JP2755919B2 - スパッタリング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、センターマスクを備え
たスパッタリング装置に係わり、特にセンターマスクを
冷却できるスパッタリング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のスパッタリング装置、例えばマグ
ネトロン・スパッタリング装置は、図６に示したように
真空容器１を備え、この真空容器１の内部の上方にはバ
ッキングプレート２が設けられ、このバッキングプレー
ト２の上方に放電用磁石３が設けられている。この放電
用磁石３は、磁石回転用モータ４によって回転駆動され
る。一方、バッキングプレート２の下面には、中央に中
空部分５が形成された略円盤状のターゲット６が密着し
て設けられている。また、バッキングプレート２の下面
中央部には、ターゲット６の中央の中空部分５を介して
略円柱状の絶縁部材７がボルト８によって固着されてい
る。なお、絶縁部材７は、セラミック等の絶縁材料によ
って形成されている。さらに、絶縁部材７の下面には、
下端部に末広がり形状部９を有するセンターマスク１０
がボルト１１によって固着されている。また、真空容器
１の内壁には、センターマスク１０と同心に環状の外周
マスク１２が設けられている。そして、センターマスク
１０と外周マスク１２とによって処理対象である基板Ａ
の成膜領域が規制される。なお、この基板Ａは、その裏
面に当接されたプッシャー（図示を省略）によって支持
されている。

【０００３】さらに、バッキングプレート２は直流電源
（図示を省略）のマイナス側に電気的に接続されてお
り、一方、外周マスク１２は直流電源のプラス側に電気
的に接続されている。ここで、センターマスク１０は絶
縁部材７を介してバッキングプレート２に固着されてい
るため、直流電源のマイナス側とは絶縁されている。

【０００４】この従来のスパッタリング装置において
は、真空容器１の内部は排気装置（図示を省略）によっ
て常時排気されており、この真空状態の真空容器１の内
部に不活性ガスを導入する。すると、直流電源による電
界と放電用磁石による磁界とによって真空容器１の内部
でマグネトロン放電が発生し、このマグネトロン放電に
よって不活性ガスがイオン化される。このようにして生
成されたイオンを電界で加速して陰極であるターゲット
６に衝突させ、ターゲット６を構成する粒子をスパッタ
する。スパッタされた粒子は、ターゲット６に対向して
配置された基板Ａの表面に付着し、基板Ａの表面上に徐
々に粒子が堆積する。このようにして堆積された粒子は
基板Ａの表面に薄膜を形成する。この際、基板Ａの中央
部はセンターマスク１０の末広がり形状部９によって覆
われているため、この中央部には薄膜が形成されない。
同じく、基板Ａの周縁部は外周マスク１２によって覆わ
れているため、この周縁部にも薄膜は形成されない。

【０００５】このように従来のスパッタリング装置は、
放電を利用してターゲット６をスパッタするものである
が、放電を維持するためには、スパッタリングに伴うタ
ーゲット６の温度上昇をある程度抑制する必要がある。
また、スパッタリング処理中にはセンターマスク１０の
温度が上昇するため、このセンターマスク１０に接触し
ている基板Ａの熱変形を防止するためにセンターマスク
１０を冷却する必要がある。

【０００６】そこで、従来のスパッタリング装置は、図
７に示したようにバッキングプレート２の内部に冷却水
流路１３を形成し、この冷却水流路１３の注水口１４か
ら冷却水を供給し、冷却水流路１３を経由して排水口１
５から冷却水を排出することによってバッキングプレー
ト２を冷却している。このようにバッキングプレート２
を冷却すれば、このバッキングプレート２の裏面に密着
して設けられたターゲット６が冷却される。

【０００７】ところが、センターマスク１０の冷却に関
しては、バッキングプレート２とセンターマスク１０と
の間に絶縁部材７が介装されており、この絶縁部材７を
介してセンターマスク１０の熱がバッキングプレート２
へと伝達される。このため、センターマスク１０からバ
ッキングプレート２までの伝熱経路に２つの伝熱面、す
なわち、センターマスク１０と絶縁部材７との接触面、
及び絶縁部材７とバッキングプレート２との接触面の２
つの伝熱面が介在して伝熱効率が非常に低くなり、セン
ターマスク１０の冷却効率が極めて悪かった。

