JP2810446B2 - 真空リードスイッチの製造装置及びその製造方法 - Google Patents

真空リードスイッチの製造装置及びその製造方法

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善昭 小室
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、真空中でガラスチューブ内に二片のリード
片を封入することにより真空リードスイッチを製造する
装置、及びその製造装置を用いた真空リードスイッチの
製造方法に関する。
<従来の技術> 第3図は、従来の真空リードスイッチ製造装置の概略
構成図である。
図の様にこの製造装置は、真空チャンバ1と赤外線加
熱装置2とを備え、チャンバ1内には、真空リードスイ
ッチの構成部品であるガラスチューブ3と二片のリード
片4とを保持するヘッド5が設置されている。又上記チ
ャンバ1は、その後部で図示せぬ真空ポンプに接続され
るとともに、その前面が蓋1aにより開閉し得る様に構成
されている。この蓋1aは、後述の如く赤外線を透過すべ
く部分的に透明ガラスで形成されている。そして、上記
チャンバ1の前方に、上記赤外線加熱装置2が移動可能
に設けられている。
次に上記構成の製造装置を用いた、真空リードスイッ
チの従来の製造方法を、第4図(a)〜(d)の工程図
に基づいて説明する。
先ず第4図(a)の如く、ヘッド5に、ガラスチュー
ブ3を縦にして保持させるとともに、そのガラスチュー
ブ3の上下の開口端3a,3bから夫々挿入した二片のリー
ド片4を、所定の位置関係を持たせた状態で保持させ
る。その後、蓋1aでチャンバ1を密封し、真空ポンプに
よりチャンバ1内を1Torr以下の真空状態とする。
この状態で、第4図(b),(c)の如く赤外線加熱
装置2により、蓋1aを通して赤外線を照射し、ガラスチ
ューブ3の下部開口端3bと上部開口端3aを順次加熱し溶
融させて、二片のリード片4を封入する。これにより真
空リードスイッチLSが形成される。
そして一定の冷却時間をおくとともに、第4図(d)
の如くチャンバ1内に空気を入れて真空破壊した後、蓋
1aを外して真空リードスイッチLSを取出す。
<発明が解決しようとする課題> 上述の様にガラスチューブ3の両開口端3a,3bを溶融
させた際には、ナトリウム,カリウム等の酸化物が蒸発
してガスが発生するが、上記従来の真空リードスイッチ
の製造装置及びその製造装置を用いた従来の製造方法で
は、そのガスにより、真空リードスイッチLSの真空度が
低下してしまうという問題があった。更に、そのガス状
の酸化物は温度の低い物質に付着し易いことから、加熱
されないガラスチューブ3の中央部やリード片4が汚染
されてしまうという問題もあった。これらのことにより
従来は、スイッチングの確実性や寿命等の特性の良い、
高品質の真空リードスイッチLSを形成することが困難で
あった。
<課題を解決するための手段> 本発明は上記種々の問題点を解決すべく提案されたも
のであり、本発明に係る真空リードスイッチの製造装置
では、真空チャンバ内のガラスチューブに巻着させる加
熱コイルと、その加熱コイルに電流を流す電源装置とを
設けた。
又上記製造装置を用いた本発明に係る真空リードスイ
ッチの製造方法では、真空チャンバ内を真空とした後、
上記電源装置から上記加熱コイルに電流を流すことによ
って、ガラスチューブと二片のリード片とを加熱し、そ
の状態で赤外線加熱装置によりガラスチューブの両開口
端を溶融させて二片のリード片を封入する。
<作用> 上記構成の製造装置、及びその製造装置を用いた製造
方法において、電源装置により加熱コイルに直流電流を
流せば、コイルが発熱することによって、主としてガラ
スチューブがその中央部から加熱される。
又上記電源装置により加熱コイルに高周波電流を流せ
ば、高周波加熱によって、主として導電体である二片の
リード型が加熱される。
そしてガラスチューブがその中央部からも加熱される
ことにより、ガラスチューブの両開口端を溶融させた際
にナトリウム,カリウム等の酸化物が蒸発して発生する
ガスは、ガラスチューブ内で膨張する。その結果、封入
後のガラスチューブ内に残留するガスの圧力が低下し、
それだけ真空リードスイッチの真空度が高まる。
更にガラスチューブとリード片とが加熱されることに
より、それらへの上記ガス状の酸化物の付着が抑えられ
る。
<実施例> 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。
第1図は、本発明に係る真空リードスイッチの製造装
置の概略構成図である。尚この第1図において、第3図
に示した従来例と相違ない構成部品については、同一の
符号を付して説明を省略する。
図の様に本発明の製造装置の特徴は、真空チャンバ1
内のガラスチューブ3に巻着させる加熱コイル6と、そ
の加熱コイル6に電流を流す電源装置7とを設けた点に
ある。
上記加熱コイル6は、チャンバ1内でガラスチューブ
3と二片のリード片4とを保持するヘッド5に支持され
ており、本実施例の場合にはこの加熱コイル6内にガラ
スチューブ3を下方より挿入して保持させる様に構成し
ている。又この挿入作業を容易にする為に、チャンバ1
は、その前面から下面にかけての部分が蓋1Aにより開閉
し得る様に設計されている。この蓋1Aは、従来例の場合
と同様に、赤外線を透過すべく部分的に透明ガラスで形
成されている。
一方上記電源装置7は、チャンバ1外に設置され、導
線8を通して上記加熱コイル6に、直流電流と高周波電
