JP2827796B2 - Thermal flow sensor - Google Patents

Thermal flow sensor

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JP2827796B2
JP2827796B2 JP5053745A JP5374593A JP2827796B2 JP 2827796 B2 JP2827796 B2 JP 2827796B2 JP 5053745 A JP5053745 A JP 5053745A JP 5374593 A JP5374593 A JP 5374593A JP 2827796 B2 JP2827796 B2 JP 2827796B2
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智也 山川
雄治 岸本
堅次郎 荒金
正浩 河合
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、流体の流量を計測す
るための感熱式流量センサに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat-sensitive flow sensor for measuring a flow rate of a fluid.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7〜図9は、例えば特開平3−844
25号公報や実公平3−109126号公報に示された
従来の感熱式流量センサを示す図であり、流体の流路と
なる主導管1内の計測用管路2に発熱体3と測温体4が
配設されると共にこの計測用管路2は支持体5によって
主導管1の略中央に支持されている。発熱体3と測温体
4は温度依存性抵抗であり、抵抗R1,R2と共にブリ
ッジが構成され、ブリッジの接続点b,cは差動増幅器
6に入力され、差動増幅器6の出力はトランジスタ7を
介しブリッジの一端aに接続されている。これらの制御
回路は制御回路ケース8に内蔵されている。
2. Description of the Related Art FIGS.
FIG. 1 is a view showing a conventional heat-sensitive flow rate sensor disclosed in Japanese Patent Publication No. 25 and Japanese Utility Model Publication No. 3-109126. A body 4 is arranged, and the measuring pipe 2 is supported by a support 5 at substantially the center of the main conduit 1. The heating element 3 and the temperature measuring element 4 are temperature-dependent resistors, and a bridge is formed together with the resistors R1 and R2. 7 is connected to one end a of the bridge. These control circuits are contained in the control circuit case 8.

【0003】次に動作について説明する。主導管1内に
一定流量の流体が流れている場合には、作動増幅器6に
より発熱体3の温度が流体より一定温度だけ高くなるよ
うにブリッジ回路への供給電圧が制御され、平衡状態に
なっている。この状態において流体の流量が増加する
と、発熱体3が冷却されてその抵抗値が変化しブリッジ
回路が非平衡になり、作動増幅器6によりブリッジ回路
への供給電圧が高められる。これにより発熱体3は加熱
されて抵抗値が元に戻ることにより、ブリッジ回路の平
衡状態が回復される。抵抗R1,R2は固定の抵抗であ
り、測温体4で計測される流体の温度より高い温度にお
ける発熱体の抵抗値でブリッジ回路の平衡が保たれるよ
う定める。次に流体の温度が変化すると、測温体4の抵
抗値が変化し、ブリッジの平衡を保つため発熱体3は異
なる抵抗値となる温度に制御されることとなる。
Next, the operation will be described. When a constant flow rate of fluid is flowing in the main conduit 1, the supply voltage to the bridge circuit is controlled by the operation amplifier 6 so that the temperature of the heating element 3 becomes higher than the fluid by a constant temperature, and the equilibrium state is established. ing. When the flow rate of the fluid increases in this state, the heating element 3 is cooled, the resistance value changes, the bridge circuit becomes unbalanced, and the supply voltage to the bridge circuit is increased by the operational amplifier 6. As a result, the heating element 3 is heated and the resistance value returns to the original value, thereby restoring the equilibrium state of the bridge circuit. The resistors R1 and R2 are fixed resistors, and are determined so that the bridge circuit is balanced by the resistance value of the heating element at a temperature higher than the temperature of the fluid measured by the temperature measuring element 4. Next, when the temperature of the fluid changes, the resistance value of the temperature measuring element 4 changes, and the heating element 3 is controlled to a temperature having a different resistance value in order to maintain the balance of the bridge.

