JP2839227B2 - Polishing sheet manufacturing method - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、固体表面の研磨及び研
削に使用する研磨シート及びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing sheet used for polishing and grinding a solid surface and a method for producing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の研磨シートは、研磨材粒子とバイ
ンダー接着剤を混合したスラリーを基板シート表面に均
一に塗布し、乾燥させたものであった。しかし、この研
磨シートで固体表面を研磨すると、研磨クズにより被研
磨面に傷をつけるという欠点があった。2. Description of the Related Art A conventional polishing sheet is obtained by uniformly applying a slurry obtained by mixing abrasive particles and a binder adhesive to the surface of a substrate sheet and drying the slurry. However, when the solid surface is polished with this polishing sheet, there is a drawback that the polishing target scratches the surface to be polished.
【０００３】これを克服するための他の従来技術とし
て、グラビアコーターを使用するものがある。これは凹
版シリンダが回転することで基板シート上に凹凸模様の
スラリーを付着させるものである。このように形成され
た溝に上記研磨クズが溜まるため被研磨面を傷つけるこ
とはない。Another conventional technique for overcoming this problem is to use a gravure coater. In this method, a slurry having a concavo-convex pattern is attached to a substrate sheet by rotating an intaglio cylinder. Since the polishing debris accumulates in the grooves thus formed, the surface to be polished is not damaged.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法で
は、溝の深さ及び間隔は凹版シリンダで決まってしまう
ため、研磨シートの用途に応じて、所望の溝形状を形成
するためには凹版シリンダを交換しなくてはならず、コ
ストが高くなる。また溝を浅くすると基板シート表面に
スラリーが付着しにくいといった欠点もある。However, in this method, the depth and the interval of the grooves are determined by the intaglio cylinder. Therefore, in order to form a desired groove shape according to the use of the polishing sheet, the intaglio cylinder is required. Must be replaced, which increases costs. Further, if the groove is made shallow, there is a disadvantage that the slurry does not easily adhere to the surface of the substrate sheet.
【０００５】さらに、同時出願中の特開平第 号
には、これらの欠点を克服する新規な研磨シートの製造
方法が開示されている。図１は、その製造方法の各工程
を略示したものである。それによると、まず白紙上に黒
インク等で黒くパターニング８する。次に、光導電性物
質３から成る光導電板５上に正電荷２を一様に帯電させ
る。さらに、前記白紙を通じて前記光導電板５を露光７
させ、光導電板上に電荷のパターンを形成する。その後
前記電荷パターン上に熱接砥粒１２をノズル１０から圧
縮空気１１とともに散布し付着させる。さらに、前記パ
ターン上の熱接砥粒を静電気力によって該基板シート１
上に転移させ、最後に前記基板シート１を加熱ロール１
３により加熱して、前記熱接着性樹脂を融解させ研磨材
粒子を基板シートに固着させるという方法である。[0005] Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-86, filed at the same time, discloses a novel method for producing an abrasive sheet which overcomes these drawbacks. FIG. 1 schematically shows each step of the manufacturing method. According to this, first, black patterning 8 is performed on white paper with black ink or the like. Next, the positive charges 2 are uniformly charged on the photoconductive plate 5 made of the photoconductive substance 3. Further, the photoconductive plate 5 is exposed through the white paper.
Then, a charge pattern is formed on the photoconductive plate. Thereafter, the thermal abrasive grains 12 are scattered from the nozzle 10 together with the compressed air 11 and adhere to the charge pattern. Further, the abrasive grains on the pattern are heated by electrostatic force to the substrate sheet 1.
The substrate sheet 1 is finally transferred to a heating roll 1
3 is a method of melting the thermoadhesive resin and fixing the abrasive particles to the substrate sheet.
【０００６】しかし、この方法では、各工程が独立して
いて、一回に製造できる研磨シートの大きさも限られて
くる。また、工程数が多く時間もかかるため、研磨テー
プのような連続体を製造するには不向きであった。However, in this method, each step is independent, and the size of the polishing sheet that can be manufactured at one time is limited. In addition, since the number of steps is large and it takes time, it is not suitable for producing a continuous body such as a polishing tape.
