JP2846902B2 - Coating solution for electronic materials - Google Patents

Coating solution for electronic materials

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JP2846902B2
JP2846902B2 JP1291314A JP29131489A JP2846902B2 JP 2846902 B2 JP2846902 B2 JP 2846902B2 JP 1291314 A JP1291314 A JP 1291314A JP 29131489 A JP29131489 A JP 29131489A JP 2846902 B2 JP2846902 B2 JP 2846902B2
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竜二 小林
恵 小林
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は溶媒に対する溶解性に優れたポリアミド膜を
含む電子材料用塗布液及びそれを硬化することにより得
られる光透過性に優れた膜からなるカラーフィルター基
材、その保護膜、液晶配向膜、半導体用の各種保護膜又
は平坦化膜等の電子材料に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a coating liquid for an electronic material including a polyamide film having excellent solubility in a solvent and a film having excellent light transmittance obtained by curing the same. The present invention relates to an electronic material such as a color filter substrate, a protective film thereof, a liquid crystal alignment film, various protective films for semiconductors or a planarizing film.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

全芳香族ポリイミド樹脂は、電子機器分野における保
護材料、絶縁材料として、或いは接着剤、フィルム又は
構造材として主に耐熱性の面から広く用いられている。
しかしそれをフィルムとして用いた場合、可視光線のう
ちでも低波長領域(例えば波長400nm前後)の光の透過
率が小さく、淡黄色乃至茶褐色に着色している。
2. Description of the Related Art Wholly aromatic polyimide resins are widely used as protective materials and insulating materials in the field of electronic devices, or as adhesives, films or structural materials, mainly from the viewpoint of heat resistance.
However, when it is used as a film, it has a low transmittance of light in a low wavelength region (for example, a wavelength of about 400 nm) among visible rays, and is colored light yellow to brown.

しかし、この様な着色は、光透過性を要求される分野
(例えばカラーフィルター基材又はその保護膜等)での
適用が困難であり、そのため従来からこの面の改良が試
みられてきた。
However, such coloring is difficult to apply in a field requiring light transmittance (for example, a color filter base material or a protective film thereof), and therefore, attempts have been conventionally made to improve this aspect.

例えば、特開昭60−6726号公報、特開昭61−141731号
公報、特開昭61−141732号公報及び特開昭63−170420号
公報にその改良が提案されている。
For example, improvements have been proposed in JP-A-60-6726, JP-A-61-141731, JP-A-61-141732 and JP-A-63-170420.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

ポリイミド樹脂の透明性を改良する方法としては、原
料の酸無水物を脂環式化合物とするもの(例、特開昭60
−6726号公報)、原料のジアミンをスルホン基含有化合
物とするもの(例、特開昭61−141731号公報及び特開昭
61−141732号公報、或いは原料の酸無水物を含フッ素化
合物とするもの(例、特開昭63−170420号公報)等が提
案されている。
As a method for improving the transparency of a polyimide resin, a method in which an acid anhydride as a raw material is converted into an alicyclic compound (for example, see
No.-6726), those in which a diamine as a raw material is used as a sulfone group-containing compound (eg, JP-A-61-141731 and JP-A-61-141731).
Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-141732 or a method in which an acid anhydride as a raw material is used as a fluorine-containing compound (eg, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-170420) have been proposed.

しかるに、これらの方法によるポリイミド樹脂は、膜
厚が1〜2μm前後では、波長400nmの光の透過率95%
を超えるものも得られるが、例えば、膜厚が厚くなり、
10μm以上のフィルムでは透過率95%を超えるものを得
るのは困難であった。
However, the polyimide resin obtained by these methods has a transmittance of 95% for light having a wavelength of 400 nm when the film thickness is about 1 to 2 μm.
However, for example, the film thickness becomes thicker,
With a film of 10 μm or more, it was difficult to obtain a film having a transmittance exceeding 95%.

又、安価な原料である無水マレイン酸のみの二量化に
より得られるシクロブタンテトラカルボン酸二無水物か
ら得られる全脂環式ポリイミドは光透過性の面では良好
であるが、その前駆体が塩基性溶媒にしか溶解せず、そ
のため例えばカラーフィルター保護膜の用途に使用した
場合、塗布時にカラーフィルター中の染料を特殊な処理
をしたものを除き抽出し保護膜が着色してカラーフィル
ターの機能を害するという事実がある。
In addition, all cycloaliphatic polyimides obtained from cyclobutanetetracarboxylic dianhydride obtained by dimerization of maleic anhydride alone, which is an inexpensive raw material, are good in terms of light transmittance, but the precursor is basic. It is only soluble in solvents, so if it is used, for example, for the purpose of a color filter protective film, the dye in the color filter is extracted at the time of application, except for those that have been specially treated, and the protective film is colored, impairing the function of the color filter. There is a fact that.

本発明の目的は溶媒に対する溶解性の優れたポリイミ
ド前駆体と溶媒からなる塗布液を得ることとともに、そ
れを硬化することにより可視光線の透過性に優れたポリ
イミド膜を提供することにある。
An object of the present invention is to obtain a coating liquid comprising a polyimide precursor having excellent solubility in a solvent and a solvent, and to provide a polyimide film having excellent visible light transmittance by curing the coating liquid.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明の第1は、 下記一般式(I)で示されるアミド酸反復単位からな
り、対数粘度数が0.1〜5dl/gであるポリイミド前駆体
と、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノー
ル、2−ブトキシエタノール、ジエチレングリコールモ
ノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、シクロペンタノ
ン、シクロヘキサノン、クレゾール、γ−ブチロラクト
ン、テトラヒドロフランよりなる群より選んだ少なくと
も一種の非極性溶媒とからなる電子材料用塗布液。
A first aspect of the present invention is a polyimide precursor comprising an amic acid repeating unit represented by the following general formula (I) and having a logarithmic viscosity number of 0.1 to 5 dl / g, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, An electronic material comprising at least one non-polar solvent selected from the group consisting of butoxyethanol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, cyclopentanone, cyclohexanone, cresol, γ-butyrolactone, and tetrahydrofuran. Coating solution.

〔式(I)において、Rは下記式(II)又は(III)で
示される基であり、R2は1,4−ジアミノシクロヘキサ
ン、1,3−ジアミノシクロヘキサン、4,4′−ジアミノジ
シクロヘキシルメタン、4,4′−ジアミノ−3,3′−ジメ
チルジシクロヘキシルメタン、4,4′−ジアミノ−3,3′
−ジメチルジシクロヘキシル及びイソホロンジアミンよ
りなる群より選んだ少なくとも一種の脂環式ジアミン残
基である。
[In the formula (I), R is a group represented by the following formula (II) or (III), and R 2 is 1,4-diaminocyclohexane, 1,3-diaminocyclohexane, 4,4′-diaminodicyclohexylmethane , 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldicyclohexylmethane, 4,4'-diamino-3,3 '
At least one alicyclic diamine residue selected from the group consisting of dimethyldicyclohexyl and isophoronediamine.

ただし、R1は独立にメチル基又はエチル基であり、pは
1≦p≦3の整数である。
Here, R 1 is independently a methyl group or an ethyl group, and p is an integer of 1 ≦ p ≦ 3.

