JP2932188B2 - Display device - Google Patents

Display device

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JP2932188B2
JP2932188B2 JP11861089A JP11861089A JP2932188B2 JP 2932188 B2 JP2932188 B2 JP 2932188B2 JP 11861089 A JP11861089 A JP 11861089A JP 11861089 A JP11861089 A JP 11861089A JP 2932188 B2 JP2932188 B2 JP 2932188B2
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耕平 中田
一郎 野村
俊彦 武田
嘉和 坂野
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、電子放出素子を用いた平面型の電子線表示
装置に関し、詳しくは、かかる表示装置のスペーサー部
材の構成に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat type electron beam display device using an electron-emitting device, and more particularly, to a configuration of a spacer member of such a display device.

[従来の技術] 従来、平板型の電子線表示装置において、電子放出素
子基板と該電子放出素子から放出された電子線の照射に
よって発光する蛍光体を有したフェースプレートの間に
は、飛翔した電子線が隣接する画素や領域に漏れ出し影
響を与えないよう、各画素あるいは各領域ごとを隔壁で
囲んだ形となるスペーサーを用いている。またこのスペ
ーサーは、電子放出素子基板とフェースプレート間を真
空にした時の耐大気圧構造材としても用いられている。
[Prior Art] Conventionally, in a flat panel type electron beam display device, a flying has occurred between an electron-emitting device substrate and a face plate having a phosphor which emits light by irradiation of an electron beam emitted from the electron-emitting device. A spacer is used in which each pixel or each region is surrounded by a partition so that the electron beam does not leak out to an adjacent pixel or region. This spacer is also used as an atmospheric pressure resistant structural material when a vacuum is applied between the electron-emitting device substrate and the face plate.

第7図は、従来例を示す電子線表示装置の部分断面図
である。1は電子放出素子がライン状に配列された素子
基板,2は電子放出部,3はライン状の電子放出素子と直交
した開口部を有するライン状電極から成る変調電極,4は
ガラス材から成るフェースプレート,5はフェースプレー
ト4に設けられた透明電極から成るITO膜,6はITO膜上に
形成された蛍光体である。7は電子放出素子と変調電極
3を絶縁するための絶縁層,21,22,23,24は一般に感光性
ガラス等によって形成された各蛍光体の画素ごとの隔壁
によって囲むスペーサーである。
FIG. 7 is a partial sectional view of an electron beam display device showing a conventional example. 1 is an element substrate on which electron-emitting devices are arranged in a line, 2 is an electron-emitting portion, 3 is a modulation electrode composed of a linear electrode having an opening orthogonal to the line-shaped electron-emitting device, and 4 is made of a glass material. The face plate 5, 5 is an ITO film formed of a transparent electrode provided on the face plate 4, and 6 is a phosphor formed on the ITO film. Reference numeral 7 denotes an insulating layer for insulating the electron-emitting device from the modulation electrode 3, and reference numerals 21, 22, 23, and 24 denote spacers which are generally formed of photosensitive glass or the like and are surrounded by partition walls for each pixel of each phosphor.

ここで、かかる装置内を真空状態とし、フェースプレ
ート4上のITO膜5にプラスの電圧を加え、ライン上に
配置された電子放出部2から順次電子を放出させ、変調
電極3によって放出電子を変調することによって蛍光体
6へ照射する電子線30を制御することで、蛍光体6の発
光による画像を任意に表示できる。
Here, the inside of the device is evacuated, a positive voltage is applied to the ITO film 5 on the face plate 4, electrons are sequentially emitted from the electron emitting portions 2 arranged on the line, and the emitted electrons are emitted by the modulation electrode 3. By controlling the electron beam 30 irradiated to the phosphor 6 by modulating the light, an image by the light emission of the phosphor 6 can be arbitrarily displayed.

また、スペーサー21,22,23,24の隔壁表面は、非常に
高抵抗ながら導電性を有しており、変調された放電電子
が蛍光体6を外れてスペーサーの隔壁部に照射されても
スペーサー自身チャージアップしにくい表面状態として
ある。
In addition, the partition walls of the spacers 21, 22, 23, and 24 have conductivity while having a very high resistance, and even if modulated discharge electrons are released from the phosphor 6 and irradiated on the partition walls of the spacer, the spacers are not covered with the spacers. It is a surface state that is difficult to charge up.

以上の様に、従来の電子線表示装置は構成されてい
た。
As described above, the conventional electron beam display device has been configured.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、従来の様な表示装置では、1画素ある
いは1つの領域ごとをスペーサーの隔壁で囲む必要があ
るため、仮にこの隔壁を取り除いてしまうと、変調され
た放出電子が蛍光面から外れた場合に、隣接する画素あ
るいは領域の蛍光面を照射してしまい、画像上のクロス
トークが発生する。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional display device, it is necessary to surround each pixel or one region with a partition wall of a spacer. When the electrons deviate from the fluorescent screen, the fluorescent screen of an adjacent pixel or area is irradiated, and crosstalk on the image occurs.

