JP2808835B2 - Powder manufacturing apparatus and powder manufacturing method - Google Patents

Powder manufacturing apparatus and powder manufacturing method

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JP2808835B2 JP16920690A JP16920690A JP2808835B2 JP 2808835 B2 JP2808835 B2 JP 2808835B2 JP 16920690 A JP16920690 A JP 16920690A JP 16920690 A JP16920690 A JP 16920690A JP 2808835 B2 JP2808835 B2 JP 2808835B2
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powder manufacturing
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敏郎 木村
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Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、各種金属および非金属材料の粉末を製造す
るための粉末製造装置および粉末製造方法に係わり、特
に、粉末の粒径を微細化するための改良に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a powder production apparatus and a powder production method for producing powders of various metallic and non-metallic materials, and in particular, to reducing the particle size of powder. Related to improvements.

「従来の技術」 この種の粉末製造方法としては、遠心噴霧法が周知で
ある。この遠心噴霧法は、粉末化すべき材料の融液を遠
心力で飛散させ粉末化させる方法の総称であり、以下の
各法に大別される。
"Prior art" As a method for producing this kind of powder, a centrifugal spray method is well known. The centrifugal spraying method is a general term for a method in which a melt of a material to be powderized is scattered by centrifugal force and powdered, and is roughly classified into the following methods.

i.高速回転される皿上に融液を滴らせて皿の外周縁から
不活性ガス中に飛散させる回転ディスク法。
i. A rotating disk method in which a melt is dripped onto a high-speed rotating dish and scattered from an outer peripheral edge of the dish into an inert gas.

ii.材料を回転軸に固定するとともに、この材料と対向
させて電極を配置し、材料と電極との間に放電させて材
料を加熱し、材料の先端外周から融液を不活性ガス中に
飛散させる回転電極法。加熱方法としては、他にプラズ
マ等を用いる場合もある。
ii. While fixing the material to the rotating shaft, disposing an electrode facing this material, discharging between the material and the electrode, heating the material, and transferring the melt into the inert gas from the outer periphery of the tip of the material. Rotating electrode method to scatter. As a heating method, plasma or the like may be used in some cases.

iii.回転軸の先端に水冷されるるつぼを設け、このるつ
ぼで消耗電極(材料)から生じた融液を受け、るつぼの
外周から融液を不活性ガス中に飛散させる回転るつぼ
法。
iii. A rotating crucible method in which a crucible to be cooled with water is provided at the tip of a rotating shaft, and the crucible receives a melt generated from a consumable electrode (material) and scatters the melt into an inert gas from the outer periphery of the crucible.

また、Sn等の低融点金属に対しては、ピエゾ素子など
により超音波振動されるホーン上に金属溶湯を滴下し、
定常波の波頭から飛沫を生じさせて粉末化する超音波噴
霧法も開発されている。
Also, for low melting point metals such as Sn, a molten metal is dropped on a horn that is ultrasonically vibrated by a piezo element or the like,
An ultrasonic spraying method has also been developed in which droplets are generated from the crest of a standing wave to make powder.

「発明が解決しようとする課題」 ところで、上記の回転噴霧法では、得られる粉末を微
細化するためには材料の回転数を高めなければならない
が、この回転数をある程度以上に上げると、材料の消耗
や熱変形により回転バランスが悪化しやすくなり、激し
い振動を生じる危険がある。そのため回転数には上限が
あり、この上限によって製造可能な粉末の最小粒径が制
限される問題があった。
"Problems to be Solved by the Invention" By the above-mentioned rotary spraying method, it is necessary to increase the number of rotations of the material in order to make the obtained powder finer. There is a danger that the rotational balance is likely to deteriorate due to wear and thermal deformation of the device, causing severe vibration. Therefore, there is an upper limit on the number of revolutions, and there is a problem that the minimum particle size of the powder that can be produced is limited by the upper limit.