【０００８】そこで、センターマスク１０の冷却効率を
高めるべく、図８に示したような冷却構造が提案されて
いる。すなわち、この冷却構造は、バッキングプレート
２と、絶縁部材７と、センターマスク１０とを流通する
連続した冷却水流路１６を備えている。また、バッキン
グプレート２と絶縁部材７との境界、及び絶縁部材７と
センターマスク１０との境界は、それぞれＯリング１
７、１８によってシールされている。そして、連続した
冷却水流路１６に冷却水を流すことによって、バッキン
グプレート２及びセンターマスク１０の冷却を１系統の
連続した冷却水流路１６によって行うものである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来のスパッタリング装置は、連続した冷却水流路１６が
バッキングプレート２とセンターマスク１０とを連通し
ているため、その内部を流れる冷却水がバッキングプレ
ート２とセンターマスク１０との間を電気的に接続して
絶縁部材７の絶縁効果を低下させる。ここで、バッキン
グプレート２はマイナスの電位を有し、一方、センター
マスク１０はバッキングプレート２から絶縁されて電気
的に浮いた状態にある。したがって、バッキングプレー
ト２とセンターマスク１０とは同電位にはならず、セン
ターマスク１０が電蝕によって腐食してしまう。このた
め、センターマスク１０の交換を頻繁に行う必要があ
り、交換作業に多大の労力を要するばかりでなく、スパ
ッタリング装置の稼働率が大幅に低下するという問題あ
った。

【００１０】そこで、本発明は、上述した問題点を解消
し、センターマスクが電蝕を受けることなく、センター
マスク及びバッキングプレートの冷却を簡単な構成で効
率的かつ十分に行うことのできるスパッタリング装置を
提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
バッキングプレートと、このバッキングプレートの中央
部に固設された絶縁部材と、この絶縁部材に固設された
センターマスクとを備えたスパッタリング装置におい
て、前記絶縁部材の前記バッキングプレートへの取付面
に注水孔及び排水孔を穿設し、前記注水孔と前記排水孔
とを連通する冷却水流路を前記絶縁部材の内部に連続し
て形成し、前記注水孔に連通する注水側冷却水流路と前
記排水孔に連通する排水側冷却水流路とを前記バッキン
グプレートの内部に形成したことを特徴とする。

【００１２】請求項２記載の発明は、バッキングプレー
トと、このバッキングプレートの中央部に固設された絶
縁部材と、この絶縁部材に固設されたセンターマスクと
を備えたスパッタリング装置において、前記絶縁部材の
内部に冷却水が滞留する溜水槽を形成し、前記バッキン
グプレートの内部に前記溜水槽に連通する一対の冷却水
流路を形成したことを特徴とする。

【００１３】請求項３記載の発明は、前記溜水槽の内部
に冷却水の流れを規制する制限板を設けたことを特徴と
する。

【００１４】請求項４記載の発明は、前記センターマス
クに前記絶縁部材が嵌合可能なフランジを形成し、この
フランジに前記絶縁部材を密着して嵌合したことを特徴
とする。

【００１５】請求項５記載の発明は、前記フランジと前
記絶縁部材との間に補強部材を介装したことを特徴とす
る。

【００１６】請求項６記載の発明は、前記絶縁部材は前
記バッキングプレートにロー付けされていることを特徴
とする。

【００１７】

【作用】請求項１記載の発明によれば、バッキングプレ
ートの内部に形成された注水側冷却水流路を流れる冷却
水は、絶縁部材のバッキングプレートへの取付面に穿設
された注水孔を介して、前記絶縁部材の内部に連続して
形成された冷却水流路に導かれる。そして、この冷却水
流路に流れ込んだ冷却水は、絶縁部材のバッキングプレ
ートへの取付面に穿設された排水孔を介して、バッキン
グプレートの内部に形成された排水側冷却水流路に導か
れる。

【００１８】ここで、絶縁部材内部の冷却水流路は、注
水孔側の端部から排水孔側の端部まで連続して形成され
ており、センターマスクの内部には冷却水の流路は全く
存在しない。したがって、バッキングプレートとセンタ
ーマスクとの間に介装された絶縁部材による絶縁効果は
冷却水流路によって減殺されることがなく、このため、
センターマスクが電蝕を受けることがない。

