JP2852558B2 - Level sensor and manufacturing method thereof - Google Patents

Level sensor and manufacturing method thereof

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  • Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、液面等のレベルを電気的に検出するレベル
センサ及びその製造方法に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a level sensor for electrically detecting the level of a liquid level or the like, and a method for manufacturing the same.

[従来技術] この種レベルセンサとしては、セラミック基体上にチ
タン酸バリウム等の半導体からなるPTCサーミスタや、
チタニア,ジルコニア等からなるNTCサーミスタを配設
したものが知られている。かかる構成にあっては、前記
サーミスタが正または負の抵抗−温度特性を持つことか
ら、これを自己発熱、またはヒータによりキューリ点以
上に加熱しておき、液面の下降にともない、サーミスタ
が液中に没して急冷し、抵抗が著しく変化することを利
用し、その電圧または電流を読み取ることにより、該サ
ーミスタの位置を基準として、該液面が所定液位以上ま
たは以下にあるかどうかを知り得るものである。このレ
ベル検出は、液面のみならず粉体層面等にも適用でき
る。
[Prior art] As this kind of level sensor, a PTC thermistor made of a semiconductor such as barium titanate on a ceramic substrate,
It is known that an NTC thermistor made of titania, zirconia, or the like is provided. In such a configuration, since the thermistor has a positive or negative resistance-temperature characteristic, the thermistor is heated to a temperature higher than the Curie point by self-heating or a heater. By taking advantage of the fact that it sinks in and quenches and the resistance changes significantly, by reading its voltage or current, it is possible to determine whether the liquid level is above or below a predetermined liquid level based on the position of the thermistor. You can know. This level detection can be applied not only to the liquid surface but also to the powder layer surface and the like.

[発明が解決しようとする課題] 上述のレベルセンサにあって、セラミック基体上にサ
ーミスタ層を形成する場合には、セラミック基体の所要
部位でサンドブラスト法により粗面を形成しておいてか
ら、この部位上にチタン酸バリウム等のセラミック層を
形成することとなるが、この種レベルセンサにあって
は、例えばチタン酸バリウムのキューリ点は100℃以上
であり、これを液中で急冷することとなることからも理
解されるように激しい温度衝撃に曝される。このため基
体とサーミスタ層の熱膨張率の相違から経時使用により
該サーミスタの剥離を生じ易い。また、前記サンドブラ
スト法にあっては、砂の吹き付けにより、セラミック基
体表面に微細なクラックが発生し易く、このクラックに
誘起されて剥離がさらに進行することとなる。
[Problem to be Solved by the Invention] In the above-described level sensor, when a thermistor layer is formed on a ceramic substrate, a rough surface is formed by a sandblast method at a required portion of the ceramic substrate. A ceramic layer of barium titanate or the like will be formed on the site, but in this type of level sensor, for example, the Curie point of barium titanate is 100 ° C or more, and this is to be rapidly cooled in a liquid. As will be understood from the fact that it becomes, it is exposed to severe thermal shock. Therefore, the thermistor layer is liable to peel off due to the use over time due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the base and the thermistor layer. In the sand blasting method, fine cracks are easily generated on the surface of the ceramic substrate by spraying sand, and the cracks are induced to further promote peeling.

本発明は、上述の温度衝撃に耐え得る構成を備えたレ
ベルセンサ及びその最適な製造方法の提供を目的とする
ものである。
An object of the present invention is to provide a level sensor having a configuration capable of withstanding the above-described temperature shock and an optimum manufacturing method thereof.

[課題を解決するための手段] 本発明は、セラミック基体の所要導電路上に粒子状、
繊維状等の無数のセラミック製微細連結子を介してサー
ミスタを配設したことを特徴とするものである。
[Means for Solving the Problems] The present invention provides a method for manufacturing a ceramic substrate, comprising:
A thermistor is provided via countless ceramic fine connectors such as fibers.

この微細連結子として噴霧乾燥法により顆粒状にした
粒子を用いた場合には、該粒子は楔として安定した特性
を備え、焼成時にサーミスタと導電路との電気的接続を
損なうことなく粒子同士が適正かつ確実に接続するた
め、良好な形状といえる。
In the case of using granulated particles by a spray drying method as the fine connector, the particles have a stable property as a wedge, and the particles can be connected without impairing the electrical connection between the thermistor and the conductive path during firing. It can be said that it has a good shape for proper and reliable connection.