【０００７】したがって、本発明の目的は、所望の研磨
材粒子パターンを基板シート表面に単純に形成できる研
磨シートの製造方法を与えることである。Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a polishing sheet which can simply form a desired abrasive particle pattern on the surface of a substrate sheet.
【０００８】また本発明の他の目的は、工程数が少な
く、経済的かつ連続処理する上記研磨シートの製造方法
を与えることである。Another object of the present invention is to provide an economical and continuous process for producing the above-mentioned abrasive sheet, which requires a small number of steps.
【０００９】さらに本発明の他の目的は、上記研磨シー
トを低コストで製造するための方法を与えることであ
る。Still another object of the present invention is to provide a method for producing the above-mentioned abrasive sheet at low cost.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の研磨シート製造方法においては、まず、基
板シート上に直接電圧を印加し電荷のパターンを形成す
る。次に熱接着性樹脂粉末を付着させた研磨材粒子から
成る熱着砥粒を圧縮空気により吹き付けることで前記パ
ターン上に付着させる。該付着工程において、熱着砥粒
に予めバイアス電圧を印加させておくと、静電気力によ
り付着させ易くなるのでより効果的である。さらに、基
板シートを加熱ロールで短時間加熱する。基板シートは
移動しながら上記工程の元で連続処理される。In order to achieve the above object, in the method for producing a polishing sheet of the present invention, first, a voltage is applied directly on a substrate sheet to form a charge pattern. Next, hot-adhesion abrasive grains made of abrasive particles to which the heat-adhesive resin powder is adhered are sprayed by compressed air to adhere on the pattern. In the adhering step, it is more effective to apply a bias voltage to the heat-adhesive abrasive grains in advance, since the adhering becomes easier due to electrostatic force. Further, the substrate sheet is heated for a short time by a heating roll. The substrate sheet is continuously processed under the above steps while moving.
【００１１】研磨シートを製造するもうひとつの方法
は、まず、上記同様、基板シート上に直接電圧を印加し
電荷のパターンを形成する。次に、熱接着性樹脂粉末を
付着させた研磨材粒子から成る熱着砥粒を、該熱着砥粒
とイソパラフィン系炭化水素との混合液中に前記基板シ
ートを通過させることによりパターン上に付着させる。
ここでイソパラフィン系炭化水素はＣnＨ2n+2で表さ
れ、ｎは５から１５であることが好ましい。最後に、基
板シートを加熱ロールで加熱する。基板シートは移動し
ながら上記工程の元で連続処理される。In another method of manufacturing a polishing sheet, first, as described above, a voltage is applied directly on a substrate sheet to form a charge pattern. Next, the heat-bonding abrasive grains made of abrasive particles to which the heat-adhesive resin powder is adhered are passed through the substrate sheet in a mixed solution of the heat-bonding abrasive grains and an isoparaffin hydrocarbon to form a pattern. Attach.
Here, the isoparaffinic hydrocarbon is represented by C n H 2n + 2 , and n is preferably 5 to 15. Finally, the substrate sheet is heated by a heating roll. The substrate sheet is continuously processed under the above steps while moving.
【００１２】上記本発明による２つの方法において、電
荷パターンを形成する電極としては、タングステンから
成る細線電極が好ましいが、その他、直線及び曲線を組
み合わせた所望のパターンを形成するための形状を有す
る電極を使用することができる。また該電極は連続体形
状であっても、非連続的な断片形状であってもよい。さ
らに印加すべき電圧は、可変パルス電圧が好ましいが、
直流電圧でもよい。加熱ロールによる加熱は、前記熱接
着性樹脂粉末の融点以上の温度で素早く行うのが効果的
である。In the above two methods according to the present invention, the electrode for forming the charge pattern is preferably a thin wire electrode made of tungsten, but the other electrode having a shape for forming a desired pattern by combining a straight line and a curve. Can be used. The electrode may have a continuous shape or a discontinuous fragment shape. Further, the voltage to be applied is preferably a variable pulse voltage,
DC voltage may be used. It is effective that the heating by the heating roll is quickly performed at a temperature equal to or higher than the melting point of the thermoadhesive resin powder.