ただし、qは2≦q≦10の整数である。〕 又上記式(I)のR2の代りにR3として 4,4′−ジアミノジシクロヘキシルメタン、2,2−ビス
〔4−(4−(アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフ
ロロプロパン、3,3′−ジアミノジフェニルスルホンよ
りなる群より選んだ少なくとも一種の脂環式ジアミン残
基とした電子材料用塗布液である。
Here, q is an integer of 2 ≦ q ≦ 10. In addition, instead of R 2 in the above formula (I), R 3 is 4,4′-diaminodicyclohexylmethane, 2,2-bis [4- (4- (aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 3,3 ′ -A coating liquid for an electronic material in which at least one alicyclic diamine residue selected from the group consisting of diaminodiphenyl sulfone is used.

更に(I)のRとして 1−メチル−1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸
二無水物、1,3−ジメチル−1,2,3,4−シクロブタンテト
ラカルボン酸二無水物、ビシクロ〔4.2.0〕オクタン−
1,6,7,8−テトラカルボン酸二無水物の何れかの無水物
残基とした電子材料用塗布液である。
Further, as R of (I), 1-methyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,3-dimethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, bicyclo (4.2.0) octane
This is a coating liquid for electronic materials in which any anhydride residue of 1,6,7,8-tetracarboxylic dianhydride is used.

更に溶媒としてエチルカルビトールを用いた前記何れ
かに記載の電子材料用塗布液である。
The coating liquid for an electronic material according to any one of the above, wherein ethyl carbitol is used as a solvent.

脂環式ジアミンの例として、次の化合物を挙げること
ができる。即ち、1,4−ジアミノシクロヘキサン、1,3−
ジアミノシクロヘキサン、4,4′−ジアミノジシクロヘ
キシルメタン、4,4′−ジアミノ−3,3′−ジメチルジシ
クロヘキシルメタン、4,4′−ジアミノ−3,3′−ジメチ
ルジシクロヘキシル及びイソホロンジアミン。
Examples of the alicyclic diamine include the following compounds. That is, 1,4-diaminocyclohexane, 1,3-
Diaminocyclohexane, 4,4'-diaminodicyclohexylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldicyclohexylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldicyclohexyl and isophoronediamine.

炭素乾式芳香族ジアミン類の例として、次の化合物が
挙げられる。
Examples of the carbon dry aromatic diamines include the following compounds.

o−、m−及びp−フェニレンジアミン、ジアミノト
ルエン類(例えば、2,4−ジアミノトルエン)、1,4−ジ
アミノ−2−メトキシベンゼン、2,5−ジアミノキシレ
ン類、1,3−ジアミノ−4−クロルベンゼン、1,4−ジア
ミノ−2,5−ジクロルベンゼン、1,4−ジアミノ−2−ブ
ロムベンゼン、1,3−ジアミノ−4−イソプロピルベン
ゼン、N,N′−ジフェニル−1,4−フェニレンジアミン、
4,4′−ジアミノジフェニル−2,2−プロパン、4,4′−
ジアミノジフェニルメタン、2,2′−ジアミノスチルベ
ン、4,4′−ジアミノスチルベン、4,4′−ジアミノジフ
ェニル−エーテル、4,4′−ジアミノジフェニル−チオ
エーテル、4,4′−ジアミノジフェニルスルホン、3,3′
−ジアミノジフェニルスルホン、4,4′−ジアミノ安息
香酸フェニルエステル、2,2′−ジアミノベンゾフェノ
ン、4,4′−ジアミノベンゾフェノン、4,4′−ジアミノ
ベンジル、4−(4′−アミノフェニルカルバモイル)
−アニリン、ビス(4−アミノフェニル)−ホスフイン
オキシド、ビス(4−アミノフェニル)−メチル−ホス
フインオキシド、ビス(3−アミノフェニル)−メチル
スルフインオキシド、ビス(4−アミノフェニル)−フ
ェニルホスフインオキシド、ビス(4−アミノフェニ
ル)−シクロヘキシルホスフインオキシド、N,N−ビス
(4−アミノフェニル)−N−フェニルアミン、N,N−
ビス(4−アミノフェニル)−N−メチルアミン、4,
4′−ジアミノジフェニル尿素、1,8−ジアミノナフタリ
ン、1,5−ジアミノナフタリン、1,5−ジアミノアントラ
キノン、ジアミノフルオランテン、ビス(4−アミノフ
ェニル)−ジエチルシラン、ビス(4−アミノフェニ
ル)−ジメチルシラン、ビス(4−アミノフェニル)−
テトラメチルジシロキサン、3,4′−ジアミノジフェニ
ルエーテル、ベンジジン、2,2′−ジメチルベンジジ
ン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル〕プロパン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル〕スルホン、4,4′−ビス(4−アミノフェノキ
シ)ビフェニル、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノ
キシ)フェニル〕ヘキサフロロプロパン、1,4−ビス
(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−
アミノフェノキシ)ベンゼン。
o-, m- and p-phenylenediamine, diaminotoluenes (eg, 2,4-diaminotoluene), 1,4-diamino-2-methoxybenzene, 2,5-diaminoxylenes, 1,3-diamino- 4-chlorobenzene, 1,4-diamino-2,5-dichlorobenzene, 1,4-diamino-2-bromobenzene, 1,3-diamino-4-isopropylbenzene, N, N'-diphenyl-1, 4-phenylenediamine,
4,4'-diaminodiphenyl-2,2-propane, 4,4'-
Diaminodiphenylmethane, 2,2'-diaminostilbene, 4,4'-diaminostilbene, 4,4'-diaminodiphenyl-ether, 4,4'-diaminodiphenyl-thioether, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3, 3 ′
-Diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminobenzoic acid phenyl ester, 2,2'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzyl, 4- (4'-aminophenylcarbamoyl)
-Aniline, bis (4-aminophenyl) -phosphine oxide, bis (4-aminophenyl) -methyl-phosphine oxide, bis (3-aminophenyl) -methylsulfin oxide, bis (4-aminophenyl)- Phenylphosphine oxide, bis (4-aminophenyl) -cyclohexylphosphine oxide, N, N-bis (4-aminophenyl) -N-phenylamine, N, N-
Bis (4-aminophenyl) -N-methylamine, 4,
4'-diaminodiphenylurea, 1,8-diaminonaphthalene, 1,5-diaminonaphthalene, 1,5-diaminoanthraquinone, diaminofluoranthene, bis (4-aminophenyl) -diethylsilane, bis (4-aminophenyl ) -Dimethylsilane, bis (4-aminophenyl)-
Tetramethyldisiloxane, 3,4'-diaminodiphenyl ether, benzidine, 2,2'-dimethylbenzidine, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, bis [4- (4-aminophenoxy) ) Phenyl] sulfone, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) Benzene, 1,3-bis (4-
Aminophenoxy) benzene.

複素乾式ジアミン類として、例えば次の化合物が挙げ
られる。
Examples of the hetero-dry diamines include the following compounds.

2,6−ジアミノピリジン、2,4−ジアミノピリミジン、
2,4−ジアミノ−s−トリアジン、2,7−ジアミノ−ジベ
ンゾフラン、2,7−ジアミノカルバゾール、3,7−ジアミ
ノフェノチアジン、2,5−ジアミノ−1,3,4−チアジアゾ
ール、2,4−ジアミノ−6−フェニル−s−トリアジ
ン。
2,6-diaminopyridine, 2,4-diaminopyrimidine,
2,4-diamino-s-triazine, 2,7-diamino-dibenzofuran, 2,7-diaminocarbazole, 3,7-diaminophenothiazine, 2,5-diamino-1,3,4-thiadiazole, 2,4- Diamino-6-phenyl-s-triazine.