ここで噴霧乾燥法とは、泥漿を霧に吹いて微細な液滴
とし、これを熱風中に注入して、熱風の流れに接触させ
ることにより乾燥させて顆粒とする公知手段であって、
噴霧する場合に回転円板式または遠心法による方法と、
ノズルによる方法が均一な大きさの小滴を得るのに効果
的である。
Here, the spray-drying method is a known means of blowing mud into mist to form fine droplets, injecting them into hot air, and drying by contacting with a flow of hot air to form granules,
When spraying, a rotating disk type or centrifugal method,
The nozzle method is effective for obtaining droplets of a uniform size.

また前記微細連結子がセラミック基体の主成分を80%
以上含んだ材料からなると、セラミック基体との物理的
親和性が高く、熱膨張率の差もないことから、該セラミ
ック基体と一体化して、サーミスタ側に楔として良好に
食い込むことができる。
In addition, the fine connector is 80% of the main component of the ceramic base.
When the above-mentioned material is used, it has a high physical affinity with the ceramic substrate and has no difference in the coefficient of thermal expansion, so that it can be integrated with the ceramic substrate and satisfactorily bite into the thermistor side.

その製造にあっては、微細連結子を、生のセラミック
基体の所要部位に微細連結子をペースト状などの形態で
塗着してから、これを焼成し、さらに、セラミック基体
上に付着した微細連結子上にペースト状サーミスタを塗
着して焼成する手段が提案される。
In the production, the fine connector is applied to a required portion of the raw ceramic substrate in the form of a paste or the like, and then fired, and then the fine connector adheres to the ceramic substrate. Means of applying a paste-like thermistor on the connector and firing the paste is proposed.

[作用] 微細連結子が楔となってサーミスタに食い込み、セラ
ミック基体とサーミスタとが微細連結子を介して強固に
連結される。
[Operation] The fine connector becomes a wedge and bites into the thermistor, and the ceramic base and the thermistor are firmly connected via the fine connector.

また上述の方法にあっては、各構成物が一体焼成さ
れ、さらに強力な連結が可能となる。
Further, in the above-described method, each component is integrally fired, so that stronger connection is possible.

[実施例] 第1図について本発明のレベルセンサの製造方法の一
例を説明する。
Embodiment An example of a method for manufacturing a level sensor according to the present invention will be described with reference to FIG.

・セラミックス基体の準備 まず純度92%のα−Al2O3からなる原料を用い、これ
を成形して0.9mm厚の生の板状セラミックス基体1(第
1図イ)を形成し、このシート上に所要パターンの白金
からなる導電路2及びヒータ5をスクリーン印刷により
形成した(第1図ロ)。
Preparation of Ceramic Substrate First, a raw material composed of α-Al 2 O 3 having a purity of 92% is used and molded to form a 0.9 mm-thick raw plate-shaped ceramic substrate 1 (FIG. 1A). A conductive path 2 made of platinum and a heater 5 having a required pattern were formed thereon by screen printing (FIG. 1B).

そしてさらにこの上に、α−Al2O3からなる被覆層3
をスクリーン印刷により形成し、そのサーミスタを配設
する導電路2上の所要箇所に開口4を形成した(第1図
ハ)。
Further, a coating layer 3 made of α-Al 2 O 3 is further formed thereon.
Was formed by screen printing, and an opening 4 was formed at a required location on the conductive path 2 where the thermistor was disposed (FIG. 1C).

・微細連結子の準備 一方、純度90%のαAl2O3からなる原料に水溶性バイ
ンダと水を加えて泥漿とし、噴霧乾燥法を用いて造粒粒
子からなる微細連結子xを得た。そしてこの粒状微細連
結子xを篩にかけて平均60μ程度の粒径に調整し、これ
を600℃〜700℃で大気中にて熱処理した。そしてこの造
粒粒子群に水溶性バインダと水を加えてインク状とし
た。このとき、この泥漿に500メッシューの篩にかけた
微粒子を混ぜ、その平均粒径を変更した。
Preparation of fine connector On the other hand, a water-soluble binder and water were added to a raw material composed of αAl 2 O 3 having a purity of 90% to form a slurry, and a fine connector x composed of granulated particles was obtained by a spray drying method. Then, the granular fine connector x was sieved to adjust the particle size to an average of about 60 μm, and heat-treated at 600 ° C. to 700 ° C. in the atmosphere. A water-soluble binder and water were added to the granulated particles to form an ink. At this time, fine particles sieved through a 500 mesh sieve were mixed with the slurry to change the average particle size.

