜の感光層への接着
性が確保される。また、感光層表面の形状は、洗浄処理
の影響を受けず、後の粗面化処理により決まり、感光層
表面形状の制御を行いやすい。
When a roughening step is performed after the cleaning step, the oxide film on the surface of the photosensitive layer is removed by the cleaning processing. No oxide film is formed by the subsequent roughening treatment. Therefore, the adhesiveness of the vacuum thin film as the surface protective layer to the photosensitive layer is ensured. In addition, the shape of the photosensitive layer surface is not affected by the cleaning treatment, and is determined by the subsequent roughening treatment, so that the surface shape of the photosensitive layer can be easily controlled.

粗面化処理は、洗浄処理終了後できるだけ早く行う。
さもないと、再び表面に酸化被膜が形成され、洗浄処理
を施した効果がなくなる。
The surface roughening process is performed as soon as possible after the completion of the cleaning process.
Otherwise, an oxide film is formed again on the surface, and the effect of the cleaning treatment is lost.

一方上記と逆の順序、すなわちん粗面化工程を施した
後、洗浄工程を施す場合、後の洗浄処理により感光層表
面の酸化被膜が除去されるため真空薄膜の感光層への接
着性不良の問題は生じない。ところが、粗面化された表
面が後の洗浄処理で平滑化されることはない反面、かえ
って、表面が荒される傾向が強い。これは粗面化処理に
より、感光層の表面積が多くなり、洗浄処理により溶出
する感光層成分の量が、粗面化していない場合に比べ、
格段に増加したためと考える。従って、この処理順序で
は、表面粗さの制御が難しく、トナークリーニング時の
拭き残しが生じやすくなる。
On the other hand, when the cleaning step is performed after performing the reverse order, that is, performing the roughening step, the oxide film on the surface of the photosensitive layer is removed by the subsequent cleaning processing, so that the adhesion of the vacuum thin film to the photosensitive layer is poor. No problem arises. However, although the roughened surface is not smoothed by the subsequent cleaning treatment, the surface tends to be roughened. This is because the surface area of the photosensitive layer is increased by the surface roughening treatment, and the amount of the photosensitive layer component eluted by the washing treatment is smaller than that in the case where the surface is not roughened.
I think this is because it has increased significantly. Therefore, in this processing sequence, it is difficult to control the surface roughness, and wiping is likely to occur during toner cleaning.

洗浄工程および粗面化処理が終了後、有機系感光層の
表面には真空薄膜を形成し、表面保護層とする。このよ
うな表面保護層としてはプラズマ重合法で形成した非晶
質炭化水素類、または、Al2O3、Bi2O3、Ce2O3、Cr2O3
In2O3、MgO、SiO、SiO2、SnO2、Ta2O3、TiO、TiO2、ZrO
2、Y2O3等の金属酸化物、Si3N4、Ta2Nなどの金属窒化
物、MgF2、LiF、NdF3、LaF3、C3F2、CeF3等の金属フッ
化物、SiC、TiCなどの金属炭化物、ZnS、CdS、PbSなど
の金属硫化物等の金属化合物を蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレーティング法などのいわゆる真空薄膜形
成技術を用いて形成した金属化合物膜が挙げられる。
After the completion of the washing step and the surface roughening treatment, a vacuum thin film is formed on the surface of the organic photosensitive layer to form a surface protective layer. As such a surface protective layer, amorphous hydrocarbons formed by a plasma polymerization method, or Al 2 O 3 , Bi 2 O 3 , Ce 2 O 3 , Cr 2 O 3 ,
In 2 O 3 , MgO, SiO, SiO 2 , SnO 2 , Ta 2 O 3 , TiO, TiO 2 , ZrO
2, Y metal oxides such as 2 O 3, Si 3 N 4 , a metal nitride such as Ta 2 N, MgF 2, LiF , NdF 3, LaF 3, C 3 F 2, CeF 3 metal fluorides such as, Metal compounds such as metal carbides such as SiC and TiC, and metal sulfides such as ZnS, CdS, and PbS are formed using a so-called vacuum thin film forming technique such as an evaporation method, a sputtering method, or an ion plating method. Can be

表面保護層の厚さは、微細な凹凸のない鏡面状の表面
に形成したとした場合に換算して、0.01〜5μm、好ま
しくは0.04〜1μmである。この程度の膜厚であると、
感光層表面の凹凸の形態は、表面保護層上に、ほとんど
そのままの形態で現れる。5μmより厚いと、形成した
真空薄膜に内部応力に基づくと考えられるクラックが形
成されず、前記した問題が依然解消されない。膜厚が0.
01μmより薄いと耐刷したときに摩耗あるいは剥離し易
くなる。
The thickness of the surface protective layer is 0.01 to 5 μm, preferably 0.04 to 1 μm, assuming that it is formed on a mirror-like surface without fine irregularities. With such a film thickness,
The unevenness on the surface of the photosensitive layer appears almost as it is on the surface protective layer. If the thickness is more than 5 μm, cracks, which are considered to be based on internal stress, are not formed in the formed vacuum thin film, and the above-mentioned problem still remains. The film thickness is 0.
When the thickness is less than 01 μm, the plate is easily worn or peeled off during printing.