そこで、表示装置の表示画像品位を高めるために、画
素ピッチを小さくしていった場合、スペーサーの開口部
寸法も小さくなり加工寸法の限界に近づいてしまう。さ
らに、フェースプレートと変調電極間には、放出電子を
加速する為の加速電圧が数KV印加されており、絶縁耐圧
を確保するために数mm以上の間隔が必要となる。従っ
て、スペーサーの高さは、画素ピッチ寸法が小さくなっ
ても変わらず、数mm以上が必要である。
Therefore, when the pixel pitch is reduced in order to improve the display image quality of the display device, the dimension of the opening of the spacer is also reduced, and the processing dimension approaches the limit. Furthermore, an acceleration voltage of several KV is applied between the face plate and the modulation electrode for accelerating the emitted electrons, and an interval of several mm or more is required to ensure a dielectric strength. Therefore, the height of the spacer does not change even when the pixel pitch dimension decreases, and needs to be several mm or more.

このような条件を満たすスペーサーの適当な加工法は
少ない。現在のところ、感光性ガラスによるスペーサー
部材の形成が、最も高精度に加工できる方法である。例
えば、画素ピッチすなわち開口ピッチを1mm(隔壁厚み
を0.1mm,開口寸法を0.9mm角)とした場合、感光性ガラ
ススペーサーの高さは1.4mm程度にすることができる。
しかし、開口ピッチを例えば0.3mm×0.6mm(隔壁厚みを
0.1mm,開口寸法を0.2m×0.5mm)と小さくした場合、感
光性ガラススペーサーの加工可能な高さは0.5mm程度ま
で、と低くなってしまう。
There are few suitable processing methods for spacers that satisfy such conditions. At present, formation of a spacer member using photosensitive glass is the method that can be processed with the highest precision. For example, when the pixel pitch, that is, the opening pitch is 1 mm (the partition wall thickness is 0.1 mm and the opening dimension is 0.9 mm square), the height of the photosensitive glass spacer can be about 1.4 mm.
However, the opening pitch is, for example, 0.3 mm × 0.6 mm (the partition wall thickness is
When the opening size is reduced to 0.1 mm and the opening size is set to 0.2 m × 0.5 mm), the workable height of the photosensitive glass spacer becomes as low as about 0.5 mm.

すなわち、素子基板とフェースプレート間隔を4mm程
度,画素ピッチを1mmとする場合、感光性ガラススペー
サーを3枚積層すれば十分であるのに対し、画素ピッチ
を0.3×0.6mmと小さくした場合、感光性ガラススペーサ
ーを8枚も積層する必要がある。これでは、部材コス
ト,組立コストの上昇や歩留まりの悪化を招くことにな
る。
That is, when the distance between the element substrate and the face plate is about 4 mm and the pixel pitch is 1 mm, it is sufficient to laminate three photosensitive glass spacers. It is necessary to laminate as many as eight functional glass spacers. This leads to an increase in member costs and assembly costs and a decrease in yield.

さらには、より画素ピッチを小さくして高品位画像の
表示装置とする場合、従来の構造ではスペーサーの微細
な加工ができないため、装置自体の製造が難しいという
欠点があった。
Furthermore, in the case where the pixel pitch is further reduced to obtain a high-quality image display device, the conventional structure has a drawback that the device itself is difficult to manufacture because the spacer cannot be finely processed.

[課題を解決するための手段(及び作用)] 上記課題を解決すべく成された本発明の構成は以下の
通りである。
[Means for Solving the Problem (and Action)] The configuration of the present invention achieved to solve the above problem is as follows.

即ち、本発明は、電子放出素子と、該電子放出素子か
ら放出される電子線の照射により発光する発光手段を有
するターゲットとの間に複数のスペーサーを配置した表
示装置において、前記スペーサーは隔壁に囲まれた開口
部を有するスペーサーであり、該スペーサーの複数が、
夫々の隔壁が互いに交差するように積層されていること
を特徴とする表示装置にある。
That is, the present invention provides a display device in which a plurality of spacers are arranged between an electron-emitting device and a target having a light-emitting means that emits light by irradiation with an electron beam emitted from the electron-emitting device. A spacer having an enclosed opening, wherein a plurality of the spacers are:
The display device is characterized in that the respective partition walls are stacked so as to cross each other.

上記本発明の表示装置は、更にその特徴として、 『前記スペーサーを構成する隔壁の寸法ピッチが、1
画素あるいは1つの領域の寸法の2倍以上であり、複数
のスペーサーが、1画素あるいは1つの領域の寸法ピッ
チでずらして積層されている』こと、 『前記スペーサーの形状が、#形状である』こと、 『前記スペーサーの積層あるいは平面内での配置が、
ある基準面又はかかるスペーサー端部同士で突き当てた
構造と成っている』こと、 をも含むものである。
The display device of the present invention further has a feature that “the dimensional pitch of the partition walls constituting the spacer is 1
That the size of the spacer is twice or more the size of the pixel or one region, and that a plurality of spacers are stacked with a displacement at the dimensional pitch of one pixel or one region. " That, "lamination of the spacer or the arrangement in a plane,
A reference surface or a structure in which the ends of the spacer abut against each other ”.

