JP2790353B2 - Organic thin-film electroluminescence device - Google Patents

Organic thin-film electroluminescence device

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JP2790353B2
JP2790353B2 JP2013712A JP1371290A JP2790353B2 JP 2790353 B2 JP2790353 B2 JP 2790353B2 JP 2013712 A JP2013712 A JP 2013712A JP 1371290 A JP1371290 A JP 1371290A JP 2790353 B2 JP2790353 B2 JP 2790353B2
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地潮 細川
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子に関
し、詳しくは各種表示装置の発光体として用いられる有
機薄膜エレクトロルミネッセンス素子に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic thin-film electroluminescence device, and more particularly, to an organic thin-film electroluminescence device used as a luminous body of various display devices.

〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by conventional technology and invention]

エレクトロルミネッセンス素子(以下EL素子という)
は、自己発光のため視認性が高く、また完全固体素子で
あるため耐衝撃性に優れるという特徴を有しており、現
在、無機,有機化合物を発光層に用いた様々なEL素子が
提案され、実用化が試みられている。このうち、有機薄
膜EL素子は、印加電圧を大幅に低下させることができる
ため、各種材料が開発されつつある。
Electroluminescence device (hereinafter referred to as EL device)
Is characterized by high visibility due to self-luminescence and excellent impact resistance because it is a completely solid-state device. Currently, various EL devices using inorganic and organic compounds for the light-emitting layer have been proposed. Has been attempted for practical use. Among these, various materials are being developed for the organic thin film EL element because the applied voltage can be greatly reduced.

一方、紫外線発光固体素子は、研究室レベルにおい
て、BN pn接合型発光ダイオードが実現されている(Sci
ence,238,181(1987)及びJSAP Catalog Number 881105
−03,p.916)。この素子は、200〜400nmの紫外線を発光
することが可能である。しかし、大型のBNの結晶を成長
させることは困難であり、現在のところ、わずか1mm大
の結晶により発光が得られているにすぎない。そのた
め、実用化は極めて難しく、面発光は不可能である。
On the other hand, a BN pn junction type light emitting diode has been realized at the laboratory level for ultraviolet light emitting solid-state devices (Sci.
ence, 238 , 181 (1987) and JSAP Catalog Number 881105
−03, p.916). This device can emit ultraviolet light having a wavelength of 200 to 400 nm. However, it is difficult to grow a large BN crystal, and at present, light emission is obtained only by a crystal as large as 1 mm. Therefore, practical application is extremely difficult, and surface light emission is impossible.

ところで、有機薄膜EL素子は、比較的簡易な素子構成
で可視光の面発光が、数十Vの電圧を印加するだけで得
られているが、紫外光発光は未だ得られていない(Thin
Solid Films,94,171(1982),特開昭61−43682号公報
〜同61−43691号公報,同59−194393号公報,Appl.Phys.
Lett.51,913(1987)及び米国特許第9720437号明細
書)。
By the way, the organic thin-film EL element can obtain surface light of visible light by applying a voltage of several tens of volts with a relatively simple element configuration, but has not yet obtained light emission of ultraviolet light (Thin).
Solid Films, 94 , 171 (1982), JP-A-61-43682 to JP-A-61-43691, JP-A-59-194393, Appl. Phys.
Lett. 51 , 913 (1987) and US Patent No. 9720437).

また、有機単結晶のEL素子は、p−ターフェニル,ナ
フタレンの結晶を用いて紫外光発光を得ているが、印加
電圧が100V以上必要であり、しかも単結晶を用いなけれ
ばならないので、生産性が低く実用的でない(Z.Bursht
ein,Mol.Cryst.60,207(1980))。
Organic single-crystal EL devices emit ultraviolet light using crystals of p-terphenyl and naphthalene, but require an applied voltage of 100 V or more, and must use a single crystal. Poor and impractical (Z. Bursht
ein, Mol. Cryst. 60 , 207 (1980)).

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

そこで本発明者らは、上記従来技術の問題点を解消
し、低電圧を印加するだけで高輝度に発光し、しかも構
成が簡単で容易に製造でき、そのうえ不良品の発生が少
なく高い歩留りで製造することのできるEL素子を開発す
べく鋭意研究を重ねた。
Therefore, the present inventors have solved the above-mentioned problems of the prior art, emit light with high luminance only by applying a low voltage, and have a simple structure and can be easily manufactured. We worked diligently to develop EL devices that can be manufactured.

その結果、特定の有機化合物を発光材料として用いる
こと、あるいは所望によりこの有機化合物を電極間に設
けることにより、これらの条件を達成でき、しかも紫外
光面発光を実現できることを見出した。本発明はかかる
知見に基いて完成したものである。すなわち、本発明は 一般式(I) 又は一般式(II) 〔式中、R1〜R10はそれぞれ水素原子,炭素数1〜6の
アルキル基,炭素数1〜6のアルコキシ基,水酸基,ス
ルホン酸基,カルボニル基,カルボキシル基,アミノ
基,ジメチルアミノ基,シアノ基,ハロゲン原子,アシ
ルオキシ基,アシル基,アルコキシカルボニル基,アリ
ールオキシカルボニル基,アミノカルボニル基あるいは
アシルアミノ基を示し、また、これらR1〜R10は互いに
結合して置換,無置換の飽和5員環あるいは置換,無置
換の飽和6員環を形成してもよい。nは2〜5の整数を
示す。なお、複数のR4〜R6はそれぞれ同じでも異なって
もよい。但し、式(I)において、R1〜R9のすべてが水
素原子を示し、かつnが3を示す場合を除く。〕 で表わされる化合物を発光材料として用いたことを特徴
とする有機薄膜EL素子を提供するものである。
As a result, they have found that by using a specific organic compound as a light emitting material, or by providing this organic compound between electrodes as desired, these conditions can be achieved, and furthermore, ultraviolet surface light emission can be realized. The present invention has been completed based on such findings. That is, the present invention provides a compound represented by the general formula (I): Or general formula (II) [Wherein, R 1 to R 10 are each a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a hydroxyl group, a sulfonic acid group, a carbonyl group, a carboxyl group, an amino group, and a dimethylamino group. , A cyano group, a halogen atom, an acyloxy group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an aminocarbonyl group or an acylamino group, and these R 1 to R 10 are bonded to each other to be substituted or unsubstituted saturated. A 5-membered ring or a substituted or unsubstituted saturated 6-membered ring may be formed. n shows the integer of 2-5. Note that a plurality of R 4 to R 6 may be the same or different. However, in formula (I), the case where all of R 1 to R 9 represent a hydrogen atom and n represents 3 is excluded. ] It is intended to provide an organic thin film EL device characterized by using a compound represented by the formula (1) as a light emitting material.

本発明において、発光材料として用いられる有機化合
物は、上記一般式(I)あるいは(II)で表わされる化
合物であり、この化合物は式中の置換基R1〜R10の種類
により各種のものがあげられる。つまり、R1〜R10はそ
れぞれ水素原子,炭素数1〜6のアルキル基(メチル
基,エチル基,イソプロピル基,tert−ブチル基等),
炭素数1〜6のアルコキシ基(メトキシ基,エトキシ
基,プロポキシ基,ブトキシ基等),水酸基,スルホン
酸基,カルボニル基,カルボキシル基,アミノ基,ジメ
チルアミノ基,シアノ基,ハロゲン原子(塩素,フッ
素,臭素,沃素),アシルオキシ基(アセトキシ基,ベ
ンゾイルオキシ基など),アシル基(アセチル基,ベン
ゾイル基など),アルコキシカルボニル基(メトキシカ
ルボニル基など),アリールオキシカルボニル基(フェ
ノキシカルボニル基など),アミノカルボニル基あるい
はアシルアミノ基(アセトアミノ基,ベンズアミノ基な
ど)を示し、また、これらR1〜R10は互いに結合して置
換,無置換の飽和5員環あるいは置換,無置換の飽和6
員環を形成してもよい。nは2〜5の整数を示す。ま
た、nの数に対応する数のR4〜R6の各々は、同じでも異
なってもよい。但し、式(I)において、R1〜R9のすべ
てが水素原子を示しかつnが3を示す化合物は、本発明
の対象から除外される。
In the present invention, the organic compound used as the light-emitting material is a compound represented by the above general formula (I) or (II), and this compound may be of various types depending on the types of the substituents R 1 to R 10 in the formula. can give. That is, R 1 to R 10 are each a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (methyl group, ethyl group, isopropyl group, tert-butyl group, etc.),
An alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms (methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, etc.), hydroxyl group, sulfonic acid group, carbonyl group, carboxyl group, amino group, dimethylamino group, cyano group, halogen atom (chlorine, Fluorine, bromine, iodine), acyloxy group (acetoxy group, benzoyloxy group, etc.), acyl group (acetyl group, benzoyl group, etc.), alkoxycarbonyl group (methoxycarbonyl group, etc.), aryloxycarbonyl group (phenoxycarbonyl group, etc.) , An aminocarbonyl group or an acylamino group (acetamino group, benzamino group, etc.), and these R 1 to R 10 are bonded to each other to form a substituted or unsubstituted saturated 5-membered ring or a substituted or unsubstituted saturated 6-membered ring.
A member ring may be formed. n shows the integer of 2-5. Further, the numbers R 4 to R 6 corresponding to the number n may be the same or different. However, in the formula (I), compounds wherein all of R 1 to R 9 represent a hydrogen atom and n represents 3 are excluded from the scope of the present invention.

このような本発明の化合物のうち、特に一般式(I)
あるいは(II)中のフェニレン基(置換フェニレン基)
がp−位において両側の隣接基と結合している化合物
(換言すれば、p−フェニレン基(置換p−フェニレン
基)を有する化合物)が、結晶性が良好で平滑な蒸着膜
が形成できるため好ましい。
Among such compounds of the present invention, particularly, the compound represented by the general formula (I)
Or phenylene group in (II) (substituted phenylene group)
Is bonded to adjacent groups on both sides at the p-position (in other words, a compound having a p-phenylene group (substituted p-phenylene group)) because a compound having good crystallinity and a smooth deposited film can be formed. preferable.

