JP2846574B2 - High frequency phase shifter - Google Patents
High frequency phase shifterInfo
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- JP2846574B2 JP2846574B2 JP6050217A JP5021794A JP2846574B2 JP 2846574 B2 JP2846574 B2 JP 2846574B2 JP 6050217 A JP6050217 A JP 6050217A JP 5021794 A JP5021794 A JP 5021794A JP 2846574 B2 JP2846574 B2 JP 2846574B2
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、高周波伝送管中に組込
んで、高周波の位相を変換する高周波移相器および高周
波移相方法に関する。電子加速器などに用いられる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-frequency phase shifter and a high-frequency phase shift method which are incorporated in a high-frequency transmission pipe to convert a high-frequency phase. Used for electron accelerators.
【０００２】[0002]
【従来の技術】高周波を共振させる目的などのために、
しばしば高周波の位相の変換（移相）し、調整すること
が行われている。高周波の位相を変換する一つの手段と
して、たとえば、石井宗典他：マイクロ波回路２０１頁
（電子回路設計シリーズ：日刊工業新聞社）や、川上友
暉：移送変調を用いたマイクロ波伝送量の精密測定と標
準に関する研究報告（電子技術総合研究所研究報告第８
９７号）に、高周波導波管中に高周波の反射体をおき、
反射する高周波が入射する高周波に対し、一定の条件の
もとに規則的に位相を変える現象を利用する高周波移相
器が記載され、利用されている。この高周波移相器は、
入射する高周波の位相に対し、反射体の位置を精度よく
移動調整して高周波を反射し、所望の位相に変換してい
る。2. Description of the Related Art For the purpose of resonating high frequencies,
Often, high-frequency phase conversion (phase shift) and adjustment are performed. As one means for converting the phase of the high frequency, for example, Munori Ishii et al .: Microwave circuit page 201 (Electronic circuit design series: Nikkan Kogyo Shimbun) or Tomoaki Kawakami: Precision of microwave transmission using transfer modulation Research Report on Measurements and Standards (Research Report No. 8 of the Electrotechnical Laboratory)
No. 97), a high-frequency reflector is placed in the high-frequency waveguide,
A high-frequency phase shifter that uses a phenomenon in which a reflected high-frequency wave regularly changes the phase of an incident high-frequency wave under certain conditions has been described and used. This high frequency phase shifter
The position of the reflector is accurately moved and adjusted with respect to the phase of the incident high frequency, and the high frequency is reflected and converted to a desired phase.
【０００３】図２は、（ａ）は一部断面を示す従来の高
周波移相器の概略正面図であり、（ｂ）は概略側面図で
ある。高周波伝送路２９に、高周波導波管２１中に装着
されたプランジャ２２が挿入され、高周波導波管２１中
に導入された高周波は、プランジャ２２の端面２６で反
射される。反射された高周波の位相が、入射高周波の位
相と一定の関係で変換されることは、よく知られている
現象である。この現象を利用し、入射高周波の位相に対
して反射面の位置を調整し、所望の位相を有する高周波
に変換するのである。プランジャ２２を軸方向に移動す
るために、ステップモータ（パルスモータ）２５および
ギヤ２４からなるプランジャ軸２３の送り装置が用いら
れている。プランジャ２２の正確な位置を測定できれ
ば、反射面２６と高周波の位相との対応をとることがで
きるので、プランジャ２２の位置を摺動抵抗器２７で測
定し、反射される高周波の位相を知ることができる。管
璧とプランジャとの間に放電現象が起こるのを防止する
ために、高周波伝送管内は、真空またはＳＦ６雰囲気に
保持されている。プランジャ２２の移動時も管璧とプラ
ンジャとの間は、一定の間隔が保持される。