本発明によれば、スペーサーとして隔壁に囲まれた開
口部を有するスペーサー、例えば隔壁の寸法ピッチが1
画素あるいは1つの領域の寸法の2倍以上のものを用
い、かかるスペーサーを積層するに際し、例えば1画素
あるいは1つの領域の寸法ピッチで互いにずらして積層
することにより、個々のスペーサーの隔壁に囲まれた開
講部の寸法が大きくても、積層された全体のスペーサー
の構造は実質的に微細寸法ピッチの隔壁を有する構造と
なる。したがって、個々のスペーサーの形状としてその
開口部の寸法を小さくすることなく、スペーサーの隔壁
が囲む1画素あるいは1つの領域の寸法を画像上のクロ
ストーク無しに微細化することができるものである。
According to the present invention, a spacer having an opening surrounded by a partition as a spacer, for example, a dimensional pitch of the partition is 1
When the spacers are stacked with a size of at least twice the size of a pixel or one region and are shifted from each other at a dimensional pitch of one pixel or one region, the spacers are surrounded by the partition walls of the individual spacers. Even if the size of the opening part is large, the structure of the entire laminated spacer is substantially a structure having the partition walls with a fine dimension pitch. Therefore, the size of one pixel or one region surrounded by the partition walls of the spacer can be reduced without crosstalk on an image without reducing the size of the opening as the shape of each spacer.

また、本発明において、スペーサーの複数が、夫々の
隔壁が互いに交差するように積層する構成をとることに
より、交差させることなく直線的に積層する従来の場合
に比べ沿面距離を長くすることができ、スペーサー表面
の沿面耐圧を向上させることもできる。
Further, in the present invention, by adopting a configuration in which a plurality of spacers are stacked such that respective partition walls intersect with each other, the creepage distance can be increased as compared with the conventional case in which the spacers are stacked linearly without intersecting. Also, it is possible to improve the creeping pressure resistance of the spacer surface.

第1図及び第2図に本発明の実施態様を示す。第1図
は、本発明の表示装置の部分断面図である。本図におい
て、1は電子放出素子がライン状に配列された素子基
板,2は電子放出部,3はライン状の電子放出素子と直交
し、かつ開口部を有するライン状電極から成る変調電
極,4はガラス材から成るフェースプレート,5はフェース
プレート4に設けられた透明電極から成るITO膜,6はITO
膜5上に形成された蛍光体,7は電子放出素子と変調電極
3を絶縁するための絶縁層であり、8,9,10,11は感光性
ガラスによって形成された#形状の部材を電子放出部2
の配列ピッチに合わせてずらし千鳥状に積層したスペー
サーである。
1 and 2 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a partial sectional view of the display device of the present invention. In this drawing, 1 is an element substrate on which electron-emitting devices are arranged in a line, 2 is an electron-emitting portion, 3 is a modulation electrode composed of a linear electrode having an opening and orthogonal to the line-shaped electron-emitting device, 4 is a face plate made of a glass material, 5 is an ITO film made of a transparent electrode provided on the face plate 4, and 6 is an ITO film.
A phosphor 7 formed on the film 5 is an insulating layer for insulating the electron-emitting device and the modulation electrode 3, and 8, 9, 10, and 11 are # -shaped members formed of photosensitive glass. Emitting part 2
The spacers are staggered and stacked in a staggered manner in accordance with the arrangement pitch of.

第2図は、千鳥状に積層したスペーサー8,9,10,11,の
みを表示装置上面から見た時の平面図である。スペーサ
ー8と10,9と11は、本図では各々重なった状態となって
いる。スペーサーはいずれも電子放出部2の配列ピッチ
の2倍のピッチで隔壁を設けた#形状である。さらに、
スペーサー8と9,10と11は、電子放出部2の配列ピッチ
寸法だけ図中のX,Y方向にずらして積層してある。
FIG. 2 is a plan view when only the spacers 8, 9, 10, 11 stacked in a staggered shape are viewed from the upper surface of the display device. The spacers 8 and 10, 9 and 11 are in an overlapping state in this figure. Each of the spacers has a # shape in which partition walls are provided at a pitch twice the arrangement pitch of the electron emission portions 2. further,
The spacers 8 and 9, 10 and 11 are stacked while being displaced in the X and Y directions in the figure by the arrangement pitch dimension of the electron emitting portions 2.

尚、以上の装置の画像形成については、従来同様第1
図において、かかる装置を真空状態とし、フェースプレ
ート4上のITO膜5にプラスの電圧を加え、ライン状に
配置された電子放出部2から順次電子を放出させ、変調
電極3によって放出電子を変調することによって、蛍光
体6へ照射する電子線30を制御することで、蛍光体の発
光による画像を任意に表示することができる。
The image formation by the above-described apparatus is the same as the conventional one.
In the figure, the apparatus is evacuated, a positive voltage is applied to the ITO film 5 on the face plate 4, electrons are sequentially emitted from the electron emitting portions 2 arranged in a line, and the emitted electrons are modulated by the modulation electrode 3. By doing so, by controlling the electron beam 30 irradiated to the phosphor 6, it is possible to arbitrarily display an image based on the emission of the phosphor.