このような本発明の化合物の具体例を挙げれば次のと
おりである。
Specific examples of such a compound of the present invention are as follows.

本発明のEL素子において、上記発光材料からなる薄膜
の膜厚は、適宜状況に応じて選定すればよいが、通常は
5nm〜5μm程度とすればよい。また、本発明のEL素子
の構成は各種の形態があるが、基本的には二つの電極
(陽極と陰極、そのうち少なくとも一方が透明または半
透明)の間に、上記発光材料からなる発光層を挟持した
構成として、これに必要に応じて他層を介在させればよ
い。具体的には、(1)陽極/発光層/陰極,(2)陽
極/正孔注入層/発光層/陰極,(3)陽極/正孔注入
層/発光層/電子注入層/陰極,(4)陽極/発光層/
電子注入層/陰極などの構成がある。なお、これらのEL
素子は、支持基板上に形成することが好ましい。
In the EL device of the present invention, the thickness of the thin film made of the light-emitting material may be appropriately selected depending on the situation, but is usually
It may be about 5 nm to 5 μm. The EL device of the present invention has various configurations. Basically, a light-emitting layer made of the light-emitting material is provided between two electrodes (an anode and a cathode, at least one of which is transparent or translucent). As a sandwiched structure, another layer may be interposed as necessary. Specifically, (1) anode / light emitting layer / cathode, (2) anode / hole injection layer / light emitting layer / cathode, (3) anode / hole injection layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode, 4) anode / light-emitting layer /
There are configurations such as an electron injection layer / cathode. In addition, these EL
The element is preferably formed on a supporting substrate.

本発明のEL素子における発光層は、以下の三つの機能
を併せ持つものである。即ち、 注入機能 電界印加時に、陽極又は正孔注入輸送層より正孔を注
入することができ、陰極又は電子注入輸送層より電子を
注入することができる機能 輸送機能 注入した電荷(電子と正孔)を電界の力で移動させる
機能 発光機能 電子と正孔の再結合の場を提供し、これを発光につなげ
る機能 但し、正孔の注入されやすさと電子の注入されやすさ
に違いがあってもよく、また正孔と電子の移動度で表わ
される輸送能に大小があってもよいが、どちらか一方の
電荷を移動することが好ましい。
The light emitting layer in the EL device of the present invention has the following three functions. Injection function When an electric field is applied, holes can be injected from the anode or the hole injection / transport layer, and electrons can be injected from the cathode or the electron injection / transport layer. Transport function Injected charges (electrons and holes) ) The function of moving the) by the force of an electric field. Light-emitting function Provides a field for recombination of electrons and holes, and connects it to light emission. However, there is a difference between the ease of hole injection and the ease of electron injection. Although the transport ability represented by the mobility of holes and electrons may be large or small, it is preferable to transfer either one of the charges.

しかしここで、本発明のように近紫外光を発光するエ
レクトロルミネッセンス素子においては、この波長域の
光が多くの有機化合物により吸収される為、広い意味で
の発光層を形成する材料と相互作用が生じやすく、下記
,の理由から一義的に発光領域を特定することが困
難な場合がある。
However, here, in an electroluminescence device that emits near-ultraviolet light as in the present invention, since light in this wavelength range is absorbed by many organic compounds, it interacts with the material forming the light emitting layer in a broad sense. Is likely to occur, and it may be difficult to uniquely identify the light emitting region for the following reasons.

発光層と正孔注入層の相互作用(エキサイプレックス
生成)により界面に形成される励起状態が発光をする。
つまり正孔注入層も発光に寄与をする。
The excited state formed at the interface by the interaction between the light emitting layer and the hole injection layer (exciplex generation) emits light.
That is, the hole injection layer also contributes to light emission.

発光層において発光した近紫外光が、蛍光性の正孔注
入層を励起し、蛍光を生じる。
Near-ultraviolet light emitted from the light emitting layer excites the fluorescent hole injection layer to generate fluorescence.

本発明のEL素子において、発光材料(発光層)として
用いる前記一般式(I)または(II)の化合物は、構造
上イオン化エネルギーが比較的小さく、適当な陽極金属
または陽極化合物を選べば、比較的正孔を注入し易い。
また電子親和力は比較的大きく、適当な陰極金属または
陰極化合物を選べば、比較的電子を注入し易い。しか
も、電子,正孔の輸送機能もすぐれている。さらに固体
状態の蛍光性が強いため、電子と正孔の再結合時に形成
された上記化合物,その会合体または結晶等の励起状態
を光に変換する能力が大きい。
In the EL device of the present invention, the compound of the general formula (I) or (II) used as a light-emitting material (light-emitting layer) has a relatively small ionization energy in terms of structure. It is easy to inject target holes.
Also, the electron affinity is relatively large, and if an appropriate cathode metal or cathode compound is selected, electrons can be relatively easily injected. Moreover, the electron and hole transport functions are excellent. Further, since the solid state fluorescence is strong, the ability to convert the excited state of the compound, its aggregate, crystal or the like formed at the time of recombination of electrons and holes into light is large.

本発明のEL素子において使用できる基板は、透明性を
有するものが好ましく、一般にガラス,透明プラスチッ
ク,石英等が充当される。また、電極(陰極,陰極)と
しては、金,アルミニウム,インジウムなどの金属,合
金,混合物あるいはインジウムチンオキサイド(酸化イ
ンジウムと酸化錫の混合酸化物;ITO),SnO2,ZnO等の透
明材料を用いることが好ましい。また、特開昭63−2956
95号公報に開示されている合金や混合物電極が好まし
い。なお陽極には、仕事関数の大きい金属または電気伝
導性化合物が好適であり、また陰極には、仕事関数の小
さい金属または電気伝導性化合物が好適である。これら
の電極は、少なくとも一方が透明あるいは半透明である
ことが、発光の透過率を高める上で好ましい。
The substrate that can be used in the EL device of the present invention is preferably a substrate having transparency, and generally, glass, transparent plastic, quartz, or the like is applied. The electrodes (cathode, cathode) may be made of a metal such as gold, aluminum, or indium, an alloy, a mixture, or a transparent material such as indium tin oxide (a mixed oxide of indium oxide and tin oxide; ITO), SnO 2 , and ZnO. Preferably, it is used. Also, JP-A-63-2956
The alloy and mixture electrodes disclosed in Japanese Patent Publication No. 95 are preferred. A metal with a high work function or an electrically conductive compound is suitable for the anode, and a metal or an electrically conductive compound with a small work function is suitable for the cathode. It is preferable that at least one of these electrodes is transparent or translucent in order to increase the transmittance of light emission.

前述した(1)陽極/発光層/陰極よりなる構成のEL
素子を作成するには、例えば次の如き手順にしたがえば
よい。即ち、まず、基板上に電極を蒸着もしくはスパッ
タ法にて製膜する。この際、膜状の電極の膜厚は、一般
に10nm〜1μm、特に200nm以下が、発光の透過率を高
める上で好ましい。次に、この電極の上に発光材料(一
般式(I)または(II)の化合物)を、薄膜状に形成し
て発光層とする。発光材料の薄膜化方法は、スピンコー
ト,キャスト,蒸着法等があるが、均一な膜が得やすい
こと、及びピンホールが生成しないことから、とりわけ
蒸着法が好ましい。発光材料の薄膜化に際して蒸着法を
採用する場合、その蒸着の条件は、例えばボート加熱温
度50〜400℃、真空度10-5〜10-3Pa、蒸着速度0.03〜50n
m/秒、基板温度−50〜+300℃の範囲で膜厚5nm〜5μm
となるように選定すればよい。この薄膜形成後、対向電
極を蒸着法やスパッタ法にて膜厚50〜200nmで形成すれ
ば、EL素子が作成される。なお、発光層の形成の条件
は、一般式(I)または(II)の化合物の種類,分子堆
積膜の目的とする結晶構造、会合構造等によって異な
り、様々に変動しうるが、ボート加熱温度は一般式
(I)または(II)の化合物が分解しない温度にとどめ
ることが好ましい。
EL (1) EL composed of anode / light-emitting layer / cathode described above
In order to produce an element, for example, the following procedure may be followed. That is, first, an electrode is formed on a substrate by vapor deposition or sputtering. At this time, the thickness of the film-like electrode is generally 10 nm to 1 μm, and particularly preferably 200 nm or less, in order to increase the transmittance of light emission. Next, a light emitting material (compound of the general formula (I) or (II)) is formed on the electrode in a thin film to form a light emitting layer. The light-emitting material can be made into a thin film by spin coating, casting, vapor deposition, or the like, but vapor deposition is particularly preferred because a uniform film is easily obtained and pinholes are not generated. When using a vapor deposition method for thinning the light emitting material, the vapor deposition conditions include, for example, a boat heating temperature of 50 to 400 ° C., a degree of vacuum of 10 −5 to 10 −3 Pa, and a vapor deposition rate of 0.03 to 50 n.
m / sec, film thickness 5nm-5μm in substrate temperature range -50 ~ + 300 ℃
What is necessary is just to select. After forming this thin film, an EL element is formed by forming a counter electrode with a thickness of 50 to 200 nm by a vapor deposition method or a sputtering method. The conditions for forming the light emitting layer vary depending on the type of the compound of the general formula (I) or (II), the target crystal structure of the molecular deposition film, the association structure, and the like, and may vary in various ways. Is preferably maintained at a temperature at which the compound of the general formula (I) or (II) does not decompose.

