JP2765568B2 - Infrared lead floating inspection device - Google Patents

Infrared lead floating inspection device

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JP2765568B2
JP2765568B2 JP8179718A JP17971896A JP2765568B2 JP 2765568 B2 JP2765568 B2 JP 2765568B2 JP 8179718 A JP8179718 A JP 8179718A JP 17971896 A JP17971896 A JP 17971896A JP 2765568 B2 JP2765568 B2 JP 2765568B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は赤外線リード浮き検
査装置に関し、特にプリント基板に実装された電子部品
のリード浮き不良を検出する電子部品の赤外線リード浮
き検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an infrared lead floating inspection apparatus and, more particularly, to an infrared lead floating inspection apparatus for detecting a lead floating failure of an electronic component mounted on a printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント基板に実装された電子部
品のリード浮きを検出する検査装置としては、カメラを
用いた外観検査装置によってリード浮きを検出する方法
やIC端子部の温度分布の違いからリード浮きを検出す
る方法、あるいは音響の違いによってリード浮きを検出
する方法等がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an inspection device for detecting lead floating of an electronic component mounted on a printed circuit board, a method of detecting the lead floating by a visual inspection device using a camera and a difference in temperature distribution of an IC terminal portion are known. There is a method of detecting lead floating, a method of detecting lead floating based on a difference in sound, and the like.

【0003】カメラを用いた外観検査装置によってリー
ド浮きを検出する方法の場合、カメラによって電子部品
の端子部を撮影してモニタに表示された画像から操作者
が肉眼でリード浮きを検出している。
In the case of a method of detecting lead floating by a visual inspection device using a camera, an operator detects the lead floating from the image displayed on a monitor by photographing a terminal portion of an electronic component with a camera. .

【0004】IC端子部の温度分布の違いからリード浮
きを検出する方法の場合、熱伝導部材を含む接合部に熱
エネルギを照射し、この接合部から放射される赤外線を
赤外線カメラによって受光して接合部の温度分布を反映
する温度分布画像を生成し、この温度分布画像を標準温
度分布パターンと比較することで、接合部の良否を判定
している。この方法については、特開昭63−3052
38号公報に詳述されている。
In the method of detecting lead floating from a difference in temperature distribution at an IC terminal, a joint including a heat conducting member is irradiated with thermal energy, and infrared rays emitted from the joint are received by an infrared camera. A temperature distribution image reflecting the temperature distribution of the junction is generated, and the quality of the junction is determined by comparing the temperature distribution image with a standard temperature distribution pattern. This method is disclosed in JP-A-63-3052.
No. 38 discloses this in detail.

【0005】音響の違いによってリード浮きを検出する
方法の場合、送波用プローブにてプリント基板の被検査
対象となる半田付け箇所に伝達された振動を所要位置に
て受波用振動子で検出し、受波用振動子の出力波形の振
幅をモニタしている。この方法については、特開平1−
221658号公報に詳述されている。
[0005] In the case of a method of detecting lead floating based on a difference in sound, vibration transmitted to a soldering portion of a printed circuit board to be inspected by a transmitting probe is detected by a receiving transducer at a required position. Then, the amplitude of the output waveform of the receiving oscillator is monitored. This method is disclosed in
The details are described in Japanese Patent No. 221658.

【0006】また、音響の違いによってリード浮きを検
出する他の方法の場合、基板上に半田付け実装されてい
る電子部品に音波の形で機械的振動を与え、この振動に
より電子部品が発生する共振特性を残響スペクトルとし
て測定してその残響スペクトル中にリード・オープン不
良を原因とする周波数成分が含まれているかを判定して
いる。この方法については、特開平2−67956号公
報に詳述されている。
In the case of another method for detecting lead floating based on a difference in sound, mechanical vibration is applied to an electronic component soldered and mounted on a substrate in the form of a sound wave, and the vibration generates an electronic component. The resonance characteristic is measured as a reverberation spectrum, and it is determined whether or not the reverberation spectrum contains a frequency component caused by a lead / open defect. This method is described in detail in JP-A-2-67956.