【００１９】そして、絶縁部材の内部に形成された冷却
水流路を流れる冷却水は、冷却水流路の内壁面を介して
絶縁部材を冷却する。ここで、冷却水流路の流路断面積
や冷却水の流量を最適化することによって、絶縁部材を
効率的かつ十分に冷却することができる。このようにし
て絶縁部材が冷却されると、この絶縁部材に固着された
センターマスクも、絶縁部材との接触面を介して冷却さ
れる。また、バッキングプレートの内部に形成された注
水側及び排水側の冷却水流路内を流れる冷却水によって
バッキングプレートが冷却され、ひいてはこのバッキン
グプレートに固設されたターゲットが冷却される。

【００２０】請求項２記載の発明によれば、バッキング
プレートの内部に形成された一対の冷却水流路の一方を
介して、絶縁部材の内部に形成された溜水槽に冷却水が
流れ込む。そして、溜水槽に流れ込んだ冷却水は、溜水
槽内に滞留した後に、他方の冷却水流路を介して溜水槽
から押し出される。

【００２１】ここで、溜水槽は絶縁部材の内部に形成さ
れているので、センターマスクの内部には冷却水の流路
は全く存在しない。したがって、バッキングプレートと
センターマスクとを絶縁する絶縁部材による絶縁効果
は、冷却水流路によって減殺されることがなく、このた
め、センターマスクが電蝕を受けることない。

【００２２】そして、絶縁部材の内部に形成された溜水
槽は、内部の溜水を順次入れ替えながら常に相当量の冷
却水を保有しており、この保有された相当量の冷却水に
よって、溜水槽の内壁面の全体を介して絶縁部材が効率
的に冷却される。そして、絶縁部材に固設されたセンタ
ーマスクは絶縁部材との接触面を介して冷却される。こ
こで、前記のごとく絶縁部材の冷却効率が極めて高いた
めにセンターマスクの冷却は十分に達成される。また、
バッキングプレートの内部に形成された一対の冷却水流
路内を流れる冷却水によってバッキングプレートが冷却
され、ひいてはこのバッキングプレートに固設されたタ
ーゲットが冷却される。

【００２３】請求項３記載の発明によれば、溜水槽の内
部に設けられた制限板が溜水槽内での冷却水の流れを規
制するので、溜水槽の内壁面の全体にわたって冷却水の
流れが生じる。このため、絶縁部材の冷却効率が向上
し、ひいてはセンターマスクの冷却効率も向上する。

【００２４】請求項４記載の発明によれば、センターマ
スクに形成されたフランジに絶縁部材を密着して嵌合し
たので、絶縁部材とセンターマスクとの接触面積、すな
わち伝熱面積が増大する。このため、センターマスクか
ら絶縁部材への伝熱効率が向上し、センターマスクの冷
却効率が高まる。

【００２５】請求項５記載の発明によれば、フランジと
絶縁部材との間に介装された補強部材が、セラミック等
の脆い材料で形成された絶縁部材を保護する。

【００２６】請求項６記載の発明によれば、絶縁部材は
ロー付けによってバッキングプレートに固設されている
ので、Ｏリング等のシール材が不要となるばかりでな
く、例えばボルトによって固設する場合に比して、絶縁
部材内部の冷却水流路又は溜水槽を広範に又は大きく形
成することができる。また、絶縁部材は、ボルト取付け
のための厚肉の周壁が不要となるので、絶縁部材の径は
小さなものとすることが可能であり、ひいてはセンター
マスクの径も小さくすることができる。このため、ター
ゲットからスパッタされた粒子がセンターマスク又は絶
縁部材によって進路を妨げられるという影響が低減され
る。

【００２７】

【実施例】以下、本発明によるスパッタリング装置の第
１の実施例について、図１を参照して説明する。なお、
図６乃至図８に示した従来のスパッタリング装置と同一
の部材については、同一の符号を付して詳細な説明は省
略する。

【００２８】図１において符号４０はバッキングプレー
トを示し、このバッキングプレート４０の内部には、上
方に開口した注水口４１を有する注水側冷却水流路４２
と、同じく上方に開口した排水口４３を有する出口側冷
却水流路４４とが形成されている。また、バッキングプ
レート４０の裏面の中央部には、略円筒形の外形を備え
た絶縁部材４５がロー付けによって固設されている。ま
た、絶縁部材４５の下面にはボルト１１によってセンタ
ーマスクが１０が固設されている。

