JP2791471B2 - Micro electro valve - Google Patents

Micro electro valve

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JP2791471B2
JP2791471B2 JP63005656A JP565688A JP2791471B2 JP 2791471 B2 JP2791471 B2 JP 2791471B2 JP 63005656 A JP63005656 A JP 63005656A JP 565688 A JP565688 A JP 565688A JP 2791471 B2 JP2791471 B2 JP 2791471B2
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Abstract

The invention provides a fluid switching microelectrovalve in which the mobile member playing the role of closure member for one or other of the pipes (18,19) is a single membrane (23) with oriented deformation applied by a rocker (24) against one or other of the pipes to be closed, the rocker (24) being moved from one to the other of its two balance positions corresponding to the two closure positions of the membrane by a spool (3) sliding in the valve body (1) under the action of the core of an electromagnet.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、全ての流体に適用されるマイクロエレクト
ロバルブ、特に浸食性又は不純物介在の液体に対して有
利に適用できるマイクロエレクトロバルブに関するもの
であり、より具体的にはロッカー及び単一のメンブレン
を備えたマイクロエレクトロバルブに関するものであ
る。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a microelectrovalve applicable to all fluids, and more particularly to a microelectrovalve which can be advantageously applied to erosive or impurity-mediated liquids, More specifically, the present invention relates to a microelectrovalve provided with a rocker and a single membrane.

従来の技術 手動又は自動の2個所もしくは3個所の流路を有する
バルブは、パイプ内の流体を閉じること又は2本の分岐
パイプのうち一方のパイプから他方のパイプへ流れ方向
を代えるために使用されることは知られている。このた
め、これらのパイプが接続されるバルブボディは、位置
によりポートを開き又は閉じる可動アッセンブリを一般
に備えている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Valves with two or three passages, manual or automatic, are used to close fluid in a pipe or to change the direction of flow from one of two branch pipes to the other. Is known to be. For this reason, the valve body to which these pipes are connected generally comprises a movable assembly that opens or closes the port depending on the position.

3個所の流路を有するバルブにおいては、可動アッセ
ンブリは一方のポートを閉じたときに他方のポートが開
かれ又この逆が行われるように構成される。この構造
は、例えば可撓性シーリングエレメントを有する回動プ
レート又は2つの対向するポート間を移動する2つの面
を有した閉鎖用フラップにより得られる。これらのアッ
センブリは、モータにより駆動され、或いはエレクトロ
バルブにあっては電磁石により駆動されるのであるが、
繰返し使用される場合にもシールが適切に維持されるよ
うに配慮される必要がある。このためリターンスプリン
グを備えた補助的な装置が備えられることが多いが、こ
の場合は構造が複雑となり又重量が増すこととなる。こ
のことは通常の使用においては大きな問題となるとは限
らないが、常圧においてメインパイプから枝パイプへ水
流を方向づけるような場合、例えば医学の分野における
ような特定の分野での使用の場合には同様というわけに
は行かず、従来のエレクトロバルブは使用し得なかっ
た。このような場合は、エレクトロバルブからの液体の
洩れが生じる虞れがあり、或いは逆に何らかの外部環境
により影響され、又は汚染される虞れがある。一方、マ
イクロエレクトロバルブは小型であり、軽量であり、低
出力の電磁石で制御され得ることが望まれることが多
い。
In a valve having three flow paths, the movable assembly is configured such that closing one port opens the other port and vice versa. This structure is obtained, for example, by a pivoting plate with a flexible sealing element or a closing flap with two faces moving between two opposite ports. These assemblies are driven by motors or, in the case of electrovalves, by electromagnets.
Care must be taken to ensure that the seal is properly maintained when used repeatedly. For this reason, an auxiliary device having a return spring is often provided, but in this case, the structure becomes complicated and the weight increases. This is not always a major problem in normal use, but in the case of directing the water flow from the main pipe to the branch pipe at normal pressure, for example in certain fields such as in the medical field. This is not the case, and conventional electrovalves could not be used. In such a case, the liquid may leak from the electro-valve, or may be affected or contaminated by some external environment. On the other hand, microelectrovalves are often desired to be small, lightweight, and controllable by low power electromagnets.

これらの問題に対処するものとして、エレクトロバル
ブのボディに形成されたセントラルウェルを通るコアの
両サイドに対し2枚のプラスチック製メンブレンを装着
した閉鎖メンバを使用することが提案されている。これ
らのメンブレンは可撓性を有し、ケース内で変形し該ケ
ース内に開いたポートを閉じ、他方のポートを開くとい
う作動を、電磁石のコアの動作に基づいて行う。又、本
出願人の出願に係るフランス国特許出願第8608908号明
細書に記載のマイクロエレクトロバルブは、小さい寸法
にも拘らずかなり高い圧力に耐えることができ、あらゆ
る流体の移送に対し適用することができる。
To address these problems, it has been proposed to use a closure member fitted with two plastic membranes on each side of the core through a central well formed in the body of the electrovalve. These membranes are flexible, deform in the case, close the port opened in the case, and open the other port based on the operation of the core of the electromagnet. Also, the microelectrovalve described in French patent application No. 8608908 filed by the applicant can withstand considerably high pressures despite its small dimensions and can be applied to any fluid transfer. Can be.

