JP2901093B2 - Laser punch press, laser processing head unit used for the punch press, connection device for connecting laser processing head unit and laser oscillator, and beam detection device used for laser beam path adjustment - Google Patents

Laser punch press, laser processing head unit used for the punch press, connection device for connecting laser processing head unit and laser oscillator, and beam detection device used for laser beam path adjustment

Info

Publication number
JP2901093B2
JP2901093B2 JP2323342A JP32334290A JP2901093B2 JP 2901093 B2 JP2901093 B2 JP 2901093B2 JP 2323342 A JP2323342 A JP 2323342A JP 32334290 A JP32334290 A JP 32334290A JP 2901093 B2 JP2901093 B2 JP 2901093B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
processing head
head unit
laser processing
holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2323342A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04197589A (en
Inventor
良治 小関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amada Co Ltd filed Critical Amada Co Ltd
Priority to JP2323342A priority Critical patent/JP2901093B2/en
Publication of JPH04197589A publication Critical patent/JPH04197589A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2901093B2 publication Critical patent/JP2901093B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、レーザパンチプレス、このレーザパンチ
プレスに用いられるレーザ加工ヘッドユニット、レーザ
加工ヘッドユニットとレーザ発振器とを接続する接続装
置及び光路調整時に用いられるビーム検出装置に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a laser punch press, a laser processing head unit used for the laser punch press, and connecting the laser processing head unit and a laser oscillator. The present invention relates to a connection device and a beam detection device used for adjusting an optical path.

(従来の技術) 従来、例えばタレットパンチプレスのごときパンチプ
レスとレーザ加工を行なうレーザ加工装置との複合化を
図ったレーザパンチプレスが開発されている。パンチプ
レスとレーザ加工装置との複合化を図って、板状のワー
クピースにパンチング加工とレーザ加工とを行ない得る
レーザパンチプレスとしては、例えば米国特許第420190
5号明細書公報に記載されているように、パンチプレス
のフレームにレーザ加工ヘッドを装着し、パンチプレス
から離隔して配置したレーザ発振器から発振されたレー
ザビームをレーザ加工ヘッドに導く構成としてある。
(Prior Art) Conventionally, a laser punch press that combines a punch press such as a turret punch press with a laser processing apparatus that performs laser processing has been developed. As a laser punch press capable of performing punching and laser processing on a plate-shaped workpiece by combining a punch press and a laser processing apparatus, for example, US Pat.
As described in Patent Document 5, a laser processing head is mounted on a frame of a punch press, and a laser beam oscillated from a laser oscillator arranged at a distance from the punch press is guided to the laser processing head. .

また、例えば実公昭63−7386号公報に記載されている
ように、タレットパンチプレスにおけるタレットの金型
装着孔にレーザ加工ヘッドを装着して、ワークピースに
対してパンチング加工とレーザ加工とを行ない得る構成
とした形式のレーザパンチプレスも開発されている。
Further, as described in, for example, Japanese Utility Model Publication No. 63-7386, a laser processing head is mounted on a turret mold mounting hole in a turret punch press, and punching and laser processing are performed on a workpiece. Laser punch presses of the type that can be obtained have also been developed.

いずれの形式のレーザパンチプレスにおいても、ワー
クピースに対してパンチング加工とレーザ加工を行なう
ものであり、パンチング加工時には極めて激しい振動が
生じるものである。
In any type of laser punch press, punching and laser processing are performed on a work piece, and extremely severe vibration occurs during punching.

レーザ加工時には、レーザ発振器で発振されたレーザ
ビームをレーザ加工ヘッドに導き、このレーザ加工ヘッ
ドからワークピースへレーザビームを照射してレーザ加
工を行なうものである。
During laser processing, a laser beam oscillated by a laser oscillator is guided to a laser processing head, and the laser processing is performed by irradiating the laser beam from the laser processing head to a workpiece.

(発明が解決しようとする課題) レーザパンチプレスにおいては、パンチング加工時に
おける激しい振動により、レーザ発振器からレーザ加工
ヘッドレーザ光を導く光学系に光路の芯ずれを生じ易い
という問題がある。
(Problems to be Solved by the Invention) In a laser punch press, there is a problem that the optical path for guiding a laser beam from a laser oscillator to a laser processing head is likely to be misaligned due to severe vibration during punching.

また、パンチング加工とレーザ加工との複合化を図ろ
うとするとき、既存のパンチプレスに対してレーザ加工
機能を付加することが困難であるという問題がある。
Further, there is a problem that it is difficult to add a laser processing function to an existing punch press when attempting to combine punching and laser processing.

さらに、パンチプレスが例えばタレットパンチプレス
であり、レーザ加工ヘッドをタレットに装着した構成に
おいては、タレットの回転時にレーザ加工ヘッドとレー
ザ発振器との接続を解除する必要があり、レーザ加工ヘ
ッドとレーザ発振器との接続構成が複雑化するという問
題がある。
Further, in a configuration in which the punch press is, for example, a turret punch press, and the laser processing head is mounted on the turret, it is necessary to disconnect the laser processing head and the laser oscillator when the turret is rotated. There is a problem that the connection configuration with the terminal becomes complicated.

さらにまた、パンチプレスにレーザ加工ヘッドを装着
した構成において、レーザビームの軸心の検出および焦
点位置の検出が厄介であるという問題がある。
Furthermore, in the configuration in which the laser processing head is mounted on the punch press, there is a problem that the detection of the axis of the laser beam and the detection of the focal position are troublesome.

この発明は上述のごとき問題に鑑みてなされたもの
で、第1の目的は、レーザ加工ヘッドへレーザビームを
導く光学系の芯ずれが生じ難く、仮りに芯ずれが生じた
ような場合であっても、芯合せを容易に行ない得るレー
ザパンチプレスを提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and a first object is that the optical system for guiding a laser beam to a laser processing head is unlikely to be misaligned, and is supposed to be misaligned. It is still another object of the present invention to provide a laser punch press that can easily perform centering.

第2の目的は、既存のパンチプレスに対しても容易に
装着することができ、かつパンチング加工時における激
しい振動を受け難いレーザ加工ヘッドユニットを提供す
ることである。
A second object is to provide a laser processing head unit that can be easily mounted on an existing punch press and that is not easily affected by severe vibration during punching.

第3の目的は、パンチプレスに装着されたレーザ加工
ヘッドユニットとレーザ発振器側との接続および接続解
除を容易に行なうことのできる接続装置を提供すること
である。
A third object is to provide a connection device that can easily perform connection and disconnection between a laser processing head unit mounted on a punch press and a laser oscillator.

第4の目的は、レーザ加工ヘッドユニットをパンチプ
レスに装着した状態においてレーザビームの光路調整を
行なうときに、レーザビームの軸心の検出および焦点位
置の検出を容易に行なうことのできるビーム検出装置を
提供することである。
A fourth object of the present invention is to provide a beam detection device capable of easily detecting the axis of a laser beam and the focus position when adjusting the optical path of the laser beam in a state where the laser processing head unit is mounted on a punch press. It is to provide.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 前述のごとき目的を達成するために、この発明は、上
部金型ホルダに支承された金型と下部金型ホルダに支承
された下金型とによって板材に打抜加工を行なうパンチ
プレスにおける適宜位置に装着されたレーザ加工ヘッド
ユニットと、パンチプレスにおける加工ステーションか
ら離隔した位置に設けられたレーザ発振器と、レーザ発
振器からのレーザビームを前記レーザ加工ヘッドユニッ
トへ導く光路調整装置とを備えてなり、前記光路調整装
置は、レーザビームを適宜に屈曲する複数のベンドミラ
ーを備え、かつレーザ加工ヘッドユニットから離隔して
レーザ発振器側に設けられているものであり、前記光路
調整装置は、レーザ発振器からのレーザビームを垂直な
A軸方向に反射する第1のベンドミラーと、A軸方向に
位置調節自在のA軸テーブルに支承され、かつ第1のベ
ンドミラーにおいて反射されたレーザビームをA軸に直
交する水平なB軸方向へ反射する第2のベンドミラー
と、A軸テーブルにB軸方向へ位置調節自在に支承され
たB軸テーブルに支承され、第2のベンドミラーから反
射されたレーザビームをレーザ加工ヘッドユニットの方
向へ反射する第3のベンドミラーとを備えてなるもので
ある。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a mold supported by an upper mold holder and a lower mold supported by a lower mold holder. And a laser processing head unit mounted at an appropriate position in a punch press for punching a plate material, a laser oscillator provided at a position separated from a processing station in the punch press, and a laser beam from the laser oscillator. An optical path adjusting device for guiding to a processing head unit, the optical path adjusting device includes a plurality of bend mirrors for appropriately bending a laser beam, and is provided on a laser oscillator side apart from the laser processing head unit. Wherein the optical path adjusting device includes a first optical path adjusting device that reflects a laser beam from a laser oscillator in a vertical A-axis direction. A second bend mirror supported by an A-axis table whose position can be adjusted in the A-axis direction, and reflecting a laser beam reflected by the first bend mirror in a horizontal B-axis direction orthogonal to the A-axis. A third bend mirror supported on a B-axis table supported on the A-axis table so as to be adjustable in the B-axis direction, and reflecting the laser beam reflected from the second bend mirror toward the laser processing head unit; It is provided with.

すなわち、この発明によれば、レーザビームをレーザ
加工ヘッドユニットへ導く光路調整装置がレーザ発振器
側に設けられているので、パンチングプレス時における
激しい振動の影響を受け難いものである。また、レーザ
ビームをレーザ加工ヘッドへ導く光学系に光路の芯ずれ
が生じたようなときには、パンチプレスから離れた位置
において光路調整装置に備えられた複数のベンドミラー
を調整すれば良いものであり、光路の芯合せを容易に行
ない得るものである。
That is, according to the present invention, since the optical path adjusting device for guiding the laser beam to the laser processing head unit is provided on the laser oscillator side, it is hardly affected by violent vibration during punching press. Further, when the optical system for guiding the laser beam to the laser processing head is misaligned in the optical path, the plurality of bend mirrors provided in the optical path adjusting device may be adjusted at a position away from the punch press. The optical path can be easily aligned.

また、この発明に係るレーザ加工ヘッドユニットは、
パンチプレスによる上部金型ホルダに形成された工具装
着光に対して着脱可能な筒状のアウターガイドと、ノズ
ル、集光レンズおよびレーザ発振器側からのレーザビー
ムを集光レンズ側の垂直下方向へ反射するベンドミラー
を支承した筒状のインナーガイドと、前記アウターガイ
ドからの振動の伝達を遮断した状態でインナーガイドを
アウターガイド内に上下動可能に支持する防振支持装置
とを備えてなるものであり、防振支持装置は、アウター
ガイドに対してインナーガイドを浮上した状態に支持す
る第1弾性体と、アウターガイドとインナーガイドとの
間において拡大縮小自在のエアーダンパーとを備えてな
り、上記エアーダンパーの圧力を保証するアキュムレー
タを備えてなるものである。
Further, the laser processing head unit according to the present invention includes:
A cylindrical outer guide that can be attached and detached with respect to the tool mounting light formed on the upper mold holder by the punch press, and the laser beam from the nozzle, condenser lens and laser oscillator side downward in the vertical direction on the condenser lens side A cylindrical inner guide that supports a reflecting bend mirror; and a vibration-proof support device that supports the inner guide in the outer guide so as to be vertically movable in a state in which transmission of vibration from the outer guide is interrupted. The anti-vibration support device includes a first elastic body that supports the inner guide in a floating state with respect to the outer guide, and an air damper that can freely expand and contract between the outer guide and the inner guide, It is provided with an accumulator which guarantees the pressure of the air damper.

すなわち、本発明に係るレーザ加工ヘッドユニット
は、アウターガイドをインナーガイドの二重構造をな
し、アウターガイドとインナーガイドとの間に、インナ
ーガイドを浮上した状態に支持する第1弾性体とエアー
ダンパーとを備えた防振支持装置が備えられているの
で、パンチング加工時に、アウターガイドが上下方向お
よび水平方向に激しく振動した場合であっても、インナ
ーガイドへの振動の伝達が遮断される。したがって、イ
ンナーガイドに支承された集光レンズ等の光学系を振動
から保護することができる。
That is, in the laser processing head unit according to the present invention, the outer guide has a double structure of the inner guide, and the first elastic body and the air damper which support the inner guide in a floating state between the outer guide and the inner guide. Therefore, even when the outer guide vibrates violently in the vertical and horizontal directions during punching, transmission of vibration to the inner guide is interrupted. Therefore, the optical system such as the condenser lens supported by the inner guide can be protected from vibration.