FIG. 2A is a schematic front view of a conventional high-frequency phase shifter showing a partial cross section, and FIG. 2B is a schematic side view. The plunger 22 mounted in the high-frequency waveguide 21 is inserted into the high-frequency transmission line 29, and the high-frequency wave introduced into the high-frequency waveguide 21 is reflected by the end face 26 of the plunger 22. It is a well-known phenomenon that the phase of the reflected high frequency is converted in a fixed relationship with the phase of the incident high frequency. By utilizing this phenomenon, the position of the reflection surface is adjusted with respect to the phase of the incident high frequency, and the phase is converted to a high frequency having a desired phase. In order to move the plunger 22 in the axial direction, a feeder for a plunger shaft 23 including a step motor (pulse motor) 25 and a gear 24 is used. If the accurate position of the plunger 22 can be measured, the reflection surface 26 can correspond to the phase of the high frequency. Therefore, the position of the plunger 22 is measured by the sliding resistor 27 to know the phase of the reflected high frequency. Can be. In order to prevent a discharge phenomenon that occurs between the Kan璧and the plunger, the high frequency transmission tube is held in a vacuum or SF 6 atmosphere. Even when the plunger 22 moves, a constant distance is maintained between the pipe wall and the plunger.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】前記の高周波移相器
は、入射高周波を０〜３６０度の任意の位相に変換でき
る。しかし、精度の点では、所望の位相に対して約１度
の誤差範囲に調整するのがやっとであった。ところが最
近、たとえば、電子ビームに周期的な攝動を付与し、任
意の波長のレーザを発振させる自由電子レーザ発振器な
どにおいては、所望の高周波位相に対して少なくとも
０．３度以下の誤差範囲に調整することのできる、高精
度調整機能を有する高周波移相器が必要になってきた。
さらに、大電力の高周波移相器では、管璧とプランジャ
との間隔が一定にならず、そのために両者の間に放電の
発生することがあった。そこで、本発明は、高周波の位
相を０．３度の誤差範囲内に調整可能、かつ、大電力の
位相変換にも利用することのできる高周波移相器の提供
を目的に完成された。The above-mentioned high-frequency phase shifter can convert an incident high-frequency wave into an arbitrary phase of 0 to 360 degrees. However, in terms of accuracy, it was barely possible to adjust the phase to an error range of about 1 degree with respect to the desired phase. However, recently, for example, in a free electron laser oscillator that applies a periodic perturbation to an electron beam and oscillates a laser of an arbitrary wavelength, an error range of at least 0.3 degrees or less with respect to a desired high-frequency phase. A need has arisen for a high frequency phase shifter that can be adjusted and has a high precision adjustment function.
Further, in a high-power high-frequency phase shifter, the interval between the tube wall and the plunger is not constant, and therefore, discharge may occur between the two. Therefore, the present invention has been completed for the purpose of providing a high-frequency phase shifter that can adjust the high-frequency phase within an error range of 0.3 degrees and can be used for phase conversion of high power.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】まず、本発明者は、高周
波移相器の精度向上を阻害している原因や、放電の原因
を検討した結果、従来の高周波移相器では、位相を変換
するために調整、移動させているプランジャのセット位
置が不正確であることや、管璧とプランジャとの間隙が
変動することなどに原因のあることを突き止めた。First, the inventor of the present invention has studied the causes of impeding the improvement of the precision of a high-frequency phase shifter and the causes of discharge. In order to do so, it was found that there were causes such as an incorrect setting position of the plunger being adjusted and moved, and a change in the gap between the pipe wall and the plunger.
