JP2809907B2 - Piezoelectric actuator for inkjet head - Google Patents

Piezoelectric actuator for inkjet head

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
用の圧電アクチュエータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric actuator for an ink jet head.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電体の両面に信号電極パターン及び接
地電極パターンを設けてなる複数の圧電素子を櫛歯状に
配置し、インクジェットヘッドのマルチノズルをそれぞ
れ駆動するようにした圧電横効果型の圧電アクチュエー
タは公知である。
2. Description of the Related Art A plurality of piezoelectric elements, each having a signal electrode pattern and a ground electrode pattern provided on both surfaces of a piezoelectric body, are arranged in a comb-teeth shape to drive a multi-nozzle of an ink jet head. Piezoelectric actuators are known.

【0003】図6は従来のこの種の圧電アクチュエータ
の一例を示す断面図であり、図7はその平面図である。
FIG. 6 is a sectional view showing an example of a conventional piezoelectric actuator of this type, and FIG. 7 is a plan view thereof.

【0004】これらの図において、10は電圧が印加さ
れることによりひずみ又は応力が生じる直方体状の圧電
体である。この圧電体10の両面の全面に信号電極パタ
ーン11及び接地電極パターン12をそれぞれ設けて1
つの圧電素子が構成されている。図7に示すように、圧
電アクチュエータはこのような圧電素子を複数個櫛歯状
に配置し、それらの一端部分の下側を固定板13に固定
して形成される。各圧電素子の信号電極パターン11に
はケーブル14内の導電パターン14aがハンダ付け又
は導電性接着剤によって接続されている。また、全ての
圧電素子の接地電極パターン12は導電性の固定板13
に共通にハンダ付け又は導電性接着剤によって接続され
ている。
[0004] In these figures, reference numeral 10 denotes a rectangular parallelepiped piezoelectric body that generates strain or stress when a voltage is applied. A signal electrode pattern 11 and a ground electrode pattern 12 are provided on the entire surface of both surfaces of the piezoelectric body 10, respectively.
One piezoelectric element is configured. As shown in FIG. 7, the piezoelectric actuator is formed by arranging a plurality of such piezoelectric elements in a comb-tooth shape and fixing the lower side of one end of the piezoelectric elements to the fixing plate 13. A conductive pattern 14a in a cable 14 is connected to the signal electrode pattern 11 of each piezoelectric element by soldering or a conductive adhesive. In addition, the ground electrode patterns 12 of all the piezoelectric elements
Are commonly connected by soldering or a conductive adhesive.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】図8はこのような従来
の圧電アクチュエータにパルス状の電圧を印加した場合
の圧電素子の変位を説明するための図である。圧電横効
果型の圧電素子は、周知のように、信号電極パターン1
1及び接地電極パターン12間に電圧を印加すると、そ
の長手方向に変位Aが生じるものである。この長手方向
に変位Aによってインク液滴の吐出が行われる。
FIG. 8 is a view for explaining the displacement of a piezoelectric element when a pulse-like voltage is applied to such a conventional piezoelectric actuator. As is well-known, the piezoelectric lateral effect type piezoelectric element has a signal electrode pattern 1.
When a voltage is applied between the first and ground electrode patterns 12, a displacement A occurs in the longitudinal direction. The ink droplets are ejected by the displacement A in the longitudinal direction.

【0006】しかしながら従来技術によると、信号電極
パターン11及び接地電極パターン12が圧電体10の
全面に設けられているため、圧電体10の全ての部分で
変位力が発生する。しかも、一端部分の下側を固定台1
3に固定しているため上下非対称な拘束力が存在し、そ
の結果、長手方向に変位Aに加えて上下方向の変位(そ
り)Bが発生してしまう。この上下方向の変位Bが、イ
ンクジェットヘッドの騒音の発生要因となる。
However, according to the prior art, since the signal electrode pattern 11 and the ground electrode pattern 12 are provided on the entire surface of the piezoelectric body 10, a displacement force is generated in all parts of the piezoelectric body 10. In addition, the lower side of one end portion is fixed base 1
3, there is a vertically asymmetric restraining force. As a result, in addition to the displacement A in the longitudinal direction, a vertical displacement (warpage) B occurs. This vertical displacement B is a factor of generating noise of the ink jet head.