また、材料の回転数を高めると、それに応じて飛沫の
初速度が大きくなるため、飛行中に飛沫を十分冷却させ
るために必要な補集容器の寸法が大きくなり、装置が大
形化する問題もあった。
In addition, increasing the number of rotations of the material increases the initial velocity of the droplets accordingly, increasing the size of the collection container required to sufficiently cool the droplets during flight, and increasing the size of the device. There was also.

一方、超音波噴霧法では、一般に発振子の出力が小さ
いため、単位時間に処理できる融液量が小さく生産性が
悪いうえ、ホーンの温度を材料の融点以上に上げなけれ
ばならないので、前述したSnなど低融点材料の粉末製造
にしか用いることができなかった。
On the other hand, in the ultrasonic spraying method, since the output of the oscillator is generally small, the amount of melt that can be processed per unit time is small and the productivity is low, and the temperature of the horn must be raised to the melting point of the material or higher. It could only be used for powder production of low melting point materials such as Sn.

「課題を解決するための手段」 本発明は上記課題を解決するためになされたもので、
まず本発明の粉末製造装置は、軸受機構により回転自在
かつ軸方向変位可能に支持された回転軸と、この回転軸
を軸方向変位可能に回転させる回転駆動機構と、前記回
転軸を軸方向に振動させる加振機構と、前記回転軸の一
端に同軸に支持された粉末化すべき材料と、この材料の
先端をその融点以上に加熱する加熱手段と、材料の先端
から飛散する粉末を補集する補集容器とを具備したこと
を特徴とする。
"Means for solving the problem" The present invention has been made to solve the above problems,
First, a powder manufacturing apparatus of the present invention comprises a rotating shaft supported rotatably and axially displaceable by a bearing mechanism, a rotation drive mechanism for rotating the rotating shaft axially displaceable, and A vibration mechanism for vibrating, a material to be powdered coaxially supported at one end of the rotating shaft, a heating means for heating the tip of the material to a temperature higher than its melting point, and collecting powder scattered from the tip of the material; And a collection container.

また、本発明の粉末製造方法は、粉末化すべき材料を
回転軸の一端に同軸に支持し、この回転軸を回転すると
ともに軸方向に振動させ、かつ前記材料の先端を加熱手
段を用いてその融点以上に加熱し、溶融した材料を遠心
力および振動力により材料の先端から飛散させ、粉末化
することを特徴とする。
Further, in the powder production method of the present invention, the material to be powdered is coaxially supported at one end of a rotating shaft, the rotating shaft is rotated and vibrated in the axial direction, and the tip of the material is heated using heating means. The method is characterized in that the material is heated to a temperature equal to or higher than the melting point, and the molten material is scattered from the front end of the material by centrifugal force and vibration force to be powdered.

「作 用」 この粉末製造装置および粉末製造方法では、粉末化す
べき材料を回転し軸方向に振動させながら、その先端を
溶融させるため、生じた融液が遠心力により材料の外周
縁に流れたうえ、この外周縁で振動により融液が波立
ち、その波頭から飛沫が生じて遠心力で放射状に飛散す
る。この時、外周縁に形成される波形は、遠心力による
波形と加振力による波形の合成波形となり、作用力は合
ベクトルとなる。このように、互いに直交する方向に働
く加振力と遠心力によって微小飛沫を融液から発生させ
るので、遠心力のみによって飛沫を振り切る従来法に比
して、同じ回転速度でも遥かに粒径の小さい粉末を製造
することができる。
[Operation] In the powder manufacturing apparatus and the powder manufacturing method, the material to be powderized is rotated and vibrated in the axial direction, and the tip is melted, so that the generated melt flows to the outer peripheral edge of the material due to centrifugal force. Furthermore, the melt undulates due to the vibration at the outer peripheral edge, and a splash is generated from the wave front and scatters radially by centrifugal force. At this time, the waveform formed on the outer peripheral edge is a composite waveform of the waveform due to the centrifugal force and the waveform due to the exciting force, and the acting force is a combined vector. As described above, since fine droplets are generated from the melt by the excitation force and the centrifugal force acting in directions orthogonal to each other, the particle diameter is much larger at the same rotation speed than in the conventional method in which the droplets are shaken only by the centrifugal force. Small powders can be produced.