【０００６】すなわち、従来の高周波移相器のプランジ
ャーの送り装置は、三角ねじや台形ねじなどの滑りねじ
を使用しているためあそびを生じ、プランジャの精密な
移動調整を困難にしていた。また、プランジャ位置の測
定精度自体も、たとえば、２８５６ＭＨｚの高周波の場
合、摺動抵抗器の摺動距離が約２６ｍｍと短くなるため
０．３ｍｍ前後の誤差を生じ、測定の再現性に欠けるこ
とが分かった。一方、高周波導波管２１の管璧とプラン
ジャ２２との間隙を約１ｍｍに保持し、管内の雰囲気を
維持するのに、プランジャ軸２３と高周波導波管２１と
の間にＯリング２８を挿入している。Ｏリング２８は、
プランジャ軸２３が静止した状態では密閉機能にすぐれ
ているが、プランジャ２２を上下する際の微小な振れを
防止し、密閉機能を保つことが難しく、移動に際してプ
ランジャ２２を蛇行させ、位置の測定を不正確にしてい
た。これらの点の解明をもとに、本発明が完成された。That is, in the conventional plunger feeder of the high-frequency phase shifter, since a sliding screw such as a triangular screw or a trapezoidal screw is used, play is caused, and precise movement adjustment of the plunger is difficult. In addition, the measurement accuracy of the plunger position itself is, for example, in the case of a high frequency of 2856 MHz, an error of about 0.3 mm occurs because the sliding distance of the sliding resistor is as short as about 26 mm, and the reproducibility of the measurement is lacking. Do you get it. On the other hand, an O-ring 28 is inserted between the plunger shaft 23 and the high-frequency waveguide 21 in order to keep the gap between the pipe wall of the high-frequency waveguide 21 and the plunger 22 at about 1 mm and maintain the atmosphere in the pipe. doing. The O-ring 28
The sealing function is excellent when the plunger shaft 23 is stationary, but it is difficult to maintain the sealing function by preventing a slight swing when the plunger 22 is moved up and down, so that the plunger 22 meanders at the time of movement to measure the position. Was incorrect. The present invention has been completed based on the clarification of these points.
【０００７】本発明が提供する高周波移相器の概略を図
１に示す。（ａ）は一部断面を示す概略正面図であり、
（ｂ）は概略側面図である。すなわち、本発明は、自由
電子レーザ発振器の高周波加速空洞における高周波伝送
路９に接続し、伝送する高周波の位相を変換する高周波
移相器であって、入口側１０を高周波の導入側に、出口
側１１を位相変換後の高周波の導出側に接続する高周波
導波管１と、高周波の反射面を構成する端面６を高周波
の入射する方向に向け、管軸方向に移動可能に高周波導
波管１内に装着されているプランジャ２と、高周波導波
管１とプランジャ軸３との間に取り付けられた、シール
用のグリース内蔵Ｏリング８と、プランジャ２に結合さ
れたプランジャ軸３、プランジャ軸３に噛合してプラン
ジャ２を管軸方向に移動させるボールねじ４およびボー
ルねじ４を回転するステップモータ５からなり、所望の
位相変換を行うのに適当な位置に端面６を移動してセッ
トするためのプランジャ２の送り装置と、から構成さ
れ、入口側１０から高周波導波管１内に導入された高周
波を、端面６に反射させて位相を変換し、出口側１１か
ら導出することを特徴とする高周波移相器を提供する。
そして、端面６の位置の測定精度を高めるためには、プ
ランジャ２またはプランジャ軸３の側方に、端面６の位
置を測定するための光学式位置検出器７を装着して使用
するとよい。FIG. 1 schematically shows a high-frequency phase shifter provided by the present invention. (A) is a schematic front view showing a partial cross section,
(B) is a schematic side view. That is, the present invention is free
A high-frequency phase shifter connected to a high-frequency transmission line 9 in a high- frequency accelerating cavity of an electron laser oscillator for converting the phase of a high-frequency wave to be transmitted. The high-frequency waveguide 1 connected to the high-frequency lead-out side and the end face 6 forming the high-frequency reflection surface are mounted inside the high-frequency waveguide 1 so as to be movable in the tube axis direction with the high-frequency incident surface facing the direction of the high-frequency incidence. Plunger 2 and high frequency waveguide
Seal installed between pipe 1 and plunger shaft 3
An O-ring 8 with built-in grease, a plunger shaft 3 connected to the plunger 2, a ball screw 4 that meshes with the plunger shaft 3 to move the plunger 2 in the tube axis direction, and a step motor 5 that rotates the ball screw 4. And a feeder for the plunger 2 for moving and setting the end face 6 to a position suitable for performing a desired phase conversion, and the high-frequency wave introduced into the high-frequency waveguide 1 from the entrance side 10. , The phase is reflected by the end face 6, the phase is converted, and the phase is derived from the outlet side 11.