また、脂肪族ジアミンの例として、次の化合物が挙げ
られる。
Further, examples of the aliphatic diamine include the following compounds.

ジメチルアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチ
レンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチン
レンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレン
ジアミン、デカメチレンジアミン、2,2−ジメチルプロ
ピレンジアミン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミ
ン、2,5−ジメチルヘプタメチレンジアミン、4,4−ジメ
チルヘプタメチレンジアミン、3−メチルヘプタメチレ
ンジアミン、3−メトキシヘプタメチレンジアミン、5
−メチルノナメチレンジアミン、2,11−ジアミノドデカ
ン、1,12−ジアミノオクタデカン、1,2−ビス(3−ア
ミノプロポキシ)−エタン、N,N′−ジメチル−エチレ
ンジアミン、N,N′−ジエチル−1,3−ジアミノプロパ
ン、N,N′−ジメチル−1,6−ジアミノヘキサン、式: H2N(CH23O(CH22O(CH23NH2で表わされるジア
ミン。
Dimethylamine, trimethylenediamine, tetramethylenediamine, hexamethylenediamine, heptamethinediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, decamethylenediamine, 2,2-dimethylpropylenediamine, 2,5-dimethylhexamethylenediamine, 2 , 5-dimethylheptamethylenediamine, 4,4-dimethylheptamethylenediamine, 3-methylheptamethylenediamine, 3-methoxyheptamethylenediamine, 5
-Methylnonamethylenediamine, 2,11-diaminododecane, 1,12-diaminooctadecane, 1,2-bis (3-aminopropoxy) -ethane, N, N'-dimethyl-ethylenediamine, N, N'-diethyl- 1,3-diaminopropane, N, N'-dimethyl-1,6-diaminohexane, a diamine represented by the formula: H 2 N (CH 2 ) 3 O (CH 2 ) 2 O (CH 2 ) 3 NH 2 .

シロキサン系ジアミンとして次の化合物を挙げること
ができる。
The following compounds can be mentioned as siloxane-based diamines.

上記の原料化合物を溶媒中で反応させるための好まし
い溶媒(以下「反応溶媒」と言うことがある。)とし
て、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノー
ル、2−ブトキシエタノール、ジエチレングリコールモ
ノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、シクロペンタノ
ン、シクロヘキサノン、クレゾール、γ−ブチロラクト
ン、テトラヒドロフラン、等の非極性溶媒を好適に用い
ることができる。更にN−メチル−2−ピロリドン、N,
N−ジメチルアセトアミド、N,N′−ジエチルアセトアミ
ド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルム
アミド、ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿素、ピ
リジン、ジメチルスルホン、ヘキサメチルホスホルアミ
ド、メチルホルムアミド、N−アセチル−2−ピロリド
ン、N,N−ジメチルメトキシアセトアミド、N−アセチ
ル−2−ピロリドン、N−メチル−ε−カプロラクタム
等の塩基性溶媒も使用することができる。
Preferred solvents (hereinafter, sometimes referred to as “reaction solvents”) for reacting the above-mentioned starting compounds in a solvent include 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 2-butoxyethanol, diethylene glycol monomethyl ether, and diethylene glycol mono. Non-polar solvents such as ethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, cyclopentanone, cyclohexanone, cresol, γ-butyrolactone, and tetrahydrofuran can be suitably used. Further, N-methyl-2-pyrrolidone, N,
N-dimethylacetamide, N, N'-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, dimethylsulfoxide, tetramethylurea, pyridine, dimethylsulfone, hexamethylphosphoramide, methylformamide, N- Basic solvents such as acetyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylmethoxyacetamide, N-acetyl-2-pyrrolidone, N-methyl-ε-caprolactam and the like can also be used.

前記のように、それ自体は公知の方法で、前記式
(I)の反復単位を含むポリイミド前駆体が得られる。
全アミド酸反復単位のうちこの反復単位(I)のみから
構成されるポリイミド前駆体のみでも、本発明のポリイ
ミド前駆体塗布液を構成することは可能である。
As described above, a polyimide precursor containing the repeating unit of the formula (I) can be obtained by a method known per se.
It is possible to constitute the polyimide precursor coating solution of the present invention only with a polyimide precursor composed of only this repeating unit (I) among all amic acid repeating units.

しかし、前記原料のうち前記式(VI)で示される酸二
無水物の一部を芳香族酸二無水物、脂肪族酸二無水物、
シクロブタンテトラカルボン酸二無水物等に置き換える
ことができる。しかし芳香族化合物の比率が大きい原料
から得られたポリイミド膜は光透過性が低下し、脂肪族
化合物の比率を大にすると、得られるポリイミド膜の耐
熱性が低下し、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物
の比率を大にすると、得られるポリイミド前駆体が塩基
性溶媒以外の溶媒に溶けにくくなり、いずれも好ましく
ない。
However, among the raw materials, part of the acid dianhydride represented by the formula (VI) is replaced with an aromatic dianhydride, an aliphatic dianhydride,
It can be replaced by cyclobutanetetracarboxylic dianhydride or the like. However, a polyimide film obtained from a raw material having a large ratio of aromatic compounds has a reduced light transmittance, and if the ratio of aliphatic compounds is large, the heat resistance of the obtained polyimide film is reduced, and cyclobutanetetracarboxylic dianhydride is obtained. When the ratio of the products is large, the obtained polyimide precursor becomes difficult to be dissolved in a solvent other than the basic solvent, and neither is preferable.

従って、ポリイミド前駆体中の全アミド酸反復単位及
びポリイミド中の全イミド反復単位のうち、反復単位
(I)及び(V)は60モル%以上、好ましくは80モル%
以上がよい。
Accordingly, of all the amic acid repeating units in the polyimide precursor and all the imide repeating units in the polyimide, the repeating units (I) and (V) account for at least 60 mol%, preferably 80 mol%.
The above is good.

更にR2が脂環式基であることが特に好ましい。It is particularly preferred that R 2 is an alicyclic group.

芳香族酸二無水物及び脂肪族酸二無水物の具体例を以
下に示す。
Specific examples of the aromatic dianhydride and the aliphatic dianhydride are shown below.

ピロメリット酸二無水物、3,3′,4,4′−ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボ
キシフェニル)−エーテル二無水物、ビス(3,4−ジカ
ルボキシフェニル)−スルホン二無水物、ビス(3,4−
ジカルボキシフェニル)−スルフィド二無水物、2,2−
ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−ヘキサフロロプ
ロパン二無水物、1,2,3,4−テトラカルボキシブタン二
無水物。
Pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-di Carboxyphenyl) -ether dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) -sulfone dianhydride, bis (3,4-
Dicarboxyphenyl) -sulfide dianhydride, 2,2-
Bis (3,4-dicarboxyphenyl) -hexafluoropropane dianhydride, 1,2,3,4-tetracarboxybutane dianhydride.