【００２９】また、絶縁部材４５のバッキングプレート
４０への取付面４６には、注水孔４７及び排水孔４８が
穿設されている。そして、注水孔４７と排水孔４８と
は、絶縁部材４５の内部に連続して形成された冷却水流
路４９によって連通されている。

【００３０】上記構成を有する本実施例においては、注
水口４１を介して注水側冷却水流路４２に供給された冷
却水は、注水側冷却水流路４２の内壁面を介してバッキ
ングプレート４０から熱を奪ってバッキングプレート４
０を冷却し、ひいてはターゲット６を冷却する。そし
て、注水側冷却水流路４２を経由した冷却水は、絶縁部
材４５のバッキングプレート４０への取付面４６に穿設
された注水孔４７を介して冷却水流路４９に導かれる。
冷却水流路４９に導かれた冷却水は、冷却水流路４９の
内壁面を介して絶縁部材４５を冷却する。ここで、冷却
水流路４９の流路断面積や冷却水の流量を最適化するこ
とによって、絶縁部材４５を効率的かつ十分に冷却する
ことができる。このようにして絶縁部材４５が冷却され
ると、この絶縁部材４５に固着されたセンターマスク１
０も、絶縁部材４５のとの接触面を介して冷却される。
そして、絶縁部材４５の内部の冷却水流路４９を経由し
た冷却水は、排水孔４８を介してバッキングプレート４
０の内部に形成された排水側冷却水流路４４に導かれ、
この排水側冷却水流路４４を流れる冷却水によってバッ
キングプレート４０が冷却され、ひいてはこのバッキン
グプレート４０に固設されたターゲット６が冷却され
る。

【００３１】このように、バッキングプレート４０とセ
ンターマスク１０とが絶縁部材４５によって完全に絶縁
されているので、センターマスク１０が電蝕によって腐
食するということがない。さらに、本実施例において
は、絶縁部材４５の内部に形成された冷却水流路４９の
内部を流れる冷却水によって絶縁部材４５が効率的に冷
却され、ひいてはセンターマスク１０が効率的かつ十分
に冷却される。

【００３２】また、絶縁部材４５をロー付けによってバ
ッキングプレート４０に固設したので、Ｏリング等のシ
ール材が不要となるばかりでなく、例えばボルトによっ
て固設する場合に比して、絶縁部材４５の内部の冷却水
流路を広範に形成することができる。さらに、絶縁部材
４５は、ボルトの取付部分が不要となるので、その径を
小さくすることが可能であり、ひいてはセンターマスク
１０の径も小径とすることができる。このため、ターゲ
ット６からスパッタされた粒子がセンターマスク１０又
は絶縁部材４５によって進路を妨げられるという影響が
低減されて、基板表面の成膜効率を向上することができ
る。

【００３３】なお、本実施例では、絶縁部材４５の内部
の冷却水流路４９への冷却水の供給を注水側冷却水流路
４２を介して行い、この注水側冷却水流路４２はバッキ
ングプレート４０の冷却をも行うようにしているが、例
えば、注水側冷却水流路４２の注水口４１をバッキング
プレート４０の上面の中心付近に設けて注水側冷却水流
路４２の敷設長を短くし、注水側冷却水流路４２はもっ
ぱら絶縁部材４５の内部の冷却水流路４９への冷却水の
供給のみを行うようにして、バッキングプレート４０の
冷却をもっぱら排水側冷却水流路４４で行うようにする
こともできる。

【００３４】このようにすれば、絶縁部材４５の内部の
冷却水流路４９に供給される冷却水は、バッキングプレ
ート４０による加熱をほとんど受けずに冷却水流路４９
に流れ込むので、絶縁部材４５の冷却、ひいてはセンタ
ーマスク１０の冷却をより効率的に行うことができる。