さらにこの発明に係る接続装置は、パンチプレスの適
宜位置に装着されたレーザ加工ヘッドユニットとパンチ
プレスの加工ステーションから隔離した位置に設けられ
たレーザ発振器とを接続する接続装置において、パンチ
プレス側に設けられ、レーザ加工ヘッドユニットにおけ
るベンドミラーへ入射されるレーザビーム保護用のチュ
ーブガイド口を備えると共にレーザ加工ヘッドユニット
へ供給されるアシストガスのガスコネクタを備え、かつ
レーザ加工ヘッドユニットに備えられた電気装置に接続
された電気コネクタを備えた第1のインターフェースユ
ニットと、レーザ発振器側に設けられ、第1インターフ
ェースユニットにおけるチューブガイド口、ガスコネク
タおよび電気コネクタにそれぞれ対応して接続自在のビ
ームガイド口、ガスコネクタおよび電気コネクタを備え
た第2のインターフェースユニットとを備えてなり、第
1のインターフェースユニットあるいは第2のインター
フェースユニットの少なくとも一方を他方に対して接近
離反自在に構成してなるものである。
Further, a connection device according to the present invention is a connection device that connects a laser processing head unit mounted at an appropriate position of a punch press and a laser oscillator provided at a position separated from a processing station of the punch press, and is provided on the punch press side. The laser processing head unit has a tube guide port for protecting a laser beam incident on a bend mirror in the laser processing head unit, and has a gas connector for an assist gas supplied to the laser processing head unit, and is provided in the laser processing head unit. A first interface unit having an electrical connector connected to an electrical device, and a beam guide port provided on the laser oscillator side and freely connectable to a tube guide port, a gas connector, and an electrical connector in the first interface unit, respectively. ,gas It becomes a second interface unit with connectors and electrical connectors, in which at least one of the first interface unit or the second interface unit comprising close away freely configured relative to the other.

したがってこの発明によれば、パンチプレスに装着さ
れたレーザ加工ヘッドユニットとレーザ発振器側の光
路、ガス流通路および電気配線の接続、接続解除を容易
にかつたびたび行なうことができる。よって、タレット
パンチプレスにおいて回転自在なタレットの工具装着孔
にレーザ加工ヘッドユニットを装着して、既存のタレッ
トパンチプレスにレーザ加工機能を付加することが容易
に行なわれ得る。
Therefore, according to the present invention, the connection and disconnection of the laser processing head unit mounted on the punch press and the optical path, gas flow path, and electric wiring on the laser oscillator side can be performed easily and frequently. Therefore, it is possible to easily attach a laser processing head unit to a tool mounting hole of a rotatable turret in a turret punch press and add a laser processing function to an existing turret punch press.

さらにまた、この発明においては、パンチプレスにお
ける下部金型ホルダに着脱自在なケーシングと、このケ
ーシングに水平なU,V軸方向へ位置調節自在に支承され
たU−Vテーブルと、U−Vテーブルに上下位置調節自
在に支承され、かつ小径孔を備えたZテーブルと、Zテ
ーブルの小径孔を通過したレーザビームの集力を検出す
るパワーセンサとを備えてなるものである。
Still further, in the present invention, a casing detachable from a lower mold holder in a punch press, a UV table supported on the casing so as to be adjustable in a horizontal U and V axis directions, and a UV table The Z table is provided so as to be vertically adjustable and has a small-diameter hole, and a power sensor for detecting the power of the laser beam passing through the small-diameter hole of the Z table.

したがって、レーザ発振器から発振されるレーザビー
ムの径を比較的小径となし、この小径のレーザビームが
小径孔を通過するようにU−Vテーブルを移動し、小径
孔を通過したレーザビームのパワー分布をパワーセンサ
により検出し、検出値が最大となる位置を検出すること
により、レーザビームの軸心を検出できる。また、レー
ザビームの軸心を検出した後、レーザ加工ヘッドユニッ
トにおける集光レンズの焦点位置を点検する場合には、
Zテーブルを上下動して小径孔が焦点位置に一致したと
きに、パワーセンサの検出値が最大となるので、焦点位
置の検出も容易に行なうことができる。
Therefore, the diameter of the laser beam oscillated from the laser oscillator is set to a relatively small diameter, the UV table is moved so that the small diameter laser beam passes through the small diameter hole, and the power distribution of the laser beam passing through the small diameter hole is adjusted. Is detected by the power sensor, and the position at which the detected value is maximum is detected, whereby the axis of the laser beam can be detected. When detecting the focal point of the condenser lens in the laser processing head unit after detecting the axis of the laser beam,
When the Z-table is moved up and down and the small-diameter hole coincides with the focal position, the detected value of the power sensor becomes maximum, so that the focal position can be easily detected.

また、この発明においては、パンチプレスにおける下
部金型ホルダに着脱自在なケーシングと、このケーシン
グに回動自在に支承された回転ホルダと、回転ホルダに
支承されかつレーザビームを複数分割するビーム分割器
と、分割された各レーザビームの出力を検出する複数の
パワーセンサと、各パワーセンサの検出値を比較する比
較器とを備えてなり、ビーム分割器へ入射するレーザビ
ームの1部分を遮光自在の遮光部材を、遮光状態位置と
非遮光状態位置とへ位置変更自在に備えてなるものであ
る。
Further, in the present invention, a casing detachable from a lower mold holder in a punch press, a rotary holder rotatably supported by the casing, and a beam splitter supported by the rotary holder and splitting a plurality of laser beams And a plurality of power sensors for detecting the output of each split laser beam, and a comparator for comparing the detection values of the respective power sensors, and a part of the laser beam incident on the beam splitter can be shielded from light. The light shielding member is provided so as to be freely changeable between a light shielding state position and a non-light shielding state position.

したがってこの発明によれば、ビーム分割器によって
分割されたレーザビームの出力を各パワーセンサで検出
し、各パワーセンサの検出値が等しくなるようにレーザ
ビームを振ることにより、レーザビームの軸心を検出す
ることができる。また、遮光部材を遮光状態位置に位置
決めして、レーザビームの1部を遮光する状態におい
て、レーザ加工ヘッドユニットに備えられた集光レンズ
を上下動し、各パワーセンサの検出値を比較することに
より、遮光部材が焦点位置に位置するか否かを検出する
ことができ、ひいては集光レンズの焦点位置を検出する
ことができる。
Therefore, according to the present invention, the output of the laser beam split by the beam splitter is detected by each power sensor, and the laser beam is oscillated so that the detection value of each power sensor becomes equal. Can be detected. Further, in a state where the light shielding member is positioned at the light shielding state position and a part of the laser beam is shielded, the condensing lens provided in the laser processing head unit is moved up and down to compare the detection values of the respective power sensors. Accordingly, it is possible to detect whether or not the light shielding member is located at the focal position, and thus to detect the focal position of the condenser lens.

(実施例) この発明の実施例に係るレーザパンチプレス1の全体
的構成を説明するに、第1図には、レーザパンチプレス
1の平面図が示されている。レーザパンチプレス1は、
板状のワークピースWにパンチング加工を行なうパンチ
プレス3とレーザ加工を行なうレーザ加工系5とを組合
せてなるものである。
(Embodiment) To explain the overall configuration of a laser punch press 1 according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a plan view of the laser punch press 1. Laser punch press 1
It is a combination of a punch press 3 for performing punching on a plate-shaped workpiece W and a laser processing system 5 for performing laser processing.

上記パンチプレス3は、本実施例においてはタレット
パンチプレスにて例示してあるが、タレットパンチプレ
スに限ることなく、一般的なパンチプレスでも良いもの
である。タレットパンチプレスの構成は公知であるが、
概略的に記述すると次のとおりである。
Although the punch press 3 is illustrated as a turret punch press in the present embodiment, the punch press 3 is not limited to the turret punch press, but may be a general punch press. The configuration of the turret punch press is known,
The outline is as follows.

すなわち、タレットパンチプレスはC型あるいは門型
のフレーム7を備え、このフレーム7には、複数の上金
型9を着脱交換自在に支承した円板状の上部金型ホルダ
(上部タレット)11が回転自在に支承されていると友
に、複数の下金型を着脱交換自在に支承した下部金型ホ
ルダ(下部タレット:図示省略)が上部金型ホルダ11と
上下に対向して設けられている。そして、上部金型ホル
ダ11の上方位置には、上部金型ホルダ11の回転により加
工ステーションに割出し位置決めされた上金型9を打圧
するストライカー(図示省略)が上下動自在に備えられ
ている。
That is, the turret punch press includes a C-shaped or gate-shaped frame 7, on which a disk-shaped upper die holder (upper turret) 11 supporting a plurality of upper dies 9 in a detachable manner. A lower mold holder (lower turret: not shown) that supports a plurality of lower dies so that they can be detached and exchanged is provided opposite to the upper mold holder 11 when it is rotatably supported. . At a position above the upper mold holder 11, a striker (not shown) for pressing the upper mold 9 indexed and positioned in the processing station by rotation of the upper mold holder 11 is provided to be vertically movable. .

さらにタレットパンチプレスには、ワークピースWを
水平に支承する固定テーブル13が設けられていると共に
可動テーブル15が設けられている。可動テーブル15はX
軸方向(第1図においては左右方向)に延伸したキャリ
ッジベース17の両側に一体的に取付けられ、キャリッジ
ベース17と一体となってY軸方向へ移動するように構成
されている。上記キャリッジベース17にはキャリッジ19
がX軸方向へ移動自在に支承されており、このキャリッ
ジ19には、ワークPVSUWを把持自在なワーククランプ21
が装着されている。
Furthermore, the turret punch press is provided with a fixed table 13 for horizontally supporting the workpiece W and a movable table 15. The movable table 15 is X
It is integrally mounted on both sides of a carriage base 17 extending in the axial direction (the left-right direction in FIG. 1), and is configured to move in the Y-axis direction integrally with the carriage base 17. The carriage 19 is mounted on the carriage base 17.
Is supported movably in the X-axis direction. The carriage 19 has a work clamp 21 that can grip the work PVSUW.
Is installed.

上記構成のごときタレットパンチプレスは、前述した
ように公知であるから、さらに詳細なる説明および作用
の説明は省略する。
Since the turret punch press having the above configuration is known as described above, a more detailed description and a description of the operation will be omitted.

前記レーザ加工系5は、パンチプレス3の加工ステー
ションから離隔した位置に設けられたレーザ発振器23
と、パンチプレス3における上部金型ホルダ11の工具装
着孔に着脱可能に装着されたレーザ加工ヘッドユニット
25とを備えてなるものである。上記レーザ発振器23側に
は、レーザ発振器23から発振されたレーザビームLBをレ
ーザ加工ヘッドユニット25へ導く光路調整装置27が設け
られている。また、レーザ発振器23とレーザ加工ヘッド
ユニット25とを接続するための接着装置29が設けられて
いる。この接続装置29は、レーザ加工ヘッドユニット25
に接続された第1のインターフェースユニット31と、レ
ーザ発振器23側に設けられ、上記第1インターフェース
ユニット31と接続自在な第2のインターフェースユニッ
ト33とよりなるものである。
The laser processing system 5 includes a laser oscillator 23 provided at a position separated from a processing station of the punch press 3.
And a laser processing head unit detachably mounted in a tool mounting hole of the upper mold holder 11 in the punch press 3
25. On the side of the laser oscillator 23, an optical path adjusting device 27 for guiding the laser beam LB oscillated from the laser oscillator 23 to the laser processing head unit 25 is provided. Further, a bonding device 29 for connecting the laser oscillator 23 and the laser processing head unit 25 is provided. This connection device 29 is a laser processing head unit 25
And a second interface unit 33 provided on the side of the laser oscillator 23 and freely connectable to the first interface unit 31.

より詳細には、前記光路調整装置27はレーザ発振器23
の出力側に接続して設けたハウジング35内に配置されて
いる。そして第2インターフェースユニット33は、上記
ハウジング35からパンチプレス3の金型ホルダ11の方向
へ延伸して設けられたハウジング延伸部37内に内装され
ている。また、第1インターフェースユニット31は金型
ホルダ11に装着してあり、レーザ加工ヘッドユニット25
を加工ステーションに割出し位置決めしたときに、第2
インターフェースユニット33と対向するように設けられ
ている。
More specifically, the optical path adjusting device 27 is a laser oscillator 23
Are arranged in a housing 35 connected to the output side of the camera. The second interface unit 33 is housed in a housing extension 37 provided to extend from the housing 35 toward the die holder 11 of the punch press 3. The first interface unit 31 is mounted on the mold holder 11, and the laser processing head unit 25
When the indexing and positioning of the
It is provided to face the interface unit 33.

上記の構成のごときレーザ加工系5においては、パン
チプレス3における加工ステーションへレーザ加工ヘッ
ドユニット25が割出し位置決めされた後に、第1,第2の
インターフェースユニット31,33を互いに接続すること
により、レーザ発振器23からのレーザビームLBをレーザ
加工ヘッドユニット25へ供給可能になると共に、アシス
トガス等のガス流通路および電気配線が接続され、レー
ザ加工が可能な状態となるものである。
In the laser processing system 5 having the above-described configuration, the first and second interface units 31 and 33 are connected to each other after the laser processing head unit 25 is indexed and positioned at the processing station in the punch press 3. The laser beam LB from the laser oscillator 23 can be supplied to the laser processing head unit 25, and a gas flow path for an assist gas or the like and an electric wiring are connected to enable laser processing.

レーザ発振器23からのレーザビームLBをレーザ加工ヘ
ッドユニット25へ直接導くために、前記光路調整装置27
にはレーザビームLBを適宜に屈曲する複数のペンドミラ
ーが備えられている。
In order to directly guide the laser beam LB from the laser oscillator 23 to the laser processing head unit 25, the optical path adjusting device 27 is used.
Is provided with a plurality of pen mirrors for appropriately bending the laser beam LB.