また、(2)陽極/正孔注入層/発光層/陰極の構成
のEL素子を作成するには、まず電極を上記(1)のEL素
子と同様に形成し、その後、正孔注入材料(正孔伝達化
合物)を電極上に蒸着法で薄膜化して正孔注入輸送層を
形成する。この際の蒸着条件は、前記発光材料の薄膜形
成の蒸着条件に準じればよい。その後は上記(1)のEL
素子を作成する場合と同様に、発光材料の薄膜形成及び
対向電極の形成を行えば、所望する上記(2)の構成の
EL素子が作成される。なお、この(2)の構成のEL素子
において、正孔注入層と発光層の作製順序を逆にし、電
極,発光層,正孔注入層,電極の順に作製することも可
能である。
Further, in order to form an EL device having the structure of (2) anode / hole injection layer / light emitting layer / cathode, first, electrodes are formed in the same manner as the EL device of (1), and then the hole injection material ( The hole transport compound is thinned on the electrode by an evaporation method to form a hole injection transport layer. The vapor deposition conditions at this time may be in accordance with the vapor deposition conditions for forming the thin film of the light emitting material. After that, the EL of (1) above
By forming a thin film of a light emitting material and forming a counter electrode in the same manner as in the case of fabricating the element, the desired configuration of (2) can be obtained
An EL element is created. In the EL device having the configuration (2), the order of manufacturing the hole injection layer and the light emitting layer may be reversed, and the electrode, the light emitting layer, the hole injection layer, and the electrode may be manufactured in this order.

さらに、(3)陽極/正孔注入層/発光層/電子注入
層/陰極の構成のEL素子を作成するには、まず電極を上
記(1)のEL素子と同様に形成し、その後、正孔注入層
を上記(2)のEL素子と同様に形成し、その上から上記
(1)のEL素子を作成する場合と同様に、発光材料の薄
膜を形成する。しかる後に、電子注入材料(電子伝達化
合物)を蒸着法にて薄膜化することにより、発光層上に
電子注入層を形成し、最後に上記(1)のEL素子を作成
する場合と同様に、対向電極を形成すれば、目的とする
上記(3)の構成のEL素子が作成される。(4)の構成
のEL素子を作製するには、発光層の形成までは(1)の
構成と同様であり、その後、(3)の構成の電子注入層
以降の作製方法に従えばよい。ここで、正孔注入層,発
光層,電子注入層あるいは発光層,電子注入層の作製順
序は、素子構成の(1)及び(2)と同様逆の順序にし
ても構わない。
Further, in order to prepare an EL device having the constitution of (3) anode / hole injection layer / light-emitting layer / electron injection layer / cathode, first, electrodes are formed in the same manner as in the above-mentioned EL device (1). A hole injection layer is formed in the same manner as in the above-mentioned EL element (2), and a thin film of a luminescent material is formed thereon in the same manner as in the case of forming the above-mentioned EL element (1). Thereafter, the electron injecting material (electron transfer compound) is thinned by an evaporation method to form an electron injecting layer on the light emitting layer, and finally, as in the case of producing the EL element of (1) above, By forming the counter electrode, the intended EL device having the above configuration (3) is manufactured. The fabrication of the EL device having the configuration (4) is the same as that of the configuration (1) up to the formation of the light-emitting layer, and then may be performed according to the fabrication method for the electron injection layer and the configuration (3). Here, the order of forming the hole injection layer, the light emitting layer, the electron injection layer or the light emitting layer and the electron injection layer may be reversed in the same order as in the element configuration (1) and (2).

なお、本発明のEL素子では、正孔注入層や電子注入層
は必ずしも必要ではないが、これらの層があると、発光
性能が一段と向上する。ここで、正孔注入層は、正孔伝
達化合物(正孔注入材料)よりなり、陽極より注入され
た正孔を、発光層に伝達する機能を持つ。この層をEL素
子の陽極と発光層間に挟むことにより低電圧でより多く
の正孔が発光層に注入され、素子の輝度は向上する。
In the EL device of the present invention, the hole injection layer and the electron injection layer are not necessarily required, but the presence of these layers further improves the light emission performance. Here, the hole injection layer is made of a hole transport compound (hole injection material) and has a function of transmitting holes injected from the anode to the light emitting layer. By sandwiching this layer between the anode of the EL element and the light emitting layer, more holes are injected into the light emitting layer at a low voltage, and the luminance of the element is improved.

ここで用いられる正孔注入層の正孔伝達化合物は、電
場を与えられた二個の電極間に配置されて陽極から正孔
が注入された場合、正孔を適切に発光層へ伝達すること
ができる化合物である。正孔注入層を陽極と発光層との
間に挟むことにより、より低い電界で多くの正孔が発光
層に注入される。さらに、陰極や電子注入層から発光層
に注入された電子は、発光層と正孔注入層の界面に存在
する電子の障壁により、この発光層内の界面付近に蓄積
され発光効率が向上する。ここで好ましい正孔伝達化合
物は、104〜106ボルト/cmの電場を与えられた電極間に
層が配置された場合、少なくとも10-6cm2/ボルト・秒の
正孔移動度をもつ。従って好ましい例としては、光導電
材料において正孔の電荷輸送材として用いられている各
種化合物があげられる。
The hole transport compound of the hole injection layer used here is disposed between two electrodes to which an electric field is applied, and when holes are injected from the anode, the holes are appropriately transmitted to the light emitting layer. Is a compound that can be By sandwiching the hole injection layer between the anode and the light emitting layer, many holes are injected into the light emitting layer with a lower electric field. Furthermore, electrons injected from the cathode or the electron injection layer into the light emitting layer are accumulated near the interface in the light emitting layer due to the electron barrier existing at the interface between the light emitting layer and the hole injection layer, and the luminous efficiency is improved. Preferred hole transport compounds here have a hole mobility of at least 10 -6 cm 2 / volt-second when the layer is placed between electrodes exposed to an electric field of 10 4 to 10 6 volts / cm. . Therefore, preferred examples include various compounds used as a hole charge transporting material in a photoconductive material.

このような電荷輸送材として以下のような例があげら
れる。
Examples of such charge transport materials include the following.

米国特許第3112197号明細書等に記載されているトリ
アゾール誘導体、 米国特許第3189447号明細書等に記載されているオキ
サジアゾール誘導体、 特公昭37−16096号公報等に記載されているイミダゾ
ール誘導体、 米国特許第3615402号,同3820989号、同3542544号明
細書や特公昭45−555号,同51−10983号公報さらには特
開昭51−93224号,同55−17105号,同56−4148号,同55
−108667号,同55−156953号,同56−36656号公報等に
記載されているポリアリールアルカン誘導体、 米国特許第3180729号,同4278746号明細書や特開昭55
−88064号,同55−88065号,同49−105537号,同55−51
086号,同56−80051号,同56−88141号,同57−45545
号,同54−112637号,同55−74546号公報等に記載され
ているピラゾリン誘導体およびピラゾロン誘導体、 米国特許第3615404号明細書や特公昭51−10105号,同
46−3712号,同47−25336号公報さらには特開昭54−534
35号,同54−110536号,同54−119925号公報等に記載さ
れているフェニレンジアミン誘導体、 米国特許第3567450号,同3180703号,同3240597号,
同3658520号,同4232103号,同4175961号,同4012376号
明細書や特公昭49−35702号,同39−27577号公報さらに
は特開昭55−144250号,同56−119132号,同56−22437
号公報、西独特許第1110518号明細書等に記載されてい
るアリールアミン誘導体、 米国特許第3526501号明細書等に記載されているアミ
ン置換カルコン誘導体、 米国特許第3257203号明細書等に記載されているオキ
サゾール誘導体、 特開昭56−46234号公報等に記載されているスチリル
アントラセン誘導体、 特開昭54−110837号公報等に記載されているフルオレ
ノン誘導体、 米国特許第3717462号明細書や特開昭54−59143号,同
55−52063号,同55−52064号,同55−46760号,同55−8
5495号,同57−11350号,同57−148749号公報等に記載
されているヒドラゾン誘導体、 特開昭61−210363号,同61−228451号、同61−14642
号,同61−72255号,同62−47646号,同62−36674号,
同62−10652号,同62−30255号,同60−93445号,同60
−94462号,同60−174749号,同60−175052号公報等に
記載されているスチルベン誘導体などを列挙することが
できる。
Triazole derivatives described in U.S. Patent No. 3,112,197, etc., oxadiazole derivatives described in U.S. Patent No. 3,189,447, etc., imidazole derivatives described in JP-B-37-1696, etc. U.S. Patent Nos. 3615402, 3820989, 3542544 and JP-B-45-555, 51-10983, and JP-A-51-93224, 55-17105, 56-4148 , Id 55
Polyarylalkane derivatives described in JP-A-108667, JP-A-55-156953, JP-A-56-36656 and the like; U.S. Patent Nos. 3,180,729 and 4,278,746;
-88064, 55-88065, 49-105537, 55-51
Nos. 086, 56-80051, 56-88141, 57-45545
Pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives described in U.S. Pat. Nos. 6,115,105, 54-112637, 55-74546, and the like.
46-3712, 47-25336 and JP-A-54-534.
Phenylenediamine derivatives described in JP-A Nos. 35, 54-110536 and 54-119925; U.S. Pat. Nos. 3,567,450, 3,180,703, 3,240,597;
Nos. 3,658,520, 4,322,103, 4,117,961 and 4,012,376, and JP-B-49-35702, JP-A-39-27577, and JP-A-55-144250, JP-A-56-119132, and JP-A-56-119. 22437
JP-A No. 1110518, arylamine derivatives described in U.S. Pat.No. 3,235,501, amine-substituted chalcone derivatives described in U.S. Pat.No. 3,235,203, U.S. Pat. Oxazole derivatives, styryl anthracene derivatives described in JP-A-56-46234, etc., fluorenone derivatives described in JP-A-54-110837, etc., U.S. Pat. 54-59143, same
55-52063, 55-52064, 55-46760, 55-8
Hydrazone derivatives described in JP-A-5495, JP-A-57-11350, JP-A-57-148749 and the like; JP-A-61-210363, JP-A-61-228451, JP-A-61-14642
Nos. 61-72255, 62-47646, 62-36674,
No. 62-10652, No. 62-30255, No. 60-93445, No. 60
Stilbene derivatives and the like described in JP-A-94462, JP-A-60-174749, JP-A-60-175052 and the like can be listed.