【００３５】次に、本発明によるスパッタリング装置の
第２の実施例について、図２を参照して説明する。図２
において符号２０はバッキングプレートを示し、このバ
ッキングプレート２０の内部には、上方に開口した注水
口２１を有する注水側冷却水流路２２と、同じく上方に
開口した排水口２３を有する排水側冷却水流路２４とが
形成されている。また、バッキングプレート２０の裏面
の中央部には、略円筒形の外形を備えた絶縁部材２５
が、その上面の周縁部２６をロー付けすることによって
固設されている。また、絶縁部材２５の下面にはボルト
２７によってセンターマスクが２８が固設されている。

【００３６】また、絶縁部材２５の内部には、上面が開
放した溜水槽２９が形成されている。この溜水槽２９の
内部には、図２及び図３に示したように、その下端縁が
溜水槽２９の底面３０から離間するようにして制限板３
１が設けられ、この制限板３１によって、溜水槽２９の
内部が、下方に連通部分３２を残して入口側の溜水室３
３と出口側の溜水室３４との２つに区分されている。

【００３７】そして、バッキングプレート２０の内部に
形成された注水側冷却水流路２２は、バッキングプレー
ト２０の中心付近に穿設された入口側の連絡流路３５を
介して入口側の溜水室３３に連通している。一方、排水
側冷却水流路２４は、バッキングプレート２０に穿設さ
れた出口側の連絡流路３６を介して出口側の溜水室３４
に連通している。

【００３８】上記構成を有する本実施例においては、注
水口２１を介して注水側冷却水流路２２に供給された冷
却水は、注水側冷却水流路２２の内壁面を介してバッキ
ングプレート２０から熱を奪ってバッキングプレート２
０を冷却し、ひいてはターゲット６を冷却する。そし
て、注水側冷却水流路２２を経由した冷却水は、入口側
の連絡流路３５を介して入口側の溜水室３３に流れ込
む。この入口側の溜水室３３に流れ込んだ冷却水は、制
限板３１によって流れを規制されながら、制限板３１の
下方の連通部分３２を介して出口側の溜水室３４に達す
る。そして、出口側の溜水室３４に達した冷却水は、出
口側の連絡流路３６を介して排水側冷却水流路２４に押
し出され、排水側冷却水流路２４の内壁面を介してバッ
キングプレート２０を冷却し、ひいてはターゲット６を
冷却する。ここで、溜水槽２９は相当の容積を備えてい
るため、溜水槽２９に流れた込んだ冷却水は、溜水槽２
９の内部に相当時間滞留した後に溜水槽２９から排出さ
れる。

【００３９】このように、バッキングプレート２０とセ
ンターマスク２８とが絶縁部材２５によって完全に絶縁
されているので、センターマスク２８が電蝕によって腐
食するということがない。さらに、本実施例において
は、絶縁部材２５の内部に形成された溜水槽２９は、内
部の溜水を順次入れ替えながら常に相当量の冷却水を保
有しており、この保有された相当量の冷却水によって、
溜水槽２９の内壁面の全体を介して絶縁部材２５が効率
的に冷却される。そして、絶縁部材２５の下面に固設さ
れたセンターマスク２８は絶縁部材２５との接触面を介
して冷却されるが、前記のごとく絶縁部材２５の冷却効
率が極めて高いためにセンターマスク２８の冷却も効率
的かつ十分に達成される。

【００４０】また、絶縁部材２５をロー付けによってバ
ッキングプレート２０に固設したので、Ｏリング等のシ
ール材が不要となるばかりでなく、例えばボルトによっ
て固設する場合に比して、絶縁部材２５の内部の溜水室
２９を大きく形成することができる。さらに、絶縁部材
２５は、ボルトを取付けるための厚肉の周壁が不要とな
るので、その径を小さくすることが可能であり、ひいて
はセンターマスク２８の径も小径とすることができる。
このため、ターゲット６からスパッタされた粒子がセン
ターマスク２８又は絶縁部材２５によって進路を妨げら
れるという影響が低減されて、基板表面の成膜効率を向
上することができる。

【００４１】さらに、溜水槽２９の内部に制限板３１を
設けたので、溜水槽２９に流れ込んだ冷却水は溜水槽２
９の内壁面の全面の近傍を流れやすくなり、絶縁部材２
５の冷却、ひいてはセンターマスク２８の冷却を効率的
に行うことができる。