より詳細には、上記光路調整装置27は、第2図,第3
図に示すように構成されている。すなわち、光路調整装
置27は、ハウジング35に固定するベースプレート39を備
えており、このベースプレート39には、レーザ発振器23
から発振されて水平に入射するレーザビームLBを垂直な
軸に相当するA軸方向に反射する第1のベンドミラー41
が設けられている。この第1ベンドミラー41は、A軸方
向の軸心回りに回動調節自在に設けられたロータリーテ
ーブル43に傾斜して取付けられている。
More specifically, the optical path adjusting device 27 is configured as shown in FIGS.
It is configured as shown in the figure. That is, the optical path adjusting device 27 includes a base plate 39 fixed to the housing 35, and the base plate 39 includes the laser oscillator 23
A first bend mirror 41 that reflects a laser beam LB oscillated from the laser beam and horizontally incident in an A-axis direction corresponding to a vertical axis.
Is provided. The first bend mirror 41 is tilted and attached to a rotary table 43 provided to be rotatable around an axis in the A-axis direction.

したがって、第1ベンドミラー41に対するレーザビー
ムLBの水平方向の入射角に多少の誤差があったとして
も、ロータリーテーブル43を回動調節することにより、
レーザビームLBをA軸方向へ正確に反射することができ
る。
Therefore, even if there is some error in the horizontal incidence angle of the laser beam LB with respect to the first bend mirror 41, by rotating the rotary table 43,
The laser beam LB can be accurately reflected in the A-axis direction.

前記ベースプレート39には、A軸方向に延伸した複数
のガイドポスト45が設けてあり、このガイドポスト45に
は、スライドブッシュを介してA軸テーブル47が位置調
節自在に支承されている。このA軸テーブル47には、第
1ベンドミラー41においてA軸方向に反射されたレーザ
ビームLBを上記A軸に対し直交する水平なB軸方向へ反
射する第2のベンドミラー49が装着されていると共に、
第2ベンドミラー49からのレーザレーザビームLBを、パ
ンチプレス3に装着されたレーザ加工ヘッド25の方向へ
水平に反射する第3のベンドミラー51が装着されてい
る。
The base plate 39 is provided with a plurality of guide posts 45 extending in the A-axis direction. An A-axis table 47 is supported on the guide posts 45 via slide bushes so as to be adjustable in position. The A-axis table 47 is provided with a second bend mirror 49 for reflecting the laser beam LB reflected in the A-axis direction by the first bend mirror 41 in a horizontal B-axis direction orthogonal to the A-axis. Along with
A third bend mirror 51 that horizontally reflects the laser beam LB from the second bend mirror 49 toward the laser processing head 25 mounted on the punch press 3 is mounted.

レーザ加工ヘッド25へ入射されるレーザビームLBのA
軸方向の変位を調整するために、適数のガイドポスト45
間には、ストッパープレート53が固定ボルト55により位
置調節自在に固定してある。そして、前記A軸テーブル
47に取付けたモータブラケット57とストッパープレート
53との間にはコイルスプリング59が張設してあり、モー
タブラケット57にはA軸テーブル47の位置調整を行なう
A軸調整モータ61が装着してある。上記A軸調整モータ
61は、モータ61の正逆回転に応じて螺子杆のごときプラ
ンジャ63が出入するよう構成されているものであって、
プランジャ63の先端部はストッパプレート53に当接して
ある。
A of laser beam LB incident on laser processing head 25
A suitable number of guide posts 45 to adjust the axial displacement
Between them, a stopper plate 53 is fixed by a fixing bolt 55 so as to be adjustable in position. And the A-axis table
Motor bracket 57 attached to 47 and stopper plate
A coil spring 59 is stretched between the motor bracket 57 and the motor bracket 57, and an A-axis adjustment motor 61 for adjusting the position of the A-axis table 47 is mounted on the motor bracket 57. A-axis adjustment motor
61 is configured such that a plunger 63 such as a screw rod enters and exits in accordance with forward and reverse rotation of the motor 61,
The tip of the plunger 63 is in contact with the stopper plate 53.

上記構成により、固定ボルト55を緩めた状態において
ストッパプレート53及びA軸テーブル47をガイドポスト
45に沿って移動することにより、A軸方向の位置調節を
大きく行なうことができる。また、ストッパープレート
53をガイドポスト45に固定した状態において、例えばコ
ンピュータあるいはNC制御装置のごとき制御装置の制御
の下に、A軸調整モータ61を適宜に制御回転することに
より、A軸テーブル47をA軸方向に微調整することがで
きる。すなわち、上記構成により、第3のベンドミラー
51からレーザ加工ヘッドユニット25方向へ反射されるレ
ーザビームLBのA軸方向の位置調節を行なうことができ
る。
With the above configuration, the stopper plate 53 and the A-axis table 47 are connected to the guide post while the fixing bolt 55 is loosened.
By moving along 45, the position adjustment in the A-axis direction can be largely performed. Also, stopper plate
With the 53 fixed to the guide post 45, the A-axis table 47 is moved in the A-axis direction by appropriately controlling and rotating the A-axis adjustment motor 61 under the control of a controller such as a computer or an NC controller. Can be fine-tuned. That is, according to the above configuration, the third bend mirror
The position of the laser beam LB reflected from the direction 51 toward the laser processing head unit 25 in the A-axis direction can be adjusted.

第3のベンドミラー51からレーザ加工ヘッドユニット
25方向へ反射されるレーザビームLBのB軸方向の位置を
調節するために、第3ベンドミラー51はB軸テーブル65
に装着されている。上記B軸テーブル65は、A軸テーブ
ル47に設けたB軸ガイド67に沿って移動自在であり、こ
のB軸テーブル65とA軸テーブル47との間にはコイルス
プリング69が張設してある。そして、A軸テーブル47に
装着したB軸調整モータ71の出入自在なプランジャ73の
先端部がB軸テーブル65の1部に当接してある。
From the third bend mirror 51 to the laser processing head unit
In order to adjust the position of the laser beam LB reflected in the 25 direction in the B-axis direction, the third bend mirror 51 is provided with a B-axis table 65.
It is attached to. The B-axis table 65 is movable along a B-axis guide 67 provided on the A-axis table 47, and a coil spring 69 is stretched between the B-axis table 65 and the A-axis table 47. . The tip of a plunger 73 that allows the B-axis adjusting motor 71 mounted on the A-axis table 47 to come in and out comes into contact with a part of the B-axis table 65.

上記構成において、B軸調整モータ71の駆動によって
プランジャ73を適宜に出入することによって、B軸テー
ブル65をB軸方向に位置調節でき、第3ベンドミラー51
からレーザ加工ヘッドユニット25の方向へ反射されるレ
ーザビームLBのB軸方向の位置を調節することができ
る。
In the above configuration, the position of the B-axis table 65 can be adjusted in the B-axis direction by appropriately moving the plunger 73 in and out by driving the B-axis adjustment motor 71, and the third bend mirror 51
The position of the laser beam LB reflected in the direction of the laser processing head unit 25 in the B-axis direction can be adjusted.

さらに、第3ベンドミラー51からレーザ加工ヘッドユ
ニット25の方向へ反射されるレーザビームLBの方向性を
正確に調節するために、第3ベンドミラー51は2軸方向
へ揺動調節自在に構成されている。
Further, in order to accurately adjust the direction of the laser beam LB reflected from the third bend mirror 51 toward the laser processing head unit 25, the third bend mirror 51 is configured to be swingably adjustable in two axial directions. ing.

より詳細には、第4図に示すように、第3のベンドミ
ラー51はB軸テーブル65に装着したミラーケーシング75
内に揺動可能に内装されたミラーホルダ77に取付けられ
ている。このミラーホルダ77は、枢支点79においてボー
ルジョイント等を介してミラーケーシング75に枢支され
ており、この枢支点79から直交する方向に離隔した2点
81A,81Bには、ミラーケーシング75に装着したB軸方向
調整モータ83、A軸方向調整モータ85(第3図参照)に
出入自在に備えられたプランジャの先端部が当接してあ
る。なお、詳細な図示は省略するが、ミラーホルダ77
は、上記各調整モータ83,85のプランジャと常に当接す
るように、例えばスプリング等によって付勢されている
ものである。
More specifically, as shown in FIG. 4, the third bend mirror 51 is a mirror casing 75 mounted on a B-axis table 65.
It is attached to a mirror holder 77 which is swingably mounted inside. The mirror holder 77 is pivotally supported by a mirror casing 75 at a pivot point 79 via a ball joint or the like, and is separated from the pivot point 79 in a direction orthogonal to the mirror casing 75.
The distal ends of the plungers provided so as to freely move in and out of the B-axis direction adjusting motor 83 and the A-axis direction adjusting motor 85 (see FIG. 3) mounted on the mirror casing 75 are in contact with 81A and 81B. Although not shown in detail, the mirror holder 77 is not shown.
Is biased by, for example, a spring or the like so as to always contact the plungers of the adjusting motors 83 and 85.

上記構成により、B軸方向調整をモータ83およびA軸
方向調整モータ85を制御装置により適宜に制御回転する
ことにより、ミラーホルダ77を2方向へ適宜に揺動する
ことができ、第3のベンドミラー51からレーザ加工ヘッ
ドユニット25の方向へ反射されるレーザビームLBの方向
性を正確に調節することができる。
According to the above configuration, the mirror holder 77 can be appropriately rocked in two directions by appropriately controlling and rotating the motor 83 and the A-axis direction adjusting motor 85 in the B-axis direction by the control device. The directionality of the laser beam LB reflected from the mirror 51 toward the laser processing head unit 25 can be adjusted accurately.

次に、前記光路調整装置27における第3ベンドミラー
51において反射されたレーザビームLBを受け入れてレー
ザ加工を行なうための前記レーザ加工ヘッドユニット25
の詳細について説明する。
Next, a third bend mirror in the optical path adjusting device 27
The laser processing head unit 25 for receiving a laser beam LB reflected at 51 and performing laser processing.
Will be described in detail.

第5図〜第7図に詳細に示されるように、レーザ加工
ヘッドユニット25は、パンチプレス3における上部金型
ホルダ(上部タレット)11に形成された工具装着孔87に
着脱可能に装着されている。
As shown in detail in FIGS. 5 to 7, the laser processing head unit 25 is detachably mounted in a tool mounting hole 87 formed in the upper die holder (upper turret) 11 in the punch press 3. I have.

より詳細には、レーザ加工ヘッドユニット25は、概略
的には工具装着孔87に対して着脱可能な円筒形状のアウ
ターガイド89と、アシストガスをワークピースWの加工
位置へ噴出するノズル91、レーザビームLBを集光する集
光レンズ93および前記孔路調整装置27を経て入射された
レーザビームLBを集光レンズ93側へ垂直に反射するベン
ドミラー95等を支承した筒状のインナーガイド97等とに
より構成されている。
More specifically, the laser processing head unit 25 includes a cylindrical outer guide 89 that is roughly detachable from the tool mounting hole 87, a nozzle 91 that jets assist gas to a processing position of the workpiece W, and a laser 91. A cylindrical inner guide 97 supporting a condensing lens 93 for condensing the beam LB and a bend mirror 95 for reflecting the laser beam LB incident through the hole adjusting device 27 to the condensing lens 93 side, and the like. It is composed of

上記インナーガイド97は、アウターガイド89内に上下
動自在に内装されており、このインナーガイド97とアウ
ターガイド89との間には、アウターガイド89からの振動
を遮断した状態でインナーガイド97を支承する防振支持
装置が設けられている。この防振支持装置は、インナー
ガイド97を浮上した状態に支持する例えばエアーダンパ
あるいはコイルスプリングのごとき弾性部材99と、アウ
ターガイド89の内周面とインナーガイド97の外周面との
間において拡大縮小自在なエアーダンパー101により構
成されている。
The inner guide 97 is mounted inside the outer guide 89 so as to be movable up and down, and between the inner guide 97 and the outer guide 89, the inner guide 97 is supported in a state where vibration from the outer guide 89 is cut off. A vibration isolating support device is provided. The anti-vibration support device includes an elastic member 99 such as an air damper or a coil spring for supporting the inner guide 97 in a floating state, and a scale between an inner peripheral surface of the outer guide 89 and an outer peripheral surface of the inner guide 97. It is composed of a free air damper 101.

さらにより詳細には、アウターガイド89は工具装着孔
87の軸心にアウターガイド89の軸心を一致せしめた状態
に嵌合してあり、複数のボルト103により固定されてい
る。このアウターガイド89の下端部内周面にはテーパ部
89Tが形成してあり、このテーパ部89Tに形成した周溝89
G内には複数のスチールボール105がリテーナ(図示省
略)を介して径方向へ僅かに移動可能に保持されてい
る。このスチールボール105は、インナーガイド97の下
端部に形成されたテーパ部97Tがテーパ部89Tに嵌合した
後、アウターガイド89に対してインナーガイド97を僅か
に回動して方向性を正確に保持しようとするときに、上
記回動が円滑に行なわれるように補助するためのもので
あって、場合によっては省略することも可能である。
More specifically, the outer guide 89 has a tool mounting hole
The outer guide 89 is fitted so that the axis of the outer guide 89 is aligned with the axis of the 87, and is fixed by a plurality of bolts 103. The inner peripheral surface at the lower end of the outer guide 89 is tapered.
89T is formed, and the circumferential groove 89 formed in the tapered portion 89T is formed.
A plurality of steel balls 105 are held in G via a retainer (not shown) so as to be slightly movable in the radial direction. After the tapered portion 97T formed at the lower end of the inner guide 97 is fitted into the tapered portion 89T, the steel ball 105 is slightly rotated with respect to the outer guide 89 to accurately adjust the direction. This is for assisting the above-mentioned rotation to be performed smoothly when holding is attempted, and may be omitted in some cases.