【0004】発熱体3は主導管1内の計測用管路2の中
に配設され、発熱体3が検出した流速を主導管1内の代
表的流速として扱い、所定の通路断面積の主導管1を通
過する流体の全流量情報として用いている。これは、計
測用管路2を用いず、主導管1の所定の位置に発熱体3
が配設されている場合でも同様である。
The heating element 3 is disposed in the measuring pipe 2 in the main conduit 1 and treats the flow velocity detected by the heating element 3 as a representative flow velocity in the main conduit 1 to control a predetermined passage cross-sectional area. It is used as information on the total flow rate of the fluid passing through the pipe 1. This is because the heating element 3 is provided at a predetermined position of the main conduit 1 without using the measurement pipe 2.
The same applies to the case where is provided.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の感熱式流量セン
サは以上のように流量を検出する発熱体3が主導管1の
断面中の所定の部位に配設されているので、主導管1を
通過する全流速を検出できるものではない。従って、主
導管1を通過する全流量を検出するためには、主導管1
を通過する流体の平均流速に対して発熱体3が配設され
た部位の流速の割合が、主導管1を通過する流体の平均
流速に応じて一定に保たれている必要がある。しかしな
がら、主導管1に流入する流体に偏流が生じた場合、主
導管1を通過する流体の平均流速に対して発熱体3が配
設された部位の流速の割合が、異なったものとなる。
As described above, in the conventional heat-sensitive flow sensor, the heating element 3 for detecting the flow rate is disposed at a predetermined position in the cross section of the main conduit 1, so that the main conduit 1 is not connected to the main conduit 1. It is not possible to detect the total flow velocity that passes. Therefore, to detect the total flow through the main conduit 1,
The ratio of the flow velocity of the portion where the heating element 3 is provided to the average flow velocity of the fluid passing through the main conduit 1 needs to be kept constant according to the average flow velocity of the fluid passing through the main conduit 1. However, when a drift occurs in the fluid flowing into the main conduit 1, the ratio of the flow velocity at the portion where the heating element 3 is disposed to the average flow velocity of the fluid passing through the main conduit 1 becomes different.

【0006】例えば自動車用エンジンの吸入空気量を測
定するために用いられる場合、主導管1の上流にはエア
クリーナが存在する。エアクリーナは不織布や濾紙より
なるエアクリーナエレメントにより吸入空気中のダスト
等の異物を除去するのであるが、このエアクリーナエレ
メントが汚損した場合、主導管1に流入する流体の流速
分布は初期の状態から変化する。また、主導管1の下流
側にはスロットル弁が存在し、運転状況に応じて変化す
るスロットル弁の開度によって主導管1の平均流速と発
熱体3とが配設された部位の流速の割合が変動する。
For example, when used for measuring the intake air amount of an automobile engine, an air cleaner is present upstream of the main conduit 1. The air cleaner removes foreign matter such as dust in the intake air by an air cleaner element made of a nonwoven fabric or filter paper. If the air cleaner element becomes dirty, the flow velocity distribution of the fluid flowing into the main conduit 1 changes from the initial state. . Further, a throttle valve is provided downstream of the main conduit 1, and the ratio of the average flow velocity of the main conduit 1 to the flow velocity of the portion where the heating element 3 is disposed is determined by the opening degree of the throttle valve which changes according to the operating condition. Fluctuates.

