JP2790778B2 - 放射線画像記録読取検査装置 - Google Patents
放射線画像記録読取検査装置Info
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- JP2790778B2 JP2790778B2 JP6187075A JP18707594A JP2790778B2 JP 2790778 B2 JP2790778 B2 JP 2790778B2 JP 6187075 A JP6187075 A JP 6187075A JP 18707594 A JP18707594 A JP 18707594A JP 2790778 B2 JP2790778 B2 JP 2790778B2
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- Japan
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- scanning
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- light
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- Radiography Using Non-Light Waves (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，放射線画像記録読取検
査装置及び光ビーム走査装置に関するものである。
査装置及び光ビーム走査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板の傷や半田斑等を検査する
手法として，近年基板等に照射した放射線の透過画像を
検出する放射線画像検査装置が開発されている。そして
最近は上記のような放射線の透過画像を記録する手段と
して，蓄積性蛍光体（輝尽性蛍光体）を用いる技術が注
目されている。ここで蓄積性蛍光体とは，放射線（Ｘ
線，α線，β線，γ線，電子線，紫外線等）を照射する
と，この放射線エネルギの一部を蓄積し，後に可視光線
等の励起光を照射すると，蓄積されたエネルギに応じて
輝尽性発光する蛍光体をいう。かかる蓄積性蛍光体に記
憶された画像を読み出す場合には，画像情報の記憶され
た蓄積性蛍光体をレーザ光等の励起光で２次元的に走査
して輝尽性蛍光を生じさせ，この輝尽性蛍光光を光電的
に時系列電気信号として読み取り，この電気信号に基づ
いて被写体の放射線画像を写真感光材料等の記憶材料或
いは，モニター画面等に可視像として出力させる。上記
２次元的走査は１次元的に前記蓄積性蛍光体を光ビーム
で主走査すると共に，上記基板等の被写体を主走査方向
とは直角の副走査方向にコンベア等により副走査するこ
とにより行う。従来の放射線画像検査装置の一例とし
て，特公平３−１６００７号公報に開示された放射線画
像情報記録読取装置が知られている。この装置は，蓄積
性蛍光体シートに被写体を通して放射線を照射すること
により，このシートに被写体の放射線透過画像を蓄積記
録する画像記録部と，放射線画像の蓄積記録されたシー
トを励起光で走査してシートから発する輝尽性蛍光光を
読み取る画像読取部と，画像読取の行われた後のシート
に残存する記録画像を消去する消去部とを供えている。
手法として，近年基板等に照射した放射線の透過画像を
検出する放射線画像検査装置が開発されている。そして
最近は上記のような放射線の透過画像を記録する手段と
して，蓄積性蛍光体（輝尽性蛍光体）を用いる技術が注
目されている。ここで蓄積性蛍光体とは，放射線（Ｘ
線，α線，β線，γ線，電子線，紫外線等）を照射する
と，この放射線エネルギの一部を蓄積し，後に可視光線
等の励起光を照射すると，蓄積されたエネルギに応じて
輝尽性発光する蛍光体をいう。かかる蓄積性蛍光体に記
憶された画像を読み出す場合には，画像情報の記憶され
た蓄積性蛍光体をレーザ光等の励起光で２次元的に走査
して輝尽性蛍光を生じさせ，この輝尽性蛍光光を光電的
に時系列電気信号として読み取り，この電気信号に基づ
いて被写体の放射線画像を写真感光材料等の記憶材料或
いは，モニター画面等に可視像として出力させる。上記
２次元的走査は１次元的に前記蓄積性蛍光体を光ビーム
で主走査すると共に，上記基板等の被写体を主走査方向
とは直角の副走査方向にコンベア等により副走査するこ
とにより行う。従来の放射線画像検査装置の一例とし
て，特公平３−１６００７号公報に開示された放射線画
像情報記録読取装置が知られている。この装置は，蓄積
性蛍光体シートに被写体を通して放射線を照射すること
により，このシートに被写体の放射線透過画像を蓄積記
録する画像記録部と，放射線画像の蓄積記録されたシー
トを励起光で走査してシートから発する輝尽性蛍光光を
読み取る画像読取部と，画像読取の行われた後のシート
に残存する記録画像を消去する消去部とを供えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような放射線画
像記録読取装置における上記画像読取部では，蓄積性蛍