【0007】一方、加振装置により電子部品の電極の半
田付け箇所に振動を加え、測定プローブを電子部品とそ
の電子部品が実装された基板のパターンとに接触させ、
電子部品とパターンとの間の電気的状態を測定して半田
付け状態の良否を判定する方法もある。この方法につい
ては、特開平6−313785号公報に詳述されてい
る。
On the other hand, vibrations are applied to the soldered portions of the electrodes of the electronic component by a vibrating device to bring the measuring probe into contact with the electronic component and the pattern of the board on which the electronic component is mounted,
There is also a method of measuring the electrical state between the electronic component and the pattern to determine the quality of the soldered state. This method is described in detail in JP-A-6-313785.

【0008】また、レーザ光を被検査部に、検査する電
子部品の電極の固有振動周波数付近で断続させながら照
射し、このレーザ光による半田接合部の変化で発する熱
または音響等の信号を電気信号に変換し、この電気信号
から上記のレーザ光を断続させる発信信号発生部の出力
周波数の振幅レベルを測定することで半田付け部の良、
不良を判定する方法もある。この方法については、特開
平6−66530号公報に詳述されている。
A laser beam is radiated to the portion to be inspected while being intermittent near the natural vibration frequency of the electrode of the electronic component to be inspected, and a signal such as heat or sound generated by a change in the solder joint portion due to the laser beam is generated. Convert the signal into a signal, and measure the amplitude level of the output frequency of the transmission signal generation unit that interrupts the laser light from the electric signal to determine whether the soldering unit is good or not.
There is also a method of determining a defect. This method is described in detail in JP-A-6-66530.

【0009】さらに、一次元あるいは二次元状のレーザ
光を測定物に照射し、そのレーザ光の照射によって測定
物の電極に発生する熱膨張及び収縮で生じる振幅振動、
つまり半田接合部の熱振動現象を測定して半田付け部の
良、不良を判定する方法もある。この方法については、
特開平7−198351号公報に詳述されている。
Further, the object to be measured is irradiated with a one-dimensional or two-dimensional laser beam, and amplitude vibration caused by thermal expansion and contraction generated at the electrode of the object by the irradiation of the laser beam,
That is, there is a method of measuring the thermal vibration phenomenon of the solder joint to determine whether the soldered part is good or not. For this method,
This is described in detail in JP-A-7-198351.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のリード
浮きの検査方法では、カメラを用いた外観検査装置によ
ってリード浮きを検出する方法の場合、カメラで撮影さ
れた画像から操作者が肉眼でリード浮きを検出しなけれ
ばならないので、リード浮きの検出漏れが発生すること
がある。
In the above-described conventional method for inspecting lead floating, in the case of detecting the lead floating by an appearance inspection device using a camera, an operator reads the image captured by the camera with the naked eye. Since the floating must be detected, the detection of the lead floating may be missed.

【0011】また、IC端子部の温度分布の違いからリ
ード浮きを検出する方法の場合、温度勾配だけを用いる
と、基板のパターンや部品の密集度によって加熱時間が
左右されるので、半田と接しているだけの微妙なリード
浮きを検出することが困難である。
In the method of detecting lead floating from the difference in the temperature distribution of the IC terminal portion, if only the temperature gradient is used, the heating time depends on the pattern of the substrate and the density of the components. It is difficult to detect a subtle lead floating.

【0012】さらに、音響の違いによってリード浮きを
検出する方法の場合、音響が外部ノイズ等の影響を受け
やすく、また装置自身のノイズを押えることが困難であ
るので、半田接合部の良否判定に大きな影響がでてしま
う。
Further, in the case of the method of detecting lead floating based on the difference in sound, the sound is easily affected by external noise and the like, and it is difficult to suppress the noise of the device itself. It has a big effect.

【0013】一方、加振装置により電子部品の電極の半
田付け箇所に振動を加える方法の場合、その振動が電子
部品と基板のパターンとに接触させる測定プローブにも
伝搬してしまうため、半田接合部の良否判定に大きな影
響がでてしまう。
On the other hand, in the case of a method in which vibration is applied to a soldering portion of an electrode of an electronic component by a vibrating device, the vibration propagates to a measurement probe that comes into contact with the electronic component and a pattern on a substrate. This has a large effect on the quality of the copy.

【0014】また、レーザ光を被検査部に、検査する電
子部品の電極の固有振動周波数付近で断続させながら照
射する方法の場合、半田と接しているだけの微妙なリー
ド浮きであればレーザ光による半田接合部の変化が小さ
いので、微妙なリード浮きを検出することが困難であ
る。
In the method of irradiating a portion to be inspected with a laser beam intermittently in the vicinity of the natural vibration frequency of the electrode of the electronic component to be inspected, if the lead is only slightly in contact with the solder, the laser beam is radiated. Therefore, it is difficult to detect a subtle lead floating because the change of the solder joint portion due to the above is small.