【0007】このような条件下において、従来の感熱式
流量センサでは、発熱体3の配設された位置の流速は検
出できても、主導管1を通過する流体の全流量を正確に
計測することができなかった。また、発熱体3は主導管
1に流入する流体に混入したダストが流速に応じた慣性
力をもって衝突するため、発熱体3にはダストが堆積
し、発熱体3から流体への熱伝達率が変化し、長期にわ
たって計測精度を維持できないという問題点があった。
尚、発熱体3に付着したダストをいわゆるバーンオフに
よって焼却するタイプの流量計も存在するが、バーンオ
フによっても完全に焼却しきれないダストが発熱体3に
付着したままとなる。
Under such conditions, the conventional thermal flow sensor can accurately measure the total flow rate of the fluid passing through the main conduit 1 even if the flow rate at the position where the heating element 3 is provided can be detected. I couldn't do that. In addition, since dust mixed in the fluid flowing into the main conduit 1 collides with the inertial force according to the flow velocity, the dust accumulates on the heating element 3 and the heat transfer coefficient from the heating element 3 to the fluid is reduced. There is a problem that the measurement accuracy cannot be maintained for a long time.
Although there is a flow meter of a type in which dust attached to the heating element 3 is incinerated by so-called burn-off, dust that cannot be completely incinerated by the burn-off remains attached to the heating element 3.

【0008】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、偏流が生じた場合でも正確に流
量を検出でき、また汚損しにくい感熱式流量センサを得
ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a heat-sensitive flow sensor which can accurately detect a flow rate even when a drift occurs, and is hardly contaminated. .

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】この発明に係る感熱式流
量センサは、流体の通路である主導管と、この主導管内
にあって内部に発熱体が配設される計測用管路とにより
構成され、前記計測用管路の流入口が計測用管路の流出
口よりも下流側に位置し、かつこの計測用管路の流出口
がある部分の主導管の通路断面積を計測用管路の流入口
がある部分の主導管の通路断面積よりも小さくして圧力
が低くなるように構成したものである。また、かかる構
成において、計測用管路の流入口が、主導管に流入する
流体の流入方向に対向しないものである。
A thermal type flow sensor according to the present invention comprises a main conduit which is a fluid passage, and a measuring conduit in which the heating element is disposed inside. Wherein the inflow port of the measurement pipeline is located downstream of the outflow port of the measurement pipeline, and the cross-sectional area of the main conduit at the portion where the outflow port of the measurement pipeline is located is determined by the measurement pipeline. Is smaller than the cross-sectional area of the passage of the main conduit where the inflow port is located, so that the pressure is reduced. In this configuration, the inflow port of the measurement pipeline does not face the inflow direction of the fluid flowing into the main conduit.

【0010】[0010]

【作用】この発明においては、計測用管路の流出口が位
置する圧力低下部が計測用管路の流入口の上流で一旦流
路が絞られているので主導管に流入する流体の流速分布
を均一化し、計測用管路の入口近辺の流れを安定化す
る。一方、計測用管路に流入する流体の流量は計測用管
路の流出口の圧力に依存したものとなるが、計測用管路
の流出口が主導管または計測用管路の円周方向に複数個
所設けたり,円周に広く開口すれば主導管に流入する流
体の圧力分布を平均化し、主導管に流入する流体の流速
分布の影響が少ない流量を計測用管路に流入させること
ができる。従って、主導管に流入する流体に偏流が生じ
ても、正確な計測が可能となる。
According to the present invention, the flow rate distribution of the fluid flowing into the main conduit is reduced because the pressure drop portion where the outlet of the measuring pipe is located is once narrowed upstream of the inlet of the measuring pipe. And stabilize the flow near the entrance of the measurement pipeline. On the other hand, the flow rate of the fluid flowing into the measuring pipe depends on the pressure at the outlet of the measuring pipe, but the outlet of the measuring pipe extends in the circumferential direction of the main conduit or the measuring pipe. If it is provided at a plurality of locations or is wide open around the circumference, the pressure distribution of the fluid flowing into the main conduit can be averaged, and the flow rate less affected by the flow velocity distribution of the fluid flowing into the main conduit can flow into the measurement pipe. . Therefore, even if a drift occurs in the fluid flowing into the main conduit, accurate measurement can be performed.

