JP2894348B1 - Bonding equipment - Google Patents

Bonding equipment

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JP2894348B1
JP2894348B1 JP15047398A JP15047398A JP2894348B1 JP 2894348 B1 JP2894348 B1 JP 2894348B1 JP 15047398 A JP15047398 A JP 15047398A JP 15047398 A JP15047398 A JP 15047398A JP 2894348 B1 JP2894348 B1 JP 2894348B1
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JP
Japan
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film
pressing
adherend
adhesive layer
bonding
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善宏 小野
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NEC Corp
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  • Blow-Moulding Or Thermoforming Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

【要約】 【課題】被着材の接着面にうねりがある場合であって
も、空隙(ボイド)が生じることなく、接着層付きフィ
ルムを被着材に均一に接着することができる接着装置を
提供する。 【解決手段】本接着装置は、剛性な被着材12を収納す
る彫り込み部3aを上面に形成した下部平面加圧盤3
と、押圧フィルム10を下面に接合した状態で昇降動す
る加圧ブロック7とを備える。加圧ブロック7の下面に
はエアーが吹き出される吹出口7bが形成される。押圧
フィルム10が剛性な被着材12の上面に載せられた接
着層付きフィルム11と接合し、加圧ブロック7の吹出
口7aから吹き出されるエアーによって、押圧フィルム
10が接着層付きフィルム11を押圧し、接着層付フィ
ルム11と剛性な被着材12とが均一に接着される。
Kind Code: A1 Abstract: An adhesive device capable of uniformly bonding a film with an adhesive layer to an adherend without generating voids even when the surface of the adherend has undulation. provide. The bonding apparatus includes a lower flat pressure plate having a carved portion formed on a top surface for storing a rigid adherend.
And a pressure block 7 that moves up and down while the pressing film 10 is joined to the lower surface. An outlet 7b from which air is blown out is formed on the lower surface of the pressure block 7. The pressing film 10 is bonded to the film 11 with the adhesive layer placed on the upper surface of the rigid adherend 12, and the air is blown out from the outlet 7 a of the pressure block 7 so that the pressing film 10 causes the film 11 with the adhesive layer to By pressing, the film 11 with the adhesive layer and the rigid adherend 12 are uniformly adhered.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、接着層付きフィル
ムを剛性な被着材に接着するための接着装置に関し、特
に、被着材の接着面にうねりがある場合であっても空隙
(ボイド)が生じることなく均一に接着することができ
る接着装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bonding apparatus for bonding a film with an adhesive layer to a rigid adherend, and more particularly to a void (void) even when the adherend surface of the adherend has undulation. The present invention relates to a bonding apparatus capable of bonding uniformly without generating ()).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、接着層付きフィルムと剛性な被着
材とを接着面全面にわたり、均一に接着するために、上
下一対の平行平板あるいは回転ローラを用いて、接着層
付きフィルムを剛性な被着材に押し付けることにより行
われていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, in order to uniformly bond a film with an adhesive layer and a rigid adherend over the entire adhesive surface, a pair of upper and lower parallel plates or a rotating roller is used to remove the rigid film from the rigid layer. This was done by pressing against the adherend.

【0003】なお、特開昭59−198113号には、
裏面に接着剤を塗布したフィルムを陥没模様を施した台
板に密着し、フィルムの表面をシリコンゴムで加圧し、
フィルムを台板の陥没部にも密着させるとともにフィル
ムを加熱することにより、フィルムを台板に張付けるよ
うにしたフィルムの貼着方法が開示されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 59-198113 discloses that
The film with the adhesive applied to the back side is closely attached to the base plate with the depression pattern, and the surface of the film is pressed with silicon rubber,
There is disclosed a method for attaching a film in which a film is stuck to a base plate by heating the film while making the film adhere to a depression portion of the base plate.

【0004】また、特開平5−131545号には、下
側のチャンバに成形基材を載せる吸引置台が設けられ、
その下側のチャンバと対向する上側のチャンバの開口下
面にゴム状弾性膜が張られ、成形基材とゴム状弾性膜と
の間に化粧シートを配置し、上下のチャンバを接合させ
た後、両チャンバ間に圧力差を生じさせるとともにゴム
状弾性膜を加熱することにより、化粧シートをゴム状弾
性膜によって成形基材の該表面に押し付けるとともに軟
化させて接着する真空プレス積層成形方法が開示されて
いる。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-131545, a suction table for mounting a molding base material on a lower chamber is provided.
A rubber-like elastic film is stretched on the lower surface of the opening of the upper chamber opposed to the lower chamber, a decorative sheet is arranged between the molding base material and the rubber-like elastic film, and the upper and lower chambers are joined. A vacuum press laminating method is disclosed in which a decorative sheet is pressed against the surface of a forming substrate by the rubber-like elastic film, and is softened and bonded by generating a pressure difference between the two chambers and heating the rubber-like elastic film. ing.