しかしながらこの種のマイクロエレクトロバルブは、
流体の導入と排出のために2枚のメンブレンを備えてい
るため、流体の導入及び排出のための2つの収容部、及
びこれらの2つの間のシールされた結合装置を備える必
要があり、メンブレン結合アッセンブリが同一コアによ
って駆動される単一の移動アッセンブリを形成する形態
をとることとなる。この形態に於ては、数個の小さい部
材による構成が必要であり、その組立てに精度を要し、
又メンブレンによるバルブシートの閉鎖を一定に保つよ
うに調節するのは困難である。更に、各メンブレンの収
容部に存する流体のデッドボリュームは無視し得ない大
きさであり、これは流体の極めて低速での移送にとって
不利である。
However, this kind of micro electro valve is
Since two membranes are provided for the introduction and discharge of the fluid, it is necessary to provide two compartments for the introduction and discharge of the fluid and a sealed coupling device between the two, The coupling assembly will take the form of forming a single moving assembly driven by the same core. In this mode, a configuration with several small members is required, and the assembly requires precision,
Also, it is difficult to adjust the closure of the valve seat by the membrane to be constant. Furthermore, the dead volume of the fluid present in the accommodation of each membrane is non-negligible, which is disadvantageous for the very low speed transfer of the fluid.

本発明は、これら従来技術の問題点を解決し、簡単な
構造にして作動のより確実なマイクロエレクトロバルブ
を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to solve these problems of the prior art and to provide a microelectrovalve with a simple structure and more reliable operation.

問題点を解決するための手段 本発明の前記目的は、流体の導入パイプ及び排出パイ
プが連通せしめられるコンパートメントを形成するバル
ブボディと前記パイプのうち一方又は他方を閉じる役割
をなし電磁石のコアにより制御される移動メンバとを備
えた少なくとも2流路を有したマイクロエレクトロバル
ブであって、前記移動メンバが、ロッカー(揺動子)の
揺動における一方の側と他方の側の各々において、これ
らロッカーの一方の側又は他方の側に沿って変形せしめ
られて前記パイプの一方又は他方を閉じるように適用さ
れる単一のメンブレンを備えており、前記ロッカーは、
前記メンブレンを挟んで前記パイプとは反対側に位置し
ており、電磁石のコアの作動と共に前記バルブボディ内
を揺動するスプールにより前記メンブレンの2つの閉鎖
位置に対応して2つのバランス位置の間を移動せしめら
れることを特徴とするマイクロエレクトロバルブにより
達成される。
Means for Solving the Problems The object of the present invention is to control a valve body forming a compartment through which a fluid inlet pipe and a fluid outlet pipe communicate with each other and one or the other of said pipes, and to control by a core of an electromagnet. A movable member having at least two flow paths, wherein the movable member is provided on each of one side and the other side in rocking of a rocker (oscillator). A single membrane deformed along one or the other side of the pipe and applied to close one or the other of the pipes, the rocker comprising:
A spool, which is located on the opposite side of the pipe with respect to the membrane and swings in the valve body with the operation of the electromagnet core, corresponds to two closed positions of the membrane between two balanced positions. Is achieved by a micro-electro-valve characterized by being moved.

前記スプールは、バルブボディをその長手方向軸線に
沿って貫通するウェル内に配置され、その一端部がウェ
ルの一方のアウトレットポートと同一平面上の位置をと
ることができ(この場合アウトレットポートは閉じられ
ていない)、該スプールの中央部には前記軸線に平行に
延び該スプールの幅全体に亘って貫通して延びる開口が
設けられたものとすることができる。
The spool may be located in a well passing through the valve body along its longitudinal axis, one end of which may be coplanar with one outlet port of the well (where the outlet port is closed). The spool may be provided with an opening at a central portion extending parallel to the axis and extending through the entire width of the spool.

望ましくは、前記スプールの中央部は、前記開口が穿
設されている面に垂直な面に沿って切り欠かれ、前記軸
線及びスプール円筒形状の母線の間の領域にランドを形
成し、2つのノッチが該ランドを横切るように且つ該ラ
ンドの中央部に設けられる。
Preferably, a center portion of the spool is cut out along a plane perpendicular to a plane in which the opening is formed, to form a land in a region between the axis and a generating line of the cylindrical shape of the spool. A notch is provided across the land and at the center of the land.

本発明の好ましい実施態様によれば、前記メンブレン
は、前記バルブボディの側面に形成された円筒状開口の
エッジと該開口を閉じる所定断面形状のフランジとの間
に挟持され、該フランジには流体の供給及び排出のため
の3つのパイプが貫通しており、これらのパイプは前記
フランジとメンブレンとの間に形成される小さいチャン
バ内に開いている。
According to a preferred embodiment of the present invention, the membrane is sandwiched between an edge of a cylindrical opening formed on a side surface of the valve body and a flange having a predetermined sectional shape for closing the opening, and the flange has a fluid. There are three pipes through which the supply and discharge of the pipes pass, which pipes open into a small chamber formed between the flange and the membrane.