また、粒径の小さい粉末を製造する場合にも回転速度
が比較的小さくて済むから、材料の消耗や熱変形による
回転バランスの悪化が生じにくく、振動発生の危険性が
低減できる。
In addition, even in the case of producing powder having a small particle size, the rotation speed can be relatively low. Therefore, deterioration of the rotation balance due to consumption of materials and thermal deformation does not easily occur, and the risk of generation of vibration can be reduced.

加振力のみにより粉末を製造する場合、飛散する粉末
の初速度は数十〜数百cm/sのオーダーであり、飛散時の
滞空時間が長いため冷却に必要な飛程は小さく、容器は
小さくすることができるが冷却速度は小さくなる。これ
に対し、本発明の装置および方法では、遠心力と加振力
により生成する粉末が、遠心力によって決定される数十
〜数百m/sの大きな初速度を持つ。微細な粉末が高速で
飛散すると初期冷却速度(凝固速度)が大きくなるとと
もに抗力係数が大きくなるため、減速も大きく、その冷
却に要する空間を小さくすることができ、装置の小形化
が図れる。
When powder is produced only by vibrating force, the initial velocity of the scattered powder is on the order of several tens to several hundred cm / s, and the flight time required for cooling is small due to the long flight time during scattering. It can be reduced but the cooling rate is reduced. On the other hand, in the apparatus and method of the present invention, the powder generated by the centrifugal force and the excitation force has a large initial velocity of several tens to several hundreds m / s determined by the centrifugal force. When the fine powder scatters at a high speed, the initial cooling rate (solidification rate) increases and the drag coefficient increases. Therefore, the deceleration is large, the space required for cooling can be reduced, and the apparatus can be downsized.

この結果、得られる粉末は105〜106℃/sの急冷を受け
て微細な下部組織を有するようになり、溶質原子の固溶
度も大きくなる。
As a result, the resulting powder becomes to have a fine infrastructure undergoing quenching 10 5 ~10 6 ℃ / s, also increases the solid solubility of the solute atoms.

「実施例」 第1図および第2図は、本発明に係わる粉末製造装置
の一実施例を示す縦断面図およびII−II線視断面図であ
る。
Embodiments FIGS. 1 and 2 are a vertical sectional view and a sectional view taken along line II-II, respectively, showing an embodiment of a powder producing apparatus according to the present invention.

図中符号1は垂直に配置された回転軸で、この回転軸
には中央に回転駆動機構2が設けられるとともに、その
上下にそれぞれ磁気浮上式軸受機構3が設けられ、さら
にその上方には加振機構4が設けられている。
In the figure, reference numeral 1 denotes a vertically arranged rotating shaft. The rotating shaft is provided with a rotation drive mechanism 2 at the center, and a magnetic levitation bearing mechanism 3 is provided above and below the rotation drive mechanism 2, and a bearing is further provided above it. A vibration mechanism 4 is provided.

回転駆動機構2は通常のモータと同様で、回転軸1に
固定されたロータ5と、このロータ5の外周面から間隔
を空けて配置された複数の電磁石6とから構成され、こ
れら電磁石6は図示しない駆動回路にそれぞれ接続され
ている。
The rotation drive mechanism 2 is the same as a normal motor, and includes a rotor 5 fixed to the rotating shaft 1 and a plurality of electromagnets 6 spaced from the outer peripheral surface of the rotor 5. Each is connected to a drive circuit (not shown).

一方、磁気浮上式軸受機構3は、回転軸1に同軸に固
定された強磁性体製のロータ7と、第2図に示すように
ロータ7の外周面に向け等間隔を空けて周方向90℃毎に
配置された4個の電磁石8とから構成され、互いに180
゜隔てた電磁石8同士は対をなし、これら各対はそれぞ
れ独立した径方向制御回路9に接続されている。
On the other hand, the magnetic levitation type bearing mechanism 3 includes a ferromagnetic rotor 7 fixed coaxially to the rotating shaft 1 and a circumferential direction 90 at equal intervals toward the outer peripheral surface of the rotor 7 as shown in FIG. And four electromagnets 8 arranged at every ° C.
The separated electromagnets 8 form a pair, and each pair is connected to an independent radial direction control circuit 9.