【0011】また、請求項2の発明においては、計測用
管路に流入する流体の方向が主導管に流入する流体の方
向と異なっているので、流体内に混入した慣性力をもっ
たダストは大部分が主導管の流れの方向に進み、計測用
管路に侵入しにくくなり、発熱体にダストが付着しにく
く、汚損に強くなる。
According to the second aspect of the present invention, since the direction of the fluid flowing into the measuring conduit is different from the direction of the fluid flowing into the main conduit, dust having an inertial force mixed into the fluid is prevented from flowing. For the most part, the flow proceeds in the direction of the flow of the main conduit, making it difficult to enter the measurement pipeline, making it difficult for dust to adhere to the heating element, and making it resistant to contamination.

【0012】さらに、請求項3の発明においては、計測
用管路の流出口が計測用管路の周方向に複数個設けられ
ているので、主導管に流入する流れが不均一な場合、流
出口の近傍に生じる圧力分布を平均化できる。また、請
求項4の発明においては、計測用管路を支持する支持体
を主導管の周囲に複数設けているので、計測用管路の流
出口のある圧力低下部を形成することができ、支持強度
の向上,主導管に流入する流体の流速分布の均一化,計
測用管路を流れる流体の流速増加による流量センサとし
ての感度向上が図れる。
Furthermore, in the third aspect of the present invention, since a plurality of outlets of the measuring pipe are provided in the circumferential direction of the measuring pipe, when the flow flowing into the main conduit is not uniform, the flow is prevented. The pressure distribution generated near the outlet can be averaged. Further, in the invention according to claim 4, since a plurality of supports for supporting the measurement pipeline are provided around the main conduit, it is possible to form a pressure drop portion having an outlet of the measurement pipeline, The support strength can be improved, the flow velocity distribution of the fluid flowing into the main conduit can be made uniform, and the sensitivity as a flow sensor can be improved by increasing the flow velocity of the fluid flowing through the measurement pipe.

【0013】[0013]

【実施例】【Example】

実施例1.以下、この発明の一実施例を図1〜図3につ
いて説明する。図1は縦断側面図、図2は図1を右から
みた図、図3は図1の線III −III の断面図であり、前
記従来のものと同一または相当部分には同一符号を付し
て説明を省略する。図において、9は計測用管路2を通
過した流体が主導管1に合流する計測用管路2の流出
口、10は計測用管路2の流入口、11は主導管1に流
入する流体の流れ、12は計測用管路2の流入口10に
流入する流体の流れ、13は計測用管路2の流出口9か
ら流出する流れ、14は計測用管路2を主導管1の略中
央に支持するための支持体、15は主導管1の流路を滑
らかに絞るためのコーン部である。
Embodiment 1 FIG. An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 is a vertical sectional side view, FIG. 2 is a view of FIG. 1 from the right side, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 1. The description is omitted. In the figure, reference numeral 9 denotes an outlet of the measuring pipe 2 where the fluid passing through the measuring pipe 2 joins the main conduit 1, 10 denotes an inlet of the measuring pipe 2, and 11 denotes a fluid flowing into the main conduit 1. , 12 is a flow of the fluid flowing into the inlet 10 of the measuring pipe 2, 13 is a flow flowing out of the outlet 9 of the measuring pipe 2, and 14 is a flow of the main pipe 1 through the measuring pipe 2. A support 15 for supporting in the center is a cone portion for smoothly narrowing the flow path of the main conduit 1.