さらに特に好ましい例としては、特開昭63−295695号
公報に開示されているホール輸送層としての化合物(芳
香族三級アミン)や正孔注入帯としての化合物(ポリフ
ィリン化合物)をあげることができる。
More particularly preferred examples include a compound (aromatic tertiary amine) as a hole transport layer and a compound (porphyrin compound) as a hole injection zone disclosed in JP-A-63-295695. .

さらに特に正孔伝達化合物として好ましい例は、特開
昭53−27033号公報,同54−58445号公報,同54−149634
号公報,同54−64299号公報,同55−79450号公報,同55
−144250号公報,同56−119132号公報,同61−295558号
公報,同61−98353号公報及び米国特許第4127412号明細
書等に開示されているものである。それらの例を示せば
次の如くである。
Further preferred examples of the hole transport compound are described in JP-A-53-27033, JP-A-54-58445, and JP-A-54-149634.
JP-A-54-64299, JP-A-55-79450, and 55
No. 144250, No. 56-119132, No. 61-295558, No. 61-98353, and U.S. Pat. No. 4,127,412. Examples of these are as follows.

これらの正孔伝達化合物から正孔注入層を形成する
が、この正孔注入層は一層からなってもよく、あるいは
上記一層と別種の化合物を用いた正孔注入層を積層して
もよい。好ましい例としては特開昭63−295695号公報に
開示されている。
The hole injecting layer is formed from these hole transporting compounds. The hole injecting layer may be composed of one layer, or a hole injecting layer using a compound different from the above one layer may be laminated. A preferred example is disclosed in JP-A-63-295695.

一方、電子注入層は陰極より注入された電子を発光層
に伝達する機能を有する。
On the other hand, the electron injection layer has a function of transmitting electrons injected from the cathode to the light emitting layer.

電子注入層を形成する電子伝達化合物(電子注入材
料)の好ましい例には、 などのニトロ置換フルオレノン誘導体、 特開昭57−149259号,同58−55450号,同63−104061
号公報等に記載されているアントラキノジメタン誘導
体、 Polymer Preprints,Japan Vol.37,No.3(1988),p.68
1等に記載されている などのジフェニルキノン誘導体、 などのチオピランジオキシド誘導体、 J.J.APPl.Phys.,27,L 269(1988)等に記載されてい
で表わされる化合物、 Appl.Phys.Lett.Vol.55(1989),p.1489等に記載され
ている 式 で表わされる化合物、 特開昭60−69657号,同61−143764号,同61−148159
号公報等に記載されているフレオレニリデンメタン誘導
体、 特開昭61−225151号,同61−233750号公報等に記載さ
れているアントラキノジメタン誘導体及びアントロン誘
導体などをあげることができる。
Preferred examples of the electron transfer compound (electron injection material) for forming the electron injection layer include: Nitro-substituted fluorenone derivatives such as JP-A-57-149259, JP-A-58-55450 and JP-A-63-104061.
No. 3 (1988), p.68, anthraquinodimethane derivatives described in Japanese Unexamined Patent Publication No.
Listed in 1 etc. Diphenylquinone derivatives such as, Thiopyran dioxide derivatives such as those described in JJAPPl. Phys., 27, L269 (1988). A compound represented by the formula described in Appl. Phys. Lett. Vol. 55 (1989), p. Compounds represented by the following formulas: JP-A-60-69657, JP-A-61-143764, JP-A-61-148159
And the anthraquinodimethane derivatives and anthrone derivatives described in JP-A Nos. 61-225151 and 61-233750.

本発明のEL素子は、印加電圧が交流の場合(交流駆
動)には、陽極側にプラスの電圧が印加されているバイ
アス状態の時のみ発光が観測される。また、印加電圧が
直流の場合(直流駆動)には、陽極側にプラスの電圧を
印加することにより常に発光が観測される。
In the EL element of the present invention, when the applied voltage is AC (AC drive), light emission is observed only in a bias state in which a positive voltage is applied to the anode side. When the applied voltage is direct current (direct current drive), light emission is always observed by applying a positive voltage to the anode side.

〔実施例〕〔Example〕

次に本発明を実施例及び比較例によりさらに詳しく説
明する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples.

実施例1 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定しモリブテン製の抵抗加熱ボ
ートに3,5,3′,5′−テトラブチルキンクフェニル
(TBQ)を200mg入れ、真空槽を1×10-4Paまで減圧し
た。
Example 1 ITO was deposited on a 25 mm × 75 mm × 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
200 mg of 3,5,3 ', 5'-tetrabutyl kinkphenyl (TBQ) was placed in a molybdenum resistance heating boat, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 -4 Pa.

その後前記ボートを270〜290℃まで加熱し、TBQを蒸
着速度0.2〜0.5nm/秒で透明支持基板上に蒸着して、膜
厚0.7μmの結晶性発光体薄膜を得た。このときの基板
温度は150℃であった。これを真空槽より取り出し、発
光体薄膜上にステンレススチール製のマスクを設置し、
再び基板ホルダーに固定した。
Thereafter, the boat was heated to 270 to 290 ° C., and TBQ was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.2 to 0.5 nm / sec to obtain a 0.7 μm-thick crystalline luminescent thin film. The substrate temperature at this time was 150 ° C. Take this out of the vacuum chamber, place a stainless steel mask on the phosphor thin film,
It was fixed to the substrate holder again.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートに金20mgを入れて
真空槽を2×10-4Paまで減圧した。
Next, 20 mg of gold was placed in a molybdenum resistance heating boat, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa.

その後、ボートを1400℃まで加熱し、50nmの膜厚で金
電極を発光体薄膜上に形成し対向電極とした。
Thereafter, the boat was heated to 1400 ° C., and a gold electrode having a thickness of 50 nm was formed on the luminous body thin film to form a counter electrode.

この素子に金電極を正極、ITO電極を負極として直流6
0Vを印加した。その結果電流が50μA流れ、近紫外域か
ら可視光青色の領域に及び暗所可視の両電極に挟まれた
領域全域からの面上発光を得た。発光波長域は分光測定
の結果、380nmから500nmに分布し、極大波長は435nmで
あった。フォトダイオードにより発光強度を測定すると
0.02mW/cm2であった。
This device uses a direct current 6 with the gold electrode as the positive electrode and the ITO electrode as the negative electrode.
0 V was applied. As a result, a current of 50 μA flowed, and on-plane light emission was obtained from the near-ultraviolet region to the visible light blue region and from the entire region sandwiched between the two electrodes visible in the dark. As a result of spectrometry, the emission wavelength range was distributed from 380 nm to 500 nm, and the maximum wavelength was 435 nm. When measuring the light emission intensity with a photodiode
0.02 mW / cm 2 .

実施例2 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定し、モリブテン製の抵抗加熱
ボートにN,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチル
フェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン
(TPDA)を200mg入れ、また別のモリブテン製ボートに
実施例1と同様にTBQを200mg入れて真空槽を1×10-4Pa
まで減圧した。
Example 2 ITO was deposited on a 25 mm × 75 mm × 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
) Substrate holder and a molybdenum resistance heating boat, N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl)-[1,1'-biphenyl] -4,4'- 200 mg of diamine (TPDA) was put, and 200 mg of TBQ was put into another molybdenum boat in the same manner as in Example 1, and the vacuum chamber was set to 1 × 10 −4 Pa
The pressure was reduced to

その後TPDAの入った前記ボートを215〜220℃まで加熱
し、TPDAを蒸着速度0.1〜0.3nm/秒で透明支持基板上に
蒸着して、膜厚90nmの正孔注入層を製膜させた。この時
の基板温度は室温であった。これを真空槽より取り出す
ことなく、正孔注入層の上に、もう一つのボートよりTB
Qを発光層として厚さ70nmとなるように積層蒸着した。
蒸着条件は基板温度が室温であることを除いて実施例1
と同様である。これを真空槽より取り出し、上記発光層
の上にステンレススチール製のマスクを設置し、再び基
板ホルダーに固定した。
Thereafter, the boat containing TPDA was heated to 215 to 220 ° C., and TPDA was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec to form a hole injection layer having a thickness of 90 nm. The substrate temperature at this time was room temperature. Without taking it out of the vacuum chamber, place the TB on the hole injection layer from another boat.
Q was deposited and deposited as a light emitting layer so as to have a thickness of 70 nm.
The deposition conditions were the same as in Example 1 except that the substrate temperature was room temperature.
Is the same as This was taken out of the vacuum chamber, a stainless steel mask was placed on the light emitting layer, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートにマグネシウムリ
ボン1gを入れ、また真空槽中心部基板ホルダー下に位置
する電子ビーム蒸着用電子銃のターゲットとして銅のペ
レットを装着した。その後真空槽を2×10-4Paまで減圧
してから、電子ビーム蒸着法により銅を、0.03〜0.08nm
/秒の蒸着速度で、同時に抵抗加熱法によりモリブデン
ボートからマグネシウムを1.7〜2.8nm/秒の蒸着速度で
蒸着し始めた。電子銃のフィラメントのエミッション電
流は230〜250mA、加速電圧は4kVであった。またボート
の温度は500℃程度であった。上記条件でマグネシウム
と銅の混合金属電極を発光層の上に90nm積層蒸着し対向
電極とした。
Next, 1 g of a magnesium ribbon was placed in a molybdenum resistance heating boat, and a copper pellet was mounted as a target of an electron gun for electron beam evaporation located below the substrate holder in the center of the vacuum chamber. Thereafter, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa, and then copper was deposited by an electron beam evaporation method at 0.03 to 0.08 nm.
At the same time, magnesium was vapor-deposited from the molybdenum boat at a deposition rate of 1.7 to 2.8 nm / sec by the resistance heating method. The emission current of the filament of the electron gun was 230-250 mA, and the accelerating voltage was 4 kV. The temperature of the boat was about 500 ° C. Under the above conditions, a 90-nm mixed metal electrode of magnesium and copper was deposited on the light-emitting layer to form a counter electrode.