以下の本発明を実施例を用いて説明する。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to Examples.

有機系感光層(a)の作製(負帯電気能分離型) ビスアゾ顔料クロロジアブルー(CDB)1重量部、ポ
リエステル樹脂(東洋紡績社製:V−200)1重量部、及
びシンクロヘキサノン100重量部の混合液をサンドグラ
インダーにて13時間分散した。この分散液を直径80mm×
長さ330mmの円筒状アルミニウム基板上にディッピング
にて塗布し、乾燥して膜厚0.3μmの電荷発生層を形成
した。
Preparation of Organic Photosensitive Layer (a) (Negative Band Electricity Separation Type) 1 part by weight of bisazo pigment chlorodia blue (CDB), 1 part by weight of polyester resin (manufactured by Toyobo Co., Ltd .: V-200), and 100 parts by weight of synchrohexanone Of the mixture was dispersed with a sand grinder for 13 hours. This dispersion is 80 mm in diameter
It was applied by dipping on a cylindrical aluminum substrate having a length of 330 mm and dried to form a charge generation layer having a thickness of 0.3 μm.

別に、4−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジフェ
ニルヒドラゾン(DEH)1重量部、及びポリカーボネー
ト(帝人化成社製;K−1300)1重量部をテトラヒドロフ
ラン(THF)6重量部に溶解し、この溶液を前記電荷発
生層上に塗布、乾燥し、乾燥後の膜厚が15μmの電荷輸
送層を形成し、有機系感光層(a)を得た。
Separately, 1 part by weight of 4-diethylaminobenzaldehyde-diphenylhydrazone (DEH) and 1 part by weight of polycarbonate (manufactured by Teijin Chemicals Limited; K-1300) are dissolved in 6 parts by weight of tetrahydrofuran (THF). The resultant was coated and dried, and a charge transport layer having a thickness of 15 μm after drying was formed to obtain an organic photosensitive layer (a).

有機系感光層(b)の作製(正帯電用バインダー型) 特殊α型銅フタロシアニン(東洋インキ社製)25重量
部、アクリルメラミン熱効果型樹脂(大日本インキ社
製:A−405とスーペーベッカミンJ820の混合物)50重量
部、4−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジフェニル
ヒドラゾン25重量部および有機溶剤(キシレン7重量部
とブタノール3重量部の混合物)500重量部の混合液を
ボールミルで10時間粉砕分散した。この分散液を直径80
mm×長さ330mmの円筒状アルミニウム基板上にディッピ
ングにて塗布し、乾燥焼き付け(150℃で1時間)を行
い、膜厚15μmの有機系感光層(b)を得た。
Preparation of organic photosensitive layer (b) (binder type for positive charging) 25 parts by weight of special α-type copper phthalocyanine (manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.), acrylic melamine heat effect resin (manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd .: A-405 and super A mixture of 50 parts by weight of becamine J820), 25 parts by weight of 4-diethylaminobenzaldehyde-diphenylhydrazone and 500 parts by weight of an organic solvent (a mixture of 7 parts by weight of xylene and 3 parts by weight of butanol) was pulverized and dispersed in a ball mill for 10 hours. . Disperse the dispersion to a diameter of 80
It was applied on a cylindrical aluminum substrate having a size of mm × 330 mm by dipping and dried and baked (at 150 ° C. for 1 hour) to obtain an organic photosensitive layer (b) having a thickness of 15 μm.

実施例1 (感光層の洗浄)(W1と略記) 有機系感光層(a)を20℃、65%の環境下に30日間保
存した。第5図に示す洗浄装置を用い洗浄した。
Example 1 (Washing of photosensitive layer) (abbreviated as W1) The organic photosensitive layer (a) was stored in an environment of 20 ° C. and 65% for 30 days. The cleaning was performed using the cleaning apparatus shown in FIG.