・レベルセンサの形成 上述の粒状微細連結子xを含有するインク6を被覆層
3の開口4に供給し(第1図ニ)、300℃の温度雰囲気
中で樹脂抜きをして造粒粒子層7を残留させ、1500℃で
2時間、大気中にて焼成した。尚、前記開口4を付着
し、乾燥した後、焼成前に軽く押えることにより、粒状
微細連結子xがセラミックス基体1側に食い込んで付着
強度を向上させることができる。
Formation of Level Sensor The ink 6 containing the above-mentioned granular fine connector x is supplied to the opening 4 of the coating layer 3 (FIG. 1D), and the resin is removed in an atmosphere at a temperature of 300 ° C. to form a granulated particle layer. 7 was calcined at 1500 ° C. for 2 hours in the air. After the opening 4 is adhered, dried, and lightly pressed before firing, the granular fine connector x bites into the ceramic substrate 1 side, thereby improving the adhesive strength.

次に、チタン酸バリウムに希土類としてLaまたはSbを
添加し、さらに有機バインダを加え、ペースト化し、該
ペースト8を開口4の造粒粒子層7上に転写により塗布
した(第1図ホ)。
Next, La or Sb as a rare earth was added to barium titanate, and an organic binder was further added to form a paste. The paste 8 was applied onto the granulated particle layer 7 of the opening 4 by transfer (FIG. 1E).

そしてこれを1350℃で2時間の焼成を行い、一体焼結
させた。これにより、前記セラミックス基体1の所要導
電路2上に造粒粒子層7を介してチタン酸バリウムから
なる70μ程度の厚のPTCサーミスタ10が形成され、レベ
ルセンサSを得た。
Then, this was fired at 1350 ° C. for 2 hours to be integrally sintered. As a result, a PTC thermistor 10 made of barium titanate and having a thickness of about 70 μm was formed on the required conductive path 2 of the ceramic base 1 via the granulated particle layer 7, and the level sensor S was obtained.

かかる構成にあって、前記サーミスタ10の結合状態を
みるに第2図に示すように、造粒粒子層7の各粒状微細
連結子xが同じセラミック材料であるためにセラミック
ス基体1側と一体となり、かつ該粒状微細連結子xは楔
の役割をしてサーミスタ10側に食い込む。このため、サ
ーミスタ10はセラミックス基体1に対して強固に連結さ
れる。
In such a configuration, as shown in FIG. 2, when the thermistor 10 is connected, as shown in FIG. 2, since each of the particulate microconnectors x of the granulated particle layer 7 is made of the same ceramic material, it is integrated with the ceramic base 1 side. The granular micro connector x acts as a wedge and cuts into the thermistor 10 side. Therefore, the thermistor 10 is firmly connected to the ceramic base 1.

・強度試験 前記サミスタ10の連結強度を調べるために、粒状微細
連結子xの平均粒径のみを換えてレベルセンサSを作成
し、これに200℃の乾燥機内に10分置き、これを取り出
して氷水中に10分置く冷熱サイクルを1000回繰り返し、
そのサーミスタ10の付着状態を観察した。このとき微細
連結子xの平均粒径は、20μ、40μ、60μ、80μ、100
μとした。また粒状微細連結子xを含有するインク6を
塗着しないものについても観察した。
-Strength test In order to check the connection strength of the thermistor 10, a level sensor S was prepared by changing only the average particle size of the granular fine connector x, and was placed in a dryer at 200 ° C for 10 minutes, and then taken out. Repeat the cooling and heating cycle of placing in ice water for 10 minutes 1000 times,
The state of adhesion of the thermistor 10 was observed. At this time, the average particle diameter of the fine connector x was 20 μ, 40 μ, 60 μ, 80 μ, 100 μm.
μ. In addition, a sample was not observed on which the ink 6 containing the particulate fine connector x was not applied.

その結果、20μ〜80μの粒状微細連結子xを介装した
レベルセンサSは、前記冷熱サイクルによっても、亀裂
等を生じなかった。ところが100μのものは、一部サー
ミスタ10に亀裂を生じた。また粒状微細連結子xを介装
しなかったものは、サーミスタ10が剥離した。
As a result, in the level sensor S in which the granular micro connector x of 20 μm to 80 μ was interposed, no crack or the like was generated even by the cooling / heating cycle. However, in the case of 100 μm, the thermistor 10 partially cracked. In addition, the thermistor 10 was peeled off without the granular fine connector x.