【００４２】なお、本実施例では、溜水槽２９への冷却
水の供給を注水側冷却水流路２２を介して行うと共に、
この注水側冷却水流路２２はバッキングプレート２０の
冷却をも行うようにしているが、例えば、注水側冷却水
流路２２の注水口２１をバッキングプレート２０の上面
の中心付近に設けて注水側冷却水流路２２の敷設長を短
くし、注水側冷却水流路２２はもっぱら溜水槽２９への
冷却水の供給のみを行うようにして、バッキングプレー
ト２０の冷却をもっぱら排水側冷却水流路２４で行うよ
うにすることもできる。

【００４３】このようにすれば、溜水槽２９に供給され
る冷却水は、バッキングプレート２０による加熱をほと
んど受けずに溜水槽２９に流れ込むので、絶縁部材２５
の冷却、ひいてはセンターマスク２８の冷却をより効率
的に行うことができる。

【００４４】次に、本発明によるスパッタリング装置の
第３の実施例について図４を参照して説明する。この実
施例は、前記第２の実施例とほぼ同様の構成を備えてい
るが、センターマスク２８の上面の周縁部に、上方に向
けて円筒状のフランジ３７が一体的に形成されている点
が異なる。そして、絶縁部材２５は、円筒状のフランジ
３７の内側に密着して嵌合されている。

【００４５】このように本実施例は、センターマスク２
８の上面に一体的に形成されたフランジ３７が絶縁部材
２５に密着して設けられているので、絶縁部材２５とセ
ンターマスク２８との接触面の面積が増大する。このた
め、絶縁部材２５とセンターマスク２８との間での伝熱
面積が増加して、センターマスク２８の冷却効率が向上
する。

【００４６】次に、本発明によるスパッタリング装置の
第４の実施例について、図５を参照して説明する。この
実施例は、前記第３の実施例とほぼ同様の構成を備えて
いるが、絶縁部材２５の側周壁に肉薄の円筒状の補強部
材３８が密着して周設されている点が異なる。そして、
この円筒状の補強部材３８の外側にセンターマスク２８
の円筒状のフランジ３７が密着して嵌め込まれている。

【００４７】このように本実施例は、絶縁部材２５の側
周壁に円筒状補強部材３８が密着して設けたので、例え
ば消耗したセンターマスク２８を新しいものに交換する
際に、セラミック等の脆い材料で形成された絶縁部材２
５が損傷を受けることがない。

【００４８】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、絶縁部材
内部の冷却水流路は、注水孔側の端部から排水孔側の端
部まで連続して形成されており、センターマスクの内部
には冷却水の流路は全く存在しないので、バッキングプ
レートとセンターマスクとの間に介装された絶縁部材に
よる絶縁効果は冷却水流路によって減殺されることがな
く、このため、センターマスクが電蝕を受けることがな
い。そして、絶縁部材の内部に形成された冷却水流路を
流れる冷却水は、冷却水流路の内壁面を介して絶縁部材
を効率的に冷却し、ひいては絶縁部材に固着されたセン
ターマスクが絶縁部材との接触面を介して効率的かつ十
分に冷却される。

【００４９】請求項２記載の発明によれば、バッキング
プレートとセンターマスクとが絶縁部材によって完全に
絶縁されているので、センターマスクが電蝕によって腐
食するということがなく、さらに、絶縁部材の内部に形
成された溜水槽は、内部の溜水を順次入れ替えながら常
に相当量の冷却水を保有しているので、この保有された
相当量の冷却水によって、溜水槽の内壁面の全体を介し
て絶縁部材が効率的に冷却され、絶縁部材に固設された
センターマスクは絶縁部材との接触面を介して効率的か
つ十分に冷却される。

【００５０】請求項３記載の発明によれば、溜水槽の内
部に設けられた制限板が溜水槽内での冷却水の流れを規
制するので、溜水槽の内壁面の全体にわたって冷却水の
流れが生じ、このため、絶縁部材の冷却効率が向上し、
ひいてはセンターマスクの冷却効率がさらに向上する。

【００５１】請求項４記載の発明によれば、センターマ
スクに形成されたフランジに絶縁部材を密着して嵌合し
たので、絶縁部材とセンターマスクとの接触面積、すな
わち伝熱面積が増大し、このため、センターマスクから
絶縁部材への伝熱効率が向上してセンターマスクの冷却
効率がさらに向上する。

