JP2839023B2 - Semiconductor package and amplifier using the same - Google Patents

Semiconductor package and amplifier using the same

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JP2839023B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体パッケージ及
びそれを用いた増幅器に関し、高周波信号を取り扱うこ
とのできる半導体チップを収納する高周波用の半導体パ
ッケージ及びそれを用いた増幅器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor package and an amplifier using the same, and more particularly, to a high-frequency semiconductor package containing a semiconductor chip capable of handling a high-frequency signal and an amplifier using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年のマイクロ波用高出力増幅器にはほ
とんどGaAs FETが使用されている。高出力Ga
As FETは通信衛星用中継器をはじめ移動、固定を
問わず各種の無線装置に使われ、又民生分野ではSiバ
イポーラ・トランジスタに比較して高出力GaAs F
ETの高効率性が注目され、最近携帯電話の送信段に大
量に使用されている。NEC技報Vol.44(199
1年11月)によれば、携帯電話の送信段に使用される
高出力増幅器はGaAs FETの1段又は2段カスケ
ード接続構成であり、厚膜基板にチップ部品とともにF
ETを搭載したモジュール構造となっている。2段カス
ケード接続を構成するGaAs FETのチップは、普
通信頼性の確保及び実装の容易さを図るため高周波用パ
ッケージに収納され、封止されたものを用いる。したが
って、2段カスケード接続を構成においては、1つのモ
ジュールに2つのFETのパッケージが個別に搭載され
ていた(National Technical Re
port Vol.36 No.4 Aug.1990
p.34−38,技術情報 Panasonicニュ
ース No.75 p.14−16)。
2. Description of the Related Art Recently, GaAs FETs are mostly used in microwave high-power amplifiers. High output Ga
AsFETs are used in various types of wireless devices, whether fixed or mobile, including repeaters for communication satellites. In the consumer field, GaAs FETs have higher output power than Si bipolar transistors.
Attention has been paid to the high efficiency of ET, which has recently been used in large quantities in the transmission stage of mobile phones. NEC Technical Report Vol. 44 (199
According to Nov. 2001), a high-power amplifier used in a transmission stage of a mobile phone is a GaAs FET one-stage or two-stage cascade connection structure, and a F-film with a chip component is mounted on a thick film substrate.
It has a module structure equipped with ET. A GaAs FET chip constituting a two-stage cascade connection is usually housed in a high-frequency package and sealed in order to ensure reliability and facilitate mounting. Therefore, in the configuration of the two-stage cascade connection, two FET packages are individually mounted on one module (National Technical Report).
port Vol. 36 No. 4 Aug. 1990
p. Technical Information Panasonic News No. 34-38. 75 p. 14-16).

【0003】本願明細書中、“パッケージ”とは回路を
含まない少なくとも1種類の素子を搭載したものであ
り、“モジュール”とはパッケージを搭載したハイブリ
ッド集積回路である。カスケード接続の容易さを考慮す
ると図6に示すような構造の高周波用パッケージが考案
され、使用されている。以下では従来技術に使用されて
いる高周波用パッケージの構造を、図10を利用して説
明する。
[0003] In the specification of the present application, a "package" is a device on which at least one type of element containing no circuit is mounted, and a "module" is a hybrid integrated circuit on which a package is mounted. Considering the ease of cascade connection, a high-frequency package having a structure as shown in FIG. 6 has been devised and used. Hereinafter, the structure of a high-frequency package used in the related art will be described with reference to FIG.

【0004】従来の技術では、放熱するための銅ベース
1上にGaAs FETチップ2をマウントし、中心部
分をくり抜いたセラミック板(Al2 O3 )4 を設置、
そのセラミック板4上に入出力リード5,8をロー付し
ている。FET2のワイヤボンディング後にエポキシ樹
脂を使用して気密封止して用いていた。
In the prior art, a GaAs FET chip 2 is mounted on a copper base 1 for radiating heat, and a ceramic plate (Al 2 O 3) 4 having a hollow central portion is installed.
Input / output leads 5, 8 are soldered on the ceramic plate 4. After the wire bonding of the FET2, the airtight sealing was performed using an epoxy resin.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体パッケー
ジにおいては、2段以上接続した構成の増幅器等の回路
をモジュール化する場合、1つのモジュール構造に複数
の半導体パッケージを搭載することになり、モジュール
を小型化することが困難であった。
In a conventional semiconductor package, when a circuit such as an amplifier having two or more connected stages is modularized, a plurality of semiconductor packages are mounted in one module structure. It was difficult to reduce the size.

【0006】更に、個別にパッケージしたものを複数用
いる場合、製造コストがかかり、製品コストを低減する
ことが困難であった。
Furthermore, when a plurality of individually packaged products are used, manufacturing costs are increased, and it is difficult to reduce product costs.

【0007】また、デバイス構造が異なり、トランジス
タ特性の異なる半導体素子を同一のパッケージに収納す
ると、互いに干渉して発振等の不具合が発生し易く、ま
とめてパッケージすることができないという問題点があ
った。
Further, when semiconductor devices having different device structures and different transistor characteristics are housed in the same package, they tend to interfere with each other, causing problems such as oscillation, and cannot be packaged together. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置は、
互いに平行な第1および第2の辺を有するアイランド部
と、上記アイランド部上に搭載され、上記アイランド部
の上記第1の辺に沿って配置された第1および第2の端
子を有する半導体チップと、上記アイランド部の上記第
1の辺の中央部から上記第1の辺と垂直な方向に延在し
た第1のリードと、上記第1のリードの一方側に配置さ
れ上記アイランド部と離間して上記アイランド部の上記
第1の辺に沿って延在し上記半導体チップの上記第1の
端子に電気的に接続された第2のリードと、上記第1の
リードの他方側に配置され上記アイランド部と離間して
上記アイランド部の上記第1の辺に沿って延在し上記半
導体チップの上記第2の端子に電気的に接続された第3
のリードとを備え、それによって上記第1のリードは上
記第2および第3のリードとの間に配置されていること
を特徴としている。
According to the present invention, there is provided a semiconductor device comprising:
A semiconductor chip having an island portion having first and second sides parallel to each other, and first and second terminals mounted on the island portion and arranged along the first side of the island portion A first lead extending from a center of the first side of the island portion in a direction perpendicular to the first side; and a first lead disposed on one side of the first lead and spaced apart from the island portion A second lead extending along the first side of the island portion and electrically connected to the first terminal of the semiconductor chip; and a second lead disposed on the other side of the first lead. A third extending away from the island portion along the first side of the island portion and electrically connected to the second terminal of the semiconductor chip;
Wherein the first lead is disposed between the first and second leads and the second and third leads.