Then, in order to improve the measurement accuracy of the position of the end face 6, it is preferable to mount and use an optical position detector 7 for measuring the position of the end face 6 beside the plunger 2 or the plunger shaft 3.
【０００８】さらに本発明は、端面が高周波の反射面で
あって軸方向に移動可能なプランジャが、端面を高周波
の入射する方向に向けて装着されている高周波導波管
を、高周波伝送路に挿入し、上記プランジャにプランジ
ャ軸を結合し、さらにプランジャ軸に噛合してプランジ
ャを管軸方向に移動するボールねじと、ボールねじを回
転するステップモータとからなる送り装置とを装着し、
かつ、プランジャ軸と高周波導波管との間にグリース内
蔵Ｏリングを取付けて高周波伝送管の気密性を保持し、
プランジャを、端面に入射する高周波を反射して所望の
位相の高周波に変換するのに適当な位置に移動させ、高
周波の位相を変換するを特徴とする、自由電子レーザ発
振器の高周波加速空洞における高周波移相方法を提供す
る。そして、プランジャ、すなわちその端面は、プラン
ジャまたはプランジャ軸の側方に取付けた光学式位置検
出器を用いて測定しながら、プランジャを所望の位相の
高周波を反射させるのに適当な位置に移動させてセット
し、導波管内を進行する高周波の位相を変換することが
望ましい。Further, according to the present invention, a high-frequency waveguide in which an end face is a high-frequency reflecting face and is movable in the axial direction and whose end face is mounted with the end face directed in the direction of high-frequency incidence, is connected to a high-frequency transmission line. Inserting, connecting the plunger shaft to the plunger, further mounted a ball screw that meshes with the plunger shaft to move the plunger in the tube axis direction, and a feed device including a step motor that rotates the ball screw,
Also, an O-ring with built-in grease is attached between the plunger shaft and the high-frequency waveguide to maintain the airtightness of the high-frequency transmission pipe,
The free-electron laser generator is characterized in that the plunger is moved to a position suitable for reflecting the high-frequency wave incident on the end face and converting it to a high-frequency wave of a desired phase, thereby converting the high-frequency phase.
A high frequency phase shift method in a high frequency acceleration cavity of a shaker is provided. Then, the plunger, sand I Chisono end face, while measuring with the optical position detector attached to the side of the plunger or plunger axis, the plunger in place for reflecting the high-frequency desired phase It is desirable to move and set to convert the phase of the high frequency wave traveling in the waveguide.
【０００９】[0009]
【作用と実施態様例】本発明をさらに具体的に説明す
る。本発明の高周波移相器および高周波移相方法の原理
は、高周波の位相を決めるプランジャの送り装置を改良
して、プランジャの移動にあそびや蛇行をなくし、さら
に、好ましくはプランジャ位置を光学式位置検出器で正
確に測定して、プランジャをセットする位置の再現性を
高め、高周波の位相制御を０．３度以下の誤差で再現す
ることにある。プランジャ移動時に蛇行をなくすれば、
大電力高周波の位相制御に用いても放電が発生しないこ
とにもなる。The present invention will be described more specifically. The principle of the high-frequency phase shifter and the high-frequency phase shift method of the present invention is to improve a plunger feeder for determining a high-frequency phase so that play and meandering of the plunger are eliminated, and more preferably, the plunger position is set to an optical position. An object of the present invention is to accurately measure with a detector to enhance the reproducibility of the position where the plunger is set, and to reproduce high-frequency phase control with an error of 0.3 degrees or less. If you eliminate the meandering when moving the plunger,
Even when used for phase control of high power and high frequency, no discharge occurs.