【0005】さらに、特開平6−136328号には、
上下一対のダイヤフラムによって負圧にされる空間内に
基板が収納され、大気圧によって標識シートを基板に押
し付けて固着する真空圧着装置が開示されている。
Further, JP-A-6-136328 discloses that
There is disclosed a vacuum pressure bonding apparatus in which a substrate is housed in a space made negative by a pair of upper and lower diaphragms, and a sign sheet is pressed against and fixed to the substrate by atmospheric pressure.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の接着方法では押
圧面の平行度に機械的な精度の限界があり、被着材の接
着面にうねりがあるため、接着面に空隙、すなわちボイ
ドが生じる場合があった。そのため、接着層付きフィル
ムを剛性な被着材に均一に接着することができなかっ
た。
In the conventional bonding method, there is a limit in mechanical precision in the parallelism of the pressing surface, and there is undulation in the bonding surface of the adherend, so that voids, ie, voids, are generated in the bonding surface. There was a case. Therefore, the film with the adhesive layer could not be uniformly bonded to the rigid adherend.

【0007】本発明は、被着材の接着面にうねりがある
場合であっても、空隙(ボイド)が生じることなく、接
着層付きフィルムを被着材に均一に接着することができ
る接着装置を提供することを目的とする。
The present invention provides a bonding apparatus capable of uniformly bonding a film with an adhesive layer to an adherend without generating voids (voids) even when the adherend surface of the adherend has undulation. The purpose is to provide.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の接着装置は、接
着層付きフィルムを被着材に接着する接着装置であっ
て、エアー吹出口を備えた加圧部材と、その加圧部材の
エアー吹出口を塞いだ状態で加圧部材に接する押圧フィ
ルムと、前記加圧部材のエアー吹出口にエアーを供給す
るエアー供給手段と、前記押圧フィルムを介して前記接
着層付きフィルムを被着材側に押圧するために、前記加
圧部材を移動させる加圧部材移動手段と、を有すること
を特徴とするものである。
The bonding apparatus according to the present invention is a bonding apparatus for bonding a film with an adhesive layer to an adherend, comprising: a pressing member having an air outlet; A pressing film in contact with the pressing member in a state in which the air outlet is closed, air supply means for supplying air to an air outlet of the pressing member, and the film with the adhesive layer through the pressing film to the adherend side. Pressurizing member moving means for moving the pressurizing member in order to press the pressing member.

【0009】上記エアー吹出口は、接着層付きフィルム
と被着材との接着面よりも幅広に形成されるのが好まし
い。
The air outlet is preferably formed wider than the bonding surface between the film with the adhesive layer and the adherend.

【0010】上記押圧フィルムを移動させる押圧フィル
ム移動手段を有するのが好ましい。
It is preferable to have a pressing film moving means for moving the pressing film.

【0011】上記押圧フィルム移動手段は、押圧フィル
ムを供給する供給ローラと、押圧フィルムを巻き取る巻
取ローラとを有してもよい。
[0011] The pressing film moving means may include a supply roller for supplying the pressing film, and a winding roller for winding the pressing film.

【0012】被着材を入れる凹部と、接着層付きフィル
ムを載置する凸部とが形成された設置部材を有してもよ
い。
[0012] An installation member may be provided in which a concave portion for receiving the adherend and a convex portion for mounting the film with the adhesive layer are formed.

【0013】上記押圧フィルムは、例えばポリイミド、
塩化ビニル、SUSのように、エアー吹出口からのエア
ー圧に耐える機械的強度を有し、かつ被着材の接着面の
うねりに倣って変形する性質の材料で作られるものであ
る。
The pressing film is made of, for example, polyimide,
It is made of a material such as vinyl chloride or SUS which has mechanical strength to withstand the air pressure from the air outlet and deforms in accordance with the undulation of the adhered surface of the adherend.