さらに、スペーサー8,9,10,11の隔壁表面は、非常に
高抵抗ながら導電性を有しており、変調された放出電子
が蛍光面6を外れてスペーサーの隔壁部に照射されても
スペーサー自身チャージアップしにくい表面状態として
ある。
Furthermore, the partition surfaces of the spacers 8, 9, 10, and 11 have conductivity while having a very high resistance, so that even if modulated emitted electrons fall off the phosphor screen 6 and irradiate the partition walls of the spacers, the spacers are not exposed. It is a surface state that is difficult to charge up.

本発明の実施態様においては、電子放出部2から放出
した電子線30は、変調電極3による照射方向の変化、あ
るいは放出電子自体の放出角度の変化によって鉛直上方
の蛍光体6以外の場所へ飛翔することが危惧される。し
かし、第1図の様にスペーサーを千鳥状に配置する際、
電子放出部2から、隣接した画素の蛍光体が隠れた構造
とすることで、蛍光体6以外の方向へ電子線が飛翔して
も、スペーサー部に照射され隣接した画素の蛍光体に誤
って照射され発光するようなことはない。
In the embodiment of the present invention, the electron beam 30 emitted from the electron emitting section 2 flies to a location other than the phosphor 6 vertically above due to a change in the irradiation direction by the modulation electrode 3 or a change in the emission angle of the emitted electrons themselves. It is feared to do. However, when arranging the spacers in a staggered manner as shown in FIG.
By adopting a structure in which the phosphor of the adjacent pixel is hidden from the electron emission unit 2, even if the electron beam flies in a direction other than the phosphor 6, the phosphor of the adjacent pixel is erroneously irradiated to the spacer unit and erroneously applied to the spacer. It does not emit light when irradiated.

また、第7図の従来例に比べ、スペーサー部材ひとつ
の形状寸法は同じであるにもかかわらず、本実施態様で
は、かかるスペーサー部材を千鳥配置することによっ
て、隔壁で囲まれた画素部の数を4倍、配列ピッチ寸法
では2分の1にすることができる。従って、電子放出部
の数も同一面積内に4倍配列することができ高品位な画
像の表示が可能となる。
Although the shape and dimensions of one spacer member are the same as those in the conventional example of FIG. 7, in the present embodiment, the number of pixel portions surrounded by partition walls is reduced by staggering the spacer members. Can be reduced by a factor of four, and the array pitch dimension can be reduced by half. Therefore, the number of electron emitting portions can be arranged four times in the same area, and a high-quality image can be displayed.

さらに、第1図において、変調電極3とITO膜5間の
スペーサー8,9,10,11を通る鉛面距離は、千鳥状スペー
サーのために従来例の直線的なひとつの面に比べて屈曲
した分だけ長くなっている。従って、ITO膜5に加速電
圧を印加した際の変調電極3とITO膜5間の沿面耐圧が
上昇している。
Further, in FIG. 1, the vertical distance passing through the spacers 8, 9, 10, 11 between the modulation electrode 3 and the ITO film 5 is larger than that of the conventional linear one because of the staggered spacer. It has become longer by the amount of time. Therefore, the creeping breakdown voltage between the modulation electrode 3 and the ITO film 5 when the acceleration voltage is applied to the ITO film 5 is increased.

さらには、各電子線が放射する空間が、各々隣接した
空間領域とX方向に連続した状態となっているため、素
子基板1とフェースプレート4間を真空排気する場合、
スペーサーの隔壁で各空間が閉ざされていた従来の構造
に比べ、真空排気のコンダクタンスが大きくなってい
る。
Further, since the space radiated by each electron beam is continuous with the adjacent space region in the X direction, when the space between the element substrate 1 and the face plate 4 is evacuated,
Compared with the conventional structure in which each space is closed by the partition of the spacer, the conductance of evacuation is larger.

第3図及び第4図は、本実施態様の表示装置を大画面
化した場合のスペーサーの配置を示した平面図である。
FIG. 3 and FIG. 4 are plan views showing the arrangement of spacers when the display device of the present embodiment has a large screen.

第3図において、12及び12A,12B,12Cは千鳥状に積層
されたスペーサー群、13はスペーサー12等と突き当て状
態にある基準面である。第4図は第3図の部分的な拡大
図であり、12A,12B,12Cは千鳥状に積層されるスペーサ
ー群であり、14及び15はスペーサー群12A,12B間及び12
A,12Bと12C間の突き当て面である。
In FIG. 3, reference numerals 12 and 12A, 12B, and 12C denote staggered stacked spacer groups, and reference numeral 13 denotes a reference surface that is in abutting state with the spacers 12 and the like. FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 3, in which 12A, 12B and 12C are spacer groups stacked in a staggered manner, and 14 and 15 are spacer groups 12A and 12B and 12A and 12B.
A, butting surface between 12B and 12C.

