JP2813195B2 - Electromagnet for overwriting - Google Patents

Electromagnet for overwriting

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気光学記憶素子へのオーバライトに使用
するオーバライト用電磁石に関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an overwriting electromagnet used for overwriting a magneto-optical storage element.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、レーザ光等により記録媒体を加熱した状態で磁
気的に記録を行う磁気光学記憶素子において、記録済の
媒体に再記録を行う際には、再記録前に、一旦、記録済
の情報を消去するようにしていた。ところが、その場合
は、磁気ディスク等の記録媒体では不要な消去工程が必
要となる欠点があった。
Conventionally, in a magneto-optical storage element that performs magnetic recording in a state where a recording medium is heated by a laser beam or the like, when performing re-recording on a recorded medium, the recorded information is temporarily rewritten before re-recording. I was trying to erase it. However, in this case, there is a disadvantage that an unnecessary erasing step is required for a recording medium such as a magnetic disk.

そこで、近年、記録済の媒体に消去工程を経ることな
く、そのまま再記録する、オーバライトの研究が進めら
れている。このようなオーバライトの方式としては、磁
気ヘッドとして電磁石を使用し、記録すべき情報に応じ
て磁界の向きを反転させる、いわゆる磁界変調方式が有
力視されている。
Therefore, in recent years, research on overwriting, in which a recorded medium is re-recorded without going through an erasing step, has been advanced. As such an overwriting method, a so-called magnetic field modulation method in which an electromagnet is used as a magnetic head and the direction of a magnetic field is reversed according to information to be recorded, is considered promising.

ところで、上記の電磁石としては、従来、巻線型のも
のが使用されているが(特開昭62-279504号公報参
照)、このものでは、磁界の向きのスイッチング周波数
が比較的低いことからオーバライトの実現が困難である
とともに、記録媒体上の特定の区域のみに効率的に磁界
を印加することが難しいため、消費電力が増大する等の
問題を有していた。
By the way, as the above-mentioned electromagnet, a winding type is conventionally used (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-279504). However, in this case, the overwriting is performed because the switching frequency in the direction of the magnetic field is relatively low. Is difficult to achieve, and it is difficult to efficiently apply a magnetic field only to a specific area on the recording medium, so that power consumption is increased.

そのため、高速でスイッチングが可能なオーバライト
用の電磁石として、基台上に薄膜コイルを形成したもの
が提案されている(1988年9月20日に東京のカザルスホ
ールで開催された光メモリシンポジウム'88における報
告資料「光磁気記録における高速オーバライト(ソニー
株式会社 光ディスクドライブ事業部作成・報告)」を
参照)。
Therefore, a thin-film coil formed on a base has been proposed as an electromagnet for overwriting that can be switched at high speed (Optical Memory Symposium '88 held at Casals Hall, Tokyo, September 20, 1988). (See “High-speed overwrite in magneto-optical recording (Prepared and reported by Sony Corporation, Optical Disk Drive Division)”).

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

本発明は、上記のオーバライト用電磁石を改良するこ
とにより、スイッチング周波数の一層の向上等を図るこ
とができるオーバライト用電磁石を提供することを課題
とするものである。
An object of the present invention is to provide an overwriting electromagnet capable of further improving the switching frequency by improving the above-described overwriting electromagnet.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

請求項1の発明に係るオーバライト用電磁石は、上記
の課題を解決するために、磁気光学記憶素子への情報の
記録に使用するオーバライト用電磁石において、基体上
に熱伝導性が良い誘電体膜を介して薄膜コイルが少なく
とも2層形成されていることを特徴とするものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an overwriting electromagnet for use in recording information on a magneto-optical storage element, wherein the overwriting electromagnet has a good thermal conductivity on a substrate. At least two thin-film coils are formed via a film.

請求項2の発明に係るオーバライト用電磁石は、上記
の課題を解決するために、請求項1の発明に係るオーバ
ライト用電磁石において、上記誘電体膜がAlNからなる
ことを特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an overwrite electromagnet according to the first aspect, wherein the dielectric film is made of AlN. is there.