【0009】また上記半導体装置において、上記半導体
チップは上記アイランド部の上記第2の辺に沿って配置
された第3および第4の端子をさらに有し、上記アイラ
ンド部の上記第2の辺の中央部から上記第2の辺と垂直
な方向に延在した第4のリードと、上記第4のリードの
一方側に配置され上記アイランド部と離間して上記アイ
ランド部の上記第2の辺に沿って延在し上記半導体チッ
プの上記第3の端子に電気的に接続された第5のリード
と、上記第4のリードの他方側に配置され上記アイラン
ド部と離間して上記アイランド部の上記第2の辺に沿っ
て延在し上記半導体チップの上記第4の端子に電気的に
接続された第6のリードとをさらに備え、それによって
上記第4のリードは上記第5および第6のリードとの間
に配置される。
In the above-mentioned semiconductor device, the semiconductor chip further has third and fourth terminals arranged along the second side of the island portion, and the third and fourth terminals are arranged along the second side of the island portion. A fourth lead extending from a central portion in a direction perpendicular to the second side; and a fourth lead disposed on one side of the fourth lead and spaced apart from the island section on the second side of the island section. A fifth lead extending along and electrically connected to the third terminal of the semiconductor chip; and a fifth lead disposed on the other side of the fourth lead and spaced apart from the island. A sixth lead extending along a second side and electrically connected to the fourth terminal of the semiconductor chip, whereby the fourth lead is connected to the fifth and sixth terminals. It is arranged between the lead.

【0010】さらに、本発明によれば、互いに平行な第
1および第2の辺を有するアイランド部と、上記アイラ
ンド部の上記第1の辺に近接して配置され上記アイラン
ド部の上記第1の辺に沿って互いに反対の方向に延在さ
れた第1および第2のリードと、上記第1および第2の
リードの間にはさまるように上記アイランド部の上記第
1の辺と垂直な方向に上記アイランド部の上記第1の辺
の一部から導出された第3のリードと、上記アイランド
部の上記第2の辺に近接して配置され上記アイランド部
の上記第2の辺に沿って互いに反対の方向に延在された
第4および第5のリードと、上記第4および第5のリー
ドの間にはさまるように上記アイランド部の上記第1の
辺と垂直な方向に上記アイランド部の上記第2の辺の一
部から導出された第6のリードと、上記アイランド部上
に搭載され上記第1、第2、第4および第5のリードにそ
れぞれ電気的に接続された第1、第2、第3および第4の
端子を有する半導体チップとを備えた半導体装置が得ら
れる。当該半導体装置においては、上記第4および第5
のリードは上記アイランド部の上記第2の辺と垂直な方
向に曲げられ上記アイランド部の上記第2の辺と平行な
第1の部分および上記第6のリードと平行な第2の部分
をそれぞれ有することが望ましい。
Further, according to the present invention, an island portion having a first side and a second side parallel to each other, and the first portion of the island portion disposed close to the first side of the island portion. First and second leads extending in opposite directions along the side, and in a direction perpendicular to the first side of the island so as to be sandwiched between the first and second leads. A third lead derived from a part of the first side of the island portion, and a third lead disposed close to the second side of the island portion along the second side of the island portion; Fourth and fifth leads extending in opposite directions, and the first and second sides of the island portion interposed between the fourth and fifth leads in a direction perpendicular to the first side of the island portion. Derived from part of the second side A semiconductor mounted on the island portion and having first, second, third and fourth terminals electrically connected to the first, second, fourth and fifth leads, respectively; A semiconductor device including the chip is obtained. In the semiconductor device, the fourth and fifth
Is bent in a direction perpendicular to the second side of the island portion and forms a first portion parallel to the second side of the island portion and a second portion parallel to the sixth lead, respectively. It is desirable to have.

【0011】本発明の半導体パッケージは、パッケージ
した複数の半導体素子を接続して構成した回路をモジュ
ール構造とする半導体パッケージにおいて、上記半導体
パッケージにデバイス構造が同一の上記半導体素子が複
数搭載され、第1の半導体素子の第1の入力リードと第
1の出力リード、第2の半導体素子の第2の入力リード
と第2の出力リードを有し、上記第1の入力リードと上
記第2の出力リードとが上記半導体パッケージの第1の
側面側に配置され、上記第1の出力リードと上記第2の
入力リードとが上記第1の側面と対向する上記半導体パ
ッケージの第2の側面側に配置されていることを特徴と
している。
A semiconductor package according to the present invention is a semiconductor package having a module structure of a circuit formed by connecting a plurality of packaged semiconductor elements, wherein a plurality of the semiconductor elements having the same device structure are mounted on the semiconductor package. A first input lead and a first output lead of one semiconductor element, a second input lead and a second output lead of the second semiconductor element, wherein the first input lead and the second output are provided. Leads are arranged on a first side surface of the semiconductor package, and the first output lead and the second input lead are arranged on a second side surface of the semiconductor package facing the first side surface. It is characterized by being.

【0012】そして、第1の入力リードと第2の出力リ
ードとは第1の側面と平行に設置されていることが望ま
しい。
It is desirable that the first input lead and the second output lead are installed in parallel with the first side surface.

【0013】第1の入力リードと第2の出力リードとの
間及び第1の出力リードと第2の入力リードとの間に、
金属ベースに接続された設置リードをそれぞれ有するこ
とも望ましい。
[0013] Between the first input lead and the second output lead and between the first output lead and the second input lead,
It is also desirable to have each mounting lead connected to a metal base.

【0014】金属ベース上で複数の半導体素子の外周部
に絶縁体を有し、絶縁体上に第1の入力リード、第1の
出力リード、第2の入力リード、第2の出力リード、設
置リードを有し、第1の入力リードと第1の出力リード
はボンディング・ワイヤにより第1の半導体素子に接続
され、第2の入力リードと第2の出力リードはボンディ
ング・ワイヤにより第2の半導体素子に接続され、絶縁
体の内側の側壁にキャスタレーションを有し、キャスタ
レーションに金属メッキが施され、設置リードと金属ベ
ースとが金属メッキにより接続されていることも望まし
い。
An insulator is provided on the outer periphery of a plurality of semiconductor elements on a metal base, and a first input lead, a first output lead, a second input lead, a second output lead, and an installation are provided on the insulator. A first input lead and a first output lead connected to the first semiconductor device by a bonding wire; and a second input lead and a second output lead connected to the second semiconductor by a bonding wire. It is also preferable that the caster is connected to the element and has a castellation on the inner side wall of the insulator, the castellation is metal-plated, and the installation lead and the metal base are connected by metal plating.

【0015】また、金属ベース上で複数の半導体素子の
外周部に第1の絶縁体を有し、第1の絶縁体上に金属層
を有し、金属層上に第2の絶縁体を有し、第2の絶縁体
上に第1の入力リード、第1の出力リード、第2の入力
リード、第2の出力リード、第1の入力リードと第1の
出力リードはボンディング・ワイヤにより第1の半導体
素子に接続され、第2の入力リードと第2の出力リード
はボンディング・ワイヤにより第2の半導体素子に接続
され、金属層は金属ベースに接続されていることも望ま
しい。
Further, a first insulator is provided on the outer periphery of the plurality of semiconductor elements on the metal base, a metal layer is provided on the first insulator, and a second insulator is provided on the metal layer. The first input lead, the first output lead, the second input lead, the second output lead, the first input lead and the first output lead are formed on the second insulator by bonding wires. It is also preferable that the second input lead and the second output lead are connected to the second semiconductor element by a bonding wire, and the metal layer is connected to a metal base.