更に本発明の好ましい実施態様においては、前記ロッ
カーは、全体として回転独楽又はスピニングトップ(sp
inning top)の形状をなし、その下部の円錐形状面は前
記メンブレンの上面に対しスプリングの作用下に接し前
記フランジに設けられたボール上で回動可能とされ、該
ロッカーの上部は前記スプールの開口に係合するロッド
を備えている。
Further, in a preferred embodiment of the present invention, the rocker is a rotating top or spinning top as a whole.
The top surface of the membrane is in contact with the upper surface of the membrane under the action of a spring, and is rotatable on a ball provided on the flange. A rod is provided for engaging the opening.

更に本発明の好ましい実施態様においては、前記ロッ
カーの円錐形状面には、該ロッカーを前記ボール上に位
置せしめるための凹所が中央部に設けられており、前記
ロッカーは、前記円錐形状面と反対側に、前記スプール
のノッチと係合するクロスピースを備えている。
Furthermore, in a preferred embodiment of the present invention, the conical surface of the rocker is provided with a recess at the center for positioning the rocker on the ball, and the rocker is provided with the conical surface. On the opposite side, a crosspiece is provided for engaging the notch of the spool.

実 施 例 以下、本発明の実施例を添付図面と共に説明する。Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図示のマイクロエレクトロバルブは、プラスチック製
のバルブボディ(1)を備え、全体はほぼ箱型をなして
いる。その長手方向軸線A−A′に沿って貫通した円筒
状のウェル(2)が設けられており、その内部には、第
2図に示すコントローススプール(3)が配置されてい
る。この円柱上スプールはバルブボディ内で摺動し、そ
の端部(4)はウェル(2)のアウトレッドポートと同
一平面上の位置をとる。スプール(3)の他方の端部
(5)は、ウェル(2)の他方のアウトレットポートと
同一平面上の位置をとることができる。該アウトレット
ポートは、バルブボディに螺着されたコネクションピー
ス(6)により閉じられており、該コネクションピース
(6)は電磁石のコイル(図示せず)のためのサポート
の役割をなす。この電磁石の可動コア(7)は、コネク
ションピース(6)を貫通して延び、その終端のコアヘ
ッドは係合スプール(3)の役割をなす。該コアヘッド
は、スプール(3)の端部(5)に設けられた凹所
(9)内に位置している。スプール(3)の凹所(9)
の近傍に肩部(11)が設けられ、ピース(6)とバルブ
ボディ(1)との間にはコア(7)をガイドするための
スリーブ(22)が挟着されており、これら肩部(11)と
スリーブ(22)との間にはスプリング(10)が挿入され
ている。ウェル(2)内を摺動する円筒状端部(4)
と、肩部(11)近傍の円筒状部分(15)との間に位置す
るスプール中央部分には、軸線A−A′に平行に延び該
中央部分の幅全体に亘って貫通する開口(12)が設けら
れている。2つの円筒状端部(4)及び(5)間の中央
部分は、更に軸線A−A′と円筒形状の母線との間の領
域に於て、開口(12)が穿設されている面に垂直な面を
形成するように切り欠かれてランド(13)が形成されて
いる。このランド(13)の中央部に於て該ランドを横切
るように2つのノッチ(14)が設けられている。
The illustrated microelectrovalve includes a plastic valve body (1), and has a substantially box shape as a whole. A cylindrical well (2) is provided penetrating along its longitudinal axis AA ', and a control spool (3) shown in FIG. 2 is disposed therein. This cylindrical spool slides in the valve body, and its end (4) assumes a position flush with the outred port of the well (2). The other end (5) of the spool (3) can be coplanar with the other outlet port of the well (2). The outlet port is closed by a connection piece (6) screwed to the valve body, which serves as a support for an electromagnet coil (not shown). The movable core (7) of the electromagnet extends through the connection piece (6), and the core head at its end serves as an engagement spool (3). The core head is located in a recess (9) provided at the end (5) of the spool (3). Recess (9) of spool (3)
A sleeve (22) for guiding the core (7) is sandwiched between the piece (6) and the valve body (1). A spring (10) is inserted between (11) and the sleeve (22). Cylindrical end (4) sliding in the well (2)
An opening (12) extending parallel to the axis AA 'and extending through the entire width of the central portion is formed in a central portion of the spool located between the cylindrical portion (15) near the shoulder portion (11). ) Is provided. The central part between the two cylindrical ends (4) and (5) is further provided with an opening (12) in the region between the axis AA 'and the cylindrical generatrix. The land (13) is cut out so as to form a plane perpendicular to the land. Two notches (14) are provided across the land at the center of the land (13).