また基板に対する接着性を向上することを目的に全原
料の10モル%以下のアミノシランを添加することができ
る。これらは末端酸無水物基と反応してポリマー末端を
形成することができる。その具体例を以下に示す。
In order to improve the adhesion to the substrate, aminosilane of 10 mol% or less of the whole raw material can be added. These can react with terminal anhydride groups to form polymer ends. Specific examples are shown below.

次に反応方法について説明する。前記式(IV)で示さ
れるテトラカルボン酸二無水物を60モル%以上含む酸二
無水物と、前記式(VII)で示されるジアミン及び全原
料化合物中0〜10モル%の前記アミノシランを前記反応
溶媒中で反応を行う。
Next, the reaction method will be described. An acid dianhydride containing 60 mol% or more of the tetracarboxylic dianhydride represented by the formula (IV), and the diamine represented by the formula (VII) and 0 to 10 mol% of the aminosilane in all the raw material compounds, The reaction is performed in a reaction solvent.

この場合、合成されるポリイミド前躯体中、前記式
(I)で示される反復単位が60モル%以上になるように
原料混合比を定める。
In this case, the mixing ratio of the raw materials is determined so that the amount of the repeating unit represented by the formula (I) in the synthesized polyimide precursor is 60 mol% or more.

また酸二無水物の合計量とジアミンの合計量がほぼ等
モルになるようにする、しかしどちらかが10モル%以内
において過剰になることはさしつかえない。
In addition, the total amount of the acid dianhydride and the total amount of the diamine are made to be approximately equimolar, but either one may be in excess within 10 mol%.

反応溶媒は、これと添加した原料の合計量を基準とし
て、50重量%以上使用するのがよい。これ以下の溶媒量
では撹拌が困難な場合があり、好ましくない。反応は通
常行われるポリイミド前駆体の合成法なら如何なる方法
でもよいが、前記原料を溶媒中で一括して又は分割して
反応器に供給し、0〜100℃の温度で数時間乃至数十時
間行うのが一般的である。このようにして本発明のポリ
イミド前駆体を含む溶液が得られる。
The reaction solvent is preferably used in an amount of 50% by weight or more based on the total amount of the reaction solvent and the added raw materials. If the amount of solvent is less than this, stirring may be difficult, which is not preferable. The reaction may be any method as long as it is a method of synthesizing a polyimide precursor, which is usually performed, but the raw materials are supplied to the reactor in a lump or in a batch in a solvent, and at a temperature of 0 to 100 ° C. for several hours to several tens of hours. It is common to do. Thus, a solution containing the polyimide precursor of the present invention is obtained.

この溶液を基板に塗布し、100〜400℃に加熱するか、
又はこれに無水酢酸等の酸無水物及び/又はピリジン或
いはイソキノリン等の公知のイミド化促進剤を添加して
10〜100℃の比較的低温で、該前駆体をイミド化すると
共に溶媒を揮散せしめることにより本発明のポリイミド
硬化膜が得られる。
Apply this solution to the substrate and heat to 100-400 ° C or
Alternatively, an acid anhydride such as acetic anhydride and / or a known imidization accelerator such as pyridine or isoquinoline are added thereto.
By imidizing the precursor and evaporating the solvent at a relatively low temperature of 10 to 100 ° C., the cured polyimide film of the present invention can be obtained.

本発明のポリイミド前駆体の平均分子量は前記一定条
件下で測定した対数粘度数が0.1〜5dl/gの範囲のものが
好ましい。
The average molecular weight of the polyimide precursor of the present invention is preferably such that the logarithmic viscosity number measured under the above-mentioned constant conditions is in the range of 0.1 to 5 dl / g.

本発明において、前記対数粘度数は前記測定条件によ
り定義された通りのものであるが、更に詳述すれば、次
式で示される。
In the present invention, the logarithmic viscosity number is as defined by the measurement conditions. More specifically, the logarithmic viscosity number is represented by the following equation.

(ここでηはウベローデ粘度計を使用し、溶媒中の濃度
(C)0.5g/dlのものを温度30±0.01℃で測定した値で
あり、ηはウベローデ粘度計を使用し、同じ温度にお
ける前記溶媒の測定値である。) 対数粘度数が0.1未満の場合、得られたポリイミド硬
化膜は機械的強度に劣るものとなることが多いので好ま
しくなく、また5を超えるものの合成は困難である。
(Here, η is a value measured using a Ubbelohde viscometer at a concentration of 30 g / dl in a solvent at a temperature of 30 ± 0.01 ° C., and η 0 is a value obtained by using an Ubbelohde viscometer at the same temperature. When the logarithmic viscosity number is less than 0.1, the resulting cured polyimide film is often inferior in mechanical strength, which is not preferable, and the synthesis of a cured polyimide film exceeding 5 is difficult. is there.

次に本発明に用いられる前駆体溶液及びポリイミド膜
の使用方法について説明する。本発明における前駆体は
溶媒に溶解した溶液の状態で使用されるから、反応溶液
をそのまま又は濃縮し、もしくは溶媒を加えて希釈して
使用するのがよい。希釈溶媒としては反応溶媒と同じも
のを使用することができる。
Next, a method of using the precursor solution and the polyimide film used in the present invention will be described. Since the precursor in the present invention is used in the state of a solution dissolved in a solvent, it is preferable to use the reaction solution as it is or by concentrating it, or diluting it by adding a solvent. As the diluting solvent, the same solvent as the reaction solvent can be used.

本発明に用いる前躯体溶液から、本発明に用いられる
ポリイミド硬化膜を形成させる場合、公知のどの様な方
法で行なってもよい。
When the cured polyimide film used in the present invention is formed from the precursor solution used in the present invention, any known method may be used.

例えば、ガラス板、銅板、アルミニウム板或いはシリ
コンウェハー等の基板上に前駆体溶液を塗布した後、50
〜400℃の温度で焼成することにより透明な本発明に用
いられるポリイミド硬化膜が得られる。この場合、塗布
方法は如何なる方法でもよいが、通常スピンコート法、
印刷法、ディッピング法、或いはロールコーター法など
から選択される。
For example, after applying a precursor solution on a substrate such as a glass plate, a copper plate, an aluminum plate or a silicon wafer, 50
By baking at a temperature of about 400 ° C., a transparent cured polyimide film used in the present invention can be obtained. In this case, the coating method may be any method, but usually a spin coating method,
The method is selected from a printing method, a dipping method, a roll coater method, and the like.