請求項3の発明に係るオーバライト用電磁石は、上記
の課題を解決するために、請求項1の発明に係るオーバ
ライト用電磁石において、上記誘電体膜は、上記薄膜コ
イルの熱を放熱する伝熱膜と、上記伝熱膜を両側から挟
むとともに少なくとも2層形成された上記薄膜コイル同
士を絶縁する挟持誘電体膜とを有することを特徴とする
ものである。
According to a third aspect of the present invention, there is provided an overwrite electromagnet according to the first aspect of the present invention, wherein the dielectric film is a conductive film for radiating heat of the thin film coil. A heat film and a sandwiching dielectric film sandwiching the heat transfer film from both sides and insulating at least two thin film coils from each other are provided.

〔作用〕[Action]

請求項1の発明によれば、熱伝導性が良い誘電体膜を
介して薄膜コイルが少なくとも2層に形成されているの
で、薄膜コイルからの発熱によるオーバライト用電磁石
の温度上昇を抑制しつつ薄膜コイルのインピーダンスを
低減させることができ、それにより、スイッチング周波
数を上昇させることができるようになる。又、薄膜コイ
ルが多層に形成されているので、磁界の強度を増大させ
ることができる。更に、電磁石を小型化して記録媒体上
の特定の区域のみに効率的に磁界の印加を行うことがで
きるようになる。
According to the first aspect of the present invention, since the thin-film coil is formed in at least two layers via the dielectric film having good heat conductivity, the temperature rise of the overwriting electromagnet due to the heat generated from the thin-film coil is suppressed. The impedance of the thin-film coil can be reduced, thereby increasing the switching frequency. Further, since the thin-film coil is formed in multiple layers, the strength of the magnetic field can be increased. Further, the size of the electromagnet can be reduced, so that a magnetic field can be efficiently applied only to a specific area on the recording medium.

請求項2の発明によれば、誘電体膜として熱伝導性の
良いAlNを用いるので、薄膜コイルからの発熱によるオ
ーバライト用電磁石の温度上昇を抑制することができ
る。
According to the invention of claim 2, since AlN having good thermal conductivity is used as the dielectric film, it is possible to suppress a temperature rise of the overwriting electromagnet due to heat generated from the thin film coil.

請求項3の発明によれば、誘電体膜を、伝熱膜の両側
を挟持誘電体膜で挟んだ構造としているため、伝熱膜に
Cu等の金属を用いて薄膜コイルの熱を放熱することがで
きる一方、挟持誘電体膜で薄膜コイル同士の絶縁を行う
ことができる。
According to the invention of claim 3, since the dielectric film has a structure in which both sides of the heat transfer film are sandwiched by the sandwiched dielectric films, the heat transfer film
While the heat of the thin film coil can be radiated by using a metal such as Cu, the insulation between the thin film coils can be performed by the sandwiching dielectric film.

〔実施例1〕 本発明の一実施例を第1図乃至第3図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。
Embodiment 1 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3.

第3図に、磁気光学記憶素子としての光磁気ディスク
11への情報の記録・再生及び消去を行う記録再生装置を
示す。この記録再生装置は、光磁気ディスク11を回転さ
せるためのモータ12、対物レンズ16を上下左右に駆動す
ることで光ビーム17の光スポットを光磁気ディスク11の
図示しないトラックに沿って追従させる対物レンズ駆動
装置14、レーザ光源13aから照射された光ビーム17をミ
ラー13bを介して光磁気ディスク11の記録層11aに導く光
ヘッド13、情報の初期記録及びオーバライト時において
一定の磁界を記録層11aに印加するオーバライト用電磁
石5、並びに、光ヘッド13及び対物レンズ駆動装置14を
移動させることで目標トラックに対する高速アクセスを
行うリニアモータ18等を備えている。
FIG. 3 shows a magneto-optical disk as a magneto-optical storage element
1 shows a recording / reproducing apparatus for recording / reproducing and erasing information from / to 11 The recording / reproducing apparatus includes a motor 12 for rotating the magneto-optical disk 11 and an objective lens 16 for driving the objective lens 16 up and down and right and left so that the light spot of the light beam 17 follows a track (not shown) of the magneto-optical disk 11. A lens driving device 14, an optical head 13 for guiding a light beam 17 emitted from a laser light source 13a to a recording layer 11a of a magneto-optical disk 11 via a mirror 13b, and a recording layer for applying a constant magnetic field during initial recording and overwriting of information. An overwrite electromagnet 5 to be applied to 11a, a linear motor 18 for moving the optical head 13 and the objective lens driving device 14 to access a target track at high speed, and the like are provided.

