JP2839681B2 - 電子顕微鏡等における信号モニタ装置 - Google Patents
電子顕微鏡等における信号モニタ装置Info
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- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 15
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、試料に電子ビームを照射して試料から量子
信号を検出し、その検出信号の単位時間当たりの強度を
モニタ画面にバー表示する電子顕微鏡等における信号モ
ニタ装置に関する。
信号を検出し、その検出信号の単位時間当たりの強度を
モニタ画面にバー表示する電子顕微鏡等における信号モ
ニタ装置に関する。
第３図は電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）の
構成を示す図、第４図は各種の分光器の出力信号の例を
示す図、第５図はバー表示の例を示す図である。
構成を示す図、第４図は各種の分光器の出力信号の例を
示す図、第５図はバー表示の例を示す図である。
第３図に示すように電子銃11から電子レンズ12、走査
コイル13等を通して得られた電子ビームを試料14に照射
し、試料14から出てくる反射電子や二次電子、オージェ
電子、特性Ｘ線等の量子信号を検出し、試料表面の観
察、組成元素の濃度分析等を行う電子顕微鏡等に、波長
分散型Ｘ線分光器（WDS）を備えた電子プローブマイク
ロアナライザ（EPMA）があり、第４図（ａ）に示すよう
な各Ｘ線波長毎の計数率が出力として得られる。
コイル13等を通して得られた電子ビームを試料14に照射
し、試料14から出てくる反射電子や二次電子、オージェ
電子、特性Ｘ線等の量子信号を検出し、試料表面の観
察、組成元素の濃度分析等を行う電子顕微鏡等に、波長
分散型Ｘ線分光器（WDS）を備えた電子プローブマイク
ロアナライザ（EPMA）があり、第４図（ａ）に示すよう
な各Ｘ線波長毎の計数率が出力として得られる。
このEPMAでは、特に各Ｘ線分光装置のＸ線信号計数
率、つまりある時定数でのＸ線信号の時間平均値（レー
トメータ信号とも言う）をCRTモニタ又はLED配列表示
器、メータ等に第５図に示すようにバー表示することに
より、元素分布状態や、Ｘ線強度が最大になるような結
晶位置としてＸ線検出位置などを視覚的にモニターして
いた。
率、つまりある時定数でのＸ線信号の時間平均値（レー
トメータ信号とも言う）をCRTモニタ又はLED配列表示
器、メータ等に第５図に示すようにバー表示することに
より、元素分布状態や、Ｘ線強度が最大になるような結
晶位置としてＸ線検出位置などを視覚的にモニターして
いた。
しかし、上記のようなEPMAの場合には、CRT上でＸ線
計数率に関するモニターは可能になるが、同時に視覚的
に表示した方が便利な他の信号のモニターはできないと
いう問題がある。このような信号には、例えば試料の反
射電子から得られる組成信号（COMPO）による平均原子
番号のモニターや凹凸信号（TOPO）による試料の凹凸状
態のモニター、試料の表面状態に依存する２次電子信号
のモニター、試料へのプローブ電流や試料の吸収電流の
大小を示すモニター、WDSに対してエネルギー分散型分
光器（EDS）で測定したＸ線信号（第４図（ｂ）参照）
や、このうち特にある注目すべきエネルギー範囲（RO
I）のＸ線信号のモニター等がある。
計数率に関するモニターは可能になるが、同時に視覚的
に表示した方が便利な他の信号のモニターはできないと
いう問題がある。このような信号には、例えば試料の反
射電子から得られる組成信号（COMPO）による平均原子
番号のモニターや凹凸信号（TOPO）による試料の凹凸状
態のモニター、試料の表面状態に依存する２次電子信号
のモニター、試料へのプローブ電流や試料の吸収電流の
大小を示すモニター、WDSに対してエネルギー分散型分
光器（EDS）で測定したＸ線信号（第４図（ｂ）参照）
や、このうち特にある注目すべきエネルギー範囲（RO
I）のＸ線信号のモニター等がある。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、Ｘ線
計数率の他の情報についても同時にモニターできる電子
顕微鏡等における信号モニタ装置を提供することを目的
とするものである。
計数率の他の情報についても同時にモニターできる電子
顕微鏡等における信号モニタ装置を提供することを目的
とするものである。
そのために本発明は、試料に電子ビームを照射して試
料から量子信号を検出し、その検出信号の計数率をモニ
ターする電子顕微鏡等における信号モニタ装置であっ
て、Ｘ線の波長分散強度とエネルギー分散強度その他の
量子信号を検出する量子信号検出手段、量子信号をバー
表示するモニタ手段、エネルギー分散強度その他の量子
信号を選択する信号選択手段、該信号選択手段で選択さ
れた量子信号と波長分散強度を入力する入力手段、該入
力手段で入力されたデータをモニタ手段に表示するため