第5図中、(1)は、基体上に感光層(a)を設けた
感光ドラム(1)で、油圧式上下機構を有する手段
(3)で上下可動のシャフト(2)に取り付けられてい
る。(4)は洗浄槽で、30(縦)×30(横)×50(液面
までの高さ)cm3の内容積をもち、内部には洗浄用の溶
剤(5)が満たされている。溶剤(5)は蒸留循環器
(6)で循環使用される。
In FIG. 5, (1) is a photosensitive drum (1) having a photosensitive layer (a) provided on a substrate, which is attached to a vertically movable shaft (2) by means (3) having a hydraulic vertical mechanism. I have. (4) is a washing tank having an internal volume of 30 (length) × 30 (width) × 50 (height to liquid level) cm 3 , and is filled with a cleaning solvent (5). . The solvent (5) is circulated and used in the distillation circulator (6).

洗浄はまず、感光ドラム(1)を、油圧式上下手段
(3)で徐々に下げ、洗浄槽(4)内の容剤に感光ドラ
ム(1)を全部浸漬させることにより行なった。この
時、洗浄をより効果的行なうため、超音波発振子(7)
により、適宜超音波洗浄を行なった。
The cleaning was performed by gradually lowering the photosensitive drum (1) by the hydraulic vertical means (3) and dipping the photosensitive drum (1) entirely in a container in the cleaning tank (4). At this time, in order to perform cleaning more effectively, the ultrasonic oscillator (7)
, Was appropriately subjected to ultrasonic cleaning.

実際の洗浄に用いた溶剤量は、蒸留循環器(6)や配
管分も含めて約50とした。液温は、図示しない温調器
にて20℃とした。適宜使用した超音波発振子の出力は50
Wとした。
The amount of the solvent used for the actual cleaning was about 50 including the distillation circulator (6) and the piping. The liquid temperature was set to 20 ° C. by a temperature controller (not shown). The output of the ultrasonic oscillator used appropriately is 50
W.

以上の洗浄工程においては、溶剤として、n−エキサ
ンを用い、浸漬動作30秒、浸漬時間10秒、引上動作30
秒、ドラム面洗浄時間差60秒(最短10秒、最長70秒)で
洗浄を行なった。
In the above cleaning process, n-hexane was used as a solvent, immersion operation 30 seconds, immersion time 10 seconds,
The cleaning was performed with a difference of 60 seconds between the drum surface cleaning time (shortest 10 seconds and maximum 70 seconds).

なお、浸漬動作、浸漬時間、引上動作、ドラム面洗浄
時間差は以下に記載した。
The immersion operation, immersion time, lifting operation, and drum surface cleaning time difference are described below.

・浸漬動作:シャフトを定速で下げながら、感光ドラム
の下端が液面に触れてから、上端が液面に浸るまでの時
間。
Immersion operation: The time from when the lower end of the photosensitive drum touches the liquid surface to when the upper end is immersed in the liquid surface while lowering the shaft at a constant speed.

つまり、長さ330mmのドラムの場合、浸漬動作30
〔秒〕というのは、330/30=11mm/secでシャフトを下げ
た事を意味する。
In other words, for a drum with a length of 330 mm,
[Second] means that the shaft was lowered at 330/30 = 11 mm / sec.

・浸漬時間:感光ドラム全体が液面下に浸っている時
間。
Immersion time: The time during which the entire photosensitive drum is immersed below the liquid level.

・引上動作:浸漬動作の反対で、引上げ時、感光ドラム
上端が液面上に出た時から、下端が出きるまでの時間。
-Pulling operation: The time from when the upper end of the photosensitive drum comes out above the liquid surface to when the lower end comes out, at the time of lifting, as opposed to the dipping operation.

また、ドラム下端とドラム上端の液中の浸漬時間差
を、以下のように最短時間と最長時間を測定しドラム面
洗浄時間差として求めた。
The difference between the immersion time in the liquid at the lower end of the drum and that at the upper end of the drum was determined as the drum surface cleaning time difference by measuring the shortest time and the longest time as follows.

・最短時間:ドラム上端が液面下に浸っている時間。即
ち、浸漬時間と等しい。
・ Minimum time: The time during which the upper end of the drum is immersed below the liquid level. That is, it is equal to the immersion time.

・最長時間:ドラム下端が液面下に浸っている時間。即
ち、浸漬動作+浸漬時間+引上動作に等しい。
・ Longest time: The time when the lower end of the drum is immersed below the liquid level. That is, it is equal to the immersion operation + the immersion time + the lifting operation.

(表面粗面化処理)(R1と略記) 上記で洗浄した有機系感光層(a)の表面を第6図に
示したバフ研摩機により微細研摩した。
(Surface roughening treatment) (abbreviated as R1) The surface of the organic photosensitive layer (a) washed above was finely polished by a buff polisher shown in FIG.