【0016】本発明の増幅器は、パッケージされた複数
の半導体素子をカスケード接続して構成する増幅器にお
いて、上記複数の半導体素子が同一の半導体パッケージ
に収納され、上記半導体パッケージは外部入力リード、
外部出力リード、中間入力リード及び中間出力リードを
有し、上記外部入力リードは第1の半導体素子の第1の
電極が接続され、上記中間入力リードは上記第1の半導
体素子の第2の電極が接続され、上記中間出力リードは
第2の半導体素子の第1の電極が接続され、上記外部出
力リードは上記第2の半導体素子の第2の電極が接続さ
れ、上記半導体パッケージ外において上記外部入力リー
ドは増幅器の入力段に接続され、上記中間出力リードと
上記中間入力リードとは段間回路を介して接続され、上
記外部出力リードは増幅器の出力段に接続されているこ
とを特徴としている。
An amplifier according to the present invention is an amplifier configured by cascading a plurality of packaged semiconductor elements, wherein the plurality of semiconductor elements are housed in the same semiconductor package, and the semiconductor package includes external input leads,
An external output lead, an intermediate input lead, and an intermediate output lead, wherein the external input lead is connected to a first electrode of a first semiconductor device, and the intermediate input lead is a second electrode of the first semiconductor device. The intermediate output lead is connected to the first electrode of the second semiconductor element, the external output lead is connected to the second electrode of the second semiconductor element, and the external output lead is connected to the outside of the semiconductor package. The input lead is connected to an input stage of the amplifier, the intermediate output lead and the intermediate input lead are connected via an interstage circuit, and the external output lead is connected to an output stage of the amplifier. .

【0017】更に入力段、段間回路及び出力段はモジュ
ール基板上に有し、半導体パッケージはモジュール基板
上に搭載されているのが好ましい。
Further, it is preferable that the input stage, the interstage circuit, and the output stage are provided on a module substrate, and the semiconductor package is mounted on the module substrate.

【0018】上記第1の半導体素子の第3の電極及び第
2の半導体素子の第3の電極は共通接地され、第1及び
第2の半導体素子の第1及び第2の電極は半導体パッケ
ージ内においてはそれぞれ電気的に接続されていないこ
とがより好ましい。
The third electrode of the first semiconductor element and the third electrode of the second semiconductor element are commonly grounded, and the first and second electrodes of the first and second semiconductor elements are located inside a semiconductor package. Are more preferably not electrically connected to each other.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】本発明の第1の実施の形態例を図
1に示す。図1(a)は平面図、(b)は(a)のA−
A′,B−B′における断面図および側面図、(c)は
(a)のC−C′,D−D′における断面図および側面
図である。
FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view, and FIG.
FIGS. 3A and 3B are a cross-sectional view and a side view at A ′ and BB ′, respectively, and FIG. 3C is a cross-sectional view and a side view at CC ′ and DD ′ in FIG.

【0020】第1の実施の形態例では、放熱するための
0.4mm厚の銅又は他の導電体ベース1上にGaAs
FETチップ2をマウントし、中心部分をくり抜いた
セラミック基板(Al2 O3 等)4 を設置、その(Al
2 O3 又はその他の材質からなるセラミック基板4上に
入出力リード5,6,7,8(銅又は他の導電体からな
る)をロー付けしている。リードはT型が好ましく、
0.1〜0.2mmの厚さとする。先端の長さは0.3
mmでリード5と8及びリード6と7はそれぞれ1.5
〜2.0mm離れることが好ましい。
In the first embodiment, GaAs is formed on a 0.4 mm thick copper or other conductor base 1 for heat dissipation.
The FET chip 2 is mounted, and a ceramic substrate (Al2 O3, etc.) 4 whose center is hollowed out is installed.
Input / output leads 5, 6, 7, 8 (made of copper or another conductor) are brazed on a ceramic substrate 4 made of 2 O3 or another material. The lead is preferably T-shaped,
The thickness is 0.1 to 0.2 mm. Tip length is 0.3
mm and leads 5 and 8 and leads 6 and 7 are 1.5
It is preferable to be apart by ~ 2.0 mm.

【0021】図1の様に高周波用パッケージに2つの高
出力GaAs FETチップ2を収納し、2段カスケー
ドアンプを形成する場合、初段GaAs FET2のゲ
ート端子と外部入力リード5、初段GaAs FET2
のドレイン端子と中間出力リード6、終段GaAs F
ET3のゲート端子と中間入力リード7、終段FET3
のドレイン端子と外部出力リード8をそれぞれ金のボン
ディング・ワイヤー9で接続する。初段GaAs FE
T2、終段GaAs FET3のソース端子はそれぞれ
のチップの側面メタライズ部分、裏面メタライズ部分を
介して、銅ベース1に接続、接地している。中間出力リ
ード6と中間入力リード7を高周波用パッケージの同一
辺に設置し、互いに平行配置になっているには理由があ
る。携帯電話の送信段に使用される2段カスケード接続
の高出力増幅器モジュールでは、図5に示す等価回路図
が表わす様に、2つのGaAs FETのそれぞれの入
出力にインピーダンス整合回路が形成されている。特に
初段FET2のドレイン(中間出力)と終段FET3の
ゲート(中間入力)の間の整合回路は段間回路と呼ば
れ、段間回路を含んだ高出力増幅器モジュール全体を高
集積、小型化するためには、図4が示す様に中間出力リ
ード6と中間入力リード7を同一辺に設置し、互いに平
行配置とするのが最も効率が良い。さらにパッケージの
リードフレームは上下左右対称にリード配置されたもの
のほうが作り易く、生産性が向上するので、外部入力リ
ード5と外部出力リード8も高周波パッケージの同一辺
(中間出力リード6、中間入力リード7とは反対側の
辺)に設置し、互いに平行配置としている。
When two high-output GaAs FET chips 2 are housed in a high-frequency package as shown in FIG. 1 to form a two-stage cascade amplifier, the gate terminal and external input lead 5 of the first-stage GaAs FET 2 and the first-stage GaAs FET 2
Terminal and intermediate output lead 6, final GaAs F
Gate terminal of ET3, intermediate input lead 7, final stage FET3
And the external output lead 8 are connected by gold bonding wires 9, respectively. First-stage GaAs FE
At T2, the source terminal of the last-stage GaAs FET 3 is connected to the copper base 1 and grounded via the side metallized portion and the back metallized portion of each chip. There is a reason that the intermediate output lead 6 and the intermediate input lead 7 are arranged on the same side of the high frequency package and are arranged in parallel with each other. In a two-stage cascade-connected high-power amplifier module used in a transmission stage of a mobile phone, an impedance matching circuit is formed at each input and output of two GaAs FETs as shown in the equivalent circuit diagram of FIG. . In particular, a matching circuit between the drain (intermediate output) of the first-stage FET 2 and the gate (intermediate input) of the last-stage FET 3 is called an inter-stage circuit, and highly integrates and miniaturizes the entire high-output amplifier module including the inter-stage circuit. For this purpose, it is most efficient to arrange the intermediate output lead 6 and the intermediate input lead 7 on the same side as shown in FIG. Furthermore, since the package lead frame is easier to make when the leads are arranged symmetrically in the vertical and horizontal directions, and the productivity is improved, the external input lead 5 and the external output lead 8 are also placed on the same side of the high frequency package (the intermediate output lead 6, the intermediate input lead). 7), and are arranged in parallel with each other.

【0022】次に本願発明の増幅器について説明する。
図5は本願発明の増幅器の第1の実施例を示す回路図で
ある。
Next, the amplifier of the present invention will be described.
FIG. 5 is a circuit diagram showing a first embodiment of the amplifier according to the present invention.