【００１０】さて、本発明の高周波移相器においては、
高周波伝送路９に接続にするのに便利なように高周波導
波管１を設ける。高周波導波管１は、入口側１０を高周
波の導入側に接続し、高周波導波管１に導入された高周
波を、高周波導波管１内に装着されているプランジャ２
の端面６に導き、端面６で反射され所望の位相に変換さ
れた高周波を、高周波伝送路９に接続された出口側１１
へと導出する作用を有する。プランジャ２は、端面６が
高周波の反射面で構成され、その面６を高周波の入射す
る方向に向け、管軸方向に移動可能に高周波導波管１内
に装着されている。高周波の入射する方向は、必ずしも
端面６に対し直角方向のみに限られるものではなく、高
周波の導入、導出方向などを勘案して装着することがで
きる。Now, in the high frequency phase shifter of the present invention,
The high-frequency waveguide 1 is provided for convenient connection to the high-frequency transmission line 9. The high-frequency waveguide 1 has an inlet 10 connected to a high-frequency introduction side, and transmits the high-frequency wave introduced into the high-frequency waveguide 1 to a plunger 2 mounted in the high-frequency waveguide 1.
The high-frequency wave reflected at the end surface 6 and converted to a desired phase is supplied to the end surface 6 connected to the high-frequency transmission line 9.
Has the effect of deriving to The end face 6 of the plunger 2 is formed of a high-frequency reflecting surface, and the plunger 2 is mounted in the high-frequency waveguide 1 so that the surface 6 can be moved in the tube axis direction with the high-frequency incident direction. The direction in which the high-frequency wave is incident is not necessarily limited to the direction perpendicular to the end face 6, but can be mounted in consideration of the direction in which the high-frequency wave is introduced or led out.
【００１１】プランジャ２の位置は、入射する高周波の
所定の位相位置に反射面６をセットできるように、送り
装置によって高周波導波管の軸方向に精密かつ再現性よ
く前後移動できる。本発明において、プランジャの送り
装置は、プランジャ２に接合されて軸方向の移動力を伝
達するプランジャ軸３と、プランジャ軸３に噛合してプ
ランジャ２を軸方向に移動させるボールねじ４と、ボー
ルねじ４を回転するステップモータ５とから構成されて
いる。従来から使用されていた滑りねじやラック・ピニ
オンなどに比べると、ボールねじを用いることにより、
起動摩擦が減少されてスティックスリップが小さくな
り、バックラッシを小さくすることを容易にする。ステ
ップモータの微小、かつ、正確な動きを直線移動に変換
して、プランジャ２の微小であそびのない送りを可能に
する。なお、プランジャ２とプランジャ軸３とは、とく
に別個の部材である必要はなく一体に構成されていても
よい。また、必要により、上記の部材間に、あそびを生
じない部材を介在させることは可能である。The position of the plunger 2 can be precisely and reproducibly moved in the axial direction of the high-frequency waveguide by the feeder so that the reflection surface 6 can be set at a predetermined phase position of the incident high frequency. In the present invention, a plunger feeder includes a plunger shaft 3 that is joined to the plunger 2 and transmits an axial moving force, a ball screw 4 that meshes with the plunger shaft 3 to move the plunger 2 in the axial direction, And a step motor 5 for rotating the screw 4. By using ball screws, compared to the conventionally used sliding screws and rack and pinion,
Start-up friction is reduced and stick-slip is reduced, making it easier to reduce backlash. The minute and accurate movement of the step motor is converted into a linear movement to enable the feed of the plunger 2 without any play. In addition, the plunger 2 and the plunger shaft 3 do not need to be particularly separate members, and may be integrally formed. If necessary, it is possible to interpose a member that does not cause play between the above members.
【００１２】さらに、端面６の位置を正確に知るための
光学式位置検出器をプランジャ２またはプランジャ軸３
の側方に取り付けることが好ましい。取付ける光学式位
置検出器は、読取精度が少なくとも０．０３ｍｍは必要
であるが、具体的には、たとえば、市販の光学機器メー
カの光学式位置検出器を用いることができる。側方は、
光学式位置検出器を用いて何らかの、たとえば標識を光
学的に測定し、端面６の正確な位置を知るのに適当な箇
所を意味するもので、とくに限定的な意味を持つもので
はない。Furthermore, an optical position detector for accurately knowing the position of the end face 6 is provided with the plunger 2 or the plunger shaft 3.