【0014】本発明によれば、加圧部材移動手段により
加圧部材を移動させ、被着材上に載せられた接着層付き
フィルムに押圧フィルムを押し付ける。そして、エアー
供給手段によって供給されたエアーが加圧部材の吹出口
から吹き出す。これによって、エアーと押圧フィルムと
がクッションのように作用するので、被着材の接着面に
うねりがある場合であっても、接着面に空隙、すなわち
ボイドが生じることなく、接着層付きフィルムを被着材
に均一に接着することができる。
According to the present invention, the pressing member is moved by the pressing member moving means, and the pressing film is pressed against the film with the adhesive layer placed on the adherend. Then, the air supplied by the air supply means blows out from the outlet of the pressurizing member. Thereby, since the air and the pressing film act like a cushion, even if there is undulation on the bonding surface of the adherend, no void is generated on the bonding surface, that is, without generating a void, the film with the bonding layer is formed. It can be uniformly adhered to the adherend.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の接着装置を図1か
ら図6を参照しながら説明する。本発明の接着装置は、
フロアに設置されるベース1と、ベース1の上側に配置
され昇降機構4によって昇降動する上部平面加圧部2と
が対向して配置される。ベース1上に剛性な被着材12
を搭載する設置部材である下部平面加圧盤3が設置さ
れ、上部平面加圧部2に下部平面加圧盤3と対向する加
圧部材である加圧ブロック7が取付けられる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A bonding apparatus according to the present invention will be described below with reference to FIGS. The bonding device of the present invention,
A base 1 installed on the floor and an upper flat pressing unit 2 arranged above the base 1 and moved up and down by an elevating mechanism 4 are arranged to face each other. Rigid adherend 12 on base 1
The lower flat pressure platen 3 which is an installation member for mounting the pressure plate is installed, and a pressure block 7 which is a pressing member facing the lower flat pressure plate 3 is attached to the upper flat pressure portion 2.

【0016】下部平面加圧盤3の上面には図2(A)に
示すように、接着層付きフィルム11を接着する剛性な
被着材12が入れられるように、凹状の彫り込み部3a
が形成され、その周囲の凸部上に接着層付きフィルム1
1が載置される。
As shown in FIG. 2A, a concave engraved portion 3a is provided on the upper surface of the lower flat pressure plate 3 so that a rigid adherend 12 for adhering the film 11 with an adhesive layer can be inserted therein.
Is formed, and a film 1 with an adhesive layer is
1 is placed.

【0017】接着層付きフィルム11は図2(B)に示
すように、フィルムベース11a上に接着層11bを積
層した2層構造であり、接着層11bが剛性な被着材1
2と接着する。
As shown in FIG. 2B, the film 11 with an adhesive layer has a two-layer structure in which an adhesive layer 11b is laminated on a film base 11a.
Adhere to 2.

【0018】他方、加圧ブロック7の下面には図1に示
すように、接着層付きフィルム11のフィルムベース1
1aと接合する押圧フィルム10が接合される。押圧フ
ィルム10は、加圧ブロック7の側方で上部平面加圧部
2に取付けられた供給ローラ5から繰り出され、同じく
上部平面加圧部2に取付けられた巻取ローラ6によって
巻き取られる。そして押圧フィルム10は、例えば巻取
ローラ6を回転させることにより、加圧ブロック7の下
面に接合しながら1工程ごとに間歇的に送られる。押圧
フィルム10は、例えばポリイミド、塩化ビニル、SU
S等のように、押圧時のエアー圧に耐える機械的強度を
有し、かつ剛性な被着材12の接着面のうねりに倣って
変形する性質の材料が用いられるのが好ましい。
On the other hand, as shown in FIG. 1, the lower surface of the pressure block 7 has a film base 1 of a film 11 with an adhesive layer.
The pressing film 10 to be bonded to 1a is bonded. The pressing film 10 is unwound from the supply roller 5 attached to the upper flat pressing unit 2 on the side of the pressing block 7, and is taken up by a winding roller 6 similarly mounted to the upper flat pressing unit 2. The pressing film 10 is intermittently fed for each process while being joined to the lower surface of the pressing block 7 by, for example, rotating the winding roller 6. The pressing film 10 is made of, for example, polyimide, vinyl chloride, SU
It is preferable to use a material, such as S, which has a mechanical strength to withstand the air pressure at the time of pressing and has a property of deforming in accordance with the undulation of the bonding surface of the rigid adherend 12.