【0015】さらに、一次元あるいは二次元状のレーザ
光の照射により発生する半田接合部の熱振動現象を測定
する方法の場合、やはり半田と接しているだけの微妙な
リード浮きであればレーザ光による半田接合部の変化が
小さいので、微妙なリード浮きを検出することが困難で
ある。
Further, in the method of measuring the thermal vibration phenomenon of the solder joint generated by the irradiation of the one-dimensional or two-dimensional laser light, if the lead is only delicately floating just in contact with the solder, the laser light Therefore, it is difficult to detect a subtle lead floating because the change of the solder joint portion due to the above is small.

【0016】そこで、本発明の目的は上記の問題点を解
消し、電子部品のリード浮きを確実に検出することがで
きる赤外線リード浮き検査装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide an infrared lead floating inspection apparatus capable of reliably detecting lead floating of an electronic component.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明による赤外線リー
ド浮き検査装置は、基板上に実装された電子部品を加熱
する加熱手段と、前記加熱手段で加熱された前記電子部
品に機械的振動を付与する振動付与手段と、前記加熱手
段で加熱されかつ前記振動付与手段で前記機械的振動が
付与された前記電子部品の赤外線画像を取込む赤外線画
像取込み手段と、前記赤外線画像取込み手段で取込まれ
た前記赤外線画像を基に前記振動付与手段で前記機械的
振動を付与した時の前記電子部品のリード部に発生した
振動の位相及び振幅を測定する測定手段と、前記測定手
段で測定された前記位相及び前記振幅と予め格納されか
つ前記電子部品のリード部が良品である時の位相及び振
幅とを比較して当該リード部の良否を判定する判定手段
とを備えている。
An infrared lead floating inspection apparatus according to the present invention comprises a heating means for heating an electronic component mounted on a substrate, and a mechanical vibration applied to the electronic component heated by the heating means. Vibration applying means, infrared image capturing means for capturing an infrared image of the electronic component heated by the heating means and to which the mechanical vibration has been applied by the vibration applying means, and captured by the infrared image capturing means. Measuring means for measuring the phase and amplitude of vibration generated in the lead portion of the electronic component when the mechanical vibration is applied by the vibration applying means based on the infrared image, and the measurement is performed by the measuring means. Determining means for comparing the phase and the amplitude with the phase and the amplitude stored in advance and when the lead portion of the electronic component is a non-defective product to determine the quality of the lead portion;

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】まず、本発明の作用について以下
に述べる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, the operation of the present invention will be described below.

【0019】電子回路パッケージにおいて部品搭載面の
裏面から検査対象部品を加熱するとともに、検査対象部
品に振動を加え、振動を加えた時の検査対象部品の赤外
線画像を取込んで検査対象部品のリードの振幅及び位相
を測定することで、半田と接しているだけの微妙なリー
ド浮きでも確実に検出することができる。
In the electronic circuit package, the component to be inspected is heated from the back side of the component mounting surface, vibration is applied to the component to be inspected, and an infrared image of the component to be inspected when the vibration is applied is taken to lead the component to be inspected. By measuring the amplitude and phase of the lead, even a delicate lead floating just in contact with the solder can be reliably detected.

【0020】次に、本発明の一実施例について図面を参
照して説明する。図1は本発明の一実施例の構成を示す
図である。図において、本発明の一実施例による赤外線
リード浮き検査装置は赤外線カメラ1と、画像処理装置
2と、制御コンピュータ3と、測定処理装置4と、記憶
装置5と、良否判定部6と、XYテーブル7と、ホット
エアーノズル9と、モータ13と、回転軸14と、XY
テーブル移動部15とから構成されている。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing the configuration of one embodiment of the present invention. In the figure, an infrared lead floating inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes an infrared camera 1, an image processing apparatus 2, a control computer 3, a measurement processing apparatus 4, a storage device 5, a pass / fail determination unit 6, an XY Table 7, hot air nozzle 9, motor 13, rotating shaft 14, XY
And a table moving unit 15.