本発明におけるポリイミド硬化膜は可視光線の透過性
が良い、即ち、高透明性であるためにカラーフィルター
保護膜として好適に使用されるとともに、本発明におけ
るポリイミド前駆体溶液に有機顔料又は染料を分散又は
溶解させることによりカラーフィルター用の着色ペース
トを容易に得ることができる。この着色ペーストを前記
塗布方法のいずれかにより基板に塗布し、これを焼成す
ることによりカラーフィルターを得ることができる。顔
料は例えば赤色キナクリドンレッド、緑色フタロシアニ
ングリーン、青色フタロシアニンブルー等を使用するこ
とができる。顔料又は染料の添加比率はポリマーの10〜
200重量%、好ましくは20〜100重量%である。本発明の
カラーフィルター基材及びその保護膜はカラー液晶表示
装置用あるいは撮像素子用として使用することができ
る。本発明におけるポリイミド前駆体溶液から得られた
硬化膜は耐熱性、機械的特性及び電気的特性に優れてお
り、半導体用の各種保護膜、平坦化膜、液晶用配向膜等
の用途にも好適に使用することができる。
The cured polyimide film of the present invention has good visible light transmittance, that is, it is suitably used as a color filter protective film because of its high transparency, and an organic pigment or dye is dispersed in the polyimide precursor solution of the present invention. Alternatively, a colored paste for a color filter can be easily obtained by dissolving. The color paste can be obtained by applying this colored paste to a substrate by any of the above-mentioned application methods and baking the applied paste. As the pigment, for example, red quinacridone red, green phthalocyanine green, blue phthalocyanine blue and the like can be used. Addition ratio of pigment or dye is 10 ~ of polymer
It is 200% by weight, preferably 20 to 100% by weight. The color filter substrate of the present invention and the protective film thereof can be used for a color liquid crystal display device or an imaging device. The cured film obtained from the polyimide precursor solution in the present invention has excellent heat resistance, mechanical properties, and electrical properties, and is also suitable for various protective films for semiconductors, flattening films, alignment films for liquid crystals, and the like. Can be used for

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例、参考例及び比較例によって本発明をさ
らに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によ
って限定されるものではないことは勿論である。ポリイ
ミドの透明性は、島津製作所製分光光度計UV−210Aを用
い、石英ガラス上に塗布し、焼成した物について測定し
た。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples, Reference Examples, and Comparative Examples. However, it is needless to say that the present invention is not limited to these Examples. The transparency of the polyimide was measured using a Shimadzu UV-210A spectrophotometer, which was applied to quartz glass and baked.

実施例1 1リットルのセパラブルフラスコに、撹拌装置、温度
計、コンデンサー及び窒素置換装置を付し、フラスコ内
を窒素で置換した後、脱水精製したエチルカルビトール
500gを加え、ついで4,4′−ジアミノジシクロヘキシル
メタン57.40g(271ミリモル)及びp−アミノフェニル
トリメトキシシラン6.60g(31.0ミリモル)を添加し、
撹拌により均一な溶液とした後、1−メチル−1,2,3,4
−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物61.00g(290
ミリモル)を添加し、室温から50℃の温度で8時間撹拌
を続けたところ淡黄色の粘調な液体が得られた。この物
のエチルカルビトール中での対数粘度数は1.10dl/gであ
った。この液を石英ガラス上にスピンコートし、窒素雰
囲気中で80℃で30分、ついで250℃で60分の焼成を行っ
た物について、分光光度計により透過率の測定を行った
ところ、膜厚10μm、波長400nmに於いて98.0%の透過
率であった。
Example 1 A 1-liter separable flask was equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a nitrogen purge device. After the inside of the flask was replaced with nitrogen, dehydrated and purified ethyl carbitol.
500 g were added, followed by 57.40 g (271 mmol) of 4,4'-diaminodicyclohexylmethane and 6.60 g (31.0 mmol) of p-aminophenyltrimethoxysilane.
After stirring to make a homogeneous solution, 1-methyl-1,2,3,4
-61.00 g of cyclobutanetetracarboxylic dianhydride (290
(Mmol) and stirring was continued at room temperature to 50 ° C. for 8 hours to obtain a pale yellow viscous liquid. The logarithmic viscosity number of this product in ethyl carbitol was 1.10 dl / g. This solution was spin-coated on quartz glass and baked in a nitrogen atmosphere at 80 ° C for 30 minutes and then at 250 ° C for 60 minutes, and the transmittance was measured using a spectrophotometer. The transmittance was 98.0% at a wavelength of 10 μm and a wavelength of 400 nm.

実施例2 実施例1と同様の装置及び方法で、1リットルセパラ
ブルフラスコ中で、4,4′−ジアミノジシクロヘキシル
メタン39.03g(184ミリモル)、2,2−ビス〔4−(4−
アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフロロプロパン2
5.47g(49.1ミリモル)、及び3−アミノプロピルトリ
エトキシシラン5.44g(24.6ミリモル)を、脱水精製し
たエチルカルビトール500gに溶解せしめた後、1,3−ジ
メチル−1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無
水物55.06g(246ミリモル)を添加し、室温から50℃の
温度で10時間撹拌したところ、淡黄色の粘調な液体とな
った。この物のエチルカルビトール中での対数粘度数は
1.50dl/gであった。この液を石英ガラス上にスピンコー
トし、窒素雰囲気中で80℃で30分、ついで250℃で60分
の焼成を行った物について、分光光度計を用いて透過率
の測定を行ったところ、膜厚10μm、波長400nmに於い
て97.1%の透過率であった。
Example 2 In a 1 liter separable flask, 39.03 g (184 mmol) of 4,4'-diaminodicyclohexylmethane, 2,2-bis [4- (4-
Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane 2
After dissolving 5.47 g (49.1 mmol) and 5.44 g (24.6 mmol) of 3-aminopropyltriethoxysilane in 500 g of dehydrated and purified ethyl carbitol, 1,3-dimethyl-1,2,3,4- 55.06 g (246 mmol) of cyclobutanetetracarboxylic dianhydride was added, and the mixture was stirred at room temperature to 50 ° C. for 10 hours to give a pale yellow viscous liquid. The logarithmic viscosity number of this product in ethyl carbitol is
It was 1.50 dl / g. This liquid was spin-coated on quartz glass and baked in a nitrogen atmosphere at 80 ° C. for 30 minutes and then at 250 ° C. for 60 minutes, and the transmittance was measured using a spectrophotometer. The transmittance was 97.1% at a film thickness of 10 μm and a wavelength of 400 nm.

実施例3 実施例1と同様の装置及び方法で、1リットルセパラ
ブルフラスコ中で、4,4′−ジアミノジシクロヘキシル
メタン52.48g(248ミリモル)及び、2,2−ビス〔4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフロロプロ
パン6.76g(13ミリモル)を、脱水精製したエチルカル
ビトール500gに溶解せしめた後、1,2,3,4−テトラメチ
ル−1,2,3,4′−シクロブタンテトラカルボン酸二無水
物65.76g(261ミリモル)を添加し、室温から50℃の温
度で13時間撹拌したところ、淡黄色の粘調を液体となっ
た。この物のエチルカルビトール中での対数粘度数は0.
89dl/gであった。この液を石英ガラス上にスピンコート
し、窒素雰囲気中で80℃で30分、ついで250℃で60分の
焼成を行った物について、分光光度計を用いて透過率の
測定を行ったところ、膜厚10μm、波長400nmに於いて9
6.2%の透過率であった。
Example 3 In a 1-liter separable flask, 52.48 g (248 mmol) of 4,4'-diaminodicyclohexylmethane and 2,2-bis [4-
(4-Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane (6.76 g, 13 mmol) was dissolved in dehydrated and purified ethyl carbitol (500 g), and then dissolved in 1,2,3,4-tetramethyl-1,2,3,4 '-Cyclobutanetetracarboxylic dianhydride (65.76 g, 261 mmol) was added, and the mixture was stirred at a temperature from room temperature to 50 ° C for 13 hours to give a pale yellow viscous liquid. The logarithmic viscosity number of this product in ethyl carbitol is 0.
It was 89 dl / g. This liquid was spin-coated on quartz glass and baked in a nitrogen atmosphere at 80 ° C. for 30 minutes and then at 250 ° C. for 60 minutes, and the transmittance was measured using a spectrophotometer. 9 at a film thickness of 10 μm and a wavelength of 400 nm
The transmittance was 6.2%.