【0007】従って本発明は、ピエゾ駆動による騒音発
生を低減化することのできるインクジェットヘッド用の
圧電アクチュエータを提供するものである。
Accordingly, the present invention provides a piezoelectric actuator for an ink jet head which can reduce the generation of noise due to piezo driving.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも1層の圧電体と、この圧電体の一部分を固定する固
定部と、この圧電体を挟んでその両面に設けられた信号
電極パターン及び接地電極パターンとをそれぞれ有する
複数の圧電素子を備えた圧電横効果型の圧電アクチュエ
ータであって、信号電極パターン及び接地電極パターン
とで挟まれる圧電体の領域が固定部より前方になるよう
に信号電極パターン及び接地電極パターンを形成した
ンクジェットヘッド用の圧電アクチュエータが提供され
る。
According to the present invention, at least one layer of a piezoelectric body and a fixed body for fixing a part of the piezoelectric body are provided.
And a plurality of piezoelectric elements each having a signal electrode pattern and a ground electrode pattern provided on both surfaces of the piezoelectric element with the piezoelectric element interposed therebetween. Electrode pattern
So that the area of the piezoelectric body sandwiched between
A piezoelectric actuator for an ink jet head having a signal electrode pattern and a ground electrode pattern formed thereon.

【0009】[0009]

【作用】信号電極パターン及び接地電極パターンとで挟
まれる圧電体の領域が固定部より前方になるように信号
電極パターン及び接地電極パターンを形成する。従っ
て、変位力は固定部より前方の信号電極パターン及び接
地電極パターンとで挟まれる圧電体の領域でのみ発生
し、騒音発生の源となる上下方向の変位(そり)がほと
んど生じない。
Function: sandwiched between the signal electrode pattern and the ground electrode pattern
Signal so that the area of the piezoelectric body
An electrode pattern and a ground electrode pattern are formed. Therefore, the displacement force is applied to the signal electrode pattern and contact
It occurs only in the region of the piezoelectric body sandwiched between the ground electrode patterns, and there is almost no vertical displacement (warpage) that causes noise.

【0010】[0010]

【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例を詳細に説
明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0011】図2は本発明の圧電アクチュエータに関わ
るインクジェットヘッド全体の構成を概略的に示す断面
図である。
FIG. 2 is a sectional view schematically showing the configuration of the entire ink jet head relating to the piezoelectric actuator of the present invention.

【0012】同図において、20は内部にインク室21
が形成されているインク室ブロックである。インク室ブ
ロック20の前面には、インク吐出用のオリフィス22
を備えたオリフィスプレート23が固着されている。イ
ンク室ブロック20の後面には、フィルタプレート24
を介して固定台25が固着されている。
In FIG. 1, reference numeral 20 denotes an ink chamber 21 inside.
Is an ink chamber block in which is formed. An orifice 22 for discharging ink is provided on the front surface of the ink chamber block 20.
The orifice plate 23 provided with is fixed. On the rear surface of the ink chamber block 20, a filter plate 24
The fixing stand 25 is fixed via the.

【0013】インク室ブロック20には圧電素子26の
先端部分が挿入されており、この圧電素子26の先端面
がインク室21の内壁の一部を構成している。圧電素子
26の後端部分は、固定台25に取り付けられた固定板
27に固着されている。
The tip of the piezoelectric element 26 is inserted into the ink chamber block 20, and the tip of the piezoelectric element 26 forms a part of the inner wall of the ink chamber 21. The rear end portion of the piezoelectric element 26 is fixed to a fixing plate 27 attached to the fixing table 25.

【0014】図1は図2に示したインクジェットヘッド
における圧電アクチュエータの一部をより詳しく表す斜
視図であり、図3はその断面図、図4はその圧電アクチ
ュエータのうちの1つの圧電素子の平面図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a part of a piezoelectric actuator in the ink jet head shown in FIG. 2 in more detail, FIG. 3 is a sectional view thereof, and FIG. 4 is a plan view of one piezoelectric element of the piezoelectric actuator. FIG.