【0023】抵抗R1に入力端子が接続され、R1は、
キャパシタC1及びC2に接続され、C1は他端が接地
されている。C2の他端は初段GaAs FET2の外
部入力リード5、R2、及びR3と接続され、R3はR
4及びC3に接続されている。R3及びC3は並列にグ
ランド接地されている。R2は他端が、一端が接地され
たC7、一端が接点Dに接続されたR5及びVGGと接
続されている。
An input terminal is connected to the resistor R1, and R1 is
The other ends of the capacitors C1 and C2 are grounded. The other end of C2 is connected to the external input leads 5, R2, and R3 of the first-stage GaAs FET 2, and R3 is R
4 and C3. R3 and C3 are grounded in parallel. The other end of R2 is connected to C7, one end of which is grounded, and R5 and VGG, one end of which is connected to contact D.

【0024】R1〜R7は例えば、5.1Ω、1000
Ω、510Ω、150Ω、1000Ω、510Ω、15
0Ωに設定され、C1〜C14は6pF、15pF、1
000pF、2pF、8pF、15pF、1000p
F、1000pF、56pF、1pF、1pF、12p
F、4pF、4pFに設定される。
R1 to R7 are, for example, 5.1Ω, 1000
Ω, 510Ω, 150Ω, 1000Ω, 510Ω, 15
0 Ω, C1 to C14 are 6 pF, 15 pF, 1
000pF, 2pF, 8pF, 15pF, 1000p
F, 1000pF, 56pF, 1pF, 1pF, 12p
F, 4 pF, and 4 pF.

【0025】初段GaAs FET2のソース端子は接
地され、中間出力リード6は接点Aを通ってC5の一端
と接続されている。接点Aにおいては、一方が接地され
たC4と接点Bとが更に中間出力リード6に接続されて
いる。接点Bには、一方が接地されたC3とVDD1と
が接続されている。
The source terminal of the first-stage GaAs FET 2 is grounded, and the intermediate output lead 6 is connected to one end of C5 through the contact A. At the contact A, the C4, one of which is grounded, and the contact B are further connected to the intermediate output lead 6. The contact B is connected to C3 and VDD1, one of which is grounded.

【0026】C5の他端は接点C、接点Dを通り終段G
aAs FET3の中間入力リード7と接続されてる。
接点Cには、一端が接地されたC6が接続され、接点D
には、R6の一端が接続され、R6の他端はR7及びC
8の一端と接続されている。R7及びC8の他端はそれ
ぞれ接地されている。
The other end of C5 passes through the contacts C and D and the final stage G
aAs Connected to the intermediate input lead 7 of the FET 3.
The contact C is connected to C6, one end of which is grounded.
Is connected to one end of R6, and the other end of R6 is connected to R7 and C
8 is connected to one end. The other ends of R7 and C8 are each grounded.

【0027】終段GaAs FET3のソース端子は接
地され、外部出力リード8は接点E、Fを通ってC12
の一端と接続される。接点Eには一端が接地されたC1
0とC9の一端が接続され、C9の他端は接地電位及び
VDD2に接続されている。接点Fには一端が接地され
たC11が接続されている。
The source terminal of the last-stage GaAs FET 3 is grounded, and the external output lead 8 is connected through the contacts E and F to C12.
Is connected to one end. C1 with one end grounded to contact E
0 and one end of C9 are connected, and the other end of C9 is connected to the ground potential and VDD2. C11, one end of which is grounded, is connected to the contact F.

【0028】C12の他端は接点G、Hを通り、出力端
子と接続され、接点Gには一端が接地されたC13が接
続され、接点Hには一端が接地されたC14が接続され
ている。
The other end of C12 passes through the contacts G and H and is connected to the output terminal. The contact G is connected to C13 having one end grounded, and the contact H is connected to C14 having one end grounded. .

【0029】この時、破線で囲まれた初段GaAs F
ETおよび終段GaAs FETは同一のデバイス構造
からなり、同一のトランジスタ特性を有する。同一のト
ランジスタ特性を有するため、互いに干渉することが無
く、同一のパッケージに収納することが可能となった。
その結果、コストが低減し、パッケージ及び増幅器全体
の小型化が可能となる。
At this time, the first-stage GaAs F surrounded by a broken line
The ET and the last-stage GaAs FET have the same device structure and have the same transistor characteristics. Since they have the same transistor characteristics, they can be housed in the same package without interfering with each other.
As a result, the cost is reduced, and the size of the package and the entire amplifier can be reduced.

【0030】即ち、多段構造の増幅器において、複数の
FETを同一のパッケージに収納し、パッケージの外部
入力リードは増幅器の入力段と接続し、パッケージの中
間出力リード及び中間入力リード間には段間回路を接続
し、パッケージの外部出力リードには増幅器の出力段と
接続すれば、小型化が可能となる。この時、入力段、段
間回路、出力段をモジュール基板上に形成し、そこにF
ETのパッケージを組み込めば、更に小型化が可能とな
る。
That is, in a multi-stage amplifier, a plurality of FETs are housed in the same package, the external input lead of the package is connected to the input stage of the amplifier, and the intermediate output lead and the intermediate input lead of the package are interstage. If a circuit is connected and the external output lead of the package is connected to the output stage of the amplifier, the size can be reduced. At this time, an input stage, an interstage circuit, and an output stage are formed on a module substrate, and F
If the ET package is incorporated, further miniaturization becomes possible.

【0031】図6(a)〜(c)は、図1(a)〜
(c)の構造を樹脂20でモールドした後の構造を示し
ている。樹脂20はエポキシその他の熱硬化性樹脂を用
いる。
FIGS. 6A to 6C show FIGS.
FIG. 3C shows a structure after the structure of FIG. The resin 20 uses an epoxy or other thermosetting resin.

【0032】高周波用パッケージにおける外部入力リー
ド5と外部出力リード8間のアイソレーションの周波数
特性を図4に示す。周波数0.5GHz以上の高周波信
号ではアイソレーションは−33dB以上となり、低出
力(0.1W以下程度)の増幅器では使用可能だが、携
帯電話の送信段に使用される様な高出力増幅器(1.5
W以上)では、外部入出力のアイソレーションは−38
dB以下を確保しなければならず、それより大きいアイ
ソレーション2では出力リードから入力リードへの負帰
還が発生し、安定性は増すが、利得は低下する結果とな
る。従って周波数帯1.5GHz付近を使用する国内デ
ジタル携帯電話システムの高出力増幅器には、あまり適
しているとは言えない。
FIG. 4 shows the frequency characteristics of the isolation between the external input lead 5 and the external output lead 8 in the high-frequency package. For a high-frequency signal with a frequency of 0.5 GHz or more, the isolation becomes -33 dB or more, and it can be used with a low-output (about 0.1 W or less) amplifier, but a high-output amplifier (1. 5
W or more), the external input / output isolation is -38.
In the case of the isolation 2 larger than dB, negative feedback occurs from the output lead to the input lead, and the stability is increased, but the gain is reduced. Therefore, it cannot be said that it is very suitable for a high-output amplifier of a domestic digital cellular phone system using a frequency band around 1.5 GHz.