実施例4 実施例1と同様の装置及び方法で、1リットルセパラ
ブルフラスコ中で、4,4′−ジアミノジシクロヘキシル
メタン43.34g(205ミリモル)、3,3′ジアミノジフェニ
ルスルホン6.35g(25.6ミリモル)、及び3−アミノプ
ロピルトリエトキシシラン11.32g(51.1ミリモル)を、
脱水精製したエチルカルビトール500gに溶解せしめた
後、ビシクロ〔4.2.0〕オクタン−1,6,7,8−テトラカル
ボン酸二無水物93.98g(256ミリモル)を添加し、室温
から50℃の温度で15時間撹拌したところ、淡黄色の粘調
な液体となった。この物のNMP中での対数粘度数は0.68d
l/gであった。この液を石英ガラス上にスピンコート
し、窒素雰囲気中で80℃で30分、ついで250℃で60分の
焼成を行った物について、分光光度計により透過率の測
定を行ったところ、膜厚10μm、波長400nmに於いて96.
9%の透過率であった。
Example 4 In a 1-liter separable flask, 43.34 g (205 mmol) of 4,4'-diaminodicyclohexylmethane and 6.35 g (25.6 mmol) of 3,3'-diaminodiphenylsulfone in a 1-liter separable flask in the same manner as in Example 1. , And 11.32 g (51.1 mmol) of 3-aminopropyltriethoxysilane
After dissolving in 500 g of dehydrated and purified ethyl carbitol, 93.98 g (256 mmol) of bicyclo [4.2.0] octane-1,6,7,8-tetracarboxylic dianhydride was added, and the mixture was heated from room temperature to 50 ° C. After stirring at the temperature for 15 hours, a pale yellow viscous liquid was obtained. The logarithmic viscosity number of this product in NMP is 0.68d
l / g. This solution was spin-coated on quartz glass and baked in a nitrogen atmosphere at 80 ° C for 30 minutes and then at 250 ° C for 60 minutes, and the transmittance was measured using a spectrophotometer. 96 at 10 μm, wavelength 400 nm.
The transmittance was 9%.

実施例5 実施例1と同様の装置及び方法で、1リットルセパラ
ブルフラスコ中に於いて、イソホロンジアミン55.95g
(329ミリモル)を、脱水精製したエチルカルビトール5
00gに溶解せしめた後、1−メチル−1,2,3,4−シクロブ
タンテトラカルボン酸二無水物69.05g(329ミリモル)
を添加し、室温から50℃の温度で13時間撹拌したとこ
ろ、淡黄色の粘調な液体となった。この物のエチルカル
ビトール中での対数粘度数は0.91dl/gであった。この液
を石英ガラス上にスピンコートし、窒素雰囲気中で80℃
で30分、ついで250℃で60分の焼成を行った物につい
て、分光光度計により透過率の測定を行ったところ、膜
厚10μm、波長400nmに於いて96.2%の透過率であっ
た。
Example 5 In a 1 liter separable flask, 55.95 g of isophoronediamine was prepared in the same manner as in Example 1.
(329 mmol) was dehydrated and purified with ethyl carbitol 5
After dissolving in 100 g, 69.05 g (329 mmol) of 1-methyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride
Was added and stirred at room temperature to 50 ° C. for 13 hours to give a pale yellow viscous liquid. The logarithmic viscosity number of this product in ethyl carbitol was 0.91 dl / g. This solution is spin-coated on quartz glass and placed in a nitrogen atmosphere at 80 ° C.
When the transmittance was measured with a spectrophotometer, the transmittance was 96.2% at a film thickness of 10 μm and a wavelength of 400 nm.

実施例6 実施例1と同様の装置及び方法で、1リットルセパラ
ブルフラスコ中で、4,4′−ジアミノジシクロヘキシル
メタン48.57g(229ミリモル)及び3,3′ジアミノジフェ
ニルスルホン3.00g(12.1ミリモル)を、脱水精製した
エチルカルビトール500gに溶解せしめた後、トリシクロ
〔6.4.0.02,7〕ドデカン−1,8,2,7−テトラカルボン酸
二無水物73.74g(241ミリモル)を添加し、室温から50
℃の温度で17時間撹拌したところ、淡黄色の粘調な液体
となった。この物のエチルカルビトール中での対数粘度
数は0.54dl/gであった。この液を石英ガラス上にスピン
コートし、窒素雰囲気中で80℃で30分、ついで250℃で6
0分の焼成を行った物について、分光光度計により透過
率の測定を行ったところ、膜厚10μm、波長400nmに於
いて96.6%の透過率であった。
Example 6 In a 1-liter separable flask, 48.57 g (229 mmol) of 4,4'-diaminodicyclohexylmethane and 3.00 g (12.1 mmol) of 3,3'-diaminodiphenylsulfone were prepared in the same apparatus and method as in Example 1. Was dissolved in 500 g of dehydrated and purified ethyl carbitol, and 73.74 g (241 mmol) of tricyclo [6.4.0.0 2,7 ] dodecane-1,8,2,7-tetracarboxylic dianhydride was added. Room temperature to 50
After stirring at a temperature of ° C. for 17 hours, a pale yellow viscous liquid was obtained. The logarithmic viscosity number of this product in ethyl carbitol was 0.54 dl / g. This solution is spin-coated on quartz glass, and then at 80 ° C for 30 minutes in a nitrogen atmosphere, and then at 250 ° C for 6 minutes.
When the transmittance of the product fired for 0 minutes was measured by a spectrophotometer, the transmittance was 96.6% at a film thickness of 10 μm and a wavelength of 400 nm.

比較例1 実施例1と同様の装置及び方法で、1リットルセパラ
ブルフラスコ中で、4,4′−ジアミノジシクロヘキシル
メタン64.91g(306ミリモル)を、脱水精製したエチル
カルビトール500gに溶解せしめた後、1,2,3,4−シクロ
ブタンテトラカルボン酸二無水物60.09g(309ミリモ
ル)を添加し、室温から50℃の温度で撹拌したところ、
反後開始30分後に白色の塊が生じた。さらに撹拌を10時
間続けたが、この塊は溶解しなかったため、反応を中止
した。
Comparative Example 1 In a 1-liter separable flask, 64.91 g (306 mmol) of 4,4'-diaminodicyclohexylmethane was dissolved in 500 g of dehydrated and purified ethyl carbitol in the same apparatus and method as in Example 1. 60,09 g (309 mmol) of 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride were added and stirred at room temperature to 50 ° C.
A white mass formed 30 minutes after the start. Stirring was continued for another 10 hours, but the mass was not dissolved and the reaction was stopped.