上述のように、アウターガイド89のテーブル部89Tに
インナーガイド97のテーパ部97Tを嵌合することによ
り、アウターガイド89の軸心とインナーガイド97の軸心
とが一致し、前述のノズル91、集光レンズ93の軸心が規
定の位置に安定し、レーザ加工が可能な状態となる。
As described above, by fitting the taper portion 97T of the inner guide 97 to the table portion 89T of the outer guide 89, the axis of the outer guide 89 matches the axis of the inner guide 97, and the nozzle 91, The axis of the condenser lens 93 is stabilized at a specified position, and the laser processing is enabled.

そこで、インナーガイド97を浮上した状態に支持する
前記弾性部材99に抗してインナーガイド97を下降せしめ
るために、アウターガイド89の上部には、複数の押下シ
リンダ107が設けられている。
Therefore, in order to lower the inner guide 97 against the elastic member 99 that supports the inner guide 97 in a floating state, a plurality of pressing cylinders 107 are provided above the outer guide 89.

上記押下シリンダ107は、複数のボルト109によってア
ウターガイド89の上面に固定されたリング部材111の複
数箇所に設けられており、各押下シリンダ107に上下動
自在に設けられたピストンピン113の下端部はテーパ部1
13Tに形成してある。さらに、押下シリンダ107から上方
に突出したピストンピン113の上端部にはドグ113Dが取
付けられており、押下シリンダ107には、上記ドグ113D
の上昇、下降を検出する上下のセンサ115U,115Lが設け
られている。一方、インナーガイド97の上部には上部プ
レート117が取付けてあり、この上部プレート117には、
上記ピストンピン113のテーパ部113Tと系脱自在なテー
パ孔を備えたブッシュ119が取付けられている。
The pressing cylinder 107 is provided at a plurality of positions of a ring member 111 fixed to the upper surface of the outer guide 89 by a plurality of bolts 109, and a lower end portion of a piston pin 113 provided in each pressing cylinder 107 so as to be vertically movable. Is the tapered part 1
Formed at 13T. Further, a dog 113D is attached to the upper end of the piston pin 113 projecting upward from the pressing cylinder 107, and the dog 113D is attached to the pressing cylinder 107.
Upper and lower sensors 115U and 115L are provided to detect the rise and fall of the air. On the other hand, an upper plate 117 is attached to the upper part of the inner guide 97.
A bush 119 having a tapered portion 113T of the piston pin 113 and a tapered hole which is detachable from the system is attached.

上記構成において、エアーダンパー101からエアーを
排出してインナーガイド97が上下動可能な状態におい
て、押下シリンダ107に作動流体を供給してピストンピ
ン113を下降せしめると、先ず、ピストンピン113のテー
パ部113Tがブッシュ119のテーパ孔に係合し、インナー
ガイド97の回動を規制すると共に周方向の位置決めが行
なわれる。その後、さらにピストンピン113を下降せし
めると、弾性部材99に抗してインナーガイド97が下降さ
れ、インナーガイド97のテーパ部97Tがアウターガイド8
9のテーパ部89Tに嵌合する。したがって、前述したよう
に、アウターガイド89の軸心にインナーガイド97の軸心
が一致しレーザ加工が可能な状態となる。そして、イン
ナーガイド97が位置決めされたか否かは、下部のセンサ
115Lがドグ113Dを検出することにより確認される。
In the above configuration, when air is discharged from the air damper 101 and the inner guide 97 can move up and down, a working fluid is supplied to the pressing cylinder 107 to lower the piston pin 113. The 113T is engaged with the tapered hole of the bush 119, thereby restricting the rotation of the inner guide 97 and performing positioning in the circumferential direction. Thereafter, when the piston pin 113 is further lowered, the inner guide 97 is lowered against the elastic member 99, and the tapered portion 97T of the inner guide 97 is
Fits into 9 taper section 89T. Therefore, as described above, the axis of the inner guide 97 coincides with the axis of the outer guide 89, and laser processing is possible. Then, whether or not the inner guide 97 is positioned is determined by a sensor at the bottom.
115L is confirmed by detecting dog 113D.

逆に、押下シリンダ107のピストンピン113を上昇せし
めると、インナーガイド97の押下げが解除されるので、
インナーガイド97は弾性部材99の作用によって押上げら
れ、浮上した状態に支持される。したがって、この状態
においては、エアーバンパー101にエアーを供給して拡
大せしめることにより、インナーガイド97はアウターガ
イド89からの振動の伝達を遮断した状態に支持されるこ
ととなる。なお、インナーガイド97が浮上した状態に支
持されていることは、上部センサ115Uがドグ113Dを検知
することによって確認できる。
Conversely, when the piston pin 113 of the pressing cylinder 107 is raised, the pressing down of the inner guide 97 is released.
The inner guide 97 is pushed up by the action of the elastic member 99 and is supported in a floating state. Therefore, in this state, by supplying air to the air bumper 101 to enlarge the air, the inner guide 97 is supported in a state where transmission of vibration from the outer guide 89 is cut off. The fact that the inner guide 97 is supported in a floating state can be confirmed by the upper sensor 115U detecting the dog 113D.

上述のごとくインナーガイド97を浮上した状態に支承
するとき、エアーダンパー101の圧力を保証するため
に、レーザ加工ヘッドユニット25の適宜位置、本実施例
においては金型ホルダ11に、エアーダンパー101に接続
したアキュムレータ121(第1図参照)が設けられてい
る。したがって、エアー配管等の1部から僅かなエアー
の洩れがあるような場合であってもエアーダンパー101
の圧力が保証され、インナーガイド97を確実に支承する
ものである。
As described above, when supporting the inner guide 97 in a floating state, in order to guarantee the pressure of the air damper 101, an appropriate position of the laser processing head unit 25, in this embodiment, to the mold holder 11, to the air damper 101, A connected accumulator 121 (see FIG. 1) is provided. Therefore, even if there is a slight air leak from one part of the air pipe or the like, the air damper 101
Is guaranteed, and the inner guide 97 is securely supported.

前述のごとく、インナーガイド97のテーパ部97Tをア
ウターガイド89のテーパ部89Tに嵌合せしめた状態にお
いてレーザ加工を行なうとき、ワークピースWと前記ノ
ズル91の下端部との間隔や、集光レンズ93の焦点位置を
ワークピースWの板厚等に応じて調節する必要がある。
As described above, when laser processing is performed in a state where the tapered portion 97T of the inner guide 97 is fitted to the tapered portion 89T of the outer guide 89, the distance between the workpiece W and the lower end of the nozzle 91 and the condensing lens It is necessary to adjust the focus position of 93 according to the thickness of the workpiece W or the like.

そこで本実施例においては、前記ノズル91および集光
レンズ93を支承した上下スライド125がインナーガイド9
7内に上下動自在に設けられている。
Therefore, in the present embodiment, the vertical slide 125 that supports the nozzle 91 and the condenser lens 93 is the inner guide 9.
7 is provided to be able to move up and down freely.

より詳細には、インナーガイド97内には、上下方向の
ガイド支柱123が複数設けられ、このガイド支柱123に案
内されて上下スライド125が昇降するように構成されて
いる。そしてこの上下スライド125の下部に前記ノズル9
1が装着されている。
More specifically, a plurality of vertical guide columns 123 are provided in the inner guide 97, and the vertical slide 125 is configured to be guided up and down by the guide columns 123. The nozzle 9 is located below the vertical slide 125.
1 is installed.

上記上下スライド125を上下に位置調節するために、
ガイド支柱123と平行なボールスクリュー127(第7図参
照)が回転自在に設けられ、このボールスクリュー127
には、上下スライド125に取付けたボールナット129が螺
合してある。そして、ボールスクリュー127には、上部
プレート117に装着したノズル上下用のサーボモータ131
が連動結合してある。このサーボモータ131には回転を
検出するパルスエンコーダが備えられており、ボールス
クリュー127の回転を検出してノズル91の上下位置を検
出し得るように構成してある。
To adjust the vertical slide 125 up and down,
A ball screw 127 (see FIG. 7) parallel to the guide support 123 is rotatably provided.
, A ball nut 129 attached to the vertical slide 125 is screwed. The ball screw 127 has a servomotor 131 attached to the upper plate 117 for vertically moving the nozzle.
Are linked together. The servo motor 131 is provided with a pulse encoder for detecting rotation, and is configured to detect rotation of the ball screw 127 to detect the vertical position of the nozzle 91.

したがって、サーボモータ131によってボールスクリ
ュー127を適宜に回転することにより、上下スライド125
が上下動されるので、ノズル91の上下位置を調節するこ
とができる。なお、ノズル91の下端部に、距離センサを
設けて、ワークピースWとノズル91との間隔を検出する
構成とすることにより、ノズル91とワークピースWとの
間隔を適正に制御することができる。
Therefore, by appropriately rotating the ball screw 127 by the servo motor 131, the vertical slide 125
Is moved up and down, so that the vertical position of the nozzle 91 can be adjusted. By providing a distance sensor at the lower end of the nozzle 91 to detect the distance between the workpiece W and the nozzle 91, the distance between the nozzle 91 and the workpiece W can be appropriately controlled. .

前記集光レンズ93の焦点位置を上下に調節するため
に、前記上下スライド125の上部側には内周面に雌ねじ
部を形成した回転ギア133が回転自在に支承されてお
り、この回転ギア133内には、上下スライド125の上部に
立設したガイドピン135によって回転を規制された筒状
の焦点調整ホルダ137が上下位置調節自在に螺合されて
いる。そして、この焦点調整ホルダ137に、レンズホル
ダ139を介して集光レンズ93が保持されている。
In order to adjust the focal position of the condenser lens 93 up and down, a rotating gear 133 having an internal thread formed on the inner peripheral surface is rotatably supported on the upper side of the vertical slide 125. Inside, a cylindrical focus adjustment holder 137 whose rotation is regulated by a guide pin 135 erected on the upper part of the vertical slide 125 is screwed in such a manner that the vertical position can be adjusted. The condenser lens 93 is held by the focus adjustment holder 137 via the lens holder 139.

上記回転ギア133を回転するために、上下スライド125
には、回転ギア133と噛した小径ギア141が回転自在に設
けられている。すなわち、この小径ギア141は、インナ
ーガイド97に垂直にかつ回転自在に支承されたスプライ
ン軸143に上下動自在にスプライ嵌合されている。この
スプライン軸143の上端部は、上部プレート117に装着し
た超音波モータ145に連動連結してある。
In order to rotate the rotating gear 133, a vertical slide 125
, A small-diameter gear 141 meshing with the rotating gear 133 is rotatably provided. That is, the small-diameter gear 141 is vertically splicably fitted to a spline shaft 143 that is rotatably supported perpendicularly to the inner guide 97. The upper end of the spline shaft 143 is operatively connected to an ultrasonic motor 145 mounted on the upper plate 117.

したがって、超音波モータ145によりスプライン軸143
を回転すると、小径ギア141を介して回転ギア133が回転
されるので、回転ギア133と螺合した焦点調整ホルダ137
は上下に位置調節される。よって、この焦点調整ホルダ
137に保持された集光レンズ93に焦点位置は上下に調節
できることとなる。
Therefore, the spline shaft 143 is
Is rotated through the small-diameter gear 141, so that the focus adjustment holder 137 screwed with the rotary gear 133 is rotated.
Is adjusted up and down. Therefore, this focus adjustment holder
The focal position of the condenser lens 93 held at 137 can be adjusted up and down.

上記集光レンズ93の方向へレーザビームLBを垂直下方
に反射する前記ベンドミラー95は、水冷のためのウォー
タジャケットを備えたミラーホルダ146に支持されてい
る。このミラーホルダ146は、集光レンズ93の上方にお
いて上部プレート117に取付けた筒状のホルダサポート1
47に傾斜して取付けられている。上記ベンドミラー95
は、インナーガイド97が下降されたときに、前記光路調
整装置27から入射されるレーザビームLBを正確に反射す
る高さ位置に設けられているものである。
The bend mirror 95 for reflecting the laser beam LB vertically downward in the direction of the condenser lens 93 is supported by a mirror holder 146 having a water jacket for water cooling. The mirror holder 146 has a cylindrical holder support 1 attached to the upper plate 117 above the condenser lens 93.
It is installed at an angle to 47. Above bend mirror 95
Is provided at a height position that accurately reflects the laser beam LB incident from the optical path adjusting device 27 when the inner guide 97 is lowered.

前記構成のごときレーザ加工ヘッドユニット25におい
ては、光学系として前記ベンドミラー95と集光レンズ93
を備えており、光学系の芯合せが重要である。そこでこ
の実施例においては、集光レンズ93を前記焦点調整ホル
ダ137に装着する前に予じめ心出しを行ない得る構成と
してある。
In the laser processing head unit 25 having the above configuration, the bend mirror 95 and the condenser lens 93 are used as an optical system.
The alignment of the optical system is important. Therefore, in this embodiment, the centering is performed in advance before the condenser lens 93 is mounted on the focus adjustment holder 137.

より詳細には、第8図に示されるように、集光レンズ
93を保持した前記レンズホルダ139は、前記焦点調整ホ
ルダ137内に螺入すべく外周面に螺子部を形成した筒状
のアウターホルダ149と、アウターホルダ149内に配置さ
れ、集光レンズ93を保持する筒状のインナーホルダ151
等より構成してある。
More specifically, as shown in FIG.
The lens holder 139 holding 93 is arranged in the outer holder 149, and a cylindrical outer holder 149 having a threaded portion on the outer peripheral surface for screwing into the focus adjustment holder 137. Tubular inner holder 151 to hold
And so on.