光体に対する副走査は，該蓄積性蛍光体を少しずつ搬送
させることより行われるので，副走査に多大の時間がか
かる欠点があった。
像記録読取装置における上記画像読取部では，蓄積性蛍
光体に対する副走査は，該蓄積性蛍光体を少しずつ搬送
させることより行われるので，副走査に多大の時間がか
かる欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は，被走査体を搬送する副走査搬送装置と，上
記副走査搬送装置による搬送方向に複数配列され，１個
の被走査体に対して上記副走査搬送装置による搬送方向
に略直交する方向に同時に光ビームを主走査する複数の
主走査装置とを具備する光ビーム走査装置において，前
記複数の主走査装置が共通の光源からの光ビームを共用
してなることを特徴とする光ビーム走査装置として構成
されている。 更に，前記複数の主走査装置による光ビー
ムの照射強度は同一とすることが望ましい。
に本発明は，被走査体を搬送する副走査搬送装置と，上
記副走査搬送装置による搬送方向に複数配列され，１個
の被走査体に対して上記副走査搬送装置による搬送方向
に略直交する方向に同時に光ビームを主走査する複数の
主走査装置とを具備する光ビーム走査装置において，前
記複数の主走査装置が共通の光源からの光ビームを共用
してなることを特徴とする光ビーム走査装置として構成
されている。 更に，前記複数の主走査装置による光ビー
ムの照射強度は同一とすることが望ましい。
【０００５】
【作用】本発明によれば，１個の被走査体に対して上記
副走査搬送装置による搬送方向に略直交する方向に同時
に光ビームを主走査する主走査装置を副走査方向に複数
配列したものであるから，１個の被写体を複数に分割し
て一斉に画像記録，または走査することができ，副走査
の時間が主走査装置の数に反比例して短くなるので，副
走査に時間がかかるといった従来の問題が一挙に解決さ
れると共に，前記複数の主走査装置の光源を共用するこ
とにより，経済性が向上する。更に，前記複数の主走査
装置による光ビームの照射強度を同一とすることによ
り，主走査装置間の出力の校正が容易となる。
副走査搬送装置による搬送方向に略直交する方向に同時
に光ビームを主走査する主走査装置を副走査方向に複数
配列したものであるから，１個の被写体を複数に分割し
て一斉に画像記録，または走査することができ，副走査
の時間が主走査装置の数に反比例して短くなるので，副
走査に時間がかかるといった従来の問題が一挙に解決さ
れると共に，前記複数の主走査装置の光源を共用するこ
とにより，経済性が向上する。更に，前記複数の主走査
装置による光ビームの照射強度を同一とすることによ
り，主走査装置間の出力の校正が容易となる。
【０００６】
【実施例】以下添付図面を参照して，本発明を具体化し
た実施例につき説明し，本発明の理解に供する。尚，以
下の実施例は，本発明を具体化した一例であって，本発
明の技術的範囲を限定する性格のものではない。ここ
に，図１は本発明の一実施例に係る画像読取装置が搭載
された基板検査装置の透視斜視図，図２は上記画像読取
装置の概念図，図３は図１に示した被写体（基板）又は
記録プレートの搬送装置に用いられる真空吸着装置の斜
視図である。図１に示した検査装置は本発明に係る光ビ
ーム走査装置を画像読取装置としてシリコン基板の半田
付け不良の検査装置に搭載した実施例である。半田付け
検査装置２０は，Ｘ線発生装置２１，プリント基板Ｐを
矢印Ｘで示す水平方向に搬送する基板搬送装置２２（前
半の画像記録部の搬送装置２２ａと，後半の搬送装置２
２ｂとに分かれている），蓄積性蛍光体シートＳの載置
台２３を矢印Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ，Ｙ4 に示すように水平
面内で搬送する図外の蓄積性蛍光体シート搬送装置と，
搬送されて来た蓄積性蛍光体シートＳに記憶された画像
情報を消去する蛍光灯よりなる消去部２８とを主たる構
成要素としている。なお，上記基板搬送装置２２ａ，２
２ｂは夫々に設けられたモータＭ1 ，Ｍ2により被検査
物である基板の大きさに対応して矢印Ｚ方向に昇降でき
る共に，上記昇降動作により焦点調整が行えるようにな
っている。図示したようにＸ線発生装置２１は下方（床
方向）に向けて放射線を放射し，基板搬送装置２２ａで
搬送される下方の基板を透過した放射線を，そのまた下
方に位置決めされた蓄積性蛍光体シートＳに照射し，基
板及びその表面の半田付け部に対応した画像を蓄積性蛍
光体シートＳに記憶させる。
た実施例につき説明し，本発明の理解に供する。尚，以
下の実施例は，本発明を具体化した一例であって，本発
明の技術的範囲を限定する性格のものではない。ここ
に，図１は本発明の一実施例に係る画像読取装置が搭載
された基板検査装置の透視斜視図，図２は上記画像読取
装置の概念図，図３は図１に示した被写体（基板）又は
記録プレートの搬送装置に用いられる真空吸着装置の斜
視図である。図１に示した検査装置は本発明に係る光ビ
ーム走査装置を画像読取装置としてシリコン基板の半田
付け不良の検査装置に搭載した実施例である。半田付け
検査装置２０は，Ｘ線発生装置２１，プリント基板Ｐを