比較例2 実施例1と同様の装置及び方法で、1リットルセパラ
ブルフラスコ中で、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェ
ノキシ)フェニル〕ヘキサフロロプロパン77.09g(149
ミリモル)を、脱水精製したエチルカルビトール500gに
溶解せしめた後、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物47.91g(149ミリモル)を添加し、室温から50℃の
温度で9時間撹拌したところ、褐色の粘調な液体となっ
た。この物のエチルカルビトール中での対数粘度数は1.
73dl/gであった。この液を石英ガラス上にスピンコート
し、窒素雰囲気中で80℃で30分、ついで250℃で60分の
焼成を行った物について、分光光度計により透過率の測
定を行ったところ、膜厚10μm、波長400nmに於いて28.
5%の透過率であった。
Comparative Example 2 In a 1-liter separable flask, 77.09 g of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane (149) was prepared in the same apparatus and method as in Example 1.
Was dissolved in 500 g of dehydrated and purified ethyl carbitol, 47.91 g (149 mmol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride was added, and the mixture was stirred at room temperature to 50 ° C. for 9 hours. It became a good liquid. The logarithmic viscosity number of this product in ethyl carbitol is 1.
It was 73 dl / g. This solution was spin-coated on quartz glass and baked in a nitrogen atmosphere at 80 ° C for 30 minutes and then at 250 ° C for 60 minutes, and the transmittance was measured using a spectrophotometer. 28 at 10 μm, 400 nm wavelength.
The transmittance was 5%.

比較例3 実施例1と同様の装置及び方法で、1リットルセパラ
ブルフラスコ中に於いて、4,4′−ジアミノジシクロヘ
キシルメタン62.17g(293ミリモル)を、脱水精製した
エチルカルビトール500gに溶解せしめた後、1−メチル
−1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物30.
83g(147ミリモル)及び、ピロメリット酸二無水物32.0
0g(147ミリモル)を添加し、室温から30℃の温度で18
時間撹拌したところ、褐色の粘稠な液体となった。この
物の対数粘度数は1.19dl/gであった。この液を石英ガラ
ス上にスピンコートし、窒素雰囲気中で80℃で30分、つ
いで250℃で60分の焼成を行った物について、分光光度
計により透過率の測定を行ったところ、膜厚10μm、波
長400nmに於いて50.2%の透過率であった。
Comparative Example 3 In a 1-liter separable flask, 62.17 g (293 mmol) of 4,4'-diaminodicyclohexylmethane was dissolved in 500 g of dehydrated and purified ethyl carbitol in the same apparatus and method as in Example 1. After that, 1-methyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride 30.
83 g (147 mmol) and pyromellitic dianhydride 32.0
0 g (147 mmol) are added at room temperature to 30 ° C.
After stirring for an hour, a brown viscous liquid was obtained. The logarithmic viscosity number of this product was 1.19 dl / g. This solution was spin-coated on quartz glass and baked in a nitrogen atmosphere at 80 ° C for 30 minutes and then at 250 ° C for 60 minutes, and the transmittance was measured using a spectrophotometer. The transmittance was 50.2% at a wavelength of 10 μm and a wavelength of 400 nm.

実施例7 実施例1で合成したワニス120gに粉末状のフタロシア
ニンブルー25gを添加し、自動乳鉢により混練すること
により青色着色カラーフィルター用ワニスを調製した。
このワニスを、スピンナーによりガラス板上に塗布した
後、窒素雰囲気下50℃ 30分、150℃ 30分及び250℃
1時間焼成することにより着色カラーフィルターを前記
ガラス板上に形成せしめた。目視によると顔料のフタロ
ンアニンブルーは均一に分散し、鮮明な青色カラーフィ
ルターが得られた。さらにこのカラーフィルター上に保
護膜を形成せしめることを目的に、顔料を入れない実施
例1で得られたワニスを同様に塗布、焼成を行なった。
この様にして、カラーフィルター上に透明で滑らかな表
面を有する保護膜を形成せしめた。また2mm角の切片を
セロテープではがすごばん目試験によるとガラス板とカ
ラーフィルター間及びカラーフィルターと保護膜間の接
着性はいずれも良好であった。
Example 7 To 120 g of the varnish synthesized in Example 1, 25 g of powdery phthalocyanine blue was added and kneaded with an automatic mortar to prepare a varnish for a blue colored color filter.
After applying this varnish on a glass plate by a spinner, under nitrogen atmosphere 50 ° C 30 minutes, 150 ° C 30 minutes and 250 ° C
By firing for 1 hour, a colored color filter was formed on the glass plate. Visually, the pigment phthalone anine blue was uniformly dispersed, and a clear blue color filter was obtained. Further, for the purpose of forming a protective film on the color filter, the varnish obtained in Example 1 containing no pigment was similarly applied and baked.
Thus, a protective film having a transparent and smooth surface was formed on the color filter. A 2 mm square section was peeled off using a cellophane tape. According to a test of ruggedness, the adhesiveness between the glass plate and the color filter and between the color filter and the protective film were all good.

実施例8 実施例1による合成したワニスをエチルカルビトール
により希釈し固形分濃度8%の溶液を調製し塗布液とし
た。これを透明電極付ガラス基板上にスピンコートし、
220℃ 1時間焼成することにより、膜厚800Åの膜を形
成せしめた。この膜をラビングしたのち、液晶(チッソ
(株)製LIXON(登録商標)6300)を注入し、TNセルに
組み立てた。この様にして調製した液晶セルの液晶の配
向性は良好であった。
Example 8 The varnish synthesized in Example 1 was diluted with ethyl carbitol to prepare a solution having a solid content of 8%, which was used as a coating solution. This is spin-coated on a glass substrate with a transparent electrode,
By firing at 220 ° C. for 1 hour, a film having a thickness of 800 ° was formed. After rubbing this film, a liquid crystal (LIXON (registered trademark) 6300, manufactured by Chisso Corporation) was injected and assembled into a TN cell. The liquid crystal alignment of the liquid crystal cell thus prepared was good.

実施例9 ガラス板上にアクリル系カラーフィルター材(チッソ
(株)製CFP−7215NB)の約1μの膜を形成せしめ赤色
の染料(日本化薬製21P)で染色したカラーフィルター
上に実施例1で合成したワニスをスピンコートにより塗
布し、200℃で1時間加熱することによりカラーフィル
ター上に厚さ約1.5μの保護膜を形成せしめた。この膜
を観察し染料が保護膜に移行したかどうかを調べたとこ
ろ、膜は透明であり、染料の移行は認められなかった。
Example 9 A film of about 1 μm of an acrylic color filter material (CFP-7215NB manufactured by Chisso Corporation) was formed on a glass plate, and the film was dyed with a red dye (21P manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.). The varnish synthesized in (1) was applied by spin coating, and heated at 200 ° C. for 1 hour to form a protective film having a thickness of about 1.5 μ on the color filter. When this film was observed and it was examined whether or not the dye had transferred to the protective film, the film was transparent and no transfer of the dye was observed.