【００１３】前記基板シートとしては、プラスチックフ
ィルム、紙、織布、不織布、プラスチックをラミネート
した紙または金属箔がよい。また、熱接着性樹脂粉末と
しては、スチレン・アクリル酸共重合体、スチレン・メ
タアクリル酸共重合体、スチレン・ブタジエン共重合
体、ポリビニルブチラール、ポリ塩化ビニル、酢酸ビニ
ル、フェノール、ホルムアルデヒド、ポリエチレン、ポ
リエステルまたはポリビニルアルコールから成る熱接着
性樹脂がよい。さらに、研磨材粒子としては、ダイヤモ
ンド、酸化アルミニウム、酸化鉄、酸化クロム、酸化セ
リウムまたはシリコンカーバイトがよい。The substrate sheet is preferably a plastic film, paper, woven fabric, nonwoven fabric, plastic-laminated paper or metal foil. Further, as the heat-adhesive resin powder, styrene-acrylic acid copolymer, styrene-methacrylic acid copolymer, styrene-butadiene copolymer, polyvinyl butyral, polyvinyl chloride, vinyl acetate, phenol, formaldehyde, polyethylene, A thermoadhesive resin made of polyester or polyvinyl alcohol is preferred. Further, the abrasive particles are preferably diamond, aluminum oxide, iron oxide, chromium oxide, cerium oxide or silicon carbide.
【００１４】[0014]
【実施例】図２（Ａ）は、研磨シートの製造方法の第１
発明の好適実施例を略示したものである。基板シート１
は、好適には厚さ５０μmのポリエステルシートである
が、それ以外にプラスチックフィルム、紙、織布、不織
布、プラスチックをラミネートした紙または金属箔でも
よい。基板シートの移動方向に対し、上流部分には、基
板シート上に所望の電荷パターンを印加するためのパタ
ーン形成セクションがある。該パターン形成セクション
は、可変周期パルス電源２１、好適にはタングステンか
ら成る細線電極１８及び半円筒形の対向電極１８’から
成る。細線電極１８の形状は、直線以外に例えば図３
（Ｂ）に示すような、不連続な形状でも良く、電極の形
状に対応した電荷パターンが基板上に形成される。パタ
ーン形成セクションの下流に位置し、それと隣接するの
は熱着砥粒付着セクションである。該熱着砥粒セクショ
ンは好適には、熱着砥粒１５、圧縮空気１１及び該熱着
砥粒１５を圧縮空気１１と混合し散布するためのノズル
１０から成る。ここで前記熱着砥粒は熱接着性樹脂粉末
を予め付着させた研磨材粒子から成る。熱接着性樹脂粉
末は好適にはスチレン・アクリル酸共重合体であるが、
それ以外にスチレン・メタアクリル酸共重合体、スチレ
ン・ブタジエン共重合体、ポリビニルブチラール、ポリ
塩化ビニル、酢酸ビニル、フェノール、ホルムアルデヒ
ド、ポリエチレン、ポリエステルまたはポリビニルアル
コールから成る熱接着性樹脂でもよい。また研磨材粒子
としては、好適には平均粒径１０μmの酸化アルミニウ
ムであるが、それ以外にダイヤモンド、酸化鉄、酸化ク
ロム、酸化セリウムまたはシリコンカーバイトでもよ
い。熱着砥粒付着セクションの下流に位置し、それと隣
接するのは、加熱セクションである。該加熱セクション
は加熱ロール１３から成る。FIG. 2A shows a first example of a method for manufacturing a polishing sheet.
1 schematically illustrates a preferred embodiment of the invention. Substrate sheet 1
Is preferably a polyester sheet having a thickness of 50 μm, but may be a plastic film, paper, woven fabric, non-woven fabric, paper laminated with plastic, or metal foil. In the upstream direction with respect to the moving direction of the substrate sheet, there is a pattern forming section for applying a desired charge pattern on the substrate sheet. The patterning section comprises a variable-period pulsed power supply 21, preferably a fine wire electrode 18 of tungsten and a semi-cylindrical counter electrode 18 '. The shape of the fine wire electrode 18 is not limited to a straight line.