有機系感光層をチャッキング(301)により固定し、
羊毛を厚さ3cmの円板状に縮絨したバフ(密度0.03g/c
m3)(バフ直径:20cm)(303)をバフズレ4.5cmの位置
にセットした。バフズレは、第7図に示したように感光
体(304)の長手方向の中心線と円盤状バフ(303)の中
心点との間の距離である。
The organic photosensitive layer is fixed by chucking (301),
A buff made from wool into a 3cm-thick disc (density 0.03g / c
m 3 ) (buff diameter: 20 cm) (303) was set at a position of 4.5 cm buffing. The buff shift is the distance between the center line in the longitudinal direction of the photoconductor (304) and the center point of the disk-shaped buff (303) as shown in FIG.

次に感光層(304)を矢印(d)方向に300rpmで回転
させ(この回転をワーク回転という)、円盤状バフ(30
3)を矢印(c)方向に500rpmで回転させながら、円盤
状バフ(303)に矢印(a)の方向から荷重6.6kgをかけ
(この荷重をバフ荷重という)、円盤状バフ(303)を
感光層(304)に挿圧した。この時、感光層(304)に対
するバラ線荷重は0.3kg/cmであった。この状態で、バフ
(303)は矢印(b)方向に、送り速度1cm/secで往復運
動を3回繰り返した。このとき同時に、感光層(304)
と円盤状バフ(303)の接触面に向けて液吐出ノズル(3
02)より純粋を1/分の割合で吐出させた。
Next, the photosensitive layer (304) is rotated at 300 rpm in the direction of the arrow (d) (this rotation is referred to as work rotation), and the disk-shaped buff (30) is rotated.
While rotating 3) at 500 rpm in the direction of arrow (c), apply a load of 6.6 kg to the disk-shaped buff (303) from the direction of arrow (a) (this load is referred to as buff load), and remove the disk-shaped buff (303). Pressure was applied to the photosensitive layer (304). At this time, the loose wire load on the photosensitive layer (304) was 0.3 kg / cm. In this state, the buff (303) reciprocated three times in the direction of arrow (b) at a feed rate of 1 cm / sec. At the same time, the photosensitive layer (304)
Discharge nozzle (3) toward the contact surface between the
02) Purer was discharged at a rate of 1 / min.

有機系感光層(a)の表面は、最大高さ(Rt)で表わ
して0.086μmの粗さであった。
The surface of the organic photosensitive layer (a) had a roughness of 0.086 μm as represented by the maximum height (Rt).

なお、Rzは、JIS−BO601−1982に従って測定した。測
定機は東京精密社製表面粗さ計サーフコム550A(商品
名)を用いた。
In addition, Rz was measured according to JIS-BO601-1982. The measuring machine used was a surface roughness meter Surfcom 550A (trade name) manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.

次に、上記有機系感光層の表面上に以下のように、プ
ラズマ非晶質炭化水素膜(以下PACと略す)を形成し
た。
Next, a plasma amorphous hydrocarbon film (hereinafter abbreviated as PAC) was formed on the surface of the organic photosensitive layer as follows.

(PACの調製) 第8図に示すグロー放電分解装置において、まず、反
応装置(733)の内部を10-4Torr程度の高真空にした
後、第1および第2調節弁(707および708)を解放し、
第1タンク(701)より水素ガス、第2タンク(702)よ
りブタジンエンガスを各々出力圧1.0kg/cm2の下で、第
1および第2流量制御器(713および714)内へ流入させ
た。そして、各流量制御器の目盛を調製して、水素ガス
の流量を300sccm、ブタジエンガスの流量を30scomとな
るように設定して、途中混合器(731)を介して、主管
(732)より反応室(733)内へ流入した。各々の流量が
安定した後に、反応室(733)内の圧力が0.5Torrとなる
ように圧力調整弁(745)を調整した。一方、基板(75
2)としては、前述の有機系感光層(a)を用いて、予
め50℃に加熱しておき、ガス流量および圧力が安定した
状態で、予め接続選定スイッチ(744)により接続して
おいた低周波電源(741)を投入し、電力印加電極(73
6)に180Wattの電力を周波数100KHzの下で印加して約18
0秒間のプラズマ重合反応を行ない、基板(752)上に厚
さ1200Åの非晶室炭素膜(PAC膜)を表面保護層として
形成した。成膜完了後は、電力印加を停止し、調節弁を
閉じ、反応室(733)内を充分に排気した後、真空を破
り本発明に係る感光体を取り出した。
(Preparation of PAC) In the glow discharge decomposition apparatus shown in FIG. 8, first, the inside of the reactor (733) is evacuated to a high vacuum of about 10 -4 Torr, and then the first and second control valves (707 and 708) Release
Hydrogen gas from the first tank (701) and butadiene gas from the second tank (702) flow into the first and second flow controllers (713 and 714) at an output pressure of 1.0 kg / cm 2 , respectively. Was. Then, the scale of each flow controller is adjusted, and the flow rate of hydrogen gas is set to 300 sccm, and the flow rate of butadiene gas is set to 30 scom, and the reaction is performed from the main pipe (732) via the intermediate mixer (731). Flowed into room (733). After each flow rate was stabilized, the pressure regulating valve (745) was adjusted such that the pressure in the reaction chamber (733) became 0.5 Torr. On the other hand, the substrate (75
As 2), the above-mentioned organic photosensitive layer (a) was previously heated to 50 ° C., and was previously connected by the connection selection switch (744) while the gas flow rate and pressure were stable. The low-frequency power supply (741) is turned on and the power application electrode (73
6) Apply 180Watt power under the frequency of 100KHz to about 18
A plasma polymerization reaction was performed for 0 second to form a 1200-mm-thick amorphous carbon film (PAC film) as a surface protective layer on the substrate (752). After the film formation was completed, the application of power was stopped, the control valve was closed, and the inside of the reaction chamber (733) was sufficiently evacuated. Then, the vacuum was broken and the photoconductor of the present invention was taken out.