第2図に示すように、オーバライト用電磁石5は、フ
ェライトからなる基体としての基台1上に薄膜コイル2
を形成してなるものである。
As shown in FIG. 2, the overwriting electromagnet 5 is provided on a base 1 as a base made of ferrite.
Is formed.

薄膜コイル2につき、より詳細に説明すると、第1図
に示すように、基台1には、両側面がテーパ状に形成さ
れた環状溝1aが設けられている。環状溝1a内を含む基台
1の表面には、例えば、AlNからなる第1の誘電体膜3
が形成されている。第1の誘電体膜3上には、例えば、
AuCrからなる第1層の薄膜コイル2aが複数巻に形成され
ている。
The thin film coil 2 will be described in more detail. As shown in FIG. 1, the base 1 is provided with an annular groove 1a having both sides formed in a tapered shape. A first dielectric film 3 made of, for example, AlN is formed on the surface of the base 1 including the inside of the annular groove 1a.
Are formed. On the first dielectric film 3, for example,
The first layer thin film coil 2a made of AuCr is formed in a plurality of turns.

そして、薄膜コイル2a上には、上述と同様に、例え
ば、AlNからなる第2の誘電体膜4が形成され、第2の
誘電体膜4上には、例えば、AuCrからなる第2層の薄膜
コイル2bが薄膜コイル2aと平行に複数巻に形成されてい
る。
In the same manner as described above, a second dielectric film 4 made of, for example, AlN is formed on the thin film coil 2a, and a second layer made of, for example, AuCr is formed on the second dielectric film 4. The thin film coil 2b is formed in a plurality of turns in parallel with the thin film coil 2a.

なお、第1及び第2の誘電体膜3・4は蒸着又はスパ
ッタリング等により形成され、第1層及び第2層のコイ
ル2a・2bは、例えば、蒸着又はスパッタリング等の工程
にフォトレジストを使用したエッチング工程を組み合わ
せることにより形成される。又、第1及び第2の誘電体
膜3・4の膜厚は、例えば、それぞれ100〜1000nm程度
とされ、第1層及び第2層のコイル2a・2bの膜厚は、例
えば、それぞれ100〜3000nm程度とされる。
The first and second dielectric films 3 and 4 are formed by vapor deposition or sputtering, and the coils 2a and 2b of the first and second layers are formed by using photoresist in a process such as vapor deposition or sputtering. It is formed by combining the etching steps described above. The thickness of the first and second dielectric films 3 and 4 is, for example, about 100 to 1000 nm, respectively, and the thickness of the first and second layers of the coils 2a and 2b is, for example, 100 About 3000 nm.

上記の構成において、第1及び第2の誘電体膜3・4
をAlNにより形成すると、誘電体膜3・4の熱伝導性が
良くなるので、薄膜コイル2a・2bからの発熱によるオー
バライト用電磁石5の温度上昇を抑制することができ
る。
In the above configuration, the first and second dielectric films 3 and 4
Is formed of AlN, the thermal conductivity of the dielectric films 3 and 4 is improved, so that the temperature rise of the overwriting electromagnet 5 due to heat generated from the thin film coils 2a and 2b can be suppressed.

ここで、第1表に各種材料の熱伝導率を示す。 Here, Table 1 shows the thermal conductivity of various materials.

第1表から明らかなように、AlNは熱伝導率が高く、
第1及び第2の誘電体膜3・4の材料として好適であ
る。
As is clear from Table 1, AlN has high thermal conductivity,
It is suitable as a material for the first and second dielectric films 3 and 4.

なお、上記の実施例では、基台1と薄膜コイル2aとの
間に、熱伝導性を高めるために第1の誘電体膜3を形成
しているが、この第1の誘電体膜3は省略して、基台1
上に直接薄膜コイル2aを形成するようにしても良い。
In the above-described embodiment, the first dielectric film 3 is formed between the base 1 and the thin-film coil 2a in order to enhance the thermal conductivity. Omitted, base 1
The thin-film coil 2a may be formed directly on top.

又、薄膜コイル2a・2bは、AuCr以外に、例えば、Auに
より形成しても良く、かつ、薄膜コイルを3層以上に形
成することもできるものである。
Further, the thin film coils 2a and 2b may be formed of, for example, Au other than AuCr, and the thin film coils may be formed in three or more layers.