上記集光レンズ93は、円筒形状のレンズ押圧部材15
3、インナーホルダ151内に螺入した円筒形状のナット15
5によってインナーホルダ151に固定されている。インナ
ーホルダ151は、アウタホルダ149の下部に取付けたリン
グ状のスプリングホルダ157とインナーホルダ151の底面
との間に弾装したウェーブスプリング159によって上方
向に付勢されている。そして、インナーホルダ151の上
面に形成した環状溝151G内に保持された複数のスチール
ボール161が、アウターホルダ149の上部フランジ部149F
の下面に形成されたテーパ状部149Tに当接して、インナ
ーホルダ151の芯出しが行なわれている。
The condenser lens 93 includes a cylindrical lens pressing member 15.
3, cylindrical nut 15 screwed into inner holder 151
5 is fixed to the inner holder 151. The inner holder 151 is urged upward by a wave spring 159 elastically mounted between a ring-shaped spring holder 157 attached to a lower portion of the outer holder 149 and a bottom surface of the inner holder 151. Then, a plurality of steel balls 161 held in an annular groove 151G formed on the upper surface of the inner holder 151 are attached to the upper flange portion 149F of the outer holder 149.
The inner holder 151 is centered in contact with the tapered portion 149T formed on the lower surface of the inner holder 151.

さらに、アウターホルダ149に対してインナーホルダ1
51を正確に芯合せするために、アウターホルダ149にお
ける上部周面の複数箇所(3箇所以上)には、インナー
ホルダ151の上部を径方向へ押圧調節自在のアジャスト
セットスクリュー163が螺着してある。また、インナー
ホルダ151とアウタホルダ149との間には、シールおよび
インナーホルダ151の熱をアウターホルダ149へ伝達する
目的で、金属ベローズ165が張設されている。さらに、
アウターホルダ149の上部には、レンズホルダ139を前記
焦点ホルダ137に取付けたときにシールを行なうOリン
グ167が取付けられている。
Furthermore, the inner holder 1 is
In order to accurately align the center 51, an adjust set screw 163 capable of adjusting the upper portion of the inner holder 151 in the radial direction is screwed to a plurality (three or more) of the upper peripheral surface of the outer holder 149. is there. Further, a metal bellows 165 is stretched between the inner holder 151 and the outer holder 149 for the purpose of transmitting the heat of the seal and the inner holder 151 to the outer holder 149. further,
An O-ring 167 that seals when the lens holder 139 is mounted on the focus holder 137 is mounted on the upper part of the outer holder 149.

以上のごとき構成により、各セットスクリュー163を
適宜に調節することにより、アウターホルダ149に対し
てインナーホルダ151を円滑に揺動調節でき、アウター
ホルダ149の軸心にインナーホルダ151の軸心あるいは集
光レンズ93の軸心を合わせ調節することができる。すな
わち軸心調節を予じめ行なうことができる。
With the configuration as described above, by appropriately adjusting each set screw 163, the inner holder 151 can be smoothly swung and adjusted with respect to the outer holder 149, and the axis of the inner holder 151 or the center of the inner holder 151 can be adjusted to the axis of the outer holder 149. The axis of the optical lens 93 can be adjusted and adjusted. That is, the axial center adjustment can be performed in advance.

また、上記構成のレンズホルダ139を焦点調節ホルダ1
37に螺着した状態においてレーザ加工を行なうときに当
って、前記上下スライド125に形成されたポート125P
(第6図参照)からノズル91内へアシストガスが供給さ
れたとき、集光レンズ93等にかかる内圧は複数のスチー
ルボール161で受けることとなり、インナーホルダ151が
軸方向に移動することはない。
Further, the lens holder 139 having the above configuration is
At the time of performing laser processing in the state of being screwed to 37, the port 125P formed in the vertical slide 125 is used.
When the assist gas is supplied from the nozzle 91 into the nozzle 91 (see FIG. 6), the inner pressure applied to the condenser lens 93 and the like is received by the plurality of steel balls 161 and the inner holder 151 does not move in the axial direction. .

パンチプレス3における上部金型(上部タレット)11
に装着したレーザ加工ヘッドユニット25を加工ステーシ
ョンに割出し位置決めしてレーザ加工を行なうときに
は、前述した接続装置29における第1、第2のインター
フェースユニット31、33を接続する必要がある。したが
って、次に、第1,第2のインターフェースユニット31、
33の詳細について説明する。
Upper die (upper turret) in punch press 3
When the laser processing is performed by indexing and positioning the laser processing head unit 25 mounted on the processing station, it is necessary to connect the first and second interface units 31 and 33 of the connection device 29 described above. Therefore, next, the first and second interface units 31,
33 will be described in detail.

説明の都合上、先ず第2のインターフェースユニット
33の構成について説明する。
For convenience of explanation, first the second interface unit
The configuration of the 33 will be described.

第9図、第10図を参照するに、前記光路調整装置27
(第9図、第10図においては図示省略)を内装した前記
ハウジング35のハウジング延伸部37内には、環状の支持
プレート169がハウジング35と一体に設けられている。
この支持プレート169には、ハウジングが延伸部37の開
口部方向へ延伸した複数のガイドバー171が水平に支持
されており、このガイドバー171には、進退部材173が往
復動自在に支承されている。
Referring to FIG. 9 and FIG.
9 and 10, an annular support plate 169 is provided integrally with the housing 35 in the housing extension 37 of the housing 35 in which the housing 35 is provided.
A plurality of guide bars 171 having a housing extending in the direction of the opening of the extending portion 37 are horizontally supported by the support plate 169, and an advancing / retreating member 173 is supported by the guide bar 171 in a reciprocating manner. I have.

上記進退部材173には、ハウジング延伸部37の開口部
方向へ延伸した複数の支柱175が水平に取付けてあり、
支柱175の先端部には、例えばゴム部材のような複数の
弾性A部材177を介して接続プレート179が垂直に支持さ
れている。また、前記進退部材173の中央部には、内部
をレーザビームLBが通過する保護チューブ181が支承さ
れている。
A plurality of columns 175 extending in the direction of the opening of the housing extension 37 are horizontally attached to the advance / retreat member 173,
A connection plate 179 is vertically supported at the tip of the support 175 via a plurality of elastic A members 177 such as rubber members. A protection tube 181 through which the laser beam LB passes is supported at the center of the advancing / retreating member 173.

前記接続プレート179の中央部には、保護チューブ181
に接続したレーザブームLBが通過するビームガイド口18
3が設けられ、接続プレート179の複数箇所には、ガイド
ピン185が水平に突出して設けられている。また、接続
プレート179には、第11図に示されるように、前記レー
ザ加工ヘッドユニット25に備えられたモータ、センサ等
のごとき各種電気製品に電気的に接続するための電気コ
ネクタ187(配線は図示省略)が備えられていると共
に、アシストガスやエアー等の流通路(配管は図示省
略)を接続するための一対のガスコネクタ189A、189Bが
備えられている。さらに接続プレート179には、冷却水
等の流通路(配管は図示省略)を接続する水路コネクタ
191が備えられている。
At the center of the connection plate 179, a protective tube 181 is provided.
Beam guide port 18 through which the laser boom LB connected to
3 are provided, and guide pins 185 are provided at a plurality of locations of the connection plate 179 so as to protrude horizontally. As shown in FIG. 11, the connection plate 179 has an electric connector 187 (wiring is provided) for electrically connecting to various electric products such as a motor and a sensor provided in the laser processing head unit 25. (Not shown), and a pair of gas connectors 189A and 189B for connecting flow paths (piping not shown) for assist gas, air, and the like. Further, the connection plate 179 has a water channel connector for connecting a flow path for cooling water or the like (the piping is not shown).
191 are provided.

前記ガイドバー171に沿って進退部材173を往復動する
ために、進退部材173の適宜位置にはボールナット193が
取付けてあり、このボールナット193は、前記支持プレ
ート169に回転自在に支承されたボールスクリュー195に
螺合してある、そして上記ボールスクリュー195は、支
持プレート169に支持されたサーボモータ197に連結して
ある。
In order to reciprocate the reciprocating member 173 along the guide bar 171, a ball nut 193 is mounted at an appropriate position of the reciprocating member 173, and the ball nut 193 is rotatably supported on the support plate 169. Screwed to a ball screw 195, and the ball screw 195 is connected to a servomotor 197 supported on a support plate 169.

したがって、サーボモータ197の回転駆動により、進
退部材173を介して接続プレート179を第1のインターフ
ェースユニット31に対して接近離反せしめることができ
る。
Accordingly, the connection plate 179 can be moved toward and away from the first interface unit 31 via the advance / retreat member 173 by the rotational drive of the servo motor 197.

前記ハウジング延伸部37内の防塵のために、ハウジン
グ延伸部37の開口部には、ダストカバー199が開閉自在
に設けられている。すなわち、ハウジング延伸部37の先
端部には上下方向のカバーガイド201が設けられてお
り、このカバーガイド201にダストカバー199が上下動自
在に支承されている。そして、ハウジング延伸部37に上
下動自在に装着したエアーシリンダ203がダストカバー1
99に連結してある。なお、上記ダストカバー199には、
第1インターフェース側に設けられた同様のダストカバ
ーを連結して昇降せしめる連動アーム205が第1インタ
ーフェース31側へ突出して設けられている。
A dust cover 199 is provided at the opening of the housing extension portion 37 to be openable and closable in order to prevent dust in the housing extension portion 37. That is, a vertical cover guide 201 is provided at the tip of the housing extension portion 37, and the dust cover 199 is supported by the cover guide 201 so as to be vertically movable. The air cylinder 203 mounted on the housing extension 37 so as to be movable up and down is
Linked to 99. The dust cover 199 includes
An interlocking arm 205 for connecting and raising and lowering a similar dust cover provided on the first interface side is provided to protrude toward the first interface 31 side.

上記構成により、エアーシリンダ203の適宜に作動す
ることによりダストカバー199を上下動して、ハウジン
グ延伸部37の開口部を開閉することができる。
With the above configuration, the dust cover 199 can be moved up and down by operating the air cylinder 203 appropriately, and the opening of the housing extension 37 can be opened and closed.

前記第1インターフェースユニット31は、既に第1図
において説明したように、パンチプレス3における金型
ホルダ11に装着されており、前記レーザ加工ヘッドユニ
ット25を加工ステーションに割出し位置決めしたとき
に、第2インターフェースユニット33と対向して接続可
能になるものである。この第1インターフェースユニッ
ト31とレーザ加工ヘッドユニット25との間には、レーザ
ビーム保護用のガイドチューブ207が設けられている。
As already described in FIG. 1, the first interface unit 31 is mounted on the mold holder 11 of the punch press 3, and when the laser processing head unit 25 is indexed and positioned in a processing station, the first interface unit 31 It can be connected to the 2 interface unit 33. A guide tube 207 for protecting a laser beam is provided between the first interface unit 31 and the laser processing head unit 25.

さらに第1インターフェースユニット31とレーザ加工
ヘッドユニット25との間には、レーザ加工ヘッドユニッ
ト25に備えられたモータ、センサ等の各種電気製品に接
続した配線(図示省略)が設けられていると共に、アシ
ストガス、エアーおよび冷却水用の各種配管(図示省
略)も設けられている。
Further, between the first interface unit 31 and the laser processing head unit 25, wiring (not shown) connected to various electric products such as a motor and a sensor provided in the laser processing head unit 25 is provided. Various pipes (not shown) for assist gas, air and cooling water are also provided.

前記第1インターフェースユニット31が第2インター
フェースユニット33と対向する接続ブロック209には、
第2インターフェースユニット33におけるビームガイド
口183と接続自在なビームガイド口211が設けられている
と共に各ガイドピン185が係脱自在な係合孔213が設けら
れている。さらに上記接続ブロック209には、第2イン
ターフェースユニット33における電気コネクタ187、ガ
スコネクタ189A、189Bおよび水路コネクタ191とそれぞ
れ接続する各種のコネクタ(図示省略)が設けられてい
る。
The connection block 209 in which the first interface unit 31 faces the second interface unit 33 includes:
A beam guide port 211 that can be connected to the beam guide port 183 in the second interface unit 33 is provided, and an engagement hole 213 that allows each guide pin 185 to be detachably connected is provided. Further, the connection block 209 is provided with various connectors (not shown) that are respectively connected to the electrical connector 187, the gas connectors 189A and 189B, and the water channel connector 191 in the second interface unit 33.

また、接続ブロック209には、カバーガイド215が設け
られており、このカバーガイド215にダストカバー217が
上下動自在に案内されている。そして上記ダストカバー
217の上部には、前記第2インターフェースユニット33
側のダストカバー199に設けられた連動アーム205に係合
する係合部219が形成されている。
Further, the connection block 209 is provided with a cover guide 215, and the dust cover 217 is guided by the cover guide 215 so as to be vertically movable. And the above dust cover
217, the second interface unit 33
An engagement portion 219 that engages with the interlocking arm 205 provided on the dust cover 199 on the side is formed.

以上のごとき構成において、第1、第2インターフェ
ースユニット31、33が互いに対向した状態にあるとき、
エアーシリンダ203を作動して一方のダストカバー199を
上昇せしめると、このダストカバー199に備えた連動ア
ーム205によって、他方のダストカバー217の係合部219
が押上げられるので、両ダストカバー199,217は同時に
上昇する。
In the above configuration, when the first and second interface units 31 and 33 are in a state of facing each other,
When one of the dust covers 199 is raised by operating the air cylinder 203, the interlocking arm 205 provided on the dust cover 199 causes the engaging portion 219 of the other dust cover 217 to engage.
Is pushed up, the dust covers 199 and 217 rise at the same time.