の処理を行いデータ処手段を備え、波長分散強度と共に
選択されたエネルギー分散強度その他の量子信号を並列
表示するように構成したことを特徴とする。
料から量子信号を検出し、その検出信号の計数率をモニ
ターする電子顕微鏡等における信号モニタ装置であっ
て、Ｘ線の波長分散強度とエネルギー分散強度その他の
量子信号を検出する量子信号検出手段、量子信号をバー
表示するモニタ手段、エネルギー分散強度その他の量子
信号を選択する信号選択手段、該信号選択手段で選択さ
れた量子信号と波長分散強度を入力する入力手段、該入
力手段で入力されたデータをモニタ手段に表示するため
の処理を行いデータ処手段を備え、波長分散強度と共に
選択されたエネルギー分散強度その他の量子信号を並列
表示するように構成したことを特徴とする。
本発明の電子顕微鏡等における信号モニタ装置では、
信号選択手段にエネルギー分散強度その他の試料情報を
有する量子信号を入力してこれらの中から選択抽出し、
その量子信号を波長分散強度と併せて入力してそれらを
モニター情報として処理するので、モニタ手段に波長分
散強度とそれ以外に選択されたエネルギー分散強度その
他の量子信号を並列表示することができる。したがっ
て、試料位置の変化と共に、組成、濃度、平均原子番
号、凹凸、試料吸収電流等の変化、さらには、プロープ
電流や吸収電流の大小を含む様々な情報を数値ではな
く、視覚的に１つのCRT上でモニターできる。
信号選択手段にエネルギー分散強度その他の試料情報を
有する量子信号を入力してこれらの中から選択抽出し、
その量子信号を波長分散強度と併せて入力してそれらを
モニター情報として処理するので、モニタ手段に波長分
散強度とそれ以外に選択されたエネルギー分散強度その
他の量子信号を並列表示することができる。したがっ
て、試料位置の変化と共に、組成、濃度、平均原子番
号、凹凸、試料吸収電流等の変化、さらには、プロープ
電流や吸収電流の大小を含む様々な情報を数値ではな
く、視覚的に１つのCRT上でモニターできる。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る電子顕微鏡等における信号モニ
タ装置の１実施例を示す図、第２図はモニターの例を示
す図である。
タ装置の１実施例を示す図、第２図はモニターの例を示
す図である。
第１図において、ｎチャンネルの波長分散型Ｘ線分光
器WDS（図示せず）の第１番目（CH1）から第ｎ番目（CH
n）の各チャンネルの出力に基づいて形成されたレート
メータ信号（Ｘ線信号計数率）１がインターフェース部
２のポート（P1）からポート（Pn）に接続され、エネル
ギー分散型Ｘ線分光器EDS（図示せず）の出力に基づい
て形成されたレートメータ信号６またはこれにROIをか
けたｉ番目（ｉ＝１、２…、ｋ）の信号ROI−ｉと、図
示しない２次電子検出器からの２次電子信号（SE）７
と、一対の反射電子検出器（図示せず）によって検出さ
れたCOMPO又はTOPOの反射電子信号（BE）８と、ビーム
検出器や試料から検出されるプローブ電流又は試料吸収
電流（CURRENT）９が切換スイッチ回路５に接続され
る。そして、切換スイッチ回路５の出力がインターフェ
ース部２のポート（Pn＋１）に接続される。したがっ
て、切換スイッチ回路５によって選択された信号の１つ
がインターフェース部２のポート（Pn＋１）に接続され
る。表示処理部３は、これらの信号をCRTモニタ４に表
示するため、インターフェース部２からレートメータ信
号１、６又はその他の信号（７〜９）を読みとって演
算、処理を行うものである。
器WDS（図示せず）の第１番目（CH1）から第ｎ番目（CH
n）の各チャンネルの出力に基づいて形成されたレート
メータ信号（Ｘ線信号計数率）１がインターフェース部
２のポート（P1）からポート（Pn）に接続され、エネル
ギー分散型Ｘ線分光器EDS（図示せず）の出力に基づい
て形成されたレートメータ信号６またはこれにROIをか
けたｉ番目（ｉ＝１、２…、ｋ）の信号ROI−ｉと、図
示しない２次電子検出器からの２次電子信号（SE）７
と、一対の反射電子検出器（図示せず）によって検出さ
れたCOMPO又はTOPOの反射電子信号（BE）８と、ビーム
検出器や試料から検出されるプローブ電流又は試料吸収
電流（CURRENT）９が切換スイッチ回路５に接続され
る。そして、切換スイッチ回路５の出力がインターフェ
ース部２のポート（Pn＋１）に接続される。したがっ
て、切換スイッチ回路５によって選択された信号の１つ
がインターフェース部２のポート（Pn＋１）に接続され
る。表示処理部３は、これらの信号をCRTモニタ４に表
示するため、インターフェース部２からレートメータ信
号１、６又はその他の信号（７〜９）を読みとって演
算、処理を行うものである。
上記の構成により、切換スイッチ回路５に、オペレー
タの入力した信号の選択情報が入力されるとその選択情
報に基づいて内部の回路を切り換え、入力に接続された
信号から特定の信号を出力する。WDSのレートメータ信
号がインターフェース部２のポート（１）〜（ｎ）に、
