JP2784379B2 - Pressure reducing valve - Google Patents

Pressure reducing valve

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JP2784379B2
JP2784379B2 JP63303094A JP30309488A JP2784379B2 JP 2784379 B2 JP2784379 B2 JP 2784379B2 JP 63303094 A JP63303094 A JP 63303094A JP 30309488 A JP30309488 A JP 30309488A JP 2784379 B2 JP2784379 B2 JP 2784379B2
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、気体の減圧弁に係り、特に、微小な設定二
次圧かつ微小な流量で使用され、再起動時および長期運
転時にも設定二次圧が安定である減圧弁に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas pressure reducing valve, and more particularly to a gas pressure reducing valve which is used at a small set secondary pressure and a small flow rate, and is set even during restart and long-term operation. The present invention relates to a pressure reducing valve having a stable secondary pressure.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

気体の減圧弁としては、例えば、実開昭61−99211号
公報,特開昭58−29020号公報,実開昭61−70212号公報
などに記載のものが知られている。
As the gas pressure reducing valve, for example, those described in Japanese Utility Model Laid-Open No. 61-99211, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-29020, Japanese Utility Model Laid-Open No. 61-70212, and the like are known.

このような減圧弁は、流路中に潤滑剤を使用せず、し
かも、ノンリリーフ機構となっている。その理由は、次
の通りである。
Such a pressure reducing valve does not use a lubricant in the flow path and has a non-relief mechanism. The reason is as follows.

潤滑剤は、たとえ非常に低い蒸気圧で化学的に安定で
あるとはいえ、取扱う気体によっては、非常に低い蒸気
圧の潤滑剤の混入され許さないこともある。たとえ許し
たとしても、下流の例えば流路抵抗管または狭隘な部分
への潤滑剤の沈着により、それらの部分の機能を阻害す
ることが、ときどき起こる。また、化学的に安定とはい
え、潤滑剤と気体との長時日にわたる化学作用により、
潤滑剤がわずかに硬化したり劣化したりして、設定二次
圧の安定性を著しく阻害することもある。
Although lubricants are chemically stable at very low vapor pressures, very low vapor pressure lubricants may not be admixed depending on the gas being handled. Even if forgiven, it sometimes happens that the deposition of lubricant on downstream, for example flow resistance tubes or constrictions, impairs the function of those parts. Also, although chemically stable, the chemical action of lubricants and gases over long periods of time
The lubricant may harden or deteriorate slightly, which may significantly impair the stability of the set secondary pressure.

ノンリリーフ機構は、気体の散逸が気体の消費量の増
大の点で問題になったり、気体の毒性が周囲に影響を及
ぼしたりすることを避ける場合に必要な機構である。
The non-relief mechanism is a mechanism necessary for avoiding that the dissipation of gas becomes a problem in terms of increasing gas consumption and that the toxicity of gas does not affect the surroundings.

また、気体の散逸という点に関しては、圧力検出要素
が例えばゴム製ダイヤフラムなどの膜類似品である場
合、気体成分が選択的に移動し組成が変化することが、
特に微小流量であるときに起こる。このような場合は、
一般に、圧力検出要素として、金属ベローズまたは金属
ダイヤフラムが用いられる。
Regarding the point of gas dissipation, when the pressure detecting element is a membrane-like product such as a rubber diaphragm, for example, the gas component selectively moves and the composition changes,
It occurs especially when the flow rate is very small. In such a case,
Generally, a metal bellows or a metal diaphragm is used as the pressure detecting element.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかし、上記従来の技術において、例えば、5〜50kP
a程度に二次圧を設定し、JIS C 0041環境試験方法(電
気・電子)衝撃試験方法による「頑丈さ、取扱い及び輸
送についての基本試験・永久に地上に据付けられる製品
又は丈夫な耐衝撃包装をして道路,鉄道もしくは航空機
で輸送される製品」に適用されるピーク加速度147m/S2,
作用時間11ms,正弦半波の衝撃を加えたとすると、設定
二次圧が、著しく変動してしまう。
However, in the above prior art, for example, 5 to 50 kP
Set the secondary pressure to about a and apply the JIS C 0041 Environmental Test Method (Electrical / Electronic) Impact Test Method "Basic test for robustness, handling and transportation. Permanently installed on the ground or durable impact resistant packaging. 147m / S 2 , applied to products transported by road, rail or air
If an impact time of 11 ms and a half sine wave is applied, the set secondary pressure will fluctuate significantly.

この変動は、第一に、伝達棒が球状弁に対して軸力と
直角方向にずれてしまい、また、弁ばねと球状弁との位
置関係が前記直角方向に起こるずれなどに起因して、弁
座に対する球状弁の押力に差異を生じ、弁座の封止円と
球状弁の封止円とが同軸でなくなり、等しい間隙が維持
されないからである。本明細書では、この現像を第一の
踊り現象という。なお、封止円とは、弁座と球状弁とが
封止状態になったときに両者の周状の接触位置に形成さ
れる仮想的な円のことをいう。
This variation is caused by, firstly, the transmission rod being displaced in the direction perpendicular to the axial force with respect to the spherical valve, and the positional relationship between the valve spring and the spherical valve being displaced in the perpendicular direction. This is because a difference occurs in the pressing force of the spherical valve against the valve seat, the sealing circle of the valve seat and the sealing circle of the spherical valve are not coaxial, and the same gap is not maintained. In the present specification, this development is referred to as a first dance phenomenon. Note that the sealing circle refers to a virtual circle formed at a circumferential contact position between the valve seat and the spherical valve when they are in a sealed state.