この素子にITO電極を陽極、マグネシウムと銅の混合
金属電極を陰極として、直流20Vを印加すると電流が50
μA流れ、近紫外域から可視光青色に及ぶ発光を得た。
発光波長域は分光測定の結果、380nmから500nmに分布
し、極大波長は435nmであった。また実施例1と同様に
より求めた発光強度は、0.08mW/cm2であった。
Applying a direct current of 20 V to this device using the ITO electrode as the anode and the mixed metal electrode of magnesium and copper as the cathode, the current becomes 50
Light emission from μA and visible light blue to blue light was obtained.
As a result of spectrometry, the emission wavelength range was distributed from 380 nm to 500 nm, and the maximum wavelength was 435 nm. The emission intensity obtained in the same manner as in Example 1 was 0.08 mW / cm 2 .

実施例3 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定しモリブテン製の抵抗加熱ボ
ートにp−クォーターフェニル(PQP)を200mg入れ、真
空槽を1×10-4Paまで減圧した。
Example 3 ITO was deposited on a 25 mm × 75 mm × 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
200 mg of p-quarterphenyl (PQP) was placed in a molybdenum resistance heating boat, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa.

その後前記ボートを230〜250℃まで加熱し、PQPを蒸
着速度0.2〜0.5nm/秒で透明支持基板上に蒸着して、膜
厚0.4μmの結晶性発光体薄膜を得た。このときの基板
温度は室温であった。これを真空槽より取り出し、発光
体薄膜上にステンレススチール製のマスクを設置し、再
び基板ホルダーに固定した。
Thereafter, the boat was heated to 230 to 250 ° C., and PQP was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.2 to 0.5 nm / sec to obtain a crystalline luminescent thin film having a thickness of 0.4 μm. At this time, the substrate temperature was room temperature. This was taken out of the vacuum chamber, a stainless steel mask was set on the luminous body thin film, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートに金20mgを入れて
真空槽を2×10-4Paまで減圧した。
Next, 20 mg of gold was placed in a molybdenum resistance heating boat, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa.

その後、ボートを1400℃まで加熱し、50nmの膜厚で金
電極を発光体薄膜上に形成し対向電極とした。
Thereafter, the boat was heated to 1400 ° C., and a gold electrode having a thickness of 50 nm was formed on the luminous body thin film to serve as a counter electrode.

この素子に金電極を正極、ITO電極を負極として直流4
0Vを印加した。その結果電流が3.2mA流れ、近紫外域か
ら可視光青色の領域に及ぶ暗所可視の発光を得た。発光
波長域は分光測定の結果、360nmから550nmに分布し、極
大波長は440nm及び470nmであった。また実施例1と同様
により求めた発光強度は0.03mW/cm2であった。
This device has a direct current of 4 with the gold electrode as the positive electrode and the ITO electrode as the negative electrode.
0 V was applied. As a result, a current of 3.2 mA flowed, and dark visible light emission from near-ultraviolet region to visible light blue region was obtained. As a result of spectrometry, the emission wavelength range was distributed from 360 nm to 550 nm, and the maximum wavelength was 440 nm and 470 nm. The emission intensity obtained in the same manner as in Example 1 was 0.03 mW / cm 2 .

実施例4 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定し、モリブテン製の抵抗加熱
ボートにN,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチル
フェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン
(TPDA)を200mg入れ、また別のモリブテン製ボートに
実施例3と同様にPQPを200mg入れて真空槽を1×10-4Pa
まで減圧した。
Example 4 ITO was deposited on a 25 mm × 75 mm × 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
) Substrate holder and a molybdenum resistance heating boat, N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl)-[1,1'-biphenyl] -4,4'- 200 mg of diamine (TPDA) was put, and 200 mg of PQP was put in another molybdenum boat in the same manner as in Example 3, and the vacuum chamber was set to 1 × 10 -4 Pa
The pressure was reduced to

その後TPDAの入った前記ボートを215〜220℃まで加熱
し、TPDAを蒸着速度0.1〜0.3nm/秒で透明支持基板上に
蒸着して、膜厚95nmの正孔注入輸送層を製膜させた。こ
の時の基板温度は室温であった。これを真空槽より取り
出すことなく、正孔注入輸送層の上に、もう一つのボー
トよりPQPを発光層として厚さ60nmとなるように積層蒸
着した。蒸着条件は実施例3と同様である。これを真空
槽より取り出し、上記発光層の上にステンレススチール
製のマスクを設置し、再び基板ホルダーに固定した。
Thereafter, the boat containing TPDA was heated to 215 to 220 ° C., TPDA was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec, and a hole injection transport layer having a thickness of 95 nm was formed. . The substrate temperature at this time was room temperature. Without taking this out of the vacuum chamber, PQP was deposited as a light emitting layer from another boat so as to have a thickness of 60 nm on the hole injecting and transporting layer. The deposition conditions are the same as in Example 3. This was taken out of the vacuum chamber, a stainless steel mask was placed on the light emitting layer, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートにマグネシウムリ
ボン1gを入れ、また真空槽中心部基板ホルダー下に位置
する電子ビーム蒸着用電子銃のターゲットとして銅のペ
レットを装着した。その後真空槽を2×10-4Paまで減圧
してから、電子ビーム蒸着法により銅を0.03〜0.08nm/
秒の蒸着速度で、同時に抵抗加熱法によりモルブデンボ
ートからマグネシウムを1.7〜2.8nm/秒の蒸着速度で蒸
着し始めた。電子銃のフィラメントのエミッション電流
は230〜250mA、加速電圧は4kVであった。またボートの
温度は500℃程度であった。上記条件でマグネシウムと
銅の混合金属電極を発光層の上に130nm積層蒸着し対向
電極とした。
Next, 1 g of a magnesium ribbon was placed in a molybdenum resistance heating boat, and a copper pellet was mounted as a target of an electron gun for electron beam evaporation located below the substrate holder in the center of the vacuum chamber. Thereafter, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa, and then copper was deposited at 0.03 to 0.08 nm / cm by electron beam evaporation.
At the same time, magnesium was vapor-deposited from the Molbden boat at a deposition rate of 1.7 to 2.8 nm / sec by the resistance heating method. The emission current of the filament of the electron gun was 230-250 mA, and the accelerating voltage was 4 kV. The temperature of the boat was about 500 ° C. Under the above conditions, a mixed metal electrode of magnesium and copper was deposited on the light emitting layer in a thickness of 130 nm to form a counter electrode.

この素子にITO電極を陽極、マグネシウムと銅の混合
金属電極を陰極として、直流20Vを印加すると電流が3.5
mA流れ、近紫外域から可視光青色に及ぶ発光を得た。発
光波長域は分光測定の結果、360nmから500nmに分布し、
極大波長は420nmであった。また実施例1と同様により
求めた発光強度は0.2mW/cm2であった。
When an ITO electrode is used as an anode and a mixed metal electrode of magnesium and copper is used as a cathode, a current of 3.5
mA emission and emission ranging from near ultraviolet to visible blue were obtained. The emission wavelength range is distributed from 360 nm to 500 nm as a result of spectroscopic measurement,
The maximum wavelength was 420 nm. The emission intensity obtained in the same manner as in Example 1 was 0.2 mW / cm 2 .

実施例5 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定し、モリブテン製の抵抗加熱
ボートにN,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メトキ
シフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミ
ン(MPDA)を200mg入れ、また別のモリブテン製ボート
にPQPを200mg入れて真空槽を1×10-4Paまで減圧した。
Example 5 ITO was deposited on a 25 mm × 75 mm × 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
) And a molybdenum resistance heating boat and N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methoxyphenyl)-[1,1'-biphenyl] -4,4'- 200 mg of diamine (MPDA) was charged, and 200 mg of PQP was placed in another molybdenum boat, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa.

その後MPDA入りの前記ボートを220℃まで加熱し、MPD
Aを蒸着速度0.1〜0.3nm/秒で透明支持基板上に蒸着し
て、膜厚60nmの正孔注入層を製膜させた。この時の基板
温度は室温であった。これを真空槽より取り出すことな
く、正孔注入層の上に、PQPを発光層として60nm積層蒸
着した。蒸着条件はボート温度が218℃で蒸着速度は0.3
〜0.5nm/秒、基板温度は室温であった。これを真空槽よ
り取出し、上記発光層の上にステンレススチール製のマ
スクを設置し、再び基板ホルダーに固定した。
Thereafter, the boat containing MPDA is heated to 220 ° C.
A was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec to form a 60-nm thick hole injection layer. The substrate temperature at this time was room temperature. Without removing this from the vacuum chamber, PQP was deposited as a light emitting layer on the hole injection layer in a thickness of 60 nm. The deposition conditions are boat temperature 218 ° C and deposition rate 0.3.
0.5 nm / sec, and the substrate temperature was room temperature. This was taken out from the vacuum chamber, a stainless steel mask was placed on the above-mentioned light emitting layer, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートにマグネシウムリ
ボン1gを入れ、また別のモリブテンボートにインジウム
500mgを装着した。その後、真空槽を2×10-4Paまで減
圧してから、インジウムを0.1nm/秒の蒸着速度で、同時
にもう一方のモリブテンボートからマグネシウムを1.7
〜2.8nm/秒の蒸着速度で蒸着し始めた。ボートの温度は
インジウム,マグネシウム各々、800℃,500℃程度であ
った。
Next, put 1g of magnesium ribbon into a molybdenum resistance heating boat and indium into another molybdenum boat.
500 mg was attached. Thereafter, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa, and then indium was vapor-deposited at a deposition rate of 0.1 nm / sec.
Deposition started at a deposition rate of ~ 2.8 nm / sec. The temperature of the boat was about 800 ° C and 500 ° C for indium and magnesium, respectively.

上記条件でマグネシウムとインジウムの混合金属電極
を発光層の上に150nm積層蒸着し対向電極とした。
Under the above conditions, a mixed metal electrode of magnesium and indium was deposited in a thickness of 150 nm on the light emitting layer to form a counter electrode.