回転軸1の両端部にはまた、回転軸1の外周面に向け
等間隔を空けて、各電磁石8と軸方向に合致した箇所に
それぞれ4個づつ径方向センサ10が配置されている。こ
れらのうち互いに180゜隔てた対をなすセンサ10は、そ
れぞれ対応する電磁石8が接続された径方向制御回路9
に接続されている。そして各径方向制御回路9は、前記
一対の径方向センサ10が検出した回転軸1の径方向の偏
差に応じ、対応する対をなす電磁石8への通電量を増減
し、その電磁力により回転軸1を吸引し、回転軸1の軸
線位置を常に一定に保つ構成とされている。
At both ends of the rotating shaft 1, four radial sensors 10 are arranged at equal intervals toward the outer peripheral surface of the rotating shaft 1, at locations corresponding to the respective electromagnets 8 in the axial direction. Of these, a pair of sensors 10 separated by 180 ° is a radial control circuit 9 to which a corresponding electromagnet 8 is connected.
It is connected to the. Each radial control circuit 9 increases or decreases the amount of electricity to the corresponding pair of electromagnets 8 in accordance with the radial deviation of the rotating shaft 1 detected by the pair of radial sensors 10, and rotates by the electromagnetic force. The shaft 1 is sucked, and the position of the axis of the rotating shaft 1 is always kept constant.

加振機構4は、回転軸1に固定された円板状の駆動プ
レート11と、この駆動プレート11の両面に対向して配置
された一対の電磁石12A,12Bとから構成され、これら電
磁石12A,12Bは軸方向駆動回路13に接続されている。
The vibrating mechanism 4 includes a disk-shaped drive plate 11 fixed to the rotating shaft 1 and a pair of electromagnets 12A and 12B arranged on both surfaces of the drive plate 11 to face each other. 12B is connected to the axial drive circuit 13.

また、回転軸1には駆動プレート11の近傍に円板状の
基準プレート14が固定されるとともに、この基準プレー
ト14の下面と対向して軸方向センサ15が設けられ、前記
軸方向駆動回路13に接続されている。
A disk-shaped reference plate 14 is fixed to the rotating shaft 1 in the vicinity of the drive plate 11, and an axial sensor 15 is provided facing the lower surface of the reference plate 14. It is connected to the.

この軸方向駆動回路13は、軸方向センサ15の出力信号
を、後述する加振周期より長い単位時間で平均化し(単
に時間的分解能を低下させるだけでもよい)、この平均
値が予め設定された基準値より大なら下側の電磁石12B
への通電量を増し、逆であれば上側の電磁石12Aへの通
電量を増すことにより、駆動プレート11の振幅の中心を
定位置に保つ。
The axial drive circuit 13 averages the output signal of the axial sensor 15 over a unit time longer than the excitation cycle to be described later (or simply lowers the temporal resolution), and this average value is set in advance. If it is larger than the reference value, the lower electromagnet 12B
In this case, the center of the amplitude of the drive plate 11 is kept at a fixed position by increasing the amount of power to the upper electromagnet 12A.

軸方向駆動回路13にはまた、発信周波数を無段階変更
できる高周波発生器16が接続されており、この高周波発
生器16からの高周波電流により、前述した各電磁石12A,
12Bへの電流が互いに逆位相に変調され、前記高周波電
流と同期して駆動プレート11が上下に振動する構成とな
っている。また振幅は、高周波発生器16の出力電流を増
減して調整できるようになっている。
The axial drive circuit 13 is also connected to a high-frequency generator 16 that can change the transmission frequency steplessly, and the high-frequency current from the high-frequency generator 16 causes the above-described electromagnets 12A,
The currents to 12B are modulated in opposite phases, and the driving plate 11 vibrates up and down in synchronization with the high-frequency current. The amplitude can be adjusted by increasing or decreasing the output current of the high-frequency generator 16.