バルブボディ(1)の側面には更に、円筒状の開口が
設けられ、該開口はフランジ(16)により閉じられてい
る。フランジ(16)とバルブボディ(1)の開口のエッ
ジとの間には、シーリングメンブレン(23)が挟持され
ており、該メンブレンとフランジとの間には小さな容積
のチャンバ(17)が形成されている。フランジ(16)に
は、流体の供給又は排出のためのパイプ(18)、(19)
及び(20)が貫通して装着されている。これらの各パイ
プはチャンバ(17)に通じている。2つのパイプ(1
8)、(19)は、フランジの底面から若干突出するよう
にチャンバ(17)内に延びている。第3のパイプ(20)
はフランジの底面の位置にその開口端を有している。第
1図に示すように、フランジ(16)は、中央の円錐形状
部分にボール(21)を受け入れるような特有の形状を有
しており、該ボールはメンブレン(23)の中央に位置し
ている。このような構成に代えて、ボール(21)はフラ
ンジ(16)と一体的にモールド成形されても良く、パイ
プ(18)、(19)、(20)も又同様である。
The side of the valve body (1) is further provided with a cylindrical opening, which is closed by a flange (16). A sealing membrane (23) is sandwiched between the flange (16) and the edge of the opening of the valve body (1), and a small volume chamber (17) is formed between the membrane and the flange. ing. Pipes (18) and (19) for supplying or discharging fluid are provided on the flange (16).
And (20) are fitted through. Each of these pipes leads to a chamber (17). Two pipes (1
8) and (19) extend into the chamber (17) so as to slightly protrude from the bottom surface of the flange. Third pipe (20)
Has its open end at the bottom of the flange. As shown in FIG. 1, the flange (16) has a unique shape for receiving a ball (21) in the central conical portion, which ball is located in the center of the membrane (23). I have. Instead of such a configuration, the ball (21) may be molded integrally with the flange (16), as are the pipes (18), (19) and (20).

このようなボール(21)の配置のため、メンブレン
(23)には中央部に小さな貫通孔が設けられている。ウ
ェル(2)におけるメンブレン(23)とスプール(3)
のランド(13)との間には空所が形成され、該空所はロ
ッカー(24)のためのハウジングを形成している。第3
図に示すようにロッカー(24)は全体が、回転独楽又は
スピニングトップの形状をなし、その下部の円錐状面
(25)はメンブレン(23)に接着される。これによりメ
ンブレン(23)は面(25)に沿った形状となり、該面
(25)による方向付けに基づいて以下に説明するような
変形を受ける。面(25)の中央には、ボール(21)上に
ロッカーを配置するための凹所が設けられている。ロッ
カー(24)における円錐状面(25)と反対側には、ノッ
チ(14)と係合するクロスピース(26)が設けられてい
る。このクロスピースから上方にロッド(27)が延び、
該ロッドはスプール内の開口(12)に係合し、更に該ロ
ッドの端部にはスプール(28)が設けられている。この
ような構成に代えて、メンブレン(23)及びロッカー
(24)は、一体のものとしてモールド成形されることも
できる。第1図に示すように、スプリング(29)はロッ
ド(27)上に支持され、スプール(3)の開口(12)内
に延び、位置調節可能なストッパー(30)に達してい
る。該ストッパーは、バルブボディ(1)におけるチャ
ンバー(17)とは反対の側面に設けられた雌ねじ付オリ
フィス(31)内に螺着されている。ノッチ(14)内に小
さな間隙をもって係合したクロスピース(26)は、ロッ
カー(24)が軸線A−A′に垂直な面に対して一定の角
度傾斜した位置を、スプール(3)の位置に応じてとる
ことを可能にしている。このように傾斜したロッド(2
7)の端部に対しスプリング(29)は押圧力を及ぼし、
ロッカー(24)はその位置に保持される。このスプリン
グに代えて、同様の機能を奏するように使用されるバネ
板を使用することもできる。
Due to the arrangement of the balls (21), a small through hole is provided in the center of the membrane (23). Membrane (23) and spool (3) in well (2)
A space is formed between the locker and the land (13), and the space forms a housing for the locker (24). Third
As shown, the rocker (24) is in the form of a spinning top or spinning top, the lower conical surface (25) of which is glued to the membrane (23). As a result, the membrane (23) takes a shape along the surface (25), and undergoes deformation as described below based on the orientation by the surface (25). In the center of the surface (25), a recess is provided for placing a rocker on the ball (21). On the opposite side of the locker (24) from the conical surface (25), there is provided a crosspiece (26) that engages with the notch (14). A rod (27) extends upward from this crosspiece,
The rod engages an opening (12) in the spool, and the end of the rod is provided with a spool (28). Instead of such a configuration, the membrane (23) and the locker (24) can be molded as one piece. As shown in FIG. 1, the spring (29) is supported on the rod (27), extends into the opening (12) of the spool (3) and reaches a position-adjustable stopper (30). The stopper is screwed into a female threaded orifice (31) provided on the side of the valve body (1) opposite to the chamber (17). The crosspiece (26) engaged with a small gap in the notch (14) moves the rocker (24) at a position inclined at a certain angle with respect to a plane perpendicular to the axis AA 'to the position of the spool (3). It is possible to take according to. The rod (2
The spring (29) exerts a pressing force on the end of 7),
The locker (24) is held in that position. Instead of this spring, a spring plate used to perform a similar function can be used.