【0014】基本的な動作は従来技術と同様であるが、
この発明においては主導管1に流入した流体は、主導管
1の計測用管路2の流出口9の近傍の部分16では通路
断面積が絞られているので、この部分16では流体の流
速は速くなり圧力は低下する。一方、主導管1における
計測用管路2の流出口9の下流に位置する計測用管路2
の流入口10の近傍の部分17では、通路断面積が再び
拡大されて圧力が回復しているため、計測用管路2には
主導管1に流入する流量に応じた流体の移動が生じ、発
熱体3によりその流量が計測される。つまり、前記圧力
が低下する部分16は圧力が低いのに対し、計測用管路
2内は前記部分17と同様、圧力が回復して高くなって
いるので、計測用管路2内の流体は前記部分16の
より圧力が高い状態にあり、流体は圧力の高い方から低
い方へ流れるから流出口9において流体が吸引されると
いう原理で、流入口10から計測用管路2へ流体が流れ
る。
The basic operation is the same as that of the prior art,
In the present invention, the flow rate of the fluid flowing into the main conduit 1 is reduced at the portion 16 near the outlet 9 of the measuring conduit 2 of the main conduit 1 because the passage cross-sectional area is reduced. Faster and lower pressure. On the other hand, the measurement pipeline 2 located downstream of the outlet 9 of the measurement pipeline 2 in the main conduit 1
In the portion 17 near the inflow port 10, the passage cross-sectional area is expanded again and the pressure is recovered, so that the fluid flows in the measurement pipeline 2 according to the flow rate flowing into the main conduit 1, The heating element 3 measures the flow rate. That is, while the pressure in the portion 16 where the pressure is reduced is low, the pressure in the measurement pipe 2 is recovered and increased similarly to the portion 17, so that the fluid in the measurement pipe 2 is in a state the pressure is higher than the flow of the portion 16, in principle that fluid is fluid at the outlet 9 from flowing from high to low-pressure is sucked, fluid from the inlet 10 into the measurement conduit 2 Flows.

【0015】主導管1に流入する流体の流速ベクトルが
均一でない(エアクリーナの状態やスロットルバルブの
動きによって流体が直進したり渦を巻いたりすることに
よって流速や方向が均一でなくなる)場合でも、主導管
1の通路断面積が絞られた部分16の圧力損失により流
速分布が均一化される。計測用管路2に流入する流量
は、圧力低下部近傍(16)にある計測用管路2の流出
口9の圧力に依存したものとなるが、この実施例では圧
力低下部近傍に複数の流出口9を設けているため、主導
管1に流入する流体の流速分布の影響で生じる圧力の分
布を均一化し、計測用管路2に流入する流量は主導管1
に流入する流体の流速分布の影響を受けにくい。
Even when the flow velocity vector of the fluid flowing into the main conduit 1 is not uniform (the flow velocity and the direction are not uniform due to the fluid going straight or swirling due to the state of the air cleaner or the movement of the throttle valve), the leading direction is not changed. The flow velocity distribution is made uniform by the pressure loss in the portion 16 of the pipe 1 where the passage cross-sectional area is reduced. The flow rate flowing into the measuring pipe 2 depends on the pressure at the outlet 9 of the measuring pipe 2 near the pressure drop section (16), but in this embodiment, a plurality of flow rates near the pressure drop section. Since the outlet 9 is provided, the pressure distribution caused by the influence of the flow velocity distribution of the fluid flowing into the main conduit 1 is made uniform, and the flow rate flowing into the measurement pipe 2 is reduced.
It is hardly affected by the flow velocity distribution of the fluid flowing into the pipe.

【0016】また、この実施例では計測用管路2の流入
口10を主導管1に流入する流体の方向に対向しないよ
うに設けているので、主導管1に流入する流体の中に混
入したダストの大部分は方向11の慣性力をもっている
ため、主導管1の流れの方向に進み、計測用管路2に侵
入しにくくなるので、発熱体3にダストが付着しにくく
なる。
Further, in this embodiment, the inlet 10 of the measuring pipe 2 is provided so as not to oppose the direction of the fluid flowing into the main conduit 1, so that it is mixed in the fluid flowing into the main conduit 1. Since most of the dust has an inertial force in the direction 11, the dust advances in the flow direction of the main conduit 1 and does not easily enter the measurement pipeline 2, so that the dust hardly adheres to the heating element 3.