また、周波数が回転軸の縦振動の固有振動数を越える
と加振できなくなるので、材料18の固定治具17の形状設
定により3倍周波等の高調波で共振せしめる。この部分
の設計により振幅を3〜10倍増幅し、加振機構4の消費
電力を少なくすることが可能である。
Further, if the frequency exceeds the natural frequency of the longitudinal vibration of the rotating shaft, it becomes impossible to vibrate. Therefore, the shape of the fixing jig 17 of the material 18 resonates at a harmonic such as a triple frequency. By designing this part, it is possible to amplify the amplitude 3 to 10 times and reduce the power consumption of the vibration mechanism 4.

一方、回転軸1の上端部には、これを覆う開閉可能な
補集容器19が設けられ、さらに回転軸1の上端には治具
17を介して粉末化すべき円柱状の材料18が同軸に固定さ
れている。補集容器内19には電極20が材料と同軸に対向
して配置され、図示しない送り機構により軸方向に変位
可能となっている。
On the other hand, at the upper end of the rotating shaft 1 is provided an openable and closable collection container 19 for covering the same.
A cylindrical material 18 to be powdered is fixed coaxially via 17. In the collection container 19, an electrode 20 is arranged coaxially opposite the material, and can be displaced in the axial direction by a feed mechanism (not shown).

補集容器19には、不活性ガスの導入口および導出口
(共に図示略)が設けられ、図示しない不活性ガス供給
器から窒素ガスやArガス等が補集容器19内に導入され
る。
The collection container 19 is provided with an inlet and an outlet for an inert gas (both not shown), and a nitrogen gas, an Ar gas, or the like is introduced into the collection container 19 from an inert gas supply device (not shown).

次に、上記構成からなる装置を用いた粉末製造方法を
説明する。
Next, a method for producing a powder using the apparatus having the above configuration will be described.

まず、電極20の送り機構を作動して電極20と材料18間
の離間量を設定したのち、補集容器19に不活性ガスを導
入する。
First, the feed mechanism of the electrode 20 is operated to set the distance between the electrode 20 and the material 18, and then an inert gas is introduced into the collection container 19.

次いで、回転駆動機構2を作動して回転軸1を回転さ
せ、所定の回転速度に達したら材料18と電極20との間に
通電して放電を開始し、材料18の先端面を溶解する。
Next, the rotation drive mechanism 2 is operated to rotate the rotation shaft 1, and when the rotation speed reaches a predetermined rotation speed, a current is supplied between the material 18 and the electrode 20 to start discharging, thereby melting the front end surface of the material 18.

すると、生じた融液は高速回転する材料18の外周縁に
移動するとともに、外周縁で振動により波立ち、その波
頭から微細な飛沫が生じる。この飛沫は遠心力により放
射状に飛散し、不活性ガスとの接触によって冷却されて
球状の固体粒子となり、補集容器19の内面に衝突して落
下し、補集容器19内に堆積する。
Then, the generated melt moves to the outer peripheral edge of the material 18 that rotates at a high speed, and at the same time, vibrates at the outer peripheral edge due to vibration, and fine droplets are generated from the crest. The droplets scatter radially due to centrifugal force, are cooled by contact with the inert gas, become spherical solid particles, collide with the inner surface of the collection container 19, fall, and accumulate in the collection container 19.

なお、好ましい粉末化条件は、材料18の種類、材料19
の外径、希望する粉末粒径等によって変わるが、例えば
Ti合金の場合には、以下の範囲で平均粒径100μm以下
の粉末製造が可能である。
Preferred powdering conditions are the type of material 18, material 19
Depends on the outside diameter of the powder, the desired particle size of the powder, etc.
In the case of a Ti alloy, powder having an average particle size of 100 μm or less can be produced in the following range.

回転数:6000〜15000rpm 振動数:1000〜20000Hz 振幅:5〜50μm 回転数と振動数、振幅の関係の組合せを調整すること
により粒径および冷却条件を選択して、100〜40μmま
での微細粒の急冷粉末を製造することが可能である。
Rotation speed: 6000-15000rpm Frequency: 1000-20000Hz Amplitude: 5-50μm Fine particle size up to 100-40μm by selecting the particle size and cooling condition by adjusting the combination of the relationship between rotation speed, frequency and amplitude Quenched powder can be produced.