図示のエレクトロバルブは次のように作動する。第1
図に示す休止状態にある場合、電磁石は励起されず、ス
プリング(10)の作用によりスプール(3)は図におい
て右側に保持され、その端部(4)はウェル(2)の開
口面と同一平面上の位置とされる。ロッカー(24)は右
側に傾斜しメンブレン(23)はパイプ(19)を閉じ、パ
イプ(18)は開いている。パイプ(20)を通ってチャン
バ(17)内に導入された流体はパイプ(18)へと自由に
流れる。スプリング(29)によってロッド(28)に及ぼ
される押圧力は、パイプ(19)上に位置するロッカーの
円錐状面(25)上に作用し、これによりメンブレン(2
3)はパイプ(19)の端面を塞ぐように押し付けられ、
良好なシールが維持される。電磁石が励起されるとコア
(7)は係合ヘッド(8)を通してスプール(3)の端
部(5)に対しスプリング(10)の力に抗する牽引力を
及ぼし、第4図に示す位置に移動する。この移動の際、
ノッチ(14)のエッジはクロスピース(26)のエッジに
力を及ぼして該クロスピースを移動させ、ロッカー(2
4)を回動させる。ロッド(27)の端部に設けられたス
プール(28)はスプリング(29)の中で左方へ移動す
る。ロッカー(24)が軸線A−A′に垂直な面に沿う中
央位置を超えると、スプリング(29)はロッカーのこの
方向への移動を進行させるのに寄与する。ロッカーのこ
の移動は、ノッチ(14)とクロスピース(26)との間の
間隙により可能となっている。従って、メンブレン(2
3)はロッカー(24)の傾斜に従って迅速に変形し、パ
イプ(19)の端面から離れパイプ(18)の端面に接触す
る。これにより、流体の流れはパイプ(20)とパイプ
(19)との間に於て生じることとなる。メンブレン(2
3)は、パイプの端面に押し付けられて変形するため、
不純物により閉鎖の不全が生じる虞れはない。ロッカー
(24)は、第1図に示す第1のバランス位置から、第4
図に示す第2のバランス位置へ移動し、これらの各位置
はメンブレン(23)が取りうる2つの位置に対応するも
のであるので、バルブの切り替えは迅速にして確実であ
る。
The illustrated electrovalve operates as follows. First
In the rest state shown in the figure, the electromagnet is not excited, the spool (3) is held on the right side in the figure by the action of the spring (10), and its end (4) is the same as the opening surface of the well (2). The position is on a plane. The rocker (24) tilts to the right, the membrane (23) closes the pipe (19), and the pipe (18) is open. Fluid introduced into the chamber (17) through the pipe (20) flows freely into the pipe (18). The pressing force exerted on the rod (28) by the spring (29) acts on the conical surface (25) of the rocker located on the pipe (19), whereby the membrane (2
3) is pressed to close the end face of the pipe (19),
A good seal is maintained. When the electromagnet is energized, the core (7) exerts a traction force against the end (5) of the spool (3) through the engagement head (8) against the force of the spring (10), in the position shown in FIG. Moving. During this move,
The edge of the notch (14) exerts a force on the edge of the crosspiece (26) to move the crosspiece, and the rocker (2)
4) Rotate. The spool (28) provided at the end of the rod (27) moves leftward in the spring (29). When the rocker (24) exceeds a central position along a plane perpendicular to the axis AA ', the spring (29) contributes to the movement of the rocker in this direction. This movement of the rocker is made possible by the gap between the notch (14) and the crosspiece (26). Therefore, the membrane (2
3) is quickly deformed according to the inclination of the rocker (24) and separates from the end face of the pipe (19) and contacts the end face of the pipe (18). As a result, the flow of the fluid occurs between the pipe (20) and the pipe (19). Membrane (2
3) is deformed by being pressed against the end face of the pipe,
There is no risk of imperfect closure due to impurities. The locker (24) moves from the first balance position shown in FIG.
Moving to the second balance position shown, each of these positions corresponds to two possible positions of the membrane (23), so that the switching of the valves is quick and reliable.

電磁石の励起が解かれると、スプリング(10)は第1
図に示す最初の位置にスプール(3)を押し戻す。この
ように位置の切り替えとその保持が自動的に行われる。
一方、バルブ本体のウェル(2)の開口面と同一平面上
にある端部(4)に対して力を及ぼすことにより、使用
者が自らスプールを作動させることもできる。即ち、電
磁石の作動不能の場合にもバルブは手動により使用可能
となっている。
When the excitation of the electromagnet is released, the spring (10)
Push the spool (3) back to the initial position shown. In this way, the switching of the position and the holding thereof are performed automatically.
On the other hand, the user can actuate the spool by himself by exerting a force on the end (4) which is flush with the opening of the well (2) of the valve body. That is, even when the electromagnet cannot be operated, the valve can be manually used.