〔実施例2〕 次に、第2実施例を説明する。Second Embodiment Next, a second embodiment will be described.

この第2実施例は、第4図に示すように、第1実施例
における第1及び第2の誘電体膜3・4を、Cuからなる
伝熱膜6の両側をそれぞれSiO2からなる挟持誘電体膜7
・7で挟んだ3層構造としたものである。
In this second embodiment, as shown in FIG. 4, the first and second dielectric films 3 and 4 in the first embodiment are sandwiched between both sides of a heat transfer film 6 made of Cu and made of SiO 2 respectively. Dielectric film 7
· It has a three-layer structure sandwiched by 7.

この場合、伝熱膜6は主として薄膜コイル2a・2bの熱
を放熱する役割を果たし、挟持誘電体膜7・7は主とし
て薄膜コイル2a・2b同士の絶縁の役割を果たす。
In this case, the heat transfer film 6 mainly plays a role of radiating heat of the thin film coils 2a and 2b, and the sandwiching dielectric films 7 play a role of mainly insulating the thin film coils 2a and 2b.

なお、伝熱膜6としては、Cu以外に、例えば、Al、A
g、Au、AuCr等を使用することができる。
In addition, as the heat transfer film 6, besides Cu, for example, Al, A
g, Au, AuCr, etc. can be used.

一方、挟持誘電体膜7・7としては、SiO2以外に、例
えば、SiN、TiO2、Al2O3、SiNO、AlNO、AlSiN又はそれ
らに若干のY、Ti、Ta、Ni等を含有したものを使用する
ことができる。
On the other hand, as the sandwiching dielectric films 7, in addition to SiO 2 , for example, SiN, TiO 2 , Al 2 O 3 , SiNO, AlNO, AlSiN or some of them contained Y, Ti, Ta, Ni, etc. Things can be used.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

請求項1の発明に係るオーバライト用電磁石は、以上
のように、磁気光学記憶素子への情報の記録に使用する
オーバライト用電磁石において、基体上に熱伝導性が良
い誘電体膜を介して薄膜コイルが少なくとも2層形成さ
れている構成である。
As described above, the overwrite electromagnet according to the first aspect of the present invention is an overwrite electromagnet used for recording information on a magneto-optical storage element, via a dielectric film having good thermal conductivity on a base. In this configuration, at least two thin film coils are formed.

これにより、熱伝導性が良い誘電体膜を介して薄膜コ
イルが2層以上に形成されているので、薄膜コイルから
の発熱によるオーバライト用電磁石の温度上昇を抑制し
つつ薄膜コイルのインピーダンスを低減させることがで
き、その結果、スイッチング周波数を上昇させることが
できるようになる。
As a result, since the thin film coil is formed in two or more layers via a dielectric film having good thermal conductivity, the impedance of the thin film coil is reduced while suppressing the temperature rise of the overwriting electromagnet due to the heat generated from the thin film coil. As a result, the switching frequency can be increased.

又、薄膜コイルが多層に形成されているので、磁界の
強度を増大させることができ、従って、記録媒体が比較
的低温であっても記録が可能になるので、レーザ光源等
の出力の低下に寄与するものである。
Further, since the thin-film coil is formed in multiple layers, the strength of the magnetic field can be increased, and therefore, recording can be performed even when the recording medium is at a relatively low temperature. It will contribute.

更に、電磁石を小型化して記録媒体上の特性の区域の
みに効率的に磁界の印加を行うことができるので、消費
電力の抑制を図る上で有利になる。
Further, since the size of the electromagnet can be reduced and a magnetic field can be efficiently applied only to the characteristic area on the recording medium, it is advantageous in suppressing power consumption.

請求項2の発明に係るオーバライト用電磁石は、以上
のように、請求項1の発明に係るオーバライト用電磁石
において、上記誘電体膜がAlNからなる構成である。
As described above, the overwriting electromagnet according to the second aspect of the present invention is the overwriting electromagnet according to the first aspect of the present invention, wherein the dielectric film is made of AlN.