なお、上記実施例では磁気浮上式軸受3を使用してい
たが、回転軸を軸方向変位可能に支持できれば他の軸受
機構も使用可能であり、例えば、エアベアリング、オイ
ルベアリング、水圧ベアリング等に変更可能である。
Although the magnetic levitation bearing 3 is used in the above embodiment, other bearing mechanisms can be used as long as the rotating shaft can be axially displaceable. For example, an air bearing, an oil bearing, a hydraulic bearing, and the like can be used. Can be changed.

また、加熱手段は放電加熱のみに限らず、Ar等のプラ
ズマ加熱法や、電子銃を用いた方法も可能である。
Further, the heating means is not limited to discharge heating, and a plasma heating method such as Ar or a method using an electron gun is also possible.

さらに、第3図に示すように回転軸線を水平に配置し
てもよいし、同図に示すように加熱手段を材料18の先端
に向け材料18と垂直に配置してもよいし、本発明は金属
に限らずTiAl等の金属間化合物にも使用可能である。
Further, the rotation axis may be arranged horizontally as shown in FIG. 3, or the heating means may be arranged vertically toward the tip of the material 18 as shown in FIG. Can be used not only for metals but also for intermetallic compounds such as TiAl.

「実験例」 一般的な回転電極法によるTi合金の粉末製造方法で
は、120mmφのビュレットを12000rpmで回転し、平均86
μmの粉末を得ていた。
“Experimental example” In a method of producing a Ti alloy powder by a general rotating electrode method, a buret having a diameter of 120 mm was rotated at 12000 rpm and an average of 86
A μm powder was obtained.

これに対し、第1図の構成の装置を実際に組み立て
て、前記と同径・同材質のビュレットを同速で回転しつ
つ振動数20kHz、振幅10μmで振動させたところ、従来
法と変わらない生産速度で粉末が得られ、この粉末の粒
径を測定したところ、平均45μmだった。
On the other hand, the apparatus having the configuration shown in FIG. 1 was actually assembled, and a burette of the same diameter and the same material as above was vibrated at a frequency of 20 kHz and an amplitude of 10 μm while rotating at the same speed. A powder was obtained at the production rate, and the particle size of the powder was measured to be 45 μm on average.

また、前記の条件で10kHzに変更したところ、得られ
た粉末の平均粒径は64μmだった。
When the frequency was changed to 10 kHz under the above conditions, the average particle size of the obtained powder was 64 μm.

さらに、20kHzの加振を行なうことにより、回転数600
0rpmにおいて従来と同程度の平均94μmの粉末が製造で
きた。このように回転数が低下した分、長尺のビレット
が使用可能となり、生産性が向上できた。
In addition, by applying 20kHz vibration,
At 0 rpm, a powder having an average of 94 μm, which is almost the same as the conventional powder, was produced. As a result of the reduction in the number of revolutions, a long billet can be used, and the productivity was improved.

「発明の効果」 以上説明したように、本発明の粉末製造装置および粉
末製造方法では、粉末化すべき材料を回転しつつ軸方向
に振動させ、その先端を溶融させるため、生じた融液が
遠心力により材料の外周縁に流れたうえ、この外周縁で
融液が波立ち、その波頭から飛沫が生じて遠心力で放射
状に飛散する。
[Effects of the Invention] As described above, in the powder manufacturing apparatus and the powder manufacturing method of the present invention, the material to be powdered is vibrated in the axial direction while rotating, and the tip is melted. After flowing to the outer peripheral edge of the material due to the force, the melt undulates at the outer peripheral edge, and splashes are generated from the wave front and scatter radially by centrifugal force.

このように、互いに直交する方向に働く加振力と遠心
力によって微小飛沫を融液から発生させるので、遠心力
のみによって飛沫を振り切る従来法に比して、同じ回転
速度でも遥かに粒径の小さい粉末を製造することができ
る。
As described above, the micro-droplets are generated from the melt by the excitation force and the centrifugal force acting in the directions orthogonal to each other. Small powders can be produced.