第二に、伝達棒の中心軸がそれと直角の方向に動く
か、補償ばねとベローズの合力である軸力がそれと直角
の方向の分力を持ち、伝達棒の中心軸と軸力の作用点の
軌跡とが一致しなくなるからである。ここでは、この現
象を第二の躍り現象という。
Second, the central axis of the transmission rod moves in the direction perpendicular to it, or the axial force, which is the resultant force of the compensating spring and the bellows, has a component force in the direction perpendicular to it, and the point of action of the central axis of the transmission rod and the axial force This is because the trajectory does not match. Here, this phenomenon is referred to as a second jump phenomenon.

また、例えば、JIS(0040環境試験方法(電気・電
子)正弦波振動試験方法による「船舶、鉄道及び陸上車
両に据付るか輸送される機器」に適用される振動数範囲
10〜50Hz,加速度19.6m/S2の振動を加えたとすると、設
定二次圧が、著しく変動してしまう。
In addition, for example, the frequency range applied to “equipment installed or transported on ships, railways and land vehicles” according to the JIS (0040 environmental test method (electric / electronic) sine wave vibration test method)
If a vibration of 10 to 50 Hz and an acceleration of 19.6 m / S 2 is applied, the set secondary pressure fluctuates significantly.

この変動は、弁ばねおよび/または補償ばねが共振
し、このとき回軸なども加わり、たわみ量が変動してし
まうからである。ここでは、この現象を第三の踊り現象
という。
This is because the valve spring and / or the compensating spring resonate, and at this time, the amount of deflection is changed due to the addition of the rotation axis and the like. Here, this phenomenon is called the third dance phenomenon.

これらの諸試験に分けて説明した現象は、もちろん複
合しても起こる。
The phenomena described separately for these various tests naturally occur even when combined.

本発明の目的は、上記各現象の発生を抑制し、一度設
定した二次圧を安定に維持できる機構を備えた減圧弁を
提供することである。
An object of the present invention is to provide a pressure reducing valve having a mechanism capable of suppressing the occurrence of each of the above phenomena and stably maintaining a secondary pressure once set.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明は、上記目的を達成するために、直線状の貫通
孔を有し一次圧側と二次圧側との間に配置された弁座部
材と、弁座部材に対して一次側に配置された可動弁と、
弁座部材に対して二次側に配置され凸部を有するベロー
ズと、前記凸部の底部に固定され凸部の動きを可動弁に
伝える伝達棒とを備えた減圧弁において、上記直線状の
貫通孔と平行方向に延在し前記凸部を平行方向にのみ直
線的に移動させるガイド部を弁座部材のベローズ側に形
成し、伝達棒を直線状の貫通孔に沿って直線的に摺動さ
せ、前記凸部の直線的移動に伴い弁座部材と同軸に保っ
たまま可動弁を移動させる減圧弁を提案する。
In order to achieve the above object, the present invention has a valve seat member having a straight through hole and disposed between a primary pressure side and a secondary pressure side, and is disposed on a primary side with respect to the valve seat member. A movable valve,
In the pressure reducing valve including a bellows having a convex portion disposed on the secondary side with respect to the valve seat member and a transmission rod fixed to the bottom of the convex portion and transmitting the movement of the convex portion to the movable valve, A guide portion that extends in a direction parallel to the through hole and linearly moves the convex portion only in the parallel direction is formed on the bellows side of the valve seat member, and the transmission rod is slid linearly along the straight through hole. The present invention proposes a pressure reducing valve that moves the movable valve while keeping it coaxial with the valve seat member in accordance with the linear movement of the projection.

〔作用〕[Action]

このように、可動弁の可動範囲に亘って、弁座の封止
円に対し可動弁の封止円が常に同軸で等しい間隙を保持
するように、可動弁の動きを制限する手段を設けたの
で、可動弁のずれをなくし、設定二次圧の変動を抑制で
きる。
In this way, the means for restricting the movement of the movable valve is provided so that the sealing circle of the movable valve always keeps the same coaxial gap with the sealing circle of the valve seat over the movable range of the movable valve. Therefore, the displacement of the movable valve can be eliminated, and the fluctuation of the set secondary pressure can be suppressed.

〔実施例〕〔Example〕

次に、図面を参照して、本発明による減圧弁の実施例
を説明する。
Next, an embodiment of a pressure reducing valve according to the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は、本発明による減圧弁の一実施例の構造を示
す縦断面図である。弁体10は、その側面に一次圧口11と
底面に二次圧口12とを有する。弁体10の上面13は、基準
面であり、この基準面13に鉛直にかつ弁体10の中心部に
3段に座刳られた穴14が形成されている。座刳り面15
は、基準面に正確に平行である必要があり、座刳り面16
は、基準面と直角かつ穴14と同心である必要があり、座
刳り面17は、Oリング封止面にふさわしい面である必要
があり、座刳り部18は、逃げてある。なお、19は、二次
圧導路であり、20は、加工用捨穴封止のボールである。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the structure of one embodiment of a pressure reducing valve according to the present invention. The valve element 10 has a primary pressure port 11 on the side and a secondary pressure port 12 on the bottom. The upper surface 13 of the valve body 10 is a reference surface, and a hole 14 is formed vertically in the reference surface 13 and is formed in three steps at the center of the valve body 10. Counterbore 15
Must be exactly parallel to the reference plane,
Must be perpendicular to the reference plane and concentric with the hole 14, the counterbore 17 must be a surface suitable for the O-ring sealing surface, and the counterbore 18 has escaped. Reference numeral 19 denotes a secondary pressure guide path, and reference numeral 20 denotes a discarded hole sealing ball for processing.

第2図は、第1図の実施例の穴14の周りを示す横断面
図である。一次圧導路21は、穴14に通じ、しかも、溝22
により、座刳り部18に通じている。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing around the hole 14 in the embodiment of FIG. The primary pressure conduit 21 communicates with the hole 14 and the groove 22
Thereby, it leads to the counterbore 18.