【0033】入出力リード間のアイソレーションが劣化
する原因は、外部入力リード5と外部出力リード8が相
対して平行に配置されている部分が長く、そこにそれぞ
れに伝幡方向が逆になった高周波信号が伝送線路を通過
する際発生する磁界同士て結合し易くなっているからで
ある。磁界結合が発生しなければアイソレーションの劣
化は生じない。磁界結合は入出力リード間の距離を大き
くとれば弱まるが、高周波用パッケージの小型化とは相
反する。
The reason why the isolation between the input and output leads is deteriorated is that the portion where the external input lead 5 and the external output lead 8 are arranged in parallel to each other is long, and the propagation direction is reversed in each portion. This is because the magnetic fields generated when the high-frequency signal passes through the transmission line are easily coupled to each other. If the magnetic field coupling does not occur, the isolation does not deteriorate. The magnetic field coupling is weakened by increasing the distance between the input and output leads, but it is contrary to the downsizing of the high frequency package.

【0034】次に、本発明の第2の実施の形態例につい
て図面を参照して詳細に説明する。図2は本発明の第2
の実施の形態例を表わしているプラスチックパッケージ
用のリードフレームである。初段、終段2つのFETを
1つのチップ上に配置したGaAs FETチップ10
をアイランド部11に載せたリードフレームであり、ア
イランド部11の下は放熱特性を良くするため銅等の導
電体からなるヒートシンク13が設置されている。第2
の実施例の特徴は外部入力リード5と外部出力リード8
が相対して平行になる部分を極力小さくなる様に配置し
ていることである。すなわち、高周波用パッケージの外
形の一辺にその辺と平行になる様に外部入力リード5を
設置し、又同一辺に外部出力リード8をやはりその辺と
平行に配置している。これにより、入出力リードから発
生する磁界が結合する面積は最小となり、磁界結合によ
るアイソレーションの劣化は防止できる。入出力リード
の幅は0.2〜0.4mmであり、1.5mm以上の距
離をおいて設置している。さらに外部入力リード5と外
部出力リード8に接続されたボンディング・ワイヤー9
同士の磁界結合を防止するために、外部入力リード5と
外部出力リード8の間に接地リード12を設置してい
る。接地リード12はアイランド部11と電気的に接続
されており、GaAs FETチップ10の2つのFE
Tのソース端子はチップ側面、裏面のメタライズ層によ
ってアイランド部11と接続しているため、接地リード
12自体がソース端子となっている。接地リード12の
幅は0.2〜0.4mmで、リード5,8とは約0.5
mm離れている。図2のリードフレームでは、GaAs
FETチップ10をマウント・ボンディングした後、
トランスファーモールディングによって最終的にプラス
チックパッケージとなる(図7(a)〜(c))。
Next, a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention.
1 is a lead frame for a plastic package showing an embodiment of the present invention. GaAs FET chip 10 in which two FETs at the first and last stages are arranged on one chip
Is mounted on the island portion 11, and a heat sink 13 made of a conductor such as copper is provided below the island portion 11 in order to improve heat radiation characteristics. Second
The feature of this embodiment is that the external input lead 5 and the external output lead 8
Are arranged so that the portions that are parallel to each other are as small as possible. That is, the external input lead 5 is arranged on one side of the outer shape of the high-frequency package so as to be parallel to the side, and the external output lead 8 is also arranged on the same side in parallel with the side. As a result, the area where the magnetic field generated from the input / output leads is coupled is minimized, and the deterioration of isolation due to the magnetic field coupling can be prevented. The width of the input / output lead is 0.2 to 0.4 mm, and is installed at a distance of 1.5 mm or more. Further, a bonding wire 9 connected to the external input lead 5 and the external output lead 8
A ground lead 12 is provided between the external input lead 5 and the external output lead 8 in order to prevent magnetic field coupling between them. The ground lead 12 is electrically connected to the island portion 11 and has two FEs of the GaAs FET chip 10.
Since the source terminal of T is connected to the island portion 11 by the metallized layers on the side and back surfaces of the chip, the ground lead 12 itself is the source terminal. The width of the grounding lead 12 is 0.2 to 0.4 mm, and is approximately 0.5
mm apart. In the lead frame of FIG.
After mounting and bonding the FET chip 10,
Finally, a plastic package is obtained by transfer molding (FIGS. 7A to 7C).

【0035】数回の試行実験の結果、1.5GHzの高
周波信号を増幅する際、入出力間のアイソレーション−
40dBを確保するためには、外部入力リード5と外部
出力リード8の間の距離14は1.5mm、ヒートシン
クの高さ15は0.6mm以下であることが必要と判明
した。
As a result of several trials, when amplifying a high frequency signal of 1.5 GHz, the isolation between input and output was reduced.
In order to secure 40 dB, it has been found that the distance 14 between the external input lead 5 and the external output lead 8 needs to be 1.5 mm and the height 15 of the heat sink needs to be 0.6 mm or less.

【0036】図2に示す本発明の第2の実施の形態例を
使用した高周波用パッケージにおいて、外部入力リード
5と外部出力リード8間のアイソレーションの周波数特
性を図4に示す。第2の実施の形態例では周波数1.5
GHz以上で−40dB程度のアイソレーションが確保
されている。1.5W以上の出力を有する高出力増幅器
では、入出力リード間のアイソレーションは−38dB
以上あれば所望の利得(20dB以上)が得られるた
め、本発明の第2の実施の形態例を使用すれば、充分実
用可能な高出力増幅器用の高周波用パッケージが形成可
能となる。
FIG. 4 shows the frequency characteristics of the isolation between the external input lead 5 and the external output lead 8 in the high frequency package using the second embodiment of the present invention shown in FIG. In the second embodiment, the frequency is 1.5
An isolation of about −40 dB is ensured at GHz or higher. In a high power amplifier having an output of 1.5 W or more, the isolation between the input and output leads is −38 dB.
With the above, a desired gain (20 dB or more) can be obtained. Therefore, if the second embodiment of the present invention is used, a sufficiently practical high-frequency amplifier package for a high-output amplifier can be formed.

【0037】なお、図2に示す第2の実施の形態例のア
イソレーション周波数特性は、ヒートシンク高さ15が
0.6mmの場合の結果であるが、このヒートシンク高
さ15をさらに小さくすることでアイソレーションはよ
り向上することを確認している。その理由は、ヒートシ
ンク高さ15を小さくすることで、接地面が近くなり、
ボンディング・ワイヤー9から発生する磁力線が接地面
で終端され易くなって、磁界結合が発生しにくくなるか
らである。
The isolation frequency characteristic of the second embodiment shown in FIG. 2 is a result when the heat sink height 15 is 0.6 mm, but by further reducing the heat sink height 15. It has been confirmed that the isolation is further improved. The reason is that by reducing the heat sink height 15, the ground plane becomes closer,
This is because the lines of magnetic force generated from the bonding wires 9 are easily terminated at the ground plane, and magnetic field coupling is less likely to occur.