この素子にITO電極を陽極、マグネシウムとインジウ
ムの混合金属電極を陰極として直流7.5Vを印加すると電
流が7mA/cm2流れ、明所可視青紫色の発光を得た。
When a direct current of 7.5 V was applied to the device using an ITO electrode as an anode and a mixed metal electrode of magnesium and indium as a cathode, a current of 7 mA / cm 2 flowed, and light-visible blue-violet light was obtained.

詳細な発光波長域は分光測定より380〜600nmで、ピー
ク波長は436nmであった。発光強度はフォトダイオード
測定によるパワー測定から、上記条件下、0.03mW/cm2
あった。
The detailed emission wavelength range was 380 to 600 nm by spectrometry, and the peak wavelength was 436 nm. The light emission intensity was 0.03 mW / cm 2 under the above conditions from the power measurement by the photodiode measurement.

実施例6 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定し、モリブテン製の抵抗加熱
ボートに1,1−ビス(4−ジ−パラ−トリルアミノフェ
ニル)シクロヘキサン(TPAC)を200mg入れ、また別の
モリブテン製ボートにPQPを200mg入れて真空槽を1×10
-4Paまで減圧した。
Example 6 ITO was deposited on a 25 mm × 75 mm × 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
200 mg of 1,1-bis (4-di-para-tolylaminophenyl) cyclohexane (TPAC) in a molybdenum resistance heating boat, and 200 mg of PQP in another molybdenum boat Put vacuum chamber 1 × 10
The pressure was reduced to -4 Pa.

その後TPAC入りの前記ボートを220℃まで加熱し、TPA
Cを蒸着速度0.1〜0.3nm/秒で透明支持基板上に蒸着し
て、膜厚60nmの正孔注入層を製膜させた。この時の基板
温度は室温であった。これを真空槽より取り出すことな
く、正孔注入層の上に、PQPを発光層として60nm積層蒸
着した。蒸着条件はボート温度が218℃で蒸着速度は0.3
〜0.5nm/秒、基板温度は室温であった。これを真空槽よ
り取出し、上記発光層の上にステンレススチール製のマ
スクを設置し、再び基板ホルダーに固定した。
After that, the boat containing TPAC is heated to 220 ° C,
C was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec to form a 60-nm thick hole injection layer. The substrate temperature at this time was room temperature. Without removing this from the vacuum chamber, PQP was deposited as a light emitting layer on the hole injection layer in a thickness of 60 nm. The deposition conditions are boat temperature 218 ° C and deposition rate 0.3.
0.5 nm / sec, and the substrate temperature was room temperature. This was taken out from the vacuum chamber, a stainless steel mask was placed on the above-mentioned light emitting layer, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートにマグネシウムリ
ボン1gを入れ、また別のモリブテンボートにインジウム
500mgを装着した。その後、真空槽を2×10-4Paまで減
圧してから、インジウムを0.1nm/秒の蒸着速度で、同時
にもう一方のモリブテンボートからマグネシウムを1.7
〜2.8nm/秒の蒸着速度で蒸着し始めた。ボートの温度は
インジウム,マグネシウム各々、800℃,500℃程度であ
った。
Next, put 1g of magnesium ribbon into a molybdenum resistance heating boat and indium into another molybdenum boat.
500 mg was attached. Thereafter, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa, and then indium was vapor-deposited at a deposition rate of 0.1 nm / sec.
Deposition started at a deposition rate of ~ 2.8 nm / sec. The temperature of the boat was about 800 ° C and 500 ° C for indium and magnesium, respectively.

上記条件でマグネシウムとインジウムの混合金属電極
を発光層の上に150nm積層蒸着し対向電極とした。
Under the above conditions, a mixed metal electrode of magnesium and indium was deposited in a thickness of 150 nm on the light emitting layer to form a counter electrode.

この素子にITO電極を陽極、マグネシウムとインジウ
ムの混合金属電極を陰極として直流15Vを印加すると電
流が8.4mA/cm2流れ、明所可視青紫色の発光を得た。
When a direct current of 15 V was applied to the device using an ITO electrode as an anode and a mixed metal electrode of magnesium and indium as a cathode, a current of 8.4 mA / cm 2 flowed, and a bright blue-violet light was obtained.

詳細な発光波長域は分光測定より380〜600nmで、ピー
ク波長は450nmであった。またこの時の発光強度はフォ
トダイオード測定により0.05mW/cm2であった。
The detailed emission wavelength range was 380 to 600 nm by spectrometry, and the peak wavelength was 450 nm. The emission intensity at this time was 0.05 mW / cm 2 as measured by a photodiode.

実施例7 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定しモリブテン製の抵抗加熱ボ
ートにN,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(2−メチルフ
ェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン
(TPDA′)を200mg入れ、また別のモリブテン製ボート
にPQPを200mg入れて真空槽を1×10-4Paまで減圧した。
Example 7 ITO was deposited on a 25 mm × 75 mm × 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
N, N'-diphenyl-N, N'-bis (2-methylphenyl)-[1,1'-biphenyl] -4,4'-diamine on a molybdenum resistance heating boat 200 mg of (TPDA ') was added, and 200 mg of PQP was placed in another molybdenum boat, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa.

その後TPDA′入りの前記ボートを220℃まで加熱し、T
PDA′を蒸着速度0.1〜0.3nm/秒で透明支持基板上に蒸着
して、膜厚60nmの正孔注入層を製膜させた。この時の基
板温度は室温であった。これを真空槽より取り出すこと
なく、正孔注入層の上に、PQPを発光層として60nm積層
蒸着した。蒸着条件はボート温度が218℃で蒸着速度は
0.3〜0.5nm/秒、基板温度は室温であった。これを真空
槽より取出し、上記発光層の上にステンレススチール製
のマスクを設置し、再び基板ホルダーに固定した。
Thereafter, the boat containing TPDA 'is heated to 220 ° C.
PDA 'was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec to form a 60-nm thick hole injection layer. The substrate temperature at this time was room temperature. Without removing this from the vacuum chamber, PQP was deposited as a light emitting layer on the hole injection layer in a thickness of 60 nm. The evaporation conditions are boat temperature 218 ° C and evaporation rate
The substrate temperature was 0.3 to 0.5 nm / sec and the room temperature was room temperature. This was taken out from the vacuum chamber, a stainless steel mask was placed on the above-mentioned light emitting layer, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートにマグネシウムリ
ボン1gを入れ、また別のモリブテンボートにインジウム
500mgを装着した。その後、真空槽を2×10-4Paまで減
圧してから、インジウムを0.1nm/秒の蒸着速度で、同時
にもう一方のモリブテンボートからマグネシウムを1.7
〜2.8nm/秒の蒸着速度で蒸着し始めた。ボートの温度は
インジウム,マグネシウム各々、800℃,500℃程度であ
った。
Next, put 1g of magnesium ribbon into a molybdenum resistance heating boat and indium into another molybdenum boat.
500 mg was attached. Thereafter, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa, and then indium was vapor-deposited at a deposition rate of 0.1 nm / sec.
Deposition started at a deposition rate of ~ 2.8 nm / sec. The temperature of the boat was about 800 ° C and 500 ° C for indium and magnesium, respectively.

上記条件でマグネシウムとインジウムの混合金属電極
を発光層の上に150nm積層蒸着し対向電極とした。
Under the above conditions, a mixed metal electrode of magnesium and indium was deposited in a thickness of 150 nm on the light emitting layer to form a counter electrode.

この素子にITO電極を陽極、マグネシウムとインジウ
ムの混合金属電極を陰極として直流10Vを印加すると電
流が4.2mA/cm2流れ、明所可視青紫色の発光を得た。
When a direct current of 10 V was applied to this device using an ITO electrode as an anode and a mixed metal electrode of magnesium and indium as a cathode, a current of 4.2 mA / cm 2 flowed, and a bright blue-violet light was emitted.

詳細な発光波長域は分光測定より380〜700nmで、ピー
ク波長は430nmであった。近紫外域から長波長の広い波
長域で発光しているのが観測された。また発光強度は、
フォトダイオード測定により0.05mW/cm2であった。
The detailed emission wavelength range was 380 to 700 nm by spectrometry, and the peak wavelength was 430 nm. Light emission was observed in a wide wavelength range from the near ultraviolet region to a long wavelength region. The emission intensity is
It was 0.05 mW / cm 2 as measured by a photodiode.

実施例8 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定し、モリブテン製の抵抗加熱
ボートに1,1′−ビス(4−ジ−パラ−トリルアミノフ
ェニル)シクロヘキサン(TPAC)を200mg入れ、また別
のモリブテン製ボートに3,5,3,5′−テトラブチル
キンクフェニル(TBQ)を200mg入れて真空槽を1×10-4
Paまで減圧した。
Example 8 ITO was deposited on a 25 mm × 75 mm × 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
And 200mg of 1,1'-bis (4-di-para-tolylaminophenyl) cyclohexane (TPAC) in a molybdenum resistance heating boat. 200 mg of 5,3,5'-tetrabutyl kink phenyl (TBQ) is charged and the vacuum chamber is set to 1 × 10 -4
The pressure was reduced to Pa.