第1図に戻り、弁座板30の中心軸上に、小径で直線状
の貫通孔31が掘られ、下部は座刳り穴32となり、座刳り
穴32には、導路323が掘られている。弁座板30と一体の
ガイド34は、直線状の貫通孔31と正確に同軸であり、そ
の最も下の部分に吸気穴35が空けられている。弁座板30
に固定された弁座36は、寸法,表面粗さ,硬度が吟味さ
れたOリングである。弁座板30は、Oリング37,ねじ38
により、弁体10に座刳面15で隙間なく固定されて、気密
となり、しかも、座刳り面16の嵌め合い公差により、弁
体10の穴14の中心軸と弁座板30の直線状の貫通孔31の中
心軸とは、10μm以下の誤差で一致しており、Oリング
弁座36の下面の内側の全ての面が、この中心軸から同一
高さにおいて、上記誤差内で同一距離にある。
Returning to FIG. 1, a small-diameter, straight through hole 31 is dug on the central axis of the valve seat plate 30, a lower portion becomes a counterbore 32, and a conduit 323 is dug in the counterbore 32. I have. The guide 34 integral with the valve seat plate 30 is exactly coaxial with the straight through-hole 31 and has an intake hole 35 at its lowermost part. Valve seat plate 30
Is an O-ring whose dimensions, surface roughness, and hardness have been examined. The valve seat plate 30 includes an O-ring 37 and a screw 38.
Therefore, the valve body 10 is fixed to the valve body 10 without any clearance by the counterbore surface 15, and becomes airtight.Moreover, due to the fitting tolerance of the counterbore surface 16, the linear shape of the central axis of the hole 14 of the valve body 10 and the valve seat plate 30. The central axis of the through hole 31 coincides with the error of 10 μm or less, and all the surfaces inside the lower surface of the O-ring valve seat 36 are at the same height from this central axis and within the same distance within the above error. is there.

真球の球状弁40は、その中心を通る軸と同軸上に伝達
棒41を固着されている。球状弁40と弁体10の穴14とは、
使用温度範囲にわたって15μm程度の間隙をもってお
り、しかも、伝達棒41と弁座板30の直線状の貫通孔31
も、同様に15μm程度の間隙をもっている。球状弁40を
弁座36に押圧する圧縮ばねからなる弁ばね45は、穴14の
内壁にわずか200μm程度の間隙になる外径をもち、そ
の両端の座は、球状弁40を斜方向に力を加えることな
く、すなわち、球状弁40の封止円、たわみによる力が加
えられるように加工してある。
The transmission rod 41 is fixed to the true spherical valve 40 coaxially with the axis passing through the center thereof. The spherical valve 40 and the hole 14 of the valve body 10
It has a gap of about 15 μm over the operating temperature range, and has a straight through hole 31 between the transmission rod 41 and the valve seat plate 30.
Also have a gap of about 15 μm. A valve spring 45, which is a compression spring that presses the spherical valve 40 against the valve seat 36, has an outer diameter that provides a gap of only about 200 μm on the inner wall of the hole 14, and the seats at both ends force the spherical valve 40 in an oblique direction. , That is, the spherical valve 40 is processed such that a force due to the sealing circle and deflection is applied.

ベローズ50の中心部には、上面に凸部51を形成され下
底52には上記伝達棒41の上端が当たっているばね座55が
取り付けられている。凸部51の外径とガイド34の内壁の
間隙は、50〜500μm程度である。凸部51の内壁には、
圧縮ばねである補償ばね58が、凹部57を有するばね座56
とばね座55とに挾まれて配置されている。ばね座55は、
凸部51の中心軸に対して、ばね58の中心軸が100〜500μ
m程度で一致するようにしてある。ボンネット60は、吸
気孔61を有し、ねじ63により弁体10に固定されている。
この場合、ボンネット60に座刳られた部分にベローズ50
のフランジ部をはめて、Oリング62により圧力室64を外
界と気密に封止してある。
At the center of the bellows 50, a convex portion 51 is formed on the upper surface, and a spring seat 55 to which the upper end of the transmission rod 41 abuts is attached to the lower bottom 52. The gap between the outer diameter of the projection 51 and the inner wall of the guide 34 is about 50 to 500 μm. On the inner wall of the projection 51,
A compensating spring 58, which is a compression spring, includes a spring seat 56 having a recess 57.
And the spring seat 55. The spring seat 55 is
The central axis of the spring 58 is 100 to 500 μ with respect to the central axis of the projection 51.
It is set to match at about m. The bonnet 60 has an intake hole 61, and is fixed to the valve body 10 with a screw 63.
In this case, the bellows 50
The pressure chamber 64 is hermetically sealed from the outside by an O-ring 62.

二次圧調節ねじで65は、把手66を有し、ボンネット60
に螺合され、追ねじ67により緩まないよう固定される。
調節ねじ65の中心軸は、伝達棒41の中心軸と100〜500μ
m程度で一致するようになっている。調節ねじ65の先端
は、半球をなしており、ばね座55の凹部57に当たってい
る。調節ねじ5を緩めると、ばね座56の凹部57から離
れ、ベローズ50はほぼ自由長に伸び、ばね座55の下底52
は伝達棒41から離れ、弁ばね45に押し上げられた球状弁
40は弁座36と封止円に沿って当り、一次圧側と圧力室64
とを完全に隔絶する。
The secondary pressure adjusting screw 65 has a handle 66 and a bonnet 60
, And fixed by the additional screw 67 so as not to be loosened.
The central axis of the adjusting screw 65 is 100 to 500μ with the central axis of the transmission rod 41.
The values are matched at about m. The tip of the adjusting screw 65 has a hemispherical shape and contacts the concave portion 57 of the spring seat 55. When the adjusting screw 5 is loosened, it separates from the concave portion 57 of the spring seat 56, and the bellows 50 extends almost free length.
Is a spherical valve separated from the transmission rod 41 and pushed up by a valve spring 45.
40 contacts the valve seat 36 along the sealing circle, and the primary pressure side and the pressure chamber 64
And completely isolated.