【0017】実施例2.この発明の他の実施例を図4〜
図6について説明する。基本的な動作及び各符号は前記
実施例1と同一のため説明を省略する。この実施例で
は、計測用管路2の流出口9は円周方向に広く設けられ
ているため、主導管1に流入する流れが不均一な場合、
流出口9の近傍に生じる圧力分布を平均化するという効
果を高めることが可能となる。
Embodiment 2 FIG. Another embodiment of the present invention is shown in FIGS.
Referring to FIG. Basic operations and reference numerals are the same as those in the first embodiment, and a description thereof will be omitted. In this embodiment, the outlet 9 of the measuring pipe 2 is provided widely in the circumferential direction, so that when the flow flowing into the main conduit 1 is uneven,
The effect of averaging the pressure distribution generated in the vicinity of the outlet 9 can be enhanced.

【0018】また、この実施例では計測用管路2を支持
する支持体14を主導管1の円周に略等分割に複数設け
ており、これによって計測用管路2の流出口9のある圧
力低下部を形成することができるため、その支持強度の
向上,主導管1に流入する流体の流速分布の均一化,さ
らに計測用管路2を流れる流体の流速増加による流量セ
ンサとしての感度向上等の効果がある。なお、この実施
例では三つの支持体14をもっているが、この数を増や
すことにより流速分布の均一化の効果を上げられる。一
方、支持体14を複数設けることにより流量センサの圧
力損失は増大するが、この実施例では支持体14の断面
形状を図6に示すように流線型とし圧力損失の増大を極
力小さなものとしている。
In this embodiment, a plurality of supports 14 for supporting the measuring pipe 2 are provided on the circumference of the main conduit 1 in substantially equal divisions, whereby the outlet 9 of the measuring pipe 2 is provided. Since the pressure drop portion can be formed, the support strength is improved, the flow velocity distribution of the fluid flowing into the main conduit 1 is made uniform, and the sensitivity as a flow sensor is improved by increasing the flow velocity of the fluid flowing through the measurement pipe 2. And so on. In this embodiment, three supports 14 are provided, but by increasing the number, the effect of making the flow velocity distribution uniform can be obtained. On the other hand, the pressure loss of the flow sensor is increased by providing a plurality of supports 14, but in this embodiment, the cross-sectional shape of the support 14 is streamlined as shown in FIG. 6, and the increase in pressure loss is minimized.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば計測用
管路の流入口が計測用管路の流出口よりも下流側に位置
し、かつこの計測用管路の流出口は計測用管路の流入口
より圧力が低くなるように構成したので、偏流によって
生じる計測流量誤差が小さくなるという効果が得られ
る。
As described above, according to the present invention, the inlet of the measuring pipe is located downstream of the outlet of the measuring pipe, and the outlet of the measuring pipe is used for measuring. Since the pressure is lower than the pressure at the inlet of the conduit, the effect of reducing the measurement flow error caused by the drift is obtained.

【0020】また、請求項2の発明によれば計測流体中
のダストによる汚損の少ない感熱式流量センサが得られ
るという効果を奏する。さらに、請求項3の発明によれ
ば主導管に流入する流れが不均一であっても流出口の近
傍に生じる圧力分布が平均化されるという効果が得られ
る。また、請求項4の発明によれば支持強度の向上,計
測用管路を流れる流体の流速増加による流量センサとし
ての感度向上が図れるという効果が得られる。
Further, according to the second aspect of the present invention, there is an effect that a heat-sensitive type flow sensor which is less contaminated by dust in the measurement fluid can be obtained. Further, according to the third aspect of the invention, even if the flow flowing into the main conduit is not uniform, an effect is obtained that the pressure distribution generated near the outlet is averaged. Further, according to the fourth aspect of the invention, there is obtained an effect that the support strength can be improved and the sensitivity of the flow sensor can be improved by increasing the flow velocity of the fluid flowing through the measurement pipe.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例1を示す縦断側面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional side view showing a first embodiment of the present invention.

【図2】図1を右からみた図である。FIG. 2 is a view of FIG. 1 as viewed from the right.