【0038】次に、本発明の第3の実施の形態例につい
て図面を参照して説明する。図3は本発明の第3の実施
の形態例を示すセラミックパッケージの構造図である。
初段、終段2つのFETを1つのチップ上に配置したG
aAs FETチップ10をマウントし、放熱するため
の銅ベース1上にその中心部分をくり抜いたセラミック
板(Al2 O3 )16,17を設置し、そのセラミック
板16上に入出力リード5〜8をロー付けしている。外
部入力リード5と外部出力リード8の配置は本発明の第
1の実施の形態例と同じで、セラミック板16の一辺に
その辺と平行になる様に外部入力リード5を設置し、又
同一辺に外部出力リード8をやはりその辺と平行に配置
する。さらに外部入力リード5と外部出力リード8の間
に接地リード12を設置している。接地リード12はセ
ラミック板16,17に設けられたキャスタレーション
18の側壁部の金メッキ部分を介して、銅ベース1と電
気的に接続されている。又セラミック板は厚さ0.2m
mの上層16と同じく0.2mmの厚さの下層17の2
層構造となっており、セラミック板上層16と下層17
の間には銀・銅ロー材19を一面に塗布して接着してお
り、その銀・銅ロー材19はキャスタレーション18の
側面金メッキ部分を通して銅ベース1と電気的に接続さ
れている。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a structural diagram of a ceramic package showing a third embodiment of the present invention.
G in which two FETs in the first and last stages are arranged on one chip
aAs FET chip 10 is mounted, and ceramic plates (Al2 O3) 16 and 17 whose central portions are hollowed out are placed on a copper base 1 for radiating heat. I have attached. The arrangement of the external input lead 5 and the external output lead 8 is the same as that of the first embodiment of the present invention, and the external input lead 5 is installed on one side of the ceramic plate 16 so as to be parallel to the side. External output leads 8 are also arranged on the side in parallel with the side. Further, a ground lead 12 is provided between the external input lead 5 and the external output lead 8. The ground lead 12 is electrically connected to the copper base 1 via gold-plated portions on the side walls of the castellations 18 provided on the ceramic plates 16 and 17. The ceramic plate is 0.2m thick
2 of the lower layer 17 having the same thickness of 0.2 mm as the upper layer 16
The ceramic plate has an upper layer 16 and a lower layer 17
A silver / copper brazing material 19 is applied to and adhered to one surface between them, and the silver / copper brazing material 19 is electrically connected to the copper base 1 through a side gold-plated portion of the castellation 18.

【0039】図8(a)〜(c)は図3(a)〜(c)
の樹脂モールド後の構造を示す。樹脂20はエポキシ等
の熱硬化性樹脂を用いる。
FIGS. 8A to 8C show FIGS. 3A to 3C.
2 shows the structure after resin molding. As the resin 20, a thermosetting resin such as epoxy is used.

【0040】本例2ではキャスタレーション18の側壁
が銅ベース1と電気的に接続されているため接地状態と
なっている。又セラミック板16,17の中間にやはり
銅ベース1と電気的に接続された銀・銅ロー材面19が
あり、これも接地面となっている。これらにより、ボン
ディング・ワイヤー9及び外部入力リード5、外部出力
リード8から放出される磁力線は本発明の第1の実施の
形態例よりもさらに多く終端される。従って磁界結合も
より効果的に防止されるため、実施例1よりも入出力リ
ードのアイソレーションの劣化は抑止される。
In the second embodiment, since the side wall of the castellation 18 is electrically connected to the copper base 1, it is in a ground state. Further, a silver / copper brazing material surface 19 electrically connected to the copper base 1 is also provided between the ceramic plates 16 and 17 and also serves as a grounding surface. As a result, the lines of magnetic force emitted from the bonding wire 9, the external input lead 5, and the external output lead 8 are terminated more than in the first embodiment of the present invention. Accordingly, the magnetic field coupling is more effectively prevented, so that the deterioration of the isolation of the input / output lead is suppressed as compared with the first embodiment.

【0041】第3の実施の形態例を使用した高周波用パ
ッケージにおける入出力リード間のアイソレーション周
波数特性を図4に示す。周波数1.5GHzでアイソレ
ーション−50dbが得られており、第1の実施の形態
例よりもさらにアイソレーションは改善されている。
FIG. 4 shows the isolation frequency characteristics between the input and output leads in the high-frequency package using the third embodiment. Isolation of -50 db is obtained at a frequency of 1.5 GHz, and the isolation is further improved as compared with the first embodiment.

【0042】図9(a),(b)は本発明による高出力
アンプモジュールを示す平面図及び断面図である。端子
22,23(VGG),24(VDD1 ),25(VDD2
),26が引き出され、放熱板27がプリント回路基
板28の裏面に形成されている。半導体パッケージ29
には、本発明によるGaAs FETパッケージが搭載
されている。
FIGS. 9A and 9B are a plan view and a sectional view showing a high-output amplifier module according to the present invention. Terminals 22, 23 (VGG), 24 (VDD1), 25 (VDD2)
) And 26 are drawn out, and a heat sink 27 is formed on the back surface of the printed circuit board 28. Semiconductor package 29
Is mounted with a GaAs FET package according to the present invention.

【0043】[0043]

【発明の効果】第1の効果は、半導体パッケージ及び増
幅器の小型化、低コスト化が可能となることである。
The first effect is that the semiconductor package and the amplifier can be reduced in size and cost.

【0044】また、リード配置により、磁界結合による
入出力間のアイソレーションの劣化を防止することがで
きることである。これにより高出力増幅器の利得の低下
を抑止できるようになる。
Another advantage is that the lead arrangement can prevent deterioration of isolation between input and output due to magnetic field coupling. As a result, a decrease in the gain of the high-output amplifier can be suppressed.

【0045】その理由は、外部入力リードと外部出力リ
ードが相対して平行になる部分を極力最小となる柾に、
リード配置を工夫しているからである。又、磁力線を終
端する様に、接地面、接地部分を設置している。
The reason is that the part where the external input lead and the external output lead are parallel to each other is changed to
This is because the lead arrangement is devised. In addition, a ground plane and a ground part are provided so as to terminate the lines of magnetic force.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態例を示す構造図であ
り、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A′におけ
る断面図及びB−B′における側面図、(c)は(a)
のC−C′における断面図及びD−D′における側面図
である。
FIGS. 1A and 1B are structural views showing a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a plan view, FIG. 1B is a sectional view taken along line AA ′ of FIG. Figure, (c) is (a)
3A and 3B are a sectional view taken along the line CC ′ and a side view taken along the line DD ′.

【図2】本発明の第2の実施の形態例を示す構造図であ
り、(a)は平面図、(b),(c)はヒートシンク部
分のモデル断面図である。
FIGS. 2A and 2B are structural views showing a second embodiment of the present invention, wherein FIG. 2A is a plan view, and FIGS. 2B and 2C are model sectional views of a heat sink portion.

【図3】本発明の第3の実施の形態例を示す構造図であ
り、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A′におけ
る断面図及びB−B′における側面図、(c)は(a)
のC−C′における断面図及びD−D′における側面図
である。
3A and 3B are structural views showing a third embodiment of the present invention, in which FIG. 3A is a plan view, FIG. 3B is a sectional view taken along line AA ′ of FIG. Figure, (c) is (a)
3A and 3B are a sectional view taken along the line CC ′ and a side view taken along the line DD ′.

【図4】本発明の第1,2,3の実施の形態例における
入出力アイソレーション周波数特性を示すグラフであ
る。
FIG. 4 is a graph showing input / output isolation frequency characteristics in the first, second, and third embodiments of the present invention.

【図5】本発明の携帯電話送信段用高出力増幅器の回路
図である。
FIG. 5 is a circuit diagram of a high-output amplifier for a mobile phone transmission stage according to the present invention.

【図6】図1のパッケージを樹脂モールドした後の構造
を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA
−A′における断面図及びB−B′における側面図、
(c)は(a)のC−C′における断面図及びD−D′
における側面図である。
FIGS. 6A and 6B are diagrams showing a structure after resin molding of the package of FIG. 1, wherein FIG. 6A is a plan view and FIG.
A sectional view at -A 'and a side view at BB';
(C) is a cross-sectional view taken along CC ′ of (a) and DD ′.
FIG.