【0021】基板10上に実装された電子部品8のリー
ド11,12に対してリード浮きを検査する場合、まず
制御コンピュータ3の制御でモータ13を駆動し、回転
軸14及びXYテーブル移動部15によってXYテーブ
ル7を制御し、赤外線カメラ1の下に検査する電子部品
8を移動させる。
When inspecting lead floating of the leads 11 and 12 of the electronic component 8 mounted on the substrate 10, first, the motor 13 is driven under the control of the control computer 3, and the rotating shaft 14 and the XY table moving unit 15 are driven. By controlling the XY table 7, the electronic component 8 to be inspected is moved under the infrared camera 1.

【0022】この後に、制御コンピュータ3はホットエ
アーノズル9によって基板10の下から電子部品8を一
定時間加熱すると共に、XYテーブル7を一定周波数で
振動させる。
Thereafter, the control computer 3 heats the electronic component 8 from below the substrate 10 by the hot air nozzle 9 for a certain period of time and vibrates the XY table 7 at a certain frequency.

【0023】電子部品8の加熱終了後、赤外線カメラ1
によって振動している電子部品8の赤外線画像を取込
み、その赤外線画像を画像処理装置2に送出する。画像
処理装置2はその赤外線画像に対して画像処理を施し、
リード11,12の赤外線画像を測定処理装置4に送出
する。
After the heating of the electronic component 8 is completed, the infrared camera 1
The infrared image of the vibrating electronic component 8 is captured, and the infrared image is sent to the image processing device 2. The image processing device 2 performs image processing on the infrared image,
The infrared images of the leads 11 and 12 are sent to the measurement processing device 4.

【0024】測定処理装置4は画像処理装置2から入力
されるリード11,12の赤外線画像を基に振動情報
(振幅及び位相)を算出し、制御コンピュータ3から入
力されるXYテーブル7の振動情報に基づいてXYテー
ブル7の振動に対する電子部品8の振幅及び位相を求め
る。この求められた振幅及び位相は良品のリード11と
浮いているリード12とでは大きな違いがある。
The measurement processing device 4 calculates vibration information (amplitude and phase) based on the infrared images of the leads 11 and 12 input from the image processing device 2, and outputs the vibration information of the XY table 7 input from the control computer 3. , The amplitude and phase of the electronic component 8 with respect to the vibration of the XY table 7 are obtained. The obtained amplitude and phase have a great difference between the good lead 11 and the floating lead 12.

【0025】良否判定部6は測定処理装置4によって求
められた振幅及び位相と、予め記憶装置5に格納されて
いる良品の振幅及び位相とを比較し、リード11,12
の良否を判定する。この場合、リード11が良品と判定
され、リード12が不良品と判定される。
The pass / fail judgment section 6 compares the amplitude and phase obtained by the measurement processing device 4 with the amplitude and phase of a non-defective product stored in the storage device 5 in advance.
Is determined. In this case, the lead 11 is determined to be non-defective, and the lead 12 is determined to be defective.

【0026】尚、上述した本発明の一実施例ではホット
エアーノズル9からのホットエアーによって電子部品8
を加熱しているが、ホットエアーノズル9の代わりにホ
ットプレート等を用いて電子部品8を加熱することも可
能である。
In the embodiment of the present invention described above, the electronic components 8 are heated by hot air from the hot air nozzle 9.
However, the electronic component 8 can be heated using a hot plate or the like instead of the hot air nozzle 9.

【0027】図2は本発明の一実施例による電子部品8
の振幅及び位相を求める処理動作を説明するための図で
あり、図3は本発明の一実施例によるリード浮き検出処
理を示すフローチャートである。これら図1〜図3を用
いて本発明の一実施例によるリード浮き検出処理につい
て説明する。
FIG. 2 shows an electronic component 8 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a flowchart for explaining a processing operation for obtaining the amplitude and phase of the lead, and FIG. 3 is a flowchart showing the lead floating detection processing according to an embodiment of the present invention. The lead floating detection processing according to one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0028】基板10上に実装された電子部品8のリー
ド11,12に対してリード浮きを検査する場合、まず
制御コンピュータ3の制御でモータ13を駆動し、回転
軸14及びXYテーブル移動部15によってXYテーブ
ル7を制御し、赤外線カメラ1の下まで検査する電子部
品8を移動させる(図3ステップS1)。
When inspecting the lead floating of the leads 11 and 12 of the electronic component 8 mounted on the substrate 10, first, the motor 13 is driven under the control of the control computer 3, and the rotating shaft 14 and the XY table moving unit 15 are driven. By controlling the XY table 7, the electronic component 8 to be inspected is moved below the infrared camera 1 (step S1 in FIG. 3).