Is preferably attached to the side. The optical position detector to be attached needs to have a reading accuracy of at least 0.03 mm. Specifically, for example, an optical position detector of a commercially available optical device maker can be used. On the side
An optical position detector is used to optically measure a sign, for example, a sign, and means an appropriate position for knowing the exact position of the end face 6, and has no particular limited meaning.
【００１３】また、高周波導波管内を真空またはＳＦ6
雰囲気に保持するために、プランジャ駆動軸の軸封に
は、グリース内蔵Ｏリングを用いるとよい。グリース内
蔵Ｏリング取付部の実施態様例断面を図３（ａ）に示
す。図３（ｂ）はグリース内蔵Ｏリングの断面拡大図で
ある。グリース内蔵Ｏリング３１は、必ずしも断面が円
形でなくてもよく、また、その材質にも特別な制限はな
いが、太めで中空のＯリング３３をプランジャ軸３２に
直角な方向に半割りとし、中空部にグリース３４、好ま
しくはシリコーングリースを内蔵させて摺動部にグリー
スを供給することにより、軸駆動を容易にするとともに
漏洩を防ぐものであり、真空やＳＦ6 雰囲気を保持しつ
つ、プランジャ軸３２の軸方向移動においても気密を保
持することができる。従来のＯリングに較べると、グリ
ースを内蔵しているために軸駆動もプランジャ軸の気密
保持も容易であり、プランジャの蛇行防止効果が大き
い。従って、管璧とプランジャとの間隔を一定に保持
し、大電力の高周波移相器においても、両者の間に放電
の発生することがない。なお、本実施態様例では、図面
上グリース内蔵Ｏリングの断面形状を円形に描いている
が、これに限られるものではなく、多角形やラビリンス
型の溝を設けてプランジャ軸に接触させることもでき
る。The inside of the high-frequency waveguide is vacuum or SF 6.
In order to maintain the atmosphere, it is preferable to use a grease built-in O-ring for sealing the plunger drive shaft. FIG. 3A shows a cross section of an embodiment of the grease built-in O-ring mounting portion. FIG. 3B is an enlarged cross-sectional view of the grease-containing O-ring. The cross-section of the grease built-in O-ring 31 does not necessarily have to be circular, and there is no particular limitation on the material thereof, but the thick, hollow O-ring 33 is divided in half in a direction perpendicular to the plunger shaft 32, By supplying grease to the sliding part with grease 34, preferably silicone grease, incorporated in the hollow part, the shaft drive is facilitated and leakage is prevented. The plunger is maintained while maintaining a vacuum or SF 6 atmosphere. Airtightness can be maintained even when the shaft 32 moves in the axial direction. Compared with the conventional O-ring, since the grease is built in, the shaft drive and the airtight maintenance of the plunger shaft are easy, and the effect of preventing the plunger from meandering is large. Therefore, the distance between the pipe wall and the plunger is kept constant, and even in a high-power high-frequency phase shifter, no discharge occurs between the two. In the present embodiment, the cross-sectional shape of the grease built-in O-ring is drawn in a circular shape in the drawing, but the present invention is not limited to this. it can.
【００１４】[0014]
【発明の効果】本発明の高周波移相器は、プランジャが
蛇行することなく正確に移動し、プランジャ位置を精密
にセットすることができるので、短パルスビームと高周
波電場の位相関係の再現性を０．３度以下の誤差で確保
することができる。したがって、たとえば、高周波加速
空胴による電子ビーム加速において、エネルギーの揃っ
た電子ビームを加速し、安定な高出力自由電子レーザを
発生することができる。本発明は、マイクロ波技術のレ
ベル向上に寄与するものとして期待できる。According to the high-frequency phase shifter of the present invention, the plunger can move accurately without meandering and the plunger position can be set precisely, so that the reproducibility of the phase relationship between the short pulse beam and the high-frequency electric field can be improved. It can be secured with an error of 0.3 degrees or less. Therefore, for example, in the electron beam acceleration by the high-frequency accelerating cavity, the electron beam with uniform energy can be accelerated, and a stable high-output free electron laser can be generated. The present invention is expected to contribute to improving the level of microwave technology.