【図3】図1の線III −III の断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 1;

【図4】この発明の実施例3を示す縦断側面図である。FIG. 4 is a longitudinal sectional side view showing Embodiment 3 of the present invention.

【図5】図4を右からみた図である。FIG. 5 is a view of FIG. 4 as viewed from the right.

【図6】図4の線VI−VIの断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI in FIG. 4;

【図7】従来装置を示す縦断側面図である。FIG. 7 is a vertical sectional side view showing a conventional device.

【図8】図7を右からみた図である。8 is a view of FIG. 7 as viewed from the right.

【図9】従来装置のブリッジ抵抗配置の構成を示す図で
ある。
FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a bridge resistor arrangement of a conventional device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 主導管 2 計測用管路 3 発熱体 4 測温体 9 計測用管路流出口 10 計測用管路流入口 14 支持体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main conduit 2 Measurement pipeline 3 Heating element 4 Temperature measuring body 9 Measurement pipeline outflow port 10 Measurement pipeline inflow port 14 Support

フロントページの続き (72)発明者 河合 正浩 姫路市千代田町840番地 三菱電機株式 会社 姫路製作所内 (56)参考文献 特開 平4−184222(JP,A) 特開 昭60−185116(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01F 1/68Continuation of front page (72) Inventor Masahiro Kawai 840 Chiyoda-cho, Himeji-shi Mitsubishi Electric Corporation Himeji Works (56) References JP-A-4-184222 (JP, A) JP-A-60-185116 (JP, A (58) Fields surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01F 1/68

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 流体の通過によって発熱体から奪われる
熱量に基づいて流体の流量を測定する感熱式流量センサ
において、流体の通路である主導管と、この主導管内に
あって内部に発熱体が配設される計測用管路とにより構
成され、前記計測用管路の流入口が計測用管路の流出口
よりも下流側に位置し、かつこの計測用管路の流出口が
ある部分の主導管の通路断面積を計測用管路の流入口が
ある部分の主導管の通路断面積よりも小さくして圧力が
低くなるように構成したことを特徴とする感熱式流量セ
ンサ。
1. A thermal flow sensor that measures the flow rate of a fluid based on the amount of heat deprived from a heating element due to the passage of a fluid, wherein a main conduit serving as a fluid passage and a heating element inside the main conduit are provided. And a measurement pipeline disposed, wherein an inlet of the measurement pipeline is located downstream of an outlet of the measurement pipeline, and a portion where the outlet of the measurement pipeline is located. A heat-sensitive flow rate sensor, wherein the cross-sectional area of the passage of the main conduit is smaller than the cross-sectional area of the passage of the main conduit in a portion where the inflow port of the measurement conduit is located, so that the pressure is reduced.
【請求項2】 計測用管路の流入口が、主導管に流入す
る流体の流入方向に対向していないことを特徴とする請
求項1の感熱式流量センサ。
2. The heat-sensitive flow sensor according to claim 1, wherein an inlet of the measurement pipe is not opposed to an inflow direction of the fluid flowing into the main conduit.
【請求項3】 計測用管路の流出口が、計測用管路の周
方向に複数個所設けられたことを特徴とする請求項1の
感熱式流量センサ。
3. The heat-sensitive flow rate sensor according to claim 1, wherein a plurality of outlets of the measurement pipeline are provided in a circumferential direction of the measurement pipeline.
【請求項4】 主導管の内径部と計測用管路の外径部と
の間に少なくともその一部分が存在する流線型断面をも
つ複数の支持体を設けることにより、計測用管路を主導
管内に保持したことを特徴とする請求項1の感熱式流量
センサ。
4. A measurement conduit is provided in the main conduit by providing a plurality of supports having a streamlined cross section, at least a portion of which is present between the inner diameter of the main conduit and the outer diameter of the measurement conduit. The thermal flow sensor according to claim 1, wherein the sensor is held.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016176906A (en) * 2015-03-23 2016-10-06 株式会社デンソー Flow rate measuring device

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