(評価) 以上のようにして得られた感光体を、接着性、感度低
下および拭き残しについて評価した。
(Evaluation) The photoreceptor obtained as described above was evaluated for adhesiveness, reduced sensitivity and unwiped residue.

接着性評価 JIS−K5400規格の碁盤目試験を行ない表面保護層の有機
系感光体への接着性を評価し、化のごとくランク付を行
なった。
Adhesion evaluation A JIS-K5400 standard cross-cut test was performed to evaluate the adhesion of the surface protective layer to the organic photoreceptor, and ranking was performed as in the chemical formula.

感度低下の評価 試作された感光体を実機に搭載し、露光量を調整し、
画像濃度0.50のハーフトーン画像を得た。
Evaluation of sensitivity reduction Mount the prototype photoconductor on the actual machine, adjust the exposure amount,
A halftone image with an image density of 0.50 was obtained.

その後A4紙1万枚のコピーをとった後、同一の露光量
にてハーフトーン画像を得、その画像濃度を求め、初期
の画像濃度0.50との差を求めた。
Thereafter, after making 10,000 copies of A4 paper, a halftone image was obtained with the same exposure, the image density was obtained, and the difference from the initial image density of 0.50 was obtained.

例えば一万枚コピー後の画像濃度が0.55であれば、そ
の差0.05を感度低下分とした。
For example, if the image density after copying 10,000 sheets is 0.55, the difference 0.05 is regarded as the sensitivity reduction.

実機の表面電位設定は400〔V〕、現像バイアス設定
は150〔V〕とした。
The surface potential of the actual machine was set at 400 [V], and the developing bias was set at 150 [V].

実施例の一覧表には下記の評価基準にて感度低下の良
否を示した。
In the list of examples, the quality of sensitivity reduction was shown based on the following evaluation criteria.

尚、画像濃度の測定は、コニカ社製、温度計、サクラ
デンシトメータDA65(商品名)を用いた。
The image density was measured using a thermometer and Sakura Densitometer DA65 (trade name) manufactured by Konica Corporation.

拭き残し評価 拭き残しとは、B/W比6%の原稿をコピーした後、複
写紙に転写されず感光体上に残ったトナーが、トナーク
リナーでも除去されないため、次の複写工程において、
その感光体上に残るトナーの影響をうけて、複写画像に
ムラ、黒点等の不良画像が形成される現象をいう。感光
体表面、複写画像を目視観察により以下のごとくランク
付を行なった。
Wipe residue evaluation Wipe residue means that after copying an original with a B / W ratio of 6%, the toner remaining on the photoreceptor without being transferred to the copy paper is not removed by the toner cleaner.
A phenomenon in which a defective image such as unevenness or black spots is formed on a copied image under the influence of the toner remaining on the photoreceptor. The photoreceptor surface and the copied image were ranked as follows by visual observation.

×:B/W比6%の原稿をコピーし、コピー画像上に拭き
残しによる不良画像が得られた場合 △:感光体表面がクリーナーを通過した直後、 原稿に対応する感光体表面部分にトナーが拭き残されて
いるが、コピー画像上にはそれが現われない場合。
×: When a document having a B / W ratio of 6% was copied and a defective image was obtained due to unwiping on the copy image. Δ: Immediately after the photoconductor surface passed the cleaner, toner was applied to the photoconductor surface corresponding to the document. Is wiped, but it does not appear on the copied image.