【図7】図2のパッケージを樹脂モールドした後の構造
を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA
−A′における断面図及びB−B′における側面図、
(c)は(a)のC−C′における断面図及びD−D′
における側面図である。
FIGS. 7A and 7B are diagrams showing a structure after resin molding of the package of FIG. 2, wherein FIG. 7A is a plan view and FIG.
A sectional view at -A 'and a side view at BB';
(C) is a cross-sectional view taken along CC ′ of (a) and DD ′.
FIG.

【図8】図3のパッケージを樹脂モールドした後の構造
を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA
−A′における断面図及びB−B′における側面図、
(c)は(a)のC−C′における断面図及びD−D′
における側面図である。
FIGS. 8A and 8B are views showing a structure after the package of FIG. 3 is resin-molded, wherein FIG. 8A is a plan view and FIG.
A sectional view at -A 'and a side view at BB';
(C) is a cross-sectional view taken along CC ′ of (a) and DD ′.
FIG.

【図9】本発明による高出力アンプモジュールを示す
(a)平面図、(b)断面図である。
9A is a plan view and FIG. 9B is a sectional view showing a high-output amplifier module according to the present invention.

【図10】従来のGaAs FETパッケージを示す平
面図である。
FIG. 10 is a plan view showing a conventional GaAs FET package.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 銅ベース 2 初段GaAs FETチップ 3 終段GaAs FETチップ 4 セラミック板 5 外部入力リード 6 中間出力リード 7 中間入力リード 8 外部出力リード 9 ボンディング・ワイヤー 10 GaAs FETチップ 11 アイランド部 12 接地リード 13 ヒートシンク 14 入出力リード間距離 15 ヒートシンク高さ 16 上層セラミック板 17 下層セラミック板 18 キャスタレーション 19 銀・銅ロー材 R1〜R7 抵抗 C1〜C14 コンデンサ A〜G 接点 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Copper base 2 First stage GaAs FET chip 3 Final stage GaAs FET chip 4 Ceramic plate 5 External input lead 6 Intermediate output lead 7 Intermediate input lead 8 External output lead 9 Bonding wire 10 GaAs FET chip 11 Island part 12 Ground lead 13 Heat sink 14 Distance between input and output leads 15 Heat sink height 16 Upper ceramic plate 17 Lower ceramic plate 18 Castellation 19 Silver / copper brazing material R1 to R7 Resistance C1 to C14 Capacitor A to G Contact