矢印Ｘで示す水平方向に搬送する基板搬送装置２２（前
半の画像記録部の搬送装置２２ａと，後半の搬送装置２
２ｂとに分かれている），蓄積性蛍光体シートＳの載置
台２３を矢印Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ，Ｙ4 に示すように水平
面内で搬送する図外の蓄積性蛍光体シート搬送装置と，
搬送されて来た蓄積性蛍光体シートＳに記憶された画像
情報を消去する蛍光灯よりなる消去部２８とを主たる構
成要素としている。なお，上記基板搬送装置２２ａ，２
２ｂは夫々に設けられたモータＭ1 ，Ｍ2により被検査
物である基板の大きさに対応して矢印Ｚ方向に昇降でき
る共に，上記昇降動作により焦点調整が行えるようにな
っている。図示したようにＸ線発生装置２１は下方（床
方向）に向けて放射線を放射し，基板搬送装置２２ａで
搬送される下方の基板を透過した放射線を，そのまた下
方に位置決めされた蓄積性蛍光体シートＳに照射し，基
板及びその表面の半田付け部に対応した画像を蓄積性蛍
光体シートＳに記憶させる。
【０００７】画像を記憶した蓄積性蛍光体シートＳは矢
印Ｙ1 で示すように画像読取部１３に送られる。画像読
取部１３の詳細は図２に示す通りである。画像読取部１
３は，本発明の光ビーム走査装置の一実施例を構成す
る。即ち，レーザ光源１から発射されたレーザ光は矢印
で示す如く，ガルバノメータ２紙面に直角の面４内で往
復偏光され，ｆ−θレンズ３を通って収差を解消された
上でハーフミラー５に至る。ハーフミラー５は透過率が
５０％に設定されており，反射した全反射ミラー６ａに
至る光量と，透過した全反射ミラー６ｃに至る光量とが
同じになる。全反射ミラー６ａで反射されたレーザ光
は，更に全反射ミラー６ｂで反射されて，載置台２３上
に載置された蓄積性蛍光体シートＳに照射される。また
ハーフミラー５を透過したレーザ光は全反射ミラー６ｃ
で反射されて，前記蓄積性蛍光体シートＳに照射され
る。前記全反射ミラー６ｂからのレーザ光は，蓄積性蛍
光体シートＳの搬送方向（Ｙ1 ) にみて下流側の領域に
照射され，全反射ミラー６ｃからのレーザ光は，上流側
の領域に照射される。両レーザ光は同時に蓄積性蛍光体
シートＳに照射されるので，１つのレーザ光のみで読取
処理するより半分の時間で１枚の蓄積性蛍光体シートＳ
を読取処理することができる。また，両レーザ光の光量
が等しいので，途中で光量調整の必要がない。上記蓄積
性蛍光体シートＳの載置台２３は蓄積性蛍光体シートＳ
を確実に位置決めすると共に，蓄積性蛍光体シートＳを
簡単に着脱できるようにする為に，真空吸着装置２４を
その上面に備えている。上記真空吸着装置２４の詳細は
図３に示されており，載置台２３は内部が空洞になって
おり，その上面に形成した複数の吸引孔２５，２５，…
と，真空源２６に連結されたフレキシブルチューブ２７
とが，上記空洞を介して連通している。従って，２点鎖
線で示す蓄積性蛍光体シートＳを上記載置台２３上に載
せて真空源２６を作動させることにより，蓄積性蛍光体
シートＳを確実に載置台２３上に固定し位置決めするこ
とができる。蓄積性蛍光体シートＳの固定を解除するに
は，上記真空源２６を停止させるだけよい。
印Ｙ1 で示すように画像読取部１３に送られる。画像読
取部１３の詳細は図２に示す通りである。画像読取部１
３は，本発明の光ビーム走査装置の一実施例を構成す
る。即ち，レーザ光源１から発射されたレーザ光は矢印
で示す如く，ガルバノメータ２紙面に直角の面４内で往
復偏光され，ｆ−θレンズ３を通って収差を解消された
上でハーフミラー５に至る。ハーフミラー５は透過率が
５０％に設定されており，反射した全反射ミラー６ａに
至る光量と，透過した全反射ミラー６ｃに至る光量とが
同じになる。全反射ミラー６ａで反射されたレーザ光
は，更に全反射ミラー６ｂで反射されて，載置台２３上
に載置された蓄積性蛍光体シートＳに照射される。また
ハーフミラー５を透過したレーザ光は全反射ミラー６ｃ
で反射されて，前記蓄積性蛍光体シートＳに照射され
る。前記全反射ミラー６ｂからのレーザ光は，蓄積性蛍
光体シートＳの搬送方向（Ｙ1 ) にみて下流側の領域に
照射され，全反射ミラー６ｃからのレーザ光は，上流側
の領域に照射される。両レーザ光は同時に蓄積性蛍光体
シートＳに照射されるので，１つのレーザ光のみで読取
処理するより半分の時間で１枚の蓄積性蛍光体シートＳ
を読取処理することができる。また，両レーザ光の光量
が等しいので，途中で光量調整の必要がない。上記蓄積
性蛍光体シートＳの載置台２３は蓄積性蛍光体シートＳ
を確実に位置決めすると共に，蓄積性蛍光体シートＳを
簡単に着脱できるようにする為に，真空吸着装置２４を
その上面に備えている。上記真空吸着装置２４の詳細は
図３に示されており，載置台２３は内部が空洞になって
おり，その上面に形成した複数の吸引孔２５，２５，…
と，真空源２６に連結されたフレキシブルチューブ２７
とが，上記空洞を介して連通している。従って，２点鎖
線で示す蓄積性蛍光体シートＳを上記載置台２３上に載
せて真空源２６を作動させることにより，蓄積性蛍光体
シートＳを確実に載置台２３上に固定し位置決めするこ