その後TPAC入りの前記ボートを220℃まで加熱し、TPA
Cを蒸着速度0.1〜0.3nm/秒で透明支持基板上に蒸着し
て、膜厚60nmの正孔注入層を製膜させた。この時の基板
温度は室温であった。これを真空槽より取り出すことな
く、正孔注入層の上に、TBQを発光層として60nm積層蒸
着した。蒸着条件はボート温度が220℃で蒸着速度は0.3
〜0.5nm/秒、基板温度は室温であった。これを真空槽よ
り取出し、上記発光層の上にステンレススチール製のマ
スクを設置し、再び基板ホルダーに固定した。
After that, the boat containing TPAC is heated to 220 ° C,
C was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec to form a 60-nm thick hole injection layer. The substrate temperature at this time was room temperature. Without taking this out of the vacuum chamber, TBQ was deposited as a light emitting layer to a thickness of 60 nm on the hole injection layer. The deposition conditions were as follows: boat temperature 220 ° C, deposition rate 0.3
0.5 nm / sec, and the substrate temperature was room temperature. This was taken out from the vacuum chamber, a stainless steel mask was placed on the above-mentioned light emitting layer, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートにマグネシウムリ
ボン1gを入れ、また別のモリブテンボートにインジウム
500mgを装着した。その後、真空槽を2×10-4Paまで減
圧してから、インジウムを0.1nm/秒の蒸着速度で、同時
にもう一方のモリブテンボートからマグネシウムを1.7
〜2.8nm/秒の蒸着速度で蒸着し始めた。ボートの温度は
インジウム,マグネシウム各々、800℃,500℃程度であ
った。
Next, put 1g of magnesium ribbon into a molybdenum resistance heating boat and indium into another molybdenum boat.
500 mg was attached. Thereafter, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa, and then indium was vapor-deposited at a deposition rate of 0.1 nm / sec.
Deposition started at a deposition rate of ~ 2.8 nm / sec. The temperature of the boat was about 800 ° C and 500 ° C for indium and magnesium, respectively.

上記条件でマグネシウムとインジウムの混合金属電極
を発光層の上に150nm積層蒸着し対向電極とした。
Under the above conditions, a mixed metal electrode of magnesium and indium was deposited in a thickness of 150 nm on the light emitting layer to form a counter electrode.

この素子にITO電極を陽極、マグネシウムとインジウ
ムの混合金属電極を陰極として直流15Vを印加すると電
流が11mA/cm2流れ、明所可視の発光を得た。発光波長域
は分光測定より400nmから長波長の広い波長域で発光し
た。なお、上記条件での発光強度は、フォトダイオード
測定により0.02mW/cm2であった。
When a direct current of 15 V was applied to this device using an ITO electrode as an anode and a mixed metal electrode of magnesium and indium as a cathode, a current of 11 mA / cm 2 flowed, and light was emitted in visible light. The emission wavelength range was from 400 nm to longer wavelengths than the spectral measurement. The light emission intensity under the above conditions was 0.02 mW / cm 2 as measured by a photodiode.

実施例9 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定し、モリブテン製の抵抗加熱
ボートに1,1′−ビス(4−ジ−メタ−トリルアミノフ
ェニル)エーテル(ETPA)を200mg入れ、また別のモリ
ブテン製ボートに3,5,3,5′−テトラブチルキンク
フェニル(TBQ)を200mg入れて真空槽を1×10-4Paまで
減圧した。
Example 9 ITO was deposited on a 25 mm × 75 mm × 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
And 200mg of 1,1'-bis (4-di-meta-tolylaminophenyl) ether (ETPA) in a molybdenum resistance heating boat. 200 mg of 5,3,5'-tetrabutyl kinkphenyl (TBQ) was charged, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa.

その後ETPA入りの前記ボートを210℃まで加熱し、ETP
Aを蒸着速度0.1〜0.3nm/秒で透明支持基板上に蒸着し
て、膜厚60nmの正孔注入層を製膜させた。この時の基板
温度は室温であった。これを真空槽より取り出すことな
く、正孔注入層の上に、TBQを発光層として60nm積層蒸
着した。蒸着条件はボート温度が220℃で蒸着速度は0.3
〜0.5nm/秒、基板温度は室温であった。これを真空槽よ
り取出し、上記発光層の上にステンレススチール製のマ
スクを設置し、再び基板ホルダーに固定した。
Thereafter, the boat containing ETPA is heated to 210 ° C.
A was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec to form a 60-nm thick hole injection layer. The substrate temperature at this time was room temperature. Without taking this out of the vacuum chamber, TBQ was deposited as a light emitting layer to a thickness of 60 nm on the hole injection layer. The deposition conditions were as follows: boat temperature 220 ° C, deposition rate 0.3
0.5 nm / sec, and the substrate temperature was room temperature. This was taken out from the vacuum chamber, a stainless steel mask was placed on the above-mentioned light emitting layer, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートにマグネシウムリ
ボン1gを入れ、また別のモリブテンボートにインジウム
500mgを装着した。その後、真空槽を2×10-4Paまで減
圧してから、インジウムを0.1nm/秒の蒸着速度で、同時
にもう一方のモリブテンボートからマグネシウムを1.7
〜2.8nm/秒の蒸着速度で蒸着し始めた。ボートの温度は
インジウム,マグネシウム各々、800℃,500℃程度であ
った。
Next, put 1g of magnesium ribbon into a molybdenum resistance heating boat and indium into another molybdenum boat.
500 mg was attached. Thereafter, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa, and then indium was vapor-deposited at a deposition rate of 0.1 nm / sec.
Deposition started at a deposition rate of ~ 2.8 nm / sec. The temperature of the boat was about 800 ° C and 500 ° C for indium and magnesium, respectively.

上記条件でマグネシウムとインジウムの混合金属電極
を発光層の上に150nm積層蒸着し対向電極とした。
Under the above conditions, a mixed metal electrode of magnesium and indium was deposited in a thickness of 150 nm on the light emitting layer to form a counter electrode.

この素子にITO電極を陽極、マグネシウムとインジウ
ムの混合金属電極を陰極として直流15Vを印加すると電
流が1.5mA/cm2流れ、明所可視の紫色の発光を得た。発
光波長域は分光測定より360nm〜600nmの範囲で、近紫外
成分の発光が確認された。なお、上記条件での発光強度
は、フォトダイオード測定により0.06mW/cm2であった。
When a direct current of 15 V was applied to the device using an ITO electrode as an anode and a mixed metal electrode of magnesium and indium as a cathode, a current of 1.5 mA / cm 2 flowed, and a bright visible violet emission was obtained. Emission of near-ultraviolet components was confirmed in the emission wavelength range from 360 nm to 600 nm by spectrometry. The light emission intensity under the above conditions was 0.06 mW / cm 2 as measured by a photodiode.

実施例10 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定し、モリブテン製の抵抗加熱
ボートにN,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(2−メチル
フェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン
(TPDA′)を200mg入れ、また別のモリブテン製ボート
に3,5,3,5′−テトラブチルキンクフェニル(TBQ)
を200mg入れて真空槽を1×10-4Paまで減圧した。
Example 10 ITO was deposited on a 25 mm x 75 mm x 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
) And a molybdenum resistance heating boat and N, N'-diphenyl-N, N'-bis (2-methylphenyl)-[1,1'-biphenyl] -4,4'- Add 200mg of diamine (TPDA ') and add 3,5,3,5'-tetrabutyl kinkphenyl (TBQ) to another molybdenum boat
Was placed in a vacuum tank, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa.

その後TPDA′入りの前記ボートを210℃まで加熱し、T
PDA′を蒸着速度0.1〜0.3nm/秒で透明支持基板上に蒸着
して、膜厚60nmの正孔注入層を製膜させた。この時の基
板温度は室温であった。これを真空槽より取り出すこと
なく、正孔注入層の上に、TBQを発光層として60nm積層
蒸着した。蒸着条件はボート温度が220℃で蒸着速度は
0.3〜0.5nm/秒、基板温度は室温であった。これを真空
槽より取出し、上記発光層の上にステンレススチール製
のマスクを設置し、再び基板ホルダーに固定した。
Thereafter, the boat containing TPDA ′ is heated to 210 ° C.
PDA 'was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec to form a 60-nm thick hole injection layer. The substrate temperature at this time was room temperature. Without taking this out of the vacuum chamber, TBQ was deposited as a light emitting layer to a thickness of 60 nm on the hole injection layer. The evaporation conditions are boat temperature 220 ° C and evaporation rate
The substrate temperature was 0.3 to 0.5 nm / sec and the room temperature was room temperature. This was taken out from the vacuum chamber, a stainless steel mask was placed on the above-mentioned light emitting layer, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートにマグネシウムリ
ボン1gを入れ、また別のモリブテンボートにインジウム
500mgを装着した。その後、真空槽を2×10-4Paまで減
圧してから、インジウムを0.1nm/秒の蒸着速度で、同時
にもう一方のモリブテンボートからマグネシウムを1.7
〜2.8nm/秒の蒸着速度で蒸着し始めた。ボートの温度は
インジウム,マグネシウム各々、800℃,500℃程度であ
った。
Next, put 1g of magnesium ribbon into a molybdenum resistance heating boat and indium into another molybdenum boat.
500 mg was attached. Thereafter, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa, and then indium was vapor-deposited at a deposition rate of 0.1 nm / sec.
Deposition started at a deposition rate of ~ 2.8 nm / sec. The temperature of the boat was about 800 ° C and 500 ° C for indium and magnesium, respectively.

上記条件でマグネシウムとインジウムの混合金属電極
を発光層の上に150nm積層蒸着し対向電極とした。
Under the above conditions, a mixed metal electrode of magnesium and indium was deposited in a thickness of 150 nm on the light emitting layer to form a counter electrode.

この素子にITO電極を陽極、マグネシウムとインジウ
ムの混合金属電極を陰極として直流15Vを印加すると電
流が27mA/cm2流れ、明所可視の紫色の発光を得た。発光
波長域は分光測定より360nm〜550nmの範囲で近紫外の発
光成分が確認された。なお、上記条件での発光強度は、
フォトダイオードによるパワー測定から20V印加時、1.0
mW/cm2であった。
When a direct current of 15 V was applied to the device using an ITO electrode as an anode and a mixed metal electrode of magnesium and indium as a cathode, a current of 27 mA / cm 2 flowed, and a bright visible violet emission was obtained. In the emission wavelength region, near-ultraviolet emission components were confirmed in the range of 360 nm to 550 nm by spectrometry. The emission intensity under the above conditions is
1.0V when applying 20V from power measurement by photodiode
mW / cm 2 .