【図１】（ａ）本発明の高周波移相器の一部断面概略正
面図、（ｂ）側面図。FIG. 1A is a schematic front view, partially in section, of a high-frequency phase shifter according to the present invention, and FIG.
【図２】（ａ）従来の高周波移相器の一部断面概略正面
図、（ｂ）側面図。FIG. 2 (a) is a partial cross-sectional schematic front view of a conventional high-frequency phase shifter, and FIG. 2 (b) is a side view.
【図３】（ａ）グリース内蔵Ｏリング取付部の実施態様
例断面、（ｂ）Ｏリングの断面拡大図。3A is a cross-sectional view of an example of an embodiment of a grease built-in O-ring mounting portion, and FIG. 3B is an enlarged cross-sectional view of an O-ring.
１：高周波導波管 ２：プランジャ ３：プランジ
ャ軸 ４：ボールねじ ５：ステップモータ ６：端面
（反射面） ７：光学式位置検出器 ８：グリース内蔵Ｏリング
９：高周波伝送管 １０：高周波導波管の入口側 １１：高周波導波管の
出口側 ２１：高周波導波管 ２２：プランジャ ２３：プ
ランジャ軸 ２４：ギヤ ２５：ステップモータ ２６：端面
（反射面） ２７：摺動抵抗器 ２８：Ｏリング ２９：高周波
伝送管 ３１：グリース内蔵Ｏリング ３２：プランジャ軸 ３３：半割Ｏリング ３４：グリース1: High frequency waveguide 2: Plunger 3: Plunger shaft 4: Ball screw 5: Step motor 6: End face (reflective surface) 7: Optical position detector 8: O-ring with built-in grease
9: High-frequency transmission pipe 10: Inlet side of high-frequency waveguide 11: Outlet side of high-frequency waveguide 21: High-frequency waveguide 22: Plunger 23: Plunger shaft 24: Gear 25: Step motor 26: End face (reflection surface) 27: sliding resistor 28: O-ring 29: high-frequency transmission tube 31: grease built-in O-ring 32: plunger shaft 33: half O-ring 34: grease
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安部 晴也 大阪府枚方市大字津田4547番44号 株式 会社自由電子レーザ研究所内 (56)参考文献 特開 平４−32302（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−105002（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−125501（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−170363（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01P 1/18 H01P 1/28 F16J 15/18──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Haruya Abe 4547-44 Tsuda, Oaza, Hirakata City, Osaka Prefecture Inside the Free Electron Laser Laboratory Co., Ltd. (56) References JP-A-4-32302 (JP, A) Hei 3-105002 (JP, U) Actually open Hei 3 -125501 (JP, U) Actually open Showa 56-170363 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H01P 1 / 18 H01P 1/28 F16J 15/18
Claims (4)
おける高周波伝送路９に接続し、伝送する高周波の位相
を変換する高周波移相器であって、 入口側１０を高周波の導入側に、出口側１１を位相変換
後の高周波の導出側に接続する高周波導波管１と、 高周波の反射面を構成する端面６を高周波の入射する方
向に向け、管軸方向に移動可能に高周波導波管１内に装
着されているプランジャ２と、高周波導波管１とプランジャ軸３との間に取り付けられ
た、シール用のグリース内蔵Ｏリング８と、 プランジャ２に結合されたプランジャ軸３、プランジャ
軸３に噛合してプランジャ２を管軸方向に移動させるボ
ールねじ４およびボールねじ４を回転するステップモー
タ５からなり、所望の位相変換を行うのに適当な位置に
端面６を移動してセットするためのプランジャ２の送り
装置と、から構成され、 入口側１０から高周波導波管１内に導入された高周波
を、端面６に反射させて位相を変換し、出口側１１から
導出することを特徴とする高周波移相器。1. A high-frequency accelerating cavity of a free electron laser oscillator
A high-frequency phase shifter connected to a high-frequency transmission line 9 for converting the phase of a high-frequency wave to be transmitted, wherein an inlet side 10 is connected to a high-frequency introduction side, and an outlet side 11 is connected to a high-frequency output side after phase conversion. A high-frequency waveguide 1, a plunger 2 mounted in the high-frequency waveguide 1 movably in the tube axis direction with an end face 6 constituting a high-frequency reflecting surface facing the direction of high-frequency incidence, and a high-frequency waveguide Attached between pipe 1 and plunger shaft 3
In addition, an O-ring 8 with built-in grease for sealing, a plunger shaft 3 coupled to the plunger 2, a ball screw 4 meshing with the plunger shaft 3 to move the plunger 2 in the tube axis direction, and a step motor for rotating the ball screw 4. And a feeder for the plunger 2 for moving and setting the end face 6 to a position suitable for performing a desired phase conversion, and introduced into the high-frequency waveguide 1 from the entrance side 10. A high-frequency phase shifter characterized in that the high-frequency wave is reflected by the end face 6, the phase is converted, and the phase is derived from the outlet side 11.