【0029】この後に、制御コンピュータ3はホットエ
アーノズル9からホットエアーを噴出させ、そのホット
エアーによって基板10の下から電子部品8を一定時間
加熱すると共に(図3ステップS2)、XYテーブル7
を一定周波数(波形Cの周期)で振動させる(図3ステ
ップS3)。つまり、制御コンピュータ3はXYテーブ
ル7をパルス発生器16から発生するパルスを基に、そ
のパルスの周期で振動させる。
After that, the control computer 3 blows out hot air from the hot air nozzle 9 to heat the electronic component 8 from below the substrate 10 for a certain time by the hot air (step S2 in FIG. 3), and the XY table 7
Is vibrated at a constant frequency (cycle of waveform C) (step S3 in FIG. 3). That is, the control computer 3 oscillates the XY table 7 at the pulse cycle based on the pulse generated from the pulse generator 16.

【0030】電子部品8の加熱終了後、赤外線カメラ1
によって振動している電子部品8の赤外線画像を取込み
(図3ステップS4)、その赤外線画像を画像処理装置
2に送出する。画像処理装置2はその赤外線画像に対し
て画像処理を施し、リード11,12の赤外線画像を測
定処理装置4に送出する。
After the heating of the electronic component 8 is completed, the infrared camera 1
An infrared image of the vibrating electronic component 8 is captured (step S4 in FIG. 3), and the infrared image is sent to the image processing device 2. The image processing device 2 performs image processing on the infrared image, and sends out the infrared images of the leads 11 and 12 to the measurement processing device 4.

【0031】測定処理装置4は画像処理装置2からの電
子部品8の赤外線画像に対してその温度分布を利用して
リード11,12の振幅及び位相を求める(図3ステッ
プS5)。
The measurement processor 4 obtains the amplitude and phase of the leads 11, 12 using the temperature distribution of the infrared image of the electronic component 8 from the image processor 2 (step S5 in FIG. 3).

【0032】すなわち、測定処理装置4は画像処理され
た赤外線画像Aに対し、重心波形算出回路17によって
リード11,12毎に設定された検査ウインドB内のリ
ード11,12の重心Gを算出する。
That is, the measurement processing device 4 calculates the center of gravity G of the leads 11 and 12 in the inspection window B set for each of the leads 11 and 12 by the center-of-gravity waveform calculating circuit 17 for the image-processed infrared image A. .

【0033】この重心Gの算出は、検査ウインドB内の
リード11,12の画像を構成する画素の総数をSと
し、その画素の座標を(Xi,Yi)(i=1,……,
n)とすると、重心Gの座標(Xg,Yg)は、 Xg=ΣXi/S Yg=ΣYi/S という式から算出される。尚、Σはi=1〜nの総和で
ある。
In calculating the center of gravity G, the total number of pixels constituting the images of the leads 11 and 12 in the inspection window B is S, and the coordinates of the pixels are (Xi, Yi) (i = 1,...,.
n), the coordinates (Xg, Yg) of the center of gravity G are calculated from the following equation: Xg = ΣXi / S Yg = ΣYi / S Σ is the sum of i = 1 to n.

【0034】重心波形算出回路17は上記の式で、振動
によって移動する検査ウインドB内のリード11,12
の重心Gを夫々算出し、これを基に重心Gの波形を算出
して位相算出回路18に出力する。
The center-of-gravity waveform calculating circuit 17 calculates the leads 11 and 12 in the inspection window B moved by vibration according to the above equation.
Are calculated, and the waveform of the center of gravity G is calculated based on the calculated center of gravity G, and is output to the phase calculation circuit 18.

【0035】位相算出回路18はパルス発生器16が発
生するパルスの波形と重心波形算出回路17で算出され
た重心Gの波形とに基づいて重心Gの位相を算出する。
このとき、良品のリード11に対しては基板10の振動
波形Cとほぼ同等の波形Dが得られ、浮いているリード
12に対しては基板10の振動波形Cと異なる波形Eが
得られる。
The phase calculating circuit 18 calculates the phase of the center of gravity G based on the waveform of the pulse generated by the pulse generator 16 and the waveform of the center of gravity G calculated by the center of gravity waveform calculating circuit 17.
At this time, a waveform D substantially equal to the vibration waveform C of the substrate 10 is obtained for the non-defective lead 11, and a waveform E different from the vibration waveform C of the substrate 10 is obtained for the floating lead 12.