【0015】これらの図において、30は電圧が印加さ
れることによりひずみ又は応力が生じる直方体状の圧電
(PZT)セラミクスからなる圧電体である。この圧電
体30の上面に接地電極パターン31が設けられ、下面
に信号電極パターン32が設けられることにより厚み方
向に分極しており厚み方向に電圧を印加することにより
長さ方向に変位する圧電横効果型の圧電素子26が形成
されている。圧電アクチュエータは、このような複数の
(ノズル数の)圧電素子26の後端部分を固定板27に
固定して櫛状に形成されている。
In these figures, reference numeral 30 denotes a piezoelectric body made of rectangular parallelepiped (PZT) ceramics in which strain or stress is generated by applying a voltage. A ground electrode pattern 31 is provided on the upper surface of the piezoelectric body 30, and a signal electrode pattern 32 is provided on the lower surface. The piezoelectric body 30 is polarized in the thickness direction and is displaced in the length direction by applying a voltage in the thickness direction. An effect type piezoelectric element 26 is formed. The piezoelectric actuator is formed in a comb shape by fixing the rear end portions of the plurality of (the number of nozzles) piezoelectric elements 26 to a fixing plate 27.

【0016】接地電極パターン31は、圧電体30の上
面の一部のみ、即ち固定板27に固定された部分より前
方の上面に形成されている。また、信号電極パターン3
2は、図3に明確に示されているように、圧電体30の
下面全面(32a)と立体的配線であるその後面(32
b)を介して上面の一部(32c)にまで形成されてい
る。従って、接地電極パターン31と信号電極パターン
32とに挟まれる圧電体30の領域は、固定板27に固
定された部分より前方の領域となる。また、圧電素子2
6の上面に、接地電極パターン31及び信号電極パター
ン32が共に現れることとなる。
The ground electrode pattern 31 is formed only on a part of the upper surface of the piezoelectric body 30, that is, on the upper surface in front of the portion fixed to the fixing plate 27. Also, the signal electrode pattern 3
As shown in FIG. 3, the lower surface 2 (32a) of the piezoelectric body 30 and the rear surface (32
It is formed up to a part (32c) of the upper surface via b). Therefore, the region of the piezoelectric body 30 sandwiched between the ground electrode pattern 31 and the signal electrode pattern 32 is a region in front of the portion fixed to the fixing plate 27. Also, the piezoelectric element 2
6, the ground electrode pattern 31 and the signal electrode pattern 32 appear together.

【0017】各接地電極パターン31の後端には接地電
極パターン31部分よりはるかに狭い幅の接続用突起部
31aが設けられており、この接続用突起部31aには
ケーブル33内の接地導線パターン33aが共通に接続
されている。各信号電極パターン32の上面部32cに
は、信号導線33bがそれぞれ接続されている。これら
接地導線33a及び信号導線33bは、可撓性プリント
基板(FPC)に設けられた導体パターンであり、接地
電極パターン31の接続用突起部31a及び信号電極パ
ターン32の上面部32cに異方性導電膜34を介して
熱圧着される。このように、接地電極パターン31及び
信号電極パターン32が圧電素子26の上面に現れてい
るからケーブル33を片面で熱圧着接続することがで
き、従って実装コストの低減化を図ることができる。
At the rear end of each ground electrode pattern 31, there is provided a connection projection 31a having a width much smaller than that of the ground electrode pattern 31, and the connection projection 31a is provided with a ground conductor pattern in the cable 33. 33a are commonly connected. A signal conductor 33b is connected to the upper surface 32c of each signal electrode pattern 32, respectively. These ground conductors 33a and signal conductors 33b are conductor patterns provided on a flexible printed circuit board (FPC), and anisotropically formed on the connection projection 31a of the ground electrode pattern 31 and the upper surface 32c of the signal electrode pattern 32. Thermocompression bonding is performed via the conductive film 34. As described above, since the ground electrode pattern 31 and the signal electrode pattern 32 are exposed on the upper surface of the piezoelectric element 26, the cable 33 can be connected by thermo-compression bonding on one side, so that the mounting cost can be reduced.