A charge pattern corresponding to the shape of the electrode may be formed on the substrate, as shown in FIG. Downstream of and adjacent to the patterning section is a hot-adhesive abrasive deposition section. The hot grit section preferably comprises a hot grit 15, compressed air 11 and a nozzle 10 for mixing and dispersing the hot grit 15 with the compressed air 11. Here, the heat-adhesive abrasive grains are made of abrasive particles to which a heat-adhesive resin powder is previously adhered. The heat-adhesive resin powder is preferably a styrene-acrylic acid copolymer,
In addition, a thermoadhesive resin composed of a styrene / methacrylic acid copolymer, a styrene / butadiene copolymer, polyvinyl butyral, polyvinyl chloride, vinyl acetate, phenol, formaldehyde, polyethylene, polyester or polyvinyl alcohol may be used. The abrasive particles are preferably aluminum oxide having an average particle size of 10 μm, but may be diamond, iron oxide, chromium oxide, cerium oxide or silicon carbide. Downstream of, and adjacent to, the hot deposition abrasive deposition section is a heating section. The heating section comprises a heating roll 13.
【００１５】第１発明による研磨シートの製造方法で
は、まずパターン形成セクションにおいて、電荷パター
ンを形成するための電極１８に可変周期パルス電源２１
により、電圧１KV、継続時間１μs、繰り返し周期１０m
sのパルスを印加する。これにより基板シート上に前記
パルスに対応する正電荷のパターンが形成される。パル
ス電源２１は可変であるので、電圧、継続時間及び周期
を変えれば、基板シート上の研磨材粒子の溝の幅を自由
に変えることができる。例えば、パルスではなく直流電
圧を印加することも可能であり、その際は基板シートの
全面に熱着砥粒が付着する。In the method of manufacturing a polishing sheet according to the first invention, first, in the pattern forming section, a variable period pulse power source 21 is applied to an electrode 18 for forming a charge pattern.
, Voltage 1KV, duration 1μs, repetition cycle 10m
Apply s pulse. As a result, a positive charge pattern corresponding to the pulse is formed on the substrate sheet. Since the pulse power source 21 is variable, the width of the groove of the abrasive particles on the substrate sheet can be freely changed by changing the voltage, the duration and the period. For example, it is possible to apply a DC voltage instead of a pulse, and in this case, the heat-adhesive abrasive grains adhere to the entire surface of the substrate sheet.
【００１６】次に、熱着砥粒付着セクションにおいて、
電荷パターンが形成された基板シート上に、ノズル１０
から熱着砥粒１５を圧縮空気１１とともに吹き付ける。
熱着砥粒を付着させるには、例えば図３（Ａ）に示すよ
うに圧縮空気だけでなく静電気力を併用することも可能
である。図３（Ａ）に示す第１発明の他の実施例におい
て、熱着砥粒付着セクションは、バイアス用電圧可変電
源２２、ノズル１０、ノズル内に伸長したバイアス電圧
印加電極２３、半円筒形のバイアス電圧対向電極２
３’、圧縮空気１１及び熱着砥粒１２から成る。ノズル
内に伸長したバイアス電圧印加電極により、熱着砥粒は
負電荷を与えられ静電気力により前記基板シート上のパ
ターン上に付着する。このバイアス電極は、主に基板シ
ート上の熱着砥粒の面密度を調節するために設けられて
いるものである。Next, in the heat-adhesive abrasive grain adhering section,
The nozzle 10 is placed on the substrate sheet on which the charge pattern is formed.
Then, hot-adhesive abrasive grains 15 are sprayed together with the compressed air 11.
In order to attach the heat-adhesive abrasive grains, for example, as shown in FIG. 3A, not only compressed air but also electrostatic force can be used together. In another embodiment of the first invention shown in FIG. 3 (A), the heat-adhesive abrasive deposition section includes a bias voltage variable power supply 22, a nozzle 10, a bias voltage application electrode 23 extending into the nozzle, and a semi-cylindrical shape. Bias voltage counter electrode 2
3 ′, composed of compressed air 11 and heat-adhesive abrasive grains 12. The thermally deposited abrasive grains are given a negative charge by the bias voltage application electrode extended into the nozzle, and adhere to the pattern on the substrate sheet by electrostatic force. This bias electrode is provided mainly for adjusting the areal density of the heat deposited abrasive grains on the substrate sheet.