EDSのレートメータ信号又はその他の信号がインターフ
ェース部２のポート（ｎ＋１）に入力されると、表示処
理部３は、それらを計数率の大小、信号量の大小に応じ
て一定の長さを単位としてその中の表示バーの領域を変
化させ、並列にCRTモニタ４の画面に出力する。第２図
に示す表示例では、EDSのROI−ｉをCH1〜CHnのWDS信号
と共に表示している。
タの入力した信号の選択情報が入力されるとその選択情
報に基づいて内部の回路を切り換え、入力に接続された
信号から特定の信号を出力する。WDSのレートメータ信
号がインターフェース部２のポート（１）〜（ｎ）に、
EDSのレートメータ信号又はその他の信号がインターフ
ェース部２のポート（ｎ＋１）に入力されると、表示処
理部３は、それらを計数率の大小、信号量の大小に応じ
て一定の長さを単位としてその中の表示バーの領域を変
化させ、並列にCRTモニタ４の画面に出力する。第２図
に示す表示例では、EDSのROI−ｉをCH1〜CHnのWDS信号
と共に表示している。
このようにすれば、微量元素等からの信号をCH1〜CHn
で、その他の元素からの信号をROI−ｉで切換えて表示
すれば、試料位置の変化に対する元素の分布や濃度など
の変化が容易に認識できる。
で、その他の元素からの信号をROI−ｉで切換えて表示
すれば、試料位置の変化に対する元素の分布や濃度など
の変化が容易に認識できる。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものでは
なく、種々の変形が可能である。例えば表示バーの領域
は、信号量に対してリイアーにするように説明したが、
対数、平方根などに比例させて変えるようにしてもよ
い。
なく、種々の変形が可能である。例えば表示バーの領域
は、信号量に対してリイアーにするように説明したが、
対数、平方根などに比例させて変えるようにしてもよ
い。
また、インターフェース部２の個の入力ポートは、
デジタル化によってどの信号を入力させても良くなるの
で、第１〜第ｍ番目（ｍ≦ｌ）のポートにWDSからのレ
ートメータ信号を入力し、第ｍ＋１番目か第ｌ番目のポ
ートに、EDSからのROI−ｉ（ｉ＝１、２、…、ｋ）の１
つ又は複数個と、二次電子信号SE、反射電子信号BE、プ
ローブ電流又は試料吸収電流の中から適当に選んで入力
させるようにしてもよい。
デジタル化によってどの信号を入力させても良くなるの
で、第１〜第ｍ番目（ｍ≦ｌ）のポートにWDSからのレ
ートメータ信号を入力し、第ｍ＋１番目か第ｌ番目のポ
ートに、EDSからのROI−ｉ（ｉ＝１、２、…、ｋ）の１
つ又は複数個と、二次電子信号SE、反射電子信号BE、プ
ローブ電流又は試料吸収電流の中から適当に選んで入力
させるようにしてもよい。
切換スイッチ回路は、全入力を通すように構成しても
よい。このようにすれば、Ｘ線信号の他にも試料からの
様々な情報をＸ線号を同時にその信号の強弱が表示でき
るので、試料の変化に対する組成、濃度、平均原子番
号、凹凸などの情報を１つの画面でモニターできる。
よい。このようにすれば、Ｘ線信号の他にも試料からの
様々な情報をＸ線号を同時にその信号の強弱が表示でき
るので、試料の変化に対する組成、濃度、平均原子番
号、凹凸などの情報を１つの画面でモニターできる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、波
長分散型Ｘ線分光器WDSからのレートメータ信号の他
に、エネルギー分散型Ｘ線分光器EDSのレートメータ信
号やこれにROIをかけた注目すべきレートメータ信号、
二次電子信号、反射電子信号、オージェ電子信号、プロ
ーブ電流や試料吸収電流の中の１つ又は複数個の信号の
強弱も表示するようにしたので、WDS/EDSコンバイン・
システムにおいて、各々の特性を生かした同時測定にお
ける計数率モニタが１つのCRT上でできる。また、試料
位置の変化と共に、組成、濃度、平均原子番号、凹凸、
試料吸収電流等の変化など様々な情報を１つのCRT上で
同時にモニターできる。さらには、プローブ電流や吸収
電流の大小を数値ではなく、視覚的に１つのCRT上でモ
ニターできる。
長分散型Ｘ線分光器WDSからのレートメータ信号の他
に、エネルギー分散型Ｘ線分光器EDSのレートメータ信
号やこれにROIをかけた注目すべきレートメータ信号、
二次電子信号、反射電子信号、オージェ電子信号、プロ
ーブ電流や試料吸収電流の中の１つ又は複数個の信号の
強弱も表示するようにしたので、WDS/EDSコンバイン・
システムにおいて、各々の特性を生かした同時測定にお
ける計数率モニタが１つのCRT上でできる。また、試料
位置の変化と共に、組成、濃度、平均原子番号、凹凸、
試料吸収電流等の変化など様々な情報を１つのCRT上で
同時にモニターできる。さらには、プローブ電流や吸収
電流の大小を数値ではなく、視覚的に１つのCRT上でモ
ニターできる。
第１図は本発明に係る電子顕微鏡等における信号モニタ
装置の１実施例を示す図、第２図はモニターの例を示す