メンブレン(23)とフランジ(16)との間のチャンバ
ー(17)は容積が小さいので、流体のデッドボリューム
は小さく、従ってリンスが容易である。更に、メンブレ
ン(23)は、単一のメンブレンでありながら、バルブシ
ートを閉じる役割のみならず、スプール(3)を中で揺
動させるウェル(2)及び外界との間の確実なシールを
なす役割をもなす。この外界に対するシールは圧力流体
のみならず、高圧、低圧の気体、更には真空状態に対し
ても確実に機能する。バルブボディ(1)の寸法は、パ
イプ(18)、(19)及び(20)の流路の断面積を何ら減
少させることなく小型化されている。
Since the volume of the chamber (17) between the membrane (23) and the flange (16) is small, the dead volume of the fluid is small and therefore easy to rinse. Furthermore, the membrane (23), while being a single membrane, not only serves to close the valve seat, but also provides a secure seal between the well (2), which swings the spool (3) inside, and the outside world. Also play a role. The seal against the outside world reliably functions not only for a pressurized fluid but also for a high-pressure gas, a low-pressure gas, and a vacuum state. The dimensions of the valve body (1) are reduced without any reduction in the cross-sectional area of the pipes (18), (19) and (20).

スプール(3)とロッカー(24)との間にはノッチ
(14)の領域に於て間隙が形成されているため、電磁石
の制御部とバルブの閉鎖機構との間の拘束はなく、従っ
てその調節が不可能となる虞れはい。更に、一方又は他
方のバルブシートに対するメンブレンの閉鎖圧力は、電
磁石の牽引力と独立して調節用ストッパ(30)に基づき
調節可能となっている。ロッカー(24)は、ボール(2
1)により形成された回動支点から遠く離れた上方位置
でスプール(3)のノッチにより駆動されるので、梃作
用に基づき、コア(7)に及ぼされるべき力、従って電
磁石の吸引力は小さくて済み、その一方メンブレン(2
3)による閉鎖圧力は高いものとなる。
Since there is a gap in the area of the notch (14) between the spool (3) and the rocker (24), there is no constraint between the control part of the electromagnet and the closing mechanism of the valve, so that There is no risk that the adjustment will be impossible. Furthermore, the closing pressure of the membrane against one or the other valve seat can be adjusted based on the adjusting stopper (30) independently of the traction force of the electromagnet. The locker (24) holds the ball (2
Since it is driven by the notch of the spool (3) at an upper position far from the pivot point formed by 1), the force to be exerted on the core (7) based on the lever action, and hence the attractive force of the electromagnet, is small. While the membrane (2
The closing pressure according to 3) will be high.

更に、前述の構成に基づき、バルブの切り替え、即ち
メンブレンの位置の切り替えは、バルブを装着した装置
又は設備から該バルブを取り除くことなく外部から行う
ことが可能となっている。
Further, based on the above-described configuration, switching of the valve, that is, switching of the position of the membrane, can be performed from the outside without removing the valve from a device or equipment equipped with the valve.

これらの利点に基づき、本発明マイクロバルブは、限
られたスペース内で装着され、固定されることができ、
パイプは同一の側に配置されることからその取り付けが
容易となっている。このマイクロバルブは、摩耗や腐食
に対する耐性を備えた材料で形成することができ、特に
医療用分析装置、食品加工分野等に適している。
Based on these advantages, the microvalve of the present invention can be mounted and fixed in a limited space,
Since the pipes are arranged on the same side, their installation is easy. This microvalve can be formed of a material having resistance to abrasion and corrosion, and is particularly suitable for medical analyzers, food processing fields, and the like.

以上の例に述べたもののほか、スプール(3)に代え
て、ロッカーに対し前述と同様の動作をさせるためのス
プリング手段を用いたもの等を適宜使用することができ
る。
In addition to those described in the above examples, instead of the spool (3), a device using a spring means for causing the locker to perform the same operation as described above can be used as appropriate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図は本発明の一実施例を示すもので、第1図は休止状態
にあるマイクロエレクトロバルブの縦断正面図、第2図
はコントロールスプールの斜視図、第3図はロッカーの
斜視図、第4図は作動位置にあるマイクロエレクトロバ
ルブの縦断正面図である。 (1)……バルブボディ (2)……ウェル (3)……コントロールスプール (7)……コア (8)……係合スプール (10)……スプリング (11)……肩部 (13)……ランド (14)……ノッチ (16)……フランジ (18)、(19)、(20)……パイプ (21)……ボール (22)……スリーブ (23)……メンブレン (24)……ロッカー (25)……円錐状面 (27)……ロッド (29)……スプリング (30)……位置調節可能なストッパ
1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a longitudinal sectional front view of a micro electro valve in a rest state, FIG. 2 is a perspective view of a control spool, FIG. 3 is a perspective view of a locker, FIG. The figure is a longitudinal sectional front view of the micro electro valve in the operating position. (1) Valve body (2) Well (3) Control spool (7) Core (8) Engagement spool (10) Spring (11) Shoulder (13) Land (14) Notch (16) Flange (18), (19), (20) Pipe (21) Ball (22) Sleeve (23) Membrane (24) Locker (25) Conical surface (27) Rod (29) Spring (30) Stopper with adjustable position