【0036】良否判定部6は測定処理装置4によって求
められた振幅及び位相と、予め記憶装置5に格納されて
いる良品の振幅及び位相とを比較し、リード11,12
の良否を判定する(図3ステップS6)。この場合、リ
ード11が良品と判定され、リード12が不良品と判定
される。上記の処理を検査対象である電子部品8のリー
ド全てに対して実行する(図3ステップS1〜S7)。
The pass / fail judgment section 6 compares the amplitude and phase obtained by the measurement processing device 4 with the amplitude and phase of a non-defective product stored in the storage device 5 in advance.
Is determined (step S6 in FIG. 3). In this case, the lead 11 is determined to be non-defective, and the lead 12 is determined to be defective. The above process is executed for all leads of the electronic component 8 to be inspected (steps S1 to S7 in FIG. 3).

【0037】また、良否判定部6は測定処理装置4によ
って振幅及び位相が求められなければ、つまり赤外線画
像を取込んで検査対象のリードの画像を抽出する際に抽
出対象の温度分布範囲が存在しなければ、そのリードに
温度伝播がないので、そのリードが浮いていると明確に
認識することができる。
If the amplitude and phase are not determined by the measurement processing unit 4, that is, if the infrared image is taken and the image of the lead to be inspected is extracted, the pass / fail judgment unit 6 has a temperature distribution range to be extracted. Otherwise, since there is no temperature propagation in the lead, it can be clearly recognized that the lead is floating.

【0038】このように、基板10上に実装されている
電子部品8をホットエアーノズル9によって加熱すると
共に、この加熱された電子部品8にパルス発生器16か
らのパルスを基に機械的振動を付与し、その加熱されか
つ機械的振動が付与された電子部品8の赤外線画像を赤
外線カメラ1で取込んで、機械的振動が付与された時の
電子部品8のリード11,12に発生した振動の位相及
び振幅を画像処理装置2及び測定処理装置4によって測
定し、測定された位相及び振幅と予め格納されかつ電子
部品のリード部が良品である時の位相及び振幅とを良否
判定部6で比較して当該リード部の良否を判定すること
によって、リード浮きの検出漏れが発生することなく、
微妙なリード浮きを検出することが可能となるので、電
子部品8のリード浮きを確実に検出することができる。
As described above, the electronic component 8 mounted on the substrate 10 is heated by the hot air nozzle 9, and mechanical vibration is applied to the heated electronic component 8 based on the pulse from the pulse generator 16. The infrared image of the heated and mechanically applied electronic component 8 is captured by the infrared camera 1 and the vibrations generated in the leads 11 and 12 of the electronic component 8 when the mechanical vibration is applied. Is measured by the image processing device 2 and the measurement processing device 4, and the measured phase and amplitude are stored in advance and the phase and amplitude when the lead portion of the electronic component is a non-defective product is determined by the pass / fail judgment unit 6. By comparing and judging the quality of the lead portion, the omission of detection of lead floating does not occur,
Since it is possible to detect subtle lead floating, it is possible to reliably detect lead floating of the electronic component 8.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
板上に実装されている電子部品を加熱すると共に、この
加熱された電子部品に機械的振動を付与し、その加熱さ
れかつ機械的振動が付与された電子部品の赤外線画像を
取込んで機械的振動が付与された時の電子部品のリード
部に発生した振動の位相及び振幅を測定し、測定された
位相及び振幅と予め格納されかつ電子部品のリード部が
良品である時の位相及び振幅とを比較して当該リード部
の良否を判定することによって、電子部品のリード浮き
を確実に検出することができるという効果がある。
As described above, according to the present invention, an electronic component mounted on a substrate is heated, and a mechanical vibration is applied to the heated electronic component. An infrared image of the electronic component to which the vibration is applied is taken, and the phase and amplitude of the vibration generated in the lead portion of the electronic component when the mechanical vibration is applied are measured, and the measured phase and amplitude are stored in advance. In addition, by comparing the phase and the amplitude when the lead portion of the electronic component is a non-defective product to determine the quality of the lead portion, it is possible to reliably detect the floating of the lead of the electronic component.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例による電子部品の振幅及び位
相を求める処理動作を説明するための図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining a processing operation for obtaining an amplitude and a phase of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例によるリード浮き検出処理を
示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing a lead floating detection process according to one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 赤外線カメラ 2 画像処理装置 3 制御コンピュータ 4 測定処理装置 5 記憶装置 6 良否判定部 7 XYテーブル 8 電子部品 9 ホットエアーノズル 10 基板 11,12 リード 16 パルス発生器 17 重心波形算出回路 18 位相算出回路 REFERENCE SIGNS LIST 1 infrared camera 2 image processing device 3 control computer 4 measurement processing device 5 storage device 6 pass / fail judgment unit 7 XY table 8 electronic component 9 hot air nozzle 10 substrate 11, 12 lead 16 pulse generator 17 center of gravity waveform calculation circuit 18 phase calculation circuit