○:コピー画像、感光体表面とも拭き残しが認められ
ない場合。
:: When no unwiped residue is observed on the copy image or the photoreceptor surface.

以上の結果を表1にまとめた。 Table 1 summarizes the above results.

実施例2 表面粗化処理を、下記に記載のごとくおこなう以外、
実施例1と同様に感光体を作製し、評価した。結果を表
1に示した。
Example 2 Except that the surface roughening treatment was performed as described below,
A photoconductor was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

(粗面化処理)(R2と略記) 直径5cmの円筒状ブラシ(10)(ブラシの材質は6,6−
ナイロン、毛の太さは5μm〜13μm、長さは約10mm)
を、第9図に示したごとく、感光層(11)と圧接し、円
筒状ブラシ200rpm、感光層60rpmで5分間回転した。
(Roughening treatment) (abbreviated as R2) Cylindrical brush (10) with a diameter of 5 cm (brush material is 6,6-
Nylon, hair thickness 5μm ~ 13μm, length about 10mm)
Was pressed against the photosensitive layer (11) as shown in FIG. 9 and rotated at 200 rpm for 5 minutes with a cylindrical brush at 60 rpm.

有機系感光層(a)の表面は、10点平均粗さ(Rz)で
表わして0.9μmの粗さであった。
The surface of the organic photosensitive layer (a) had a roughness of 0.9 μm as represented by a 10-point average roughness (Rz).

実施例3 表面粗面化処理を、下記に記載のごとくおこなった以
外実施例1と同様に感光体を作製し、評価した。結果を
表1に示した。
Example 3 A photoconductor was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1, except that the surface roughening treatment was performed as described below. The results are shown in Table 1.

(粗面化処理)(R3と略記) サンドブラスト法を使用し、研摩剤としての約0.7μ
m径のSiC粒子を有機系感光層(a)へぶつけ、表面を
粗面化した。
(Roughening treatment) (abbreviated as R3) Using sandblasting method, about 0.7μ as abrasive
SiC particles having a diameter of m were bumped against the organic photosensitive layer (a) to roughen the surface.

その後、純水中にてウエスを感光層に軽く圧接し、感
光層を回転させながら超音波洗浄を行ない、感光層表面
に残留・付着したSiC粒子を除去し、感光層を乾燥し
た。
Thereafter, the waste was lightly pressed against the photosensitive layer in pure water, and ultrasonic cleaning was performed while rotating the photosensitive layer to remove SiC particles remaining and attached to the surface of the photosensitive layer, and the photosensitive layer was dried.

実施例4 実施例1においておこなった感光層洗浄処理において
使用した溶剤n−ヘキサンの代わりに、下記構造式; で示されるフッ素化プロパノールを使用する以外、実施
例1の洗浄工程と同様に感光層を洗浄し、(この洗浄工
程を表1中にはW2と略記)感光体を作製した。評価も実
施例1と同様に行なった。
Example 4 Instead of the solvent n-hexane used in the photosensitive layer cleaning treatment performed in Example 1, the following structural formula; The photosensitive layer was washed in the same manner as in the washing step of Example 1 except that the fluorinated propanol shown in (1) was used (this washing step is abbreviated as W2 in Table 1) to produce a photoreceptor. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1.

実施例5 感光層洗浄処理を下記の記載のごとく行なう以外、実
施例1と同様に感光体を作製し、評価した。結果を表1
に示した。
Example 5 A photoconductor was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1, except that the photosensitive layer cleaning treatment was performed as described below. Table 1 shows the results
It was shown to.

(感光層洗浄効果)(W3と略記) 本実施例で使用した洗浄処理を第10図〜第12図を用い
て説明する。第10図〜第12図において、(101)は洗浄
槽、(102)は沸騰溶剤、(103)は熱源、(104)は溶
剤蒸気層、(105)は冷却水、(106)は凝縮液受樋、
(107)は凝縮器、(108)は冷却水、(109)は空気/
蒸気境界面、(110)は感光体である。なお図示してい
ないが洗浄槽(101)の上部には蓋を設けても良い。
(Photosensitive layer cleaning effect) (abbreviated as W3) The cleaning process used in this example will be described with reference to FIGS. 10 to 12, (101) is a cleaning tank, (102) is a boiling solvent, (103) is a heat source, (104) is a solvent vapor layer, (105) is cooling water, and (106) is a condensate. Gutter,
(107) is a condenser, (108) is cooling water, (109) is air /
The vapor interface, (110) is the photoreceptor. Although not shown, a lid may be provided above the cleaning tank (101).