これにより、誘電体膜として熱伝導性の良いAlNを用
いるので、薄膜コイルからの発熱によるオーバライト用
電磁石の温度上昇を抑制することができる。
Thus, since AlN having good thermal conductivity is used as the dielectric film, the temperature rise of the overwriting electromagnet due to heat generated from the thin film coil can be suppressed.

請求項3の発明に係るオーバライト用電磁石は、以上
のように、請求項1の発明に係るオーバライト用電磁石
において、上記誘電体膜は、上記薄膜コイルの熱を放熱
する伝熱膜と、上記伝熱膜を両側から挟むとともに少な
くとも2層形成された上記薄膜コイル同士を絶縁する挟
持誘電体膜とを有する構成である。
As described above, the overwriting electromagnet according to the third aspect of the present invention is the overwriting electromagnet according to the first aspect of the present invention, wherein the dielectric film includes a heat transfer film that radiates heat of the thin film coil; The heat transfer film is sandwiched from both sides, and at least two layers of the thin film coil are insulated from each other.

これにより、誘電体膜を、伝熱膜の両側を挟持誘電体
膜で挟んだ構造としているため、伝熱膜にCu等の金属を
用いて薄膜コイルの熱を放熱することができる一方、挟
持誘電体膜で薄膜コイル同士の絶縁を行うことができ
る。
As a result, since the dielectric film has a structure in which both sides of the heat transfer film are sandwiched by the sandwiched dielectric films, the heat of the thin film coil can be radiated by using a metal such as Cu for the heat transfer film, while the heat transfer film is sandwiched. Insulation between the thin film coils can be performed by the dielectric film.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図乃至第3図は本発明の実施例を示すものである。 第1図はオーバライト用電磁石の縦断面図である。 第2図はオーバライト用電磁石の概略縦断面図である。 第3図は光磁気ディスクへの記録再生を行う記録再生装
置の説明図である。 第4図は本発明の他の実施例によるオーバライト用電磁
石における誘電体膜の詳細構造を示す縦断面図である。 1は基台(基体)、2a・2bは薄膜コイル、3・4は第1
・第2の誘電体膜、11は光磁気ディスク(磁気光学記憶
素子)である。
1 to 3 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an electromagnet for overwriting. FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view of the overwriting electromagnet. FIG. 3 is an explanatory diagram of a recording / reproducing apparatus for recording / reproducing on / from a magneto-optical disk. FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a detailed structure of a dielectric film in an electromagnet for overwriting according to another embodiment of the present invention. 1 is a base (substrate), 2a and 2b are thin-film coils, 3 and 4 are first
The second dielectric film 11 is a magneto-optical disk (magneto-optical storage element).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中山 純一郎 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 高橋 明 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭55−125509(JP,A) 特開 平1−194111(JP,A) 特開 平2−235239(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 5/02 G11B 11/10 H01F 7/20──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Junichiro Nakayama 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Within Sharp Corporation (72) Inventor Akira Takahashi 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Sharp Corporation (56) References JP-A-55-125509 (JP, A) JP-A-1-194111 (JP, A) JP-A-2-235239 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. 6 , DB name) G11B 5/02 G11B 11/10 H01F 7/20

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】磁気光学記憶素子への情報の記録に使用す
るオーバライト用電磁石において、 基体上に熱伝導性が良い誘電体膜を介して薄膜コイルが
少なくとも2層形成されていることを特徴とするオーバ
ライト用電磁石。
1. An overwrite electromagnet used for recording information on a magneto-optical storage element, wherein at least two thin-film coils are formed on a base via a dielectric film having good thermal conductivity. Overwriting electromagnet.
【請求項2】上記誘電体膜がAlNからなることを特徴と
する請求項1に記載のオーバライト用電磁石。
2. The overwrite electromagnet according to claim 1, wherein said dielectric film is made of AlN.
【請求項3】上記誘電体膜は、上記薄膜コイルの熱を放
熱する伝熱膜と、上記伝熱膜を両側から挟むとともに少
なくとも2層形成された上記薄膜コイル同士を絶縁する
挟持誘電体膜とを有することを特徴とする請求項1に記
載のオーバライト用電磁石。
3. The dielectric film includes a heat transfer film for radiating heat of the thin film coil, and a sandwich dielectric film sandwiching the heat transfer film from both sides and insulating at least two thin film coils from each other. The electromagnet for overwriting according to claim 1, comprising:
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