【００１７】最後に、加熱セクションにおいて、該基板
シートを加熱ロール１３により１５０℃で素早く加熱す
る。すると、前記熱着砥粒の熱接着性樹脂粉末が融解
し、研磨材粒子をパターン状に基板シートに固着させる
ことができる。Finally, in the heating section, the substrate sheet is quickly heated at 150 ° C. by the heating roll 13. Then, the heat-adhesive resin powder of the heat-adhesive abrasive grains is melted, and the abrasive particles can be fixed to the substrate sheet in a pattern.
【００１８】図４は、研磨シートの製造方法の第２発明
の好適実施例を略示したものである。第１発明同様、全
体がパターン形成セクション、熱着砥粒付着セクション
及び加熱セクションの３つのセクションに分割される。
この内、パターン形成セクションと加熱セクションにつ
いては、上記第１発明と同じであるが、熱着砥粒付着セ
クションの構成が上記第１発明と異なる。本第２発明に
おいて使用される基板シートは好適には厚さ２５μmの
ポリエステルシートである。熱着砥粒付着セクションは
タンク１９、該タンク内の熱着砥粒とイソパラフィン系
炭化水素の混合液、撹拌器１７及びローラー２６から成
る。タンク１９内の混合液１６は撹拌器１７により撹拌
され懸濁状態となっている。ここで熱着砥粒として、好
適には、平均粒径５μmのカーボランダム（ＳｉＣ）に
上記熱接着性樹脂粉末を付着させたものを使用し、イソ
パラフィン系炭化水素として、イソオクタンを使用す
る。この混合液中を前記パターン電荷の付着した基板シ
ートが通過すると、静電気力によって溶液中の熱着砥粒
が帯電部分に付着する。イソオクタンは揮発性であり、
長時間の使用で熱着砥粒が変質するので、定期的に交
換、補充する必要がある。基板シートが溶液中を通過す
る時間は、この後の加熱工程との関係から、短時間であ
るが熱着砥粒が基板シートに付着するには十分である。
したがって、タンク１９の形状はシートの移動方向にそ
って浅く、小さなものでよいのでコストは低い。また通
過時間が短いことにより、基板シートの変質はない。こ
の後の加熱工程によってイソオクタンは完全に蒸発して
しまうため人体にも安全である。FIG. 4 schematically shows a preferred embodiment of the second invention of the method for producing an abrasive sheet. As in the first invention, the whole is divided into three sections: a pattern forming section, a hot-adhesive abrasive grain deposition section, and a heating section.
Among them, the pattern forming section and the heating section are the same as in the first invention, but the configuration of the hot-adhesion abrasive grain adhesion section is different from that in the first invention. The substrate sheet used in the second invention is preferably a polyester sheet having a thickness of 25 μm. The hot-grain abrasive deposition section comprises a tank 19, a mixed solution of hot-grain abrasive and isoparaffinic hydrocarbon in the tank, a stirrer 17 and a roller 26. The mixed solution 16 in the tank 19 is stirred by the stirrer 17 and is in a suspended state. Here, as the heat-adhesive abrasive grains, those obtained by adhering the above-mentioned heat-adhesive resin powder to carborundum (SiC) having an average particle diameter of 5 μm are preferably used, and isooctane is used as an isoparaffinic hydrocarbon. When the substrate sheet to which the pattern charge is attached passes through the mixed solution, the thermally adhered abrasive grains in the solution adhere to the charged portion by electrostatic force. Isooctane is volatile,
Since the heat-adhesive abrasive grains deteriorate after a long use, they need to be replaced and replenished periodically. Although the time required for the substrate sheet to pass through the solution is short in relation to the subsequent heating step, it is sufficient for the thermally deposited abrasive particles to adhere to the substrate sheet.