前記構成からなる洗浄装置を用いて、溶剤としてフロ
ン−113(CCl2FCClF2;1,1,2−トリクロロ−1,2,2−トリ
フルオロエタン)を使用し、溶剤蒸気相(104)に冷た
い感光層(110)を入れ、感光層と蒸気の温度差によっ
て蒸気を感光層表面で凝縮・液化させ、液滴で感光体を
約33秒荒い流した(第11図)。感光層の温度は上昇し、
感光層表面でもはや蒸気は液化せず、蒸気の吸・脱着の
平衡状態を保つようになると、感光体を引きあげた(第
12図)。
Using the cleaning apparatus having the above-mentioned structure, Freon-113 (CCl 2 FCClF 2 ; 1,1,2-trichloro-1,2,2-trifluoroethane) was used as a solvent, and the solvent vapor phase (104) was used. The cold photoconductive layer (110) was put in, the vapor was condensed and liquefied on the surface of the photoconductive layer by the temperature difference between the photoconductive layer and the vapor, and the photoreceptor was roughly flown by the droplet for about 33 seconds (FIG. 11). The temperature of the photosensitive layer rises,
The vapor was no longer liquefied on the surface of the photosensitive layer, and when the equilibrium state of absorption and desorption of the vapor was maintained, the photoconductor was pulled up (No.
12).

実施例6 表面保護層として、下記の記載のごとく真空蒸着法に
よる酸化ケイ素膜(SiO膜と略す)を形成する以外、実
施例1と同様に感光体を作製し、評価した。結果を表1
中に示した。
Example 6 A photoconductor was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1, except that a silicon oxide film (abbreviated as SiO film) was formed as a surface protective layer by a vacuum deposition method as described below. Table 1 shows the results
Shown inside.

(SiO膜の形成) 常用人の真空加熱法による蒸着装置を用いて、下記条
件: 蒸着源 :SiO 基板温度 :50℃ ポート温度:1200℃ 真空度 :8×10-5Torr 蒸着時間 :5分間 膜厚 :1300Å にてSiOの薄膜を設けた。
(Formation of SiO film) Using an ordinary person's vacuum heating evaporation system, the following conditions were used: evaporation source: SiO substrate temperature: 50 ° C port temperature: 1200 ° C vacuum degree: 8 × 10 -5 Torr evaporation time: 5 minutes A thin film of SiO was provided at a thickness of 1300 mm.

実施例7 表面保護層として、下記記載のごとく、スパッタリン
グ法による酸化アルミニウム膜(Al2O3膜と略す)を形
成する以外、実施例1と同様に感光体を作製し、評価し
た。
Example 7 A photoconductor was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1, except that an aluminum oxide film (abbreviated as Al 2 O 3 film) was formed as a surface protective layer by a sputtering method as described below.

(Al2O3膜の形成) 常用のスパッタリング装置を用いて、下記条件: ターゲット:Al2O3 基板温度 :50℃ 放電間隔 :50mm(ターゲットと基板との距離) 真空度:2×10-5Torr 放電ガス :Ar 放電電力 :2.0KW 放電周波数:13.5MHz 放電時間 :12分間 膜厚 :1800Å 実施例8 有機系感光体(b)を使用する以外、実施例1と同様
に感光体を作製し、評価した。結果を表1に示した。
(Formation of Al 2 O 3 film) Using a conventional sputtering apparatus, the following conditions: Target: Al 2 O 3 substrate temperature: 50 ° C. Discharge interval: 50 mm (distance between target and substrate) Degree of vacuum: 2 × 10 − 5 Torr Discharge gas: Ar Discharge power: 2.0 kW Discharge frequency: 13.5 MHz Discharge time: 12 minutes Film thickness: 1800Å Example 8 A photoconductor was prepared in the same manner as in Example 1, except that the organic photoconductor (b) was used. And evaluated. The results are shown in Table 1.

実施例9 実施例1において、感光層表面を洗浄してから表面粗
面化を施した順序に代え、その逆の順序すなわち、感光
層表面と粗面化処理した後、表面洗浄した順序とした以
外、実施例1と同様に感光体を作製し、評価した。結果
を表1に示した。
Example 9 In Example 1, the order in which the photosensitive layer surface was washed and then subjected to surface roughening was replaced with the reverse order, ie, the order in which the photosensitive layer surface was roughened and the surface was washed. A photoconductor was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except for the above. The results are shown in Table 1.

比較例1 表面粗面化処理を施さない以外、実施例1と同様に感
光体を作製し、評価した。結果を表1に示した。
Comparative Example 1 A photoconductor was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1, except that the surface roughening treatment was not performed. The results are shown in Table 1.