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 基板上に実装された電子部品を加熱する
加熱手段と、前記加熱手段で加熱された前記電子部品に
機械的振動を付与する振動付与手段と、前記加熱手段で
加熱されかつ前記振動付与手段で前記機械的振動が付与
された前記電子部品の赤外線画像を取込む赤外線画像取
込み手段と、前記赤外線画像取込み手段で取込まれた前
記赤外線画像を基に前記振動付与手段で前記機械的振動
を付与した時の前記電子部品のリード部に発生した振動
の位相及び振幅を測定する測定手段と、前記測定手段で
測定された前記位相及び前記振幅と予め格納されかつ前
記電子部品のリード部が良品である時の位相及び振幅と
を比較して当該リード部の良否を判定する判定手段とを
有することを特徴とする赤外線リード浮き検査装置。
A heating unit that heats the electronic component mounted on the substrate; a vibration applying unit that applies mechanical vibration to the electronic component heated by the heating unit; a heating unit that is heated by the heating unit; An infrared image capturing unit that captures an infrared image of the electronic component to which the mechanical vibration has been applied by the vibration applying unit; and the machine that uses the vibration applying unit based on the infrared image captured by the infrared image capturing unit. Measuring means for measuring the phase and amplitude of the vibration generated in the lead portion of the electronic component when a mechanical vibration is applied, and the phase and the amplitude measured by the measuring means are stored in advance and the lead of the electronic component An infrared lead floating inspection device, comprising: a determination unit for comparing the phase and the amplitude when the part is non-defective to determine the quality of the lead part.
【請求項2】 前記加熱手段は、前記基板上の前記電子
部品が実装された搭載面に対向する前記基板の裏面から
加熱するよう構成したことを特徴とする請求項1記載の
赤外線リード浮き検査装置。
2. The infrared lead floating inspection according to claim 1, wherein said heating means is configured to heat from a back surface of said substrate facing a mounting surface on which said electronic component is mounted on said substrate. apparatus.
【請求項3】 前記測定手段は、前記赤外線画像取込み
手段で取込まれた前記赤外線画像において前記リード部
の重心の移動波形を算出して前記リード部に発生した振
動の位相及び振幅を測定するよう構成したことを特徴と
する請求項1または請求項2記載の赤外線リード浮き検
査装置。
3. The measuring means calculates a movement waveform of the center of gravity of the lead part in the infrared image captured by the infrared image capturing means, and measures a phase and an amplitude of a vibration generated in the lead part. The infrared lead floating inspection device according to claim 1 or 2, wherein the inspection device is configured as follows.
【請求項4】 前記判定手段は、前記測定手段で測定さ
れた前記位相及び前記振幅と前記電子部品のリード部が
良品である時の位相及び振幅とが異なることと前記電子
部品のリード部の赤外線画像が得られないこととのうち
いずれか一方が検出された時に前記リード部を不良と判
定するよう構成したことを特徴とする請求項1から請求
項3のいずれか記載の赤外線リード浮き検査装置。
4. The method according to claim 1, wherein the determining unit determines that the phase and the amplitude measured by the measuring unit are different from the phase and the amplitude when the lead of the electronic component is a non-defective product. The infrared lead floating inspection according to any one of claims 1 to 3, wherein the lead portion is determined to be defective when any one of an infrared image is not obtained and an infrared image is not obtained. apparatus.
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