JP2776827B2 - 光源の点灯確認装置を備えた紫外線応用装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光源の点灯確認手段に係り特に、紫外線等
人体に有害な放射源の点灯を電気回路的に検出し、信号
又は表示灯等に変換して出力を出す紫外線放射源を応用
した装置に関する。

〔従来の技術〕 従来の装置は、特開昭62−71197号の記載のように、
ランプからの光を受光素子によつて検出し、その出力を
利用してランプの光出力を調光するようになつていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来構成では、ランプが点灯か消灯かのみを検出
する目的には、回路が複雑で高価であつた。

本発明の目的は、人体の有害な強い紫外線の放射光源
の点灯の確認を目視でなく電気的に行い安全性を確認す
ることのできる紫外線応用装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、光源の電極間に流れる放電々流に感応す
る電気的な変化を検出し、変換して信号や表示灯の点灯
をすることによつて達成される。

〔作用〕

光源に流れる放電電流を変流器を通して電圧に変換
し、この電圧を利用して、LEDの表示灯を点灯させるこ
とや、電気信号として、制御装置に入力することができ
るので、直接光源をみることなく、光源の点灯状態を確
認できる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を第１、２図に、参考例を第３図
により説明する。

強い紫外線を放射する光源１は、ランプハウス２内に
収納されていて、外部からは、目視でその点灯状態が確
認できない構造となつている。該ランプハウス２に隣接
して紫外光応用してアツシングやエツチング或はCVD等
を行う処理室３がある。該紫外線放射光源１は、両極に
熱陰極4,4′を備えており、該熱陰極4,4′は、点灯電源
５の熱陰極予熱回路6,6′に接続されている。光源１が
点灯すると熱陰極回路には、放電電流と陰極予熱電流が
流れる。放電電流を検出する方法の一つの例を第２図
に、他の参考例を第３図に示す。第２図においては、変
流器10の一次側に、熱陰極の両端の導線を２本とも巻回
したものであり、前記熱陰極に流す予熱電流は、逆方向
であるために相殺されて放電電流のみが有効に磁場を作
り、これが二次電圧を生じさせる。二次側には、生じた
電圧を利用して、LED8を点灯すると同時に抵抗９の両端
から電気信号を取り出すことができるようになつてい
る。第３図に示した他の参考例は、熱陰極の２本の導線
の一方をタイマーにより一定の時間後にスイツチ12をOF
Fにしてやり、熱陰極の予熱電流を流さないようにす
る。残りの導線を変流器の一次側に巻回し、二次側の出
力回路に前記タイマーにより同時間後にONとなるスイツ
チ13をONにしてやると、第２図で説明したのと同じ動作
をする。なお、第３図に係る参考例は、本願請求項１に
係る発明の実施例ではない。

〔発明の効果〕

本発明によれば、カバーにより光源が見えない状態で
も、光源の放電々流を検出し、変流器を介してLED等の
表示灯を点灯させたり、電気信号を出力できるようにす
ることができるので、人体に有害な紫外線放射光源の放
電状態を直接目で確認しなくてもすむ効果がある。また
電気信号の出力を同時に利用することができる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による紫外線応用装置の概略構成図、第
２図，第３図（参考例）は夫々第１図における点灯確認
手段の具体的回路構成図である。 １……光源、２……ランプハウス、３……処理室、4,
4′……熱陰極、５……点灯電源。

フロントページの続き (72)発明者 川端 賢治 東京都青梅市藤橋888番地 株式会社日 立製作所青梅工場内 (56)参考文献 実開 昭57−22788（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−172500（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−75099（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G08B 5/00 - 5/38 G08B 7/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】紫外線を照射する光源と、前記光源の両極
   に設置された熱陰極と、前記熱陰極に接続された２本の
   導線と、前記２本の導線を巻回した磁場検出手段と、前
   記磁場検出手段から検出された磁場を利用して前記光源
   の点灯を確認する手段と、前記紫外線により被処理物を
   処理する処理室とを有することを特徴とする光源の点灯
   確認装置を備えた紫外線応用装置。