Claims (16)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】流体の導入パイプ及び排出パイプが連通せ
しめられるコンパートメントを形成するバルブボディと
前記パイプのうち一方又は他方を閉じる役割をなし電磁
石のコアにより制御される移動メンバとを備えた少なく
とも2流路を有したマイクロエレクトロバルブであっ
て、 前記移動メンバが、ロッカー(揺動子)の揺動における
一方の側と他方の側の各々において、これらロッカーの
一方の側又は他方の側に沿って変形せしめられて前記パ
イプの一方又は他方を閉じるように適用される単一のメ
ンブレンを備えており、前記ロッカーは、前記メンブレ
ンを挟んで前記パイプとは反対側に位置しており、電磁
石のコアの作動と共に前記バルブボディ内を揺動するス
プールにより前記メンブレンの2つのバランス位置の間
を移動せしめられることを特徴とするマイクロエレクト
ロバルブ。
An at least two valve body having a valve body forming a compartment through which a fluid inlet pipe and a fluid outlet pipe are communicated, and a moving member controlled to be closed by one or other of said pipes and controlled by an electromagnet core. A microelectrovalve having a flow path, wherein the moving member is provided along one side or the other side of the rocker on each of one side and the other side in rocking (rocker) rocking. A single membrane that is deformed and adapted to close one or the other of the pipes, the rocker is located on the opposite side of the membrane from the pipe, The spool is moved between two balance positions of the membrane by a spool that swings in the valve body with the operation of the core. A micro electrovalve characterized by being operated.
【請求項2】前記スプールが、前記バルブボディをその
長手方向軸線に沿って貫通して延びるウェル内に配置さ
れており、該スプールの一方の端部が前記ウェルのアウ
トレットポートと同一平面上の位置を取るようにされて
いる請求項に記載のマイクロエレクトロバルブ。
2. The spool is disposed in a well extending through the valve body along its longitudinal axis, one end of the spool being flush with an outlet port of the well. A microelectrovalve according to any of the preceding claims, wherein the valve is adapted to take a position.
【請求項3】前記ウェルにおける電磁石コアが存する側
にある他方のアウトレットポートがスリーブにより閉じ
られており、該スリーブはコアをガイドするためにコネ
クションピースを囲繞している請求項又はに記載の
マイクロエレクトロバルブ。
3. The microelectrode according to claim 1, wherein the other outlet port of the well on the side where the electromagnet core is located is closed by a sleeve, and the sleeve surrounds the connection piece for guiding the core. Electro valve.
【請求項4】前記スプールにおける電磁石コアの存する
側の端部に、前記コアの係合スプールを受け入れるため
の凹所が設けられている請求項に記載のマイクロエレ
クトロバルブ。
4. The micro-electrovalve according to claim 1, wherein a concave portion is provided at an end of the spool on the side where the electromagnet core is located, for receiving an engaging spool of the core.
【請求項5】前記電磁石コアの存する側において、前記
スプールの側に設けられた肩部と前記スリーブとの間に
スプリングが挿入されている請求項に記載のマイクロ
エレクトロバルブ。
5. The microelectrovalve according to claim 1, wherein a spring is inserted between a shoulder provided on the spool and the sleeve on a side where the electromagnet core is located.
【請求項6】前記スプールが該スプールの長手方向軸線
に平行に且つ該スプールの幅全体に亘って延びる開口を
その中央部に備えている請求項に記載のマイクロエレ
クトロバルブ。
6. A micro-electrovalve as claimed in claim 1, wherein said spool has an opening in its center which extends parallel to the longitudinal axis of the spool and over the entire width of the spool.
【請求項7】前記スプールの中央部が、前記開口が穿設
されている面に垂直な面に沿って切り欠かれ、スプール
の長手方向軸線と該スプールの円筒形状における母線と
の間の領域にランドが形成されている請求項に記載の
マイクロエレクトロバルブ。
7. A central portion of the spool is cut along a plane perpendicular to a plane in which the opening is formed, and a region between a longitudinal axis of the spool and a generating line of the cylindrical shape of the spool. The microelectrovalve according to claim 1, wherein a land is formed on the microelectrode.
【請求項8】前記ランドの中央部において該ランドを横
切るように2つのノッチが設けられている請求項に記
載のマイクロエレクトロバルブ。
8. The micro-electro-valve according to claim 1, wherein two notches are provided at the center of the land so as to cross the land.
【請求項9】前記メンブレンが前記バルブボディの側面
に設けられた円筒状開口のエッジと、該開口を閉じる所
定断面形状のフランジとの間に挟持されている請求項
に記載のマイクロエレクトロバルブ。
9. The micro-electro-valve according to claim 1, wherein said membrane is sandwiched between an edge of a cylindrical opening provided on a side surface of said valve body and a flange having a predetermined sectional shape for closing said opening.
【請求項10】前記フランジが、流体の供給及び排出の
ための3本のパイプを貫通させて支持しており、これら
のパイプは該フランジ及び前記メンブレンの間に形成さ