まず、一次圧口11に50±10kPaのゲージ圧の圧縮空気
源を接続し、二次圧口12に流量33ml/minに設定可能な抵
抗を負荷する。次に、調節ねじ65を回し、二次圧が20kP
aになるように、ばね58を撓ませると、ばね座55の下底5
2が、下方に押し下げられ、伝達棒41を突くので、球状
弁40は、この球状弁40の封止円が常に弁座36の封止円と
等しい間隙を保つように、同軸のまま、弁座36から離れ
る。このとき、一次圧が球状弁40を押上げる力および弁
ばね45が弁40を押し上げる力の和と、補償ばね58がばね
座55の下底52を押し下げる力および二次圧がばね座55の
下底52を押し上げる(ベローズ50が上方に伸びるので、
ベローズ50のばね力も考慮しなければならない)力の差
とが、伝達棒41を介して釣り合う。その後、追ねじ67を
締め、調節ねじ65が動かないようにする。
First, a compressed air source having a gauge pressure of 50 ± 10 kPa is connected to the primary pressure port 11, and a resistance that can be set to a flow rate of 33 ml / min is applied to the secondary pressure port 12. Next, turn the adjusting screw 65 to set the secondary pressure to 20 kP
When the spring 58 is bent so as to be a, the lower bottom 5 of the spring seat 55
2 is pushed downward and pierces the transmission rod 41, so that the spherical valve 40 is kept coaxial so that the sealing circle of the spherical valve 40 always keeps a gap equal to the sealing circle of the valve seat 36. Leaves seat 36. At this time, the sum of the force by which the primary pressure pushes up the spherical valve 40 and the force by which the valve spring 45 pushes up the valve 40, and the force by which the compensation spring 58 pushes down the lower bottom 52 of the spring seat 55 and the secondary pressure by the spring seat 55 Push up the lower bottom 52 (because the bellows 50 extends upwards,
The spring force of the bellows 50 must also be considered) and the difference in forces is balanced via the transmission rod 41. Thereafter, the additional screw 67 is tightened so that the adjusting screw 65 does not move.

次に、一次圧を大気圧にすると、二次圧を大気圧とな
り、二次圧によるベローズ50による力がほとんど0にな
り、球状弁40が弁座36からさらに離れたまま、上方の力
と下方の力とが釣り合って止っている。本実施例の減圧
弁は、この状態で輸送される。いずれの場合も、球状弁
40と弁座36とは、封止状態になることはない。この状態
で部材が永久歪を起こさない程度の衝撃(もちろん、先
に述べたJISによる試験はこの範囲内にある)を与え
る。伝達棒41の中心軸に対する横方向の力に対しては、
球状弁40と弁座36の中心のずれは最大で25μmである
が、弁40が球状であり、伝達棒41と弁座板30の直線状の
貫通孔31とが15μm程度の間隙をもっているので、修正
される。調節ねじ65とばね座56,ばね座56と補償ばね58,
補償ばね58とばね座55,ばね座55とベローズ50の凸部51
の内径でのずれは、凸部51の外径が、弁座板30のガイド
34により最大でも横方向に500μmのずれしか起こさな
い。中心軸と同方向の衝撃には、減圧弁がこの方向の力
で釣り合っているので、一時的には均衡をくずすが、早
急に回復する。軸方向の衝撃でも、何らかの力のずれ
で、横方向の分力も発生するが、それによるずれも上記
の値以内である。この衝撃に対して、前記稼動条件にお
ける実験で、設定二次圧のずれは20±0.4kPa以内であっ
た。ただし稼動中に衝撃を加えたときは、一旦、一次圧
を0にしてすなわち停止させた後、再稼動した方が回復
が早くなる。
Next, when the primary pressure is set to the atmospheric pressure, the secondary pressure is set to the atmospheric pressure, the force of the bellows 50 due to the secondary pressure becomes almost zero, and the spherical valve 40 is further separated from the valve seat 36, and the upper force is applied. The downward force is balanced and stopped. The pressure reducing valve of this embodiment is transported in this state. In each case, a spherical valve
The valve 40 and the valve seat 36 are not sealed. In this state, an impact that does not cause permanent deformation of the member (of course, the above-described JIS test is within this range) is applied. For a force in the lateral direction with respect to the central axis of the transmission rod 41,
The difference between the center of the spherical valve 40 and the center of the valve seat 36 is 25 μm at the maximum, but since the valve 40 is spherical, the transmission rod 41 and the linear through hole 31 of the valve seat plate 30 have a gap of about 15 μm. Will be corrected. Adjusting screw 65 and spring seat 56, spring seat 56 and compensation spring 58,
Compensating spring 58 and spring seat 55, convex portion 51 of spring seat 55 and bellows 50
Deviation of the inner diameter of the valve seat
By 34, only a maximum displacement of 500 μm occurs in the horizontal direction. The impact in the same direction as the central axis is balanced by the pressure reducing valve with the force in this direction, so the balance is temporarily lost, but it recovers quickly. Even in the case of an impact in the axial direction, a component force in the lateral direction is generated due to a displacement of some force, but the displacement caused by the displacement is also within the above range. In response to this impact, in the experiment under the above operating conditions, the deviation of the set secondary pressure was within 20 ± 0.4 kPa. However, when an impact is applied during operation, the recovery is quicker if the primary pressure is temporarily set to 0, that is, the operation is stopped, and then the operation is restarted.