【0019】加圧ブロック7の下面にはさらに図2に示
すように、エアーが供給されるエアー供給路7aと、エ
アー供給路7aに連通し、加圧ブロック7の端部に形成
され、供給されたエアーを吹出す吹出口7bとを有す
る。この吹出口7bの開口面は、剛性な被着材12の平
面よりも大きく、剛性な被着材12の全面に接着層付き
フィルム11が押圧されるようにする。
As shown in FIG. 2, the lower surface of the pressure block 7 is connected to an air supply path 7a through which air is supplied and communicates with the air supply path 7a. And an outlet 7b for blowing out the blown air. The opening surface of the outlet 7b is larger than the plane of the rigid adherend 12, so that the film 11 with the adhesive layer is pressed over the entire surface of the rigid adherend 12.

【0020】エアー供給路7aには工場エアーを吸き込
むための配管14が接続されている。配管14の吸込み
口付近には図1に示すように、エアーの圧力を高圧化す
るためのエアーブースター13が接続される。通常の工
場エアーは5kgf/cm2程度の圧力であるため、加圧ブロ
ック7の吹出口7bから吹き出されるエアーは、エアー
ブースター13によって例えば10kgf/cm2まで高圧化す
る。配管14にはさらにエアー圧力を制御するための空
圧レギュレータ8と、エアーを吹出口7bから吹き出さ
せたり、その停止をさせるための電磁弁9が接続され
る。
A pipe 14 for sucking factory air is connected to the air supply path 7a. As shown in FIG. 1, an air booster 13 for increasing the pressure of air is connected near the suction port of the pipe 14. Since normal factory air has a pressure of about 5 kgf / cm 2 , the air blown from the outlet 7 b of the pressure block 7 is increased in pressure by the air booster 13 to, for example, 10 kgf / cm 2 . The pipe 14 is further connected with a pneumatic regulator 8 for controlling air pressure and a solenoid valve 9 for blowing air out of the outlet 7b and for stopping the air.

【0021】本発明に係る接着装置は以上のように構成
し、次に接着層付きフィルム11を剛性な被着材12に
接着する方法について説明する。
The bonding apparatus according to the present invention is configured as described above. Next, a method for bonding the film with adhesive layer 11 to the rigid adherend 12 will be described.

【0022】まず、図3に示すように、下部平面加圧盤
3の彫り込み部3a内に、剛性な被着材12を入れて収
納する。なお、この時、電磁弁9は閉じられており、加
圧ブロック7の吹出口7bからエアーが吹き出されてい
ない。
First, as shown in FIG. 3, a rigid adherend 12 is put into the engraved portion 3a of the lower flat pressure plate 3 and stored. At this time, the solenoid valve 9 is closed, and no air is blown from the outlet 7b of the pressurizing block 7.

【0023】次いで、図4に示すように、剛性な被着材
12及び下部平面加圧盤3の上面に接着層付きフィルム
11の接着層11bを載せる。
Next, as shown in FIG. 4, the adhesive layer 11b of the film 11 with an adhesive layer is placed on the rigid adherend 12 and the upper surface of the lower flat platen 3.

【0024】次いで、図5に示すように、昇降機構4に
より上部平面加圧部2を下方向に移動させ、加圧ブロッ
ク7の下面に接合している押圧フィルム10を接着層付
きフィルム11のフィルムベース11aに押し付ける。
加圧ブロック7は下部平面加圧盤3に接着荷重よりも強
い荷重で押し付ける。
Next, as shown in FIG. 5, the upper flat pressing unit 2 is moved downward by the lifting mechanism 4, and the pressing film 10 bonded to the lower surface of the pressing block 7 is Press against the film base 11a.
The pressure block 7 presses the lower flat pressure plate 3 with a load stronger than the adhesive load.

【0025】次いで、電磁弁9を開き、図6に示すよう
にエアーブースター13により高圧化され、空圧レギュ
レータ8により圧力制御された工場エアーを加圧ブロッ
ク7の吹出口7bから吹き出す。このエアーによって、
押圧フィルム10は接着層付きフィルム11を剛性な被
着材12側に押圧する。このとき、剛性な被着材12の
接着面にうねりがあっても、エアーと押圧フィルム10
がクッションのように作用するので、接着層付きフィル
ム11と剛性な被着材12とはその接着面にボイドが生
じることなく均一に接着される。
Next, the solenoid valve 9 is opened, and factory air, which is made high in pressure by the air booster 13 and pressure-controlled by the pneumatic regulator 8, is blown out from the outlet 7 b of the pressurizing block 7 as shown in FIG. 6. With this air,
The pressing film 10 presses the film 11 with the adhesive layer toward the rigid adherend 12. At this time, even if the adhesive surface of the rigid adherend 12 has undulation,
Acts like a cushion, so that the film 11 with an adhesive layer and the rigid adherend 12 are uniformly bonded to each other without causing voids on the bonding surface.