Therefore, the shape of the tank 19 is shallow along the moving direction of the sheet and may be small, so that the cost is low. Further, since the passage time is short, there is no deterioration of the substrate sheet. Isooctane is completely evaporated in the subsequent heating step, so that it is safe for the human body.
【００１９】本発明による研磨シートの製造方法によ
り、電荷パターンを直接基板シート上に形成することが
できる点に注意すべきである。これにより、所望の電荷
パターンを自由に、容易にかつ連続的に形成することが
できるようになった。また、パターン形成セクション、
熱着砥粒付着セクション及び加熱セクションが連続的に
配置され、各工程が連続処理されることから、高い生産
性が約束される。さらに、従来のパターン形成法におけ
る光導電板へのパターン光照射工程及び基板シートへの
転移工程を省くことが出来るため、工程の大幅な減少に
よりコストを削減することができるのである。It should be noted that the charge pattern can be formed directly on the substrate sheet by the method for manufacturing a polishing sheet according to the present invention. Thereby, a desired charge pattern can be freely, easily and continuously formed. Also, the patterning section,
High productivity is assured because the heat-adhesive abrasive deposition section and the heating section are continuously arranged and each step is continuously processed. Furthermore, the step of irradiating the photoconductive plate with the pattern light and the step of transferring the pattern light to the substrate sheet in the conventional pattern forming method can be omitted, so that the cost can be reduced by greatly reducing the number of steps.
【図１】（Ａ）から（Ｅ）は、従来の研磨シートの製造
方法の各工程の略示図である。1 (A) to 1 (E) are schematic views of each step of a conventional method for producing a polishing sheet.
【図２】第１発明による研磨シートの製造方法の好適実
施例の略示図である。FIG. 2 is a schematic view of a preferred embodiment of a method for manufacturing a polishing sheet according to the first invention.
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は第１発明による研磨シートの
製造方法の他の実施例の略示図である。FIGS. 3A and 3B are schematic views of another embodiment of the method for producing a polishing sheet according to the first invention.
【図４】第２発明による研磨シートの製造方法の好適実
施例の略示図である。FIG. 4 is a schematic view of a preferred embodiment of a method for manufacturing a polishing sheet according to the second invention.
１ 基板シート ２ 電荷 １０ ノズル １１ 圧縮空気 １３ 加熱ロール １４ 研磨シート １５ 熱着砥粒 １８ 細線電極 １８’ 対向電極 ２０ 研磨シートの移動方向 ２１ 可変周期パルス電源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate sheet 2 Electric charge 10 Nozzle 11 Compressed air 13 Heating roll 14 Polishing sheet 15 Heat deposition abrasive grain 18 Fine wire electrode 18 'Counter electrode 20 Moving direction of polishing sheet 21 Variable period pulse power supply
Claims (20)
シートの製造方法であって、 基板シート上に直接電圧を印加し電荷のパターンを形成
する工程と、 熱接着性樹脂粉末を予め付着させた研磨材粒子から成る
熱着砥粒を圧縮空気により吹き付けることで前記パター
ン上に付着させる工程と、 前記熱着砥粒の付着した基板シートを加熱する工程と、 から成り、 前記一連の工程が基板シートの移動とともに連続的に実
行されるところの研磨シートの製造方法。1. A method for producing a polishing sheet used for polishing and grinding a solid surface, comprising the steps of applying a voltage directly on a substrate sheet to form a charge pattern, and adhering a heat-adhesive resin powder in advance. A step of spraying hot-adhesive abrasive grains made of abrasive particles with compressed air onto the pattern, and a step of heating the substrate sheet to which the hot-adhesive abrasive grains are attached. A method for manufacturing a polishing sheet, which is continuously performed with movement of a substrate sheet.
あって、さらに、前記熱着砥粒を基板シートに付着させ
るのに、熱着砥粒を前記パターン電圧による電荷と逆電
荷に帯電させる工程を含み、該熱着砥粒を圧縮空気とと
もに静電気力により付着させるところの研磨シートの製
造方法。2. The method for manufacturing a polishing sheet according to claim 1, further comprising the step of: attaching the heat-adhesive abrasive grains to a charge opposite to that of the pattern voltage when attaching the heat-adhesive abrasive grains to a substrate sheet. A method of manufacturing a polishing sheet, comprising the step of attaching the hot-adhesive abrasive grains together with compressed air by electrostatic force.