第3図は、本発明による減圧弁の他の実施例の構造を
示す縦断面図である。ここでは検出要素として波付の金
属ダイヤフラム50′を用いている。このとき、ばね座55
の中心とダイヤフラム50′の中心とは、誤差50〜500μ
mで固着しておく。弁40′は、円錐台形であり、頂部に
伝達棒41を底部に弁棒42を有する。弁棒42は、弁体10に
掘られた穴14内に間隙5μm程度で嵌合されたガイド46
の中心穴内を滑動する。弁棒42とガイド46の穴の間隙
は、10μm程度である。一方、弁座板30′にはガイドが
無い、本実施例では、伝達棒41と弁棒42とにより、第
一,第二の踊り現象を防止している。
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing the structure of another embodiment of the pressure reducing valve according to the present invention. Here, a corrugated metal diaphragm 50 'is used as a detection element. At this time, the spring seat 55
Between the center of the diaphragm 50 'and the center of the diaphragm 50'
Fix with m. The valve 40 'is frusto-conical and has a transmission rod 41 at the top and a valve rod 42 at the bottom. The valve stem 42 has a guide 46 fitted into the hole 14 dug in the valve body 10 with a gap of about 5 μm.
Slide in the center hole of. The gap between the hole of the valve stem 42 and the hole of the guide 46 is about 10 μm. On the other hand, the guide is not provided on the valve seat plate 30 '. In this embodiment, the transmission rod 41 and the valve rod 42 prevent the first and second dance phenomena.

第4図は、第1図の実施例の変形例を示す縦断面図で
ある。第1図に示す実施例の弁座板30に設けられたガイ
ド34に替えて、ベローズ50の凸部51の下部外周にカラー
70を配置した、ベローズ50のフランジ部は、ボンネット
60のフランジ部に座刳られた座刳り部68に嵌められて、
弁体10に中心軸を合せて固定される。カラー70の外径
は、圧縮されたときのベローズ50の内径よりも100〜500
μm程度小さく、カラー70の長さは、伸長したときのベ
ローズ50の谷二つ程度である。カラー70には、吸気孔69
が空けられている。材質は、密度が小さくかつベローズ
50に対して滑り易いものが用いられている。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a modification of the embodiment of FIG. Instead of the guide 34 provided on the valve seat plate 30 of the embodiment shown in FIG.
The flange of the bellows 50 where the 70 is placed
It is fitted into the counterbore 68 which is counterbore on the flange of 60,
It is fixed to the valve body 10 with its central axis aligned. The outer diameter of the collar 70 is 100-500 more than the inner diameter of the bellows 50 when compressed.
The length of the collar 70 is about 2 μm, and the length of the collar 70 is about two valleys of the bellows 50 when extended. The collar 70 has an intake hole 69
Is empty. The material is low density and bellows
A slippery one for 50 is used.

第5図は、第1図の実施例の他の変形例を示す縦断面
図である。球状弁40と伝達棒41とを切り離し、伝達棒41
をばね座55の下底52の中心軸上に固着させた。このとき
に、弁座板30の中心軸上に空けられた直線状の貫通孔31
と伝達棒41との間隙は、5〜100μm程度になってい
る。凸部51とガイド34との間隙は、10〜100μm程度に
なっている。また、穴14と球状弁40の間隙は、5〜10μ
m程度になっている。
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing another modification of the embodiment of FIG. Disconnect the spherical valve 40 and the transmission rod 41, and
Was fixed on the central axis of the lower bottom 52 of the spring seat 55. At this time, a straight through hole 31 opened on the central axis of the valve seat plate 30
The gap between the transmission rod 41 is about 5 to 100 μm. The gap between the protrusion 51 and the guide 34 is about 10 to 100 μm. The gap between the hole 14 and the spherical valve 40 is 5 to 10 μm.
m.

第6図は、第5図の変形例の更に変形例を示す断面図
である。球状弁40と弁ばね45の間に、ばね座47を配し
た。ばね座47の上面は平面であり、ここで球状弁40と接
する。更に弁座板30′にはベローズの凸部51のガイドが
無く、代りに、座刳り33をできるだけ浅くして、ばね座
55の下底52側には、別に座刳り39を設ける。このとき、
伝達棒41と弁座板30′の中心軸上に直線状の貫通孔31と
の間隙は、5μm程度になっている。第7図は、特に、
微小設定二次圧において流量が微小な場合に好適な本発
明による減圧弁の他の実施例を示す縦断面図である。弁
座板30の中心部に下限ストッパ71を設け、ばね座56に上
限ストッパ72を設けてある。下限ストッパ71にばね座55
の下底52が当ったとき、最大流量が流れ、衝撃の慣性に
より、ベローズ50が過大に圧縮することを防止する。上
限ストッパ72は、ベローズ50の上底が過大二次圧または
衝撃の慣性により、異常に伸長することを防止する。こ
の上限,下限のストッパにより、ベローズ50の可動範囲
を制限すればする程、衝撃または再起動に対して設定二
次圧の変化は小さくなる。なお、焼結金属製のフィルタ
97は、一次圧側から異物の侵入を防止し、二次圧側より
異物が逆流してくることを防止している。Oリング98
は、フィルタ97を封止し、脱落を防止している。
FIG. 6 is a sectional view showing a further modified example of the modified example of FIG. A spring seat 47 is provided between the spherical valve 40 and the valve spring 45. The upper surface of the spring seat 47 is flat, where it contacts the spherical valve 40. Further, the valve seat plate 30 'has no guide of the bellows convex portion 51. Instead, the counterbore 33 is made as shallow as possible to
A counterbore 39 is separately provided on the lower bottom 52 side of 55. At this time,
The gap between the transmission rod 41 and the straight through hole 31 on the central axis of the valve seat plate 30 'is about 5 μm. FIG. 7 shows, in particular,
FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing another embodiment of the pressure reducing valve according to the present invention, which is suitable for a case where the flow rate is minute at a minute set secondary pressure. A lower limit stopper 71 is provided at the center of the valve seat plate 30, and an upper limit stopper 72 is provided at the spring seat 56. Spring seat 55 on lower limit stopper 71
When the lower bottom 52 hits, the maximum flow rate flows and the inertia of the impact prevents the bellows 50 from being excessively compressed. The upper limit stopper 72 prevents the upper bottom of the bellows 50 from being abnormally elongated due to excessive secondary pressure or impact inertia. The more the movable range of the bellows 50 is limited by the upper and lower stoppers, the smaller the change in the set secondary pressure with respect to an impact or a restart. In addition, the filter made of sintered metal
97 prevents foreign matter from entering from the primary pressure side, and prevents foreign matter from flowing backward from the secondary pressure side. O-ring 98
Seals the filter 97 to prevent falling off.