【0026】接着が終了すると、電磁弁9を閉じて加圧
ブロック7の吹出口7b内の空気圧を大気圧まで下げた
後、昇降機構4によって上部平面加圧部2を上方向に移
動させる。加圧ブロック7の吹出口7b内の空気圧が大
気圧まで下げられているため、加圧ブロック7の下面に
接合している押圧フィルム10は吹き下げられることが
ない。そして、接着に供した押圧フィルム10は、1接
着工程動作ごとに巻取ローラ6により巻き取られ、次の
新たな押圧フィルム10が供給ローラ5から供給され
る。
When the bonding is completed, the electromagnetic valve 9 is closed, the air pressure in the outlet 7b of the pressure block 7 is reduced to the atmospheric pressure, and then the upper flat pressure unit 2 is moved upward by the lifting mechanism 4. Since the air pressure in the outlet 7b of the pressure block 7 is reduced to the atmospheric pressure, the pressure film 10 bonded to the lower surface of the pressure block 7 is not blown down. Then, the pressing film 10 used for bonding is wound up by the winding roller 6 for each bonding operation, and the next new pressing film 10 is supplied from the supply roller 5.

【0027】この間、新たな剛性な被着材12が下部平
面加圧盤3の彫り込み部3a内に収納され、新たな接着
層付きフィルム11が前述したように接着される。この
とき、新たな接着層付きフィルム11には未使用部分の
押圧フィルム10が接合されるため、接着層付きフィル
ム11の表面は常に清浄な押圧面を確保することができ
る。
During this time, a new rigid adherend 12 is accommodated in the engraved portion 3a of the lower flat platen 3, and a new film 11 with an adhesive layer is bonded as described above. At this time, the unused portion of the press film 10 is joined to the new film 11 with the adhesive layer, so that the surface of the film 11 with the adhesive layer can always maintain a clean press surface.

【0028】本発明は、例えば次のような用途に用いら
れる。 (1)リードフレームのようなSUSプレートに、市販
の工業用粘着テープを接着する。 (2)シリコンウェハに接着剤が塗工されたTABテー
プを接着する。
The present invention is used, for example, in the following applications. (1) A commercially available industrial adhesive tape is adhered to a SUS plate such as a lead frame. (2) A TAB tape coated with an adhesive is bonded to the silicon wafer.

【0029】なお、本発明は、実施の形態に限定される
ことはなく、特許請求の範囲に記載された技術的事項の
範囲内において、種々の変更が可能である。
The present invention is not limited to the embodiments, and various changes can be made within the scope of the technical matters described in the claims.

【0030】[0030]

【発明の効果】本発明によれば、被着材に接着する接着
層付きフィルムには、加圧部材の吹出口から吹き出され
るエアーによって、押圧フィルムによる押圧力が加えら
れるため、エアーと押圧フィルムがクッションのように
作用し、被着材の接着面にうねりがあっても、接着層付
きフィルムと剛性な被着材とは、その接着面にボイドが
生じることなく均一に接着される。したがって、本発明
の接着装置を使用することにより、製品の歩留まりを向
上させることができる。
According to the present invention, the pressure applied by the pressing film is applied to the film with the adhesive layer adhered to the adherend by the air blown out from the outlet of the pressing member. Even if the film acts like a cushion and the adhesive surface of the adherend has undulation, the film with the adhesive layer and the rigid adherend are uniformly adhered to each other without voids on the adhesive surface. Therefore, by using the bonding apparatus of the present invention, the yield of products can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る接着装置の全体正面図である。FIG. 1 is an overall front view of a bonding apparatus according to the present invention.

【図2】(A)は本発明に係る接着装置の要部を拡大し
た正面断面図、(B)は接着層付きフィルムの拡大正面
断面図である。
FIG. 2A is an enlarged front cross-sectional view of a main part of the bonding apparatus according to the present invention, and FIG. 2B is an enlarged front cross-sectional view of a film with an adhesive layer.

【図3】本発明に係る接着装置によって剛性な被着材に
接着層付きフィルムを接着する最初の工程を示す正面断
面図である。
FIG. 3 is a front sectional view showing an initial step of bonding a film with an adhesive layer to a rigid adherend by the bonding apparatus according to the present invention.