流とを流し得るもので、その電流値或いは周波数につい
ては後述の如く作用する様に適宜に設定される。
その他の構成については、第3図に示した従来の製造
装置と同様である。
次に上記構成の製造装置を用いた本発明に係る真空リ
ードスイッチの製造方法を、第2図(a)〜(d)の工
程図に基づいて説明する。
先ず第2図(a)の如く、加熱コイル6内にガラスチ
ューブ3を下方より挿入して保持させ、ガラスチューブ
3の中央部に加熱コイル6を巻着させた状態とする。そ
れとともに、そのガラスチューブ3の上下の開口端3a,3
bから夫々挿入した二片のリード片4を、所定の位置関
係を持たせた状態でヘッド5に保持させる。その後、チ
ャンバ1を蓋1Aで密封し、図示せぬ真空ポンプによりチ
ャンバ1内を1Torr以下の真空状態とする。
この状態で、電源装置7から加熱コイル6に直流電流
を流してコイル6を発熱させることにより、ガラスチュ
ーブ3をその中央部から加熱する。その加熱温度は、ガ
ラスチューブ3が溶融しない程度の温度、例えば500〜6
00℃とする。この直流電流による加熱では、リード片4
もある程度加熱されることになる。
続いて電源装置7から上記加熱コイル6に高周波電流
を流し、高周波加熱により二片のリード片4を加熱す
る。この高周波加熱では、主として導電体であるリード
片4が加熱されることになるが、誘電体であるガラスチ
ューブ3もある程度加熱される。
尚、上記直流電流による加熱と高周波加熱との順序は
任意でよく、場合によっては交互に行う様にしてもよ
い。
この様にガラスチューブ3とリード片4とを加熱した
状態で、第2図(b),(c)の如く赤外線加熱装置2
により、蓋1Aを通して赤外線を照射し、ガラスチューブ
3の下部開口端3bと上部開口端3aを順次加熱し溶融させ
て、二片のリード片4を封入する。封入が完了したら、
赤外線加熱装置2と加熱コイル6とによる加熱を停止す
る。
これで真空リードスイッチLSが形成される。
上記ガラスチューブ3の両開口端3a,3bを溶融させた
際には、ナトリウム,カリウム等の酸化物が蒸発してガ
スが発生するが、ガラスチューブ3がその中央部からも
加熱されている為に、ガラスチューブ3内にあるガスは
加熱されて膨張する。その結果、封止後のガラスチュー
ブ3内に残留するガスの圧力が低下し、それだけ真空リ
ードスイッチLSの真空度が高まる。
更に上述の如くガラスチューブ3とリード片4とを加
熱することにより、それらへの上記ガス状の酸化物の付
着が抑えられて、汚染が防止される。その上、リード片
4に初めから付着していた不純物も、この加熱によって
蒸発し、除去される。
そして一定の冷却時間をおいて、第2図(d)の如く
チャンバ1内に空気を入れて真空破壊した後、蓋1Aを外
して真空リードスイッチLSを取出す。
<発明の効果> 以上述べた様に本発明の製造装置及び製造方法によれ
ば、真空度が高く、しかもガラスチューブやリード片が
酸化物等の不純物で殆ど汚染されていない、特性の良
い、つまりスイッチングが確実で寿命の長い高品質の真
空リードスイッチを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る真空リードスイッチの製造装置
を示す概略構成図、 第2図(a)〜(d)は、本発明に係る真空リードスイ
ッチの製造方法を説明する工程図、 第3図は、従来の真空リードスイッチの製造装置を示す
概略構成図、 第4図(a)〜(d)は、従来の真空リードスイッチの
製造方法を説明する工程図である。 1……真空チャンバ,2……赤外線加熱装置, 3……ガラスチューブ,3a,3b……開口端, 4……リード片,6……加熱コイル, 7……電源装置,LS……真空リードスイッチ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01H 11/00 - 11/04 H01H 36/00 - 36/02 H01H 37/68 H01H 49/00 H01H 50/00 - 50/92 H01J 9/38 - 9/40

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】真空チャンバと赤外線加熱装置とを備え、
    そのチャンバ内に、両端が開口されたガラスチューブ
    と、そのガラスチューブの各開口端より挿入された二片
    のリード片とを保持させ、チャンバ内を真空とした状態
    で上記赤外線加熱装置により上記ガラスチューブの両開
    口端を溶融させて上記二片のリード片を封入することに
    より、真空リードスイッチを製造する装置において、 上記真空チャンバ内のガラスチューブに巻着させる加熱
    コイルと、その加熱コイルに電流を流す電源装置とを設
    けたことを特徴とする真空リードスイッチの製造装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の製造装置を用いた真空リー
    ドスイッチの製造方法であって、 上記真空チャンバ内を真空とした後、上記電源装置から
    上記加熱コイルに電流を流すことによって、上記ガラス
    チューブと二片のリード片とを加熱し、その状態で上記
    赤外線加熱装置により上記ガラスチューブの両開口端を
    溶融させて上記二片のリード片を封入することを特徴と
    する真空リードスイッチの製造方法。
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