第8図は、特に、微小な設定二次圧において流量が微
小な場合に好適で、かつ部品の除去により、流量の多い
場合でも使用できる本発明の他の実施例の縦断面図であ
り、第9図は第8図に示す部品の変形例の縦断面図であ
る。弁座金具77は、弁体10の座刳り面16に間隙約10μm
以下で嵌め合される。弁座金具77の中心軸には、穴32が
空けられ、下面は二段に座刳られ、Oリングである弁座
36が、奥の座刳り面に配され、ワッシャ状の金具75が、
弁座36を下から押え込んでいる。金具75の内径は、Oリ
ングである弁座36の線の中心よりも少し小さく、その厚
みは、球状弁40が封止時弁座36と密着したときに球状弁
40に接触してはならない。金具75の役割は、弁座36が正
しく装着されたとき、球状弁40側に異常に変形するのを
防止することである。抵抗板78の中心軸には、直線状の
貫通孔31が同心かつ鉛直に空けられている。抵抗板78の
下底には、座刳り部82があり、バイパス79が鉛直に貫通
している。バイパス79は、Oリング81,ねじ80により気
密に封じ込むことができる。弁座金具77と弁体10は、O
リング37により、弁座金具と抵抗板78と弁体10にはOリ
ング83により、共にねじ38で気密に封じられている。弁
座47′は、弁40の球の半径より大きい半径の球状座刳り
部73と、ばね45が運搬時の衝撃などにより過大の圧縮力
を受けないようにストッパ部74を備えている。
FIG. 8 is a longitudinal sectional view of another embodiment of the present invention which is particularly suitable for a case where the flow rate is minute at a small set secondary pressure and which can be used even when the flow rate is large by removing parts; FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a modification of the component shown in FIG. The valve seat fitting 77 has a gap of about 10 μm on the counterbore surface 16 of the valve body 10.
Fitted below. A hole 32 is formed in the center axis of the valve seat fitting 77, and the lower surface is formed in two steps, and the valve seat is an O-ring.
36 is arranged on the back facing surface, and the washer-shaped bracket 75 is
The valve seat 36 is pressed down from below. The inner diameter of the metal fitting 75 is slightly smaller than the center of the line of the valve seat 36 which is an O-ring, and the thickness thereof is such that when the spherical valve 40 is in close contact with the valve seat 36 at the time of sealing, the spherical valve is closed.
Do not touch 40. The role of the fitting 75 is to prevent abnormal deformation to the spherical valve 40 side when the valve seat 36 is correctly mounted. A straight through-hole 31 is provided concentrically and vertically in the center axis of the resistance plate 78. At the lower bottom of the resistance plate 78, there is a counterbore 82, and a bypass 79 penetrates vertically. The bypass 79 can be hermetically sealed by an O-ring 81 and a screw 80. The valve seat fitting 77 and the valve body 10 are
The valve 37, the resistance plate 78, and the valve element 10 are hermetically sealed together by an O-ring 83 with screws 38 by a ring 37. The valve seat 47 'includes a spherical counterbore 73 having a radius larger than the radius of the ball of the valve 40, and a stopper 74 so that the spring 45 does not receive an excessive compressive force due to an impact during transportation or the like.

伝達棒41の外径と、抵抗板78の直線状の貫通孔31の内
径とが作る間隙を十分挟め、目的とする減圧の程度と流
量に見合う抵抗が発生するようにする。このようにする
と、非常に安定した設定二次圧を得ることができる。多
量の流量を得たいときは、ねじ80を取り外す。中間の流
量を得たいときは、第9図に示すように、それに見合っ
た穴85を、ねじ80の中央に空ければよい。伝達棒41と直
線状の貫通孔31の作る間隙を流れる気体は、温度上昇と
ともにその粘性が増加し、流量が減少する。したがっ
て、伝達棒41の部材よりも、直線状の貫通孔31が空けら
れている抵抗板78の部材の方が、大きい熱膨張係数をも
つようにする。このようにすると、流量の減少をともな
わないように設計できる。
The gap formed by the outer diameter of the transmission rod 41 and the inner diameter of the linear through hole 31 of the resistance plate 78 is sufficiently sandwiched between the transmission rod 41 and the resistance corresponding to the desired degree of pressure reduction and the flow rate. In this way, a very stable set secondary pressure can be obtained. To obtain a large flow rate, remove the screw 80. To obtain an intermediate flow rate, a hole 85 corresponding to the intermediate flow rate may be provided in the center of the screw 80 as shown in FIG. The gas flowing through the gap formed by the transmission rod 41 and the linear through-hole 31 increases in viscosity as the temperature rises, and the flow rate decreases. Therefore, the member of the resistance plate 78 in which the linear through hole 31 is formed has a larger coefficient of thermal expansion than the member of the transmission rod 41. In this way, the design can be made so as not to decrease the flow rate.