【００５２】請求項５記載の発明によれば、フランジと
絶縁部材との間に介装された補強部材が、セラミック等
の脆い材料で形成された絶縁部材を保護するので、例え
ば消耗したセンターマスクを新しいものに交換する際
に、セラミック等の脆い材料で形成された絶縁部材が損
傷を受けることがない。

【００５３】請求項６記載の発明によれば、絶縁部材は
ロー付けによってバッキングプレートに固設されている
ので、Ｏリング等のシール材が不要となるばかりでな
く、例えばボルトによって固設する場合に比して、絶縁
部材内部の冷却水流路又は溜水槽を広範に又は大きく形
成することが可能である。このため、絶縁部材、ひいて
はセンターマスクの冷却効率がさらに向上する。また、
絶縁部材は、ボルト取付けのための厚肉の壁が不要とな
るので、絶縁部材の径は小さなものとすることが可能で
あり、ひいてはセンターマスクの径も小さくすることが
できる。このため、ターゲットからスパッタされた粒子
がセンターマスク又は絶縁部材によって進路を妨げられ
るという影響が低減されて、基板表面の成膜効率を向上
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるスパッタリング装置の第１の実施
例の要部を示した縦断面図。

【図２】本発明によるスパッタリング装置の第２の実施
例の要部を示した縦断面図。

【図３】図２の３−３線断面図。

【図４】本発明によるスパッタリング装置の第３の実施
例の要部を示した縦断面図。

【図５】本発明によるスパッタリング装置の第４の実施
例の要部を示した縦断面図。

【図６】従来のスパッタリング装置を示した縦断面図。

【図７】従来のスパッタリング装置の要部を示した断面
図。

【図８】従来のスパッタリング装置の要部を示した断面
図。

【符号の説明】

２０、４０ バッキングプレート ２１、４１ 注水口 ２２、４２ 注水側冷却水流路 ２３、４３ 排水口 ２４、４４ 排水側冷却水流路 ２５、４５ 絶縁部材 １０、２８ センターマスク ２９ 溜水槽 ３１ 制限板 ３３ 入口側の溜水室 ３４ 出口側の溜水室 ３５ 入口側の連絡通路 ３６ 出口側の連絡通路 ３７ 円筒状のフランジ ３８ 円筒状の補強部材 ４６ 絶縁部材のバッキングプレートへの取付面 ４７ 注水孔 ４８ 排水孔 ４９ 冷却水流路

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】バッキングプレートと、このバッキングプ
   レートの中央部に固設された絶縁部材と、この絶縁部材
   に固設されたセンターマスクとを備えたスパッタリング
   装置において、前記絶縁部材の前記バッキングプレート
   への取付面に注水孔及び排水孔を穿設し、前記注水孔と
   前記排水孔とを連通する冷却水流路を前記絶縁部材の内
   部に連続して形成し、前記注水孔に連通する注水側冷却
   水流路と前記排水孔に連通する排水側冷却水流路とを前
   記バッキングプレートの内部に形成したことを特徴とす
   るスパッタリング装置。
2. 【請求項２】バッキングプレートと、このバッキングプ
   レートの中央部に固設された絶縁部材と、この絶縁部材
   に固設されたセンターマスクとを備えたスパッタリング
   装置において、前記絶縁部材の内部に冷却水が滞留する
   溜水槽を形成し、前記バッキングプレートの内部に前記
   溜水槽に連通する一対の冷却水流路を形成したことを特
   徴とするスパッタリング装置。
3. 【請求項３】前記溜水槽の内部に冷却水の流れを規制す
   る制限板を設けたことを特徴とする請求項２に記載のス
   パッタリング装置。
4. 【請求項４】前記センターマスクに前記絶縁部材が嵌合
   可能なフランジを形成し、このフランジに前記絶縁部材
   を密着して嵌合したことを特徴とする請求項１乃至３の
   いずれか一項に記載のスパッタリング装置。
5. 【請求項５】前記フランジと前記絶縁部材との間に補強
   部材を介装したことを特徴とする請求項４に記載のスパ
   ッタリング装置。
6. 【請求項６】前記絶縁部材は前記バッキングプレートに
   ロー付けされていることを特徴とする請求項１乃至５の
   いずれか一項に記載のスパッタリング装置。