れた小さいチャンバ内に開いている請求項に記載のマ
イクロエレクトロバルブ。
10. The flange supports three pipes for fluid supply and discharge therethrough which open into a small chamber formed between the flange and the membrane. A microelectrovalve according to claim 1.
【請求項11】前記フランジがカップ形状の断面を有
し、その中央部にボールを受け入れる円錐状凹部が設け
られている請求項に記載のマイクロエレクトロバル
ブ。
11. The micro-electro-valve according to claim 1, wherein said flange has a cup-shaped cross section, and a conical recess for receiving a ball is provided at a central portion thereof.
【請求項12】前記スプールは該スプールの長手方向軸
線に平行に且つ該スプールの幅全体に亘って延びる開口
をその中央部に備え、前記メンブレンは前記バルブボデ
ィの側面に設けられた円筒状開口のエッジと、該開口を
閉じる断面カップ形状であって、中央部にボールを受け
入れる円錐状凹部が設けられたフランジとの間に挟持さ
れており、前記ロッカーは下部に円錐面を有し且つ上部
に突設した軸を有していて、該下部円錐面がスプリング
の作用下に前記メンブレンの上面に接するように前記ボ
ール上で回動し、前記上部軸は前記スプールの開口に係
合している請求項に記載のマイクロエレクトロバル
ブ。
12. The spool has at its center an opening extending parallel to the longitudinal axis of the spool and over the entire width of the spool, and the membrane has a cylindrical opening formed in a side surface of the valve body. And a flange having a cup-shaped cross-section closing the opening and having a conical concave portion for receiving a ball in a central portion, the rocker having a conical surface at a lower portion and an upper portion having a conical surface. The lower conical surface rotates on the ball under the action of a spring so as to contact the upper surface of the membrane, and the upper shaft engages with the opening of the spool. A microelectrovalve according to claim 1.
【請求項13】前記ロッカーの円錐状面が前記メンブレ
ンの上面に接着されている請求項に記載のマイクロエ
レクトロバルブ。
13. The microelectrovalve according to claim 1, wherein the conical surface of the rocker is adhered to the upper surface of the membrane.
【請求項14】前記ロッカーの円錐状面が、中央部に凹
所を備え、該ロッカーを前記ボール上に位置させるよう
にされている請求項に記載のマイクロエレクトロバル
ブ。
14. The micro-electrovalve as claimed in claim 1, wherein the conical surface of the rocker has a recess in the center so as to position the rocker on the ball.
【請求項15】前記スプールは該スプールの長手方向軸
線に平行に且つ該スプールの幅全体に亘って延びる開口
をその中央部に備えており、該スプールの中央部には前
記開口が穿設されている面に垂直な面に沿って切り欠き
を設けられ、前記スプールの長手方向軸線と該スプール
の円筒形状における母線との間の領域にはランドが形成
されており、該ランドの中央部において該ランドを横切
るように2つのノッチが設けられ、前記メンブレンは前
記バルブボディの側面に設けられた円筒状開口のエッジ
と、該開口を閉じる断面カップ形状であって、中央部に
ボールを受け入れる円錐状凹部が設けられたフランジと
の間に挟持されており、前記ロッカーは下部に円錐面を
有し且つ上部に突設した軸を有していて、該下部円錐面
がスプリングの作用下に前記メンブレンの上面に接する
ように前記ボール上で回動し、該上部軸は前記スプール
の開口に係合しており、さらに、該ロッカーは前記円錐
状面と反対側に、前記スプールのノッチに係合するクロ
スピースを備えている請求項に記載のマイクロエレク
トロバルブ。
15. The spool has an opening in the center thereof extending parallel to the longitudinal axis of the spool and across the entire width of the spool, the opening being drilled in the center of the spool. A notch is provided along a plane perpendicular to the plane of the spool, and a land is formed in a region between a longitudinal axis of the spool and a generating line of the spool in a cylindrical shape. Two notches are provided across the land, and the membrane has an edge of a cylindrical opening provided on a side surface of the valve body, a cup-shaped cross section for closing the opening, and a cone receiving a ball in a central portion. The rocker has a conical surface in the lower part and a shaft protruding in the upper part, the lower conical surface acting as a spring. Swiveling on the ball below to contact the upper surface of the membrane, the upper axle engages the opening of the spool, and the rocker is mounted on the side of the spool opposite the conical surface. The micro-electro-valve according to claim 1, further comprising a crosspiece engaging the notch.
【請求項16】前記スプールの開口を通って延びるよう
にスプリングが配置され、該スプリングは前記バルブボ
ディの他方の側面に設けられた位置調整可能なストッパ
に支持されている請求項に記載のマイクロエレクトロ
バルブ。
16. The microcontroller according to claim 1, wherein a spring is arranged to extend through the opening of the spool, and the spring is supported by a position-adjustable stopper provided on the other side of the valve body. Electro valve.
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