以上、前述したスペーサー群の基になる第2図で示し
た様な感光性ガラスによって形成されるスペーサーは、
1枚が30cm角以下の寸法で作成されることにより、加工
歩留まり,組立時のハンドリング等の面で効果的であ
る。そこで、前記第3図に示す様な大画面表示装置に対
しては、千鳥状に積層されたスペーサー群12を電子放出
素子基板上の面方向に、例えば千鳥状に配置して組み立
てることによって対応することができる。この時、スペ
ーサー間の位置出しは、第4図の如くスペーサーの隔壁
端部を、それぞれ隣接するスペーサーの隔壁(例えば突
き当て面14,15)に突き当てることによって実施するこ
とができる。
As described above, the spacer formed of the photosensitive glass as shown in FIG.
Since one sheet is formed with a size of 30 cm square or less, it is effective in terms of processing yield, handling during assembly, and the like. Therefore, a large-screen display device as shown in FIG. 3 is assembled by arranging the spacer groups 12 stacked in a staggered manner in the surface direction on the electron-emitting device substrate, for example, in a staggered manner. can do. At this time, positioning between the spacers can be performed by abutting the partition wall ends of the spacers to the partition walls (for example, the abutting surfaces 14 and 15) of the adjacent spacers as shown in FIG.

また、表示装置の表示部外周に基準面13を設け、かか
る面へ先ずスペーサー群12の隔壁端部を突き当て、順次
別のスペーサーを突き当てて組み上げていくことができ
る。
Further, a reference surface 13 is provided on the outer periphery of the display portion of the display device, and the partition wall end of the spacer group 12 is first brought into contact with such a surface, and another spacer is sequentially brought into contact with the reference surface to assemble.

以上説明した実施態様においては、スペーサー部材の
形状は#状で開口部が正方形であり、開口部寸法が画素
ピッチの2倍の寸法であったが、本発明はこの形状に限
られるものではない。
In the embodiment described above, the shape of the spacer member is a # -shape, the opening is a square, and the size of the opening is twice the pixel pitch. However, the present invention is not limited to this shape. .

第5図,第6図に、第2図と異なった形状のスペーサ
ー部材を積層した場合の平面図を示す。第5図では、#
形状スペーサー部材の開口部寸法が画素ピッチの3倍の
寸法の場合を示しており、3段の千鳥状積層配置として
ある。第6図では、#形状スペーサー部材の開口形状が
長方形の場合を示しており、隔壁で囲まれる領域を長方
形とすることができる。
FIGS. 5 and 6 are plan views showing a case where spacer members having different shapes from those in FIG. 2 are laminated. In FIG. 5, #
The case where the opening dimension of the shape spacer member is three times as large as the pixel pitch is shown, and a three-stage staggered lamination arrangement is provided. FIG. 6 shows a case where the opening shape of the # -shaped spacer member is rectangular, and the region surrounded by the partition wall can be rectangular.

また、前述第1図に示した表示装置の構造は、1画素
当り1つの電子放出部を有しているが、本発明はこれに
限るものではなく、例えば電子放出部近傍に偏向電極を
設け電子線をスペーサーで囲まれた両域内の蛍光体面上
を走査して画像を表示する構造であっても良い。
Further, the structure of the display device shown in FIG. 1 has one electron emitting portion per pixel, but the present invention is not limited to this. For example, a deflection electrode is provided near the electron emitting portion. A structure in which an image is displayed by scanning an electron beam on the phosphor surface in both regions surrounded by the spacer may be used.

[実施例] 以下、本発明を具体的な実施例にて詳述する。[Examples] Hereinafter, the present invention will be described in detail with specific examples.

実施例1 本発明の第1の実施例を第1図,第2図,第3図,第
4図を用いて説明する。
Embodiment 1 A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1, FIG. 2, FIG. 3, and FIG.