また、粒径の小さい粉末を製造する場合にも回転速度
が比較的小さくて済むから、材料の消耗や熱変形による
回転バランスの悪化が生じにくく、振動発生の危険性が
低減できる。
In addition, even in the case of producing powder having a small particle size, the rotation speed can be relatively low. Therefore, deterioration of the rotation balance due to consumption of materials and thermal deformation does not easily occur, and the risk of generation of vibration can be reduced.

さらに、回転数が低くてよい分、飛沫の初速度を低下
できるので、その冷却に要する空間を小さくすることが
でき、装置の小形化が図れる利点も有する。
Further, since the initial speed of the droplets can be reduced by the lower rotation speed, the space required for cooling the droplets can be reduced and the size of the device can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図および第2図は、本発明に係わる粉末製造装置の
一実施例の縦断面図およびII−II線視断面図である。ま
た、第3図は本発明の他の実施例における材料の加熱方
法を示す正面図である。 1……回転軸、2……回転駆動機構、3……磁気浮上式
軸受、4……加振機構、9……径方向制御回路、10……
径方向センサ、11……駆動プレート、12A,12B……電磁
石、13……軸方向駆動回路、14……基準プレート、15…
…軸方向センサ、16……高周波発生器、17……固定治
具、18……粉末化すべき材料、19……補集容器、20……
放電電極。
1 and 2 are a vertical sectional view and a sectional view taken along line II-II of an embodiment of the powder producing apparatus according to the present invention. FIG. 3 is a front view showing a method of heating a material according to another embodiment of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Rotating shaft, 2 ... Rotation drive mechanism, 3 ... Magnetic levitation type bearing, 4 ... Vibration mechanism, 9 ... Radial direction control circuit, 10 ...
Radial direction sensor, 11 Drive plate, 12A, 12B Electromagnet, 13 Axial drive circuit, 14 Reference plate, 15
... Axial direction sensor, 16 ... High frequency generator, 17 ... Fixing jig, 18 ... Material to be powdered, 19 ... Collection container, 20 ...
Discharge electrode.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B01J 2/00,2/18 B22F 9/04,9/14,9/10 B29B 9/10──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) B01J 2 / 00,2 / 18 B22F 9 / 04,9 / 14,9 / 10 B29B 9/10

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】軸受機構により回転自在かつ軸方向変位可
能に支持された回転軸と、この回転軸を軸方向変位可能
に回転させる回転駆動機構と、前記回転軸を軸方向に振
動させる加振機構と、前記回転軸の一端に同軸に支持さ
れた粉末化すべき材料と、この材料の先端をその融点以
上に加熱する加熱手段と、材料の先端から飛散する粉末
を補集する補集容器とを具備したことを特徴とする粉末
製造装置。
1. A rotating shaft rotatably and axially displaceably supported by a bearing mechanism, a rotation driving mechanism for rotating the rotating shaft so as to be axially displaceable, and a vibrator for vibrating the rotating shaft in an axial direction. A mechanism, a material to be powdered coaxially supported at one end of the rotating shaft, a heating means for heating the tip of the material to a temperature higher than its melting point, and a collection container for collecting powder scattered from the tip of the material. A powder production apparatus comprising:
【請求項2】粉末化すべき材料を回転軸の一端に同軸に
支持し、この回転軸を回転するとともに軸方向に振動さ
せ、かつ前記材料の先端を加熱手段を用いてその融点以
上に加熱し、溶融した材料を遠心力および振動力により
材料の先端から飛散させ、粉末化することを特徴とする
粉末製造方法。
2. A material to be powdered is coaxially supported at one end of a rotating shaft, and the rotating shaft is rotated and vibrated in the axial direction, and the tip of the material is heated to a temperature equal to or higher than its melting point by using a heating means. A powder manufacturing method, wherein a melted material is scattered from the front end of the material by centrifugal force and vibration force and powdered.
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