上述のように、両方のダストカバー199,217が上昇し
た状態において、第2インターフェースユニット33にお
ける進退部材173、接続プレート179を第1インターフェ
ースユニット31側へ前進せしめると、接続プレート179
と接続ブロック209が接続し、各種のコネクタが接続さ
れる。従って、レーザ発振器23側からレーザ加工ヘッド
ユニット25側へレーザビームLBが供給可能であると共
に、レーザ加工ヘッドユニット25に備えられた各種モー
タ131,145が制御可能になり、かつノズル91からアシス
トガスの噴出が可能になる。
As described above, when the advancing / retreating member 173 and the connection plate 179 of the second interface unit 33 are advanced toward the first interface unit 31 in a state where both dust covers 199 and 217 are raised, the connection plate 179 is formed.
And the connection block 209 are connected, and various connectors are connected. Therefore, the laser beam LB can be supplied from the laser oscillator 23 side to the laser processing head unit 25 side, the various motors 131 and 145 provided in the laser processing head unit 25 can be controlled, and the assist gas is ejected from the nozzle 91. Becomes possible.

すなわち、第1インターフェースユニット31と第2イ
ンターフェースユニット33との接続によりレーザ加工が
可能な状態となる。
That is, the laser processing is enabled by the connection between the first interface unit 31 and the second interface unit 33.

前述のごとく、第1、第2のインターフェースユニッ
ト31,33を接続してレーザ加工を開始するに先立って、
レーザビームLBの軸心が例えばレーザ加工ヘッドユニッ
ト25を装着した工具装着孔87の軸心と一致しているか否
かを検出することが重要である。
As described above, prior to connecting the first and second interface units 31 and 33 and starting laser processing,
It is important to detect whether or not the axis of the laser beam LB coincides with the axis of the tool mounting hole 87 in which the laser processing head unit 25 is mounted, for example.

そこで、本発明の実施例においては、レーザビームLB
の軸心を検出でき、かつレーザ加工ヘッドユニット25に
備えた前記集光レンズ93の焦点位置を検出することので
きるビーム検出装置221(第12図参照)が備えられてい
る。
Therefore, in the embodiment of the present invention, the laser beam LB
There is provided a beam detecting device 221 (see FIG. 12) capable of detecting the axis of the laser beam and detecting the focal position of the condenser lens 93 provided in the laser processing head unit 25.

より詳細には、ビーム検出装置221は、パンチプレス
3における上下の金型ホルダ(上下のタレット)に設け
られた上下の工具装着孔87は同時加工等によって精度の
良い同心に形成されていることを利用するもので、例え
ば下部タレットのごとき下部金型ホルダ223に形成され
た工具装着孔225に装着して使用するものである。この
ビーム検出装置221は、通常は上記工具装着孔225から取
り外されており、レーザビームLBの検出時にのみ使用さ
れるものである。
More specifically, in the beam detection device 221, the upper and lower tool mounting holes 87 provided in the upper and lower mold holders (upper and lower turrets) in the punch press 3 are formed concentrically with high precision by simultaneous processing or the like. And is used by being mounted in a tool mounting hole 225 formed in a lower mold holder 223 such as a lower turret. This beam detecting device 221 is usually removed from the tool mounting hole 225, and is used only when detecting the laser beam LB.

さて、第12図を参照するに、下部金型ホルダ223の工
具装着孔225には、ビーム検出装置221における円形状の
ケーシング227の軸心が工具装着孔225の軸心にほぼ一致
するように、かつ着脱自在に嵌合されている。このケー
シング227内には、X軸に相当するU軸方向へ位置調節
自在なUテーブル229が設けられ、このUテーブル229に
はY軸に相当するY軸方向へ位置調節自在なVテーブル
231が支承されている。そして、このVテーブル231に
は、Vテーブル231に立設したガイドピン232に沿って上
下動自在なZテーブル233が支承されている。
Now, referring to FIG. 12, the tool mounting hole 225 of the lower mold holder 223 is such that the axis of the circular casing 227 in the beam detecting device 221 substantially coincides with the axis of the tool mounting hole 225. And are detachably fitted. In this casing 227, there is provided a U-table 229 capable of adjusting the position in the U-axis direction corresponding to the X-axis. This U-table 229 has a V-table capable of adjusting the position in the Y-axis direction corresponding to the Y-axis.
231 are supported. The V-table 231 supports a Z-table 233 that can move up and down along guide pins 232 erected on the V-table 231.

上記Zテーブル233には、レーザビームLBが通過自在
な小孔235Hを中央部に備えたアパーチャープレート235
が取付けられていると共に、冷却水管237が取付けられ
ている。さらにZテーブル233には、アパーチャープレ
ート235における小孔235Hを通過したレーザビームを積
分球239に導くために、ライトガイドのごとき導管241が
設けられている。上記積分球239は冷却水管243によって
冷却されており、この積分球239の適宜位置には、レー
ザビームLBの出力を検出するパワーセンサ245が備えら
れている。
The Z table 233 has an aperture plate 235 having a small hole 235H at the center thereof through which the laser beam LB can pass.
Is mounted, and a cooling water pipe 237 is mounted. Further, the Z table 233 is provided with a conduit 241 such as a light guide for guiding the laser beam that has passed through the small hole 235H in the aperture plate 235 to the integrating sphere 239. The integrating sphere 239 is cooled by a cooling water pipe 243, and a power sensor 245 for detecting the output of the laser beam LB is provided at an appropriate position of the integrating sphere 239.

前記Zテーブル233を上下動するために、Yテーブル2
31には上下動調整モータ247が装着されており、このモ
ータ247の回転により上下動されるプランジャ247Pの先
端部はZテーブル233に当接してある。
To move the Z table 233 up and down, the Y table 2
A vertical movement adjustment motor 247 is mounted on the motor 31, and the tip of a plunger 247 P that is moved up and down by the rotation of the motor 247 is in contact with the Z table 233.

上記構成において、レーザビームLBの検出を行なうに
は、レーザ加工ヘッドユニット25における集光レンズ93
を取り外し、かつレーザ発振器23からのレーザビームLB
を小径のガイドビームにする。
In the above configuration, to detect the laser beam LB, the condenser lens 93 in the laser processing head unit 25 is required.
The laser beam LB from the laser oscillator 23
Into a small diameter guide beam.

小径のガイドビームを得る方法としては、例えば第13
図(A)に示すように、レーザ発振器23における出力ミ
ラー249とリアミラー251との間に、適宜径のピホールを
備えたピホールアパーチャ253を挿入する構成、或は、
第13図(B)に示すように、外部にピンホールアパーチ
ャ253を配置する構成とすることが可能である。なお、
上記ピンホールアパーチャ253の構成としては、第13図
(C)に示すように、円柱状部にピンホール253Pと大径
孔253Hとを直交して備え、90゜回動することにより、通
常のレーザビーム発振と小径のガイドビーム用とに切換
できる構成であることが望ましい。
As a method for obtaining a small-diameter guide beam, for example,
As shown in FIG. 8A, a configuration in which a pierhole aperture 253 having a pierhole having an appropriate diameter is inserted between an output mirror 249 and a rear mirror 251 in the laser oscillator 23, or
As shown in FIG. 13 (B), a configuration in which a pinhole aperture 253 is arranged outside is possible. In addition,
As shown in FIG. 13 (C), the pinhole aperture 253 is provided with a pinhole 253P and a large-diameter hole 253H orthogonal to each other in a columnar portion, and the pinhole is rotated by 90 ° to form a normal pinhole. It is desirable that the configuration can be switched between laser beam oscillation and small-diameter guide beams.

前述のごとき構成により得られた小径のガイドビーム
を、レーザ加工ヘッドユニット25から前記ビーム検出装
置221に導き、Uテーブル229,Vテーブル231を適宜に移
動して、ガイドビームとアパーチャープレート235の小
径235Hが一致し、パワーセンサ245の検出値が最大にな
った位置が、ガイドビームの軸心と上記小孔235Hの軸心
とが一致した位置である。したがって、このときのUテ
ーブル229、Vテーブル231の位置を位置検出器により検
知することにより、工具装着孔87の軸心に対するレーザ
ビームLBの軸心のずれ量を検知できる。
The small-diameter guide beam obtained by the above-described configuration is guided from the laser processing head unit 25 to the beam detection device 221 and the U table 229 and the V table 231 are appropriately moved to reduce the guide beam and the small diameter of the aperture plate 235. The position where 235H coincides and the detection value of the power sensor 245 becomes maximum is the position where the axis of the guide beam coincides with the axis of the small hole 235H. Accordingly, by detecting the positions of the U table 229 and the V table 231 at this time by the position detector, it is possible to detect the amount of deviation of the axis of the laser beam LB from the axis of the tool mounting hole 87.

上述のごとくレーザビームLBの軸心を検出した後、レ
ーザ加工ヘッドユニット25に集光レンズ93を装着する。
そして、上下調整用モータ247を制御回転してZテーブ
ル233を上下動し、パワーセンサ245の出力が最大となる
位置を検出する。集光レンズ93の焦点位置とアパーチャ
プレート235の小孔235Hとが一致したときにパワーセン
サ245の出力が最大になるので、パワーセンサ245の出力
が最大になったときにおけるアパーチャープレート235
の高さ位置を検知することにより、集光レンズ93の焦点
位置を検知することができる。
After detecting the axis of the laser beam LB as described above, the condenser lens 93 is attached to the laser processing head unit 25.
Then, the vertical rotation motor 247 is controlled and rotated to move the Z table 233 up and down, and a position at which the output of the power sensor 245 is maximum is detected. Since the output of the power sensor 245 becomes maximum when the focal position of the condenser lens 93 and the small hole 235H of the aperture plate 235 match, the aperture plate 235 when the output of the power sensor 245 becomes maximum
By detecting the height position of the focusing lens, the focal position of the condenser lens 93 can be detected.

上述のごとく、レーザビームLBの軸心位置および集光
レンズ93の焦点位置の検出後、ビーム検出装置221を工
具装着孔225から取り外し、第6図、第7図に示される
ように、代りにワークサポートリング255を装着するこ
とにより、レーザ加工が可能となる。なお、レーザ加工
に際しては、レーザ発振器23におけるピンホールアパー
チャ253の大径孔253Hをレーザビームが通過する態様に
する。
As described above, after detecting the axial position of the laser beam LB and the focal position of the condenser lens 93, the beam detector 221 is removed from the tool mounting hole 225, and instead, as shown in FIGS. 6 and 7, By attaching the work support ring 255, laser processing becomes possible. In laser processing, the laser beam passes through the large-diameter hole 253H of the pinhole aperture 253 in the laser oscillator 23.

第14図〜第16図は、別の態様のビーム検出装置257の
構成を示すものである。このビーム検出装置257は、下
部金型ホルダ223の工具装着孔225に着脱自在に嵌合した
リング状のケーシング259を備えており、このケーシン
グ259には回転ホルダ261が回転自在に支承されている。
上記回転ホルダ261の下部には、円筒状の検出ハウジン
グ263が取付けてあり、この検出ハウジング263内に取付
けた円板状のミラーホルダ265の中央部には、レーザビ
ームLBを複数(本実施例においては2分割)に分割する
キューブミラーのごときビーム分割器267が設けられて
いる。
FIG. 14 to FIG. 16 show a configuration of a beam detecting device 257 of another embodiment. The beam detection device 257 includes a ring-shaped casing 259 detachably fitted in the tool mounting hole 225 of the lower mold holder 223, and a rotating holder 261 is rotatably supported on the casing 259. .
A cylindrical detection housing 263 is attached to a lower portion of the rotary holder 261. A plurality of laser beams LB (in this embodiment) are provided at the center of a disk-shaped mirror holder 265 mounted in the detection housing 263. , A beam splitter 267 such as a cube mirror for splitting into two.

さらに上記検出ハウジング263には、ビーム分割器267
によって分割されたレーザビームを、検出ハウジング26
3の底部に備えられた積分球269へ集光入射する凹面鏡27
1が設けられている。上記各積分球269は常に水冷されて
おり、かつ各積分球269にはそれぞれパワーセンサ273が
設けられている。上記各パワーセンサ273は比較器275に
接続され、その検出値が比較される。
Further, the detection housing 263 includes a beam splitter 267.
The laser beam split by the
Concave mirror 27 condensing and incident on integrating sphere 269 provided at the bottom of 3
1 is provided. Each integrating sphere 269 is always water-cooled, and each integrating sphere 269 is provided with a power sensor 273. Each of the power sensors 273 is connected to a comparator 275, and the detected value is compared.

したがって、各パワーセンサ273の検出値を比較器275
において比較することにより、レーザビームLBが等分割
されているか否か検知できる。上記各パワーセンサ273
の検出値が等しくないときには、前記光路調整装置27に
おけるB軸調整モータ71を駆動して、レーザビームLBの
光路をB軸方向に変位せしめ、各パワーセンサ273の検
出値が等しくなるように調節する。
Therefore, the detection value of each power sensor 273 is compared with the comparator 275
By comparing the above, it can be detected whether or not the laser beam LB is equally divided. Each of the above power sensors 273
When the detected values are not equal to each other, the B-axis adjusting motor 71 in the optical path adjusting device 27 is driven to displace the optical path of the laser beam LB in the B-axis direction, so that the detected values of the respective power sensors 273 are adjusted to be equal. I do.