製造方法であって、前記印加電圧は、パルス電圧である
ところの研磨シートの製造方法。3. The method of manufacturing a polishing sheet according to claim 1, wherein the applied voltage is a pulse voltage.
製造方法であって、前記印加電圧は、直流電圧であると
ころの研磨シートの製造方法。4. The method for producing a polishing sheet according to claim 1, wherein the applied voltage is a DC voltage.
載の研磨シートの製造方法であって、前記基板シートは
加熱ロールにより前記熱接着性樹脂粉末の融点以上の温
度で素早く加熱するところの研磨シートの製造方法。5. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 1 to 4, wherein the substrate sheet is rapidly heated by a heating roll at a temperature equal to or higher than a melting point of the thermo-adhesive resin powder. Sheet manufacturing method.
載の研磨シートの製造方法であって、前記基板シート上
に電圧を印加すべき電極が直線及び曲線から成る連続体
形状であるところの研磨シートの製造方法。6. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 1 to 5, wherein the electrode to which a voltage is to be applied on the substrate sheet has a continuous shape composed of straight lines and curved lines. Sheet manufacturing method.
載の研磨シートの製造方法であって、前記基板シート上
に電圧を印加すべき電極が直線及び曲線から成る非連続
体形状であるところの研磨シートの製造方法。7. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 1 to 5, wherein an electrode to which a voltage is to be applied on the substrate sheet has a discontinuous shape composed of straight lines and curved lines. A method for producing an abrasive sheet.
載の研磨シートの製造方法であって、前記基板シート
は、プラスチックフイルム、紙、織布、不織布、プラス
チックをラミネートした紙または金属箔から成るところ
の研磨シートの製造方法。8. The method for producing an abrasive sheet according to claim 1, wherein the substrate sheet is made of plastic film, paper, woven fabric, non-woven fabric, plastic-laminated paper or metal foil. However, a method for producing a polishing sheet.
載の研磨シートの製造方法であって、前記熱接着性樹脂
粉末は、スチレン・アクリル酸共重合体、スチレン・メ
タアクリル酸共重合体、スチレン・ブタジエン共重合
体、ポリビニルブチラール、ポリ塩化ビニル、酢酸ビニ
ル、フェノール、ホルムアルデヒド、ポリエチレン、ポ
リエステルまたはポリビニルアルコールから成る熱接着
性樹脂であるところの研磨シートの製造方法。9. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 1 to 8, wherein the heat-adhesive resin powder comprises a styrene-acrylic acid copolymer, a styrene-methacrylic acid copolymer, A method for producing a polishing sheet which is a heat-adhesive resin comprising a styrene-butadiene copolymer, polyvinyl butyral, polyvinyl chloride, vinyl acetate, phenol, formaldehyde, polyethylene, polyester or polyvinyl alcohol.
記載の研磨シートの製造方法であって、前記研磨粒子
は、ダイヤモンド、酸化アルミニウム、酸化鉄、酸化ク
ロム、酸化セリウムまたはシリコンカーバイトであると
ころの研磨シートの製造方法。10. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 1 to 9, wherein the polishing particles are diamond, aluminum oxide, iron oxide, chromium oxide, cerium oxide, or silicon carbide. Method for producing a polishing sheet.
磨シートの製造方法であって、 基板シート上に直接電圧を印加し電荷のパターンを形成
する工程と、 熱接着性樹脂粉末を予め付着させた研磨材粒子から成る
熱着砥粒を、熱着砥粒とイソパラフィン系炭化水素との
混合液中に前記基板シートを通過させることにより前記
パターン上に付着させる工程と、 前記熱着砥粒の付着した基板シートを加熱する工程と、 から成り、 前記一連の工程が基板シートの移動とともに連続的に実
行されるところの研磨シートの製造方法。11. A method for producing a polishing sheet used for polishing and grinding a solid surface, comprising the steps of applying a voltage directly on a substrate sheet to form a charge pattern, and adhering a heat-adhesive resin powder in advance. Heating the abrasive grains comprising abrasive particles, the step of adhering to the pattern by passing the substrate sheet in a mixed solution of the thermal abrasive grains and isoparaffinic hydrocarbons, Heating the adhered substrate sheet, wherein the series of steps is performed continuously as the substrate sheet moves.