図、第３図は電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）
の構成を示す図、第４図（ａ）はWDSの出力信号の例を
示す図、第４図（ｂ）はEDSの出力信号の例を示す図、
第５図はバー表示の例を示す図である。 １……レートメータ信号、２……インターフェース部、
３……表示処理部、４……CRTモニタ、５……切換スイ
ッチ回路、６……二次電子信号、７……反射電子信号、
８……プローブ電流。
装置の１実施例を示す図、第２図はモニターの例を示す
図、第３図は電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）
の構成を示す図、第４図（ａ）はWDSの出力信号の例を
示す図、第４図（ｂ）はEDSの出力信号の例を示す図、
第５図はバー表示の例を示す図である。 １……レートメータ信号、２……インターフェース部、
３……表示処理部、４……CRTモニタ、５……切換スイ
ッチ回路、６……二次電子信号、７……反射電子信号、
８……プローブ電流。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松谷 幸 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号 日 本電子株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−17371（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−112847（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 37/252 H01J 37/20 H01J 37/28 H01J 37/244
Claims (1)
- 【請求項１】試料に電子ビームを照射して試料から量子
信号を検出し、その検出信号の計数率をモニターする電
子顕微鏡等における信号モニタ装置であって、Ｘ線の波
長分散強度とエネルギー分散強度その他の量子信号を検
出する量子信号検出手段、量子信号をバー表示するモニ
タ手段、エネルギー分散強度その他の量子信号を選択す
る信号選択手段、該信号選択手段で選択された量子信号
と波長分散強度を入力する入力手段、該入力手段で入力
されたデータをモニタ手段に表示するための処理を行う
データ処理手段を備え、波長分散強度と共に選択された
エネルギー分散強度その他の量子信号を並列表示するよ
うに構成したことを特徴とする電子顕微鏡等における信
号モニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2254634A JP2839681B2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 電子顕微鏡等における信号モニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2254634A JP2839681B2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 電子顕微鏡等における信号モニタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04133252A JPH04133252A (ja) | 1992-05-07 |
| JP2839681B2 true JP2839681B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=17267746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2254634A Expired - Fee Related JP2839681B2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 電子顕微鏡等における信号モニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2839681B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6769402B2 (ja) * | 2017-06-30 | 2020-10-14 | 株式会社島津製作所 | 電子線マイクロアナライザー及びデータ処理プログラム |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP2254634A patent/JP2839681B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04133252A (ja) | 1992-05-07 |
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Legal Events
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