第1図において、素子基板1上に0.5mmピッチでライ
ン状に電子放出部2を配列し、絶縁層7を介して開口部
を有するライン状の変調電極3をライン状電子放出部2
に対して直交させて(すなわちX方向に連なるライン状
で)配列した。次に、第2図に示す開口ピッチ1.0mm,隔
壁厚み0.1mm,高さ1.4mmの#形状のスペーサー8,9,10,11
を感光性ガラス(HOYAまたはユーニング社製)の加工に
よって形成し、隔壁側面に帯電防止剤をコーティングし
て高抵抗導電処理を行った。このスペーサーを、第2図
の様にX,Y方向に0.5mmずらして千鳥状に積層し、第1図
に示す如く変調電極3の上に配置した。その後、ITO膜
5と蛍光体6が形成されたフェースプレート4をスペー
サー11の上に配置し周辺に必要な電極を取り出し、真空
排気用の口を設け素子基板1と封着した。それから、封
着した素子基板1とフェースプレート4の間を、真空ポ
ンプによって真空排気した。この際、電子放出部から放
出されITO膜に照射された放出電流量を測定することに
よって、真空排気の程度を調べたところ、第7図の従来
例の構造に比べ2/3以下の排気時間で同量の放出電流量
を得ることができた。
In FIG. 1, electron emitting sections 2 are arranged in a line at a pitch of 0.5 mm on an element substrate 1, and a linear modulation electrode 3 having an opening is interposed via an insulating layer 7.
(That is, in a line extending in the X direction). Next, # -shaped spacers 8, 9, 10, 11 having an opening pitch of 1.0 mm, a partition wall thickness of 0.1 mm, and a height of 1.4 mm shown in FIG.
Was formed by processing a photosensitive glass (manufactured by HOYA or Euning Co.), and an antistatic agent was coated on the side surfaces of the partition walls to perform a high resistance conductive treatment. These spacers were stacked in a zigzag pattern with a displacement of 0.5 mm in the X and Y directions as shown in FIG. 2 and arranged on the modulation electrode 3 as shown in FIG. Thereafter, the face plate 4 on which the ITO film 5 and the phosphor 6 were formed was arranged on the spacer 11, necessary electrodes were taken out around the spacer 11, a port for vacuum exhaust was provided, and the element substrate 1 was sealed. Then, the space between the sealed element substrate 1 and the face plate 4 was evacuated by a vacuum pump. At this time, the degree of vacuum evacuation was examined by measuring the amount of emission current emitted from the electron-emitting portion and applied to the ITO film. The evacuation time was less than 2/3 of that of the conventional structure shown in FIG. As a result, the same amount of emission current was obtained.

ここで、ITO膜5に電子の加速電圧を+3KV印加し、ラ
イン状に配列した電子放出部2から電子を順次放出さ
せ、変調電極3で電子線を変調制御して蛍光体6へ照
射,発光させて任意の画素を表示することができた。こ
の際、隣接した画素の電子線が誤って蛍光体を照射し、
画像上のクロストークが発生するようなことはなかっ
た。また、ITO膜5に印加する電圧を上昇させると、変
調電極3あるいは素子基板1とITO膜5間で異状放電が
発生したが、その発生電圧は第7図の従来構造に比べて
1.2倍程度大きくすることができた。
Here, an accelerating voltage of electrons of +3 KV is applied to the ITO film 5, electrons are sequentially emitted from the electron emitting portions 2 arranged in a line, and the modulation electrode 3 controls the modulation of the electron beam to irradiate the phosphor 6 to emit light. As a result, an arbitrary pixel could be displayed. At this time, the electron beam of the adjacent pixel accidentally irradiates the phosphor,
There was no occurrence of crosstalk on the image. When the voltage applied to the ITO film 5 was increased, abnormal discharge occurred between the modulation electrode 3 or the element substrate 1 and the ITO film 5, but the generated voltage was higher than that of the conventional structure shown in FIG.
It was about 1.2 times larger.

次に本実施例の表示装置を大画面表示装置とする際の
例を以下に示す。第3において、13は素子基板1上の画
面端に配置された非常に面精度の良い側壁を持つガラス
ブロックから成る基準面である。この基準面は、電子放
出部2の配列ピッチ位置に正しく配置させて固定した。
この基準面に対して、千鳥状に積層したスペーサー群12
の端面を突き当てて配置する。さらに、順次スペーサー
を突き当てて第3図の様に複数のスペーサーを配置し固
定した。尚、スペーサーの端部は第4図に示す様な形状
で相互に突き当てられている。すなわちスペーサー群12
Aと12B間は突き当て面14によって、また、スペーサー群
12A,12Bと12Cは突き当て面15によって接触し、相互の位
置出しが行われている。スペーサー群12A,12B,12Cの形
状は第2図と同様であるが、端部の隔壁が有る面と無い
面があり、突き当てによる位置出しが電子放出部の配列
ピッチに正しく重なるようになっている。また、第3図
におけるスペーサーの1枚の寸法は、約10cm角で形成し
た。本実施例によって配置されたスペーサーを用いて、
第1図と同様な構造の表示装置を作成した場合、前述の
実施例と同様な画像表示を得ることができた。
Next, an example in which the display device of this embodiment is a large-screen display device will be described below. Third, reference numeral 13 is a reference surface formed of a glass block having a side wall with very high surface precision, which is disposed at a screen end on the element substrate 1. This reference plane was correctly arranged and fixed at the arrangement pitch position of the electron emission portions 2.
A spacer group 12 staggered with respect to this reference plane
Abut the end face of Further, a plurality of spacers were arranged and fixed as shown in FIG. 3 by sequentially abutting the spacers. The ends of the spacers are abutted against each other in a shape as shown in FIG. That is, spacer group 12
The contact surface 14 between A and 12B and the spacer group
12A, 12B and 12C are in contact with each other by the abutment surface 15, and mutual positioning is performed. The shapes of the spacer groups 12A, 12B, and 12C are the same as those in FIG. ing. The size of one spacer in FIG. 3 was about 10 cm square. Using the spacer arranged according to the present embodiment,
When a display device having the same structure as that of FIG. 1 was produced, an image display similar to that of the above-described embodiment could be obtained.