第10図および第11図は、第8図の実施例において穴と
伝達棒の間隙が中心軸で一定でないようにした実施例を
示す一部断面図である。第10図では直線状の貫通孔31は
円筒形で中心軸の長さにわたり同一径であるのに対し
て、伝達棒41は円錐形で球状弁側が径が太い。第11図で
は、直線状の貫通孔31は前述と同じで、伝達棒41は円柱
であるが、その一側面が中心軸に対して傾斜した面で削
られており、球状弁側の削られ方が小さい。このよう
に、直線状の貫通孔31と伝達棒41の間にできて流路抵抗
を形成する間隙が、直線状の貫通孔31の中心軸上で一定
でなく、二次圧の低下により伝達棒41が図上右側に移動
すると、間隙が滑らかに大きくなり、流路抵抗が減少す
る。すなわち二次圧の変化に対して、第8図の場合は一
定であるが、本実施例では変化するよになる。
10 and 11 are partial sectional views showing an embodiment in which the gap between the hole and the transmission rod in the embodiment of FIG. 8 is not constant at the center axis. In FIG. 10, the straight through hole 31 is cylindrical and has the same diameter over the length of the central axis, whereas the transmission rod 41 is conical and has a large diameter on the spherical valve side. In FIG. 11, the straight through-hole 31 is the same as that described above, and the transmission rod 41 is a cylinder, but one side thereof is cut off on a surface inclined with respect to the central axis, and the cut-off side of the spherical valve is cut off. Is smaller. As described above, the gap formed between the linear through-hole 31 and the transmission rod 41 and forming the flow path resistance is not constant on the center axis of the linear through-hole 31 and is transmitted due to a decrease in the secondary pressure. When the rod 41 moves to the right side in the figure, the gap increases smoothly, and the flow path resistance decreases. That is, the change in the secondary pressure is constant in the case of FIG. 8, but changes in the present embodiment.

第12図は、補償ばねの端面が他の部品と離れないよう
に係合した実施例を示す一部断面図である。補償ばね58
の両端部は、2巻以上の密着巻のばねの座91が設けられ
ている。ベローズ50には突起が設けられ、ばねの座91に
螺合できるように、雄ねじ92が形成されている。ばね座
55には、補償ばね58の他端のばねの座91が螺合できるよ
うに、雌ねじ93が刻まれている。ばね座55の中心に開け
られた穴の肩部95は、斜面が1mm程度に面取りされ、そ
の斜面は、粗さが1μm程度に仕上げられている。調節
ねじ65の端部は、ばね座55の穴に緩く貫通し、球面に仕
上げられた肩部94が前記ばね座55の肩部95に当たるよう
になっており、ばね座55から離れないように止め環96で
止められている。調節ねじ65の回転力でばね座55が回転
しないように肩部54,55の接面には、潤滑剤が塗られ、
必要ならばねの座91と雌ねじ93および雄ねじ93および雄
ねじには、緩み防止ペイントが塗られている。図示はし
なかったが、同様な方法で、弁ばね45は、弁体10に穴14
の底部で止められ、ばね座47(または47′)を止めてい
る。
FIG. 12 is a partial cross-sectional view showing an embodiment in which the end face of the compensation spring is engaged so as not to be separated from other components. Compensation spring 58
Are provided with two or more tightly wound spring seats 91 at both ends. The bellows 50 is provided with a protrusion, and has an external thread 92 formed so as to be screwed into a spring seat 91. Spring seat
55 is provided with a female screw 93 so that a spring seat 91 at the other end of the compensation spring 58 can be screwed therein. A shoulder 95 of a hole formed in the center of the spring seat 55 is chamfered to have a slope of about 1 mm, and the slope is finished to have a roughness of about 1 μm. The end of the adjusting screw 65 penetrates loosely into the hole of the spring seat 55, and the spherically finished shoulder 94 is adapted to abut the shoulder 95 of the spring seat 55 so as not to separate from the spring seat 55. Stopped by a retaining ring 96. Lubricant is applied to the contact surfaces of the shoulders 54 and 55 so that the spring seat 55 does not rotate due to the rotational force of the adjusting screw 65,
If necessary, the seat 91 and the female screw 93 and the male screw 93 and the male screw are coated with anti-loosening paint. Although not shown, in a similar manner, the valve spring 45
To stop the spring seat 47 (or 47 ').

以上説明した本発明の実施例によれば、わずかな部品
の追加と、部品の形状変更を行なうのみの簡単な構成
で、一度設定した二次圧を安定に維持する減圧弁が得ら
れる。実験によると、例えば、一次圧50±10kPa,二次圧
20kPa,流量33ml/minに設定した場合に、設定二次圧のず
れは、約0.2kPa以内となることが確認された。
According to the embodiment of the present invention described above, a pressure reducing valve that stably maintains the secondary pressure once set can be obtained with a simple configuration in which only a small number of parts are added and the shape of the parts is changed. According to experiments, for example, primary pressure 50 ± 10 kPa, secondary pressure
When the flow rate was set to 20 kPa and the flow rate was set to 33 ml / min, it was confirmed that the deviation of the set secondary pressure was within about 0.2 kPa.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、可動弁の可動範囲に亘って、弁座の
封止円に対し可動弁の封止円が常に同軸で等しい間隙を
保持するように、可動弁の動きを制限する手段を設けた
ので、可動弁のずれをなくし、設定二次圧の変動を抑制
できる。
According to the present invention, there is provided means for restricting the movement of the movable valve so that the sealing circle of the movable valve always keeps the same coaxial gap with the sealing circle of the valve seat over the movable range of the movable valve. With the provision, the displacement of the movable valve can be eliminated, and the fluctuation of the set secondary pressure can be suppressed.