法であって、前記イソパラフィン系炭化水素はＣｎＨ２
ｎ＋２で表され、ｎが５から１５であるところの研磨シ
ートの製造方法。12. The method for producing a polishing sheet according to claim 11, wherein the isoparaffinic hydrocarbon is CnH2.
A method for producing a polishing sheet represented by n + 2, wherein n is 5 to 15.
ートの製造方法であって、前記印加電圧は、パルス電圧
であるところの研磨シートの製造方法。13. The method for manufacturing a polishing sheet according to claim 11, wherein the applied voltage is a pulse voltage.
ートの製造方法であって、前記印加電圧は、直流電圧で
あるところの研磨シートの製造方法。14. The method for manufacturing a polishing sheet according to claim 11, wherein the applied voltage is a DC voltage.
つに記載の研磨シートの製造方法であって、前記基板シ
ートは加熱ロールにより前記熱接着性樹脂粉末の融点以
上の温度で素早く加熱するところの研磨シートの製造方
法。15. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 11 to 14, wherein the substrate sheet is rapidly heated at a temperature equal to or higher than the melting point of the heat-adhesive resin powder by a heating roll. Sheet manufacturing method.
つに記載の研磨シートの製造方法であって、前記基板シ
ート上に電圧を印加すべき電極が直線及び曲線から成る
連続体形状であるところの研磨シートの製造方法。16. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 11 to 15, wherein the electrode to which a voltage is to be applied on the substrate sheet has a continuous shape composed of straight lines and curves. Sheet manufacturing method.
に記載の研磨シートの製造方法であって、前記基板シー
ト上に電圧を印加すべき電極が直線及び曲線から成る非
連続体形状であるところの研磨シートの製造方法。17. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 11 to 15, wherein an electrode to which a voltage is to be applied on the substrate sheet has a discontinuous shape composed of straight lines and curved lines. A method for producing an abrasive sheet.
つに記載の研磨シートの製造方法であって、前記基板シ
ートは、プラスチックフィルム、紙、織布、不織布、プ
ラスチックをラミネートした紙または金属箔から成ると
ころの研磨シートの製造方法。18. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 11 to 17, wherein the substrate sheet is made of a plastic film, paper, woven fabric, nonwoven fabric, plastic-laminated paper or metal foil. However, a method for producing a polishing sheet.
つに記載の研磨シートの製造方法であって、前記熱接着
性樹脂粉末は、スチレン・アクリル酸共重合体、スチレ
ン・メタアクリル酸共重合体、スチレン・ブタジエン共
重合体、ポリビニルブチラール、ポリ塩化ビニル、酢酸
ビニル、フェノール、ホルムアルデヒド、ポリエチレ
ン、ポリエステルまたはポリビニルアルコールから成る
熱接着性樹脂であるところの研磨シートの製造方法。19. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 11 to 18, wherein the heat-adhesive resin powder comprises a styrene-acrylic acid copolymer, a styrene-methacrylic acid copolymer, A method for producing a polishing sheet which is a heat-adhesive resin comprising a styrene-butadiene copolymer, polyvinyl butyral, polyvinyl chloride, vinyl acetate, phenol, formaldehyde, polyethylene, polyester or polyvinyl alcohol.
つに記載の研磨シートの製造方法であって、前記研磨粒
子は、ダイヤモンド、酸化アルミニウム、酸化鉄、酸化
クロム、酸化セリウムまたはシリコンカーバイトである
ところの研磨シートの製造方法。20. The method for producing a polishing sheet according to at least one of claims 11 to 19, wherein the polishing particles are diamond, aluminum oxide, iron oxide, chromium oxide, cerium oxide, or silicon carbide. Method for producing a polishing sheet.
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