さらに、第3図,第4図で示した様な突き当てによる
位置出しは、第2図で示したスペーサー8,9,10,11を積
層する際の位置出しとしても利用することができる。
Further, the positioning by abutting as shown in FIGS. 3 and 4 can also be used as the positioning when the spacers 8, 9, 10, and 11 shown in FIG. 2 are stacked.

実施例2 第5図に示す様に開口ピッチ1.2mm,隔壁厚み0.07mm,
高さ0.5mmの#形状のスペーサー16,17,18を感光性ガラ
スの加工によって形成した。各スペーサーを0.4mmピッ
チずらして3段の千鳥状に積層した。同様に積層したス
ペーサー群をさらに積層し、スペーサー計9枚,高さ計
4.5mmのスペーサー群を形成した。形成したスペーサー
の画素ピッチは0.4mm角であり、実施例1と同様な構造
の表示装置を作製したところ、より高精密な画像を表示
することができた。
Example 2 As shown in FIG. 5, the opening pitch was 1.2 mm, the partition wall thickness was 0.07 mm,
Spacers 16, 17, and 18 having a # shape having a height of 0.5 mm were formed by processing photosensitive glass. The spacers were shifted in a pitch of 0.4 mm and stacked in a three-stage staggered pattern. Similarly, the spacer group was further laminated, and a total of nine spacers and a height meter
A 4.5 mm spacer group was formed. The pixel pitch of the formed spacer was 0.4 mm square, and a display device having the same structure as in Example 1 was manufactured. As a result, a higher-precision image could be displayed.

実施例3 第6図に示す様に開口ピッチ1.0mm×3.0mm,隔壁厚み
0.1mm,高さ1.4mmの長方形の開口を有する#形状のスペ
ーサー19,20を感光性ガラスの加工によって形成した。
各スペーサーを図中X方向0.5mmY方向1.5mmずらして2
段の千鳥状に積層した。同様に積層したスペーサー群を
更に重ねて、スペーサー計4枚,高さ計5.6mmのスペー
サー群を形成した。形成したスペーサーの画素ピッチは
0.5mm×1.5mmの長方形である。
Example 3 As shown in FIG. 6, opening pitch 1.0 mm × 3.0 mm, partition wall thickness
# -Shaped spacers 19 and 20 having a rectangular opening of 0.1 mm and a height of 1.4 mm were formed by processing photosensitive glass.
Shift each spacer by 0.5mm in the X direction and 1.5mm in the Y direction
The layers were stacked in a staggered manner. Similarly, the laminated spacer groups were further stacked to form a spacer group having a total of four spacers and a total of 5.6 mm in height. The pixel pitch of the formed spacer is
It is a rectangle of 0.5mm x 1.5mm.

次に、長方形の画素を3画素並列させて1.5mm角とし
た単位で表示装置の蛍光体をR,G,B,3色に分けて配置し
た。その他は実施例1と同様な構造の表示装置を作製し
たところ、1.5mm角ピッチで色及び明暗を制御できるカ
ラー画像を表示することができた。
Next, the phosphors of the display device were arranged in R, G, B and three colors in units of 1.5 mm square by arranging three rectangular pixels in parallel. Otherwise, a display device having the same structure as that of Example 1 was manufactured. As a result, a color image capable of controlling color and brightness at a 1.5 mm square pitch could be displayed.

[発明の効果] 以上説明したように、電子放出素子を用いた表示装置
のスペーサーとして隔壁に囲まれた開口部を有するスペ
ーサーを用い、かかるスペーサーの複数を夫々の隔壁が
互いに交差するように積層したことによって、 1.個々のスペーサーの形状としてその開口部の寸法を小
さくすることなく、スペーサーの隔壁が囲む1画素ある
いは1つの領域の寸法を画像上のクロストーク無しに微
細化することができる。したがって、より画像の高精細
な表示送致が実現される。
[Effects of the Invention] As described above, a spacer having an opening surrounded by partitions is used as a spacer of a display device using an electron-emitting device, and a plurality of such spacers are stacked such that the partitions intersect each other. As a result, 1. the size of one pixel or one area surrounded by the partition walls of the spacer can be reduced without crosstalk on the image without reducing the size of the opening as the shape of each spacer. . Therefore, higher-definition display transmission of an image is realized.

2.スペーサーの沿面距離を長くすることができ、スペー
サー表面の沿面耐圧を向上させることができる。これに
より、電子の加速電圧を上昇させて発光手段の発光輝度
を上げたり、電子線の発光面への照射スポット径をより
小さくして高精細画像とすることができ、また異常放電
が発生しにくくなる。
2. The creepage distance of the spacer can be lengthened, and the creepage withstand voltage of the spacer surface can be improved. As a result, it is possible to increase the emission luminance of the light emitting means by increasing the acceleration voltage of the electrons, to reduce the diameter of the irradiation spot of the electron beam on the light emitting surface, to obtain a high-definition image, and to cause abnormal discharge. It becomes difficult.