とができる。蓄積性蛍光体シートＳの固定を解除するに
は，上記真空源２６を停止させるだけよい。
【０００８】蓄積性蛍光体シートＳ上の２つのレーザ光
で励起された領域からは夫々可視蛍光光が発生するの
で，前記ガルバノメータによる偏光（主走査）角度及び
画像読取部１３内で矢印Ｙ1 で示す副走査方向への搬送
ベルト１０による搬送量で決まる位置からの蛍光光量を
時分割的に検光器７，７により検出することで，蓄積性
蛍光体シートＳに蓄積された基板Ｐ及びその半田付け部
によるＸ線の透過量分布に対応する２次元画像を時分割
データとして検出することができる。画像読取の終了し
た蓄積性蛍光体シートＳは図示せぬ搬送装置により矢印
Ｙ2方向に送られ, 消去装置２８の下方で消去用の蛍光
灯光に曝されて記憶を消失する。記憶の消去された蓄積
性蛍光体シートＳは更に矢印Ｙ3 及びＹ4 で示すように
水平平面内で送られて再度Ｘ線発生部２１の下部の画像
記録部に循環する。上記工程を繰替えすことにより，蓄
積性蛍光体シートＳを排出することなく繰り返し使用す
ることが出来る。上の実施例では蓄積性蛍光体シートＳ
からの画像データを読み取る読取部に本発明の光ビーム
走査装置を用いた例を示したが，蓄積性蛍光体シートの
かわりに感光体シートを載置台２３上に載置し，画像デ
ータに応じた光量の光線を２本の光源から感光体シート
に照射する画像形成（書き込み）装置にも，本発明は適
用できることを付記しておく。
で励起された領域からは夫々可視蛍光光が発生するの
で，前記ガルバノメータによる偏光（主走査）角度及び
画像読取部１３内で矢印Ｙ1 で示す副走査方向への搬送
ベルト１０による搬送量で決まる位置からの蛍光光量を
時分割的に検光器７，７により検出することで，蓄積性
蛍光体シートＳに蓄積された基板Ｐ及びその半田付け部
によるＸ線の透過量分布に対応する２次元画像を時分割
データとして検出することができる。画像読取の終了し
た蓄積性蛍光体シートＳは図示せぬ搬送装置により矢印
Ｙ2方向に送られ, 消去装置２８の下方で消去用の蛍光
灯光に曝されて記憶を消失する。記憶の消去された蓄積
性蛍光体シートＳは更に矢印Ｙ3 及びＹ4 で示すように
水平平面内で送られて再度Ｘ線発生部２１の下部の画像
記録部に循環する。上記工程を繰替えすことにより，蓄
積性蛍光体シートＳを排出することなく繰り返し使用す
ることが出来る。上の実施例では蓄積性蛍光体シートＳ
からの画像データを読み取る読取部に本発明の光ビーム
走査装置を用いた例を示したが，蓄積性蛍光体シートの
かわりに感光体シートを載置台２３上に載置し，画像デ
ータに応じた光量の光線を２本の光源から感光体シート
に照射する画像形成（書き込み）装置にも，本発明は適
用できることを付記しておく。
【０００９】
【発明の効果】本発明に係る光ビーム走査装置では，複
数の主走査装置が１つの走査対象物に対して同時に主走
査するので，走査時間が上記主走査装置の数に反比例し
て短縮されると共に，複数設けられた主走査装置を，共
通の光源からの光ビームを共用して構成しているため，
光源の数を減らして経済的な装置を得ることができる。
更に，前記複数の主走査装置による光ビームの照射強度
を同一とすれば，各主走査装置からの出力のレンジを校
正する必要がなく，出力装置が簡素化される。
数の主走査装置が１つの走査対象物に対して同時に主走
査するので，走査時間が上記主走査装置の数に反比例し
て短縮されると共に，複数設けられた主走査装置を，共
通の光源からの光ビームを共用して構成しているため，
光源の数を減らして経済的な装置を得ることができる。
更に，前記複数の主走査装置による光ビームの照射強度
を同一とすれば，各主走査装置からの出力のレンジを校
正する必要がなく，出力装置が簡素化される。
【００１０】
ここに，図１は本発明の一実施例に係る画像読取装置が
搭載された基板検査装置の透視斜視図，図２は上記画像
読取装置の概念図，図３は図１に示した被写体（基板）
又は記録プレートの搬送装置に用いられる真空吸着装置
の斜視図である。
搭載された基板検査装置の透視斜視図，図２は上記画像
読取装置の概念図，図３は図１に示した被写体（基板）
又は記録プレートの搬送装置に用いられる真空吸着装置
の斜視図である。
【図１】 本発明の一実施例に係る画像読取装置が搭載
された基板検査装置の透視斜視図。
された基板検査装置の透視斜視図。
【図２】 上記画像読取装置の概念図。
【図３】 図１に示した被写体（基板）又は記録プレー
トの搬送装置に用いられる真空吸着装置の斜視。
トの搬送装置に用いられる真空吸着装置の斜視。
１…レーザ装置 ２…ガルバノメータ ７…検光器 Ｐ…基板 Ｓ…蓄積性蛍光体シート ２０…半田付け検査装置 ２１…Ｘ線発生装置 ２２…基板搬送装置 ２３…載置台 １３…画像読取部 ２４…真空吸着装置 ２８…消去装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−95337（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−283740（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−265841（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−247637（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03B 42/02