【0018】前述したように、圧電体30の固定板27
に固定された部分より前方の領域のみが接地電極パター
ン31と信号電極パターン32とに挟まれているため、
この部分のみに変位力が発生し、固定板27に固定され
た部分ではほとんど変位力が発生しない。接続用突起部
31aでは多少の変位力が発生するがその幅方向に隣接
する部分が不動であるため、この近傍では全体としての
変位は非常に小さい。従って、本実施例によれば、イン
ク液滴の吐出に寄与する圧電素子26の長手方向の変位
のみが発生し、上下方向のそりの変位はほとんど発生し
ない。その結果、ピエゾ駆動による騒音が大幅に低減化
される。
As described above, the fixing plate 27 of the piezoelectric body 30
Since only the area in front of the portion fixed to is sandwiched between the ground electrode pattern 31 and the signal electrode pattern 32,
A displacement force is generated only in this portion, and almost no displacement force is generated in the portion fixed to the fixed plate 27. Although a slight displacement force is generated in the connecting projection 31a, the portion adjacent in the width direction is immobile, so that the displacement as a whole is very small in the vicinity. Therefore, according to the present embodiment, only the displacement of the piezoelectric element 26 in the longitudinal direction that contributes to the ejection of the ink droplet occurs, and the displacement of the vertical warp hardly occurs. As a result, the noise due to the piezo drive is greatly reduced.

【0019】図5は、本発明の他の実施例として、積層
型の圧電アクチュエータの一部の断面図である。
FIG. 5 is a sectional view of a part of a laminated piezoelectric actuator as another embodiment of the present invention.

【0020】同図において、40は電圧が印加されるこ
とによりひずみ又は応力が生じる直方体状の圧電(PZ
T)セラミクスからなる積層圧電体である。この積層圧
電体40の上面、下面、及び中央部に接地電極パターン
41が設けられ、接地電極パターン41の間に積層圧電
体40に挟まれて信号電極パターン42が設けられるこ
とにより厚み方向に分極しており厚み方向に電圧を印加
することにより長さ方向に変位する圧電横効果型の積層
型圧電素子が形成されている。
In FIG. 1, reference numeral 40 denotes a rectangular parallelepiped piezoelectric (PZ) in which a strain or a stress is generated when a voltage is applied.
T) A laminated piezoelectric body made of ceramics. A ground electrode pattern 41 is provided on the upper surface, the lower surface, and the center of the laminated piezoelectric body 40, and the signal electrode pattern 42 is provided between the ground electrode patterns 41 so as to be interposed between the laminated piezoelectric bodies 40. Thus, a laminated piezoelectric element of a piezoelectric lateral effect type which is displaced in a length direction by applying a voltage in a thickness direction is formed.

【0021】接地電極パターン41は、圧電体40の上
面、下面、及び中央部の一部のみに形成されており、こ
れらの間は側面を介して立体的に接続されている。ま
た、信号電極パターン42は、圧電体40の内部と上面
及び下面の一部とに形成されており、これらの間は側面
を介して立体的に接続されている。
The ground electrode pattern 41 is formed only on the upper surface, the lower surface, and a part of the central portion of the piezoelectric body 40, and these are three-dimensionally connected via side surfaces. The signal electrode pattern 42 is formed on the inside of the piezoelectric body 40 and on a part of the upper surface and the lower surface, and these are three-dimensionally connected via side surfaces.