3.スペーサーで囲まれた各電子線が放射する空間が各々
隣接した空間領域とつながった状態となるために、表示
装置内の真空排気コンダクタンスが大きくなり、真空排
気時間を短縮でき生産性が向上する。
3. Since the space radiated by each electron beam surrounded by the spacers is connected to the adjacent space area, the evacuation conductance in the display device is increased, the evacuation time is shortened, and productivity is improved. I do.

4.また、スペーサーを積層あるいは平面内で配置するに
際し、ある基準面又はかかるスペーサー端部同士で突き
当てる構造とした場合には、大画面の表示装置において
も比較的容易にスペーサー配置の位置出しが行え、大画
面用のスペーサーを1枚で形成する場合に比べて、生産
の歩留まりが向上するという効果も有している。
4. In addition, when the spacers are stacked or arranged in a plane, if a certain reference surface or the end of such spacers are made to abut against each other, it is relatively easy to locate the spacers even in a large-screen display device. This also has the effect of improving the production yield as compared with the case where a single spacer for a large screen is formed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明の第1の実施例を示す表示装置の構造
断面図、 第2図は、本発明の第1の実施例で用いたスペーサーを
示す平面図、 第3図は、本発明の第1の実施例で用いたスペーサーの
配置を示す平面図、 第4図は、本発明の第1の実施例で用いたスペーサーの
配置を示す平面の一部拡大図、 第5図は、本発明の第2の実施例を示すスペーサーの平
面図、 第6図は、本発明の第3の実施例を示すスペーサーの平
面図、 第7図は、従来例を示す表示装置の構造断面図である。 1……素子基板 2……電子放出部 3……変調電極 4……フェースプレート 5……ITO膜 6……蛍光体 7……絶縁層 8,9,10,11,16,17,18,19,20,21,22,23,24……スペーサー 12,12A,12B,12C……スペーサー群 13……基準面 14,15……突き当て面 30……電子線
FIG. 1 is a structural sectional view of a display device showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a spacer used in the first embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a plan view showing the arrangement of the spacers used in the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a partially enlarged view of the plane showing the arrangement of the spacers used in the first embodiment of the present invention. FIG. 6 is a plan view of a spacer showing a second embodiment of the present invention. FIG. 6 is a plan view of a spacer showing a third embodiment of the present invention. FIG. FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Element board 2 ... Electron emission part 3 ... Modulation electrode 4 ... Face plate 5 ... ITO film 6 ... Phosphor 7 ... Insulating layer 8,9,10,11,16,17,18, 19,20,21,22,23,24 spacers 12,12A, 12B, 12C spacer group 13 reference surface 14,15 abutment surface 30 electron beam

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中田 耕平 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 野村 一郎 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 武田 俊彦 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 坂野 嘉和 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭52−82071(JP,A) 特開 昭63−53836(JP,A) 特開 昭57−88656(JP,A) 実開 昭59−158267(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01J 29/86 H01J 29/87 H01J 31/12 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kohei Nakata 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Ichiro Nomura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inside (72) Inventor Toshihiko Takeda 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Yoshikazu Banno 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. ( 56) References JP-A-52-82071 (JP, A) JP-A-63-53836 (JP, A) JP-A-57-88656 (JP, A) JP-A-59-158267 (JP, U) (58) ) Surveyed field (Int.Cl. 6 , DB name) H01J 29/86 H01J 29/87 H01J 31/12

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】電子放出素子と、該電子放出素子から放出
される電子線の照射により発光する発光手段を有するタ
ーゲットとの間に複数のスペーサーを配置した表示装置
において、前記スペーサーは隔壁に囲まれた開口部を有
するスペーサーであり、該スペーサーの複数が、夫々の
隔壁が互いに交差するように積層されていることを特徴
とする表示装置。
1. A display device in which a plurality of spacers are arranged between an electron-emitting device and a target having a light-emitting means for emitting light by irradiation of an electron beam emitted from the electron-emitting device, wherein the spacer is surrounded by a partition. A display device, comprising: a spacer having an opening formed therein, wherein a plurality of the spacers are stacked such that respective partition walls cross each other.
【請求項2】前記スペーサーを構成する隔壁の寸法ピッ
チが、1画素あるいは1つの領域の寸法の2倍以上であ
り、複数のスペーサーが、1画素あるいは1つの領域の
寸法ピッチでずらして積層されていることを特徴とする
請求項1記載の表示装置。
2. The dimensional pitch of the partition walls constituting the spacer is at least twice as large as the size of one pixel or one region, and a plurality of spacers are stacked while being shifted by the dimensional pitch of one pixel or one region. The display device according to claim 1, wherein:
【請求項3】前記スペーサーの形状が、#形状であるこ
とを特徴とする請求項1記載の表示装置。
3. The display device according to claim 1, wherein the shape of the spacer is a # shape.
【請求項4】前記スペーサーの積層あるいは平面内での
配置が、ある基準面又はかかるスペーサー端部同士で突
き当てた構造と成っていることを特徴とする請求項1記
載の表示装置。
4. The display device according to claim 1, wherein the spacers are stacked or arranged in a plane such that the spacers abut against each other at a certain reference plane or at ends of the spacers.
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