Claims (2)
- 【請求項１】 被走査体を搬送する副走査搬送装置と， 上記副走査搬送装置による搬送方向に複数配列され，１
個の被走査体に対して上記副走査搬送装置による搬送方
向に略直交する方向に同時に光ビームを主走査する複数
の主走査装置とを具備する光ビーム走査装置において， 前記複数の主走査装置が共通の光源からの光ビームを共
用してなることを特徴とする光ビーム走査装置。 - 【請求項２】 前記複数の主走査装置による光ビームの
照射強度が同一となるとなるように調整されてなる請求
項１記載の光ビーム走査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6187075A JP2790778B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | 放射線画像記録読取検査装置 |
| PCT/JP1995/001569 WO1996005714A1 (fr) | 1994-08-08 | 1995-08-08 | Procede et dispositif de verification des soudures d'une plaquette de circuit imprime |
| US08/776,651 US5836504A (en) | 1994-08-08 | 1995-08-08 | Method and apparatus for soldering inspection of a surface mounted circuit board |
| EP95927985A EP0776151A4 (en) | 1994-08-08 | 1995-08-08 | METHOD AND DEVICE FOR SOLDERING TESTING A CIRCUIT BOARD |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6187075A JP2790778B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | 放射線画像記録読取検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854695A JPH0854695A (ja) | 1996-02-27 |
| JP2790778B2 true JP2790778B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=16199702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6187075A Expired - Lifetime JP2790778B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-09 | 放射線画像記録読取検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2790778B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10214763A1 (de) * | 2002-04-03 | 2003-10-30 | Philips Intellectual Property | Verfahren zur Bestimmung eines Bildes aus einer Bildsequenz |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6195337A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像情報記録読取装置 |
| JPH02247637A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-03 | Fujitsu Ltd | 放射線画像読み取り装置 |
| JPH03265841A (ja) * | 1990-03-15 | 1991-11-26 | Fujitsu Ltd | 放射線画像撮影装置 |
| JPH04283740A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-08 | Fujitsu Ltd | Ｘ線画像変換装置 |
-
1994
- 1994-08-09 JP JP6187075A patent/JP2790778B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0854695A (ja) | 1996-02-27 |
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