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 互いに平行な第1および第2の辺を有す
るアイランド部と、前記アイランド部上に搭載され、前
記アイランド部の前記第1の辺に沿って配置された第1
および第2の端子を有する半導体チップと、前記アイラ
ンド部の前記第1の辺の中央部から前記第1の辺と垂直
な方向に延在した第1のリードと、前記第1のリードの
一方側に配置され前記アイランド部と離間して前記アイ
ランド部の前記第1の辺に沿って延在し前記半導体チッ
プの前記第1の端子に電気的に接続された第2のリード
と、前記第1のリードの他方側に配置され前記アイラン
ド部と離間して前記アイランド部の前記第1の辺に沿っ
て延在し前記半導体チップの前記第2の端子に電気的に
接続された第3のリードとを備え、それによって前記第
1のリードは前記第2および第3のリードとの間に配置
されていることを特徴とする半導体装置。
A first side and a second side parallel to each other;
An island portion, mounted on the island portion,
A first portion arranged along the first side of the island portion;
Semiconductor chip having a first terminal and a second terminal;
Perpendicular to the first side from the center of the first side of the
A first lead extending in a predetermined direction;
The eye is arranged on one side and separated from the island portion.
The semiconductor chip extends along the first side of the land portion.
A second lead electrically connected to the first terminal of the
And the island disposed on the other side of the first lead.
Along the first side of the island portion apart from the island portion
Extending to electrically connect to the second terminal of the semiconductor chip.
A third lead connected thereto, whereby the third lead
The first lead is disposed between the second and third leads.
A semiconductor device characterized by being performed.
【請求項2】 前記半導体チップは前記アイランド部の
前記第2の辺に沿って配置された第3および第4の端子
をさらに有し、前記アイランド部の前記第2の辺の中央
部から前記第2の辺と垂直な方向に延在した第4のリー
ドと、前記第4のリードの一方側に配置され前記アイラ
ンド部と離間して前記アイランド部の前記第2の辺に沿
って延在し前記半導体チップの前記第3の端子に電気的
に接続された第5のリードと、前記第4のリードの他方
側に配置され前記アイランド部と離間して前記アイラン
ド部の前記第2の辺に沿って延在し前記半導体チップの
前記第4の端子に電気的に接続された第6のリードとを
さらに備え、それによって前記第4のリードは前記第5
および第6のリードとの間に配置されていることを特徴
とする請求項1記載の半導体装置。
2. The semiconductor chip according to claim 1, wherein
Third and fourth terminals arranged along the second side
And a center of the second side of the island portion.
A fourth lead extending from the portion in a direction perpendicular to the second side.
And the air switch disposed on one side of the fourth lead.
Along the second side of the island portion away from the land portion.
Extending to the third terminal of the semiconductor chip.
And the other of the fourth lead
Side and the island part
Extending along the second side of the semiconductor chip,
A sixth lead electrically connected to the fourth terminal;
Further comprising: the fourth lead is connected to the fifth lead.
And a sixth lead.
2. The semiconductor device according to claim 1, wherein
【請求項3】 互いに平行な第1および第2の辺を有す
るアイランド部と、前記アイランド部の前記第1の辺に
近接し一直線をなして配置され前記アイランド部の前記
第1の辺に沿って互いに反対の方向に延在された第1お
よび第2のリードと、前記第1および第2のリードの間
にはさまるように前記アイランド部の前記第1の辺と垂
直な方向に前記アイランド部の前記第1の辺の一部から
導出された第3のリードと、前記アイランド部の前記第
2の辺に近接し一直線をなして配置され前記アイランド
部の前記第2の辺に沿って互いに反対の方向 に延在され
た第4および第5のリードと、前記第4および第5のリ
ードの間にはさまるように前記アイランド部の前記第1
の辺と垂直な方向に前記アイランド部の前記第2の辺の
一部から導出された第6のリードと、前記アイランド部
上に搭載され前記第1 第2 第4および第5のリードに
それぞれ電気的に接続された第1 第2 第3および第4
の端子を有する半導体チップとを備えたことを特徴とす
る半導体装置
3. It has first and second sides parallel to each other.
The island portion and the first side of the island portion
It is arranged in a straight line close to the
A first and a second side extending in opposite directions along the first side;
Between the first and second leads and the first and second leads
The first side of the island portion so as to sandwich
From a part of the first side of the island portion in a straight direction
A third lead that is derived and the third lead of the island portion.
The island is arranged in a straight line adjacent to side 2
Extending in opposite directions along the second side of the portion
The fourth and fifth leads and the fourth and fifth leads
The first portion of the island portion is sandwiched between
Of the second side of the island portion in a direction perpendicular to the side of
A sixth lead derived from a part thereof and the island portion
Mounted on the first , second , fourth and fifth leads
First , second , third and fourth respectively electrically connected
A semiconductor chip having terminals of
Semiconductor device .
【請求項4】 前記第4および第5のリードは前記アイ
ランド部の前記第2の辺と垂直な方向に曲げられ前記ア
イランド部の前記第2の辺と平行な第1の部分および前
記第6のリードと平行な第2の部分をそれぞれ有するこ
とを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
4. The apparatus according to claim 1, wherein the fourth and fifth leads are connected to the eye.
Bent in the direction perpendicular to the second side of the land,
A first portion of the land portion parallel to the second side and a front portion;
The second lead has a second portion parallel to the sixth lead.
4. The semiconductor device according to claim 3, wherein:
【請求項5】 パッケージした複数の半導体素子を接続
して構成した回路をモジュール構造とする半導体パッケ
ージにおいて、前記半導体パッケージにデバイス構造が
同一の前記半導体素子が複数搭載され、第1の半導体素
子の第1の入力リードと第1の出力リード、第2の半導
体素子の第2の入力リードと第2の出力リードを有し、
前記第1の入力リードと前記第2の出力リードとが前記
半導体パッケージの第1の側面側に配置され、前記第1
の出力リードと前記第2の入力リードとが前記第1の側
面と対向する前記半導体パッケージの第2の側面側に配
置されていることを特徴とする半導体パッケージ。
5. A plurality of packaged semiconductor elements are connected.
Package with module structure
The semiconductor package has a device structure.
A plurality of the same semiconductor elements are mounted, and the semiconductor device includes a first input lead and a first output lead of a first semiconductor element, a second input lead and a second output lead of a second semiconductor element,
The first input lead and the second output lead are arranged on a first side surface of the semiconductor package, and the first input lead and the second output lead
Wherein the output lead and the second input lead are disposed on a second side surface of the semiconductor package opposite to the first side surface.
【請求項6】 前記第1の入力リードと前記第2の出力
リードとが前記第1の側面と平行に設置されていること
を特徴とする請求項5記載の半導体パッケージ。
6. The semiconductor package according to claim 5, wherein said first input lead and said second output lead are installed in parallel with said first side surface.
【請求項7】 前記第1の入力リードと前記第2の出力
リードとの間及び前記第1の出力リードと前記第2の入
力リードとの間に、接地リードをそれぞれ有することを
特徴とする請求項5記載の半導体パッケージ。
7. A ground lead is provided between the first input lead and the second output lead and between the first output lead and the second input lead. The semiconductor package according to claim 5.
【請求項8】 金属ベース上で前記複数の半導体素子の
外周部に絶縁体を有し、前記絶縁体上に前記第1の入力
リード、前記第1の出力リード、前記第2の入力リー
ド、前記第2の出力リード、前記設置リードを有し、前
記第1の入力リードと前記第1の出力リードはボンディ
ング・ワイヤーにより前記第1の半導体素子に接続さ
れ、前記第2の入力リードと前記第2の出力リードはボ
ンディング・ワイヤーにより前記第2の半導体素子に接
続され、前記絶縁体の内側の側壁にキャスタレーション
を有し、前記キャスタレーションに金属メッキが施さ
れ、前記設置リードと前記金属ベースとが前記金属メッ
キにより接続されていることを特徴とする請求項5記載
の半導体パッケージ。
8. A semiconductor device comprising: an insulator on a metal base at an outer peripheral portion of the plurality of semiconductor elements; and a first input lead, a first output lead, and a second input lead on the insulator. The second input lead and the installation lead, wherein the first input lead and the first output lead are connected to the first semiconductor element by a bonding wire; A second output lead is connected to the second semiconductor element by a bonding wire, has a castellation on an inner side wall of the insulator, and the castellation is metal-plated, and the mounting lead and the metal 6. The semiconductor package according to claim 5, wherein said base is connected to said base by said metal plating.
【請求項9】 前記金属ベース上で前記複数の半導体素
子の外周部に第1の絶縁体を有し、前記第1の絶縁体上
に金属層を有し、前記金属層上に第2の絶縁体を有し、
前記第2の絶縁体上に前記第1の入力リード、前記第1
の出力リード、前記第2の入力リード、前記第2の出力
リード、前記第1の入力リードと前記第1の出力リード
はボンディング・ワイヤーにより前記第1の半導体素子
に接続され、前記第2の入力リードと前記第2の出力リ
ードはボンディング・ワイヤーにより前記第2の半導体
素子に接続され、前記金属層は前記金属ベースに接続さ
れていることを特徴とする請求項記載の半導体パッケ
ージ。
9. A semiconductor device comprising: a first insulator on an outer periphery of the plurality of semiconductor elements on the metal base; a metal layer on the first insulator; and a second insulator on the metal layer. Having an insulator,
The first input lead on the second insulator, the first input lead;
The output lead, the second input lead, the second output lead, the first input lead and the first output lead are connected to the first semiconductor element by a bonding wire; 6. The semiconductor package according to claim 5 , wherein the input lead and the second output lead are connected to the second semiconductor element by a bonding wire, and the metal layer is connected to the metal base.
【請求項10】 パッケージされた複数の半導体素子を
カスケード接続して構成する増幅器において、前記複数
の半導体素子が同一の半導体パッケージに収納され、
記半導体パッケージは外部入力リード、外部出力リー
ド、中間入力リード及び中間出力リードを有し、前記外
部入力リードは第1の半導体素子の第1の電極が接続さ
れ、前記中間入力リードは前記第1の半導体素子の第2
の電極が接続され、前記中間出力リードは第2の半導体
素子の第1の電極が接続され、前記外部出力リードは前
記第2の半導体素子の第2の電極が接続され、前記半導
体パッケージ外において前記外部入力リードは増幅器の
入力段に接続され、前記中間出力リードと前記中間入力
リードとは段間回路を介して接続され、前記外部出力リ
ードは増幅器の出力段に接続されていることを特徴とす
る増幅器。
10. A plurality of packaged semiconductor devices.
In the amplifier configured by cascade connection,
Are housed in the same semiconductor package, the semiconductor package has an external input lead, an external output lead, an intermediate input lead, and an intermediate output lead, and the external input lead is a first electrode of the first semiconductor element. Are connected, and the intermediate input lead is connected to the second of the first semiconductor element.
The intermediate output lead is connected to the first electrode of the second semiconductor element, the external output lead is connected to the second electrode of the second semiconductor element, and the external output lead is connected to the outside of the semiconductor package. The external input lead is connected to an input stage of an amplifier, the intermediate output lead and the intermediate input lead are connected via an interstage circuit, and the external output lead is connected to an output stage of the amplifier. And amplifier.
【請求項11】 前記入力段、段間回路及び出力段はモ
ジュール基板上に有し、前記半導体パッケージは前記モ
ジュール基板上に搭載されていることを特徴とする請求
項10記載の増幅器。
11. The amplifier according to claim 10, wherein the input stage, the interstage circuit, and the output stage are provided on a module substrate, and the semiconductor package is mounted on the module substrate.
【請求項12】 前記第1の半導体素子の第3の電極及
び前記第2の半導体素子の第3の電極は共通接地され、
前記第1及び第2の半導体素子の前記第1及び第2の電
極は前記半導体パッケージ内においてはそれぞれ電気的
に接続されていないことを特徴とする請求項10記載の
増幅器。
12. A third electrode of the first semiconductor element and a third electrode of the second semiconductor element are commonly grounded,
The amplifier according to claim 10, wherein the first and second electrodes of the first and second semiconductor elements are not electrically connected in the semiconductor package, respectively.
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