に、端面６の位置を測定するための光学式位置検出器７
が装着されていることを特徴とする、請求項１に記載の
高周波移相器。2. An optical position detector 7 for measuring the position of the end face 6 beside the plunger 2 or the plunger shaft 3.
The high-frequency phase shifter according to claim 1, wherein the phase shifter is mounted.
動可能なプランジャが、端面を高周波の入射する方向に
向けて装着されている高周波導波管を、高周波伝送路に
挿入し、 上記プランジャにプランジャ軸を結合し、さらにプラン
ジャ軸に噛合してプランジャを管軸方向に移動するボー
ルねじと、ボールねじを回転するステップモータとから
なる送り装置とを装着し、 かつ、プランジャ軸と高周波導波管との間にグリース内
蔵Ｏリングを取付けて高周波伝送管の気密性を保持し、 プランジャを、端面に入射する高周波を反射して所望の
位相の高周波に変換するのに適当な位置に移動させ、高
周波の位相を変換するを特徴とする、自由電子レーザ発
振器の高周波加速空洞における高周波移相方法。3. A high-frequency waveguide whose end surface is a high-frequency reflecting surface and is movable in the axial direction is inserted into a high-frequency transmission line, with a high-frequency waveguide mounted with the end surface facing the direction of high-frequency incidence. A plunger shaft is coupled to the plunger, and a ball screw that meshes with the plunger shaft to move the plunger in the pipe axis direction, and a feed device that includes a step motor that rotates the ball screw, are mounted. Attach an O-ring with built-in grease between the high-frequency waveguide and maintain the airtightness of the high-frequency transmission tube, and place the plunger at an appropriate position to reflect the high-frequency incident on the end face and convert it to high-frequency of the desired phase. Free electron laser emission , characterized in that
High frequency phase shift method in high frequency accelerating cavity of shaker .
ランジャ軸の側方に取付けた光学式位置検出器を用いて
測定しながら、プランジャを所望の位相の高周波を反射
させるのに適当な位置に移動させることを特徴とする、
請求項３に記載の高周波移相方法。4. The plunger is moved to a position suitable for reflecting a high frequency wave of a desired phase while measuring the position of the plunger using an optical position detector mounted on the side of the plunger or the plunger shaft. Characterized by the fact that
The high-frequency phase shift method according to claim 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6050217A JP2846574B2 (en) | 1994-03-22 | 1994-03-22 | High frequency phase shifter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6050217A JP2846574B2 (en) | 1994-03-22 | 1994-03-22 | High frequency phase shifter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07263906A JPH07263906A (en) | 1995-10-13 |
| JP2846574B2 true JP2846574B2 (en) | 1999-01-13 |
Family
ID=12852904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6050217A Expired - Lifetime JP2846574B2 (en) | 1994-03-22 | 1994-03-22 | High frequency phase shifter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2846574B2 (en) |
Families Citing this family (2)
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Family Cites Families (4)
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-
1994
- 1994-03-22 JP JP6050217A patent/JP2846574B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07263906A (en) | 1995-10-13 |
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