このようにみると80μ以下の微細連結子xを適用する
ことにより、サーミスタ10の連結強度は飛躍的に向上す
ることが解った。また、100μの微細連結子xを用いた
場合にも、従来構成よりも向上することが解った。
In this way, it was found that the connection strength of the thermistor 10 was dramatically improved by applying the micro connector x of 80 μ or less. It was also found that the use of a micro connector x of 100 μ improves the structure compared to the conventional configuration.

而して、本発明によるレベルセンサSは耐熱衝撃性の
高いものであることが判明した。
Thus, it has been found that the level sensor S according to the present invention has high thermal shock resistance.

・形成手段の考察 上述の製造手段にあって、噴霧乾燥法等により得られ
る微細連結子xの場合は、球状となり括れ部が確実に形
成され、良好な楔を形成できるとともに、焼成前の一次
粒子相互が凝縮しにくく、焼結性が良い。またセラミッ
クス基体1に塗着焼成した際に各粒子相互の接触が保た
れ、結合力が強く、しかも第2図に示すように、サーミ
スタ10と導電路2との接続が確保され得る。
-Consideration of the forming means In the above-mentioned manufacturing means, in the case of the fine connector x obtained by the spray drying method or the like, the fine connector x is spherical, the constricted portion is reliably formed, a good wedge can be formed, and the primary wedge before firing is formed. The particles are not easily condensed and have good sinterability. Further, when the particles are coated and baked on the ceramic substrate 1, the particles are kept in contact with each other, the bonding force is strong, and the connection between the thermistor 10 and the conductive path 2 can be secured as shown in FIG.

セラミックス基体1と微細連結子xとの接着強度を高
める手段としてガラス等で接着させることも考えられる
が、サーミスタ10と導電路2との接触が悪くなる。この
為上述のように、微細連結子xをセラミックス基体1上
に塗布した後に一体焼成することが最適な手段と考えら
れる。
As a means for increasing the adhesive strength between the ceramic base 1 and the fine connector x, it is conceivable to bond the ceramic base 1 with glass or the like, but the contact between the thermistor 10 and the conductive path 2 becomes poor. For this reason, as described above, it is considered that the best method is to apply the fine connector x on the ceramic base 1 and then to fire it integrally.

また微細連結子xの主成分はセラミックス基体1の材
料と同一かまたは80%以上含有する材料により形成する
ことが好ましい。それは異材料または、前記含有料以下
の配合比であると、含有されているSiO2により焼結後の
マトリックス成分(ガラス成分)が多くなり、上述と同
様にサーミスタ10と導電路2との接触を確保し難く、ま
たマトリックス成分は低融点であるために、高温雰囲気
中では、その接合力が低下し、さらにはセラミックス基
体1と微細連結子xとの熱膨張差によりサーミスタ10が
剥離し易くなることが予想されるからである。
It is preferable that the main component of the fine connector x be the same as the material of the ceramic base 1 or a material containing 80% or more. It foreign material or, if it is the compounding ratio of less than the content fee, it increases the matrix components after sintering by SiO 2 being contained (glass component), contact between the thermistor 10 and the conductive path 2 in the same manner as described above In addition, since the matrix component has a low melting point, the bonding strength is reduced in a high-temperature atmosphere, and the thermistor 10 is easily peeled off due to a difference in thermal expansion between the ceramic substrate 1 and the micro connector x. It is because it is expected to become.

またセラミックス基体1は、サーミスタ10へ電圧印加
したり、セラミックス基体1上に加熱用ヒータを設ける
のにAl2O3によって形成することが望ましい。この場合
に、セラミックス基体1を他の材料で形成し、その表面
をAl2O3層で被膜するようにしても良い。
The ceramic substrate 1 is desirably formed of Al 2 O 3 for applying a voltage to the thermistor 10 or providing a heater for heating on the ceramic substrate 1. In this case, the ceramic base 1 may be formed of another material, and its surface may be coated with an Al 2 O 3 layer.

PTCサーミスタとしては、上述のようにチタン酸バリ
ウムにLa、Sb等の希土類の元素を僅かに加えたものが耐
熱性に優れ、常温での電気抵抗も小さく良好な特性を呈
し得ている。
As described above, a PTC thermistor obtained by adding a rare earth element such as La or Sb to barium titanate as described above has excellent heat resistance, low electric resistance at room temperature, and good characteristics.