次に、回転ホルダ261を90゜回転して各パワーセンサ2
73の検出値を比較する。この場合には、光路調整装置27
におけるA軸調整モータ61を駆動して、レーザビームLB
の光路をA軸方向に変位せしめることにより、各パワー
センサ273の検出値を等しくすることができる。
Next, the rotation holder 261 is rotated by 90 ° and each power sensor 2 is rotated.
Compare 73 detected values. In this case, the optical path adjusting device 27
Drive the A-axis adjustment motor 61 in the laser beam LB
Is displaced in the A-axis direction, the detection values of the power sensors 273 can be made equal.

すなわち、回転ホルダ261を90゜回転して各パワーセ
ンサ273の検出値が等しくなるようにレーザビームLBの
光路を調節することにより、レーザビームLBの光路を正
確に位置調節することができる。
That is, by rotating the rotary holder 261 by 90 ° and adjusting the optical path of the laser beam LB so that the detection values of the power sensors 273 become equal, the optical path of the laser beam LB can be accurately adjusted.

前記ケーシング259に対して回転ホルダ261を自動的に
回転するために、ケーシング259には第1モータ277が装
着してあり、このモータ277の出力軸に取付けたローラ2
79が回転ホルダ261の上面に圧接してある。さらにケー
シング259には、回転ホルダ261の浮上りを防止する押え
ローラ281を回転自在に備えている。また、回転ホルダ2
61を正確に90゜回転するために、回転ホルダ261には水
平なピン283が取付けてあり、ケーシング259の2箇所に
は、上記ピン283と当接して回転ホルダ261の回転を90゜
に規制するストッパーピン285A,285Bが立設してある。
In order to automatically rotate the rotary holder 261 with respect to the casing 259, a first motor 277 is mounted on the casing 259, and a roller 2 attached to an output shaft of the motor 277 is provided.
79 is pressed against the upper surface of the rotary holder 261. Further, the casing 259 is rotatably provided with a pressing roller 281 for preventing the rotation of the rotary holder 261 from rising. Also, rotating holder 2
A horizontal pin 283 is attached to the rotating holder 261 to rotate the 61 exactly 90 °, and the two parts of the casing 259 come into contact with the pin 283 to restrict the rotation of the rotating holder 261 to 90 °. Stopper pins 285A and 285B are provided.

したがって、第1モータ277を駆動することにより回
転ホルダ261を自動的に回転でき、かつ回転ホルダ261に
備えたピン283がストッパーピン285A,285Bに当接したと
きに、第1モータ277の駆動を停止することにより、回
転ホルダ261を正確に90゜回転の位置に位置決めするこ
とができる。
Therefore, by driving the first motor 277, the rotary holder 261 can be automatically rotated, and when the pin 283 provided on the rotary holder 261 contacts the stopper pins 285A, 285B, the driving of the first motor 277 is performed. By stopping, the rotation holder 261 can be accurately positioned at a position rotated by 90 °.

前記レーザ加工ヘッドユニット25に備えられた集光レ
ンズ93の焦点位置を検出するために、上記ビーム検出装
置257には、レーザビームLBの1部を遮光自在なナイフ
エッジのごとき遮光部材287が備えられている。
In order to detect the focal position of the condenser lens 93 provided in the laser processing head unit 25, the beam detection device 257 includes a light shielding member 287 such as a knife edge capable of shielding a part of the laser beam LB. Have been.

より詳細には、前記回転ホルダ261の上面にはレーザ
ビームLBのほぼ半径程度偏心した偏心凹部289が形成し
てあり、この偏心凹部289内にはホルダリング291が回転
自在に嵌合されている。このホルダリング291は、回転
ホルダ261に取付けた押えローラ293により偏心凹部289
内に保持されている。また、上記ホルダリング291の上
面には、回転ホルダ261に装着した第2モータ295の出力
に取付けられた駆動ローラ297が圧接してある。
More specifically, an eccentric concave portion 289 eccentric about the radius of the laser beam LB is formed on the upper surface of the rotary holder 261, and a holder ring 291 is rotatably fitted in the eccentric concave portion 289. . The holder ring 291 is held by an eccentric recess 289 by a pressing roller 293 attached to the rotary holder 261.
Is held within. A drive roller 297 attached to the output of the second motor 295 mounted on the rotary holder 261 is pressed against the upper surface of the holder ring 291.

したがって上記ホルダシリンダ291は、第2モータ295
の駆動により、回転ホルダ261に対して自動的に回転さ
れることとなる。
Therefore, the holder cylinder 291 is connected to the second motor 295
Is automatically rotated with respect to the rotary holder 261.

上記ホルダシリンダ291に取付けたリング状のホルダ2
99の中心から僅かに偏心した位置に前記遮光部材287が
取付けられている。この遮光部材287は、第14図,第15
図に示された位置においてはレーザビームLBを遮光する
ことのない非遮光状態位置に位置し、ホルダリング291
を180゜回転すると、第16図に示すように、レーザビー
ムLBの軸心付近にエッジが位置してレーザビームLBの1
部を遮光する遮光状態位置を占めるように構成されてい
る。
Ring-shaped holder 2 mounted on holder cylinder 291
The light shielding member 287 is attached at a position slightly eccentric from the center of 99. This light shielding member 287 is similar to that shown in FIGS.
In the position shown in the figure, the laser beam LB is located in a non-light-shielded state where light is not shielded,
When the laser beam LB is rotated by 180 °, the edge is positioned near the axis of the laser beam LB, as shown in FIG.
It is configured to occupy a light shielding state position for shielding the portion.

上記ホルダリング291の回転を180゜に規制するため
に、ホルダリング291に立設したピン301と当接する2本
のストッパーピン303が、180゜位相をずらして回転ホル
ダ261に取付けてある。
In order to restrict the rotation of the holder ring 291 to 180 °, two stopper pins 303 abutting on a pin 301 erected on the holder ring 291 are attached to the rotation holder 261 with a 180 ° phase shift.

以上のごとき構成において、遮光部材287がレーザビ
ームLBの1部を遮光する状態の位置に位置決めしたと
き、レーザビームLBと遮光部材287との位置的関係にお
いて、両パワーセンサ273の検出値は第17図(A),
(B),(C)あるいは(D)に示すように変化するか
ら、例えばFIG,17(A),(B)の場合には両パワーセ
ンサ273の検出値の差が零になるときの遮光部材287の相
対的な高さ位置を検出するべく、また、FIG(C),
(D)の場合には、一方のパワーセンサ273の検出から
他方のパワーセンサの検出に変化するときの相対的な高
さ位置を検出すべく、レーザ加工ヘッドユニット25にお
けるモータ131,145の適宜一方あるいは両方を駆動し
て、集光レンズ93の上下位置を調節することにより、集
光レンズ93の焦点位置を遮光部材287の位置に合わせる
ことができ、焦点位置を検出することができる。
In the configuration as described above, when the light shielding member 287 is positioned at a position where it shields a part of the laser beam LB, the detection values of the two power sensors 273 are equal to the second value in the positional relationship between the laser beam LB and the light shielding member 287. 17 (A),
Since it changes as shown in (B), (C) or (D), for example, in the case of FIGS. 17 (A) and (B), light is blocked when the difference between the detection values of the two power sensors 273 becomes zero. In order to detect the relative height position of the member 287, FIG.
In the case of (D), one of the motors 131 and 145 in the laser processing head unit 25 or one of the motors 131 and 145 in order to detect a relative height position when the detection by one power sensor 273 changes to the detection by the other power sensor. By driving both of them to adjust the vertical position of the condenser lens 93, the focal position of the condenser lens 93 can be adjusted to the position of the light blocking member 287, and the focal position can be detected.

既に理解されるように、以上のごとき構成において、
パンチプレス1によってワークピースWにパンチング加
工を行なうときには、接続装置29における第1,第2のイ
ンターフェースユニット31,33の接続状態を解除した状
態に保持する。そして、通常のタレットパンチプレス同
様に、上下のタレットを回動し、所望の上金型、下金型
を加工ステーションに割出し位置決めして、パンチング
加工行なう。
As already understood, in the above configuration,
When performing punching on the workpiece W by the punch press 1, the connection state of the first and second interface units 31, 33 in the connection device 29 is maintained in a released state. Then, similarly to a normal turret punch press, the upper and lower turrets are rotated, and the desired upper and lower dies are indexed and positioned in the processing station to perform punching.

上記パンチング加工時における衝撃的な振動は、防振
支持装置によって吸収されるので、レーザ加工ヘッドユ
ニット25は振動による悪影響を受けることがない。ま
た、レーザ発振器23および光路調整装置27はパンチプレ
スから離隔してあるので、振動を直接受けることがな
く、振動の影響が少ないものである。
The shock vibration during the punching process is absorbed by the vibration isolating support device, so that the laser processing head unit 25 is not adversely affected by the vibration. Further, since the laser oscillator 23 and the optical path adjusting device 27 are separated from the punch press, they are not directly affected by the vibration and are less affected by the vibration.

前述のごときパンチング加工の終了後に、レーザ加工
を行なうときには、上下のタレットを適宜に回動して、
レーザ加工ヘッドユニット25を加工ステーションに割出
し位置決めした後、接続装置29における第1,第2のイン
ターフェイスユニット31,33を接続する。そして、第1
図に例示するように、パンチングプレス1に装着された
吸引装置305に接続した可撓ダクト307の吸引口309を、
流体圧シリンダ311の作用により、加工ステーションに
連通している通常のスクラップ排出孔に接続して、吸引
作用を行なわせる。
After performing the punching process as described above, when performing laser processing, the upper and lower turrets are appropriately rotated,
After indexing and positioning the laser processing head unit 25 in the processing station, the first and second interface units 31 and 33 in the connection device 29 are connected. And the first
As illustrated in the figure, the suction port 309 of the flexible duct 307 connected to the suction device 305 mounted on the punching press 1 is
By the action of the fluid pressure cylinder 311, it is connected to a normal scrap discharge hole communicating with the processing station to perform a suction action.

なお、パンチプレスにおける下部タレットの工具装着
吸引口部材を装着し、この吸引口部材を第1,第2のイン
ターフェイスユニットと同様に接続、離脱自在の接続装
置を設けて、吸引装置と接続する構成とすることも可能
である。
A configuration in which the tool mounting suction port member of the lower turret in the punch press is mounted, and the suction port member is connected and detachable in the same manner as the first and second interface units, and is connected to the suction device. It is also possible to use

[発明の効果] 以上のごとき実施例より理解されるように、この発明
によれば、レーザ発振器側においてレーザビームの光路
調整を行ない得るので、その調整作用が容易であると共
に、調整部はパンチプレスの振動の影響を受け難いもの
である。
[Effects of the Invention] As can be understood from the embodiments described above, according to the present invention, the optical path of the laser beam can be adjusted on the laser oscillator side, so that the adjusting operation is easy and the adjusting section is a punch. It is hardly affected by the vibration of the press.

また、レーザ加工ヘッドユニットは、既存のパンチプ
レスに対して容易に接着することができ、かつ防振支持
装置によって支持されるので、パンチング加工時におけ
る振動を受け難いものである。
In addition, the laser processing head unit can be easily bonded to an existing punch press and is supported by the vibration isolating support device, so that it is hard to receive vibration during punching.

さらにこの発明によれば、パンチプレスに接着したレ
ーザ加工ヘッドユニット側とレーザ発振器側との接続を
容易に行なうことができる。
Further, according to the present invention, the connection between the laser processing head unit side bonded to the punch press and the laser oscillator side can be easily performed.

