JP2764285B2 - Rotary positioning device - Google Patents

Rotary positioning device

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JP2764285B2 JP63300369A JP30036988A JP2764285B2 JP 2764285 B2 JP2764285 B2 JP 2764285B2 JP 63300369 A JP63300369 A JP 63300369A JP 30036988 A JP30036988 A JP 30036988A JP 2764285 B2 JP2764285 B2 JP 2764285B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フロッピーディスク、ハードディスク、光
ディスク等の電子機器、超LSI製造、顕微鏡測定などの
分野に於て、回転位置決めを行うための回転位置決め装
置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to rotary positioning for performing rotary positioning in fields such as electronic devices such as floppy disks, hard disks, and optical disks, ultra LSI manufacturing, and microscopic measurement. It concerns the device.

〔従来の技術〕 ハードディスク等の電子機器の分野での回転位置決め
には、従来より第4図に示す回転位置決め装置を用いて
いた。
[Prior Art] Conventionally, a rotary positioning device shown in FIG. 4 has been used for rotary positioning in the field of electronic devices such as hard disks.

この装置は、回転摺動ベアリング34で軸支された回転
バー32の上方にスプリング33を結合し、下方に伝動スプ
リングベルト31の一端を固着し、該伝動スプリングベル
ト31の他端をパルスモータ30に巻き付けるような構造と
なっており、回転バー32の先端に取付けた磁気ヘッド36
をディスク35上で位置決めするようになっていた。
In this device, a spring 33 is coupled above a rotary bar 32 supported by a rotary sliding bearing 34, one end of a transmission spring belt 31 is fixed below, and the other end of the transmission spring belt 31 is connected to a pulse motor 30. The magnetic head 36 is attached to the tip of the rotating bar 32.
Is positioned on the disk 35.

前記パルスモータ30を回転して伝動スプリングベルト
31を巻き付ければ回転バー32は下方に回転し、パルスモ
ータ30を逆に回転させれば、回転バー32は上方に回転す
ることから、前記パルスモータ30の回転数・角度に応じ
て回転バー32および磁気ヘッド36を精密に変位できるよ
うになっていた。
By rotating the pulse motor 30, the transmission spring belt
When the rotary bar 32 rotates downward, the rotary bar 32 rotates downward.When the pulse motor 30 is rotated in the reverse direction, the rotary bar 32 rotates upward. 32 and the magnetic head 36 can be precisely displaced.

〔従来の技術の課題〕[Problems of conventional technology]

ところが、上記の如き回転位置決めモータでは伝動ス
プリングベルト31の振動、回転バー32の慣性により高速
で駆動できなかった。
However, the rotation positioning motor as described above could not be driven at high speed due to the vibration of the transmission spring belt 31 and the inertia of the rotary bar 32.

例えば、伝動スプリングベルト31の材質をSUS304−CS
P、厚み(t)を0.1mm、幅(w)を6mm、長さ(l)を
最大長40mmとすれば、その最低固有振動数f0は次式で求
められる。
For example, if the material of the transmission spring belt 31 is SUS304-CS
P, 0.1 mm thickness (t), 6 mm width (w), if the maximum length 40mm lengths (l), the lowest natural frequency f 0 is given by the following equation.

ただし E:ヤング率 I:ネジモーメント ρ:密度 また角度速度δは次式となる。 Where E: Young's modulus I: Screw moment ρ: Density The angular velocity δ is given by the following equation.

δ=f0・a=152〔deg/sec〕 ただし a=平均角度倍率=4 即ち、磁気ヘッド36の移動速度(角速度)を152deg/s
ec以上にすると伝動スプリングベルト31が振動してしま
い正確な位置決めが困難となることから、結局移動速度
は最高152deg/sec程度にしかすることができず、決して
速いものではなかった。
δ = f 0 · a = 152 [deg / sec] where a = average angle magnification = 4 That is, the moving speed (angular speed) of the magnetic head 36 is 152 deg / s.
If it is more than ec, the transmission spring belt 31 will vibrate and it will be difficult to perform accurate positioning. Therefore, the moving speed can be limited to only about 152 deg / sec at a maximum, and it is not fast.

また、伝動スプリングベルト31および回転バー32は温
度変化に伴う寸法変化が大きく、回転位置決めの精度を
高くできなかった。
In addition, the transmission spring belt 31 and the rotary bar 32 have a large dimensional change due to a temperature change, and the rotation positioning accuracy cannot be increased.

そのため、この回転位置決め装置を例えば磁気ヘッド
の駆動に用いた場合、情報の読み取り書き込み速度が遅
く、またより高密度の情報記録に対応することが困難で
あった。
Therefore, when this rotary positioning device is used, for example, for driving a magnetic head, it has been difficult to read and write information at a low speed and to cope with higher-density information recording.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記に鑑みて本発明は枠形状をした基体の内側に回転
支持部を形成し、該回転支持部に一端が摺接する如く配
置した遊動体の他端側に複数のアクチュエータを取着
し、各々のアクチュエータ先端に足部材を取着するとと
もに該足部材の先端を前記基体内側に形成したスリップ
プレートに圧接させ、かつこれら足部材間にアクチュエ
ータを取着して回転位置決め装置を構成したものであ
る。
In view of the above, the present invention forms a rotation support portion inside a frame-shaped base, and attaches a plurality of actuators to the other end side of a floating body arranged such that one end is in sliding contact with the rotation support portion. A foot member is attached to the tip of the actuator, and the tip of the foot member is pressed against a slip plate formed inside the base, and an actuator is attached between the foot members to constitute a rotation positioning device. .

〔実施例〕〔Example〕

以下本発明の実施例を図によって説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図(a)(b)に示すように、本発明の回転位置
決め装置は、枠形状をした基体1の内側に、略円柱状の
回転支持部2を基体1と一体的に形成し、この回転支持
部2に摺接するように遊動体3を配置してある。この遊
動体3は回転摺動部3cで前記回転支持部2と摺動して矢
印方向に回転可能となっている。
As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), the rotary positioning device of the present invention forms a substantially columnar rotary support portion 2 integrally with the base 1 inside the frame-shaped base 1, The floating body 3 is arranged so as to be in sliding contact with the rotation support portion 2. The floating body 3 is rotatable in the direction of the arrow by sliding with the rotation support section 2 at the rotation slide section 3c.

また、上記遊動体3の回転摺動部3cと反対側の端部に
は、前記回転支持部2から放射状に伸びる2方向に薄肉
とした撓み部3a,3bが形成され、撓み部3aの先端にはア
クチュエータ4および足部材5が、撓み部3bの先端には
アクチュエータ6および足部材7がそれぞれ取着されて
いる。これら足部材5,7の間にもアクチュエータ8を結
合してあるが、該アクチュエータ8に伸縮量を測定する
ための歪みゲージ9を貼着すればより精密な移動が可能
となる。
Further, bending portions 3a and 3b which are thin in two directions extending radially from the rotation supporting portion 2 are formed at an end of the floating body 3 opposite to the rotation sliding portion 3c, and the tip of the bending portion 3a is formed. , An actuator 4 and a foot member 5 are attached to the distal end of the bending portion 3b, respectively. The actuator 8 is also connected between the leg members 5 and 7, but if the strain gauge 9 for measuring the amount of expansion and contraction is attached to the actuator 8, more precise movement becomes possible.

さらに前記基体1の内側には回転支持部2を中心とし
た円周形状のスリッププレート10が一体的に形成され、
前記足部材5,7はこのスリッププレート10に接触してい
る。なお、スリッププレート10は別体として成形され、
基体1の内側に結合されたものでもよい。また、足部材
5,7には薄肉状の撓み部5a,7aが形成され、スリッププレ
ート10との接触面5b,7bは、上記撓み部5a,7aを中心とし
た円周面となっている。
Further, a slip plate 10 having a circumferential shape around the rotation support portion 2 is integrally formed inside the base 1,
The foot members 5, 7 are in contact with the slip plate 10. In addition, the slip plate 10 is molded as a separate body,
It may be connected to the inside of the base 1. Also, foot members
Thin flexible portions 5a, 7a are formed in the portions 5, 7, and the contact surfaces 5b, 7b with the slip plate 10 are circumferential surfaces around the flexible portions 5a, 7a.

さらに、前記基体1の回転支持部2近傍には、縦方向
のギャップ調整用薄肉部11,11と調整ネジ12,および横方
向のギャップ調整用薄肉部13,13と調整ネジ14,14を備え
ており、この調整ネジ12,14,14によって足部材5,7とス
リッププレート10間のギャップの製造時のバラツキを補
正できるようになっている。
Further, in the vicinity of the rotation supporting portion 2 of the base 1, thin portions 11 and 11 for adjusting the gap in the vertical direction and an adjusting screw 12, and thin portions 13 and 13 for adjusting the gap in the horizontal direction and adjusting screws 14 and 14 are provided. The adjustment screws 12, 14, 14 make it possible to correct variations in the gap between the foot members 5, 7 and the slip plate 10 during manufacturing.

さらに遊動体3にはボルト15によって回転部材16が結
合され、遊動体3の動きに応じてこの回転部材16を自由
に動かすことができる。たとえば、この回転部材16の先
端に磁気ヘッドを取り付ければ第4図に示したようなハ
ードディスクの磁気ヘッドの回転位置決め装置に利用す
ることができる。
Further, a rotating member 16 is connected to the floating body 3 by a bolt 15, and the rotating member 16 can be freely moved according to the movement of the floating body 3. For example, if a magnetic head is attached to the tip of the rotating member 16, it can be used for a rotation positioning device for a magnetic head of a hard disk as shown in FIG.

この回転位置決め装置は、3つのアクチュエータ4,6,
8が互いに伸縮を繰り返すインチングオーム動作によっ
て遊動体3を回転させるようになっており、詳しい動作
は以下の通りである。
This rotary positioning device has three actuators 4, 6,
8 rotates the floating body 3 by an inching ohm operation that repeats expansion and contraction with each other. The detailed operation is as follows.

第3図にタイムチャートを示すように、右回りの場
合、まずアクチュエータ4が縮むことによって足部材5
がスリッププレート10より離脱するか、もしくは押圧力
が低減した状態となり、続いてアクチュエータ8が縮む
ことによって足部材5が図面の下方へ移動する。ここで
アクチュエータ4が伸び、足部材5はスリッププレート
10に押圧される。次にアクチュエータ6が縮むことによ
って足部材7がスリッププレート10より離脱するか、も
しくは押圧力が低減した状態となり、続いてアクチュエ
ータ8が伸びて足部材7が図面の下方に移動する。ここ
でアクチュエータ6が伸びて足部材7がスリッププレー
ト10に押圧され、1サイクルが完了する。このとき、足
部材5,7はアクチュエータ8の伸縮量だけ下方に移動し
ており、その分だけ遊動体3は回転支持部2を回転中心
として右回りに微小回転していることになる。また、以
上の動作を逆に行えば左回りを行うことができる。
As shown in the time chart of FIG. 3, in the case of clockwise rotation, first, the actuator 4 contracts and the foot member 5
Is released from the slip plate 10 or the pressing force is reduced, and then the actuator 8 contracts, so that the foot member 5 moves downward in the drawing. Here, the actuator 4 is extended, and the foot member 5 is a slip plate.
Pressed to 10. Next, when the actuator 6 contracts, the foot member 7 separates from the slip plate 10 or the pressing force is reduced, and then the actuator 8 is extended to move the foot member 7 downward in the drawing. Here, the actuator 6 is extended, the foot member 7 is pressed against the slip plate 10, and one cycle is completed. At this time, the foot members 5 and 7 have moved downward by the amount of expansion and contraction of the actuator 8, and the floating body 3 has been slightly rotated clockwise about the rotation support 2 as the rotation center. The counterclockwise rotation can be performed by reversing the above operation.

従って、遊動体3が必要な回転角度となるように、ア
クチュエータ8の伸縮量およびサイクル数を設定すれば
自由に回転角度を調整することができるのである。
Therefore, the rotation angle can be freely adjusted by setting the amount of expansion and contraction of the actuator 8 and the number of cycles so that the floating body 3 has the required rotation angle.

また、遊動体3、足部材5,7とこれらを結合するアク
チュエータ4,6,8によって形成される三角形は、上記イ
ンチングオーム動作によって、微妙に歪みながら移動す
ることになる。しかし、遊動体3の撓み部3a,3bや足部
材5,7の撓み部5a,7aが形成されていることから、上記三
角形の歪みを、これらの撓み部で吸収することができ、
各アクチュエータ4,6,8と遊動体3、足部材5,7間の結合
関係が損なわれることはない。
Further, the triangle formed by the floating body 3, the foot members 5, 7 and the actuators 4, 6, 8 connecting these move with the above-mentioned inching ohm operation, while being slightly distorted. However, since the bending portions 3a and 3b of the floating body 3 and the bending portions 5a and 7a of the foot members 5 and 7 are formed, the triangular distortion can be absorbed by these bending portions.
The coupling relationship between each of the actuators 4, 6, 8 and the floating body 3, and the leg members 5, 7 is not impaired.

さらに、足部材5,7のスリッププレート10との接触面5
b,7bは曲面状となっていることから、上記三角形の歪み
を吸収することができる。
Furthermore, the contact surface 5 of the foot members 5, 7 with the slip plate 10
Since b and 7b have curved surfaces, the distortion of the triangle can be absorbed.

また、この足部材5,7は回転支持部2から放射状に伸
びる中心軸に対し、左右対称な形にすればバランスが良
くなり、優れていた。
In addition, when the foot members 5 and 7 are symmetrical with respect to the central axis extending radially from the rotation supporting portion 2, the balance is improved and excellent.

また、以上の実施例では基体1と一体的に形成した回
転支持部2を円柱状とし、遊動体3の回転摺動部3cを凹
状としたものを示したが、このほか第2図に示すように
遊動体3側に円柱状の回転摺動部3cを形成し、基体1側
に凹状の回転支持部2を形成したものでも良く、その他
さまざまな形状とすることができる。
In the above embodiment, the rotary support 2 formed integrally with the base 1 has a cylindrical shape, and the rotary sliding portion 3c of the floating body 3 has a concave shape. As described above, a cylindrical rotary sliding portion 3c may be formed on the movable body 3 side, and a concave rotary support portion 2 may be formed on the base 1 side, and other various shapes may be employed.

さらに、上記実施例では2つの足部材5,7から成るも
のを示したが、同様な構造で3つ以上の足部材を具備
し、互いの足部材にアクチュエータを取着することも可
能である。
Further, in the above-described embodiment, the one having two foot members 5, 7 is shown. However, it is also possible to equip three or more foot members with the same structure, and to attach the actuator to each foot member. .

次に第1図(a)(b)に示す回転位置決め装置を試
作し、様々な性能テストを行った。
Next, a prototype of the rotary positioning device shown in FIGS. 1A and 1B was manufactured, and various performance tests were performed.

全体の大きさは縦40mm、横40mm、厚さ6mmで前記基体
1、遊動体3、足部材5,7はいずれもジルコニアセラミ
ックスで形成し、足部材5,7のスリッププレート10との
接触面5b,7bは互いに0.8s以下の鏡面としてある。ま
た、アクチュエータ4,6,8はいずれも圧電セラミックを
複数積層してなる圧電アクチュエータを用いた。圧電ア
クチュエータは印加電圧を調整することにより微小な伸
縮を行うことができるもので、実際には最大変位量5μ
mのものを用いた。これらのアクチュエータ4,6,8と遊
動体3、足部材5,7との接合方法は、予め互いの接合面
にメタライズ等により金属層を形成しておき、互いの金
属層を融着するようにしてある。
The overall size is 40 mm in length, 40 mm in width, and 6 mm in thickness. The base 1, the floating body 3, and the foot members 5, 7 are all made of zirconia ceramic, and the contact surfaces of the foot members 5, 7 with the slip plate 10 are provided. 5b and 7b are mirror surfaces of 0.8 s or less. Each of the actuators 4, 6, and 8 used a piezoelectric actuator in which a plurality of piezoelectric ceramics were laminated. The piezoelectric actuator is capable of performing minute expansion and contraction by adjusting the applied voltage.
m. The method of joining the actuators 4, 6, 8 with the floating body 3, and the foot members 5, 7 is such that a metal layer is formed in advance on a joint surface of each other by metallizing or the like, and the metal layers are fused together. It is.

このような回転位置決め装置の性能は以下の通り、数
秒程度のステップ送り分解能を有し、又角速度が秒速60
0度と優れたものとなった。
The performance of such a rotary positioning device has a step feed resolution of about several seconds and an angular velocity of 60
It was excellent at 0 degrees.

また、遊動体3が回転支持部2と摺動して移動するこ
とが回転可能な範囲が大きくなる。
In addition, the rotatable range in which the floating body 3 can slide and move with the rotation support portion 2 becomes large.

1ステップ角度 1〜70秒(角度)可変 1ステップ精度 ±3秒(角度) 最大スピード 30,000step/秒(600度/秒) 位置決め安定度 ±1秒(角度)/時 さらに、基体1、遊動体3などの材質としては、セラ
ミックスや金属などさまざまなものを用いることができ
るが、アルミナ、ジルコニア等のセラミックスは線膨張
係数が小さく、耐摩耗性に優れていることからより好適
である。
1-step angle 1-70 seconds (angle) variable 1-step accuracy ± 3 seconds (angle) Maximum speed 30,000step / second (600 degrees / second) Positioning stability ± 1 second (angle) / hour Various materials such as ceramics and metals can be used as the material such as 3, but ceramics such as alumina and zirconia are more preferable because of their small linear expansion coefficient and excellent wear resistance.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

叙上のように本発明によれば、枠形状をした基体の内
側に回転支持部を形成し、該回転支持部に一端が摺接す
る如く配置した遊動体の他端側に複数のアクチュエータ
を取着し、各々のアクチュエータ先端に足部材を取着す
るとともに該足部材の先端を前記基体内側に形成したス
リッププレートに圧接させ、かつこれら足部材間にアク
チュエータを取着して回転位置決め装置を構成したこと
によって、低エネルギーで高速回転が可能となり、かつ
回転可能な範囲が大きく、非常に高精度の位置決めが可
能となるなど、高性能の回転位置決め装置を提供でき
る。
As described above, according to the present invention, a rotary support portion is formed inside a frame-shaped base, and a plurality of actuators are mounted on the other end side of a floating body arranged such that one end is in sliding contact with the rotary support portion. And a foot member is attached to the tip of each actuator, and the tip of the foot member is pressed against a slip plate formed inside the base body, and an actuator is attached between these foot members to constitute a rotation positioning device. By doing so, it is possible to provide a high-performance rotation positioning device, such as high-speed rotation with low energy, a wide rotatable range, and extremely high-precision positioning.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図(a)は本発明に係わる回転位置決め装置を示す
側面図、第1図(b)は同図(a)中のA−A′線断面
図である。 第2図は本発明の他の実施例を示す断面図である。 第3図は本発明実施例に係る回転位置決め装置の動作を
説明するための各アクチュエータの伸縮動作を示すタイ
ムチャート図である。 第4図は従来の回転位置決め装置を示す斜視図である。 1:基体、2:回転支持部 3:遊動体、4,6,8:アクチュエータ 5,7:足部材、10:スリッププレート
FIG. 1 (a) is a side view showing a rotary positioning device according to the present invention, and FIG. 1 (b) is a sectional view taken along line AA 'in FIG. 1 (a). FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of the present invention. FIG. 3 is a time chart showing the expansion and contraction operation of each actuator for explaining the operation of the rotary positioning device according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view showing a conventional rotary positioning device. 1: Base, 2: Rotary support 3: Floating body, 4, 6, 8: Actuator 5, 7: Foot member, 10: Slip plate

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】枠形状をした基体の内側に回転支持部を形
成し、該回転支持部に一端が摺接する如く配置した遊動
体の他端側に複数のアクチュエータを取着し、各々のア
クチュエータ先端に足部材を取着するとともに該足部材
の先端を前記基体内側に形成したスリッププレートに圧
接させ、かつこれら足部材間にアクチュエータを取着し
て成る回転位置決め装置。
A rotary support is formed inside a frame-shaped base, and a plurality of actuators are attached to the other end of a floating body arranged such that one end is in sliding contact with the rotary support. A rotary positioning device having a foot member attached to a tip thereof, a tip of the foot member pressed against a slip plate formed inside the base, and an actuator attached between the foot members.
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