さらに使用温度範囲を広げる目的で上述のように加熱
用ヒータ5をセラミックス基体1上等に形成することが
できる。
The heater 5 can be formed on the ceramic base 1 or the like as described above for the purpose of further expanding the operating temperature range.

その他、レベルセンサSに接触させる液またはガスが
サーミスタ10にとって腐食性のある場合には、該レベル
センサSの表面に、ガラス等の保護層または溶射等によ
ってピネル層を公知の方法で付加させることにより、そ
の耐久性を向上させることができる。
In addition, when the liquid or gas to be brought into contact with the level sensor S is corrosive to the thermistor 10, a pinel layer may be added to the surface of the level sensor S by a known method such as a protective layer such as glass or thermal spraying. Thereby, the durability can be improved.

さらに微細連結子xの形状として、球状のみならず、
方形状、繊維状など種々の形態のものが提案されうる。
Further, the shape of the fine connector x is not only spherical,
Various shapes such as a square shape and a fiber shape can be proposed.

また本発明はジルコニア等からなるTNCサーミスタを
セラミックス基体1上に形成するために用いることもで
きる。
Further, the present invention can also be used for forming a TNC thermistor made of zirconia or the like on the ceramic substrate 1.

[発明の効果] 本発明は、上述の様に、セラミック基体の所要導電路
上に無数のセラミック製微細連結子を介してサーミスタ
を配設したから、微細連結子が楔となってサーミスタに
食い込み、セラミック基体とサーミスタとが微細連結子
を介して強固に連結され、このため激しい温度環境に置
かれて使用されるレベルセンサSにあって、その耐久性
を著しく向上することができる優れた効果がある。
[Effects of the Invention] As described above, in the present invention, the thermistors are arranged on the required conductive paths of the ceramic base via innumerable ceramic microconnectors, so that the microconnectors bite into the thermistors as wedges, The ceramic substrate and the thermistor are firmly connected to each other through the fine connector. Therefore, the level sensor S used in an intense temperature environment has an excellent effect of significantly improving the durability. is there.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

添付図面は本発明の実施例を示し、第1図は製造工程
図、第2図はセラミックス基体1とサーミスタ10との接
合状態を示す拡大縦断側面図である。 S……レベルセンサ x……微細連結子 1……セラミックス基体 2……導電路 4……開口 10……サーミスタ
The accompanying drawings show an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a manufacturing process diagram, and FIG. 2 is an enlarged vertical sectional side view showing a bonding state between the ceramic base 1 and the thermistor 10. S: Level sensor x: Fine connector 1: Ceramic base 2: Conductive path 4: Opening 10: Thermistor

フロントページの続き (72)発明者 橘川 兼久 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日本特殊陶業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−39510(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01F 23/22Continuation of front page (72) Inventor Kanehisa Tachibana 14-18, Takatsuji-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi Prefecture Inside of Japan Special Ceramics Co., Ltd. (56) References JP-A-60-39510 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 6 , DB name) G01F 23/22

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】セラミック基体の所要導電路上に粒子状、
繊維状等の無数のセラミック製微細連結子を介してサー
ミスタを配設したことを特徴とするレベルセンサ。
1. The method according to claim 1, wherein the particles are formed on required conductive paths of the ceramic substrate.
A level sensor comprising a thermistor disposed via countless ceramic fine connectors such as fibers.
【請求項2】前記微細連結子が噴霧乾燥法により顆粒状
にした粒子であることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載のレベルセンサ。
2. The method according to claim 1, wherein said fine connector is granulated by a spray drying method.
Level sensor according to the item.
【請求項3】前記微細連結子がセラミック基体の主成分
を80%以上含んだ材料からなることを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載のレベルセンサ。
3. The level sensor according to claim 1, wherein said fine connector is made of a material containing at least 80% of a main component of a ceramic base.
【請求項4】生のセラミック基体の所要部位にセラミッ
ク製微細連結子を塗着してから、これを焼成し、さら
に、セラミック基体上に付着した微細連結子上にペース
ト状サーミスタを塗着して焼成したことを特徴とするレ
ベルセンサの製造方法。
4. A ceramic fine connector is coated on a required portion of a raw ceramic substrate, then fired, and a paste-like thermistor is coated on the fine connector attached to the ceramic substrate. A method for manufacturing a level sensor, characterized in that the level sensor is fired.
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