また、制限された可動弁の動きと同一軌跡の延長上で
のみ動くように、圧力検出要素の中心軸および二次圧調
節用補償ばねの中心軸の動きを制限すると、可動弁のず
れを抑制し、設定二次圧の変動をなくすことができる。
In addition, by restricting the movement of the central axis of the pressure detecting element and the central axis of the secondary pressure adjusting compensation spring so as to move only on the same trajectory as the restricted movement of the movable valve, the displacement of the movable valve is suppressed. However, fluctuations in the set secondary pressure can be eliminated.

さらに、圧力検出要素とその補償ばね,補償ばねと二
次圧設定ばねの繋合部が中心軸の方向に離れないように
する手段を設け、弁の復帰用ばねとそれを収容するハウ
ジングとの繋合部が中心軸の方向に離れないようにする
手段を設けると、補償ばねまたは二次圧設定ばねの共振
をなくせるので、弁の振動を抑制し、設定二次圧の変動
をなくすことができる。
Further, means for preventing the pressure detecting element and its compensating spring, and the connecting portion of the compensating spring and the secondary pressure setting spring from being separated in the direction of the central axis, are provided. Providing a means for preventing the connecting portion from separating in the direction of the central axis eliminates resonance of the compensation spring or the secondary pressure setting spring, thereby suppressing valve vibration and eliminating fluctuations in the set secondary pressure. Can be.

したがって、一度設定した二次圧を安定に維持できる
機構を備えた減圧弁が得られる。
Therefore, a pressure reducing valve having a mechanism capable of stably maintaining the secondary pressure once set is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明による減圧弁の一実施例の構造を示す縦
断面図、第2図は第1図の実施例の穴の周りを示す横断
面図、第3図は本発明による減圧弁の他の実施例の構造
を示す縦断面図、第4図は第1図の実施例の変形例を示
す縦断面図、第5図は第1図の実施例の他の変形例を示
す縦断面図、第6図は第5図の変形例の更に変形例を示
す縦断面図、第7図は本発明による減圧弁の他の実施例
を示す縦断面図、第8図は本発明の他の実施例を示す縦
断面図、第9図は第8図に示す部品の変形例の縦断面
図、第10図および第11図は第8図の実施例において穴と
伝達棒の間隙が中心軸で一定でないようにした実施例を
示す一部断面図、第12図は補償ばねの端面が他の部品と
離れないように係合した実施例を示す一部断面図、第13
図はJISに示されているつる巻ばねの端面形状図であ
る。 10……弁体、11……一次圧口、12……二次圧口、14……
穴、 30,30′……弁座板、31……直線状の貫通孔、34……ガ
イド、 36……弁座、40……球状弁、40′……弁、41……伝達
棒、 42……弁棒、47……ばね座、50……ベローズ、 50′……ダイヤフラム、51……凸部、70……カラー、 71……下限ストッパ、72……上限ストッパ、79……バイ
パス。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the structure of one embodiment of a pressure reducing valve according to the present invention, FIG. 2 is a transverse sectional view showing the periphery of a hole in the embodiment of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a modified example of the embodiment of FIG. 1, and FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing another modified example of the embodiment of FIG. 6, FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing a further modified example of the modified example of FIG. 5, FIG. 7 is a longitudinal sectional view showing another embodiment of the pressure reducing valve according to the present invention, and FIG. FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing another embodiment, FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a modification of the part shown in FIG. 8, and FIGS. 10 and 11 show the embodiment shown in FIG. FIG. 12 is a partial cross-sectional view showing an embodiment in which the end surface of the compensation spring is not fixed to the center axis, and FIG.
The figure is an end view of the helical spring shown in JIS. 10… Valve, 11… Primary port, 12… Secondary port, 14…
Hole, 30, 30 '... valve seat plate, 31 ... linear through hole, 34 ... guide, 36 ... valve seat, 40 ... spherical valve, 40' ... valve, 41 ... transmission rod, 42… Valve stem, 47… Spring seat, 50… Bellows, 50 ′… Diaphragm, 51… Protrusion, 70… Collar, 71… Lower limit stopper, 72… Upper limit stopper, 79… Bypass .

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G05D 16/06──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G05D 16/06

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】直線状の貫通孔を有し一次圧側と二次圧側
との間に配置された弁座部材と、前記弁座部材に対して
一次側に配置された可動弁と、前記弁座部材に対して二
次側に配置され凸部を有するベローズと、前記凸部の底
部に固定され前記凸部の動きを前記可動弁に伝える伝達
棒とを備えた減圧弁において、 上記直線状の貫通孔と平行方向に延在し前記凸部を前記
平行方向にのみ直線的に移動させるガイド部を前記弁座
部材の前記ベローズ側に形成し、 前記伝達棒を前記直線状の貫通孔に沿って直線的に摺動
させ、前記凸部の直線的移動に伴い前記弁座部材と同軸
に保ったまま前記可動弁を移動させることを特徴とする
減圧弁。
1. A valve seat member having a straight through hole and disposed between a primary pressure side and a secondary pressure side, a movable valve disposed on a primary side with respect to the valve seat member, and the valve A pressure reducing valve comprising: a bellows disposed on the secondary side with respect to the seat member and having a convex portion; and a transmission rod fixed to a bottom portion of the convex portion and transmitting the movement of the convex portion to the movable valve. A guide portion extending in a direction parallel to the through hole and linearly moving the convex portion only in the parallel direction is formed on the bellows side of the valve seat member; and the transmission rod is formed in the linear through hole. A pressure-reducing valve, wherein the movable valve is moved while keeping coaxial with the valve seat member in accordance with the linear movement of the projection.
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