【0022】本実施例の動作及び効果は前述の実施例の
場合と全く同様である。
The operation and effects of this embodiment are exactly the same as those of the above embodiment.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、少なくとも1層の圧電体と、この圧電体の一部分を
固定する固定部と、この圧電体を挟んでその両面に設け
られた信号電極パターン及び接地電極パターンとをそれ
ぞれ有する複数の圧電素子を備えた圧電横効果型の圧電
アクチュエータであって、信号電極パターン及び接地電
極パターンとで挟まれる圧電体の領域が固定部より前方
になるように信号電極パターン及び接地電極パターンを
形成したので、ピエゾ駆動による騒音発生を低減化する
ことができる。
As described above in detail, according to the present invention, at least one layer of the piezoelectric body and a part of the piezoelectric body are formed.
A piezoelectric lateral effect type piezoelectric actuator comprising a plurality of piezoelectric elements each having a fixing portion for fixing, and a signal electrode pattern and a ground electrode pattern provided on both surfaces of the piezoelectric body with the signal electrode pattern interposed therebetween. The area of the piezoelectric body sandwiched between the ground and the ground electrode pattern is ahead of the fixed part.
So that the signal electrode pattern and ground electrode pattern
Since it is formed, noise generation due to piezo drive can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の圧電アクチュエータの一実施例の一部
の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a part of one embodiment of a piezoelectric actuator of the present invention.

【図2】図1に示した圧電アクチュエータを用いたイン
クジェットヘッドの構成を概略的に示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of an ink jet head using the piezoelectric actuator shown in FIG.

【図3】図1に示した圧電アクチュエータの断面図であ
る。
FIG. 3 is a sectional view of the piezoelectric actuator shown in FIG. 1;

【図4】図1に示した圧電アクチュエータのうちの1つ
の圧電素子の平面図である。
FIG. 4 is a plan view of one piezoelectric element of the piezoelectric actuator shown in FIG.

【図5】本発明の圧電アクチュエータの他の実施例の一
部の断面図である。
FIG. 5 is a partial sectional view of another embodiment of the piezoelectric actuator of the present invention.

【図6】従来の圧電アクチュエータの一例を示す断面図
である。
FIG. 6 is a sectional view showing an example of a conventional piezoelectric actuator.

【図7】図6の圧電アクチュエータの一例を示す平面図
である。
FIG. 7 is a plan view showing an example of the piezoelectric actuator of FIG.

【図8】従来の圧電アクチュエータにパルス状の電圧を
印加した場合の圧電素子の変位を説明するための図であ
る。
FIG. 8 is a diagram for explaining displacement of a piezoelectric element when a pulse-like voltage is applied to a conventional piezoelectric actuator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

26 圧電素子 30、40 圧電体 31、41 接地電極パターン 31a 接続用突起部 32、42 信号電極パターン 33 ケーブル 33a 接地導線 33b 信号導線 34 異方性導電膜 26 Piezoelectric element 30, 40 Piezoelectric body 31, 41 Ground electrode pattern 31a Connection projection 32, 42 Signal electrode pattern 33 Cable 33a Ground conductor 33b Signal conductor 34 Anisotropic conductive film

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 少なくとも1層の圧電体と、前記圧電体
の一部分を固定する固定部と、前記圧電体を挟んでその
両面に設けられた信号電極パターン及び接地電極パター
ンとをそれぞれ有する複数の圧電素子を備えた圧電横効
果型の圧電アクチュエータであって、前記信号電極パタ
ーン及び接地電極パターンとで挟まれる圧電体の領域が
前記固定部より前方になるように前記信号電極パターン
及び接地電極パターンを形成したことを特徴とするイン
クジェットヘッド用の圧電アクチュエータ。
At least one layer of a piezoelectric body, and the piezoelectric body
A fixed portion for fixing a part of the piezoelectric element, a piezoelectric lateral effect type piezoelectric actuator comprising a plurality of piezoelectric elements each having a signal electrode pattern and a ground electrode pattern provided on both sides of the piezoelectric body, The region of the piezoelectric body sandwiched between the signal electrode pattern and the ground electrode pattern is
The signal electrode pattern so as to be forward of the fixing portion
And a ground electrode pattern formed on the piezoelectric actuator.
【請求項2】 前記信号電極パターン及び接地電極パタ
ーンのそれぞれの少なくとも一部が前記圧電体の一方の
面に設けられている請求項1に記載の圧電アクチュエー
タ。
2. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein at least a part of each of the signal electrode pattern and the ground electrode pattern is provided on one surface of the piezoelectric body.
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