さらにまた、レーザビームの軸心位置の検出や集光レ
ンズの焦点位置の検出を容易に行なうことができる。
Furthermore, it is possible to easily detect the axial center position of the laser beam and the focus position of the condenser lens.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図面は本発明の実施例を示すもので、第1図は装置の全
体的構成を示した平面説明図である。 第2図は第1図におけるII−II線矢視に相当する拡大図
である。 第3図は第2図の平面図である。 第4図は第3図におけるIV−IV矢視の拡大図である。 第5図は第1図における矢印V部分の拡大詳細図であ
る。 第6図は第5図におけるVI−VI線に沿った断面図であ
る。 第7図は第5図におけるVII−VII線に沿った断面図であ
る。 第8図は集光レンズの取付部を示す断面説明図である。 第9図は接続部を示す断面図である。 第10図は同平断面図である。 第11図は第9図におけるXI−XI矢視図である。 第12図はレーザビーム検出装置の断面図である。 第13図(A),(B),(C)はレーザビームの発振器
の説明図である。 第14図は別態様のレーザビーム検出装置の断面図であ
る。 第15図は同平面図である。 第16図は第14図の変更態様の断面図である。 第17図(A),(B),(C),(D)はレーザビーム
と遮光部材との位置関係によるパワーセンサの検出値の
説明図である。
The drawings show an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is an explanatory plan view showing the overall configuration of the apparatus. FIG. 2 is an enlarged view corresponding to the view taken along line II-II in FIG. FIG. 3 is a plan view of FIG. FIG. 4 is an enlarged view taken along the line IV-IV in FIG. FIG. 5 is an enlarged detailed view of an arrow V portion in FIG. FIG. 6 is a sectional view taken along the line VI-VI in FIG. FIG. 7 is a sectional view taken along line VII-VII in FIG. FIG. 8 is an explanatory sectional view showing a mounting portion of the condenser lens. FIG. 9 is a cross-sectional view showing a connecting portion. FIG. 10 is a plan sectional view of the same. FIG. 11 is a view taken along the line XI-XI in FIG. FIG. 12 is a sectional view of the laser beam detecting device. FIGS. 13 (A), (B) and (C) are explanatory diagrams of a laser beam oscillator. FIG. 14 is a cross-sectional view of another embodiment of the laser beam detecting device. FIG. 15 is a plan view of the same. FIG. 16 is a sectional view of a modification of FIG. FIGS. 17 (A), (B), (C) and (D) are explanatory diagrams of the detection value of the power sensor based on the positional relationship between the laser beam and the light shielding member.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (54)【発明の名称】 レーザパンチプレス、当該パンチプレスに用いるレーザ加工ヘッドユニット、レーザ加工ヘッド ユニットとレーザ発振器とを接続する接続装置及びレーザ光路調整時に用いられるビーム検出装 置 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (54) [Title of the Invention] Laser punch press, laser processing head unit used for the punch press, connection device for connecting laser processing head unit and laser oscillator, and beam used for laser beam path adjustment Detection device

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】上部金型ホルダに支承された金型と下部金
型ホルダに支承された下金型とによって板材に打抜加工
を行なうパンチプレスにおける適宜位置に装着されたレ
ーザ加工ヘッドユニットと、パンチプレスにおける加工
ステーションから離隔した位置に設けられたレーザ発振
器と、レーザ発振器からのレーザビームを前記レーザ加
工ヘッドユニットへ導く光路調整装置とを備えてなり、
前記光路調整装置は、レーザ発振器からのレーザビーム
を垂直なA軸方向に反射する第1のベンドミラーと、A
軸方向に位置調節自在のA軸テーブルに支承され、かつ
第1のベンドミラーにおいて反射されたレーザビームを
A軸に直交する水平なB軸方向へ反射する第2のベンド
ミラーと、A軸テーブルにB軸方向へ位置調節自在に支
承されたB軸テーブルに支承され、第2のベンドミラー
から反射されたレーザビームをレーザ加工ヘッドユニッ
トの方向へ反射する方向性を調節すべく揺動可能の第3
のベンドミラーとを備えてなることを特徴とするレーザ
パンチプレス。
A laser processing head unit mounted at an appropriate position in a punch press for punching a sheet material by a die supported by an upper die holder and a lower die supported by a lower die holder. A laser oscillator provided at a position separated from a processing station in a punch press, and an optical path adjusting device for guiding a laser beam from the laser oscillator to the laser processing head unit,
The optical path adjusting device includes: a first bend mirror that reflects a laser beam from a laser oscillator in a vertical A-axis direction;
A second bend mirror that is supported by an A-axis table whose position can be adjusted in the axial direction and reflects the laser beam reflected by the first bend mirror in a horizontal B-axis direction orthogonal to the A-axis; The laser beam reflected from the second bend mirror is supported on a B-axis table which is supported so as to be adjustable in the B-axis direction, and can be swung to adjust the directionality of reflecting the laser beam reflected toward the laser processing head unit. Third
And a bend mirror.
【請求項2】パンチプレスにおける上部金型ホルダに形
成された工具装着孔に対して着脱可能な筒状のアウター
ガイドと、ノズル、集光レンズおよびレーザ発振器側か
らのレーザビームを集光レンズ側の垂直下方向へ反射す
るベンドミラーを支承した筒状のインナーガイドと、前
記アウターガイドからの振動の伝達を遮断した状態でイ
ンナーガイドをアウターガイド内に上下動可能に支持す
る防振支持装置とを備え、上記防振支持装置は、アウタ
ーガイドに対してインナーガイドを浮上した状態に支持
する第1弾性体と、アウターガイドとインナーガイドと
の間において拡大縮小自在のエアーダンパーとを備えて
なり、上記エアーダンパーの圧力を保証するアキュムレ
ータを備えてなることを特徴とするレーザ加工ヘッドユ
ニット。
2. A cylindrical outer guide detachable from a tool mounting hole formed in an upper mold holder in a punch press, and a laser beam from a nozzle, a condenser lens and a laser oscillator side. A cylindrical inner guide that supports a bend mirror that reflects vertically downward, and a vibration isolation support device that supports the inner guide up and down in the outer guide in a state in which transmission of vibration from the outer guide is interrupted. The vibration isolating support device includes a first elastic body that supports the inner guide in a floating state with respect to the outer guide, and an air damper that can be freely enlarged and reduced between the outer guide and the inner guide. A laser processing head unit comprising an accumulator for ensuring the pressure of the air damper.
【請求項3】インナーガイド内に上下スライドを上下位
置調節自在に備え、この上下スライドに、前記ノズルお
よびベンドミラーを備えると共に集光レンズを上記ノズ
ルに対して上下位置調節自在に備えてなることを特徴と
する請求項2記載のレーザ加工ヘッドユニット。
3. A vertical slide is provided in the inner guide so that the vertical position can be adjusted, and the vertical slide is provided with the nozzle and the bend mirror, and a condenser lens is provided with the vertical position adjustable with respect to the nozzle. The laser processing head unit according to claim 2, wherein:
【請求項4】上下スライドが集光レンズを支承する部分
には筒状のアウターホルダが着脱可能かつ上下位置調節
に螺着され、このアウターホルダ内には筒状のインナー
ホルダが軸心調節自在かつ軸方向へ常に付勢して設けら
れ、このインナーホルダに集光レンズが支承されている
ことを特徴とする請求項3記載のレーザ加工ヘッドユニ
ット。
4. A cylindrical outer holder is detachably mounted on a portion where the vertical slide supports the condenser lens, and is screwed to adjust the vertical position, and a cylindrical inner holder is adjustable in axial center in the outer holder. 4. A laser processing head unit according to claim 3, wherein said inner holder is provided with a constant bias and said condenser lens is supported by said inner holder.
【請求項5】パンチプレスの適宜位置に装着されたレー
ザ加工ヘッドユニットとパンチプレスの加工ステーショ
ンから離隔した位置に設けられたレーザ発振器とを接続
する接続装置にして、パンチプレス側に設けられ、レー
ザ加工ヘッドユニットにおけるベンドミラーへ入射され
るレーザビーム保護用チューブのガイド口を備えると共
にレーザ加工ヘッドユニットへ供給されるアシストガス
のガスコネクタを備え、かつレーザ加工ヘッドユニット
に備えられた電気装置に接続された電気コネクタを備え
た第1のインターフェースユニットと、レーザ発振器側
に設けられ、第1インターフェースユニットにおけるガ
イド口、ガスコネクタおよび電気コルクタにそれぞれ対
応して接続自在のガイド口、ガスコネクタおよび電気コ
ネクタを備えた第2のインターフェースユニットとを備
えてなり、第1のインターフェースユニットあるいは第
2のインターフェースユニットの少なくとも一方を他方
に対して接近離反自在に構成してなることを特徴とする
接続装置。
5. A connection device for connecting a laser processing head unit mounted at an appropriate position of a punch press and a laser oscillator provided at a position separated from a processing station of the punch press, and provided on the punch press side, The laser processing head unit has a guide port for a laser beam protection tube to be incident on a bend mirror and a gas connector for an assist gas supplied to the laser processing head unit, and an electric device provided in the laser processing head unit. A first interface unit provided with a connected electrical connector, and a guide port, a gas connector, and an electrical connector provided on the laser oscillator side and freely connectable to a guide port, a gas connector, and an electric corktor of the first interface unit, respectively. No. with connector Of it and an interface unit connecting device characterized by comprising close away freely configure at least one relative to the other of the first interface unit or the second interface unit.
【請求項6】第1、第2の各インターフェースユニット
が互いに対向した接続部には、接続部を保護するダスト
カバーが開閉自在に備えられており、少なくとも一方の
インターフェースユニットにはダストカバーを開閉する
ダストカバー開閉装置が備えれていることを特徴とする
請求項5記載の接続装置。
6. A connection portion where the first and second interface units face each other is provided with a dust cover for protecting the connection portion so as to be openable and closable, and at least one of the interface units has a dust cover opened and closed. The connection device according to claim 5, further comprising a dust cover opening / closing device.
【請求項7】パンチプレスにおける下部金型ホルダに着
脱自在なケーシングと、このケーシングに水平なU,V軸
方向へ位置調節自在に支承されたU−Vテーブルと、U
−Vテーブルに上下位置調節自在に支承され、かつ小径
孔を備えたZテーブルと、Zテーブルの小径孔を通過し
たレーザビームの出力を検出するパワーセンサとを備え
てなることを特徴とするビーム検出装置。
7. A casing detachable from a lower mold holder in a punch press, a U-V table supported on the casing so as to be position-adjustable in horizontal U and V axis directions,
A beam, comprising: a Z table supported on a V table so as to be vertically adjustable and provided with a small diameter hole; and a power sensor for detecting an output of a laser beam passing through the small diameter hole of the Z table. Detection device.
【請求項8】パンチプレスにおける下部金型ホルダに着
脱自在なケーシングと、このケーシングに回動自在に支
承された回転ホルダと、回転ホルダに支承されかつレー
ザビームを複数分割するビーム分割器と、分割された各
レーザビームの出力を検出する複数のパワーセンサと、
各パワーセンサの検出値を比較する比較器とを備えてな
ることを特徴とするビーム検出装置。
8. A casing detachable from a lower mold holder in a punch press, a rotary holder rotatably supported by the casing, a beam splitter supported by the rotary holder and splitting a plurality of laser beams, A plurality of power sensors for detecting the output of each split laser beam,
A beam detector, comprising: a comparator for comparing detection values of respective power sensors.
【請求項9】ビーム分割器へ入射するレーザビームの1
部分を遮光自在の遮光部材を、遮光状態位置と非遮光状
態位置とへ位置変更自在に備えてなることを特徴とする
請求項8記載のビーム検出装置。
9. A laser beam incident on a beam splitter.
9. The beam detecting device according to claim 8, wherein a light-shielding member capable of shading a portion is freely changeable between a light-shielded state position and a non-light-shielded state position.
JP2323342A 1990-11-28 1990-11-28 Laser punch press, laser processing head unit used for the punch press, connection device for connecting laser processing head unit and laser oscillator, and beam detection device used for laser beam path adjustment Expired - Fee Related JP2901093B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2323342A JP2901093B2 (en) 1990-11-28 1990-11-28 Laser punch press, laser processing head unit used for the punch press, connection device for connecting laser processing head unit and laser oscillator, and beam detection device used for laser beam path adjustment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2323342A JP2901093B2 (en) 1990-11-28 1990-11-28 Laser punch press, laser processing head unit used for the punch press, connection device for connecting laser processing head unit and laser oscillator, and beam detection device used for laser beam path adjustment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04197589A JPH04197589A (en) 1992-07-17
JP2901093B2 true JP2901093B2 (en) 1999-06-02

Family

ID=18153731

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2323342A Expired - Fee Related JP2901093B2 (en) 1990-11-28 1990-11-28 Laser punch press, laser processing head unit used for the punch press, connection device for connecting laser processing head unit and laser oscillator, and beam detection device used for laser beam path adjustment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2901093B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4235592C1 (en) * 1992-10-22 1994-01-27 Aclas Lasertech Masch Laser processing head and additional device for a numerically controlled machine tool
PL3130426T3 (en) * 2015-08-13 2019-08-30 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Machine tool with a stamping device and a laser processing device
CN107900536A (en) * 2017-12-26 2018-04-13 宁夏小牛自动化设备有限公司 The dust-control method of dust-proof laser and string welding machine and laser
CN108692680B (en) * 2018-08-13 2023-12-26 北京行易道科技有限公司 Laser calibration tool
JP7298681B2 (en) * 2019-04-12 2023-06-27 株式会社ニコン Machining system, machining method, robot system, connection device and end effector device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04197589A (en) 1992-07-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5008510A (en) Laser punch press, and beam detection device for adjusting the laser beam path
US7745756B2 (en) Laser processing machine
EP1859893A1 (en) Laser processing machine with exchangeable laser processing tool and machining tool
JP2002515344A (en) Method of processing workpieces and machine tools
JPH06339785A (en) Laser processing head and auxiliary device for numerically controlled machine tool
US20200398392A1 (en) Apparatus for positioning a workpiece and a tool with respect to one another
CN111975366A (en) Automatic numerical control double-end of control mills and bores integrative compounding machine
JP2901093B2 (en) Laser punch press, laser processing head unit used for the punch press, connection device for connecting laser processing head unit and laser oscillator, and beam detection device used for laser beam path adjustment
US5418652A (en) Deflection mirror housing for laser material-machining systems and beam separating filter
JPS6174794A (en) Working head of laser working device
US7696452B2 (en) Process for the laser beam machining, especially laser beam welding, of components
JP2003225787A (en) Method and device for centering nozzle in laser beam machine
CN218313049U (en) Workpiece machining clamping device
CN112743198B (en) Welding seam tracking sensor structure with compact structure
JPH09220680A (en) Laser beam combined machining apparatus
CN212169813U (en) Tool machining apparatus
KR101863150B1 (en) Welding apparatus
JPH0615471A (en) Laser welding unit
RU2111100C1 (en) Optical focusing system with non-coaxial focusing optics
JPS637386Y2 (en)
CN219788400U (en) Workpiece positioning device based on vision photographing robot
CN220179341U (en) Multi-axis robot and processing equipment
CN219293014U (en) Aluminum frame welding device
JPS6229150B2 (en)
CN113910002B (en) Machining method of double-spindle and double-Y-axis composite numerical control machine tool

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080319

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090319

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees