JP2757520B2 - Optical disc manufacturing method - Google Patents
Optical disc manufacturing methodInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、デジタルオーディオディスク(いわゆるコ
ンパクトディスク)や光磁気ディスク等の光ディスクの
製造方法に関するものであり、特に紫外線硬化樹脂の光
重合によりディスク基板上に凹凸パターンを転写する,
いわゆる2P法(光重合法)による光ディスクの製造方法
の改良に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing an optical disk such as a digital audio disk (so-called compact disk) and a magneto-optical disk. Transfer the concavo-convex pattern on the substrate,
The present invention relates to an improvement in a method of manufacturing an optical disk by a so-called 2P method (photopolymerization method).
本発明は、ディスク基板上にスクリーン印刷された紫
外線硬化樹脂の光重合によりスタンパの凹凸パターンを
転写するに際し、スクリーン印刷時の紫外線硬化樹脂の
粘度を規定することにより、高い生産性と精密な転写性
能を実現するものである。The present invention provides high productivity and precise transfer by regulating the viscosity of the UV curable resin at the time of screen printing when transferring the concavo-convex pattern of the stamper by photopolymerization of the UV curable resin screen-printed on the disk substrate. It achieves performance.
デジタルオーディオディスク(いわゆるコンパクトデ
ィスク)や光磁気ディスク等の光ディスクを製造するに
際し、ピットやグルーブ(案内溝)等の凹凸パターンを
基板上に転写する手法として、液状の紫外線硬化樹脂に
凹凸パターンが形成されたスタンパを密着させ、紫外線
照射によって前記紫外線硬化樹脂を光重合させる,いわ
ゆる2P法が提案されている。When manufacturing optical discs such as digital audio discs (so-called compact discs) and magneto-optical discs, an uneven pattern is formed on a liquid ultraviolet curable resin as a method of transferring uneven patterns such as pits and grooves (guide grooves) onto a substrate. A so-called 2P method has been proposed, in which the stamper is brought into close contact and the ultraviolet curable resin is photopolymerized by ultraviolet irradiation.
2P法は、例えばスクリーン印刷によって光透過性を有
するディスク基板の基板面に液状の紫外線硬化樹脂を塗
布し、該紫外線硬化樹脂に表面に凹凸パターンが形成さ
れたスタンパをローラ等によって密着させた後、基板側
から紫外線を照射することによって紫外線硬化樹脂を光
重合せしめて硬化し、ディスク基板を紫外線硬化樹脂と
ともにスタンパから剥離することにより、スタンパ表面
の微細な凹凸パターン(ピットやグルーブ)をディスク
基板面に転写する方法である。In the 2P method, for example, a liquid UV-curable resin is applied to the substrate surface of a disk substrate having optical transparency by screen printing, and a stamper having an uneven pattern formed on the surface of the UV-curable resin is brought into close contact with a roller or the like. By irradiating ultraviolet rays from the substrate side, the ultraviolet curable resin is photopolymerized and cured, and the disk substrate is peeled off from the stamper together with the ultraviolet curable resin, thereby forming a fine uneven pattern (pits and grooves) on the surface of the stamper. This is a method of transferring to a surface.
上記2P法によれば、紫外線硬化樹脂を液状でスタンパ
に密着させるので、複製の忠実度に優れるとともにスタ
ンパの劣化がほとんどないという利点を有し、特にディ
スク基板としてガラス基板を使用した場合には、寸法安
定性,耐熱性,複屈折等の点でも非常に有利である。According to the 2P method, since the ultraviolet curable resin is brought into close contact with the stamper in a liquid state, it has an advantage that the fidelity of replication is excellent and the stamper is hardly deteriorated, especially when a glass substrate is used as a disk substrate. It is also very advantageous in terms of dimensional stability, heat resistance, birefringence and the like.
ところで、ディスク基板に2P法により凹凸パターンを
転写する場合、スクリーン印刷の際の紫外線硬化樹脂の
粘度が転写性能に大きく影響を及ぼす。By the way, when transferring a concavo-convex pattern to a disk substrate by the 2P method, the viscosity of the ultraviolet curable resin at the time of screen printing greatly affects the transfer performance.
そして、これまでは、転写性能を向上するためにはな
るべく粘度が低い方が有利であると考えられ、スクリー
ン印刷の際の紫外線硬化樹脂の粘度は数百cps程度に設
定されている。Until now, it has been considered that the lower the viscosity is, the more advantageous it is to improve the transfer performance, and the viscosity of the ultraviolet curable resin at the time of screen printing is set to about several hundred cps.
しかしながら、紫外線硬化樹脂の粘度があまりに低い
と、基板の外周に樹脂がはみ出し易く、スタンパに樹脂
が残って次の転写工程の妨げとなるという不都合が生じ
ている。前記はみ出した樹脂は、その都度取り去る必要
があり、生産性は大きく低下することになる。また、紫
外線硬化樹脂の粘度が低すぎると、例えばロールでの圧
着工程から紫外線照射工程に移送する間に樹脂が流れ、
却って転写性能が劣化するという問題も生じている。However, if the viscosity of the ultraviolet curable resin is too low, the resin tends to protrude to the outer periphery of the substrate, and the resin remains on the stamper, which hinders the next transfer step. The extruded resin must be removed each time, and the productivity is greatly reduced. Also, if the viscosity of the ultraviolet curable resin is too low, for example, the resin flows during the transfer from the pressure bonding step with a roll to the ultraviolet irradiation step,
On the contrary, there is a problem that the transfer performance is deteriorated.
そこで本発明は、前述の従来の実情に鑑みて提案され
たものであって、紫外線硬化樹脂のはみ出しや流れがな
く、スタンパの凹凸パターンを忠実に、しかも生産性良
く転写することが可能な光ディスクの製造方法を提供す
ることを目的とする。In view of the above, the present invention has been proposed in view of the above-described conventional circumstances, and has no protrusion or flow of an ultraviolet curable resin, and is capable of faithfully transferring the pattern of the concave and convex of the stamper, and with high productivity. It is an object of the present invention to provide a method for producing the same.
上述の目的を達成するために、本発明は、ディスク基
板の基板面に紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷により所
定のパターンで塗布した後、該紫外線硬化樹脂に凹凸パ
ターンが形成されたスタンパを密着させて紫外線を照射
し、光重合により硬化してスタンパの凹凸パターンを転
写する光ディスクの製造方法において、スクリーン印刷
の際の紫外線硬化樹脂の粘度を2500〜6000cpsとするこ
とを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the present invention is to apply an ultraviolet curable resin on a substrate surface of a disk substrate in a predetermined pattern by screen printing, and then closely contact a stamper having an uneven pattern formed on the ultraviolet curable resin. A method for manufacturing an optical disc, which irradiates ultraviolet rays and cures by photopolymerization to transfer a concave / convex pattern of a stamper, is characterized in that the viscosity of the ultraviolet curing resin at the time of screen printing is 2500 to 6000 cps.
紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷する際に、当該紫外
線硬化樹脂の粘度が高すぎると、一様な転写層が形成さ
れず、転写性が大きく劣化する。When screen-printing an ultraviolet-curable resin, if the viscosity of the ultraviolet-curable resin is too high, a uniform transfer layer is not formed, and transferability is greatly deteriorated.
逆に紫外線硬化樹脂の粘度が低すぎると、樹脂のはみ
出しや流れが生ずる。Conversely, if the viscosity of the ultraviolet curable resin is too low, the resin will run out or flow.
これに対して、本発明においては、スクリーン印刷の
際の紫外線硬化樹脂の粘度が2500〜6000cpsと最適化さ
れており、均一な厚みで転写層が安定に形成される。ま
た、樹脂の流れによる形状劣化も解消される。On the other hand, in the present invention, the viscosity of the ultraviolet curable resin at the time of screen printing is optimized at 2500 to 6000 cps, and the transfer layer is formed stably with a uniform thickness. Further, shape deterioration due to the flow of the resin is also eliminated.
以下、本発明を適用した光ディスクの製造方法の具体
的な実施例について詳細に説明する。Hereinafter, a specific example of a method of manufacturing an optical disk to which the present invention is applied will be described in detail.
なお、本実施例では、ディスク基板としてガラス基板
を用いた。In this example, a glass substrate was used as the disk substrate.
光ディスクを作成するには、例えばシランカップリン
グ剤等のカップリング剤で表面処理されたガラス基板に
対して2P法のプロセスを施し、スタンパの凹凸パターン
を転写する必要がある。In order to produce an optical disk, it is necessary to perform a 2P process on a glass substrate that has been surface-treated with a coupling agent such as a silane coupling agent, and transfer the concavo-convex pattern of the stamper.
第1図は、2P法による光ディスクの製造装置の一例の
概略構成を示すものである。FIG. 1 shows a schematic configuration of an example of an apparatus for manufacturing an optical disk by the 2P method.
この製造装置は、2P法の一連のプロセスを連続的に処
理するものであり、前記カップリング剤による表面処理
が施されたガラス基板を収容する基板供給部(1)と、
当該ガラス基板に紫外線硬化樹脂を塗布するスクリーン
印刷(2)と、紫外線硬化樹脂にスタンパをロール圧着
し紫外線を照射して光重合する転写部(3)と、凹凸パ
ターンが転写されたガラス基板を収容する基板搬出部
(4)が機台(5)上に順次配置されてなる。This manufacturing apparatus continuously processes a series of processes of the 2P method, and includes a substrate supply unit (1) that accommodates a glass substrate that has been subjected to a surface treatment with the coupling agent,
A screen printing (2) for applying an ultraviolet curable resin to the glass substrate, a transfer unit (3) for photo-polymerizing the roll by pressing a stamper on the ultraviolet curable resin, and irradiating ultraviolet rays, and a glass substrate on which a concavo-convex pattern is transferred Substrate carrying-out sections (4) to be accommodated are sequentially arranged on a machine base (5).
上記基板供給部(1)は、隣接して配置されるスクリ
ーン印刷部(2)にガラス基板(6)を次々に供給する
ためにガラス基板(6)を一時的にストックしておくた
めのもので、複数のガラス基板(6)を収容する多段式
のカートリッジ(7)を備えている。The substrate supply section (1) is for temporarily stocking the glass substrate (6) in order to supply the glass substrate (6) one after another to the screen printing section (2) arranged adjacently. And a multi-stage cartridge (7) for accommodating a plurality of glass substrates (6).
上記スクリーン印刷部(2)は、真空チャッキングに
よりガラス基板(6)をしっかりと保持する基板載置部
を有する印刷台(8)やスクリーン印刷のためのスクリ
ーン,スキージ等を備えてなり、上記カートリッジ
(7)から第1の基板受渡機構(図示は省略する。)に
よって機械的に一枚ずつ取り出されてきたガラス基板
(6)の一方の面に、液状の紫外線硬化樹脂(9)をス
クリーン印刷により塗布するようになっている。The screen printing section (2) includes a printing table (8) having a substrate mounting section for securely holding the glass substrate (6) by vacuum chucking, a screen for screen printing, a squeegee, and the like. A liquid ultraviolet curing resin (9) is screened on one surface of a glass substrate (6) mechanically taken out one by one from a cartridge (7) by a first substrate delivery mechanism (not shown). It is applied by printing.
上記転写部(3)は、表面にピットやグルーブ等を反
転した凹凸パターンが形成されたスタンパ(10)や当該
スタンパ(10)を保持し前後方向に移動自在とされたス
タンパホルダ(11)を備えており、このスタンパホルダ
(11)の移動方向に沿って、紫外線硬化樹脂(9)が塗
布されたガラス基板(6)とスタンパ(10)とを圧着す
るためのローラ(12)や、紫外線硬化樹脂(9)を硬化
するための紫外線を照射する光源(13)が配設されてい
る。The transfer unit (3) includes a stamper (10) having a concave / convex pattern formed by inverting pits or grooves on the surface, and a stamper holder (11) holding the stamper (10) and movable in the front-rear direction. A roller (12) for pressing the glass substrate (6) coated with the ultraviolet curable resin (9) and the stamper (10) along a moving direction of the stamper holder (11); A light source (13) for irradiating ultraviolet rays for curing the cured resin (9) is provided.
なお、上記スクリーン印刷部(2)と転写部(3)の
間には、印刷台(8)上のガラス基板(6)の表裏を反
転し、紫外線硬化樹脂(9)が塗布された面がスタンパ
(10)と対向するようにガラス基板(6)を転写部
(3)へと移送する第2の基板受渡機構が設けられてい
るが、ここでは図示は省略する。In addition, between the screen printing part (2) and the transfer part (3), the glass substrate (6) on the printing table (8) is turned upside down, and the surface coated with the ultraviolet curable resin (9) has a surface. A second substrate delivery mechanism for transferring the glass substrate (6) to the transfer section (3) is provided so as to face the stamper (10), but is not shown here.
上記基板搬出部(4)は、先の基板供給部(1)と同
様、多段式の搬出用カートリッジ(14)を備えており、
転写部(3)においてスタンパ(10)の凹凸パターンが
転写された後スタンパ(10)から引き剥がされたガラス
基板(6)を、第3の基板受渡機構によって順次この中
へ収容するようになっている。この第3の基板受渡機構
は、回動軸(15)を中心に回動操作される回動アーム
(16)と、この回動アーム(16)の先端に設けられた吸
着ヘッド(17)とからなっており、前記ガラス基板
(6)を吸着ヘッド(17)に吸着して転写部(3)から
基板搬出部(4)の搬出用カートリッジ(14)へと移送
する機能を有する。The substrate unloading section (4) includes a multi-stage unloading cartridge (14), similarly to the substrate supply section (1).
The glass substrate (6) peeled off from the stamper (10) after the transfer of the concavo-convex pattern of the stamper (10) in the transfer part (3) is sequentially accommodated in the glass substrate (6) by the third substrate delivery mechanism. ing. The third substrate delivery mechanism includes a rotary arm (16) that is rotated around a rotary shaft (15), and a suction head (17) provided at the tip of the rotary arm (16). And has a function of sucking the glass substrate (6) to the suction head (17) and transferring the glass substrate (6) from the transfer section (3) to the unloading cartridge (14) of the substrate unloading section (4).
上述の構成を有する光ディスク製造装置においては、
以下のような工程を経て光ディスク基板が作成される。In the optical disk manufacturing apparatus having the above configuration,
An optical disk substrate is produced through the following steps.
すなわち、加熱処理やカップリング剤による表面処理
が施されたガラス基板(6)は、先ず基板供給部(1)
のカートリッジ(7)内にストックされる。That is, the glass substrate (6) that has been subjected to the heat treatment or the surface treatment with the coupling agent is first supplied to the substrate supply unit (1)
Is stored in the cartridge (7).
そして、図示しない第1の基板受渡機構によって、ス
クリーン印刷部(2)の印刷台(8)へと移送される。Then, it is transferred to the printing table (8) of the screen printing unit (2) by a first substrate transfer mechanism (not shown).
この印刷台(8)上のガラス基板(6)には、第2図
Aに示すようなスクリーン印刷具によって直ちに紫外線
硬化樹脂(9)が塗布される。The glass substrate (6) on the printing table (8) is immediately coated with an ultraviolet curable resin (9) by a screen printing tool as shown in FIG. 2A.
上記スクリーン印刷具は、所定の開口パターンが形成
された薄いステンレス板からなる印刷用スクリーン(1
8)とスキージ(19)とを主な構成要素とするもので、
枠対(20)に張設された印刷用スクリーン(18)上に紫
外線硬化樹脂(9)を供給した後、スキージ(19)で紫
外線硬化樹脂(9)を掃送することにより、ガラス基板
(6)表面に紫外線硬化樹脂(9)が前記開口パターン
に応じて印刷される。The screen printing tool includes a printing screen (1) made of a thin stainless steel plate on which a predetermined opening pattern is formed.
8) and squeegee (19) as main components,
After the ultraviolet curable resin (9) is supplied onto the printing screen (18) stretched over the frame pair (20), the ultraviolet curable resin (9) is swept by the squeegee (19), so that the glass substrate ( 6) UV curable resin (9) is printed on the surface according to the opening pattern.
本例では、印刷用スクリーン(18)の開口パターン
を、三日月形状に集合された亀甲パターン(18a)と、
この三日月形状の亀甲パターン側に偏って分散配設され
る円形パターン(18b)とから構成し、スタンパ(10)
との圧着の際の紫外線硬化樹脂の漏出や泡の発生等を未
然に防ぐようにしている。In this example, the opening pattern of the printing screen (18) is a turtle shell pattern (18a) assembled in a crescent shape,
The stamper (10) is composed of a circular pattern (18b) that is distributed and arranged on the crescent-shaped tortoiseshell pattern side.
This prevents leakage of the ultraviolet curable resin and generation of bubbles at the time of pressure bonding.
前記印刷用スクリーン(18)をさらに詳細に説明する
と、第3図に示すように、ガラス基板(6)に対するロ
ール(12)の走行方向を矢印A方向としたときに、当該
印刷用スクリーン(18)の加圧開始端側の半円形領域
〔ガラス基板(6)をスタンパ(10)と圧着する際のロ
ーラ(12)による加圧開始端側のガラス基板(6)に対
応する領域〕には、ガラス基板(6)の外周縁に沿った
位置に亀甲パターン(18a)が三日月形状に集合して設
けられている。さらに、ガラス基板(6)のセンター孔
の周辺領域を避けて前記3日月形に沿うように第1の円
形パターン(18b1)とこれよりも小径の第2の円形パタ
ーン(18b2)が穿設されている。また、加圧終了端側の
半円形領域には、ガラス基板(6)のセンター孔に沿っ
て微細な樹脂補充用パターン(18c)が円弧状に配され
るとともに、この樹脂補充用パターン(18c)の外周側
を二重に取り囲む如く第1の円形パターン(18b1)と第
2の円形パターン(18b2)が基板(6)の外周縁部を避
けて円弧状に連なって配列されている。The printing screen (18) will be described in further detail. As shown in FIG. 3, when the running direction of the roll (12) with respect to the glass substrate (6) is set to the direction of arrow A, the printing screen (18) is used. )) (A region corresponding to the glass substrate (6) on the pressure start end side by the roller (12) when the glass substrate (6) is pressed against the stamper (10)). A tortoiseshell pattern (18a) is provided in a crescent shape at a position along the outer peripheral edge of the glass substrate (6). Further, the first circular pattern (18b 1 ) and the second circular pattern (18b 2 ) having a smaller diameter are formed along the crescent shape so as to avoid the area around the center hole of the glass substrate (6). Has been drilled. In the semicircular region on the pressure end end side, a fine resin replenishment pattern (18c) is arranged in an arc along the center hole of the glass substrate (6), and the resin replenishment pattern (18c) is formed. ), The first circular pattern (18b 1 ) and the second circular pattern (18b 2 ) are arranged continuously in an arc shape avoiding the outer peripheral edge of the substrate (6) so as to double surround the outer peripheral side of the substrate (6). .
上述の開口パターンを有する印刷用スクリーン(18)
を使用することにより、スクリーン(18)の歪みの発生
を防止して安定に紫外線硬化樹脂(9)を印刷すること
ができ、ローラ(12)で加圧した際の紫外線硬化樹脂
(9)の漏出を未然に防止することができる。Printing screen having opening pattern as described above (18)
By using, the UV curable resin (9) can be printed stably by preventing the screen (18) from being distorted, and the UV curable resin (9) when pressed by the roller (12) can be used. Leakage can be prevented beforehand.
一方、前記印刷用スクリーン(18)上に供給される紫
外線硬化樹脂(9)は、例えばアクリル酸やメタクリル
酸のモノ,ジまたはトリエステルのモノマーやオリゴマ
ーを主体とするアクリレート系の化合物やポリチオール
化合物,ポリエン化合物等を含み、必要に応じて光重合
開始剤,光重合促進剤,酸化防止剤等が添加されてなる
ものである。勿論、これに限らず、通常の紫外線硬化樹
脂がいずれも使用可能である。On the other hand, the ultraviolet curable resin (9) supplied onto the printing screen (18) is, for example, an acrylate compound or a polythiol compound mainly composed of a monomer or oligomer of mono-, di- or triester of acrylic acid or methacrylic acid. , A polyene compound, and the like, and a photopolymerization initiator, a photopolymerization accelerator, an antioxidant, and the like are added as necessary. Of course, the present invention is not limited to this, and any ordinary ultraviolet curable resin can be used.
この段階で前記紫外線硬化樹脂(9)は、光重合によ
る硬化が行われておらず、したがって液状を呈するが、
このときの紫外線硬化樹脂(9)の粘度は、2500〜6000
cpsとする必要がある。At this stage, the ultraviolet curable resin (9) has not been cured by photopolymerization, and therefore exhibits a liquid state.
At this time, the viscosity of the ultraviolet curing resin (9) is 2500 to 6000.
Must be cps.
スクリーン印刷の際の紫外線硬化樹脂(9)の粘度が
2500cps未満であると、ガラス基板(6)の外周縁部に
樹脂(9)がはみ出し易くなり、後述の転写工程におい
てスタンパ(10)上に樹脂(9)が残ってしまう虞れが
ある。また、ローラ(12)による圧着によってスタンパ
(10)と密着させても、光源(13)への移送の途中で樹
脂(9)が流れてしまい、転写形状が劣化する虞れもあ
る。逆に紫外線硬化樹脂(9)の粘度が6000cpsを越え
ると、樹脂(9)がローラ(12)により圧着しても十分
に引き伸ばされなくなり、一様な膜が形成されなくなる
虞れがある。また、スタンパ(10)の凹凸パターンへの
樹脂(9)の入り込みも不十分なものとなって転写性が
悪くなる。The viscosity of the UV curable resin (9) during screen printing
If it is less than 2500 cps, the resin (9) tends to protrude from the outer peripheral portion of the glass substrate (6), and the resin (9) may remain on the stamper (10) in a transfer step described later. Further, even when the resin (9) is brought into close contact with the stamper (10) by pressure bonding by the roller (12), the resin (9) flows during the transfer to the light source (13), and the transfer shape may be deteriorated. Conversely, if the viscosity of the UV-curable resin (9) exceeds 6000 cps, the resin (9) may not be sufficiently stretched even when pressed with the roller (12), and a uniform film may not be formed. In addition, the resin (9) does not sufficiently penetrate into the concave / convex pattern of the stamper (10), resulting in poor transferability.
なお、ここで規定される紫外線硬化樹脂(9)の粘度
は、スクリーン印刷から光源(13)による紫外線照射前
までの粘度であって、したがってこれら工程が行われる
温度での粘度が前記範囲であればよい。通常これらの工
程は室温で行われることから、25℃での粘度が前記範囲
であればよいことになる。The viscosity of the ultraviolet curable resin (9) specified here is the viscosity from screen printing to before the irradiation of the ultraviolet light by the light source (13). Therefore, the viscosity at the temperature at which these steps are performed is within the above range. I just need. Usually, these steps are performed at room temperature, so that the viscosity at 25 ° C. may be within the above range.
紫外線硬化樹脂(9)の粘度を前述の範囲に調整する
手法としては、オリゴマーの重合度を変える方法や、直
鎖状のモノマーと分岐状のモノマーの比率を変える方
法、樹脂を構成するモノマーに側鎖を導入する方法等が
挙げられる。Methods for adjusting the viscosity of the ultraviolet-curable resin (9) to the above-mentioned range include a method of changing the degree of polymerization of the oligomer, a method of changing the ratio of a linear monomer to a branched monomer, and a method of adjusting the monomer constituting the resin. Examples include a method of introducing a side chain.
上述の手法により紫外線硬化樹脂(9)がスクリーン
印刷されたガラス基板(6)を第2図Bに示す。FIG. 2B shows a glass substrate (6) on which an ultraviolet curable resin (9) is screen-printed by the above-described method.
次いで、上記ガラス基板(6)は転写部(3)へと移
送され、スタンパ(10)の凹凸パターンが転写される。Next, the glass substrate (6) is transferred to the transfer section (3), and the concavo-convex pattern of the stamper (10) is transferred.
転写部(3)への移送に際しては、上記ガラス基板
(6)の表裏が反転され、第2図Cに示すように、紫外
線硬化樹脂(9)が塗布された面が下側となるようにし
て、スタンパホルダ(11)上のスタンパ(10)と重ね合
わされる。When the glass substrate (6) is transferred to the transfer section (3), the glass substrate (6) is turned upside down so that the surface on which the ultraviolet curable resin (9) is applied is on the lower side as shown in FIG. 2C. Then, it is superimposed on the stamper (10) on the stamper holder (11).
次いで、スタンパ(10)と重ね合わされたガラス基板
(6)は、スタンパホルダ(11)を移動することにより
第2図Dに示すようにローラ(12)で圧着され、前記紫
外線硬化樹脂(9)を挾んでスタンパ(10)と密着する
ことになる。この段階では前記紫外線硬化樹脂(9)が
液状で、しかも前述の通り適度な粘度を有することか
ら、スタンパ(10)の微細な凹凸パターン内に均一に隙
間無く入り込む。また、ガラス基板(6)からはみ出し
てスタンパ(10)上に残ることもない。Next, the glass substrate (6) superimposed on the stamper (10) is pressed by a roller (12) as shown in FIG. 2D by moving the stamper holder (11), and the ultraviolet curable resin (9) Between the stamper (10). At this stage, since the ultraviolet curable resin (9) is in a liquid state and has an appropriate viscosity as described above, it enters uniformly into the fine uneven pattern of the stamper (10) without gaps. In addition, it does not protrude from the glass substrate (6) and remains on the stamper (10).
しかる後、前記スタンパホルダ(11)がさらに移動
し、スタンパ(10)と密着されたガラス基板(6)は光
源(13)の下へと搬送される。Thereafter, the stamper holder (11) further moves, and the glass substrate (6) in close contact with the stamper (10) is transported below the light source (13).
そして、第2図Eに示す如くガラス基板(6)側から
紫外線が照射され、ガラス基板(6)とスタンパ(10)
の間に充填された紫外線硬化樹脂(9)が光重合によっ
て硬化される。これによって、スタンパ(10)表面の凹
凸パターンがガラス基板(6)上の紫外線硬化樹脂層へ
と転写されたことになる。Then, as shown in FIG. 2E, ultraviolet rays are irradiated from the glass substrate (6) side, and the glass substrate (6) and the stamper (10) are irradiated.
The ultraviolet curable resin (9) filled in between is cured by photopolymerization. Thus, the concavo-convex pattern on the surface of the stamper (10) has been transferred to the ultraviolet curable resin layer on the glass substrate (6).
凹凸パターンの転写後、第2図Fに示すように、前記
ガラス基板(6)はスタンパ(10)から剥がされ、第3
の基板受渡機構によって基板搬出部(5)へと移送され
る。After the transfer of the concavo-convex pattern, the glass substrate (6) is peeled off from the stamper (10) as shown in FIG.
Is transferred to the substrate unloading section (5) by the substrate delivery mechanism.
上述の光ディスク製造装置により、スタンパ(10)の
凹凸パターンが転写されたディスク基板は、さらに反射
膜や記録膜を成膜したり、保護層等を設けることで光デ
ィスクとされるが、光ディスクの構成は任意であり、し
たがってディスク基板上に成膜される反射膜,記録膜,
保護膜等は用途に応じて任意に選択することができる。The disk substrate on which the concave / convex pattern of the stamper (10) has been transferred by the above-described optical disk manufacturing apparatus is converted into an optical disk by further forming a reflective film or a recording film, or providing a protective layer or the like. Is optional, so that a reflective film, a recording film,
The protective film and the like can be arbitrarily selected according to the application.
例えば、デジタルオーディオディスクや,いわゆるCD
−ROM等においては、凹凸パターンが転写されたディス
ク基板上にAl等の金属反射膜が成膜される。光磁気ディ
スクでは、磁気光学特性(カー効果やファラデー効果)
を有する垂直磁化膜(例えばTbFeCo等)が成膜される。
その他、低融点金属薄膜や相変化膜,有機色素を含有す
る膜等を記録層とする光ディスクにも適用可能である。For example, a digital audio disc or a so-called CD
-In a ROM or the like, a metal reflection film of Al or the like is formed on a disk substrate on which a concavo-convex pattern is transferred. For magneto-optical disks, magneto-optical properties (Kerr effect and Faraday effect)
A perpendicular magnetization film (for example, TbFeCo or the like) having the following is formed.
In addition, the present invention can also be applied to an optical disc having a recording layer of a low melting point metal thin film, a phase change film, a film containing an organic dye, or the like.
以上の工程を経て製造される光ディスク基板は、スタ
ンパ(10)の凹凸パターンの転写性に優れたものであ
り、ピットやグルーブの形成劣化のない高信頼性を有す
るものである。また、ガラス基板を使用しているため、
寸法安定性や耐熱性、複屈折等の点でも優れた特性を発
揮する。The optical disc substrate manufactured through the above steps has excellent transferability of the concave and convex pattern of the stamper (10), and has high reliability without formation and deterioration of pits and grooves. Also, because a glass substrate is used,
It also exhibits excellent properties in terms of dimensional stability, heat resistance, birefringence, etc.
以上、本発明を適用した実施例について説明したが、
本発明がこの実施例に限定されるものではなく、例えば
ディスク基板の材質や紫外線硬化樹脂の種類、印刷用ス
クリーンの開口パターンの形状等は任意である。As described above, the embodiment to which the present invention is applied has been described.
The present invention is not limited to this embodiment. For example, the material of the disk substrate, the type of the ultraviolet curable resin, the shape of the opening pattern of the printing screen, and the like are arbitrary.
上述の説明からも明らかなように、本発明において
は、スクリーン印刷の際の紫外線硬化樹脂の粘度を適正
なものとしているので、基板からのはみ出し等を防止す
ることができ、高い生産性を確保することができる。As is clear from the above description, in the present invention, since the viscosity of the ultraviolet curable resin at the time of screen printing is made appropriate, it is possible to prevent the resin from protruding from the substrate and secure high productivity. can do.
また、本発明における紫外線硬化樹脂の粘度範囲で
は、紫外線硬化樹脂をスタンパに十分に充填することが
できるとともに、樹脂の流れ等による形状劣化が抑える
ことができ、精密な転写性能を実現することが可能であ
る。Further, within the viscosity range of the ultraviolet-curable resin in the present invention, the ultraviolet-curable resin can be sufficiently filled in the stamper, the shape deterioration due to the flow of the resin can be suppressed, and the precise transfer performance can be realized. It is possible.
第1図はスタンパの凹凸パターンを転写するためのディ
スク製造装置の一例を示す概略平面図である。 第2図Aないし第2図Fは2P法のプロセスを説明するた
めの概略斜視図であり、第2図Aはスクリーン印刷工
程、第2図Bは紫外線硬化樹脂が印刷されたガラス基
板、第2図Cはスタンパへの重ね合わせ工程、第2図D
はローラによる圧着工程、第2図Eは紫外線照射工程、
第2図Fはスタンパからの剥離工程をそれぞれ示す。 第3図は印刷用スクリーンに設けられる開口パターンの
一例を示す平面図である。 6……ガラス基板 9……紫外線硬化樹脂 10……スタンパFIG. 1 is a schematic plan view showing an example of a disk manufacturing apparatus for transferring an uneven pattern of a stamper. 2A to 2F are schematic perspective views for explaining the process of the 2P method. FIG. 2A is a screen printing step, FIG. 2B is a glass substrate on which an ultraviolet curable resin is printed, and FIG. 2C is a process of superimposing on a stamper, FIG. 2D
Fig. 2E is an ultraviolet irradiation step,
FIG. 2F shows a step of peeling from the stamper. FIG. 3 is a plan view showing an example of an opening pattern provided on a printing screen. 6 Glass substrate 9 UV curable resin 10 Stamper
Claims (1)
スクリーン印刷により所定のパターンで塗布した後、該
紫外線硬化樹脂に凹凸パターンが形成されたスタンパを
密着させて紫外線を照射し、光重合により硬化してスタ
ンパの凹凸パターンを転写する光ディスクの製造方法に
おいて、 スクリーン印刷の際の紫外線硬化樹脂の粘度を2500〜60
00cpsとすることを特徴とする光ディスクの製造方法。An ultraviolet curable resin is applied on a substrate surface of a disk substrate in a predetermined pattern by screen printing, and then a stamper having a concavo-convex pattern is adhered to the ultraviolet curable resin and irradiated with ultraviolet light. In a method of manufacturing an optical disk for curing and transferring a concave / convex pattern of a stamper, the viscosity of the ultraviolet curable resin at the time of screen printing is set to 2500 to 60.
A method for manufacturing an optical disk, wherein the method is set to 00 cps.
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JP2014590A JP2757520B2 (en) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | Optical disc manufacturing method |
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JPH03225643A JPH03225643A (en) | 1991-10-04 |
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