【図4】本発明に係る接着装置によって剛性な被着材に
接着層付きフィルムを接着する途中の工程を示す正面断
面図である。
FIG. 4 is a front cross-sectional view showing a step in the process of bonding a film with an adhesive layer to a rigid adherend using the bonding apparatus according to the present invention.

【図5】本発明に係る接着装置によって剛性な被着材に
接着層付きフィルムを接着する途中の工程を示す正面断
面図である。
FIG. 5 is a front sectional view showing a step in the process of bonding the film with the adhesive layer to the rigid adherend by the bonding apparatus according to the present invention.

【図6】本発明に係る接着装置によって剛性な被着材に
接着層付きフィルムを接着する最後の工程を示す正面断
面図である。
FIG. 6 is a front sectional view showing a final step of bonding a film with an adhesive layer to a rigid adherend by the bonding apparatus according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:ベース 2:上部平面加圧部 3:下部平面加圧盤(設置部材) 3a:彫り込み部(凹部) 4:昇降機構 5:供給ローラ 6:巻取ローラ 7:加圧ブロック(加圧部材) 7b:吹出口 8:空圧レギュレータ 9:電磁弁 10:押圧フィルム 11:接着層付きフィルム 12:被着材 13:エアーブースター 1: Base 2: Upper flat pressing unit 3: Lower flat pressing plate (installation member) 3a: Engraving unit (recess) 4: Elevating mechanism 5: Supply roller 6: Winding roller 7: Press block (Pressing member) 7b: outlet 8: pneumatic regulator 9: solenoid valve 10: pressing film 11: film with adhesive layer 12: adherend 13: air booster

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】接着層付きフィルムを被着材に接着する接
着装置であって、 エアー吹出口を備えた加圧部材と、 その加圧部材のエアー吹出口を塞いだ状態で加圧部材に
接する押圧フィルムと、 前記加圧部材のエアー吹出口にエアーを供給するエアー
供給手段と、 前記押圧フィルムを介して前記接着層付きフィルムを被
着材側に押圧するために、前記加圧部材を移動させる加
圧部材移動手段と、 を有することを特徴とする接着装置。
1. A bonding apparatus for bonding a film with an adhesive layer to an adherend, comprising: a pressing member having an air outlet; and a pressing member having the air outlet of the pressing member closed. A pressing film to contact, an air supply means for supplying air to an air outlet of the pressing member, and the pressing member to press the film with the adhesive layer toward the adherend through the pressing film. And a pressure member moving means for moving.
【請求項2】前記エアー吹出口は、接着層付きフィルム
と被着材との接着面よりも幅広に形成されることを特徴
とする請求項1に記載の接着装置。
2. The bonding apparatus according to claim 1, wherein the air outlet is formed wider than a bonding surface between the film with the adhesive layer and the adherend.
【請求項3】前記押圧フィルムを移動させる押圧フィル
ム移動手段を有することを特徴とする請求項1又は2に
記載の接着装置。
3. The bonding apparatus according to claim 1, further comprising a pressing film moving means for moving the pressing film.
【請求項4】前記押圧フィルム移動手段は、前記押圧フ
ィルムを供給する供給ローラと、前記押圧フィルムを巻
き取る巻取ローラとを有することを特徴とする請求項3
に記載の接着装置。
4. The pressing film moving means has a supply roller for supplying the pressing film and a winding roller for winding the pressing film.
3. The bonding device according to claim 1.
【請求項5】前記被着材を入れる凹部と、前記接着層付
きフィルムを載置する凸部とが形成された設置部材を有
することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つの
項に記載の接着装置。
5. The apparatus according to claim 1, further comprising an installation member formed with a concave portion for receiving the adherend and a convex portion for mounting the film with an adhesive layer. 3. The bonding device according to claim 1.
【請求項6】前記押圧フィルムは、エアー吹出口からの
エアー圧に耐える機械的強度を有し、かつ被着材の接着
面のうねりに倣って変形する性質の材料で作られること
を特徴とする請求項1乃至5のいずれか1つの項に記載
の接着装置。
6. The press film is made of a material having a mechanical strength to withstand air pressure from an air outlet and deforming in accordance with undulation of an adhered surface of an adherend. The bonding device according to any one of claims 1 to 5, wherein
【請求項7】前記押圧フィルムは、ポリイミド、塩化ビ
ニル、SUSからなる群から選択される物質で作られる
ことを特徴とする請求項6に記載の接着装置。
7. The bonding apparatus according to claim 6, wherein the pressing film is made of a material selected from the group consisting of polyimide, vinyl chloride, and SUS.
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