比較例2 感光層洗浄および表面粗面化処理を施さない以外、実
施例1と同様に感光体を作製し、評価した。結果を表1
に示した。
Comparative Example 2 A photoconductor was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive layer was not washed and the surface roughening treatment was not performed. Table 1 shows the results
It was shown to.

実施例10 実施例1において、純水を、純水中に研磨剤(不見研
磨材工業社製;WA#6000)を2.5g/となるように分散さ
せた研磨剤溶液に代えたこと以外は実施例1と同様にし
て感光体を作製し評価した。
Example 10 In Example 1, except that pure water was replaced with an abrasive solution in which an abrasive (manufactured by Fumi Abrasives Co., Ltd .; WA # 6000) was dispersed in pure water at a concentration of 2.5 g / g, was used. A photoconductor was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.

発明の効果 表面に真空薄膜を表面保護層として有する
有機系感光体を、本発明に従い製造すると、トナークリ
ーニング不良、繰り返し使用による残留電位の上昇、そ
れに伴なう黒筋発生の問題がない。
Effect of the Invention When an organic photoreceptor having a vacuum thin film on its surface as a surface protective layer is manufactured according to the present invention, there are no problems of poor toner cleaning, increase in residual potential due to repeated use, and generation of black streak accompanying this.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図〜第4図は、バフ研磨の種々の態様を模式的に表
わした図である。 第5図は、感光層洗浄装置の概略構成例を示す図であ
る。 第6図は、実施例で使用したバフ研磨装置の概略構成例
を示す図である。 第7図はバフズレを説明するための図である。 第8図は、グロー放電分解装置の概略構成例を示す図で
ある。 第9図はブラシ研磨の一態様を模式的に示す図である。 第10図〜第12図は、蒸気洗浄方法を説明するための図で
ある。
1 to 4 are diagrams schematically showing various aspects of buff polishing. FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration example of a photosensitive layer cleaning device. FIG. 6 is a diagram showing a schematic configuration example of a buff polishing apparatus used in the embodiment. FIG. 7 is a diagram for explaining buffing. FIG. 8 is a diagram showing a schematic configuration example of a glow discharge decomposition device. FIG. 9 is a view schematically showing one mode of brush polishing. FIG. 10 to FIG. 12 are diagrams for explaining the steam cleaning method.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 正木 賢治 大阪府大阪市中央区安土町2丁目3番13 号 大阪国際ビル ミノルタカメラ株式 会社内 (72)発明者 飯野 修司 大阪府大阪市中央区安土町2丁目3番13 号 大阪国際ビル ミノルタカメラ株式 会社内 (72)発明者 大澤 以清 大阪府大阪市中央区安土町2丁目3番13 号 大阪国際ビル ミノルタカメラ株式 会社内 (72)発明者 前川 文子 大阪府大阪市中央区安土町2丁目3番13 号 大阪国際ビル ミノルタカメラ株式 会社内 (56)参考文献 特開 平3−152545(JP,A) 特開 平3−152547(JP,A) 特開 平3−152546(JP,A) 特開 昭62−58257(JP,A) 特開 昭57−74744(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G03G 5/00 - 5/16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kenji Masaki 2-3-13-1 Azuchicho, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Osaka International Building Minolta Camera Co., Ltd. (72) Inventor Shuji Iino Azuchi, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Osaka International Building Minolta Camera Co., Ltd., 2-313 Machi (72) Inventor Is Kiyoshi Osawa Osaka International Building Minolta Camera Co., Ltd. 2-3-13 Azuchicho, Chuo-ku, Osaka City, Osaka (72) Inventor Fumiko Maekawa 2-3-3, Azuchicho, Chuo-ku, Osaka City, Osaka Prefecture Osaka International Building Minolta Camera Co., Ltd. (56) References JP-A-3-152545 (JP, A) JP-A-3-152547 (JP, A JP-A-3-152546 (JP, A) JP-A-62-58257 (JP, A) JP-A-57-74744 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. . 6, DB name) G03G 5/00 - 5/16

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】有機系感光層表面の酸化被膜を除去する作
用を有する溶剤により有機系感光層を洗浄する工程と、
該有機系感光層表面を粗面化する工程とを経た後に、真
空薄膜を表面保護層として形成することを特徴とする有
機系感光体の製造方法。
A step of washing the organic photosensitive layer with a solvent having an action of removing an oxide film on the surface of the organic photosensitive layer;
Forming a vacuum thin film as a surface protective layer after the step of roughening the surface of the organic photosensitive layer.
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