比較例4 実施例1と同様の装置及び方法で、4,4′−ジアミノ
ジシクロヘキシルメタン59.10g(281ミリモル)及びp
−アミノフェニルトリメトキシシラン6.85g(32.1ミリ
モル)を500gのN−メチル−2−ピロリドン中に添加
し、この溶液に59.02g(301ミリモル)のシクロブタン
テトラカルボン酸二無水物を添加し、50℃で10時間撹拌
を行うことにより淡黄色の粘稠な溶液を得た。得られた
ポリアミド酸のN−メチル−2−ピロリドン中の対数粘
度数は0.85dl/gであった。このワニスを実施例9と同様
にして作ったカラーフィルターの上にスピンコートによ
り塗布し、200℃で1時間加熱することにより厚さ約1.5
μの保護膜を形成せしめた。この膜を観察したところ、
赤色染料の移行が認められ、淡い赤色に着色していた。
Comparative Example 4 Using the same apparatus and method as in Example 1, 59.10 g (281 mmol) of 4,4'-diaminodicyclohexylmethane and p
6.85 g (32.1 mmol) of aminophenyltrimethoxysilane are added to 500 g of N-methyl-2-pyrrolidone, and to this solution 59.02 g (301 mmol) of cyclobutanetetracarboxylic dianhydride are added, and 50 ° C. The mixture was stirred for 10 hours to obtain a pale yellow viscous solution. The logarithmic viscosity number of the obtained polyamic acid in N-methyl-2-pyrrolidone was 0.85 dl / g. This varnish was applied on a color filter prepared in the same manner as in Example 9 by spin coating, and heated at 200 ° C. for 1 hour to obtain a thickness of about 1.5
μ of the protective film was formed. Observing this film,
Transfer of a red dye was observed, and the color was light red.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明の電子材料用塗布液は溶媒に対する溶解性に優
れたポリアミド酸を含有するため溶媒の選択幅が拡が
る。そのため基板に対するダメージの少なく溶媒を選択
することが可能になり実用的効果は大きい。また前記塗
布液から得られるポリイミド硬化膜は透明性が優れるた
めカラーフィルター基材及びその保護膜として好適であ
り、半導体用の各種保護膜又は平坦化膜としても好まし
い。また液晶配向膜としても良好な特性を有している。
Since the coating liquid for electronic materials of the present invention contains a polyamic acid having excellent solubility in a solvent, the choice of the solvent is widened. Therefore, a solvent can be selected with little damage to the substrate, and the practical effect is large. Further, the cured polyimide film obtained from the coating solution is excellent in transparency and thus is suitable as a color filter substrate and a protective film thereof, and is also preferable as various protective films for semiconductors or a planarizing film. It also has good characteristics as a liquid crystal alignment film.

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】下記一般式(I)で示されるアミド酸反復
単位からなり、対数粘度数が0.1〜5dl/gであるポリイミ
ド前駆体と、2−メトキシエタノール、2−エトキシエ
タノール、2−ブトキシエタノール、ジエチレングリコ
ールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエ
チルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、シクロペ
ンタノン、シクロヘキサノン、クレゾール、γ−ブチロ
ラクトン、テトラヒドロフランよりなる群より選んだ少
なくとも一種の非極性溶媒とからなる電子材料用塗布
液。 〔式(I)において、Rは下記式(II)又は(III)で
示される基であり、R2は1,4−ジアミノシクロヘキサ
ン、1,3−ジアミノシクロヘキサン、4,4′−ジアミノジ
シクロヘキシルメタン、4,4′−ジアミノ−3,3′−ジメ
チルジシクロヘキシルメタン、4,4′−ジアミノ−3,3′
−ジメチルジシクロヘキシル及びイソホロンジアミンよ
りなる群より選んだ少なくとも一種の脂環式ジアミン残
基である。 ただし、R1は独立にメチル基又はエチル基であり、pは
1≦p≦3の整数である。 ただし、qは2≦q≦10の整数である。〕
1. A polyimide precursor comprising an amic acid repeating unit represented by the following general formula (I) and having a logarithmic viscosity number of 0.1 to 5 dl / g, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol and 2-butoxy Coating for electronic materials comprising at least one non-polar solvent selected from the group consisting of ethanol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, cyclopentanone, cyclohexanone, cresol, γ-butyrolactone, and tetrahydrofuran. liquid. [In the formula (I), R is a group represented by the following formula (II) or (III), and R 2 is 1,4-diaminocyclohexane, 1,3-diaminocyclohexane, 4,4′-diaminodicyclohexylmethane , 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldicyclohexylmethane, 4,4'-diamino-3,3 '
At least one alicyclic diamine residue selected from the group consisting of dimethyldicyclohexyl and isophoronediamine. Here, R 1 is independently a methyl group or an ethyl group, and p is an integer of 1 ≦ p ≦ 3. Here, q is an integer of 2 ≦ q ≦ 10. ]
【請求項2】下記一般式(I)で示されるアミド酸反復
単位からなり、対数粘度数が0.1〜5dl/gであるポリイミ
ド前駆体と、2−メトキシエタノール、2−エトキシエ
タノール、2−ブトキシエタノール、ジエチレングリコ
ールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエ
チルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、シクロペ
ンタノン、シクロヘキサノン、クレゾール、γ−ブチロ
ラクトン、テトラヒドロフランよりなる群より選んだ少
なくとも一種の非極性溶媒とからなる電子材料用塗布
液。 〔式(I)において、Rは下記式(II)又は(III)で
示される基であり、R2は4,4′−ジアミノジシクロヘキ
シルメタン、2,2−ビス〔4−(4−(アミノフェノキ
シ)フェニル〕ヘキサフロロプロパン、3,3′−ジアミ
ノジフェニルスルホンよりなる群より選んだ少なくとも
一種の脂環式ジアミン残基である。 ただし、R1は独立にメチル基又はエチル基であり、pは
1≦p≦3の整数である。 ただし、qは2≦q≦10の整数である。〕
2. A polyimide precursor comprising an amic acid repeating unit represented by the following general formula (I) and having a logarithmic viscosity number of 0.1 to 5 dl / g, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol and 2-butoxy Coating for electronic materials comprising at least one non-polar solvent selected from the group consisting of ethanol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, cyclopentanone, cyclohexanone, cresol, γ-butyrolactone, and tetrahydrofuran. liquid. [In the formula (I), R is a group represented by the following formula (II) or (III), and R 2 is 4,4'-diaminodicyclohexylmethane, 2,2-bis [4- (4- (amino Phenoxy) phenyl] at least one alicyclic diamine residue selected from the group consisting of hexafluoropropane and 3,3'-diaminodiphenylsulfone. Here, R 1 is independently a methyl group or an ethyl group, and p is an integer of 1 ≦ p ≦ 3. Here, q is an integer of 2 ≦ q ≦ 10. ]
【請求項3】請求項1又は2における(I)のRが1−
メチル−1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無
水物、1,3−ジメチル−1,2,3,4−シクロブタンテトラカ
ルボン酸二無水物、ビシクロ〔4.2.0〕オクタン−1,6,
7,8−テトラカルボン酸二無水物の何れかの無水物残基
である請求項1もしくは2の何れかに記載の電子材料用
塗布液。
3. The method according to claim 1, wherein R in (I) is 1-
Methyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,3-dimethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, bicyclo [4.2.0] octane-1, 6,
The coating liquid for an electronic material according to claim 1, which is any anhydride residue of 7,8-tetracarboxylic dianhydride.
【請求項4】溶媒がエチルカルビトールである請求項1
〜3の何れかに記載の電子材料用塗布液。
4. The method according to claim 1, wherein the solvent is ethyl carbitol.
4. The coating material for an electronic material according to any one of claims 1 to 3.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4360657A (en) 1981-08-19 1982-11-23 Standard Oil Company (Indiana) Tricyclo[6.4.0.02,7 ]-dodecane-1,8,2,7-tetracarboxylic acid dianhydride and polyimides therefrom

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4360657A (en) 1981-08-19 1982-11-23 Standard Oil Company (Indiana) Tricyclo[6.4.0.02,7 ]-dodecane-1,8,2,7-tetracarboxylic acid dianhydride and polyimides therefrom

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