実施例11 25mm×75mm×1.1mmのガラス基板上にITOを蒸着法にて
100nmの厚さで製膜したものを透明支持基板とした。こ
の透明支持基板を市販の蒸着装置(日本真空技術(株)
製)の基板ホルダーに固定し、モリブテン製の抵抗加熱
ボートにN,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メトキ
シフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミ
ン(MPDA)を200mg入れ、また別のモリブテン製ボート
に3,5,3,5′−テトラブチルキンクフェニル(TBQ)
を200mg入れて真空槽を1×10-4Paまで減圧した。
Example 11 ITO was deposited on a 25 mm x 75 mm x 1.1 mm glass substrate by vapor deposition.
A transparent support substrate was formed with a thickness of 100 nm. This transparent support substrate is supplied to a commercially available vapor deposition device (Nihon Vacuum Technology Co., Ltd.)
) And a molybdenum resistance heating boat and N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methoxyphenyl)-[1,1'-biphenyl] -4,4'- Add 200mg of diamine (MPDA) and add 3,5,3,5'-tetrabutyl kinkphenyl (TBQ) to another molybdenum boat
Was placed in a vacuum tank, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa.

その後MPDA入りの前記ボートを220℃まで加熱し、MPD
Aを蒸着速度0.1〜0.3nm/秒で透明支持基板上に蒸着し
て、膜厚60nmの正孔注入層を製膜させた。この時の基板
温度は室温であった。これを真空槽より取り出すことな
く、正孔注入層の上に、TBQを発光層として60nm積層蒸
着した。蒸着条件はボート温度が220℃で蒸着速度は0.3
〜0.5nm/秒、基板温度は室温であった。これを真空槽よ
り取出し、上記発光層の上にステンレススチール製のマ
スクを設置し、再び基板ホルダーに固定した。
Thereafter, the boat containing MPDA is heated to 220 ° C.
A was deposited on the transparent support substrate at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec to form a 60-nm thick hole injection layer. The substrate temperature at this time was room temperature. Without taking this out of the vacuum chamber, TBQ was deposited as a light emitting layer to a thickness of 60 nm on the hole injection layer. The deposition conditions were as follows: boat temperature 220 ° C, deposition rate 0.3
0.5 nm / sec, and the substrate temperature was room temperature. This was taken out from the vacuum chamber, a stainless steel mask was placed on the above-mentioned light emitting layer, and fixed again to the substrate holder.

次にモリブテン製の抵抗加熱ボートにマグネシウムリ
ボン1gを入れ、また別のモリブテンボートにインジウム
500mgを装着した。その後、真空槽を2×10-4Paまで減
圧してから、インジウムを0.1nm/秒の蒸着速度で、同時
にもう一方のモリブテンボートからマグネシウムを1.7
〜2.8nm/秒の蒸着速度で蒸着し始めた。ボートの温度は
インジウム,マグネシウム各々、800℃,500℃程度であ
った。
Next, put 1g of magnesium ribbon into a molybdenum resistance heating boat and indium into another molybdenum boat.
500 mg was attached. Thereafter, the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa, and then indium was vapor-deposited at a deposition rate of 0.1 nm / sec.
Deposition started at a deposition rate of ~ 2.8 nm / sec. The temperature of the boat was about 800 ° C and 500 ° C for indium and magnesium, respectively.

上記条件でマグネシウムとインジウムの混合金属電極
を発光層の上に150nm積層蒸着し対向電極とした。
Under the above conditions, a mixed metal electrode of magnesium and indium was deposited in a thickness of 150 nm on the light emitting layer to form a counter electrode.

この素子にITO電極を陽極、マグネシウムとインジウ
ムの混合金属電極を陰極として直流15Vを印加すると電
流が12mA/cm2流れ、明所可視の紫色の発光を得た。発光
波長域は分光測定より430nmにピークを持ち、370〜550n
mの範囲に及んでいた。これより近紫外の発光成分の存
在が確認された。発光強度は、フォトダイオードによる
パワー測定から20V印加時、0.7mW/cm2であった。
When a direct current of 15 V was applied to the device using an ITO electrode as an anode and a mixed metal electrode of magnesium and indium as a cathode, a current of 12 mA / cm 2 flowed, and a bright visible violet emission was obtained. The emission wavelength range has a peak at 430 nm from the spectroscopic measurement, 370 to 550 n
m. This confirmed the presence of near-ultraviolet light-emitting components. The light emission intensity was 0.7 mW / cm 2 at the time of applying 20 V from power measurement by a photodiode.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

上述の如く、本発明のEL素子は低電圧を印加するだけ
で高輝度を得ることができ、その構成も簡単であり、容
易に製造することができる。また、このEL素子によれ
ば、従来困難とされていた近紫外域から青色域の発光を
高輝度,高効率で達成することができる。この領域の光
はエネルギーが大きい為、ある種のエネルギー変換、例
えば蛍光などにより、これより低エネルギー、つまり長
波長の青,緑,赤の可視光を得ることが可能である。
As described above, the EL device of the present invention can obtain high luminance only by applying a low voltage, has a simple configuration, and can be easily manufactured. Further, according to this EL device, it is possible to achieve light emission in the near-ultraviolet region to the blue region with high luminance and high efficiency, which has been conventionally difficult. Since light in this region has large energy, it is possible to obtain lower energy, that is, long wavelength blue, green, and red visible light by a certain energy conversion, for example, fluorescence.

さらに、ピンホールなどの不良も少なく、また大面積
化も容易であり、生産性が高く、各種機器の表示用のEL
素子として安価で安定した製品を提供することが可能で
ある。
In addition, there are few defects such as pinholes, and it is easy to enlarge the area, high productivity, and EL for display of various devices
It is possible to provide an inexpensive and stable product as an element.

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】一般式(I) 又は一般式(II) 〔式中、R1〜R10はそれぞれ水素原子,炭素数1〜6の
アルキル基,炭素数1〜6のアルコキシ基,水酸基,ス
ルホン酸基,カルボニル基,カルボキシル基,アミノ
基,ジメチルアミノ基,シアノ基,ハロゲン原子,アシ
ルオキシ基,アシル基,アルコキシカルボニル基,アリ
ールオキシカルボニル基,アミノカルボニル基あるいは
アシルアミノ基を示し、また、これらR1〜R10は互いに
結合して置換,無置換の飽和5員環あるいは置換,無置
換の飽和6員環を形成してもよい。nは2〜5の整数を
示す。なお、複数のR4〜R6はそれぞれ同じでも異なって
もよい。但し、式(I)において、R1〜R9のすべてが水
素原子を示し、かつnが3を示す場合を除く。〕 で表わされる化合物を発光材料として用いたことを特徴
とする有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子。
1. The compound of the general formula (I) Or general formula (II) [Wherein, R 1 to R 10 are each a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a hydroxyl group, a sulfonic acid group, a carbonyl group, a carboxyl group, an amino group, and a dimethylamino group. , A cyano group, a halogen atom, an acyloxy group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an aminocarbonyl group or an acylamino group, and these R 1 to R 10 are bonded to each other to be substituted or unsubstituted saturated. A 5-membered ring or a substituted or unsubstituted saturated 6-membered ring may be formed. n shows the integer of 2-5. Note that a plurality of R 4 to R 6 may be the same or different. However, in formula (I), the case where all of R 1 to R 9 represent a hydrogen atom and n represents 3 is excluded. ] An organic thin-film electroluminescence device, characterized by using a compound represented by the following formula:
【請求項2】請求項1の化合物からなる発光材料を、少
なくとも一方が透明または半透明の二つの電極間に挟持
したことを特徴とする有機薄膜エレクトロルミネッセン
ス素子。
2. An organic thin-film electroluminescent device, wherein at least one of the light-emitting materials comprising the compound according to claim 1 is sandwiched between two transparent or translucent electrodes.
【請求項3】請求項1の化合物からなる発光材料層と正
孔注入層を積層したものを、少なくとも一方が透明また
は半透明の二つの電極間に挟持したことを特徴とする有
機薄膜エレクトロルミネッセンス素子。
3. An organic thin-film electroluminescence comprising a laminate of a light-emitting material layer comprising the compound of claim 1 and a hole injection layer, at least one of which is sandwiched between two transparent or translucent electrodes. element.
【請求項4】陰極,一般式(I) 又は一般式(II) 〔式中、R1〜R10はそれぞれ水素原子,炭素数1〜6の
アルキル基,炭素数1〜6のアルコキシ基,水酸基,ス
ルホン酸基,カルボニル基,カルボキシル基,アミノ
基,ジメチルアミノ基,シアノ基,ハロゲン原子,アシ
ルオキシ基,アシル基,アルコキシカルボニル基,アリ
ールオキシカルボニル基,アミノカルボニル基あるいは
アシルアミノ基を示し、また、これらR1〜R10は互いに
結合して置換,無置換の飽和5員環あるいは置換,無置
換の飽和6員環を形成してもよい。nは2〜5の整数を
示す。なお、複数のR4〜R6はそれぞれ同じでも異なって
もよい。但し、式(I)において、R1〜R9のすべてが水
素原子を示し、かつnが3を示す場合を除く。〕 で表わされる化合物,芳香族第三級アミン化合物,陽極
及び基板を順次積層してなる有機薄膜エレクトロルミネ
ッセンス素子。
4. A cathode of the general formula (I) Or general formula (II) [Wherein, R 1 to R 10 are each a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a hydroxyl group, a sulfonic acid group, a carbonyl group, a carboxyl group, an amino group, and a dimethylamino group. , A cyano group, a halogen atom, an acyloxy group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an aminocarbonyl group or an acylamino group, and these R 1 to R 10 are bonded to each other to be substituted or unsubstituted saturated. A 5-membered ring or a substituted or unsubstituted saturated 6-membered ring may be formed. n shows the integer of 2-5. Note that a plurality of R 4 to R 6 may be the same or different. However, in formula (I), the case where all of R 1 to R 9 represent a hydrogen atom and n represents 3 is excluded. ] An organic thin-film electroluminescent device comprising a compound represented by the following formula, an aromatic tertiary amine compound, an anode and a substrate laminated in this order.
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